JP3324447B2 - 歩留阻害要因推定方法 - Google Patents
歩留阻害要因推定方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置製造プ
ロセスなどの製造プロセスにおいて歩留低下の原因とな
る工程および装置を特定するための歩留阻害要因推定方
法および歩留阻害要因推定システムに関するものであ
る。
ロセスなどの製造プロセスにおいて歩留低下の原因とな
る工程および装置を特定するための歩留阻害要因推定方
法および歩留阻害要因推定システムに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置製造をはじめとして、複数の
装置による多数の工程を必要とする製造ラインにおいて
は、工程作業実績を収集し製品の進行を管理する進行管
理システムや、製品の出来映え評価検査結果を管理する
システムなどを構築し、工場全体の物流、検査を管理し
ている。
装置による多数の工程を必要とする製造ラインにおいて
は、工程作業実績を収集し製品の進行を管理する進行管
理システムや、製品の出来映え評価検査結果を管理する
システムなどを構築し、工場全体の物流、検査を管理し
ている。
【０００３】これらのラインにおいては歩留の安定およ
び向上のために、上記管理システムを用いて歩留を阻害
する要因を特定するための手法がいくつか開発されてい
る（例えば特開平０５−１６０２３９号公報）。
び向上のために、上記管理システムを用いて歩留を阻害
する要因を特定するための手法がいくつか開発されてい
る（例えば特開平０５−１６０２３９号公報）。
【０００４】以下、図面を参照しながら、上記した従来
の歩留阻害要因推定方法について説明する。
の歩留阻害要因推定方法について説明する。
【０００５】図４は半導体製造プロセスにおける従来の
歩留阻害要因推定システムの一例を示す構成図である。
図４において、３１は検査結果収集用計算機、３２は進
行管理用計算機、３３は不良原因推定用計算機、３４は
ネットワーク、３５は検査ネットワーク、３６は製造ネ
ットワークである。
歩留阻害要因推定システムの一例を示す構成図である。
図４において、３１は検査結果収集用計算機、３２は進
行管理用計算機、３３は不良原因推定用計算機、３４は
ネットワーク、３５は検査ネットワーク、３６は製造ネ
ットワークである。
【０００６】従来の歩留阻害要因推定システムにおい
て、検査結果収集用計算機３１は、検査ネットワーク３
５を通じて図示しない各検査装置または入力端末に接続
され、さらにネットワーク３４を介して不良原因推定用
計算機３３に接続されている。進行管理用計算機３２
は、製造ネットワーク３６を通じて図示しない各製造装
置または入力端末に接続され、さらにネットワーク３４
を介して不良原因推定用計算機３３に接続されている。
不良原因推定用計算機３３は、ネットワーク３４を通じ
て検査結果収集用計算機３１に接続されている。
て、検査結果収集用計算機３１は、検査ネットワーク３
５を通じて図示しない各検査装置または入力端末に接続
され、さらにネットワーク３４を介して不良原因推定用
計算機３３に接続されている。進行管理用計算機３２
は、製造ネットワーク３６を通じて図示しない各製造装
置または入力端末に接続され、さらにネットワーク３４
を介して不良原因推定用計算機３３に接続されている。
不良原因推定用計算機３３は、ネットワーク３４を通じ
て検査結果収集用計算機３１に接続されている。
【０００７】以上のように構成された歩留阻害要因推定
システムについて、以下にその動作について説明する。
システムについて、以下にその動作について説明する。
【０００８】まず、検査結果収集用計算機３１から検査
の終了した製品の不良発生率とロット番号などの検査結
果情報を不良原因推定用計算機３３に取り込む。さら
に、進行管理用計算機３２から製造工程を終了した製品
のロット番号と工程名称または工程番号、装置番号など
の進行管理情報を不良原因推定用計算機３３に取り込
む。
の終了した製品の不良発生率とロット番号などの検査結
果情報を不良原因推定用計算機３３に取り込む。さら
に、進行管理用計算機３２から製造工程を終了した製品
のロット番号と工程名称または工程番号、装置番号など
の進行管理情報を不良原因推定用計算機３３に取り込
む。
【０００９】ここで複数の製品の検査結果から、歩留が
著しく阻害されているロットがある場合、まず該当ロッ
トと同等の歩留で不良区分の発生率が類似しているロッ
トを単数あるいは複数選出する。次いでこの選出された
複数ロットと該当ロットの製造工程での進行管理情報を
進行管理用計算機３２を用いて対照し、同一時期かつ、
同一工程の処理実績の有無を検索する。検索により該当
する工程が存在した場合にその工程の装置を不良発生原
因装置と特定している。
著しく阻害されているロットがある場合、まず該当ロッ
トと同等の歩留で不良区分の発生率が類似しているロッ
トを単数あるいは複数選出する。次いでこの選出された
複数ロットと該当ロットの製造工程での進行管理情報を
進行管理用計算機３２を用いて対照し、同一時期かつ、
同一工程の処理実績の有無を検索する。検索により該当
する工程が存在した場合にその工程の装置を不良発生原
因装置と特定している。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成では、工程特定に用いるロットの選択におい
て、歩留あるいは不良区分の発生率のみから対照ロット
を判断するため、該当ロットとは異なった要因で歩留が
低下しているロットを選択する可能性が高く、処理実績
の比較から得られる結果が全く無関係の工程となるかあ
るいは該当工程が存在しない場合が多い。このため対策
の不要な設備に不必要な労力を費やすか、あるいは全工
程を見直すために長期間を必要としている。また不良発
生原因工程と判明しても工程のプロセスが原因なのか装
置が原因なのか特定できない。また、たとえ装置起因に
よる歩留阻害工程と判明しても、装置のどの部分の不具
合が原因による歩留阻害なのか容易に推定できないた
め、装置改善や歩留対策に多大な時間を要するという課
題を有していた。
うな構成では、工程特定に用いるロットの選択におい
て、歩留あるいは不良区分の発生率のみから対照ロット
を判断するため、該当ロットとは異なった要因で歩留が
低下しているロットを選択する可能性が高く、処理実績
の比較から得られる結果が全く無関係の工程となるかあ
るいは該当工程が存在しない場合が多い。このため対策
の不要な設備に不必要な労力を費やすか、あるいは全工
程を見直すために長期間を必要としている。また不良発
生原因工程と判明しても工程のプロセスが原因なのか装
置が原因なのか特定できない。また、たとえ装置起因に
よる歩留阻害工程と判明しても、装置のどの部分の不具
合が原因による歩留阻害なのか容易に推定できないた
め、装置改善や歩留対策に多大な時間を要するという課
題を有していた。
【００１１】本発明は上記課題に鑑み、歩留阻害要因を
確実に、簡便に推定する手段を提供することを目的とす
るものである。
確実に、簡便に推定する手段を提供することを目的とす
るものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の歩留阻害要因推定方法は、収集した検査結果
に演算処理を施し、良品あるいは不良区分にて製品の位
置別に重ね合わせた情報に加工し、さらにこれを画像情
報にする手段を備えている。
に本発明の歩留阻害要因推定方法は、収集した検査結果
に演算処理を施し、良品あるいは不良区分にて製品の位
置別に重ね合わせた情報に加工し、さらにこれを画像情
報にする手段を備えている。
【００１３】すなわち、製品を製造するための複数工程
からなる一連の工程、各々の工程に割り当てられ製品を
処理する単数あるいは複数の装置、製造された製品の出
来映えを検査する手段とを備えた製造形態において、製
品の各工程作業実績情報と、製品の出来映え検査結果の
演算処理により得られた画像情報を用いて不良原因とな
る工程を特定する歩留阻害要因推定方法である。そして
前記演算処理後の複数の画像情報から特徴的な形状を抽
出する工程、抽出した形状に類似した複数の画像情報を
抽出する工程、抽出した画像に対応する製品の作業実績
情報を比較し、作業実績の一致する工程および装置を特
定する工程を備えるものである。また、製品処理の最小
単位は少なくとも複数個の製品を数値表現可能な配置で
含み、作業実績情報は少なくとも該製品の経由した工程
および装置および被処理日時を含み、出来映え検査結果
は該製品の良品あるいは不良区分および製品の配置に関
わる情報を含み、演算処理は、検査結果を製品ロット単
位あるいは単位ロット内または複数ロットに渡る任意の
製品単位で、製品の位置毎に重ね合わせる工程と、その
良品あるいは不良区分別に位置毎の相対頻度を表わす画
像情報にする工程を含むものである。
からなる一連の工程、各々の工程に割り当てられ製品を
処理する単数あるいは複数の装置、製造された製品の出
来映えを検査する手段とを備えた製造形態において、製
品の各工程作業実績情報と、製品の出来映え検査結果の
演算処理により得られた画像情報を用いて不良原因とな
る工程を特定する歩留阻害要因推定方法である。そして
前記演算処理後の複数の画像情報から特徴的な形状を抽
出する工程、抽出した形状に類似した複数の画像情報を
抽出する工程、抽出した画像に対応する製品の作業実績
情報を比較し、作業実績の一致する工程および装置を特
定する工程を備えるものである。また、製品処理の最小
単位は少なくとも複数個の製品を数値表現可能な配置で
含み、作業実績情報は少なくとも該製品の経由した工程
および装置および被処理日時を含み、出来映え検査結果
は該製品の良品あるいは不良区分および製品の配置に関
わる情報を含み、演算処理は、検査結果を製品ロット単
位あるいは単位ロット内または複数ロットに渡る任意の
製品単位で、製品の位置毎に重ね合わせる工程と、その
良品あるいは不良区分別に位置毎の相対頻度を表わす画
像情報にする工程を含むものである。
【００１４】さらに、歩留阻害要因推定システムは、複
数の装置を経由して製造される製品の不良原因となる装
置を特定する歩留阻害要因推定システムであって、製造
ラインの作業実績を収集する進行管理手段、製品の出来
映え評価検査結果を収集する検査結果収集手段、出来映
え評価結果を演算処理し画像情報とする手段、複数の製
品から得られた複数の画像情報から特徴的な共通の形状
をもつ製品を抽出する手段、抽出した複数の製品の工程
作業実績情報を比較し作業実績の一致する工程および装
置を特定し結果を表示する手段とを備える歩留阻害要因
推定システムである。
数の装置を経由して製造される製品の不良原因となる装
置を特定する歩留阻害要因推定システムであって、製造
ラインの作業実績を収集する進行管理手段、製品の出来
映え評価検査結果を収集する検査結果収集手段、出来映
え評価結果を演算処理し画像情報とする手段、複数の製
品から得られた複数の画像情報から特徴的な共通の形状
をもつ製品を抽出する手段、抽出した複数の製品の工程
作業実績情報を比較し作業実績の一致する工程および装
置を特定し結果を表示する手段とを備える歩留阻害要因
推定システムである。
【００１５】前記構成により、本発明の歩留阻害要因推
定方法および歩留阻害要因推定システムは、製品の着工
日時、使用装置および検査結果から製品の歩留向上を阻
害する装置を容易にかつ確実に特定することができる。
また、そればかりでなく、出来映え評価結果を重ね合わ
せたことにより、不良の発生形状が明確になるため、装
置の不具合箇所の推定が容易になり迅速な対策が可能と
なる。
定方法および歩留阻害要因推定システムは、製品の着工
日時、使用装置および検査結果から製品の歩留向上を阻
害する装置を容易にかつ確実に特定することができる。
また、そればかりでなく、出来映え評価結果を重ね合わ
せたことにより、不良の発生形状が明確になるため、装
置の不具合箇所の推定が容易になり迅速な対策が可能と
なる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態につい
て、図面を参照しながら説明する。
て、図面を参照しながら説明する。
【００１７】図１は本発明の実施形態にかかる歩留阻害
要因推定システムの構成図を示す。図１において、１は
製品評価のための検査結果を収集する検査結果収集用計
算機、２は検査結果を重ね合わせる検査結果演算用計算
機、３は製造ラインの作業実績を収集する進行管理用計
算機、４は不良発生原因装置を特定する不良原因推定用
計算機であり、ネットワーク５を介して検査結果収集用
計算機１と検査結果演算用計算機２が有機的に結合さ
れ、またネットワーク６を介して検査結果演算用計算機
２と、進行管理用計算機３と、不良原因推定用計算機４
とが各々有機的に結合されている。
要因推定システムの構成図を示す。図１において、１は
製品評価のための検査結果を収集する検査結果収集用計
算機、２は検査結果を重ね合わせる検査結果演算用計算
機、３は製造ラインの作業実績を収集する進行管理用計
算機、４は不良発生原因装置を特定する不良原因推定用
計算機であり、ネットワーク５を介して検査結果収集用
計算機１と検査結果演算用計算機２が有機的に結合さ
れ、またネットワーク６を介して検査結果演算用計算機
２と、進行管理用計算機３と、不良原因推定用計算機４
とが各々有機的に結合されている。
【００１８】検査結果収集用計算機１は、検査ネットワ
ーク７を通じて図示しない各検査装置または入力端末に
接続され、さらにネットワーク５を介して検査結果演算
用計算機２に接続されている。検査結果演算用計算機２
は、ネットワーク６を介して進行管理用計算機３および
不良原因推定用計算機４に接続されている。進行管理用
計算機３は、製造ネットワーク８を通じて図示しない各
製造装置または入力端末に接続され、さらにネットワー
ク６を介して検査結果演算用計算機２および不良原因推
定用計算機４に接続されている。不良原因推定用計算機
４は、ネットワーク６を通じて検査結果演算用計算機２
および進行管理用計算機３に接続され、演算処理結果の
表示手段として表示装置４’を備えている。
ーク７を通じて図示しない各検査装置または入力端末に
接続され、さらにネットワーク５を介して検査結果演算
用計算機２に接続されている。検査結果演算用計算機２
は、ネットワーク６を介して進行管理用計算機３および
不良原因推定用計算機４に接続されている。進行管理用
計算機３は、製造ネットワーク８を通じて図示しない各
製造装置または入力端末に接続され、さらにネットワー
ク６を介して検査結果演算用計算機２および不良原因推
定用計算機４に接続されている。不良原因推定用計算機
４は、ネットワーク６を通じて検査結果演算用計算機２
および進行管理用計算機３に接続され、演算処理結果の
表示手段として表示装置４’を備えている。
【００１９】以上のように構成された歩留阻害要因推定
システムについて、図２および図３に基づいて以下にそ
の動作を説明する。図２は検査結果演算用計算機２のア
ルゴリズム、図３は不良原因推定用計算機４のアルゴリ
ズムを各々示している。
システムについて、図２および図３に基づいて以下にそ
の動作を説明する。図２は検査結果演算用計算機２のア
ルゴリズム、図３は不良原因推定用計算機４のアルゴリ
ズムを各々示している。
【００２０】図２に示す様に、検査結果演算用計算機２
においては、検査結果収集用計算機１の出力を取り込み
（１１）、製品ウエハーの位置別検査集計結果をロット
単位で重ね合わせ、製品の位置別の歩留を算出し（１
２）、その結果を例えば等高線グラフとして不良原因推
定用計算機４に出力できる形式にする（１３）。
においては、検査結果収集用計算機１の出力を取り込み
（１１）、製品ウエハーの位置別検査集計結果をロット
単位で重ね合わせ、製品の位置別の歩留を算出し（１
２）、その結果を例えば等高線グラフとして不良原因推
定用計算機４に出力できる形式にする（１３）。
【００２１】一方、図３に示すように、不良原因推定用
計算機４においては、検査結果演算用計算機２から出力
された等高線グラフを取り込み（２１）、等高線グラフ
を表示（２２）し、特徴のある形状を示すロットを選択
する（２３）。さらに、等高線グラフの形状が近いロッ
トを複数選び出す（２４）。次に選び出したロットのロ
ット番号を、進行管理用計算機３に入力し、工程名称ま
たは工程番号、装置番号などの進行管理情報を、進行管
理用計算機３から出力させて計算機内に入力する（２
５）。取り込んだロットの進行管理結果を工程順になら
べ、作業実績の一致する工程または装置を抽出する（２
６）。以上の工程を経て特定された工程が、歩留阻害要
因である（２７）。また重ね合わせた等高線グラフの形
状を、装置構造あるいは装置特性と比較勘案すること
で、原因究明が容易となる（２８）。
計算機４においては、検査結果演算用計算機２から出力
された等高線グラフを取り込み（２１）、等高線グラフ
を表示（２２）し、特徴のある形状を示すロットを選択
する（２３）。さらに、等高線グラフの形状が近いロッ
トを複数選び出す（２４）。次に選び出したロットのロ
ット番号を、進行管理用計算機３に入力し、工程名称ま
たは工程番号、装置番号などの進行管理情報を、進行管
理用計算機３から出力させて計算機内に入力する（２
５）。取り込んだロットの進行管理結果を工程順になら
べ、作業実績の一致する工程または装置を抽出する（２
６）。以上の工程を経て特定された工程が、歩留阻害要
因である（２７）。また重ね合わせた等高線グラフの形
状を、装置構造あるいは装置特性と比較勘案すること
で、原因究明が容易となる（２８）。
【００２２】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、製品の着
工日時、使用装置および検査結果から製品の歩留向上を
阻害する装置を容易にかつ確実に特定することができ
る。
工日時、使用装置および検査結果から製品の歩留向上を
阻害する装置を容易にかつ確実に特定することができ
る。
【００２３】そればかりでなく、出来映え評価結果を重
ね合わせたことにより、不良の発生形状が明確になるた
め、装置の不具合箇所の推定が容易になり迅速な対策を
可能とするものである。
ね合わせたことにより、不良の発生形状が明確になるた
め、装置の不具合箇所の推定が容易になり迅速な対策を
可能とするものである。
【図１】本発明の一実施形態の歩留阻害要因推定システ
ムの構成を示す図
ムの構成を示す図
【図２】本発明の一実施形態の歩留阻害要因推定方法に
おける検査結果演算方法の動作を示すフロー図
おける検査結果演算方法の動作を示すフロー図
【図３】本発明の一実施形態の歩留阻害要因推定方法に
おける不良原因推定アルゴリズムを示すフロー図
おける不良原因推定アルゴリズムを示すフロー図
【図４】従来の歩留阻害要因推定システムの構成を示す
図
図
１ 検査結果収集用計算機 ２ 検査結果演算用計算機 ３ 進行管理用計算機 ４ 不良原因推定用計算機 ４’ 表示装置 ５ ネットワーク ６ ネットワーク ７ 検査ネットワーク ８ 製造ネットワーク ３１ 検査結果収集用計算機 ３２ 進行管理用計算機 ３３ 不良原因推定用計算機 ３４ ネットワーク ３５ 検査ネットワーク ３６ 製造ネットワーク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 武石 彰 大阪府高槻市幸町１番１号 松下電子工 業株式会社内 (72)発明者 坂本 信也 大阪府高槻市幸町１番１号 松下電子工 業株式会社内 (56)参考文献 特開 平８−162380（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−129241（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−347300（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/66 H01L 21/02
Claims (3)
- 【請求項１】複数の製品を搭載した複数のウエハーを同
一ロットで製造する為の複数工程からなる製造工程にお
いて、前記複数のウエハー内の各製品の位置毎の良品と
不良品の出来映え結果に基づき、前記同一ロットにおけ
る複数の製品のウエハー内の位置別歩留を算出し、該算
出された位置別歩留から特徴ある形状を抽出する工程
と、前記抽出された特徴ある形状と類似した位置別歩留
を有する他の複数のロットを抽出する工程と、前記同一
ロット及び前記他の複数のロットの製造工程において一
致した工程または製造装置を抽出し、該工程または該製
造装置を歩留阻害要因と特定することを特徴とする歩留
阻害要因推定方法。 - 【請求項２】位置別歩留から抽出された特徴ある形状
が、同一歩留を表す等高線グラフであることを特徴とす
る請求項１記載の歩留阻害要因推定方法。 - 【請求項３】位置別歩留から抽出された特徴ある形状か
ら、歩留阻害要因と特定された製造装置の不具合箇所を
推定することを特徴とする請求項１記載の歩留阻害要因
推定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13640097A JP3324447B2 (ja) | 1997-05-27 | 1997-05-27 | 歩留阻害要因推定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13640097A JP3324447B2 (ja) | 1997-05-27 | 1997-05-27 | 歩留阻害要因推定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10326816A JPH10326816A (ja) | 1998-12-08 |
| JP3324447B2 true JP3324447B2 (ja) | 2002-09-17 |
Family
ID=15174289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13640097A Expired - Fee Related JP3324447B2 (ja) | 1997-05-27 | 1997-05-27 | 歩留阻害要因推定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3324447B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6763130B1 (en) * | 1999-07-21 | 2004-07-13 | Applied Materials, Inc. | Real time defect source identification |
| JP2002043200A (ja) | 2000-07-24 | 2002-02-08 | Mitsubishi Electric Corp | 異常原因検出装置及び異常原因検出方法 |
| US7167811B2 (en) * | 2001-05-24 | 2007-01-23 | Test Advantage, Inc. | Methods and apparatus for data analysis |
| JP4772613B2 (ja) * | 2005-12-16 | 2011-09-14 | 新日本製鐵株式会社 | 品質解析方法、品質解析装置、コンピュータプログラム、及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
| WO2007123238A1 (ja) * | 2006-04-25 | 2007-11-01 | Sharp Kabushiki Kaisha | 不良原因設備特定システム |
-
1997
- 1997-05-27 JP JP13640097A patent/JP3324447B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10326816A (ja) | 1998-12-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |