JP3321187B2 - クリーンルーム用イオナイザ - Google Patents
クリーンルーム用イオナイザInfo
- Publication number
- JP3321187B2 JP3321187B2 JP17280991A JP17280991A JP3321187B2 JP 3321187 B2 JP3321187 B2 JP 3321187B2 JP 17280991 A JP17280991 A JP 17280991A JP 17280991 A JP17280991 A JP 17280991A JP 3321187 B2 JP3321187 B2 JP 3321187B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- clean room
- ionizer
- wear
- nickel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Elimination Of Static Electricity (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム内で発
生する静電気を除去するために使用されるイオナイザの
改良に関する。
生する静電気を除去するために使用されるイオナイザの
改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、半導体製造のクリーンルーム
では、静電気の発生し易い相対湿度が４０％程度となる
低湿度環境であることや、ウェハ及び半導体素子を運搬
するために電気抵抗の高いプラスチック容器が多用され
ていることなどにより、容易に静電気が発生している。
この静電気はウェハ表面上に塵埃を付着させたり、ウェ
ハ上のＩＣや半導体素子を破壊してしまい、製品の歩留
まりを低下させている。しかも、最近の半導体素子の高
密度化に伴い、クリーンルームの超高清浄度化が望まれ
ると共に半導体素子の静電気耐性も低下し、この様な静
電気による生産障害が、益々問題となっている。
では、静電気の発生し易い相対湿度が４０％程度となる
低湿度環境であることや、ウェハ及び半導体素子を運搬
するために電気抵抗の高いプラスチック容器が多用され
ていることなどにより、容易に静電気が発生している。
この静電気はウェハ表面上に塵埃を付着させたり、ウェ
ハ上のＩＣや半導体素子を破壊してしまい、製品の歩留
まりを低下させている。しかも、最近の半導体素子の高
密度化に伴い、クリーンルームの超高清浄度化が望まれ
ると共に半導体素子の静電気耐性も低下し、この様な静
電気による生産障害が、益々問題となっている。
【０００３】そこで従来より、クリーンルームにおける
静電気を除去する対策として、イオナイザが利用されて
いる。このイオナイザでは、これに設けられた電極に高
電圧を印加してコロナ放電を起こさせ、その時発生する
イオンによって帯電体上の電荷を中和させて除電を行っ
ている。
静電気を除去する対策として、イオナイザが利用されて
いる。このイオナイザでは、これに設けられた電極に高
電圧を印加してコロナ放電を起こさせ、その時発生する
イオンによって帯電体上の電荷を中和させて除電を行っ
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
ようなイオナイザでは、そのイオン発生電極に高電圧を
印加してコロナ放電を起こさせる毎に電極が摩耗し、そ
の摩耗した電極材が飛散することになる。電極材は重金
属によって構成されるため、重金属汚染が引き起こされ
る。
ようなイオナイザでは、そのイオン発生電極に高電圧を
印加してコロナ放電を起こさせる毎に電極が摩耗し、そ
の摩耗した電極材が飛散することになる。電極材は重金
属によって構成されるため、重金属汚染が引き起こされ
る。
【０００５】このため、一部には電極を摩耗しにくい石
英管で覆うことにより重金属の飛散を防止することが行
われている。この石英管は誘電体として作用し、まず石
英管内の金属電極に高電圧が印加されると、その金属を
覆っている石英管が分極して石英管表面に電荷が誘起さ
れ、電荷密度の高い部分でコロナ放電を生じる。しか
し、誘電体からの放電では、全電荷を放出しないで誘電
体表面が帯電した状態（分極状態）のままとなる。この
ため、この分極状態の石英管で覆われた電極に極性の変
わらない電圧を印加しても、石英管表面の電荷密度は高
まらないので、安定して放電することができない。
英管で覆うことにより重金属の飛散を防止することが行
われている。この石英管は誘電体として作用し、まず石
英管内の金属電極に高電圧が印加されると、その金属を
覆っている石英管が分極して石英管表面に電荷が誘起さ
れ、電荷密度の高い部分でコロナ放電を生じる。しか
し、誘電体からの放電では、全電荷を放出しないで誘電
体表面が帯電した状態（分極状態）のままとなる。この
ため、この分極状態の石英管で覆われた電極に極性の変
わらない電圧を印加しても、石英管表面の電荷密度は高
まらないので、安定して放電することができない。
【０００６】更に、電極表面の誘電体でコロナ放電を起
こさせるためには、直流電源やパルス直流電源のように
極性の変わらない電源では、安定して定常的にイオンを
発生することは難しい。即ち、石英管でコロナ放電を起
こさせるためには、交流電源に限定されることになる。
しかし、交流電源を用いたイオナイザは、直流電源やパ
ルス直流電源を用いたものに比べ除電性能が劣ることは
公知のことである。即ち、交流電源では、直流やパルス
直流の電源を用いて印加する方法と異なり、空間電界に
よるイオンの拡散が無いため、イオナイザの有効範囲が
狭く、有効に利用できるイオンの量が少ない。このた
め、イオナイザとしての除電性能の低下が引き起こされ
ている。
こさせるためには、直流電源やパルス直流電源のように
極性の変わらない電源では、安定して定常的にイオンを
発生することは難しい。即ち、石英管でコロナ放電を起
こさせるためには、交流電源に限定されることになる。
しかし、交流電源を用いたイオナイザは、直流電源やパ
ルス直流電源を用いたものに比べ除電性能が劣ることは
公知のことである。即ち、交流電源では、直流やパルス
直流の電源を用いて印加する方法と異なり、空間電界に
よるイオンの拡散が無いため、イオナイザの有効範囲が
狭く、有効に利用できるイオンの量が少ない。このた
め、イオナイザとしての除電性能の低下が引き起こされ
ている。
【０００７】本発明は、上記のような従来技術の課題を
解決するために提供されたもので、その目的は、電極に
高電圧を印加し放電を起こさせる時に、その電源の種類
を限定されず、また、除電性能を低下することなく、更
に、電極の摩耗が防止され、電極材の飛散によるクリー
ンルーム内の重金属汚染を低減することのできるクリー
ンルーム用イオナイザを提供することである。
解決するために提供されたもので、その目的は、電極に
高電圧を印加し放電を起こさせる時に、その電源の種類
を限定されず、また、除電性能を低下することなく、更
に、電極の摩耗が防止され、電極材の飛散によるクリー
ンルーム内の重金属汚染を低減することのできるクリー
ンルーム用イオナイザを提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
クリーンルーム用イオナイザは、静電気除去のための針
状のイオン発生電極を備えたクリーンルーム用イオナイ
ザにおいて、前記針状のイオン発生電極は、タングステ
ン電極の表面がニッケルに被覆された積層構造を有する
こと、を特徴とする。
クリーンルーム用イオナイザは、静電気除去のための針
状のイオン発生電極を備えたクリーンルーム用イオナイ
ザにおいて、前記針状のイオン発生電極は、タングステ
ン電極の表面がニッケルに被覆された積層構造を有する
こと、を特徴とする。
【０００９】上記のような構成を有する本発明の請求項
１記載のクリーンルーム用イオナイザは、静電気除去の
ための針状のイオン発生電極が、タングステン電極の表
面がニッケルによりメッキ等で被覆された積層構造を有
するように設けられたことによって、電極表層の耐摩耗
性が向上され、電極の摩耗を防止することができる。従
って、電極材の飛散によるクリーンルーム内の重金属汚
染が低減される。
１記載のクリーンルーム用イオナイザは、静電気除去の
ための針状のイオン発生電極が、タングステン電極の表
面がニッケルによりメッキ等で被覆された積層構造を有
するように設けられたことによって、電極表層の耐摩耗
性が向上され、電極の摩耗を防止することができる。従
って、電極材の飛散によるクリーンルーム内の重金属汚
染が低減される。
【００１０】
【実施例】以下、本発明のクリーンルーム用イオナイザ
の一実施例を図１及び図２に従って説明する。
の一実施例を図１及び図２に従って説明する。
【００１１】即ち、クリーンルーム用イオナイザ１は、
図１に示すように、一対の正負の針状電極２が取付けら
れている。この電極２は、タングステン電極２ａの表面
にニッケルによる被覆３がメッキにより設けられ、積層
構造となっている。
図１に示すように、一対の正負の針状電極２が取付けら
れている。この電極２は、タングステン電極２ａの表面
にニッケルによる被覆３がメッキにより設けられ、積層
構造となっている。
【００１２】この様なニッケル被覆された電極２の摩耗
率を調べるために、この電極の設けられたクリーンルー
ム用イオナイザ１を図２に示すようなクリーンルーム４
に設置した。
率を調べるために、この電極の設けられたクリーンルー
ム用イオナイザ１を図２に示すようなクリーンルーム４
に設置した。
【００１３】即ち、このクリーンルーム４は、クリーン
ルーム４内に清浄化空気を供給するための高性能フィル
タ５が天井に備えられ、その下部に本実施例のクリーン
ルーム用イオナイザ１が設置されている。クリーンルー
ム４内部には、上部に静電荷＋，−を有する帯電体１２
が設けられている。また、クリーンルーム４内部には、
イオナイザ１の電極２に清浄化度の高い空気を供給する
ための清浄化装置が設けられている。この装置は、室内
に吸気口７と、イオナイザ１の電極２近傍に供給口とを
有する空気供給路６の管路上に、エアポンプ９と、イオ
ナイザを備える微粒子析出装置１０及びメンブレンフィ
ルタ１１が設けられている。この様な清浄化装置によっ
て、針状電極２には、供給口８から約０．００５μｍ未
満の超微粒子も制御された清浄化度の高い空気が供給さ
れる。即ち、電極２周囲の雰囲気中には超微粒子も皆無
となるので、微粒子が電極上に付着する等の影響が無い
状態で電極の摩耗率を調べることができる。
ルーム４内に清浄化空気を供給するための高性能フィル
タ５が天井に備えられ、その下部に本実施例のクリーン
ルーム用イオナイザ１が設置されている。クリーンルー
ム４内部には、上部に静電荷＋，−を有する帯電体１２
が設けられている。また、クリーンルーム４内部には、
イオナイザ１の電極２に清浄化度の高い空気を供給する
ための清浄化装置が設けられている。この装置は、室内
に吸気口７と、イオナイザ１の電極２近傍に供給口とを
有する空気供給路６の管路上に、エアポンプ９と、イオ
ナイザを備える微粒子析出装置１０及びメンブレンフィ
ルタ１１が設けられている。この様な清浄化装置によっ
て、針状電極２には、供給口８から約０．００５μｍ未
満の超微粒子も制御された清浄化度の高い空気が供給さ
れる。即ち、電極２周囲の雰囲気中には超微粒子も皆無
となるので、微粒子が電極上に付着する等の影響が無い
状態で電極の摩耗率を調べることができる。
【００１４】ところで、この様なイオナイザ１に±１３
〜±２０ｋＶの直流電圧が１〜１１秒間隔で印加される
と、正負の針状電極２から交互に正イオン＋と負イオン
−が発生する。この生じた正負のイオン＋，−は、一定
方向の循環空気流により帯電体１２に搬送される。これ
により、帯電体１２上の静電荷−，＋が、それぞれ逆極
性のイオン＋，−により中和され、除電される。
〜±２０ｋＶの直流電圧が１〜１１秒間隔で印加される
と、正負の針状電極２から交互に正イオン＋と負イオン
−が発生する。この生じた正負のイオン＋，−は、一定
方向の循環空気流により帯電体１２に搬送される。これ
により、帯電体１２上の静電荷−，＋が、それぞれ逆極
性のイオン＋，−により中和され、除電される。
【００１５】以上の様なクリーンルーム４内で、針状電
極２に一定時間高電圧を印加して放電を起こさせた後、
実体顕微鏡（Ｎｉｋｏｎ製 ＳＭＺ−２Ｔ、倍率：８
０）、一部走査型電子顕微鏡（日本電子製 ＪＳＭ−８
４０、倍率：２００）により電極を撮影した。その影像
から、幾何学的に電極の摩耗量（体積）を計算により求
めた。電極の摩耗量は、高電圧の印加時間に比例するの
で、電極の耐摩耗性の評価には単位時間当たりの摩耗量
（摩耗率）を用いた。この時、比較のためにトリウム・
タングステン合金（Ｗ−Ｔｈ）電極、アルミニウム（Ａ
ｌ）電極、ニッケル（Ｎｉ）電極、チタン（Ｔｉ）電
極、ニオブ（Ｎｂ）電極に関しても、同様にして摩耗量
を測定した。また、この時の摩耗率を、従来クリーンル
ーム用として使用されているトリウム・タングステン合
金（Ｗ−Ｔｈ）電極の摩耗率により基準化し、このＷ−
Ｔｈ電極の摩耗率を１として表現する。
極２に一定時間高電圧を印加して放電を起こさせた後、
実体顕微鏡（Ｎｉｋｏｎ製 ＳＭＺ−２Ｔ、倍率：８
０）、一部走査型電子顕微鏡（日本電子製 ＪＳＭ−８
４０、倍率：２００）により電極を撮影した。その影像
から、幾何学的に電極の摩耗量（体積）を計算により求
めた。電極の摩耗量は、高電圧の印加時間に比例するの
で、電極の耐摩耗性の評価には単位時間当たりの摩耗量
（摩耗率）を用いた。この時、比較のためにトリウム・
タングステン合金（Ｗ−Ｔｈ）電極、アルミニウム（Ａ
ｌ）電極、ニッケル（Ｎｉ）電極、チタン（Ｔｉ）電
極、ニオブ（Ｎｂ）電極に関しても、同様にして摩耗量
を測定した。また、この時の摩耗率を、従来クリーンル
ーム用として使用されているトリウム・タングステン合
金（Ｗ−Ｔｈ）電極の摩耗率により基準化し、このＷ−
Ｔｈ電極の摩耗率を１として表現する。
【００１６】上述した測定により、図３に示す様な結果
が得られた。即ち、ニッケルのみのＮｉ電極の摩耗率
は、従来のＷ−Ｔｈ電極より大きいが、タングステンに
ニッケルを被覆したＮｉ被覆電極は、他の各種電極材に
比べて摩耗率が大幅に低い値となった。この値は、従来
のＷ−Ｔｈ電極に比べ約１／１００にまで低下してい
る。ところで、タングステンのみの電極の摩耗率は、図
中にないが従来のＷ−Ｔｈ電極より大きいことは公知の
ことである。従って、Ｎｉ電極と、タングステン電極の
いずれも単体では従来のＷ−Ｔｈ電極より摩耗率が大き
いが、２つの金属材料を積層構造とし、表層の金属の欠
点を補うことにより摩耗率が大幅に低減されている。
が得られた。即ち、ニッケルのみのＮｉ電極の摩耗率
は、従来のＷ−Ｔｈ電極より大きいが、タングステンに
ニッケルを被覆したＮｉ被覆電極は、他の各種電極材に
比べて摩耗率が大幅に低い値となった。この値は、従来
のＷ−Ｔｈ電極に比べ約１／１００にまで低下してい
る。ところで、タングステンのみの電極の摩耗率は、図
中にないが従来のＷ−Ｔｈ電極より大きいことは公知の
ことである。従って、Ｎｉ電極と、タングステン電極の
いずれも単体では従来のＷ−Ｔｈ電極より摩耗率が大き
いが、２つの金属材料を積層構造とし、表層の金属の欠
点を補うことにより摩耗率が大幅に低減されている。
【００１７】以上のような本実施例のクリーンルーム用
イオナイザによれば、従来の各種電極材では放電による
摩耗を避けられないが、これらの電極にニッケルをメッ
キ等により重ね合わせ積層構造とすることにより、表層
のニッケルの欠点を補い、耐摩耗性とすることができ、
電極の摩耗を大幅に低減することができる。
イオナイザによれば、従来の各種電極材では放電による
摩耗を避けられないが、これらの電極にニッケルをメッ
キ等により重ね合わせ積層構造とすることにより、表層
のニッケルの欠点を補い、耐摩耗性とすることができ、
電極の摩耗を大幅に低減することができる。
【００１８】しかも、本実施例の摩耗率の測定は直流パ
ルス電圧印加方式のイオナイザで行ったが、直流電圧印
加及び交流電圧印加のそれぞれの電極の場合でも電極表
面が金属であるため、同様の効果を得ることができる。
ルス電圧印加方式のイオナイザで行ったが、直流電圧印
加及び交流電圧印加のそれぞれの電極の場合でも電極表
面が金属であるため、同様の効果を得ることができる。
【００１９】さらに、安定して定常的にイオンを発生す
ることができるので、静電気の除電性能を損なうことが
ない。
ることができるので、静電気の除電性能を損なうことが
ない。
【００２０】なお、本発明は上述した実施例に限定され
るものではなく、具体的な各部材の形状、或いは各々の
取付け位置及び方法は適宜変更可能である。
るものではなく、具体的な各部材の形状、或いは各々の
取付け位置及び方法は適宜変更可能である。
【００２１】例えば、電極材及び表層の金属の種類は限
定されない。即ち、単一の金属だけでは放電による摩耗
を避けられないが、他の金属とメッキ等により重ね合わ
せ積層構造とすることにより、表層の金属の欠点を補
い、耐摩耗生とすることができ、電極に高電圧を印加す
る方式を限定されず、静電気の除電性能を損なうこと無
く、電極の摩耗を大幅に低減することができる。
定されない。即ち、単一の金属だけでは放電による摩耗
を避けられないが、他の金属とメッキ等により重ね合わ
せ積層構造とすることにより、表層の金属の欠点を補
い、耐摩耗生とすることができ、電極に高電圧を印加す
る方式を限定されず、静電気の除電性能を損なうこと無
く、電極の摩耗を大幅に低減することができる。
【００２２】また、積層構造とする方法はメッキに限定
されず、スパッタリング等の薄膜生成方法により積層構
造とすることも可能である。
されず、スパッタリング等の薄膜生成方法により積層構
造とすることも可能である。
【００２３】ところで、摩耗率の測定は清浄化装置の設
けられたクリーンルームで行われたが、本発明によれ
ば、清浄化装置の有無やクリーンルームの構造等に関係
なく、電極の摩耗率は大幅に低減することができる。
けられたクリーンルームで行われたが、本発明によれ
ば、清浄化装置の有無やクリーンルームの構造等に関係
なく、電極の摩耗率は大幅に低減することができる。
【００２４】
【発明の効果】本発明のクリーンルーム用イオナイザに
よれば、静電気除去のための針状のイオン発生電極を備
えたクリーンルーム用イオナイザにおいて、前記針状の
イオン発生電極を、タングステン電極の表面がニッケル
で被覆された積層構造を有するように設けたことによっ
て、電極に高電圧を印加し放電を起こさせる時に、その
電源の種類を限定されず、また、除電性能を低下するこ
となく、更に、電極の摩耗が防止され、電極材の飛散に
よるクリーンルーム内の重金属汚染を低減することがで
きる。
よれば、静電気除去のための針状のイオン発生電極を備
えたクリーンルーム用イオナイザにおいて、前記針状の
イオン発生電極を、タングステン電極の表面がニッケル
で被覆された積層構造を有するように設けたことによっ
て、電極に高電圧を印加し放電を起こさせる時に、その
電源の種類を限定されず、また、除電性能を低下するこ
となく、更に、電極の摩耗が防止され、電極材の飛散に
よるクリーンルーム内の重金属汚染を低減することがで
きる。
【図１】本発明のクリーンルーム用イオナイザの実施例
を示す側面図及び要部拡大断面図。
を示す側面図及び要部拡大断面図。
【図２】図１のクリーンルーム用イオナイザを取り付け
たクリーンルームの構成説明図。
たクリーンルームの構成説明図。
【図３】Ｗ−Ｔｈ電極の摩耗率で規準化された各種電極
材の摩耗率を示すグラフ。
材の摩耗率を示すグラフ。
１ クリーンルーム用イオナイザ ２ 針状電極 ３ ニッケル被覆 ４ クリーンルーム ５ 高性能フィルタ ６ 空気供給路 ７ 吸気口 ８ 供給口 ９ エアポンプ １０ 微粒子析出装置 １１ メンブレンフィルタ １２ 帯電体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01T 19/00 - 23/00 H05F 3/00 - 3/06
Claims (1)
- 【請求項１】 静電気除去のための針状のイオン発生電
極を備えたクリーンルーム用イオナイザにおいて、前記
針状のイオン発生電極は、タングステン電極の表面がニ
ッケルに被覆された積層構造を有すること、を特徴とす
るクリーンルーム用イオナイザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17280991A JP3321187B2 (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | クリーンルーム用イオナイザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17280991A JP3321187B2 (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | クリーンルーム用イオナイザ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0521131A JPH0521131A (ja) | 1993-01-29 |
| JP3321187B2 true JP3321187B2 (ja) | 2002-09-03 |
Family
ID=15948778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17280991A Expired - Fee Related JP3321187B2 (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | クリーンルーム用イオナイザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3321187B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1791467B (zh) * | 2003-05-15 | 2010-11-03 | 夏普株式会社 | 离子发生元件、离子发生装置、电气设备 |
| DE102005012246A1 (de) * | 2005-03-15 | 2006-09-21 | Wella Ag | Vorrichtung zum Behandeln von Kopfhaar mit Dampf |
| JP2010170937A (ja) * | 2009-01-26 | 2010-08-05 | Techno Ryowa Ltd | イオナイザーの放電電極 |
| WO2017138356A1 (ja) * | 2016-02-08 | 2017-08-17 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 低湿度空間における静電気除去構造 |
-
1991
- 1991-07-12 JP JP17280991A patent/JP3321187B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0521131A (ja) | 1993-01-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0386317B1 (en) | Equipment for removing static electricity from charged articles existing in clean space | |
| KR100700678B1 (ko) | 이온 발생 장치 및 대전 제거 설비 | |
| JP4847231B2 (ja) | 電界に起因する剥離物による汚染を防止する装置 | |
| JPH03230499A (ja) | イオン発生装置およびこれを用いた清浄空間内の帯電物品の除電設備 | |
| WO2005099319A1 (ja) | コロナ放電型イオナイザ | |
| WO2007102191A1 (ja) | 微細電極イオン発生素子を有する除電装置 | |
| JP3321187B2 (ja) | クリーンルーム用イオナイザ | |
| JP2528550Y2 (ja) | 針状電極を用いたイオナイザー | |
| JP3537843B2 (ja) | クリーンルーム用イオナイザー | |
| JP2506219B2 (ja) | 静電吸着方法 | |
| JP4407793B2 (ja) | 静電チャックおよび静電チャックを搭載した装置 | |
| Cooper et al. | Surface cleaning by electrostatic removal of particles | |
| JP4409884B2 (ja) | 超音波霧化式無発塵イオナイザー及び超音波霧化式除電又は除塵システム | |
| JP4409641B2 (ja) | 空気イオン化装置及び方法 | |
| JPS62141578A (ja) | 除・帯電方法 | |
| US6215248B1 (en) | Germanium emitter electrodes for gas ionizers | |
| US6319102B1 (en) | Capacitor coupled chuck for carbon dioxide snow cleaning system | |
| JP2541857B2 (ja) | イオン発生装置およびこれを利用した清浄空間内の帯電物品の除電設備 | |
| JPH0316661A (ja) | 無発塵空気イオン化装置 | |
| JP2010170937A (ja) | イオナイザーの放電電極 | |
| JPH07245336A (ja) | 静電チャックおよびその表面処理方法 | |
| JPH03269980A (ja) | イオン生成装置 | |
| JP2009026716A (ja) | 導電層つき電気絶縁性シートの除電方法および除電装置 | |
| JP2000256846A (ja) | 直流マグネトロンスパッタ装置 | |
| JPS62141570A (ja) | 除・帯電方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S201 | Request for registration of exclusive licence |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R314201 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080621 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090621 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100621 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110621 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |