JP3318397B2 - 微粒子計測装置 - Google Patents

微粒子計測装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は微粒子計測装置、特に流
体及び流体中の微粒子による光散乱特性を利用して、粒
子の粒子径及び粒子数を測定する微粒子計測装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】流体中に含まれている微粒子の検出方法
は従来より色々な方法が知られていて、特に光散乱を用
いた手法はインラインでの連続測定が可能であり、広い
分野で応用されている。特に、半導体製造工程では、Ｌ
ＳＩの高集積化に伴い、ＬＳＩ製造工程でウエハーに付
着した異物を除去する洗浄技術が重要になってきてい
る。
【０００３】しかし、ウエハーに使われる液体中には、
微粒子の異物が含まれており、この粒子がウエハーに付
着して、ＬＳＩの導通不良や、短絡導通等の問題を引き
起こす。それゆえ、洗浄に使用する薬液等に含まれる異
物粒子を低減することが必要であり、これら液体中の粒
子径あるいは粒子数を測定することが重要となる。
【０００４】従来の光散乱を用いた測定装置では、流体
に光を照射し、流体からの散乱光に対して、特にスペク
トル分離を行なっていない。得られた散乱光の強度を測
定して、その解析から流体中に含まれている粒子の検出
を行っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このようにし
て測定した散乱光には、粒子に起因している散乱光と流
体そのものに起因している散乱光が含まれている。流体
による散乱は大きなバックグランドとして作用すること
となり、微粒子の粒子径が小さくなるとともにその検出
を難しくする要因となっている。
【０００６】そこで、本発明は以上の問題に鑑み、流体
による散乱光と粒子による散乱光を分離することによ
り、バックグランドとしての流体の散乱の影響を取り除
き、Ｓ／Ｎ比を高くして、かつ精度良く微粒子の検出が
できる微粒子計測装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、本発明においては、流体中の微粒子の散乱光を受
光することにより、粒子径ないし粒子数を測定する装置
において、発光源からの光の照射により得た微粒子を含
む流体からの散乱光から、粒子からの散乱光として発光
源と同じ振動数を持つレーリー散乱光を抽出して、バッ
クグランドに相当する散乱光として、ブリルアン散乱光
を取り除くことにより微粒子からの散乱光を分離して抽
出する分離手段と、抽出された散乱光成分の強度に基づ
き、流体中の微粒子径ないし粒子数を演算する演算手段
とを有する構成を採用した。
【０００８】
【作用】上述した構成によれば、微粒子を含む流体から
の散乱光を分光することにより、粒子からのレーリー散
乱光と流体からのブリルアン散乱光を分離することがで
きる。分離した散乱光のうち、粒子からの散乱に対応す
る成分を測定する。これを電気信号に変換し、その電気
信号をもとに粒子数及び粒子径の演算を行なう。このよ
うにして流体の散乱の影響を極めて小さくして微粒子を
精度並びに感度を向上させて測定することができる。
【０００９】
【実施例】以下、図面に示す実施例に基づき、本発明を
詳細に説明する。図１に本発明による微粒子計測装置の
概略的な構成ブロック図を示す。
【００１０】装置は光源部１、サンプルセル部２０、分
光部３０、検出部４１、光電計測部４２、演算部４３、
出力部４４で構成されている。
【００１１】図１には分光部としてエタロン干渉計３０
を用い、９０゜散乱光を受光する場合を示してある。ま
た、エタロン素子３２の屈折率の温度依存性を補償する
ために、エタロンの素子部分に制御部５０を取付けてあ
る。
【００１２】光源部１は、たとえばＨｅ−Ｎｅレーザー
を用いたレーザー光源３、およびその駆動部２から成
り、レーザー光はサンプルセル２０に照射される。微粒
子を含む流体からの散乱光は集光レンズ１１によって集
光され、集光レンズ１２で再結像される。この結像面に
おいて、マスク３４を用いて、測定視野の制限を行う。
【００１３】この測定視野の制限により、単位時間当り
の測定液量が決定される。また、マスク３４で測定視野
を限定することにより、エタロン干渉計に入射するとき
の干渉条件を決定できる。
【００１４】本実施例では、マスク３４に１００μｍの
ピンホールを用いている。このピンホールの径を大きく
すると、ハイディンガーの干渉じまが形成されて、ブリ
ルアン散乱光とレーリー散乱光の分離が悪くなるので、
マスク３４のピンホールの大きさはこのハイディンガー
の干渉じまが形成しないように選択する。このような設
定により、効率的にブリルアン散乱光とレーリー散乱光
を分離することができる。
【００１５】マスク３４で選択された視野からの散乱光
は集光レンズ２１により、コリメートされて、エタロン
３２に入射する。
【００１６】発散光が入射すると視野を大きくした場合
と同様に、ハイディンガーの干渉じまを生じ、ブリルア
ン散乱光とレーリー散乱光の分離が悪くなるので、集光
レンズ２１によりコリメートすることにより、一点に集
光され、ブリルアン散乱光とレーリー散乱光の分離を容
易にする効果がある。
【００１７】
【００１８】エタロン３２を通って分光された光は集光
レンズ２２で集光され、光電子増倍管４１の光電面に結
像される。エタロン３２の角度はレーリー散乱光が光電
子増倍管４１方向に透過するように設定する。
【００１９】さらに、気温変化等によって、エタロン３
２の屈折率が変化して、透過する波長が変化するため、
このような環境依存性を補償するために、エタロン角度
調整器５１、フォトダイオード５２、ミラー５３〜５６
から成る制御部５０を設けてある。
【００２０】すなわち、エタロン３２の一部に、レーザ
ー光源３の出力をミラー５３〜５５で分岐して得た参照
用のレーザーを入射し、エタロン３２の出射光をミラー
５６を介してフォトダイオード５２により受光し、レー
ザー光の透過光量が最大となるように、受光光量に応じ
てエタロン角度調整器５１によりエタロン３２の角度を
調整する。また、参照用のレーザー光の透過率が最大と
なる角度と、レーリー散乱光の透過率最大の角度が一致
するように、あらかじめ、散乱光の光軸と参照用レーザ
ーの光軸を調整しておくのが望ましい。このような構成
により、環境条件を補償し、長時間の連続測定を安定し
て行うことができる。
【００２１】エタロン３２により分離したレーリー散乱
光は、光電子増倍管４１により電気的な情報に変換され
る。光電計測部４２では光電子増倍管４１からの出力電
気信号をパルス計測あるいはアナログ計測することによ
り、演算部４３で処理可能な情報に変換する。演算部４
３では計測された電気信号の強弱から、粒子の大きさを
分類し、単位流量当りの粒子数、粒子径分布を演算し、
プリンタ、ディスプレイなどから成る出力部４４でこれ
らの結果を出力する。
【００２２】次に、以上のようにして、散乱光の分光を
行なう利点につき述べる。
【００２３】微粒子からの散乱は主にレーリー散乱であ
り、その散乱光の振動数は入射光の振動数に等しい。流
体からの散乱は主にレーリー散乱とブリルアン散乱とか
ら構成されている。流体からのレーリー散乱は粒子から
の散乱と同様に入射光の振動数と同じ振動数を持ってい
る。分光を行なうとブリルアン散乱成分の振動数は、入
射光の振動数から若干シフトしたダブレットのスペクト
ル構造を示す。このシフト幅Δωは、入射光の真空中で
の波長をλ0、流体の屈折率をｎ、流体中の音速をＶ
ｓ、散乱角をθとすると、
【００２４】
【数１】
【００２５】と表される。ここで、ωBはブリルアン散
乱の振動数を示し、ωRはレーリー散乱の振動数を示し
ている。
【００２６】水の場合について例を示すと、そのスペク
トルは図５のような構造を示す。入射光の真空中での波
長を６３２．８ｎｍとする。２０℃における水の屈折率
は波長５８９．３ｎｍに対して１．３３３０、音速は１
５００ｍ／Ｓである。散乱角を９０゜とすれば、ブリル
アンシフト幅は約４．５ＧＨｚとなる。分光測定を行う
ことによって、レーリー散乱成分とブリルアン散乱成分
を分離することができる。散乱角を大きくすることによ
り、ブリルアンシフト幅を大きくすることができ、レー
リー散乱成分とブリルアン散乱成分の分離を容易にする
ことができる。
【００２７】また、レーリー散乱成分ＩＲとブリルアン
散乱成分ＩＢの強度比はランダウ・プラチェック比とし
て知られていて、定圧比熱をＣp、定積比熱をＣvとすれ
ば、
【００２８】
【数２】
【００２９】で表される。２０℃の水の場合、定圧比熱
Ｃｐは７５．２６８８Ｊ／ｇ・Ｋ、定積比熱Ｃｖは７
５．２４００Ｊ／ｇ・Ｋであり、強度比は約１／１４５
となる。即ち、水によるバックグランドを１４５分の１
にすることができ、Ｓ／Ｎ比を高くすることができる。
【００３０】エタロンを分光手段として用いることによ
り以下のような効果が得られる。
【００３１】まず、エタロンを用いていない場合の水バ
ックグランドの強度をＢｎ、粒子の散乱光強度をＰｎと
する。また、エタロンを用いた場合の水バックグランド
強度をＢｅ、粒子の散乱光強度をＰｅとする。エタロン
の設定はレーリー散乱光が最もよく透過するように設定
すると仮定する。
【００３２】この関係を図示すると図６のようになる。
粒子の散乱光はエタロンの透過率分だけ減衰して測定さ
れる。水の散乱光はほとんどがブリルアン散乱であり、
レーリー散乱光とは若干波長のシフトした成分で構成さ
れている。エタロンをレーリー散乱光が最もよく透過す
るように設定することにより、水のブリルアン散乱成分
を取り除くことができる。図中に示すように、水の散乱
光成分はエタロンを用いることにより、著しく減少す
る。このバックグランドの低減効果をエタロン効果Ｅと
呼ぶことにする。散乱光の強度揺らぎがポアソン分布し
ているとすると、Ｓ／Ｎの評価は、
【００３３】
【数３】
【００３４】で表される。ここでΔは測定可能な最小粒
子を認識するために必要なＳ／Ｎを表している。
【００３５】エタロンを用いた場合について検討する
と、測定可能な最小粒子を認識するためのＳ／Ｎをエタ
ロンを用いていない場合と同様にΔとすれば、
【００３６】
【数４】
【００３７】で表される。エタロン効果を式で表すと、
【００３８】
【数５】
【００３９】となる。ここで、αはエタロンの透過率を
表している。
【００４０】最小可測粒子を考え、エタロン効果を考慮
して先の式を書き換えると、
【００４１】
【数６】
【００４２】Ｐｅはエタロンの透過率の影響を受けてい
ることを考慮すると、Ｐｎと比較すべき強度Ｐｅ’は
【００４３】
【数７】
【００４４】で表される。
【００４５】従って、
【００４６】
【数８】
【００４７】となる。
【００４８】粒子からの散乱をレーリー散乱であると仮
定して、エタロン効果による可測粒子の変化は
【００４９】
【数９】
【００５０】で表される。
【００５１】理論計算に従って、エタロン効果をＥ＝１
／１４５、α＝１として、上式から、エタロンを用いる
ことによる最小可測粒子径は Ｓｅ＝０．６６×Ｓｎ となる。
【００５２】エタロンを用いていない場合の最小可測粒
子径をＳｎ＝０．０７９μｍとすると Ｓｅ＝０．０５２μｍ となることがわかる。
【００５３】すなわち、最小可測粒子径０．０７９μｍ
の装置にエタロンを組み込むことにより、０．０５２μ
ｍの粒子を測定することが可能となる。
【００５４】ここで、図２に分光部にファブリ・ペロ干
渉計を用い、後方散乱光を受光する配置を示す。
【００５５】図２では、温度依存性を補償するために、
ファブリ・ペロ干渉計の素子部分３２に恒温層５１を取
付けてある。このように、ファブリ・ペロ干渉計を用い
ることにより、温度変化等の影響でブリルアンシフト幅
が揺らいだ場合でも、レーリー散乱成分を確実に測定す
ることができる。
【００５６】また、後方散乱を受光することにより、ブ
リルアンシフト幅を大きくすることができ、レーリー散
乱光成分とブリルアン散乱光成分を分離しやすくするこ
とができる。
【００５７】以上の実施例では集光レンズ１１、１２に
より構成される中間集光系を用いることにより、エタロ
ンへのコリメートを容易にしているが、以下に示すよう
に中間集光系を用いず、マスクにより空間的にレーリー
散乱成分を分離するようにしてもよい。以下の実施例の
光学系は広い像を測定しているために、光電子増倍管の
表面ではハイディンガーの緩衝じまを生じており、レー
リー散乱光とブリルアン散乱光が光軸を中心に交互に現
れる。これを空間的にマスクを用いて分離することによ
り、レーリー散乱のみを測定することができる。
【００５８】図３に示す装置はレーザー光源３と、レー
ザー光源３を駆動する駆動部２からなる光源部１、測定
すべき粒子を含む水などの流体を収容するサンプルセル
２０、エタロン干渉計３０から構成された分光部、光電
子増倍管４１、光電計測部４２、演算部４３および出力
部４４からなる測定処理部で構成されている。
【００５９】図３には分光部としてエタロン干渉計を用
い、９０°散乱光を受光する場合を示してある。
【００６０】レーザー光源１２としては、Ｈｅ−Ｎｅレ
ーザーを用い、サンプルセル２０に照射する。
【００６１】微粒子を含む流体からの散乱光は、エタロ
ン干渉計３０の集光レンズ１３を通ってエタロン３２に
導かれる。集光レンズ１３は発散的な散乱光を平行光に
なおしてエタロン３２に入射する。
【００６２】エタロン３２を通った光は集光レンズ２３
で集光され、マスク３４を介して光電子増倍管４１に入
射する。
【００６３】エタロン３２は、レーザー光源２の周波数
に相当するレーリー散乱光成分を光軸の近傍に、またそ
れ以外の成分を周辺部に分光するように設定されてい
る。あらかじめ、測定すべき粒子や、流体の特性、レー
ザー光源２の波長などが判明している場合には、これら
の条件に応じて、エタロン３２の分光特性を決定すれば
よい。
【００６４】光電子増倍管４１の結像面では、レーリー
散乱光に対応する光軸の近傍の部分をマスク３４を用い
て取り出す。
【００６５】分離したレーリー散乱光成分を光電子増倍
管で電流に変換し、光電計測部４２では光電子増倍管４
１からの出力電気信号をパルス計測あるいはアナログ計
測を行なうことにより、レーリー散乱光成分の強度信号
が生成される。
【００６６】マイクロコンピュータなどから構成した演
算部４３では、光電計測部４２で計測された電気信号の
強弱から、粒子の大きさを分類し、単位流量当りの粒子
数、粒子径分布などを演算し、出力部４４により出力さ
せる。出力部４４は、ＣＲＴディスプレイなどの表示装
置、プリンタ、データを記憶するための外部記憶装置な
どから構成される。図４には本発明の他の実施例が図示
されており、この実施例では、図３のエタロン干渉計３
０の代りに一対のミラー３２’を有するファブリ・ペロ
干渉計３０”が使用されている。この実施例は、図３の
実施例と同様な動作をするが、ファブリ・ペロ干渉計３
０”は後方散乱を受光するように配置されているので、
図２の実施例と同様ブリルアンシフト幅を大きくするこ
とができ、レーリー散乱光成分とブリルアン散乱光成分
を分離しやすくすることができる。
【００６７】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、流体中の微粒子の散乱光を受光することにより、粒
子径ないし粒子数を測定する装置において、発光源から
の光の照射により得た微粒子を含む流体からの散乱光か
ら、粒子からの散乱光として発光源と同じ振動数を持つ
レーリー散乱光を抽出して、バックグランドに相当する
散乱光として、ブリルアン散乱光を取り除くことにより
微粒子からの散乱光を分離して抽出する分離手段と、抽
出された散乱光成分の強度に基づき、流体中の微粒子径
ないし粒子数を演算する演算手段とを有する構成を採用
しているので、流体中の微粒子による散乱光成分と流体
の散乱光のうちブリルアン散乱成分とを分離し、除去す
ることができ、その結果、流体による散乱光の寄与を減
少させて、粒子による散乱光強度のＳ／Ｎ比を大幅に改
善し、微粒子計測の精度と感度を向上させることができ
る、という優れた効果がある。
【００６８】また、中間集光系を採用し、コリメート条
件が成り立つような光学系を採用しているので、測定視
野を容易に変更することができ、ファブリ・ペロ干渉計
等の干渉条件を選択することができ、ブリルアン散乱光
とレーリー散乱光の分離が容易になるように設定でき
る。その結果、流体による散乱光の寄与を減少させて、
粒子による散乱光強度のＳ／Ｎ比を大幅に改善し、微粒
子計測の精度と感度を向上させることができる、という
優れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における、エタロン干渉計を用いた微粒
子計測装置の概略構成を示す説明図である。
【図２】本発明でファブリ・ペロ干渉計を用いた微粒子
計測装置の概略構成を示す説明図である。
【図３】本発明でエタロン干渉計を用いた場合の微粒子
計測装置の概略構成を示す説明図である。
【図４】本発明でファブリ・ペロ干渉計を用いた場合の
微粒子計測装置の概略構成を示す説明図である。
【図５】水のレーリー散乱光成分とブリルアン散乱光成
分の概略スペクトルを表した線図である。
【図６】エタロンによる水バックグランド低減効果の説
明図である。
【符号の説明】
１ 光源部 ３ レーザー光源 ２０ サンプルセル １１、１２、１３、２１、２２、２３ 集光レンズ ３２ エタロン素子 ３４ マスク ４１ 光電子増倍管 ４２ 光電計測部 ４３ 演算部 ４４ 出力部 ５０ 制御部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 15/14 G01N 15/02

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 流体中の微粒子の散乱光を受光すること
    により、粒子径ないし粒子数を測定する装置において、 発光源からの光の照射により得た微粒子を含む流体から
    の散乱光から、粒子からの散乱光として発光源と同じ振
    動数を持つレーリー散乱光を抽出して、バックグランド
    に相当する散乱光として、ブリルアン散乱光を取り除く
    ことにより微粒子からの散乱光を分離して抽出する分離
    手段と、 抽出された散乱光成分の強度に基づき、流体中の微粒子
    径ないし粒子数を演算する演算手段とを有することを特
    徴とする微粒子計測装置。
  2. 【請求項２】 流体中の微粒子の散乱光を受光すること
    により、粒子径ないし粒子数を測定する装置において、
    発光源からの光の照射により得た微粒子を含む流体から
    の散乱光の内、微粒子からの散乱光を分光的に分離して
    抽出する分離手段として、高感度の分光器を備えた分離
    手段と、抽出された散乱光成分の強度に基づき、流体中
    の微粒子径ないし粒子数を演算する演算手段とを有する
    ことを特徴とする微粒子計測装置。
  3. 【請求項３】 流体中の微粒子の散乱光を受光すること
    により、粒子径ないし粒子数を測定する装置において、 発光源からの光の照射により得た微粒子を含む流体から
    の散乱光の内、微粒子からの散乱光を分光的に分離して
    抽出する分離手段として、高感度の分光器を備えた分離
    手段と、分光器の安定性を保つための調節・制御手段
    と、 抽出された散乱光成分の強度に基づき、流体中の微粒子
    径ないし粒子数を演算する演算手段とを有することを特
    徴とする微粒子計測装置。
  4. 【請求項４】 流体中の微粒子の散乱光を受光すること
    により、粒子径ないし粒子数を測定する装置において、 発光源からの光の照射により得た微粒子を含む流体から
    の散乱光の内、微粒子からの散乱光を集光する集光手段
    と、 集光した散乱光を結像して分離能力を高めるための結像
    手段と、 視野を制限する制限手段と、 散乱光を分光器へコリメートするコリメート手段と、微粒子を含む流体からの散乱光の内、微粒子からの散乱
    光を 分光的に分離して抽出する分離手段として、高感度
    の分光器を備えた分離手段と、分離した散乱光を集光す
    る集光手段と、 抽出された散乱光成分の強度に基づき、流体中の微粒子
    径ないし粒子数を演算する演算手段とを有することを特
    徴とする微粒子計測装置。
  5. 【請求項５】 流体中の微粒子の散乱光を受光すること
    により、粒子径ないし粒子数を測定する装置において、 発光源からの光の照射により得た微粒子を含む流体から
    の散乱光の内、微粒子からの散乱光を集光する集光手段
    と、 集光した散乱光を結像して分離能力を高めるための結像
    手段と、 視野を制限する制限手段と、 散乱光を分光器へコリメートするコリメート手段と、微粒子を含む流体からの散乱光の内、微粒子からの散乱
    光を 分光的に分離して抽出する分離手段として、高感度
    の分光器を備えた分離手段と、分離した散乱光を集光す
    る集光手段と、分光器の安定性を保つための調節・制御
    手段と、 抽出された散乱光成分の強度に基づき、流体中の微粒子
    径ないし粒子数を演算する演算手段とを有することを特
    徴とする微粒子計測装置。
  6. 【請求項６】 流体中の測定すべき粒子の散乱光を受光
    することにより粒子径ないし粒子数を測定する装置にお
    いて、 発光源の照射により、流体から散乱された光を分光する
    分光手段と、 前記の分光した光のうち、粒子で散乱された散乱光成分
    を分離して抽出するマスクと、 抽出された散乱光成分の強度に基づき、流体中の粒子径
    ないし粒子数を演算する演算手段とを有することを特徴
    とする微粒子計測装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102998240A (zh) * 2011-09-13 2013-03-27 索尼公司 微粒测量装置

Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2956653B2 (ja) * 1996-12-16 1999-10-04 日本電気株式会社 パーティクルモニター装置
US6100976A (en) * 1998-09-21 2000-08-08 The Board Of Regents For Oklahoma State University Method and apparatus for fiber optic multiple scattering suppression
US6539046B2 (en) * 1998-10-02 2003-03-25 Cymer, Inc. Wavemeter for gas discharge laser
USRE41457E1 (en) 1998-10-02 2010-07-27 Cymer, Inc. Wavemeter for gas discharge laser
US6747775B2 (en) * 2000-03-20 2004-06-08 Np Photonics, Inc. Detunable Fabry-Perot interferometer and an add/drop multiplexer using the same
EP1432972A1 (en) * 2001-09-07 2004-06-30 Inficon, Inc. Signal processing method for in-situ, scanned-beam particle monitoring
US7106447B2 (en) * 2002-03-01 2006-09-12 Michigan Aerospace Corporation Molecular optical air data systems (MOADS)
US7495774B2 (en) * 2002-03-01 2009-02-24 Michigan Aerospace Corporation Optical air data system
WO2007084175A1 (en) * 2005-05-04 2007-07-26 University Of Rochester Interferometric apparatus and method for sizing nanoparticles
US7653095B2 (en) * 2005-06-30 2010-01-26 Cymer, Inc. Active bandwidth control for a laser
US8255039B2 (en) * 2006-09-29 2012-08-28 Tearscience, Inc. Meibomian gland illuminating and imaging
US20090323061A1 (en) * 2006-02-28 2009-12-31 Lukas Novotny Multi-color hetereodyne interferometric apparatus and method for sizing nanoparticles
US7538874B2 (en) * 2006-03-23 2009-05-26 Hach Company Measurement of light from a predefined scatter angle from particulate matter in a media
US8249695B2 (en) 2006-09-29 2012-08-21 Tearscience, Inc. Meibomian gland imaging
US8192026B2 (en) * 2007-06-20 2012-06-05 Tearscience, Inc. Tear film measurement
US7758190B2 (en) * 2007-06-20 2010-07-20 Tearscience, Inc. Tear film measurement
EP2243009B1 (en) 2008-02-12 2018-10-10 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Color detector
EP2243011A4 (en) 2008-02-13 2013-12-18 Hewlett Packard Co COLOR DETECTOR HAVING ZONE-SIZED PHOTODETECTORS
EP2413699B1 (en) * 2009-04-01 2019-11-20 Tearscience, Inc. Ocular surface interferometry (osi) apparatus for imaging an ocular tear film
US9888839B2 (en) 2009-04-01 2018-02-13 Tearscience, Inc. Methods and apparatuses for determining contact lens intolerance in contact lens wearer patients based on dry eye tear film characteristic analysis and dry eye symptoms
US8888286B2 (en) 2009-04-01 2014-11-18 Tearscience, Inc. Full-eye illumination ocular surface imaging of an ocular tear film for determining tear film thickness and/or providing ocular topography
US8915592B2 (en) 2009-04-01 2014-12-23 Tearscience, Inc. Apparatuses and methods of ocular surface interferometry (OSI) employing polarization and subtraction for imaging, processing, and/or displaying an ocular tear film
US9642520B2 (en) 2009-04-01 2017-05-09 Tearscience, Inc. Background reduction apparatuses and methods of ocular surface interferometry (OSI) employing polarization for imaging, processing, and/or displaying an ocular tear film
US8797550B2 (en) 2009-04-21 2014-08-05 Michigan Aerospace Corporation Atmospheric measurement system
EP2430392B1 (en) * 2009-05-15 2015-07-22 Michigan Aerospace Corporation Range imaging lidar
US9091151B2 (en) 2009-11-19 2015-07-28 Halliburton Energy Services, Inc. Downhole optical radiometry tool
CA2756285C (en) 2009-12-23 2014-01-07 Halliburton Energy Services, Inc. Interferometry-based downhole analysis tool
GB201003704D0 (en) * 2010-03-05 2010-04-21 Pcme Ltd Apparatus and method for monitoring particles in a stack
WO2011119721A2 (en) * 2010-03-23 2011-09-29 Ophir-Photon Llc Beam scattering laser monitor
GB2493652B (en) 2010-06-01 2018-07-04 Halliburton Energy Services Inc Spectroscopic nanosensor logging systems and methods
EP2583297A4 (en) 2010-06-16 2013-10-02 Halliburton Energy Serv Inc BOREHOLE SOURCES WITH ADVANCED IR EMISSION
US9339177B2 (en) 2012-12-21 2016-05-17 Tearscience, Inc. Full-eye illumination ocular surface imaging of an ocular tear film for determining tear film thickness and/or providing ocular topography
CN108670190A (zh) 2013-05-03 2018-10-19 眼泪科学公司 用于对睑板腺进行成像以供睑板腺分析的眼睑照明系统和方法
CN103398925B (zh) * 2013-08-05 2015-09-09 中国科学技术大学 一种利用双光谱成像进行雾场粒径平面分布测量的装置
US9795290B2 (en) 2013-11-15 2017-10-24 Tearscience, Inc. Ocular tear film peak detection and stabilization detection systems and methods for determining tear film layer characteristics
US10190961B2 (en) * 2016-03-18 2019-01-29 Shenzhen Mindray Bio-Medical Electronics Co., Ltd. Sample analyzer and sample analyzing method thereof
EP4050322B1 (en) * 2016-08-04 2024-05-29 Malvern Panalytical Limited Method of characterising particles suspended in a fluid dispersant by light diffraction, processor and machine-readable, non-transient storage medium
WO2018056950A1 (en) * 2016-09-20 2018-03-29 Halliburton Energy Services, Inc. Determining timing for lubricating fluid change
JP6897437B2 (ja) * 2017-09-05 2021-06-30 株式会社島津製作所 分光光度計
CN110823786A (zh) 2019-11-19 2020-02-21 江苏苏净集团有限公司 一种液体中微小颗粒的检测装置和方法
CN112924024A (zh) * 2021-03-12 2021-06-08 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种新型高能激光光束质量测量装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3909132A (en) * 1974-06-11 1975-09-30 Allied Chem Spectroscopic temperature measurement
US4071298A (en) * 1974-06-27 1978-01-31 Stanford Research Institute Laser Raman/fluorescent device for analyzing airborne particles
JPS5127351A (ja) * 1974-08-31 1976-03-06 Nippon Kogaku Kk
US4195931A (en) * 1978-05-18 1980-04-01 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Clear air turbulence detector
SU953892A1 (ru) * 1981-02-23 1984-11-23 Предприятие П/Я В-2539 Устройство дл измерени поперечной скорости вращени плазменного шнура
US4798465B2 (en) * 1986-04-14 1994-08-30 Particle Measuring Syst Particle size detection device having high sensitivity in high molecular scattering environment
US4830494A (en) * 1986-07-10 1989-05-16 Kowa Company Ltd. Method and apparatus for measuring particles in a fluid
US5262644A (en) * 1990-06-29 1993-11-16 Southwest Research Institute Remote spectroscopy for raman and brillouin scattering
US5041779A (en) * 1990-08-17 1991-08-20 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Nonintrusive electro-optic field sensor
IT1249939B (it) * 1991-06-28 1995-03-30 Cselt Centro Studi Lab Telecom Sistema di spettroscopia ad alta risoluzione.

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102998240A (zh) * 2011-09-13 2013-03-27 索尼公司 微粒测量装置
CN102998240B (zh) * 2011-09-13 2017-10-31 索尼公司 微粒测量装置

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