JP3316449B2 - 混成集積回路装置およびその製造方法 - Google Patents
混成集積回路装置およびその製造方法Info
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Description
関し、特に固化時間が短い熱可塑性樹脂を採用した混成
集積回路装置およびその製造方法に関するものである。
れる封止方法は、主に2種類の方法がある。1つは、半
導体素子等の回路素子が実装された混成集積回路基板の
上に蓋をかぶせるような形状の手段、一般にはケース材
と呼ばれているものを採用して封止しているものがあ
る。この構造は、中空構造やこの中に別途樹脂が注入さ
れているものがある。
て有名なトランスファーモールドである。このトランス
ファーモールドは、一般に熱硬化性樹脂を採用し、金型
を約180度まで上昇させ、この温度を維持して硬化
(以下熱で反応して重合し固化する現象を指す。)さ
せ、その後金型から取り出し封止体としている。ここで
この実装に使用される半田は、一般に高温半田であり、
半田溶融の問題はない。
材を使った封止構造は、ケース材と中の素子が接触しな
いように基板にマージンを取ったりして外形サイズが大
きくなる問題があった。
説明からも判るとおり、熱を加えながら硬化させるため
に、この工程に長い時間が必要となり、生産性を向上さ
せることができない問題があった。
ない熱可塑性樹脂に着目した。これは硬化反応をせず、
熱を加えることで溶融し、冷やせば固化(以下反応せず
に固まる現象を指す。)するものである。従ってモール
ドした後、冷やせば固化し、短時間で封止が実現でき
る。しかし熱可塑性樹脂を例えばインジェクションモー
ルドで封止する場合、注入温度が約300度と高く、半
田が溶けて、混成集積回路基板に実装された回路素子の
電気的接続に不良を発生する問題があった。
電パターンの下の絶縁樹脂の劣化を考えると、低融点半
田が好ましい。そこで本発明は、180度〜250度程
度の半田を採用することを前提に以下述べてゆく。
に鑑み成されたもので、第1に、熱可塑性樹脂でモール
ドするもので、注入温度により生ずる熱を外部へ放出し
たり、またヒートシンクとして溜めて、基板表面温度の
上昇を抑制する金属基板や熱伝導性の優れた基板を採用
することで解決するものである。
て電気的に接続される部分に熱保護用として保護樹脂を
ポッティングすることで解決するものである。
するものである。本来、熱保護用として熱可塑性樹脂を
採用すると、熱可塑性樹脂自身が接着性が悪いため、基
板の反り等で熱可塑性樹脂と金属細線がスリップし、結
局断線に至る。しかし接着性の良い樹脂、例えばエポキ
シ樹脂を採用すれば、このスリップを防止できる。
熱膨張係数とほぼ同等とすることで解決するものであ
る。
実質全面に塗布し、この保護樹脂を覆うように前記熱可
塑性樹脂で封止することで解決するものである。
た混成集積回路基板を熱可塑性樹脂でモールドする際、
この熱可塑性樹脂の注入温度を放熱または蓄熱させるた
めに、混成集積回路基板として金属基板を採用する事で
解決するものであり、これにより半田の溶融を防止する
事ができる。
性樹脂を、前記混成集積回路基板の横長方向に沿って注
入し、横長の方向に沿った反りを防止している。
部材の露出部が溶融して一体化するように熱可塑性樹脂
で封止することで解決するものである。
度に達すると溶け、冷えると固化する材質であるため、
予め金型に配置された熱可塑性樹脂より成る第1の支持
部材は、注入される熱可塑性樹脂の熱を受けて溶け、一
体化される。従って混成集積回路基板は、第1の支持部
材と注入される熱可塑性樹脂で一体モールドされ、基板
裏面を覆うことができ、耐電圧特性および耐湿性を向上
させることができる。
は少なくとも相対向する側辺にストッパーを有した熱可
塑性樹脂より成る第1の支持部材と、前記溝またはスト
ッパーに係止され、表面に設けられた導電パターンと電
気的に接続された半導体素子および/または受動素子を
有する混成集積回路基板と、前記混成集積回路基板を実
質密封するように、前記第1の支持部材との当接部が金
型モールド時に溶融して一体化された熱可塑性樹脂より
成る封止部材とを有することで解決するものである。
樹脂では、約50〜200Kg/cm2に及ぶが、スト
ッパーを有するため、この射出圧力による混成集積回路
基板のズレを防止できる。
素子は、前記導電パターンと半田で接続され、前記半田
が設けられた表面に、絶縁性の樹脂を塗布することで解
決するものである。
00度と非常に高いが、半田の部分に樹脂を塗布するこ
とで、直接溶融された樹脂の熱が伝わらず、半田の溶融
を防止できる。
て接続される外部リードを有し、前記半田が設けられた
部分には前記絶縁性の樹脂を省略することで解決するも
のである。
と成り、半田温度の上昇を抑制するため、省略ができ、
工程を簡略できる。
素子を電気的に接続した半田の露出部および/または前
記金属細線をエポキシ樹脂で覆い、その後強化繊維の混
入された前記熱可塑性樹脂を、前記混成集積回路基板の
横長方向に沿って注入する事で解決するもので、エポキ
シ樹脂で注入樹脂の熱が直接半田に伝達するのを防止住
め事で、半田の溶融を防止し、接着性でワイヤのスリッ
プを防止し、強化繊維を横長の方向に沿って配列させる
ことで基板の反りを防止し、更に金属細線の断線を防止
するものである。
係る混成集積回路装置を図1を参照しながら説明する。
1として、ここでは金属基板やこの金属基板の熱伝導性
に近い絶縁基板を採用している。理由の詳細は後述する
が、本発明で採用する熱可塑性樹脂2の注入温度が高い
ために、封止工程で基板温度が上昇するが、例えば金属
基板を採用すれば、外部への熱伝達が優れ、またヒート
シンクとして作用するため、混成集積回路基板1上の温
度上昇を抑制し半田3、4の溶融を防止できる。
は導電性の優れた金属より成る化合物等が考えられる
が、ここではAl基板を採用して説明してゆく。
化物が生成され、その上に更に絶縁性の優れた樹脂5が
全面に被着されている。但し耐圧を考慮しなければ、こ
の金属酸化物は省略しても良い。
る導電パターン6、7が形成され、トランジスタやIC
等の能動素子8、チップ抵抗、チップコンデンサ等の受
動素子9が半田を介して実装され、所定の回路が実現さ
れている。ここで一部半田を採用せず、銀ペースト等で
電気的に接続されても良い。また前記半導体素子8がフ
ェイスアップで実装される場合は、ボンデイングにより
金属細線10を介して接続されている。更には、外部リ
ード11が半田4を介して接続されており封止樹脂2か
ら外部に導出されている。
インジェクション成形で実現され、樹脂の注入温度が約
300度と非常に高く、半田で実装された回路素子を有
する混成集積回路基板1を金型にインサートして一体成
形する場合、高温の樹脂により半田が溶けて素子の半田
不良が発生する問題がある。特に樹脂ベースのプリント
基板等の熱伝導率の低い材料は顕著である。しかし本願
では、熱伝導率が高い材料を使用するため、熱放出が優
れ、且つ基板がヒートシンクとして働くために、基板表
面の温度上昇を抑制しこれらの問題を無くすことができ
る。ここで熱可塑性樹脂として採用したものは、PPS
(ポリフェニルサルファイド)と呼ばれるものである。
またAl基板は、1.5ミリ厚のものを採用した。金型
温度は、トランスファーモールドの金型温度よりかなり
低く、約150度またはそれ以下であり、この金型に3
00度の液状樹脂を注入し、低い温度の金型により素早
く冷却固化される。このサイクルは、およそ10〜20
秒程度で、トランスファーモールドのサイクル(30〜
180秒)から比べれば大幅に短縮が可能である。
1を熱可塑性樹脂2で成形する場合、予め半田の接合部
3、4、ボンデイングワイヤーとベアチップを熱硬化性
樹脂(例えばエポキし樹脂)Pでポッティングすると良
い。またこの熱硬化性樹脂は、混成集積回路基板の熱膨
張係数と同等のものが好ましい。
型時、注入樹脂圧により、特に細線(100μm以下)
ワイヤーが倒れるのを防止したり、断線を防止する効果
を有する。また熱可塑性樹脂は、成形後混成集積回路基
板に密着しているだけであり、基板と反応して接着して
いない。そのため熱可塑性樹脂が直接回路素子と接触し
ていると、冷熱衝撃で、熱可塑性樹脂と実装部品、混成
集積回路基板と熱可塑性樹脂の熱膨張係数のミスマッチ
により、半田接続部、細線および太線も含めたワイヤー
接続部に応力が発生し、断線等が発生するが、このポッ
ティング樹脂によりこれらの問題を解決することができ
る。またポッティング樹脂Pは熱硬化型のエポキシ樹脂
が好ましく、熱可塑性樹脂は好ましくない。前述したよ
うに、熱可塑性樹脂は、機械的結合により密着している
だけであり、被封止材料とは化学結合していない。例え
ば熱衝撃で、基板が反りワイヤーが引っ張られると、ワ
イヤは被封止材料と反応していないためスリップし破断
に至る。しかしエポキシ樹脂のような被封止材料と化学
結合反応するものは、ワイヤ、基板、絶縁樹脂と反応し
て接着されているため、ワイヤがエポキシ樹脂の中でス
リップしない。更には成型時、熱可塑性樹脂が直接半田
と接触しないため、半田の部分の温度上昇を抑制するこ
とができる。
田接続部は、ヒートサイクルの結果、樹脂をポッティン
グしなくとも不良が発生しないことが判っている。これ
は、外部リードが熱を外部へ伝えるため半田が溶けな
い、Aの部分で樹脂がL状にかみ合っているため樹脂と
基板のズレが少ない、外部リードが樹脂の剥離を押さえ
ている効果(アンカー効果)が有る為であると考えられ
る。つまり部分的にポッティングする場合は、この現象
からリードの部分のポッティングを省略しても良い。し
かし図4のように全面に樹脂を塗布する場合は、作業性
から見てこの省略は考えなくても良い。
液状の樹脂に入れ、これをインジェクション封止する場
合は、ゲートの注入方向が重要となる。つまり図15の
ように左右に細長い場合、下の図のように短辺(右と左
の短辺)にゲートを設け、矢印の方向に注入する必要が
ある。上の図のように長辺に対して垂直に繊維が並ぶ
と、樹脂の収縮は大きく、長辺に対して平行に並べば、
樹脂の収縮は小さくなる。特に熱可塑性樹脂の場合、注
入温度が高いため、下の図のような注入方法で基板や装
置の反りを有効に防止できる。これは、本実施例全てに
言えることである。
封止形態を説明するもので、図2は、熱可塑性樹脂の基
板からの剥がれを防止し、基板を放熱板として活用させ
るために、基板裏面周囲まで延在させたものであり、図
3は、混成集積回路基板と外部シャーシー等の実装体と
の短絡を考えて裏面全面にまで封止を行ったものであ
る。更に図4は、混成集積回路基板をハーフプレス加工
し、凹み部Bを形成し、ポッティング樹脂の基板外への
流出を防止し、凹での熱可塑性樹脂の食い込みを図った
ものである。
着目点を簡単に整理すると、 射出成型時間 トランスファモールドで用いるエポキシ樹脂は、金型の
中で熱硬化反応する間放置する必要があるが、熱可塑性
樹脂は、たんに樹脂を冷やせばよく、成型時間の短縮が
できる。文献では、エポキシの1サイクルが30〜18
0秒に対して、PPSの熱可塑性樹脂では10〜20秒
である。
れば再利用でき、ランナー等にある樹脂を回収、再利用
することで収率を向上できる。従ってリサイクルも可能
である。
290〜320度である。
50度である。
コストの大幅な低減ができる。
ド):熱可塑性樹脂の一つ この樹脂は、親水基が無いため吸水率はエポキシ樹脂の
半分であるが、リードや素子との密着性は、エポキシ樹
脂から比べると劣る。
面に樹脂を回り込ませる必要があるために、基板裏面と
金型の間に隙間を設けなくてはならない。しかし射出圧
力により基板が反る問題がある。実験によれば、基板裏
面に1mmの樹脂を被覆するためにピンを設けると、
1.5mmのAl基板が簡単に反ってしまった。そのた
め、図7、図8の如く第1の支持部材12を予め成型し
ておき、図6や図9の如くこの上に混成集積回路基板1
を載置し、この混成集積回路基板1が載置された第1の
支持部材12を図10の如く金型に配置し、再度熱可塑
性樹脂2でモールドした。注入された高熱の熱可塑性樹
脂2は、第1の支持部材12と当たり、当たった部分
は、その表面が溶け出す。従って基板裏面を覆ったフル
モールドが可能となる。
集積回路装置について図5および図6を参照しながら説
明する。
路基板1が組み込まれたものを示している。そして図5
は、この図6のものを金型に配置し、熱可塑性樹脂でモ
ールドしたものを示す。混成集積回路基板は、セラミッ
ク、金属、プリント基板、ガラス基板またはフレキシブ
ルシート等が考えられるが、ここでは金属基板としてア
ルミニウム基板を用いて説明する。
では金属基板やこの金属基板の熱伝導性に近い絶縁基板
を採用している。理由の詳細は後述するが、本発明で採
用する熱可塑性樹脂2の注入温度が高いために、金型内
で基板温度が上昇するが、例えば金属基板を採用すれ
ば、ヒートシンクとして作用するため、混成集積回路基
板1上の温度上昇を抑制し半田3、4の溶融を防止でき
る。
Alまたは導電性の優れた金属より成る化合物やセラミ
ック基板等が考えられる。
化物が生成され、その上に更に絶縁性の優れた樹脂5が
全面に被着されている。但し耐圧を考慮しなければ、こ
の陽極酸化物は省略しても良い。
る導電パターン6、7が形成され、トランジスタやIC
等の能動素子8(ここではベアチップ)、チップ抵抗、
チップコンデンサ等の受動素子9が半田を介して実装さ
れ、所定の回路が実現されている。ここで一部半田を採
用せず、銀ペースト等で電気的に接続されても良い。ま
た前記半導体素子8がフェイスアップで実装される場合
は、ボンデイングにより金属細線10を介して接続され
ている。更には、外部リード11が半田4を介して接続
されており封止樹脂2から外部に導出されている。ただ
しICカード等に採用する場合、外部リードは省略され
る。
インジェクション成型で実現され、樹脂の注入温度が約
300度と非常に高く、半田で実装された回路素子を有
する混成集積回路基板1を金型にインサートして一体成
形する場合、注入された高温の樹脂により半田が溶けて
素子の半田不良が発生する問題がある。特に樹脂ベース
のプリント基板等の熱伝導率の低い材料は顕著である。
しかし本願では、熱伝導率が高い材料を使用するため、
基板1がヒートシンクとして働くために、基板表面の温
度上昇を抑制しこれらの問題を無くすことができる。こ
こで熱可塑性樹脂として採用したものは、PPS(ポリ
フェニルサルファイド)と呼ばれるものである。またA
l基板は、1.5ミリ厚のものを採用した。金型温度
は、トランスファーモールドの金型温度よりかなり低
く、約130度またはそれ以下であり、この金型に30
0度の液状樹脂を注入し、低い温度の金型により素早く
冷却固化される。このサイクルは、およそ10〜20秒
程度で、トランスファーモールドのサイクル(30〜1
80秒)から比べれば大幅に短縮が可能である。
1を熱可塑性樹脂2で成形する場合、予め半田の接合部
3、4、ボンデイングワイヤーとベアチップを熱硬化性
樹脂13(例えばエポキし樹脂)でポッティングすると
良い。更にこの熱硬化性樹脂は、混成集積回路基板の熱
膨張係数と同等のものが好ましい。
成型時、注入樹脂圧により、特に金属細線(100μm
以下)が倒れたり、断線したりするのを防止する効果が
ある。また熱可塑性樹脂2は、成型後混成集積回路基板
1に密着しているだけであり、基板と反応して接着して
いない。そのため熱可塑性樹脂2が直接回路素子と接触
していると、冷熱衝撃で、熱可塑性樹脂2と実装部品
8、9、混成集積回路基板1 と熱可塑性樹脂2の熱膨
張係数のミスマッチにより、半田接続部、細線および太
線も含めたワイヤー接続部に応力が発生し、断線等が発
生するが、このポッティング樹脂13によりこれらの問
題を解決することができる。またポッティング樹脂Pは
熱硬化型のエポキシ樹脂が好ましく、熱可塑性樹脂は好
ましくない。前述したように、熱可塑性樹脂は、密着し
ているだけであり、被封止材料とは反応していない。例
えば熱衝撃で、基板が反りワイヤーが引っ張られると、
ワイヤは被封止材料と反応せず接着していないためスリ
ップし破断に至る。しかしエポキシ樹脂のような被封止
材料と反応するものは、ワイヤと化学結合反応して接着
されているため、ワイヤがエポキシ樹脂の中でスリップ
しない。
しないため、半田の部分の温度上昇を抑制することがで
きる。前述したように金属基板を採用した際は、ヒート
シンクとしての作用があるが、更に半田の上に樹脂が被
覆されていれば、半田の溶融は更に確実に防ぐことがで
きる。また導電性の劣るプリント基板、セラミック基板
等では、半田の上に樹脂を被覆し、この樹脂の厚みの調
整、樹脂注入温度の調整によりやはり半田の溶融を防止
することができ、基本的に全ての考えられる基板を採用
し熱可塑性樹脂をインジェクションモールドできる。
付けられた外部リード11の半田接続部は、ヒートサイ
クルの結果、樹脂をポッティングしなくとも不良が発生
しないことが判っている。これは、外部リードが熱を外
部へ伝えるため半田が溶けない、Aの部分で樹脂がL状
にかみ合っているため樹脂と基板のズレが少ない、外部
リードが樹脂の剥離を押さえている(アンカー効果)が
有る為であると考えられる。つまり部分的にポッティン
グする場合は、この現象からリードの部分のポッティン
グを省略しても良い。しかし全面に樹脂を塗布する場合
は、作業性から見てこの省略は考えなくても良い。
周囲に段差14を設けたが、これは注入された熱可塑性
樹脂との接着性を向上させるものである。
るが、図7および図8は、第1の支持部材20を表側と
裏側から見た図面であり、図9は、図6と同様に、この
第1の支持部材に混成集積回路基板21を実装した際の
図面である。
木のケースの様なもので、底面22を除いた側面は、後
述する金型により熱可塑性樹脂を注入する際に、樹脂が
底面まで回り込めるように、部分的に切除領域23が設
けられている。
面を構成しても良いし、前記切除領域23を有する側面
25で四つの側面を構成しても良い。そのため2種類の
側面24、25を図示した。
集積回路基板21の側面と当接し、ガタが無いような寸
法精度となっている。
ッパーの一手段にすぎず、混成集積回路基板を第1の支
持部材20に取り付けられれば、何でも良い。しかし樹
脂の射出圧力が高いため、混成集積回路基板が第1の支
持部材20からはずれないように設計する必要がある。
また後述するが表面27(Sで示す)は、金型と当接して
いる。また側面25は、あたかも四角形の板に厚みEの
板が付いているような形を取っている。つまり、ここの
切除領域23に、間隔Eの隙間を有するため、図8の段
差部28に樹脂が回り込むようになっている。
が設けられることで、注入される樹脂との接着性が向上
するが、この第1の支持部材20が熱可塑性樹脂ででき
ているため、金型に取り付け樹脂注入をすると、ここの
段差部に隙間があるため変形してしまう問題が発生し
た。従って、裏面29と同一平面を有する突起部、つま
り反り防止手段30が取り付けられている。この反り防
止手段30は、段差部全周に渡り設けられている。サイ
ズ、形状および個数等は、混成集積回路装置のサイズ、
射出圧力等が考慮されて決定され、この限りではない。
積回路基板21を取り付けた状態を示し、符号31は、
半田の溶融防止、金属細線の切断や曲げ防止用のポッテ
ィング樹脂である。
板21が取り付けられた第1の支持部材20が金型4
0、41に取り付けられた時の状態を説明する。図10
は、第1の支持部材の側面24、25の表面Sが金型と
面接触しているものを示し、図11は、金型と実質線接
触しているものを示している。強度的には、面の方が強
いため、波線で示したように、線接触する部分が面取り
され、台形の断面図のようになっていても良い。更には
点接触でも良い。また特に図11は、耐湿性を考慮した
形となっている。注入口(ゲート:G)から入った熱可
塑性樹脂は、第1の支持部材20のP2で傾斜を有して
接触する。つまり湿気のパスP1がP2と長くなるた
め、耐湿性の向上が図れる。ここでゲートを示す×の入
った○印は、紙面の裏から表へ樹脂が流れることを示
す。
面に実質半円球の突出体を形成し、点接触の形を取って
も良い。この場合、別途熱可塑性樹脂を注入し、図5の
ようにモールドした場合、金型との接触が点となるた
め、面や線接触よりも更に露出度が小さくなる。
に取り付け、樹脂注入して一体成型したときの全体図で
ある。図12は、×でハッチングした所にネジが取り付
けられるように縁43が形成されている。また一点鎖線
で示すところは第1の支持部材の裏面が露出している部
分を示している。また図13は、縁を省略した部分であ
り、一点鎖線はやはり裏面の露出部を示している。
A線から見た図面である。符号20が第1の支持部材、
44が混成集積回路基板、45が外部リード、46がポ
ッティング樹脂、47は、縁43が形成される空間であ
る。また3点鎖線で示す部分は、図11のP2で説明し
たのと同様に、角部をカットして耐湿性を向上させても
良い事を示している。
にも言えることであるが、第1の支持部材には、注入樹
脂2による基板の温度上昇を考慮して、熱伝導性を向上
させるフィラーが混入されても良い。例えばここではア
ルミナ、Si等が混入されている。またこの第1の支持
部材を混成集積回路基板と金型で一緒に一体成型しよう
とすると、熱伝導性が優れ成型時に熱が金型に吸収さ
れ、基板裏面全体に回らない問題もある。従って第1の
支持部材を予め用意しておくことが重要である。また注
入樹脂2は、この問題もあり、逆に高熱伝導のフィラー
が混入されない熱可塑性樹脂が使われる。注入樹脂2の
熱が金型により奪われ、混成集積回路基板の途中で固化
してしまうからである。この成型方法であれば、第1の
支持部材は、熱伝導性重視で樹脂を選定し、注入樹脂は
成形性重視で選択できる。
放出したり、またヒートシンクとして熱を溜めて、基板
表面温度の上昇を抑制する金属基板や熱伝導性の優れた
基板を採用することで、成形工程の短い熱可塑性樹脂の
採用が可能となった。
て電気的に接続される部分に熱保護用として保護樹脂を
ポッティングすることで、注入温度の高い熱可塑性樹脂
を採用しても、混成集積回路基板の実装不良を抑制させ
ることができる。
熱膨張係数とほぼ同等とすることで、熱膨張係数のミス
マッチが無くなり実装不良を減少させることができる。
実質全面に塗布し、この保護樹脂を覆うように前記熱可
塑性樹脂で封止すれば、部分的ポッティングから比べ作
業性を向上させることができる。
た混成集積回路基板を熱可塑性樹脂でモールドする際、
この熱可塑性樹脂の注入温度を放熱または蓄熱させるた
めに、混成集積回路基板として金属基板を採用する事で
解決するものであり、これにより半田の溶融を防止する
事ができる。第6に、前記第1の支持部材の露出部が溶
融して一体化された熱可塑性樹脂より成る封止部材とを
有することで、混成集積回路基板は、第1の支持部材と
注入される熱可塑性樹脂で一体モールドされ、混成集積
回路基板裏面が露出しないため、耐電圧特性および耐湿
性が向上する。
は少なくとも相対向する側辺にストッパーを有した熱可
塑性樹脂より成る第1の支持部材を有するため、射出圧
力が高くても混成集積回路基板のズレを防止できる。
子は、前記導電パターンと半田で接続され、前記半田が
設けられた表面に、絶縁性の樹脂を塗布することで、半
田の溶融や金属細線の破断、断線、曲げ等を防止でき
る。
た部分には前記絶縁性の樹脂を省略することができ、工
程を簡略できる。
置の断面図である。
装置の断面図である。
係を説明する図である。
る。
る。
り付けた状態を説明する斜視図である。
ある。
である。
質的向きを説明する図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 短辺と長辺の四角形状の熱伝導性の良好
な材料より成る混成集積回路基板にその表面に形成した
導電パターンに回路素子を電気的に接続され、前記回路
素子を電気的に接続した半田の露出部および金属細線を
エポキシ樹脂で覆い、該エポキシ樹脂を熱可塑性樹脂で
モールドする混成集積回路装置の製造方法において、 前記熱可塑性樹脂には強化繊維が混入され、前記熱可塑
性樹脂を前記混成集積回路基板の前記短辺に設けたゲー
トから注入し、前記強化繊維の並び方向を前記混成集積
回路基板の前記長辺に平行方向に揃えて前記混成集積回
路基板の反りを防止することを特徴とする混成集積回路
装置の製造方法。 - 【請求項2】 前記熱伝導性の良好な材料として金属、
セラミック、プリント基板、ガラス基板あるいはフレキ
シブルシートのいずれかを用いることを特徴とする請求
項1に記載の混成集積回路装置の製造方法。
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- 1998-05-28 JP JP14738698A patent/JP3316449B2/ja not_active Expired - Fee Related
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