JP3316073B2 - 水晶振動子を用いた膜厚モニター - Google Patents
水晶振動子を用いた膜厚モニターInfo
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- JP3316073B2 JP3316073B2 JP02000994A JP2000994A JP3316073B2 JP 3316073 B2 JP3316073 B2 JP 3316073B2 JP 02000994 A JP02000994 A JP 02000994A JP 2000994 A JP2000994 A JP 2000994A JP 3316073 B2 JP3316073 B2 JP 3316073B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- film thickness
- attached
- electrodes
- quartz oscillator
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は水晶振動子を用いた膜
厚モニターに関するものである。
厚モニターに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の水晶振動子を用いた膜厚モニター
は水晶振動子の両面に電極をそれぞれ取り付け、これら
の電極間に水晶振動子が共振する周波数の電圧を印加し
て、水晶振動子を共振させるものである。
は水晶振動子の両面に電極をそれぞれ取り付け、これら
の電極間に水晶振動子が共振する周波数の電圧を印加し
て、水晶振動子を共振させるものである。
【０００３】このような水晶振動子を用いた膜厚モニタ
ーにおいては、水晶振動子に取り付けた電極にある物質
が付着すると、その付着した物質の重さによって、共振
の振動数が減少するので、振動数の減少とその微分とか
ら、膜厚および蒸着速度を計測していた。
ーにおいては、水晶振動子に取り付けた電極にある物質
が付着すると、その付着した物質の重さによって、共振
の振動数が減少するので、振動数の減少とその微分とか
ら、膜厚および蒸着速度を計測していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の水晶振動子を用
いた膜厚モニターは、上記のように水晶振動子に取り付
けた電極に付着した物質の重さによって変化する振動数
の減少とその微分とから、膜厚および蒸着速度を計測し
ているが、周波数が２０％程度減少すると、水晶振動子
が寿命に達するため、新しい水晶振動子に交換しなけれ
ば、計測が出来なくなる等の問題をもっていた。
いた膜厚モニターは、上記のように水晶振動子に取り付
けた電極に付着した物質の重さによって変化する振動数
の減少とその微分とから、膜厚および蒸着速度を計測し
ているが、周波数が２０％程度減少すると、水晶振動子
が寿命に達するため、新しい水晶振動子に交換しなけれ
ば、計測が出来なくなる等の問題をもっていた。
【０００５】この発明の目的は、従来の問題を解決し
て、新しい水晶振動子に交換することなく、既存の水晶
振動子を再生して使用することの可能な水晶振動子を用
いた膜厚モニターを提供することである。
て、新しい水晶振動子に交換することなく、既存の水晶
振動子を再生して使用することの可能な水晶振動子を用
いた膜厚モニターを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、水晶振動子の両面に電極をそれぞれ取
り付け、これらの電極間に水晶振動子が共振する周波数
の電圧を印加して、水晶振動子を共振させる水晶振動子
を用いた膜厚モニターにおいて、上記水晶振動子の両面
に取り付けた電極のうち付着物の付着する方の電極の近
傍に別の電極を配設し、付着物の付着する方の電極と別
の電極との間に直流または交流電圧を印加するととも
に、これらの電極間に酸素、窒素、水やこれらの混合ガ
スを導入して、放電を起こし、付着物の付着した電極上
の付着物をスパッタエッチングして除去することを特徴
とするものである。
に、この発明は、水晶振動子の両面に電極をそれぞれ取
り付け、これらの電極間に水晶振動子が共振する周波数
の電圧を印加して、水晶振動子を共振させる水晶振動子
を用いた膜厚モニターにおいて、上記水晶振動子の両面
に取り付けた電極のうち付着物の付着する方の電極の近
傍に別の電極を配設し、付着物の付着する方の電極と別
の電極との間に直流または交流電圧を印加するととも
に、これらの電極間に酸素、窒素、水やこれらの混合ガ
スを導入して、放電を起こし、付着物の付着した電極上
の付着物をスパッタエッチングして除去することを特徴
とするものである。
【０００７】
【作用】この発明においては、上記のように付着物の付
着する方の電極と別の電極との間の放電により、付着物
の付着した電極上の付着物がスパッタエッチングして除
去されるため、水晶振動子を再生して使用することが可
能になる。
着する方の電極と別の電極との間の放電により、付着物
の付着した電極上の付着物がスパッタエッチングして除
去されるため、水晶振動子を再生して使用することが可
能になる。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。この発明の実施例の水晶振動子を用
いた膜厚モニターは図１に示されており、同図におい
て、水晶振動子１の両面には電極２ａ、２ｂがそれぞれ
取り付けられ、また、これらの電極２ａ、２ｂ間にはオ
シレーター３より電圧が印加され、水晶振動子１が共振
するようになっている。水晶振動子１と電極２ａ、２ｂ
とは収納ケース４内に収納されているが、収納ケース４
の電極２ａ側は開口し、電極２ａの表面に付着物５が付
着できるようになっている。収納ケース４の開口の存在
する側には絶縁ガイシ６を介して筒状の電極７が設けら
れ、その筒状の電極７の側面にはガス導入口８が設けら
れ、ガス導入口８より酸素、窒素、水やこれらの混合ガ
スが電極２ａと筒状の電極７との間に導入されるように
なっている。電極２ａと筒状の電極７との間にはＲＦ電
源９が接続され、電極２ａと筒状の電極７との間で放電
が起きるようになっている。なお、図中、１０はコント
ローラである。
しながら説明する。この発明の実施例の水晶振動子を用
いた膜厚モニターは図１に示されており、同図におい
て、水晶振動子１の両面には電極２ａ、２ｂがそれぞれ
取り付けられ、また、これらの電極２ａ、２ｂ間にはオ
シレーター３より電圧が印加され、水晶振動子１が共振
するようになっている。水晶振動子１と電極２ａ、２ｂ
とは収納ケース４内に収納されているが、収納ケース４
の電極２ａ側は開口し、電極２ａの表面に付着物５が付
着できるようになっている。収納ケース４の開口の存在
する側には絶縁ガイシ６を介して筒状の電極７が設けら
れ、その筒状の電極７の側面にはガス導入口８が設けら
れ、ガス導入口８より酸素、窒素、水やこれらの混合ガ
スが電極２ａと筒状の電極７との間に導入されるように
なっている。電極２ａと筒状の電極７との間にはＲＦ電
源９が接続され、電極２ａと筒状の電極７との間で放電
が起きるようになっている。なお、図中、１０はコント
ローラである。
【０００９】このような実施例においては、蒸発物質が
筒状の電極７内を通過して、電極２ａ上に付着物５とし
て付着するようになる。そのため、共振中の水晶振動子
１が付着物５の重さによって共振の振動数が減少するよ
うになり、最後は膜厚および蒸着速度の計測を困難にす
る。
筒状の電極７内を通過して、電極２ａ上に付着物５とし
て付着するようになる。そのため、共振中の水晶振動子
１が付着物５の重さによって共振の振動数が減少するよ
うになり、最後は膜厚および蒸着速度の計測を困難にす
る。
【００１０】しかしながら、膜厚および蒸着速度の計測
が困難になったとき、水晶振動子１の共振を停止させ、
電極２ａと筒状の電極７との間にＲＦ電源９を印加させ
るとともに、ガス導入口８より酸素、窒素、水やこれら
の混合ガスを電極２ａと筒状の電極７との間に導入させ
ると、電極２ａと筒状の電極７との間で放電が起き、電
極２ａ上に付着した付着物５がスパッタエッチングさ
れ、除去されるようになり、水晶振動子１が再生して使
用されるようになる。
が困難になったとき、水晶振動子１の共振を停止させ、
電極２ａと筒状の電極７との間にＲＦ電源９を印加させ
るとともに、ガス導入口８より酸素、窒素、水やこれら
の混合ガスを電極２ａと筒状の電極７との間に導入させ
ると、電極２ａと筒状の電極７との間で放電が起き、電
極２ａ上に付着した付着物５がスパッタエッチングさ
れ、除去されるようになり、水晶振動子１が再生して使
用されるようになる。
【００１１】ところで、上記実施例ではＲＦ電源９を使
用しているが、ＲＦ電源９の代わりに、その他の交流電
圧や直流電圧を用いてもよい。
用しているが、ＲＦ電源９の代わりに、その他の交流電
圧や直流電圧を用いてもよい。
【００１２】
【発明の効果】この発明は、上記のように付着物の付着
した電極と別の電極との間の放電により、付着物の付着
した電極上の付着物がスパッタエッチングして除去され
るため、水晶振動子を再生して使用することが可能にな
るとともに、成膜の途中で、共振不能になっても、水晶
振動子の再生が可能になるので、真空を破らずに、成膜
を続けることができる。
した電極と別の電極との間の放電により、付着物の付着
した電極上の付着物がスパッタエッチングして除去され
るため、水晶振動子を再生して使用することが可能にな
るとともに、成膜の途中で、共振不能になっても、水晶
振動子の再生が可能になるので、真空を破らずに、成膜
を続けることができる。
【図１】この発明の実施例の説明図
１・・・・・・・水晶振動子 ２ａ、２ｂ・・・電極 ３・・・・・・・オシレーター ４・・・・・・・収納ケース ５・・・・・・・付着物 ６・・・・・・・絶縁ガイシ ７・・・・・・・筒状の電極 ８・・・・・・・ガス導入口 ９・・・・・・・ＲＦ電源 １０・・・・・・・コントローラ
Claims (1)
- 【請求項１】水晶振動子の両面に電極をそれぞれ取り付
け、これらの電極間に水晶振動子が共振する周波数の電
圧を印加して、水晶振動子を共振させる水晶振動子を用
いた膜厚モニターにおいて、上記水晶振動子の両面に取
り付けた電極のうち付着物の付着する方の電極の近傍に
別の電極を配設し、付着物の付着する方の電極と別の電
極との間に直流または交流電圧を印加するとともに、こ
れらの電極間に酸素、窒素 水やこれらの混合ガスを導
入して、放電を起こし、付着物の付着した電極上の付着
物をスパッタエッチングして除去することを特徴とする
水晶振動子を用いた膜厚モニター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02000994A JP3316073B2 (ja) | 1994-01-19 | 1994-01-19 | 水晶振動子を用いた膜厚モニター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02000994A JP3316073B2 (ja) | 1994-01-19 | 1994-01-19 | 水晶振動子を用いた膜厚モニター |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07208908A JPH07208908A (ja) | 1995-08-11 |
| JP3316073B2 true JP3316073B2 (ja) | 2002-08-19 |
Family
ID=12015125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02000994A Expired - Lifetime JP3316073B2 (ja) | 1994-01-19 | 1994-01-19 | 水晶振動子を用いた膜厚モニター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3316073B2 (ja) |
-
1994
- 1994-01-19 JP JP02000994A patent/JP3316073B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07208908A (ja) | 1995-08-11 |
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