JP3313801B2 - セラミック前駆体 - Google Patents

セラミック前駆体

Info

Publication number
JP3313801B2
JP3313801B2 JP02567793A JP2567793A JP3313801B2 JP 3313801 B2 JP3313801 B2 JP 3313801B2 JP 02567793 A JP02567793 A JP 02567793A JP 2567793 A JP2567793 A JP 2567793A JP 3313801 B2 JP3313801 B2 JP 3313801B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
carbon atoms
ceramic
carbons
block copolymer
sic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP02567793A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0625422A (ja
Inventor
ジェームズ・アレン・ジェンセン
Original Assignee
ランクサイド・テクノロジー・カンパニー・エルピー
ランクサイド株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ランクサイド・テクノロジー・カンパニー・エルピー, ランクサイド株式会社 filed Critical ランクサイド・テクノロジー・カンパニー・エルピー
Publication of JPH0625422A publication Critical patent/JPH0625422A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3313801B2 publication Critical patent/JP3313801B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/56Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides
    • C04B35/565Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides based on silicon carbide
    • C04B35/571Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides based on silicon carbide obtained from Si-containing polymer precursors or organosilicon monomers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/581Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on aluminium nitride
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G77/00Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
    • C08G77/60Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule in which all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G79/00Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing atoms other than silicon, sulfur, nitrogen, oxygen, and carbon with or without the latter elements in the main chain of the macromolecule
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08LCOMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L83/00Compositions of macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon only; Compositions of derivatives of such polymers
    • C08L83/16Compositions of macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon only; Compositions of derivatives of such polymers in which all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Silicon Polymers (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)
  • Polymers With Sulfur, Phosphorus Or Metals In The Main Chain (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、窒化アルミニウム
を含む炭化珪素セラミックスのための高分子量前駆体に
関する。
【0002】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】セラミッ
クス材料は種々の高温、高性能用途において非常に重要
な材料である。これらの用途には、たとえば高強度、高
温時の機械特性保持能、低い熱および電気伝導度、硬
度、耐摩耗性、および化学的不活性さのような種々の特
性のユニークな組合わせが要求される。
【0003】炭化珪素は非常に硬いセラミックスであ
り、短期間では高温時でも高い強度を示す。空気中では
ゆっくりと酸化され、約1500℃までは使用できる。
炭化珪素は高い耐腐食性、低いかさ密度、優れた耐クリ
ープ性、耐摩耗性を有する。しかし、加熱時における微
細構造の不安定さが、多くの用途においてSiCの長期
間の使用を制限していた。低温で作られたSiCのモル
ホロジーは立方体(ベータSiC、3C)である。
【0004】高温で作られた場合には、ヘキサゴナル
(アルファSiC、2H、4H、6H)またはランボヘ
ドラル(アルファSiC、15R、21R)のモルホロ
ジーを有するアルファSiCが得られる。高温時には、
ベータSiCもアルファSiCに変換される。これらの
種々のポリタイプは1400から2200℃の間で一ま
たは複数の相変換を起こし、しばしば過大なグレイン成
長をもたらす。そのようなグレイン成長は構造に負荷が
かかったときにセラミックスを脆いものとする。
【0005】ホットプレスされたSiCサンプルにおい
て1%以上のAlNが存在する場合には、グレインサイ
ズが減少し、微細構造の均一性が改善された焼結体が得
られることが知られている。この現象は、SiCセラミ
ックス中にAlNの固溶体を形成するために利用され
る。SiCとAlNの粉末の混合体から緻密なSiC/
AlN固溶体を製造する場合には、粉末の強い焼結の他
に、AlNがSiC微細構造中に固体状態で拡散してゆ
くことが必要とされる。それゆえに、高い融点と固体状
態での低い拡散率とを有するAlNとSiCでは、固溶
体SiC/AlNセラミックスの用途は制限されてい
た。その結果、典型的な特性を有する焼結サンプルは、
多くの場合、比較的高い温度(2100℃)で、加圧下
で圧密(たとえば、ホットプレス)して製造されてい
た。そのような方法はエネルギー効率が悪く、繊維化に
際しての複合化において厳しい制限をもたらす。
【0006】固溶体を含むSiC/AlNセラミックス
を製造するために、ポリマー前駆体も使用されていた。
たとえば、米国特許4,730,026号は、架橋され
たポリシラザンであって、シラザンユニットが少なくと
もひとつの、シラザン繰り返し単位の窒素原子に結合し
た−MR’n−の構造を有する橋により互いに結合され
たポリシラザンを開示する。なお、ここでMは周期表の
IIIA、IIB、IVBおよびIIA族から選ばれる
金属である。また、W.R.Schmidtらは単一成
分前駆体からのSiC/AlNの製造であって、1,
3,5ートリビニルシクロトリシラザンをトリエチルア
ルミニウムで処理する方法を開示する。シラザンユニッ
トはAl(C25)−ユニットで架橋される(The Seco
nd Intenational Ceramic Science and Technology Con
gress,1990年11月12ー15日、オーランド、
フロリダ)。
【0007】上記の高分子量AlN/SiCセラミック
前駆体のいずれも、
【0008】
【化8】
【0009】で表される繰り返し単位と
【0010】
【化9】
【0011】で表される繰り返し単位との交互ブロック
体(ここでxおよびyは1以上である)、または後者の
単位により架橋されたブロック体ではない。さらに、上
記のいずれも低温において調節された条件下で、液体か
ら不溶性固体に硬化させる可能性にも言及していない。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明にかかるブロック
共重合体は、以下の構造式を有する複合ブロックユニッ
ト、
【0013】
【化10】
【0014】および、以下の構造式を有する複合ブロッ
クユニット、
【0015】
【化11】
【0016】または
【0017】
【化12】
【0018】ここでx>1、y>1であり、xおよびy
のブロックはSi−N−Al結合を介して結合され、R
1およびR2は同一または異なった基であり、水素、炭素
数1−12のアルキル、炭素数3−12のシクロアルキ
ル、炭素数2−12のアルケニル、炭素数3−12のシ
クロアルケニル、およびアリール基から選ばれる基であ
り、R3、R4およびR5は同一または異なった基であ
り、水素、炭素数1−6のアルキル、炭素数3−6のシ
クロアルキル、炭素数2−6のアルケニル、炭素数3−
6のシクロアルケニル、炭素数2−6のアルキニル、お
よびアリール基から選ばれる基であり、R1、R2
3、R4、およびR5の全てが水素ではなく、AはOま
たはSである、を含む。
【0019】好ましい実施態様においては、シラザンユ
ニットは(チオ)ユリア変性シラザンから誘導される。
本発明によれば、ブロック共重合体はAl−CまたはA
l−Hを有するアルミニウムー窒素ポリマーとシラザン
または(チオ)ユリアシラザンポリマーとを反応させる
ことにより得られ、副生成物としてC−HまたはH−H
結合が形成され、炭化水素または水素が得られる。アル
ケニルまたはアルキニル基を有するブロック共重合体は
フリーラジカル生成剤の存在下で硬化されることができ
る。硬化されたブロック共重合体を非酸化性雰囲気で熱
分解することにより緻密なSiC/AlNセラミックス
が得られる。
【0020】SiCとAlNを含む種々の組成のセラミ
ックスが、ブロック共重合体製造時のシラザンまたは
(チオ)ユリアシラザンポリマーとアルミニウムー窒素
ポリマーとの比率を調節することにより得られる。前記
の高分子液体は、塗布、押出し、紡糸のような公知のプ
ラスチック成形方法により加工することにより、種々の
複雑な形状の耐熱性物品を作ることができる。加工後、
不飽和有機基を含むブロック共重合体は硬化されて固体
にされ、熱分解においても立体的形状を保持するように
される。そのようなポリマーを使用する他の利点は、こ
れらの熱分解時の化学的反応性にある。セラミックス生
成物中において必要とされる、C、Al、およびNに対
するSiの化学量論量は合成工程における分子レベルで
決定される。
【0021】したがって、粉末混合物からSiC/Al
N固溶体を製造する際にしばしば必要とされる、固体状
態での拡散を促進するための熱分解後の高温後処理は必
要としない。
【0022】本発明に係るブロック共重合体は、Al−
CまたはAl−H結合を含むアルミニウムー窒素ポリマ
ーと、N−H結合を含むシラザンまたは(チオ)ユリア
シラザンポリマーとを400℃未満、好ましくは90か
ら220℃で反応させることにより得られる。Al−N
ポリマーのAlまたはN、またはシラザンもしくは(チ
オ)ユリアシラザンポリマーのSiに結合する有機基は
不飽和部分を含まなくてもよく、またそれらの一部が不
飽和であってもよい。
【0023】米国特許第3,853,567、4,482,669、4,612,38
3、4,675,424、4,689,252、および4,722,988号に開示され
ているようにポリシラザンは公知である。ポリシラザン
をイソシアネート、イソチオシアネート、ケテン、チオ
ケテン、カルボジイミド、または二硫化炭素で処理する
ことにより合成されるポリシラザンの付加ポリマーも使
用することができる。これらの付加ポリマーの合成は米
国特許4,929,704号に開示されている。
【0024】Al−CまたはAl−H結合を含むアルミ
ニウムー窒素ポリマーをポリシラザンと反応させると、
【0025】
【化13】
【0026】の構造を有するユニットと、
【0027】
【化14】
【0028】の構造を有するユニット、ここで、x、
y、R1、R2、R3、およびR4は後述の通りである、と
を含むブロック共重合体が得られる。好ましいポリマー
は、N−H結合を有するポリシラザンをイソ(チオ)シ
アネートで処理して得られるポリ(チオ)ユリアシラザ
ンである。(チオ)ユリアシラザンの用語は、ユリアシ
ラザンまたはチオユリアシラザンを意味するものとして
使用される。(チオ)ユリアシラザンポリマーはAl−
C結合またはAl−H結合を有するアルミニウムー窒素
ポリマーと反応させられ、以下の構造を有するユニット
と、
【0029】
【化15】
【0030】以下の構造を有するユニット、
【0031】
【化16】
【0032】ここでx>1、y>1であり、xおよびy
のブロックはSi−N−Al結合を介して結合され、R
1およびR2は同一または異なった基であり、水素、炭素
数1−12のアルキル、炭素数3−12のシクロアルキ
ル、炭素数2−12のアルケニル、炭素数3−12のシ
クロアルケニル、およびアリール基から選ばれる基であ
り、R3、R4およびR5は同一または異なった基であ
り、水素、炭素数1−6のアルキル、炭素数3−6のシ
クロアルキル、炭素数2−6のアルケニル、炭素数3−
6のシクロアルケニル、炭素数2−6のアルキニル、お
よびアリール基から選ばれる基であり、R1、R2
3、R4、およびR5の全てが水素ではなく、AはOま
たはSである、を含む、複数のブロックを有するブロッ
ク共重合体が得られる。最も好ましいものは、実施例C
において説明される、N−H結合を有するビニル置換ポ
リシラザンとフェニルイソシアネートとを反応させて得
られるポリユリアシラザンである。
【0033】本発明の実施に際して使用できるアルミニ
ウムー窒素ポリマーは、溶解性または不溶解性の固体、
または種々の粘度を有する液体であることができ、アル
ニウムを含む基と窒素を含む基を交互に有するバックボ
ーンを有するものである。適当なポリマーにはアルミニ
ウムアミドポリマー、アルミニウムイミドポリマー、ア
ルミニウムイミンポリマー、およびポリアミノアラン
(polyaminoalanes)がある。本発明の
目的に適するアルミニウムー窒素結合を含むポリマー
は、以下のポリマーからなる群より選ばれる一般式を有
する。 1)以下の一般式を有する構造ユニットを含むポリマ
ー、
【0034】
【化17】
【0035】n≧2、R、R’、R’’、および
R’’’はアルキル、シクロアルキル、アルケニル、ア
リール、および水素から成る群より選ばれる、 2)以下の一般式を有する構造ユニットを含むポリマ
ー、
【0036】
【化18】
【0037】n≧2、R’’はイミン基であり、R、お
よびR’はアルキル、シクロアルキル、アルケニル、ア
リール、および水素から成る群より選ばれる、 3)以下の一般式を有する構造ユニットを含むポリマ
ー、
【0038】
【化19】
【0039】n≧2、R、およびR’はアルキル、シク
ロアルキル、アルケニル、アリール、および水素から成
る群より選ばれる。好ましいアルミニウムー窒素ポリマ
ーは、ジアルキルアルミニウムハイドライドと有機ニト
リルとの反応生成物を加熱することにより得られる。最
も好ましいポリマーは、実施例Aで示されるアセトニト
リルとジイソブチルアルミニウムハイドライドから製造
されるアルミニウムー窒素ポリマーである。
【0040】少なくともひとつの有機不飽和サイトを有
するブロック共重合体は架橋させることができ、たとえ
ばエネルギーを供給してフリーラジカルをさせて架橋さ
せることができる。シリコンにアルケニルまたはアルキ
ニル基が結合したブロック共重合体は、フリーラジカル
生成剤の存在下で加熱することにより架橋させることが
できる。たとえば、実施例1のブロック共重合体は、過
酸化物やアゾ化合物のようなラジカル源の0.1から8
重量%の存在下で加熱することができる。硬化されたブ
ロック共重合体は熱分解によってもその形態を保つ不溶
性固体であり、一般的な有機溶剤に不溶解性である。
【0041】適当な過酸化物としては、たとえば、ジベ
ンゾイルパーオキサイド、ジーpークロロベンゾイルパ
ーオキサイド、ビスー2,4−ジクロロベンゾイルパー
オキサイドのようなジアロイルパーオキサイド、2,5
−ジメチル−2,5−ジ(t−ブチルパーオキシ)ヘキ
サン、ジ−t−ブチルパーオキサイドのようなジアルキ
ルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイドのようなジ
アラルキルパーオキサイド、t−ブチルクミルパーオキ
サイド、1,4−ビス(t−ブチル−パーオキシイソプ
ロピル)ベンゼンのようなアルキルアラルキルパーオキ
サイド、アルキルアロイルパーオキサイド、t−ブチル
パーベンゾエート、t−ブチルパーアセテート、t−ブ
チルパーオクトエートのようなアルキルアシルパーオキ
サイドがあり、ジクミルパーオキサイドが好ましい。
【0042】適当なアゾ化合物としては、たとえば、
2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオニトリル)、
2,2’−アゾジメチル−4−メトキシバレロニトリ
ル、1−シアノ−1−(t−ブチルアゾ)シクロヘキサ
ン、および2−(t−ブチルアゾ)−イソブチロニトリ
ルのような対称または非対称アゾ化合物がある。これら
の化合物は公知であり、たとえば米国特許2,492,763号
および2,515,628号で述べられている。
【0043】有機不飽和サイトを含む本発明のブロック
共重合体は、ポリマーを紫外線または電子線ビーム放射
で露光することにより硬化させることができる。適当な
紫外線硬化剤としては、たとえば、α、α−ジメトキシ
−α−フェニルアセトフェノン(DMPAP)があり、
紫外線硬化を促進する。
【0044】ブロック共重合体は金属またはセラミック
スフィラーと混合することができる。適当なフィラーと
しては、たとえば、SiC、AlN、Ai34、SiO
2、BN、Al23、TiN、TiC、Si、Ti、Z
r、Al、ZrC、ZrO2、B4C、TiB2、Hf
C、Y23があり、これらは粉末、ウィスカーあるいは
小板の形態で使用されることができる。SiCとAlN
の固溶体を含む粉末、ウィスカーあるいは小板もフィラ
ーとして使用することができる。SiCとAlNが好ま
しいフィラーであり、ポリマーとSiC混合物の総重量
の約5から98重量%の範囲で使用でき、SiCが最も
好ましいフィラーである。α−SiC、β−SiCおよ
びその混合物を使用することができる。
【0045】ブロック共重合体とフィラーとの混合物は
通常のセラミックス混合物製造装置で製造することがで
き、たとえば、ボールミル、遊星ミキサー、3本ロー
ル、シグマブレードミキサー、リボンブレンダー、押出
し機、および他の当業者公知の装置が使用できる。ブロ
ック共重合体バインダーとフィラーとの混合物は、たと
えば、ドライプレス、テープキャスト、アイソスタテイ
ックプレス、押出し、または射出成形等により成形する
ことができる。
【0046】硬化または未硬化のブロック共重合体を6
00から2200℃、好ましくは1000から2000
℃で、非酸化性雰囲気下で熱分解することにより、炭化
珪素/窒化アルミニウム含有セラミックス材料を得るこ
とができる。非酸化性雰囲気は、たとえばアルゴンまた
はヘリウムのような窒素を含まないもの、またはたとえ
ば高温でNH3で処理し、次いで窒素で処理するような
窒素を含む雰囲気であることができる。該雰囲気が窒素
を含む場合には、窒化珪素がセラミックス生成物中に存
在する。2000℃以上の温度が典型的には緻密化のた
めに使用される。熱分解の時に形成されるSiCとAl
Nの量はブロック共重合体のシラザン成分として導入さ
れるSiと、アラザン成分として導入されるAlとの初
期の比率に依存する。粉末X線回折とエネルギーディス
パーシブX線分析により、SiCとAlNの両者の存在
が確認された。これらの相はAlN/SiC固溶体また
はAlN/SiC微細構造でありうる。微細構造とは、
不連続相としての粒状領域のAlNとSiCが均一にミ
クロンまたはサブミクロンレベルで互いに分散された構
造を意味する。
【0047】本発明の高分子量セラミック前駆体は、繊
維、フィルム、塗膜およびモノリスプリフォーム構造の
インフィルトレーション、接着剤またはシーラント、セ
ラミックスまたは金属粉末のバインダーとして使用する
ことができる。
【0048】
【実施例】実施例A アルミニウムー窒素ポリマーが以下の様にして合成され
た。250mlのシェルレン丸底フラスコに均圧滴下ろ
うとが取り付けられ、パージされた。50ml(946
mmol)のアセトニトリルがフラスコに加えられた。
ろうとに100ml(1.0Mトルエン溶液、100m
mol)のジイソブチルアルミニウムハイドライドが投
入され、フラスコは0℃に冷却された。ジイソブチルア
ルミニウムハイドライドは30分以上にわたって滴下さ
れ、0℃でさらに1時間撹拌された。フラスコは室温に
暖められ、無色の溶液が一晩撹拌された。溶媒は真空下
で除去され、18gの黄色の液体が得られた。この液体
は窒素中で300℃に2時間以上かかって加熱され、3
00℃に6時間保持され、
【0049】
【化20】
【0050】が形成された。冷却して、10.6gの固
形ポリマーが得られた。 実施例B ポリシラザンが以下の様にして合成された。5リットル
の3首フラスコに、上方からのメカニカルスターラー、
ドライアイス/アセトンコンデンサー(−78℃)、ア
ンモニア/窒素入口チューブおよび温度計が取り付けら
れた。装置は窒素でパージされ、その後4Aモレキュラ
ーシーブで乾燥された1760mlのヘキサン、209
ml(230.9g、2.0モル)のメチルジクロロシ
ラン、および64ml(69.6g、0.5モル)のビ
ニルメチルジクロロシランが投入された。アンモニアは
3.5リットル/分(9.37モル)の速度で1時間に
わたって加えられた。添加の間、反応系の温度は25℃
から69℃に上昇した。1時間後、アンモニアの流れは
停止され、反応混合物は室温まで冷却された。反応混合
物はガラスフリットろうとで、ろかされ、沈殿された塩
化アンモニウムが除去された。ろか物からヘキサンが減
圧下(28mmHg、60℃)で除去され、
【0051】
【化21】
【0052】の無色の油(150.76g、2.34モ
ル、収率95%)が得られた。得られた油は25℃で4
3cpの粘度であった。 実施例C ポリユリアシラザンが米国特許第4,929,704号
に開示されている方法で製造された。すなわち、実施例
Bで作られたポリシラザン
【0053】
【化22】
【0054】1451.8gを6.62mlのフェニル
イソシアネートで処理し、混合物を70℃で1時間加熱
することにより製造した。 実施例1 実施例Bで製造されたポリシラザン
【0055】
【化23】
【0056】10.0gと実施例Aで製造されたアルミ
ニウム−窒素ポリマー
【0057】
【化24】
【0058】7.2gを混合し、窒素雰囲気下で110
℃で5時間加熱してブロック共重合体が合成された。イ
ソブタンが反応の副生成物として得られた。得られたブ
ロック共重合体はオレンジ色の液体であった。
【0059】実施例2 実施例1のブロック共重合体サンプル6.0gが0.1
gのジクミルパーオキサイドと窒素雰囲気下で混合され
た。サンプルは150℃で15分間加熱され、硬化され
た不溶性の固体が得られた。
【0060】実施例3 実施例1の液体のブロック共重合体サンプル1.0gが
0.02gのアゾビスイソブチロニトリル(AIBN)
と窒素雰囲気下で混合された。サンプルは145℃で3
0分間加熱され、硬化された硬い固体が得られた。
【0061】実施例4 実施例2の硬化されたブロック共重合体1.13gがグ
ラファイト容器中で、アルゴン雰囲気下、室温から16
00℃まで10℃/分で昇温され、1600℃で2時間
保持され、燃焼された。得られたセラミックスは0.6
4gであり、粉末X線回折により、結晶性α−SiC/
AlNであることがわかった。2Hα−SiCが唯一の
探知されたポリタイプのSiCであった。
【0062】実施例4 実施例2の硬化されたブロック共重合体1.0gが、ム
ライトチューブ炉中のアルミナ容器中で、アンモニア雰
囲気下、室温から1000℃昇温され100℃に2時間
保持されて燃焼された。その後窒素雰囲気に変更され、
温度は1600℃まで10℃/分の速度で急激に昇温さ
れた。サンプルは1600℃で2時間保持された。得ら
れたセラミックスはX線回折により、Si34、Al
N、およびSiCを含むことが分った。
【0063】実施例6 実施例1の液体ブロック共重合体1gが炭化珪素粉末
0.5gと混合された。ジクミルパーオキサイド0.0
2g(ポリマーに対して0.2重量%)が混合物に加え
られ、窒素雰囲気下で、160℃で5分間加熱され、硬
い硬化された固体が得られた。
【0064】実施例7 実施例1のブロック共重合体0.5gが窒素雰囲気下で
石英フラスコに移され、チバガイギーからIRGACU
RE651の商品名で販売されている、紫外線硬化剤で
ある、α,αージメトキシ−αーフェニルアセトフェノ
ン、0.02gと混合された。フラスコは減圧下、水銀
ランプで4時間露光された。固体の硬化ポリマーが得ら
れた。
【0065】実施例8 実施例Cの手順により合成されたイソシアネート変性ポ
リシラザン10.0gと、実施例Aの手順により合成さ
れた構造式、
【0066】
【化25】
【0067】を有するアラザンポリマー7.2gとを一
緒にし、窒素雰囲気下、100℃で4時間加熱した。副
生成物としてイソブタンが生成された。得られたブロッ
ク共重合体はオレンジ色の液体であった。
【0068】実施例9 実施例8のブロック共重合体2.1gとジクミルパーオ
キサイド0.04g(2重量%)が、窒素雰囲気下でガ
ラス瓶中で混合された。サンプルは150℃で15分間
加熱され、硬化された不溶解性の固体が得られた。
【0069】実施例10 実施例8の液体ブロック共重合体2.1gとアゾビスイ
ソブチロニトリル0.04gが、窒素雰囲気下でガラス
瓶中で混合された。サンプルは150℃で30分間加熱
され、硬化された硬い固体が得られた。
【0070】実施例11 実施例8のブロック共重合体0.5gが窒素雰囲気下で
石英フラスコに移され、チバガイギーからIRGACU
RE651の商品名で販売されている、紫外線硬化剤で
ある、α,αージメトキシ−αーフェニルアセトフェノ
ン、0.02gと混合された。フラスコは減圧下、水銀
ランプで4時間露光された。固体の硬化ポリマーが得ら
れた。
【0071】実施例12 実施例9の硬化されたブロック共重合体1.0gがアル
ミナ容器中で、アルゴン雰囲気下、室温から1500℃
まで10℃/分で昇温され、1500℃で2時間保持さ
れ、燃焼された。得られたセラミックスは0.23gで
あり、粉末X線回折により、結晶性α−SiC/AlN
であることがわかった。2Hα−SiCが唯一の探知さ
れたポリタイプのSiCであった。
【0072】実施例13 実施例8の液体ブロック共重合体2.0gと炭化珪素粉
末1.0gと混合された。ジクミルパーオキサイド0.
04g(ポリマーに対して2重量%)が加えられ、窒素
雰囲気下、160℃で5分間加熱され、硬い、硬化され
た固体が得られた。
【0073】実施例14 本実施例はブロック共重合体がポリシラザンとアルミニ
ウムー窒素ポリマーとの反応で生成されることを示す。
【0074】窒素原子が重水素でラベルされた重水素化
ポリシラザンが、マグネティックスターラー、ドライア
イス/イソプロパノールコンデンサー(−78℃)、ア
ンモニア/窒素入口チューブ、および温度計を設けた5
00mlの3首フラスコを使用して、実施例Bの手順に
したがって合成された。装置は窒素で置換され、その後
4Aモレキュラーシーブで乾燥された175mlのヘキ
サン、5.5ml(0.053モル)のメチルジクロロ
シラン、および1.69ml(0.013モル)のビニ
ルメチルジクロロシランが投入された。溶液はアイスバ
ス中で0℃に冷却され、d3ーアンモニア(5リット
ル、0.20モル)が撹拌下、30分にわたって加えら
れた。反応混合物はガラスフリットろうとで、ろかさ
れ、沈殿された塩化アンモニウムが除去された。ろか物
からヘキサンが減圧下で除去され、
【0075】
【化26】
【0076】の無色の油が得られた。実施例Aと同様に
製造された、
【0077】
【化27】
【0078】で表されるアラザン(0.72g)が、
1.0gの重水素化ポリシラザン
【0079】
【化28】
【0080】に溶解された。上記のポリマー混合物0.
5gがアルゴン雰囲気下、加熱乾燥されたガラス瓶に移
され、隔膜でシールされた。サンプルは110℃で3.
5時間乾燥され、その後室温に冷却された。上部のガス
がガスクロマトグフィー/フーリエ変換赤外吸収測定装
置で分析された。d1ーイソブタンが既知のGC標準と
の比較と、赤外吸収による2160cm-1におけるC−
D伸縮バンドにより同定された。d1ーイソブタンはシ
ラザンのSi−N−D結合とアラザンのAl−C49
との反応によってのみ生成され、Si−N−Al結合の
生成の副生成物として得られる。
【0081】実施例15 液体ポリシラザン[CH3Si(H)NH]xが実施例
Bの方法にしたがって、メチルジクロロシランとアンモ
ニアとを使用して製造された。実施例Aの方法にしたが
って製造された
【0082】
【化29】
【0083】が、3.0gの[CH3Si(H)NH]
xに溶解された。ポリマー溶液は窒素雰囲気下、200
℃で4時間加熱された。イソブタンが反応副生成物とし
て形成された。190℃で溶液粘度は減少し始め、最終
的には不飽和の有機基を含まない固体の黒色ブロック共
重合体が得られた。
【0084】実施例16 実施例15の黒色固体共重合体1.0gがアルゴン雰囲
気下、ムライトチューブ炉内のアルミナボート上で、室
温から1500℃まで5℃/分の速度で昇温され、燃焼
された。サンプルは1500℃で2時間保持され、0.
89gの燃焼生成物が得られた。粉末X線回折によれ
ば、燃焼生成物はα−SiCおよびAlNの結晶であっ
た。
【0085】実施例17 実施例Bと同様の方法で製造された6.4gのポリシラ
ザン
【0086】
【化30】
【0087】と、実施例Aと同様の方法で製造された
3.8gのアルミニウム−窒素ポリマー
【0088】
【化31】
【0089】を混合し、窒素雰囲気下で110℃に4時
間加熱してブロック共重合体が製造された。イソブタン
が反応副生成物として得られた。0.3gのブロック共
重合体と0.01gのジクミルパーオキサイドを混合し
てスピンドープが作られた。繊維がスピンドープから引
出され、窒素中で180℃に加熱され、架橋され、寸法
安定性が付与され、その後アルゴン雰囲気下で、150
0℃に10℃/分の速度で昇温され、燃焼された。繊維
は燃焼後もその形状を保持していた。繊維の粉末X線回
折によれば、燃焼生成物はα−SiCおよびAlNの結
晶であった。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (73)特許権者 594142403 1300 Marrows Road,Ne wark,Delaware 19714− 6077,United States o f America (72)発明者 ジェームズ・アレン・ジェンセン アメリカ合衆国デラウェア州19707,ホ ッケシン,ヒッコリー・ヒル,カボッ ト・ドライブ 544 審査官 柴田 昌弘 (56)参考文献 特開 平4−335033(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C08G 79/10 C01B 21/072 C01B 31/36 601 C08G 77/60 - 77/62

Claims (23)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】高分子量窒化アルミニウム/炭化珪素セラ
    ミック前駆体であって、以下の構造式を有する複合ブロ
    ックユニット、 【化1】 および、以下の構造式を有する複合ブロックユニット、 【化2】 または 【化3】 ここでx>1、y>1であり、xおよびyのブロックは
    Si−N−Al結合を介して結合され、R1およびR2
    同一または異なった基であり、水素、炭素数1−12の
    アルキル、炭素数3−12のシクロアルキル、炭素数2
    −12のアルケニル、炭素数3−12のシクロアルケニ
    ル、およびアリール基から選ばれる基であり、R3、R4
    およびR5は同一または異なった基であり、水素、炭素
    数1−6のアルキル、炭素数3−6のシクロアルキル、
    炭素数2−6のアルケニル、炭素数3−6のシクロアル
    ケニル、炭素数2−6のアルキニル、およびアリール基
    から選ばれる基であり、R1、R2、R3、R4、およびR
    5の全てが水素である場合はなく、AはOまたはSであ
    る、を含む前記前駆体。
  2. 【請求項2】Al−CまたはAl−H結合を含むアルミ
    ニウムおよび窒素含有基を交互に含むバックボーンを有
    するポリマーと、N−H結合を含むシラザンまたは(チ
    オ)ユリアシラザンポリマーとを400℃未満で反応さ
    せることを特徴とする請求項1記載の高分子量セラミッ
    ク前駆体の製造方法。
  3. 【請求項3】前記温度が90から220℃である請求項
    2記載の方法。
  4. 【請求項4】少なくともR1、R2、R3、R4、およびR
    5のひとつは有機不飽和基である請求項1記載の高分子
    量セラミック前駆体にエネルギーを供給し、フリーラジ
    カルを生成させることによって製造される、架橋ブロッ
    クコポリマー。
  5. 【請求項5】前記有機不飽和基がビニル基である、請求
    項4記載のコポリマー。
  6. 【請求項6】フリーラジカル生成源がさらに存在し、供
    給されるエネルギーが熱であることを特徴とする請求項
    4記載のコポリマー。
  7. 【請求項7】フリーラジカル生成源が過酸化物である、
    請求項6記載のコポリマー。
  8. 【請求項8】フリーラジカル生成源がアゾ化合物であ
    る、請求項6記載のコポリマー。
  9. 【請求項9】供給されるエネルギーが紫外線放射または
    電子線放射であることを特徴とする請求項4記載のコポ
    リマー。
  10. 【請求項10】少なくともR1、R2、R3、R4、および
    5のひとつは有機不飽和基である請求項1記載の高分
    子量セラミック前駆体とフィラーとの混合物にエネルギ
    ーを供給し、フリーラジカルを生成させることによって
    製造される、架橋ブロックコポリマー組成物。
  11. 【請求項11】フィラーが炭化珪素であることを特徴と
    する請求項10記載の組成物。
  12. 【請求項12】フィラーが窒化アルミニウムであること
    を特徴とする請求項10記載の組成物。
  13. 【請求項13】請求項4〜9のいずれか1項記載のコポ
    リマーを非酸化性雰囲気で熱分解することによって製造
    される、AlN/SiC含有セラミック。
  14. 【請求項14】請求項4〜9記載のいずれか1項記載の
    架橋コポリマーから成る繊維。
  15. 【請求項15】請求項10〜12のいずれか1項記載の
    コポリマー組成物を非酸化性雰囲気で熱分解することに
    よって製造される、AlN/SiC含有セラミック。
  16. 【請求項16】請求項10〜12記載のいずれか1項記
    載の架橋コポリマー組成物から成る繊維。
  17. 【請求項17】請求項14または16記載の繊維を熱分
    解することによって製造されるセラミック。
  18. 【請求項18】セラミックがSiCとAlNを含むこと
    を特徴とする請求項17記載のセラミック。
  19. 【請求項19】SiCとAlNが固溶体として存在する
    ことを特徴とする、請求項18記載のセラミック。
  20. 【請求項20】構造式 【化4】 を有する複合ブロックユニット、及び構造式 【化5】 を有する複合ブロックユニットを含むブロックコポリマ
    ーであって、 ここでx>1、y>1であり、xおよびyのブロックは
    Si−N−Al結合を介して結合され、R1およびR2
    同一または異なった基であり、水素、炭素数1−12の
    アルキル、炭素数3−12のシクロアルキル、炭素数2
    −12のアルケニル、炭素数3−12のシクロアルケニ
    ル、およびアリール基から選ばれる基であり、R3、R4
    およびR5は同一または異なった基であり、水素、炭素
    数1−6のアルキル、炭素数3−6のシクロアルキル、
    炭素数2−6のアルケニル、炭素数3−6のシクロアル
    ケニル、炭素数2−6のアルキニル、およびアリール基
    から選ばれる基であり、R1、R2、R3、R4、およびR
    5の全てが水素である場合はなく、AはOまたはSであ
    る、 前記のブロックコポリマー。
  21. 【請求項21】少なくともR1、R2、R3、R4、および
    5のひとつは有機不飽和基である請求項20記載のブ
    ロックコポリマーを含む組成物にエネルギーを供給し、
    フリーラジカルを生成させることによって製造される、
    架橋ブロックコポリマー。
  22. 【請求項22】請求項21記載の架橋ブロックコポリマ
    ーを含む繊維。
  23. 【請求項23】(a)加熱した金型に、セラミック粉末
    及び金属粉末から成る群から選択される少なくとも1種
    の粉末と、液体である硬化可能なセラミック前駆体バイ
    ンダー相とを含む混合物を射出すること、ここで該粉末
    は該混合物のバインダー相を硬化し、かつ成形物品を生
    じるのに十分な量存在し、 (b)成形された物品を、硬化されたバインダー相をセ
    ラミックに転化するために十分な温度に加熱すること、
    並びに (c)該物品を非酸化性雰囲気中で焼結することを含
    む、焼結したセラミック物品を製造するための反応射出
    成形方法であって、 該硬化可能な液体のセラミック前駆体結合相として、内
    部に少なくとも1種の金属元素を含む少なくとも1種の
    ポリマーであって、該非酸化性雰囲気中での熱分解で少
    なくとも2つの構成状態として異なるセラミックを形成
    する該ポリマーを使用することを改善点とし、 ここで該硬化可能なセラミック前駆体相が、 構造式 【化6】 を有する複合ブロックユニットと交互している構造式 【化7】 を有する複合ブロックユニットを含むブロックコポリマ
    ーであって、 ここでx>1、y>1であり、R1およびR2は同一また
    は異なった基であり、水素、炭素数1−12のアルキ
    ル、炭素数3−12のシクロアルキル、炭素数2−12
    のアルケニル、炭素数3−12のシクロアルケニル、お
    よびアリール基から選ばれる基であり、R3及びR4は同
    一または異なった基であり、水素、炭素数1−6のアル
    キル、炭素数3−6のシクロアルキル、炭素数2−6の
    アルケニル、炭素数3−6のシクロアルケニル、炭素数
    2−6のアルキニル、およびアリール基から選ばれる基
    であり、R1、R2、R3、およびR4の全てが水素である
    場合はない、前記のブロックコポリマーを含んで成る、
    前記の射出形成法。
JP02567793A 1992-02-13 1993-02-15 セラミック前駆体 Expired - Fee Related JP3313801B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/836,676 US5229468A (en) 1992-02-13 1992-02-13 Polymer precursor for silicon carbide/aluminum nitride ceramics
US836676 1992-02-13

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0625422A JPH0625422A (ja) 1994-02-01
JP3313801B2 true JP3313801B2 (ja) 2002-08-12

Family

ID=25272471

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP02567793A Expired - Fee Related JP3313801B2 (ja) 1992-02-13 1993-02-15 セラミック前駆体

Country Status (5)

Country Link
US (3) US5229468A (ja)
EP (1) EP0562248B1 (ja)
JP (1) JP3313801B2 (ja)
CA (1) CA2088553A1 (ja)
DE (1) DE69304963T2 (ja)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA2152365A1 (en) * 1992-12-21 1994-07-07 James Allen Jensen Multiphase ceramic components produced by reaction injection molding
US5612414A (en) * 1993-11-05 1997-03-18 Lanxide Technology Company, Lp Organic/inorganic polymers
US5616650A (en) * 1993-11-05 1997-04-01 Lanxide Technology Company, Lp Metal-nitrogen polymer compositions comprising organic electrophiles
US5563212A (en) * 1994-05-24 1996-10-08 Exxon Research And Engineering Company Synthesis of microporous ceramics
US5641920A (en) * 1995-09-07 1997-06-24 Thermat Precision Technology, Inc. Powder and binder systems for use in powder molding
JP3244020B2 (ja) * 1996-08-27 2002-01-07 宇部興産株式会社 炭化ケイ素系無機繊維及びその製造方法
WO1998029472A1 (fr) * 1996-12-30 1998-07-09 Gosudarstvenny Nauchny Tsentr Rossyskoi Federatsii, Gosudarstvenny Nauchno-Issledovatelsky Institut Khimmii I Tekhnologii Elementoorganicheskikh Soedineny (Gnts Rf Gniikhteos) Polymeres a base de silicone organique comportant des agglomerats metalliques et procede de production de ces polymeres
US7794557B2 (en) * 2004-06-15 2010-09-14 Inframat Corporation Tape casting method and tape cast materials
US7488537B2 (en) 2004-09-01 2009-02-10 Radtke Robert P Ceramic impregnated superabrasives
JP2006190206A (ja) * 2005-01-07 2006-07-20 Pioneer Electronic Corp 処理装置、その方法、そのプログラム、および、そのプログラムを記録した記録媒体
US7237730B2 (en) * 2005-03-17 2007-07-03 Pratt & Whitney Canada Corp. Modular fuel nozzle and method of making
US8461272B2 (en) * 2005-04-06 2013-06-11 Basf Se Azo compounds for polypropylene degradation
US7709574B2 (en) * 2005-11-03 2010-05-04 General Electric Company Inorganic block co-polymers and other similar materials as ceramic precursors for nanoscale ordered high-temperature ceramics
PE20081150A1 (es) * 2006-09-13 2008-10-03 Takeda Pharmaceutical Inhibidores de dipetidilpeptidasa
US8316541B2 (en) 2007-06-29 2012-11-27 Pratt & Whitney Canada Corp. Combustor heat shield with integrated louver and method of manufacturing the same
US7543383B2 (en) 2007-07-24 2009-06-09 Pratt & Whitney Canada Corp. Method for manufacturing of fuel nozzle floating collar
DE102009013410A1 (de) * 2009-03-16 2010-09-23 Clariant International Ltd. Hybridpolymere aus Cyanaten und Silazanen, Verfahren zur ihrer Herstellung sowie deren Verwendung
US8470457B2 (en) * 2010-03-29 2013-06-25 United Technologies Corporation Composite article having a solid solution protective layer
CN109880176B (zh) * 2019-01-24 2021-01-08 深圳市锦昊辉实业发展有限公司 低温度陶瓷化聚合物基复合材料
FR3111135B1 (fr) 2020-06-09 2023-01-13 Safran Ceram Procédé de fabrication d’une pièce en matériau composite à l’aide d’un copolymère réticulé hybride

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1019677B (it) * 1974-07-01 1977-11-30 Snam Progetti Composti polimerici dell allumi nio di natura poliiminica procedi mento per la loro preparazione e loro impiego come componenti di sistemi catalitici per la poli merizzazione di composti insaturi
US4482669A (en) * 1984-01-19 1984-11-13 Massachusetts Institute Of Technology Preceramic organosilazane polymers
US4687657A (en) * 1986-06-09 1987-08-18 Celanese Corporation Fabrication of SiC - AlN alloys
US4730026A (en) * 1986-09-30 1988-03-08 E. I. Du Pont De Nemours And Company Cross-linked organosilazane polymers
US4904424A (en) * 1987-05-29 1990-02-27 Hoechst Celanese Corporation Ceramic alloys from colloidal metal alloy suspensions
US4886860A (en) * 1988-03-23 1989-12-12 Toa Nenryo Kogyo Kabushiki Kaisha Polymetalosilazane and process for preparing same
CA2045002A1 (en) * 1990-10-09 1992-04-10 James A. Jensen Polymer precursors for aluminum nitride
FR2670788A1 (fr) * 1990-12-19 1992-06-26 Atochem Polysilazanes reticules et leur procede d'obtention.

Also Published As

Publication number Publication date
EP0562248B1 (en) 1996-09-25
US5229468A (en) 1993-07-20
CA2088553A1 (en) 1993-08-14
JPH0625422A (ja) 1994-02-01
DE69304963D1 (de) 1996-10-31
DE69304963T2 (de) 1997-02-06
US5437825A (en) 1995-08-01
EP0562248A1 (en) 1993-09-29
US5543369A (en) 1996-08-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3313801B2 (ja) セラミック前駆体
US4869854A (en) Process for manufacturing organic silazane polymers and ceramics therefrom
Li et al. Thermal cross‐linking and pyrolytic conversion of poly (ureamethylvinyl) silazanes to silicon‐based ceramics
CA2062218C (en) Silicon boron nitride ceramic and precursor compounds, a process for their preparation and their use
US5021533A (en) Crosslinkable poly(thio)ureasilazane composition containing a free radical generator
Lücke et al. Synthesis and characterization of silazane‐based polymers as precursors for ceramic matrix composites
EP0536698B1 (en) Preceramic polymers incorporating boron
CA2025469C (en) Organic amide-modified polysilazane ceramic precursors
US5190709A (en) Reaction injection molding of ceramics using a ceramic precursor as a binder
CA1281838C (en) Cross-linked organosilazane polymers
JPH01138107A (ja) 改質ポリシラザン、その製造方法及びその用途
EP0562507B1 (en) Silicon-filled aluminum polymer precursors to silicon carbide-aluminum nitride ceramics
US5155181A (en) (Thio)amide-modified silazane polymer composition containing a free radical generator
EP0468066B1 (en) Process for molding ceramics using a liquid, curable ceramic precursor
JPH10500655A (ja) アンモニアを用いる熱分解によるセラミック前駆体からの細孔型セラミックの合成
US5164344A (en) Borosilazanes as binders for the preparation of sintered silicon carbide monoliths
US5240658A (en) Reaction injection molding of silicon nitride ceramics having crystallized grain boundary phases
WO1994014725A1 (en) Multiphase ceramic components produced by reaction injection molding
JP3251937B2 (ja) 焼結セラミック成形体の製造方法
Ma et al. Processing and characterization of particles reinforced SiOC composites via pyrolysis of polysiloxane with SiC or/and Al fillers
JPS62108719A (ja) 窒化ケイ素の製造方法
US5707568A (en) Preparation of substantially polycrystalline silicon carbide fibers from methylpolysilanes
Interrante et al. Pyrolysis of organometallic precursors as a route to novel ceramic materials
Burns et al. Polysilacyclobutasilazanes: pre-ceramic polymers for the preparation of sintered silicon carbide monoliths
JPH02192497A (ja) 窒化珪素ウイスカーの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees