JP3309166B2 - 着色画像形成用感光性樹脂組成物 - Google Patents
着色画像形成用感光性樹脂組成物Info
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- JP3309166B2 JP3309166B2 JP16336693A JP16336693A JP3309166B2 JP 3309166 B2 JP3309166 B2 JP 3309166B2 JP 16336693 A JP16336693 A JP 16336693A JP 16336693 A JP16336693 A JP 16336693A JP 3309166 B2 JP3309166 B2 JP 3309166B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，透明な着色画像を形成
するための感光性樹脂組成物に関し，詳しくは，撮像素
子やカラー液晶ディスプレーと組み合わせて用いられる
カラーフィルターを形成するための感光性樹脂組成物に
関する。
するための感光性樹脂組成物に関し，詳しくは，撮像素
子やカラー液晶ディスプレーと組み合わせて用いられる
カラーフィルターを形成するための感光性樹脂組成物に
関する。
【０００２】
【従来の技術】カラーフィルターの用途は，年々広範な
ものとなっている。撮像素子と組み合わせて，カメラの
みならず，ＦＡＸ，複写機やイメージスキャナー等の用
途が展開され，一方，液晶ディスプレーと組み合わせ
て，ＯＡ用のディスプレー，テレビ，投影機，ビデオカ
メラ用ビューファインダー等に用いられるに至ってい
る。その一方で，カラーフィルターを構成する着色画素
の微細化，高耐久性の要求も今迄以上に強いものになっ
ている。
ものとなっている。撮像素子と組み合わせて，カメラの
みならず，ＦＡＸ，複写機やイメージスキャナー等の用
途が展開され，一方，液晶ディスプレーと組み合わせ
て，ＯＡ用のディスプレー，テレビ，投影機，ビデオカ
メラ用ビューファインダー等に用いられるに至ってい
る。その一方で，カラーフィルターを構成する着色画素
の微細化，高耐久性の要求も今迄以上に強いものになっ
ている。
【０００３】特開昭６０−１２９７３８号公報，特開昭
６０−１２９７０７号公報，特開昭６０−１２９７４２
号公報，特開昭６０−１２９７３９号公報によって開示
された着色組成物等は，その要求に応えるものとして提
案されたものである。すなわち，着色部材として，極微
細な顔料等を高感度な感光性樹脂に分散せしめ，高い耐
久性を有する，微細な着色画素を形成できると共に，工
程的には，染料により着色する工程を不要にすることに
より，工程簡略化を可能とするものであった。上記のカ
ラーフィルターの製造方法は，いわゆる「顔料分散法」
とよばれているものである。
６０−１２９７０７号公報，特開昭６０−１２９７４２
号公報，特開昭６０−１２９７３９号公報によって開示
された着色組成物等は，その要求に応えるものとして提
案されたものである。すなわち，着色部材として，極微
細な顔料等を高感度な感光性樹脂に分散せしめ，高い耐
久性を有する，微細な着色画素を形成できると共に，工
程的には，染料により着色する工程を不要にすることに
より，工程簡略化を可能とするものであった。上記のカ
ラーフィルターの製造方法は，いわゆる「顔料分散法」
とよばれているものである。
【０００４】かかる「顔料分散法」によれば，高い耐久
性（特に耐光性，耐熱性）を有する着色画素が，最小サ
イズで２０〜３０μｍ□程度の大きさで形成することが
可能である。従って，耐久性が要求される液晶ディスプ
レーの組み合わせにおけるカラーフィルターの製造方法
として広く用いられてきた。
性（特に耐光性，耐熱性）を有する着色画素が，最小サ
イズで２０〜３０μｍ□程度の大きさで形成することが
可能である。従って，耐久性が要求される液晶ディスプ
レーの組み合わせにおけるカラーフィルターの製造方法
として広く用いられてきた。
【０００５】一方，デバイス等の製造分野において，光
リソグラフィ−法の微細化検討が種々行われて，光露光
によりサブミクロンの線幅加工を可能にする製造方法あ
るいは材料の提案がされてきた。その中で，ＣＥＬ（Ｃ
ｏｎｔｒａｓｔ Ｅｎｈａｎｓｔｍｅｎｔ Ｌａｙｅ
ｒ）による方法も一つの手法として提案されてる。具体
的には，ホトレジスト（感光性樹脂）にコントラスト増
強層を含ませ，露光時のコントラストを増大させる方法
（特開昭６１−１９８２３７号公報），ホトレジスト上
にコントラストを高める特性を有するパターン形成層を
積層する方法（特開昭６１−２５０６３４号公報，特開
昭６３−５２１３３号公報など）が開示されている。
リソグラフィ−法の微細化検討が種々行われて，光露光
によりサブミクロンの線幅加工を可能にする製造方法あ
るいは材料の提案がされてきた。その中で，ＣＥＬ（Ｃ
ｏｎｔｒａｓｔ Ｅｎｈａｎｓｔｍｅｎｔ Ｌａｙｅ
ｒ）による方法も一つの手法として提案されてる。具体
的には，ホトレジスト（感光性樹脂）にコントラスト増
強層を含ませ，露光時のコントラストを増大させる方法
（特開昭６１−１９８２３７号公報），ホトレジスト上
にコントラストを高める特性を有するパターン形成層を
積層する方法（特開昭６１−２５０６３４号公報，特開
昭６３−５２１３３号公報など）が開示されている。
【０００６】しかし，ＣＥＬによる製造方法では，光褪
色性部材に与えるエネルギーが１００ｍＪ／ｃｍ2 程度
必要なこと，ホトレジストの微細化が，１〜２割程度改
善されるに留まることにより，デバイス等の製造分野で
受け入れられるにはいたっていない。
色性部材に与えるエネルギーが１００ｍＪ／ｃｍ2 程度
必要なこと，ホトレジストの微細化が，１〜２割程度改
善されるに留まることにより，デバイス等の製造分野で
受け入れられるにはいたっていない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】前述のように，カラー
フィルターの用途の広がりと共に，「顔料分散法」によ
るカラーフィルターの高い耐久性を維持しつつ，更に微
細な着色画素が要求されている。具体的には，ビデオカ
メラ用ビューファインダーに用いられる液晶ビューファ
インダー用であり，一方では，小型複写機，ＦＡＸに用
いられる撮像素子用のカラーフィルターである。これら
のカラーフィルターに要求される着色画素のサイズは，
１０〜１５μｍ□程度になってきており，従来開示され
ていた「顔料分散法」によっては，これらの着色画素の
形成は，困難であった。
フィルターの用途の広がりと共に，「顔料分散法」によ
るカラーフィルターの高い耐久性を維持しつつ，更に微
細な着色画素が要求されている。具体的には，ビデオカ
メラ用ビューファインダーに用いられる液晶ビューファ
インダー用であり，一方では，小型複写機，ＦＡＸに用
いられる撮像素子用のカラーフィルターである。これら
のカラーフィルターに要求される着色画素のサイズは，
１０〜１５μｍ□程度になってきており，従来開示され
ていた「顔料分散法」によっては，これらの着色画素の
形成は，困難であった。
【０００８】「顔料分散法」によるカラーフィルターの
着色画素の微細化を阻む主たる要因は，２つある。１つ
は，着色した感光性樹脂中に顔料が分散されているた
め，この顔料粒子による光の乱反射があり，図２に示す
ように，線幅が大になるという問題点があった。また，
２つめは，現在主流となっている露光法が，図３に示す
ように，生産性を向上させるために，プロキシミティー
法を採用していることにある。この露光法によれば，フ
オトマスクが，感光性樹脂に直接接触しないため，生産
性は向上するものの，光が回り込み，当該部分が露光さ
れ，画素の微細化を困難なものにしていた。
着色画素の微細化を阻む主たる要因は，２つある。１つ
は，着色した感光性樹脂中に顔料が分散されているた
め，この顔料粒子による光の乱反射があり，図２に示す
ように，線幅が大になるという問題点があった。また，
２つめは，現在主流となっている露光法が，図３に示す
ように，生産性を向上させるために，プロキシミティー
法を採用していることにある。この露光法によれば，フ
オトマスクが，感光性樹脂に直接接触しないため，生産
性は向上するものの，光が回り込み，当該部分が露光さ
れ，画素の微細化を困難なものにしていた。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、以上の問題点
を解決すべく研究した結果得られたものであり、その要
旨は、以下のものである。すなわち、顔料を感光性樹脂
に練肉分散し、可視領域の特定の領域の光を透過する分
光特性を有する感光性樹脂とした後、光褪色性部材を添
加したことを特徴とするカラ−フィルタ−着色画像形成
用感光性樹脂組成物である。
を解決すべく研究した結果得られたものであり、その要
旨は、以下のものである。すなわち、顔料を感光性樹脂
に練肉分散し、可視領域の特定の領域の光を透過する分
光特性を有する感光性樹脂とした後、光褪色性部材を添
加したことを特徴とするカラ−フィルタ−着色画像形成
用感光性樹脂組成物である。
【００１０】ここで，「可視領域の特定の領域の光を透
過する分光特性を有する感光性樹脂」としては，例え
ば，特開昭６０−１２９７３８号公報，特開昭６０−１
２９７０７号公報，特開昭６０−１２９７４２号公報，
特開昭６０−１２９７３９号公報によって開示されたも
のが使用できる。
過する分光特性を有する感光性樹脂」としては，例え
ば，特開昭６０−１２９７３８号公報，特開昭６０−１
２９７０７号公報，特開昭６０−１２９７４２号公報，
特開昭６０−１２９７３９号公報によって開示されたも
のが使用できる。
【００１１】一方，「光褪色性部材」は，代表例とし
て，光褪色性染料が挙げられる。この条件として，光を
吸収する波長が，紫外線から短波長可視域であること，
また，光吸収エネルギーは，概ね１００ｍＪ／ｃｍ2 以
下が望ましい。これを満足するものは，ジアゾ系染料に
多く，具体的には，以下のようなものが挙げられ
る。〔〕内はＣＡＳ Ｎｏ．を示す。４−Ｎ，Ｎ−ジエ
チルアミノベンゼンジアゾニウム塩化亜鉛複塩〔１３５
３３−１７−０〕，４−（４’−メトキシベンゾイルア
ミノ）−２，５−ジエトキシベンゼンジアゾニウム塩化
亜鉛複塩〔５２５４３−２４−５〕, ４−モルホリノ−
２，５−ジブトキシ−ベンゼンジアゾニウム塩化亜鉛複
塩〔１４７２６−５８−０〕, ４−Ｎ，Ｎ−ジエチルア
ミノベンゼンジアゾニウム テトラフッ化ホウ酸塩〔３
４７−４６−６〕，４−モルホリノ−２，５−ジブトキ
シ−ベンゼンジアゾニウム テトラフッ化ホウ酸塩〔５
０５４３−７８−７〕，４−（４’−メチルフェニルチ
オ−２，５−ジエトキシベンゼンジアゾニウム テトラ
フッ化ホウ酸塩〔７４５７７−１０−９〕，４−モルホ
リノベンゼンジアゾニウム テトラフッ化ホウ酸塩〔２
２４８−３４−２〕，４−ピロリジノ−３−メチルベン
ゼンジアゾニウム−テトラフッ化ホウ酸塩〔３６４２２
−９５−４〕，４−Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノベンゼンジ
アゾニウム ヘキサフッ化ホウ酸塩〔７３３−５１−
７〕，４−モルホリノ−２，５−ジブトキシ−ベンゼン
ジアゾニウム ヘキサフッ化ホウ酸塩〔６８０１５−８
８−３〕，４−（４’−メチルフェニルチオ）−２，５
−ジエトキシベンゼンジアゾニウム−ヘキサフッ化ホウ
酸塩〔３８６８６−７０−３〕，４−ピロリジノ−３−
メチルベンゼンジアゾニウム−ヘキサフッ化ホウ酸塩
〔６８０１５−９０−７〕がある。このうち，塩化亜鉛
塩を構成しているものは，水に可溶であるため，特開昭
６０−１２９７３８号公報で開示された着色画像を形成
する際に用いることができる。一方，塩化亜鉛塩を構成
していないものは，溶剤可溶であるため，特開平２−１
５３３５３号公報で開示されたカラーフィルターを形成
する際に用いることができる。いずれにしても，感光性
樹脂に十分可溶で，かつ，適度な光吸収により透過率が
増加する材料が選択される。
て，光褪色性染料が挙げられる。この条件として，光を
吸収する波長が，紫外線から短波長可視域であること，
また，光吸収エネルギーは，概ね１００ｍＪ／ｃｍ2 以
下が望ましい。これを満足するものは，ジアゾ系染料に
多く，具体的には，以下のようなものが挙げられ
る。〔〕内はＣＡＳ Ｎｏ．を示す。４−Ｎ，Ｎ−ジエ
チルアミノベンゼンジアゾニウム塩化亜鉛複塩〔１３５
３３−１７−０〕，４−（４’−メトキシベンゾイルア
ミノ）−２，５−ジエトキシベンゼンジアゾニウム塩化
亜鉛複塩〔５２５４３−２４−５〕, ４−モルホリノ−
２，５−ジブトキシ−ベンゼンジアゾニウム塩化亜鉛複
塩〔１４７２６−５８−０〕, ４−Ｎ，Ｎ−ジエチルア
ミノベンゼンジアゾニウム テトラフッ化ホウ酸塩〔３
４７−４６−６〕，４−モルホリノ−２，５−ジブトキ
シ−ベンゼンジアゾニウム テトラフッ化ホウ酸塩〔５
０５４３−７８−７〕，４−（４’−メチルフェニルチ
オ−２，５−ジエトキシベンゼンジアゾニウム テトラ
フッ化ホウ酸塩〔７４５７７−１０−９〕，４−モルホ
リノベンゼンジアゾニウム テトラフッ化ホウ酸塩〔２
２４８−３４−２〕，４−ピロリジノ−３−メチルベン
ゼンジアゾニウム−テトラフッ化ホウ酸塩〔３６４２２
−９５−４〕，４−Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノベンゼンジ
アゾニウム ヘキサフッ化ホウ酸塩〔７３３−５１−
７〕，４−モルホリノ−２，５−ジブトキシ−ベンゼン
ジアゾニウム ヘキサフッ化ホウ酸塩〔６８０１５−８
８−３〕，４−（４’−メチルフェニルチオ）−２，５
−ジエトキシベンゼンジアゾニウム−ヘキサフッ化ホウ
酸塩〔３８６８６−７０−３〕，４−ピロリジノ−３−
メチルベンゼンジアゾニウム−ヘキサフッ化ホウ酸塩
〔６８０１５−９０−７〕がある。このうち，塩化亜鉛
塩を構成しているものは，水に可溶であるため，特開昭
６０−１２９７３８号公報で開示された着色画像を形成
する際に用いることができる。一方，塩化亜鉛塩を構成
していないものは，溶剤可溶であるため，特開平２−１
５３３５３号公報で開示されたカラーフィルターを形成
する際に用いることができる。いずれにしても，感光性
樹脂に十分可溶で，かつ，適度な光吸収により透過率が
増加する材料が選択される。
【００１２】そして，予め着色材で着色した感光性樹脂
の中に，前述した光褪色性部材を添加して溶解させたも
のを塗布することができる。このような感光性樹脂によ
れば，同一出願人が，別途提案したような，塗布時に予
め着色した感光性樹脂の層と光褪色性部材の層の２層を
形成する必要がなく，常法による製版工程で，着色画素
を得ることができる。塗布工程は，一般に，スピン塗布
法が用いられるが，所定膜厚と分光特性が得られれば良
いため，種々の塗布法，たとえば，ロ−ルコート法，ミ
ヤバーコート法等も採用しうる。
の中に，前述した光褪色性部材を添加して溶解させたも
のを塗布することができる。このような感光性樹脂によ
れば，同一出願人が，別途提案したような，塗布時に予
め着色した感光性樹脂の層と光褪色性部材の層の２層を
形成する必要がなく，常法による製版工程で，着色画素
を得ることができる。塗布工程は，一般に，スピン塗布
法が用いられるが，所定膜厚と分光特性が得られれば良
いため，種々の塗布法，たとえば，ロ−ルコート法，ミ
ヤバーコート法等も採用しうる。
【００１３】図４に，光褪色性部材（ジアゾ系；４−モ
リホリノ−２，５−ジブトキシ−ベンゼンジアゾニウム
塩化亜鉛塩）の光露光前後の光の透過率の変化を示す。
実線は，光照射前であり，点線は，光照射後の透過率で
ある。光照射により，光褪色性部材の紫外域の吸収が失
われ透過するようになることがわかる。
リホリノ−２，５−ジブトキシ−ベンゼンジアゾニウム
塩化亜鉛塩）の光露光前後の光の透過率の変化を示す。
実線は，光照射前であり，点線は，光照射後の透過率で
ある。光照射により，光褪色性部材の紫外域の吸収が失
われ透過するようになることがわかる。
【００１４】
【作用】図２，図３について前述したように，顔料によ
り着色された感光性樹脂単独では，光の照射により，顔
料粒子による光の乱反射が生ずる。また，感光性樹脂を
硬化させるに十分な光照射を行うと，光の乱反射による
線巾の太りを避けることができない。ここで，図５に示
すように，光褪色性部材を感光性樹脂に含ませると，乱
反射による光は，光褪色性部材に吸収される作用があ
る。従って，感光性樹脂を硬化させるに十分な光照射を
行っても光の乱反射が大巾により軽減される結果，線巾
の太りを防止することができ，着色画素の微細化が実現
する。同じように，回り込み光についても光褪色性部材
に吸収される作用があり，線巾の太りを防止することが
できる。
り着色された感光性樹脂単独では，光の照射により，顔
料粒子による光の乱反射が生ずる。また，感光性樹脂を
硬化させるに十分な光照射を行うと，光の乱反射による
線巾の太りを避けることができない。ここで，図５に示
すように，光褪色性部材を感光性樹脂に含ませると，乱
反射による光は，光褪色性部材に吸収される作用があ
る。従って，感光性樹脂を硬化させるに十分な光照射を
行っても光の乱反射が大巾により軽減される結果，線巾
の太りを防止することができ，着色画素の微細化が実現
する。同じように，回り込み光についても光褪色性部材
に吸収される作用があり，線巾の太りを防止することが
できる。
【００１５】
【実施例】次に，以上の発明の構成を更に詳細に，図面
を参照しながら，実施例を用いて説明する。 （実施例１） 「着色し光褪色性部材を含む感光性樹脂」の調整 調整方法としては，例えば，赤色顔料は，次のような処
理で作られた。シムラフアストピラゾロンレッドＢＴ
（大日本インキ化学社製顔料）８０ｇを平均分子量１５
００，ケン化度約８８％のポリビニルアルコール１００
ｇと重クロム酸アンモニウム３０ｇを水７８０ｇで溶解
させた感光性樹脂に混合し，得られた混合物をサンドミ
ルで練肉分散した後，１００００ｒｐｍで２０分間遠心
分離した。次いで，光褪色性部材として，ジアゾ系染料
ＤＨ−３００（ダイトー化学社製）１０ｇを添加し，攪
拌した後，１μｍのメンブランフィルターでー濾過し，
赤色着色の感光性樹脂組成物を得た。同様の方法で緑
色，青色の感光性樹脂組成物を作成した。これらの感光
性樹脂組成物の組成例を表１に示す。
を参照しながら，実施例を用いて説明する。 （実施例１） 「着色し光褪色性部材を含む感光性樹脂」の調整 調整方法としては，例えば，赤色顔料は，次のような処
理で作られた。シムラフアストピラゾロンレッドＢＴ
（大日本インキ化学社製顔料）８０ｇを平均分子量１５
００，ケン化度約８８％のポリビニルアルコール１００
ｇと重クロム酸アンモニウム３０ｇを水７８０ｇで溶解
させた感光性樹脂に混合し，得られた混合物をサンドミ
ルで練肉分散した後，１００００ｒｐｍで２０分間遠心
分離した。次いで，光褪色性部材として，ジアゾ系染料
ＤＨ−３００（ダイトー化学社製）１０ｇを添加し，攪
拌した後，１μｍのメンブランフィルターでー濾過し，
赤色着色の感光性樹脂組成物を得た。同様の方法で緑
色，青色の感光性樹脂組成物を作成した。これらの感光
性樹脂組成物の組成例を表１に示す。
【００１６】
【表１】
【００１７】（実施例２） カラーフィルターの製造 図１は，本発明のカラーフィルターの製造工程を説明す
る図であり，図１（ａ）に示す，６インチφのシリコン
ウェーハーに面付けされた一次元ラインセンサー（基板
１）上に，図１（ｂ）に示すように，実施例１で作成し
た赤色着色感光性樹脂（着色材と光褪色性部材を含む感
光性樹脂３）を膜厚２．０μｍになるように，スピン塗
布した後，６０℃のホットプレート上で５分間乾燥させ
た。次いで，図１（ｃ）に示すように，所望のパターン
を有するフオトマスク４を介して，２０μｍのプロキシ
ミティギャップで３００ｍＪ／ｃｍ2 の紫外線を照射し
た。更に，図１（ｄ）に示すように，水を用いて３０秒
間現像し，１５０℃のオーブンで３０分間硬化させた
後，所望の赤色の着色画素３ａを得た。かかる工程を
緑，青と同様に繰り返し，最後に保護膜として光感光性
アクリル樹脂ＦＶＲ−１０（富士薬品工業社製）を塗
布，露光，現像を行い，必要部位のみ製版することによ
り保護膜を形成した。以上のようにして，完成させたカ
ラーフィルター付の一次元ラインセンサーをイメージス
キャナーに組み込んで画像出力を試みたところ良好な画
質の画像が得られた。図６には，青色に着色した感光性
樹脂について，Ａの光褪色性部材を添加しない着色した
感光性樹脂のみを使用した場合に対比して，Ｂの光褪色
性部材としてジアゾ系染料ＤＨ−３００（ダイトー化学
社製）を添加した場合について，それぞれ露光量（ｍＪ
／ｃｍ2 ）と解像度（μｍ）の変化を示した。露光量が
一定の場合に，本発明では，着色した感光性樹脂のみを
使用した場合に比べて，約６０〜７０％に微細化された
ライン・アンド・スペース・パターンを形成できるほど
解像度が向上していることがわかる。
る図であり，図１（ａ）に示す，６インチφのシリコン
ウェーハーに面付けされた一次元ラインセンサー（基板
１）上に，図１（ｂ）に示すように，実施例１で作成し
た赤色着色感光性樹脂（着色材と光褪色性部材を含む感
光性樹脂３）を膜厚２．０μｍになるように，スピン塗
布した後，６０℃のホットプレート上で５分間乾燥させ
た。次いで，図１（ｃ）に示すように，所望のパターン
を有するフオトマスク４を介して，２０μｍのプロキシ
ミティギャップで３００ｍＪ／ｃｍ2 の紫外線を照射し
た。更に，図１（ｄ）に示すように，水を用いて３０秒
間現像し，１５０℃のオーブンで３０分間硬化させた
後，所望の赤色の着色画素３ａを得た。かかる工程を
緑，青と同様に繰り返し，最後に保護膜として光感光性
アクリル樹脂ＦＶＲ−１０（富士薬品工業社製）を塗
布，露光，現像を行い，必要部位のみ製版することによ
り保護膜を形成した。以上のようにして，完成させたカ
ラーフィルター付の一次元ラインセンサーをイメージス
キャナーに組み込んで画像出力を試みたところ良好な画
質の画像が得られた。図６には，青色に着色した感光性
樹脂について，Ａの光褪色性部材を添加しない着色した
感光性樹脂のみを使用した場合に対比して，Ｂの光褪色
性部材としてジアゾ系染料ＤＨ−３００（ダイトー化学
社製）を添加した場合について，それぞれ露光量（ｍＪ
／ｃｍ2 ）と解像度（μｍ）の変化を示した。露光量が
一定の場合に，本発明では，着色した感光性樹脂のみを
使用した場合に比べて，約６０〜７０％に微細化された
ライン・アンド・スペース・パターンを形成できるほど
解像度が向上していることがわかる。
【００１８】
【発明の効果】露光量が一定の場合，光褪色性部材を添
加する前のものに比べ，解像度が３〜４割程度向上し
た。デバイス等の製造分野で用いられるＣＥＬでは，１
〜２割程度の解像度が向上するのに比べ，可視領域の特
定の領域の光を透過する分光特性を有する感光性樹脂で
は，その効果は，著しく大きいものであった。また，光
褪色性部材による光吸収は，約１００ｍＪ／ｃｍ2 であ
ったが，もともと光褪色性部材を含む着色された感光性
樹脂の感度が数１００ｍＪ／ｃｍ2 であるため，減感の
比率も軽微であり，生産性の大巾な低下はなかった。
（なお，デバイス等の製造分野で使用される感光性樹脂
は，例えば，ノボラック系樹脂で５０〜１００ｍＪ／ｃ
ｍ2 であるため，減感の比率が大になる）
加する前のものに比べ，解像度が３〜４割程度向上し
た。デバイス等の製造分野で用いられるＣＥＬでは，１
〜２割程度の解像度が向上するのに比べ，可視領域の特
定の領域の光を透過する分光特性を有する感光性樹脂で
は，その効果は，著しく大きいものであった。また，光
褪色性部材による光吸収は，約１００ｍＪ／ｃｍ2 であ
ったが，もともと光褪色性部材を含む着色された感光性
樹脂の感度が数１００ｍＪ／ｃｍ2 であるため，減感の
比率も軽微であり，生産性の大巾な低下はなかった。
（なお，デバイス等の製造分野で使用される感光性樹脂
は，例えば，ノボラック系樹脂で５０〜１００ｍＪ／ｃ
ｍ2 であるため，減感の比率が大になる）
【図１】本発明のカラーフィルターの製造工程を説明す
る図である。
る図である。
【図２】従来の「顔料分散法」における顔料粒子による
光の乱反射を説明する図である。
光の乱反射を説明する図である。
【図３】従来の「顔料分散法」における光の回り込み状
況を説明する図である。
況を説明する図である。
【図４】本発明で使用する光褪色性部材例の光露光前後
の光の透過率を説明する図である。
の光の透過率を説明する図である。
【図５】本発明の作用を説明する図である。
【図６】本発明と従来法とを対比した露光量と解像度と
の関連を説明する図である。
の関連を説明する図である。
１ 基板 ２ 顔料分散感材（着色した感光性樹脂） ３ 着色材と光褪色性部材を含む感光性樹脂 ３ａ 着色画素 ４ フオトマスク ５ 光 ５ａ 乱反射光 ５ｂ 回り込み光
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−22656（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−287234（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−129738（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−129739（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−129707（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−299960（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−70245（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−299836（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−121050（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−269136（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G03F 7/004 505
Claims (1)
- 【請求項１】 顔料を感光性樹脂に練肉分散し、可視領
域の特定の領域の光を透過する分光特性を有する感光性
樹脂とした後、光褪色性部材を添加したことを特徴とす
るカラ−フィルタ−着色画像形成用感光性樹脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16336693A JP3309166B2 (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | 着色画像形成用感光性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16336693A JP3309166B2 (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | 着色画像形成用感光性樹脂組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06348003A JPH06348003A (ja) | 1994-12-22 |
| JP3309166B2 true JP3309166B2 (ja) | 2002-07-29 |
Family
ID=15772523
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16336693A Expired - Fee Related JP3309166B2 (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | 着色画像形成用感光性樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3309166B2 (ja) |
-
1993
- 1993-06-08 JP JP16336693A patent/JP3309166B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06348003A (ja) | 1994-12-22 |
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