JP3306838B2 - CLEANING METHOD FOR CURTAIN FLOW COATER AND METHOD FOR PRODUCING COATING FILM FOR COLOR FILTER - Google Patents

CLEANING METHOD FOR CURTAIN FLOW COATER AND METHOD FOR PRODUCING COATING FILM FOR COLOR FILTER

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JP3306838B2
JP3306838B2 JP31350593A JP31350593A JP3306838B2 JP 3306838 B2 JP3306838 B2 JP 3306838B2 JP 31350593 A JP31350593 A JP 31350593A JP 31350593 A JP31350593 A JP 31350593A JP 3306838 B2 JP3306838 B2 JP 3306838B2
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coating film
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curtain flow
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修 和田
伸二 富松
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、液晶を用いたカラーデ
ィスプレイや固体撮像素子などに用いられるカラーフィ
ルタ用塗膜の塗布時などに特に好適に用いられるカーテ
ンフローコータの口金のリップ部清掃方法およびそれを
利用したカラーフィルタ用塗膜の製造方法に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for cleaning a lip portion of a mouthpiece of a curtain flow coater, which is particularly preferably used when a color filter coating film used for a color display or a solid-state image sensor using liquid crystal is applied. And a method for producing a coating film for a color filter using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に液晶を用いたディスプレイ等に利
用されるカラーフィルタは、ガラス板等の透明基板上
に、赤、緑、青の3原色パターンがある一定の位置関係
を保って配列されている。このガラス基板等への薄膜塗
布方式の一つとして、カーテンフローコータがある。こ
の塗布方法としては、例えば特開平5−11105号公
報に開示されおり,スリットダイ、ダイヘッド、Tダイ
と呼ばれる口金のリップ部先端から塗料をカーテン状に
吐出し、基板に非接触で塗布する方式のものである。こ
の方式は、吐出されるまでの塗料供給経路が密閉されて
いるために異物の混入がなく、更に塗料の粘度変化が少
ないために塗布膜厚が均一であるなどの特徴を有してい
る。
2. Description of the Related Art In general, a color filter used for a display using a liquid crystal or the like is arranged on a transparent substrate such as a glass plate while maintaining a certain positional relationship between three primary color patterns of red, green and blue. I have. A curtain flow coater is one of the methods for coating a thin film on a glass substrate or the like. This coating method is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-1105, in which a paint is discharged in a curtain shape from the tip of a lip portion of a die called a slit die, a die head, or a T die, and is applied to a substrate in a non-contact manner. belongs to. This method is characterized in that the paint supply path until the ink is discharged is sealed, so that no foreign matter is mixed in, and the viscosity of the paint is small, so that the applied film thickness is uniform.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この塗
布方法の欠点は、口金のリップ部先端から吐出された後
の塗料が除々にリップ部の先端に付着しやすいことであ
る。この付着した塗料は、塗料中の溶剤が蒸発して固形
物となり、ガラス板上に塗布した塗膜に塗布方向の縦状
の塗布スジとなって発生する。更には、この固形物がリ
ップ部から脱離して、塗布した塗膜に異物として持ち込
まれる。以上の理由で口金のリップ部先端の清掃は、連
続生産において欠かせない課題である。
However, a drawback of this coating method is that the paint discharged from the tip of the lip of the base is likely to gradually adhere to the tip of the lip. The attached paint becomes a solid by evaporating the solvent in the paint, and is generated as a vertical coating streak in the coating direction on the coating film applied on the glass plate. Further, the solids are detached from the lip portion and are carried as foreign matter into the applied coating film. For the above reasons, cleaning the tip of the lip of the base is an indispensable task in continuous production.

【0004】現状の口金リップ部先端の清掃方法として
は、溶剤を含浸させた不織布などを用いて手拭き清掃を
したり、あるいはリップ部先端を溶剤で洗浄する方法な
どがある。しかしこれらの方法は、不織布から発生した
埃りにより基板が汚染されたり、口金のリップ部から吐
出された塗料が汚染されて塗膜の縦スジの発生原因にな
るなどの問題がある。一方、溶剤洗浄法では、口金のリ
ップ部に付着した塗料が洗浄溶剤と共に飛散して塗布基
板に付着し、汚染および塗布ムラを生じるなどの問題が
ある。
[0004] Current methods for cleaning the tip of the base lip include hand wiping using a non-woven fabric impregnated with a solvent or cleaning the tip of the lip with a solvent. However, these methods have problems that the substrate is contaminated by dust generated from the nonwoven fabric, and that the paint discharged from the lip portion of the base is contaminated and causes vertical streaks of the coating film. On the other hand, in the solvent cleaning method, there is a problem that the paint adhered to the lip portion of the base scatters together with the cleaning solvent and adheres to the application substrate, causing contamination and application unevenness.

【0005】したがって、本発明の目的は、塗料粘度の
変化が少なく、塗布膜厚が均一であるなどの従来のカー
テンフローコータの特徴を保持したままで、これまでの
課題である口金のリップ部先端に付着した塗料を容易に
清掃して、塗布スジ、塗布ムラがなく、品質および経済
性に優れたカラーフィルタ用塗膜を提供することにあ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a conventional lip portion of a mouthpiece which retains the characteristics of a conventional curtain flow coater such as a small change in paint viscosity and a uniform coating film thickness. An object of the present invention is to provide a color filter coating film which is easy to clean the paint adhering to the tip, has no coating streaks and coating unevenness, and is excellent in quality and economy.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、次の構成を有
するものである。
The present invention has the following configuration.

【0007】枚葉の平板上に塗料を塗布する際に用い
られるカーテンフローコータの口金の清掃方法におい
て、該塗料を塗布する直前に、該口金のリップ部に上面
が口金のリップ先端部に密着する形状に作成されかつ表
面がゴム弾性を有する厚み0.5〜10mmのシート状の
高分子樹脂からなる清掃部材を密着させ、該リップ部に
沿って移動させて付着した塗料をかき落とすことにより
清掃することを特徴とするカーテンフローコータの口金
の清掃方法。
In a method of cleaning a mouthpiece of a curtain flow coater used when applying paint on a flat plate of a sheet, the upper surface is in close contact with the lip end of the mouthpiece immediately before applying the paint. A cleaning member made of a polymer resin in the form of a sheet having a thickness of 0.5 to 10 mm and having a rubber elasticity and having a surface having rubber elasticity is brought into close contact with the cleaning member, and is moved along the lip portion to remove the applied paint. A method for cleaning a mouthpiece of a curtain flow coater, which comprises cleaning by scraping off.

【0008】枚葉の平板上にカラーフィルタ用塗膜形
成用塗料をカーテンフローコータを用いて塗布、乾燥す
る工程を含むカラーフィルタ用塗膜の製造方法におい
て、該塗料を塗布する直前に該カーテンフローコータの
口金のリップ部に上面が口金のリップ先端部に密着する
形状に作成されかつ表面がゴム弾性を有する厚み0.5
〜10mmのシート状の高分子樹脂からなる清掃部材を密
着させ、該リップ部に沿って移動させて付着した塗料を
かき落とすことにより清掃することを特徴とするカラー
フィルタ用塗膜の製造方法。
In a method for producing a coating film for a color filter, comprising a step of applying a coating material for forming a coating film for a color filter on a flat plate using a curtain flow coater and drying the coating material, the coating film is applied immediately before applying the coating material. The upper surface of the lip of the base of the flow coater is formed in a shape to be in close contact with the tip of the lip of the base, and the surface has a rubber elasticity thickness of 0.5.
A method for producing a coating film for a color filter, comprising: bringing a cleaning member made of a polymer resin in the form of a sheet having a size of 10 mm into close contact, moving along the lip portion, and scraping off the adhered paint to clean.

【0009】次に本発明におけるカーテンフローコータ
の口金の清掃方法を図面に従って説明する。
Next, a method of cleaning a mouthpiece of a curtain flow coater according to the present invention will be described with reference to the drawings.

【0010】第1図および第2図は、本発明にかかるカ
ーテンフローコータによる塗布(スリットダイコータ)
の一例を示す概略図である。すなわち、第1図は、塗料
を塗布する直前に清掃部材4によって口金3のリップ部
10を清掃している状態を示す。第2図は、口金3のリ
ップ部10の清掃が終了し、塗料の塗布を開始した状態
を示す。
FIGS. 1 and 2 show coating by a curtain flow coater according to the present invention (slit die coater).
FIG. 3 is a schematic diagram showing an example. That is, FIG. 1 shows a state in which the lip portion 10 of the base 3 is being cleaned by the cleaning member 4 immediately before the application of the paint. FIG. 2 shows a state in which the cleaning of the lip portion 10 of the base 3 has been completed and the application of the paint has started.

【0011】すなわち、塗料9はポンプ8によって配管
7から口金3の内部に供給される。この状態で、口金3
のリップ部10の先端部から吐出されてリップ部10の
表面に付着した余分の塗料を清掃装置5によって清掃す
る。つづいて平板1の搬送(矢印A方向)に従い、口金
3のリップ部10からカーテン状態で吸着ステージ2上
に吸着固定された平板1上に塗料が塗布され、塗膜11
が形成される。塗膜の均一性は、カーテン状に吐出され
る塗料を口金先端部にあるリップ部10の間隔や平板1
とリップ部10の間隔を調整してコントロールされる。
That is, the paint 9 is supplied from the pipe 7 into the base 3 by the pump 8. In this state, cap 3
The excess paint discharged from the tip of the lip 10 and adhered to the surface of the lip 10 is cleaned by the cleaning device 5. Then, in accordance with the transport of the flat plate 1 (in the direction of arrow A), the paint is applied from the lip portion 10 of the base 3 to the flat plate 1 that is suction-fixed onto the suction stage 2 in a curtain state.
Is formed. The uniformity of the coating film is determined by applying the paint discharged in a curtain shape to the gap between the lip portions 10 at the tip of the base and the flat plate 1.
And the lip portion 10 is adjusted to control the distance.

【0012】清掃装置5は、表面が高分子樹脂からなる
清掃部材4、それを保持する容器5および清掃した塗料
を排出する排出配管6から構成されており、支持体12
により支持されている。清掃手順は次の通りである。ま
ず、清掃部材4および容器5が口金3のリップ部10の
真下で停止し上昇する。この動作で清掃部材4の上部が
口金3のリップ部10に密着する。この密着した状態で
清掃部材4がリップ部10に沿って移動し、リップ部に
付着した塗料をこすり落とす、あるいはかき落とす等し
て除去し、清掃を完了する。清掃後は、清掃装置5が下
降して塗布が開始される。なお、清掃部材4によってリ
ップ部10から清掃された不要塗料は、容器5に溜まり
排出配管6から排出される。
The cleaning device 5 comprises a cleaning member 4 having a surface made of a polymer resin, a container 5 for holding the cleaning member 4, and a discharge pipe 6 for discharging the cleaned paint.
Supported by The cleaning procedure is as follows. First, the cleaning member 4 and the container 5 stop immediately below the lip 10 of the base 3 and rise. With this operation, the upper portion of the cleaning member 4 comes into close contact with the lip portion 10 of the base 3. The cleaning member 4 moves along the lip portion 10 in the closely contacted state, and removes the paint adhered to the lip portion by scraping or scraping off the paint, thereby completing the cleaning. After cleaning, the cleaning device 5 descends to start coating. The unnecessary paint cleaned from the lip portion 10 by the cleaning member 4 accumulates in the container 5 and is discharged from the discharge pipe 6.

【0013】第3図に清掃部材4の一例を示す。清掃部
材4の上部の形状は特に限定されるものでないが、リッ
プ部10の先端に密着する形状であることが好ましい。
清掃部材4は、例えばシート状のものを適宜の形状に切
り取ることによってシート状部材として製造することが
できるが、シートの厚み(清掃部材の幅)としては、
0.5mm〜10mmの範囲が好ましく、より好ましく
は2mm〜5mmの範囲である。0.5mm未満の厚さ
では、シートの弾性が劣り清掃効果が少ない。10mm
厚をこえる場合は、リップ先端部からかきとった塗料が
シート状の清掃部材とリップ先端間に溜まり、汚染の原
因になりやすい。また、清掃部材4としては、このよう
なシート状部材が、リップ部からかきとった塗料が容器
5の中に流出しやすい程度の間隔(1mm〜10mm程
度)をおいて2シート以上配列されているものが好まし
く用いられる。配列するシート数が多いほど清掃効果が
大きくなるからである。ただし、カーテンフローコータ
の幅が限られており、清掃部材はカーテンフローコータ
の端部から端部までスライドするものであるので、シー
ト状部材の幅と間隔を決定すれば、自ずとシート数は決
定される。例えば、カーテンフローコータの幅が300
mm、シート状部材の幅が5mm、間隔が2mmであれ
ば、シート数は2〜7個程度が適当である。第3図に
は、3シート配列した例を示す。
FIG. 3 shows an example of the cleaning member 4. The shape of the upper portion of the cleaning member 4 is not particularly limited, but is preferably a shape that is in close contact with the tip of the lip portion 10.
The cleaning member 4 can be manufactured as a sheet-like member, for example, by cutting a sheet-like member into an appropriate shape. The thickness of the sheet (the width of the cleaning member) is as follows.
The range is preferably from 0.5 mm to 10 mm, more preferably from 2 mm to 5 mm. When the thickness is less than 0.5 mm, the elasticity of the sheet is poor and the cleaning effect is small. 10mm
If the thickness is larger, the paint scraped off from the tip of the lip accumulates between the sheet-like cleaning member and the tip of the lip, and tends to cause contamination. Further, as the cleaning member 4, two or more sheets of such a sheet-like member are arranged at intervals (about 1 mm to 10 mm) at which the paint scraped from the lip portion easily flows into the container 5. Are preferably used. This is because the greater the number of sheets arranged, the greater the cleaning effect. However, since the width of the curtain flow coater is limited and the cleaning member slides from one end of the curtain flow coater to the other end, if the width and the interval of the sheet-like members are determined, the number of sheets is naturally determined. Is done. For example, if the width of the curtain flow coater is 300
mm, the width of the sheet-like member is 5 mm, and the interval is 2 mm, the number of sheets is appropriately about 2 to 7. FIG. 3 shows an example in which three sheets are arranged.

【0014】清掃部材4の表面は高分子樹脂からなるも
のであり、高分子樹脂としては、特に限定されるもので
ないが、テフロン樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、
ポリエステル樹脂、ポリプロピレン樹脂、フッ素樹脂、
ポリブタジエン樹脂、ニトリルゴム、シリコーンゴム、
エチレン・酢酸ビニル共重合体などの一種または二種以
上を混合したものが好ましく用いられる。これらの中で
も、リップ部の先端に良好に密着するためにはゴム弾性
を有するものが好ましく、また、塗料に含まれる溶剤
(N−メチル−2−ピロリドンなど)に対する耐性の大
きいものが好ましく、さらに耐久性を有するものが好ま
しい。以上の点から、最も好ましいのはシリコーンゴム
である。表面以外の部分は、表面と同様の高分子樹脂で
あってもよいし、全く異なる材質のものであってもよ
い。
The surface of the cleaning member 4 is made of a polymer resin. The polymer resin is not particularly limited, but may be a Teflon resin, a urethane resin, an acrylic resin, or the like.
Polyester resin, polypropylene resin, fluororesin,
Polybutadiene resin, nitrile rubber, silicone rubber,
One or a mixture of two or more such as ethylene / vinyl acetate copolymers is preferably used. Among these, those having rubber elasticity are preferable in order to make good contact with the tip of the lip portion, and those having high resistance to a solvent (such as N-methyl-2-pyrrolidone) contained in the coating material are preferable. Those having durability are preferred. In view of the above, silicone rubber is most preferred. The portion other than the surface may be made of the same polymer resin as the surface, or may be made of a completely different material.

【0015】また、これらの清掃部材の表面を構成する
樹脂中に発生した静電気を除去し、埃の付着を防止する
ために導電性粉末を混入することも好ましく行われる。
導電性粉末としては、特に限定されるものではないが、
それ自身が導通性に優れた粉末であるものが好ましく用
いられる。このような導電性粉末としては、導電性カー
ボン、白金、金、ニッケル、銀、銅、コバルト、錫、ア
ルミニュウムおよびパラジウムなどの一種または二種以
上の混合物が好適に用いられる。これらの導電性粉末
は、樹脂に対して40重量%〜100重量%程度混合す
ればよい。導電性粉末の量が多すぎると、樹脂が脆くな
り耐久性の劣ったものとなる。
It is also preferable to mix a conductive powder in order to remove static electricity generated in the resin constituting the surface of these cleaning members and prevent dust from adhering.
The conductive powder is not particularly limited,
A powder that is itself a powder having excellent conductivity is preferably used. As such a conductive powder, one or a mixture of two or more of conductive carbon, platinum, gold, nickel, silver, copper, cobalt, tin, aluminum and palladium is suitably used. These conductive powders may be mixed at about 40% by weight to 100% by weight with respect to the resin. If the amount of the conductive powder is too large, the resin becomes brittle, resulting in poor durability.

【0016】清掃部材による清掃は、塗料を塗布する直
前に行うと、口金リップ部に付着した塗料がほとんど除
去されるので最も効果的であるが、これに限定されず、
適宜行うことができる。
If the cleaning by the cleaning member is performed immediately before the application of the paint, the paint attached to the base lip is almost removed, which is most effective. However, the present invention is not limited to this.
It can be performed as appropriate.

【0017】本発明のカーテンフローコータによる塗布
は、スリットダイコータによる方法に限定されず、ダイ
ヘッド、Tダイなどによる方法でも良い。また塗料の供
給手段は、ポンプに限定されず、圧空などの方式による
ものでも良い。
The application by the curtain flow coater of the present invention is not limited to a method using a slit die coater, but may be a method using a die head, a T-die or the like. Further, the means for supplying the paint is not limited to the pump, but may be a method such as pressurized air.

【0018】塗料がカラーフィルタ用塗膜形成用塗料で
ある場合には、特に外観が良好であることが要求される
ので、本発明のカーテンフローコータの口金の清掃方法
は特に好適に用いられる。
When the paint is a paint for forming a coating film for a color filter, it is required that the appearance is particularly good. Therefore, the method for cleaning a mouthpiece of a curtain flow coater of the present invention is particularly preferably used.

【0019】以下、カラーフィルタ用塗膜形成に本発明
の清掃方法を適用した場合について説明する。
Hereinafter, the case where the cleaning method of the present invention is applied to the formation of a color filter coating film will be described.

【0020】カラーフィルタ用塗膜形成の場合、平板と
して透明平板を用いる。透明平板としては、特に限定さ
れるものでないが、ポリカーボネート、ポリメチルメタ
クリレート等のプラスチック平板やプラスチックフイル
ムおよびガラス板等全光線透過率が70%以上の透明平
板が好ましく用いられる。なおこれらの中ではガラス板
がより好ましく用いられる。
In the case of forming a coating film for a color filter, a transparent flat plate is used as the flat plate. The transparent flat plate is not particularly limited, but a transparent flat plate having a total light transmittance of 70% or more, such as a plastic flat plate such as polycarbonate and polymethyl methacrylate, a plastic film and a glass plate is preferably used. Among these, a glass plate is more preferably used.

【0021】塗料の種類としては、特に限定されるもの
でないが、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリビニ
ルアルコール樹脂、ポリアミド酸樹脂、ポリイミド樹脂
等の一種または二種以上の混合物およびこれらの感光性
樹脂等が好ましく用いられる。なお、これらの樹脂に染
料または顔料等の着色剤を分散混合して使用することも
できる。
The kind of the coating material is not particularly limited, but one or a mixture of two or more of acrylic resin, polyester resin, polyvinyl alcohol resin, polyamic acid resin, polyimide resin and the like, and a photosensitive resin thereof are used. It is preferably used. In addition, a coloring agent such as a dye or a pigment may be dispersed and mixed in these resins.

【0022】透明平板への塗布後の膜厚は、特に限定さ
れるものでないが、乾燥塗膜の状態で0.1μm〜5μ
mの範囲が好ましく、より好ましくは、0.2μm〜3
μmの範囲が好適に用いられる。乾燥後の塗膜が0.1
μm未満では、乾燥塗膜に縦状のスジが発生し、品質上
問題である。一方5μmをこえる場合は、塗料の使用量
が多くなり、経済性に欠ける。
The thickness of the film after coating on the transparent flat plate is not particularly limited, but is 0.1 μm to 5 μm
m is preferable, and more preferably 0.2 μm to 3 μm.
The range of μm is preferably used. The coating film after drying is 0.1
If it is less than μm, vertical streaks are generated in the dried coating film, which is a problem in quality. On the other hand, when the thickness exceeds 5 μm, the amount of the paint used increases, and the economy is low.

【0023】カラーフィルタの製造方法については、例
えば、以下の方法が挙げられるが、これらに限定される
ものでない。まず透明平板上に微細パターンからなる遮
光層を形成する。この遮光層上に着色剤を添加した熱硬
化性の塗料を塗布し、50℃〜150℃の温度で乾燥し
て、熱硬化性塗膜を形成する。続いて該熱硬化性塗膜上
にポジ型フォトレジストを塗布し、超高圧水銀灯等を用
いてマスク露光を行い、次いで該ポジ型フォトレジスト
を現像・エッチングし、レリーフパターンを形成した
後、該レリーフパターンをマスクとして、該熱硬化性塗
膜をエッチングする。続いて該ポジ型フォトレジストを
剥離した後、200℃〜350℃に加熱焼成し、塗膜を
熱硬化する。以上の工程を赤色、緑色および青色につい
てくり返し、所定の赤色、緑色および青色の微細パター
ンを形成し、カラーフィルタとする。
The method for producing a color filter includes, for example, the following methods, but is not limited thereto. First, a light shielding layer composed of a fine pattern is formed on a transparent flat plate. A thermosetting paint to which a coloring agent is added is applied on the light-shielding layer, and dried at a temperature of 50C to 150C to form a thermosetting coating film. Subsequently, a positive photoresist is applied on the thermosetting coating film, mask exposure is performed using an ultra-high pressure mercury lamp or the like, and then the positive photoresist is developed and etched to form a relief pattern. The thermosetting coating film is etched using the relief pattern as a mask. Subsequently, after the positive photoresist is removed, the coating is thermally cured at 200 ° C. to 350 ° C. to thermally cure the coating film. The above steps are repeated for red, green and blue to form predetermined red, green and blue fine patterns to form color filters.

【0024】塗料の乾燥温度は、50℃〜160℃の範
囲が好ましく、より好ましくは、80℃〜130℃の範
囲が好適である。50℃未満では、乾燥時間が長く生産
効率が悪くなる。一方160℃をこえる場合は、熱硬化
が進行してしまい現像液に不溶化してしまう。
[0024] The drying temperature of the paint is preferably in the range of 50 ° C to 160 ° C, more preferably in the range of 80 ° C to 130 ° C. If the temperature is lower than 50 ° C., the drying time is long and the production efficiency is poor. On the other hand, when the temperature exceeds 160 ° C., the thermosetting proceeds and becomes insoluble in the developer.

【0025】一方着色剤を添加した感光性塗料の場合
は、透明平板上に微細パターンからなる遮光層を形成
し、該遮光層上に着色剤を添加した感光性塗料を塗布し
て、50℃〜150℃の温度で乾燥して、感光性塗膜を
形成する。続いて超高圧水銀灯等を用いてマスク露光を
行い、感光性塗膜を光硬化する。その後遮光層上の未硬
化感光性塗膜を現像・エッチングする。以上の工程を赤
色、緑色および青色についてくり返し、所定の赤色、緑
色および青色の微細パターンを形成し、カラーフィルタ
とする。
On the other hand, in the case of a photosensitive paint to which a colorant is added, a light-shielding layer composed of a fine pattern is formed on a transparent flat plate, and the photosensitive paint to which a colorant is added is applied on the light-shielding layer. Dry at a temperature of 150 ° C. to form a photosensitive coating. Subsequently, mask exposure is performed using an ultra-high pressure mercury lamp or the like, and the photosensitive coating film is photo-cured. Thereafter, the uncured photosensitive coating film on the light shielding layer is developed and etched. The above steps are repeated for red, green and blue to form predetermined red, green and blue fine patterns to form color filters.

【0026】なお必要に応じて、該赤色、緑色および青
色の微細パターン上に保護膜および平滑性を高める目的
で着色剤を含まない塗料を塗布して、カラーフィルタと
してもよい。
If necessary, a color filter may be formed by applying a colorant-free paint on the red, green and blue fine patterns for the purpose of improving the protective film and smoothness.

【0027】本発明によるカーテンフローコータの口金
の清掃方法は、以上のカラーフィルタ製造工程における
各種カラーフィルタ用塗膜形成用塗料の塗布に有効であ
る。すなわち、赤色、緑色、青色の微細パターン形成用
塗料、遮光層形成用塗料、保護膜形成用塗料などであ
る。
The method for cleaning a mouthpiece of a curtain flow coater according to the present invention is effective for applying a paint for forming a coating film for various color filters in the above-described color filter manufacturing process. That is, there are red, green, and blue fine pattern forming paints, light shielding layer forming paints, protective film forming paints, and the like.

【0028】[0028]

【実施例】以下に、実施例を挙げて本発明を詳細に説明
するが、これらに限定されるものでない。
EXAMPLES The present invention will be described in detail below with reference to examples, but is not limited thereto.

【0029】実施例1、比較例1 第1図および第2図に示す塗布装置を用いて、ガラス基
板上に塗料を塗布した。ガラス基板は、大きさ300m
m×350mm、厚さ1.1mmのものを使用し、塗布
する直前に清掃部材4を用いて口金3のリップ部10の
先端を清掃した。その後にN−メチル−2−ピロリドン
溶剤と塩臭素化フタルシアニングリーン(C.I.ピグ
メントグリーン36)とジスアゾイエローHR(C.
I.ピグメントイエロー83)顔料を添加・分散したポ
リアミド酸塗料を固形分8wt%、粘度100cpの状
態で2m/分の速度で塗布し、120℃で10分乾燥し
た。清掃部材4としては、5mm厚のシリコーンゴムシ
ート(タイガースポリマ(株)製)を上面が口金のリッ
プ先端部に密着する形状に作成し、ピッチ10mmで3
シート配列して使用した(実施例1)。
Example 1, Comparative Example 1 A coating material was applied onto a glass substrate using the coating apparatus shown in FIGS. The glass substrate is 300m in size
The tip of the lip portion 10 of the base 3 was cleaned with the cleaning member 4 immediately before application using a material having a size of mx 350 mm and a thickness of 1.1 mm. Thereafter, an N-methyl-2-pyrrolidone solvent, chlorobrominated phthalocyanine green (CI pigment green 36) and disazo yellow HR (C.I.
I. Pigment Yellow 83) A polyamic acid paint to which a pigment was added and dispersed was applied at a rate of 2 m / min at a solid content of 8 wt% and a viscosity of 100 cp, and dried at 120 ° C. for 10 minutes. As the cleaning member 4, a 5-mm thick silicone rubber sheet (manufactured by Tigers Polymer Co., Ltd.) is formed in a shape such that the upper surface is in close contact with the lip tip of the base, and the pitch is 10 mm.
The sheets were arranged and used (Example 1).

【0030】以上の方法でガラス基板100枚に連続塗
布した結果、清掃後のリップ部先端部には、塗料の付着
が非常に少なく、得られたいずれの塗布基板も縦状のス
ジ、ムラおよび埃などによる汚染がなく、良好な塗膜が
得られた。
As a result of continuous application to 100 glass substrates by the above-mentioned method, the adhesion of the paint to the tip of the lip after cleaning is extremely small, and any of the obtained applied substrates has vertical stripes, unevenness and unevenness. A good coating film was obtained without contamination by dust and the like.

【0031】一方、本発明の清掃部材を使用しないで実
施例1と同様の方法で塗布を行った(比較例1)。第1
表に実施例1で得られた塗布基板と比較例1で得られた
塗布基板の塗膜の外観を目視評価した結果を比較して示
した。
On the other hand, coating was performed in the same manner as in Example 1 without using the cleaning member of the present invention (Comparative Example 1). First
In the table, the results of visual evaluation of the coating films of the coated substrate obtained in Example 1 and the coated substrate obtained in Comparative Example 1 are shown.

【0032】[0032]

【表1】 比較例1では、塗布枚数が多くなるにつれて、口金のリ
ップ先端部が付着した塗料で汚れてくる。その結果、縦
状スジの発生、塗布ムラの発生および塗料起因の異物が
増大する。一方実施例1では、この様な現象が発生せ
ず、外観上問題のない良好な塗布基板が得られた。
[Table 1] In Comparative Example 1, as the number of coatings increases, the tip of the lip of the die becomes stained with the applied paint. As a result, the occurrence of vertical streaks, the occurrence of coating unevenness, and the increase in foreign matters caused by paint increase. On the other hand, in Example 1, such a phenomenon did not occur, and a good coated substrate having no problem in appearance was obtained.

【0033】[0033]

【0034】実施例 シリコーン“SE6720”(東レ・ダウコーニング・
シリコーン(株)製)と、該シリコーンに対して70重
量%の導電性カーボン“デンカブラック”(電子化学工
業(株)製)を混合し、ニーダーで均一分散させた。こ
の分散液を用いて3mm厚のシートを形成し、150
℃、30分、さらに200℃、1hr硬化させて引裂強
度の強いシリコーンゴムシートを作製した。
Example 2 Silicone "SE6720" (Dow Corning Toray)
Silicone Co., Ltd.) and 70% by weight of conductive silicone "Denka Black" (manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd.) based on the silicone were mixed and uniformly dispersed by a kneader. A 3 mm-thick sheet is formed using this dispersion,
C. for 30 minutes and then at 200.degree. C. for 1 hour to produce a silicone rubber sheet having a strong tear strength.

【0035】口金清掃部材として上記の導電性カーボン
を含有するシリコーンゴムシートを3シート用い、実施
例1と同様の方法で塗布した。その結果、実施例1と比
べて、リップ部に埃の付着がほとんどなく、この結果、
縦状スジ、塗布ムラ、顔料起因の異物などの発生がなく
より良好な塗膜が得られた。
The same method as in Example 1 was applied using three silicone rubber sheets containing conductive carbon as the base cleaning member. As a result, compared to the first embodiment, there is almost no dust attached to the lip portion.
A better coating film was obtained without generation of vertical stripes, coating unevenness, and foreign matters caused by pigments.

【0036】[0036]

【発明の効果】本発明によると、カーテンフローコータ
の口金先端部であるリップ部に付着した余分の塗料を容
易に清掃することが可能となった。このために平板上の
塗膜に縦状の塗布スジ、塗布ムラおよび顔料起因の汚
染、口金清掃部材による汚染などの外観不良が発生せ
ず、生産性を著しく向上させることができる。
According to the present invention, it is possible to easily clean excess paint adhering to the lip, which is the tip of the mouthpiece of the curtain flow coater. For this reason, appearance defects such as vertical coating streaks, coating unevenness, contamination due to the pigment, and contamination by the base cleaning member do not occur on the coating film on the flat plate, and productivity can be significantly improved.

【0037】清掃部材の表面の高分子樹脂としてシリコ
ーンゴムを用いることにより、リップ部の先端に良好に
密着することが可能となり、またN−メチル−2−ピロ
リドンなどの溶剤に対しても耐性があり、さらに耐久性
もあるので、清掃の効果をより一層高めることができ
る。
By using silicone rubber as the polymer resin on the surface of the cleaning member, it is possible to make good contact with the tip of the lip, and it is resistant to solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone. Yes, it is more durable, so the cleaning effect can be further enhanced.

【0038】また、清掃を塗料を塗布する直前に行うこ
とにより、口金リップ部に付着した塗料がほとんど除去
されるので、塗布スジや塗布ムラ、顔料起因の汚染を効
果的に防止することができる。
Further, by performing the cleaning immediately before the application of the paint, most of the paint adhered to the base lip portion is removed, so that coating streaks, coating unevenness, and contamination caused by the pigment can be effectively prevented. .

【0039】なお、カラーフィルタ用塗膜には特に外観
が良好であることが要求されるので、カラーフィルタ用
塗膜をカーテンフローコータで形成する場合にこの清掃
方法を用いることは非常に有効である。
Since the color filter coating film is required to have particularly good appearance, it is very effective to use this cleaning method when forming the color filter coating film with a curtain flow coater. is there.

【0040】したがって、高品質で価格の安い経済性に
優れたカラーフィルタの連続生産が可能となる。
Therefore, it is possible to continuously produce a high-quality color filter which is inexpensive and economical.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明にかかるカーテンフローコータによる塗
布(スリットダイコータ)の一例を示す概略図であり、
塗料を塗布する直前に清掃部材によって口金のリップ部
を清掃している状態を示すものである。
FIG. 1 is a schematic view showing an example of coating (slit die coater) by a curtain flow coater according to the present invention;
This shows a state in which the lip portion of the base is being cleaned by the cleaning member immediately before the application of the paint.

【図2】本発明にかかるカーテンフローコータによる塗
布(スリットダイコータ)の一例を示す概略図であり、
口金のリップ部の清掃が終了し、塗料の塗布を開始した
状態を示すものである。
FIG. 2 is a schematic view showing an example of coating (slit die coater) by a curtain flow coater according to the present invention;
This shows a state in which cleaning of the lip portion of the base has been completed and application of paint has started.

【図3】カーテンフローコータの口金のリップ部を清掃
する清掃部材の一例を示す概略図である。
FIG. 3 is a schematic view showing an example of a cleaning member for cleaning a lip portion of a mouthpiece of a curtain flow coater.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:平板 2:吸着ステージ 3:口金 4:清掃部材 5:容器 6:塗料排出配管 7:塗料供給配管 8:ポンプ 9:塗料 10:リップ部 11:塗膜 12:支持体 1: flat plate 2: suction stage 3: base 4: cleaning member 5: container 6: paint discharge pipe 7: paint supply pipe 8: pump 9: paint 10: lip portion 11: coating film 12: support

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−208154(JP,A) ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-5-208154 (JP, A)

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 枚葉の平板上に塗料を塗布する際に用い
られるカーテンフローコータの口金の清掃方法におい
て、該塗料を塗布する直前に、該口金のリップ部に上面
が口金のリップ先端部に密着する形状に作成されかつ表
面がゴム弾性を有する厚み0.5〜10mmのシート状の
高分子樹脂からなる清掃部材を密着させ、該リップ部に
沿って移動させて付着した塗料をかき落とすことにより
清掃することを特徴とするカーテンフローコータの口金
の清掃方法。
1. A method of cleaning a mouthpiece of a curtain flow coater used when applying paint on a flat plate of a single sheet, wherein immediately before the paint is applied, the lip portion of the mouthpiece has an upper surface with a lip tip of the mouthpiece. A cleaning member made of a sheet-like polymer resin having a thickness of 0.5 to 10 mm and having a rubber elasticity and having a surface elastically adhered thereto, moved along the lip portion, and adhered. A method for cleaning a mouthpiece of a curtain flow coater, which comprises cleaning by scraping off paint.
【請求項2】 高分子樹脂がシリコーンゴムであること
を特徴とする請求項1記載のカーテンフローコータの口
金の清掃方法。
2. The method for cleaning a mouthpiece of a curtain flow coater according to claim 1, wherein the polymer resin is silicone rubber.
【請求項3】 塗料がカラーフィルタ用塗膜形成用塗料
であることを特徴とする請求項1記載のカーテンフロー
コータの口金の清掃方法。
3. The method for cleaning a mouthpiece of a curtain flow coater according to claim 1, wherein the paint is a paint for forming a coating film for a color filter.
【請求項4】 枚葉の平板上にカラーフィルタ用塗膜形
成用塗料をカーテンフローコータを用いて塗布、乾燥す
る工程を含むカラーフィルタ用塗膜の製造方法におい
て、該塗料を塗布する直前に該カーテンフローコータの
口金のリップ部に上面が口金のリップ先端部に密着する
形状に作成されかつ表面がゴム弾性を有する厚み0.5
〜10mmのシート状の高分子樹脂からなる清掃部材を密
着させ、該リップ部に沿って移動させて付着した塗料を
かき落とすことにより清掃することを特徴とするカラー
フィルタ用塗膜の製造方法。
4. A method for producing a coating film for a color filter, which comprises a step of applying a coating material for forming a coating film for a color filter on a single sheet flat plate using a curtain flow coater and drying the coating film, immediately before applying the coating material. The curtain flow coater has a lip portion of a base having an upper surface formed to be in close contact with a lip tip of the base and having a surface having a rubber elasticity of 0.5 in thickness.
A method for producing a coating film for a color filter, comprising: bringing a cleaning member made of a polymer resin in the form of a sheet having a size of 10 mm into close contact, moving along the lip portion, and scraping off the adhered paint to clean.
【請求項5】 高分子樹脂がシリコーンゴムであること
を特徴とする請求項4記載のカラーフィルタ用塗膜の製
造方法。
5. The method according to claim 4, wherein the polymer resin is silicone rubber.
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