JP3306382B2 - 表面弾性波素子の製造方法 - Google Patents
表面弾性波素子の製造方法Info
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- JP3306382B2 JP3306382B2 JP27775298A JP27775298A JP3306382B2 JP 3306382 B2 JP3306382 B2 JP 3306382B2 JP 27775298 A JP27775298 A JP 27775298A JP 27775298 A JP27775298 A JP 27775298A JP 3306382 B2 JP3306382 B2 JP 3306382B2
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- acoustic wave
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、表面弾性波素子の
製造方法に係るもので、特に、素子による周波数のばら
つきを補正するための周波数調整方法に関するものであ
る。
製造方法に係るもので、特に、素子による周波数のばら
つきを補正するための周波数調整方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】表面弾性波素子の製造にあたっては、製
造条件や材料の特性等の問題から、設計値通りの特性が
得られない。また、通常ウェハは面内で製造ばらつきに
起因する周波数分布を有しており、面内のばらつきより
も規格幅が狭い場合には製品の歩留まりが低下する。
造条件や材料の特性等の問題から、設計値通りの特性が
得られない。また、通常ウェハは面内で製造ばらつきに
起因する周波数分布を有しており、面内のばらつきより
も規格幅が狭い場合には製品の歩留まりが低下する。
【０００３】それに対処する方法として、ウェハ単位で
はなく素子単位で周波数調整を行うこともできるが、非
常に小さい素子であるので取り扱いが困難であり、処理
の効率が極めて低くなってしまう。
はなく素子単位で周波数調整を行うこともできるが、非
常に小さい素子であるので取り扱いが困難であり、処理
の効率が極めて低くなってしまう。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、素子の取り
扱いを容易にするとともに、複数の素子を一括して処理
し、複数の素子を同時に周波数調整できるようにして、
処理の効率を高めるものである。
扱いを容易にするとともに、複数の素子を一括して処理
し、複数の素子を同時に周波数調整できるようにして、
処理の効率を高めるものである。
【０００５】
【課題を解決する手段】本発明は、表面弾性波素子の共
振周波数をウェハ状態で測定し、ダイシングの後に同じ
特性の素子をまとめて処理することによって、上記の課
題を解決するものである。
振周波数をウェハ状態で測定し、ダイシングの後に同じ
特性の素子をまとめて処理することによって、上記の課
題を解決するものである。
【０００６】すなわち、表面弾性波素子の周波数を測定
し、周波数のずれに応じて素子の周波数調整を行う表面
弾性波素子の製造方法において、ウェハの状態でウェハ
内の個々の素子の周波数を測定した後、ウェハをダイシ
ングして個々の素子に分割し、同じ周波数帯の素子に分
類し、同じ周波数帯の複数の素子を取りまとめて固定
し、それらの素子を一括して周波数調整を行うことに特
徴を有するものである。
し、周波数のずれに応じて素子の周波数調整を行う表面
弾性波素子の製造方法において、ウェハの状態でウェハ
内の個々の素子の周波数を測定した後、ウェハをダイシ
ングして個々の素子に分割し、同じ周波数帯の素子に分
類し、同じ周波数帯の複数の素子を取りまとめて固定
し、それらの素子を一括して周波数調整を行うことに特
徴を有するものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の工程を、図１を参照し
て、説明する。水晶等の圧電性基板上にフォトリソグラ
フィー技術によって、アルミニウム等の電極を具えた表
面弾性波素子を多数形成し、それらの素子の共振周波数
をウェハのままの状態で測定する。
て、説明する。水晶等の圧電性基板上にフォトリソグラ
フィー技術によって、アルミニウム等の電極を具えた表
面弾性波素子を多数形成し、それらの素子の共振周波数
をウェハのままの状態で測定する。
【０００８】測定結果を記録しておき、ダイシングを行
って個々の素子に分割する。その際に、ウェハ状態で測
定された共振周波数に応じて素子が分類され、同じ周波
数帯の素子が集められる。
って個々の素子に分割する。その際に、ウェハ状態で測
定された共振周波数に応じて素子が分類され、同じ周波
数帯の素子が集められる。
【０００９】集められた同じ周波数帯の表面弾性波素子
は、処理のために例えばテープによってプレートに配列
して固定され、その状態で酸あるいはアルカリ溶液中で
処理される。通常、電極膜の質量を変えることによって
周波数の調整を行うが、電極膜のエッチングあるいは陽
極酸化等を行うためである。
は、処理のために例えばテープによってプレートに配列
して固定され、その状態で酸あるいはアルカリ溶液中で
処理される。通常、電極膜の質量を変えることによって
周波数の調整を行うが、電極膜のエッチングあるいは陽
極酸化等を行うためである。
【００１０】
【実施例】図２は、多数の表面弾性波素子が形成された
ウェハを示す。周波数の測定はこの状態で各素子の電極
のプローブ針を当てて共振周波数を測定する。測定した
結果は、その素子の位置のデータとともに記録される。
ウェハがダイシングされて各素子に分離されるときに、
そのデータに従って同じ周波数帯の素子に分類される。
ウェハを示す。周波数の測定はこの状態で各素子の電極
のプローブ針を当てて共振周波数を測定する。測定した
結果は、その素子の位置のデータとともに記録される。
ウェハがダイシングされて各素子に分離されるときに、
そのデータに従って同じ周波数帯の素子に分類される。
【００１１】ここの素子のままでは取り扱いが困難で処
理の効率が悪くなるので、同じ周波数帯の素子を整列さ
せて固定することが必要となる。そこで、図３に示した
ように、表面弾性波素子31をテープ32によってプレート
33に貼り付けるとよい。このプレート33を酸あるいはア
ルカリ溶液に浸して処理することによって、周波数の調
整をすることができる。もともと同じ周波数帯の素子の
集まりであるので、同じ条件で処理すれば同じ幅で周波
数の調整ができる。なお、この例ではプレートに素子を
貼り付けた例を示したが、トレーに収納して保持しても
よい。
理の効率が悪くなるので、同じ周波数帯の素子を整列さ
せて固定することが必要となる。そこで、図３に示した
ように、表面弾性波素子31をテープ32によってプレート
33に貼り付けるとよい。このプレート33を酸あるいはア
ルカリ溶液に浸して処理することによって、周波数の調
整をすることができる。もともと同じ周波数帯の素子の
集まりであるので、同じ条件で処理すれば同じ幅で周波
数の調整ができる。なお、この例ではプレートに素子を
貼り付けた例を示したが、トレーに収納して保持しても
よい。
【００１２】
【発明の効果】本発明によれば、ウェハの状態で測定す
るので機械化、自動化が容易であるし、素子の周波数の
調整は複数個を一括して同一条件で処理することができ
る。したがって、処理の効率を大幅に向上させることが
できる。
るので機械化、自動化が容易であるし、素子の周波数の
調整は複数個を一括して同一条件で処理することができ
る。したがって、処理の効率を大幅に向上させることが
できる。
【００１３】また、小さなチップをまとめて固定して処
理するので、取り扱いを容易にする利点もある。
理するので、取り扱いを容易にする利点もある。
【図１】 本発明の工程のブロック図
【図２】 本発明の実施例を示す平面図
【図３】 本発明の実施例を示す平面図
31：表面弾性波素子 32：テープ 33：プレート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−274566（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−20410（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−189011（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−13178（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H03H 3/10
Claims (3)
- 【請求項１】 表面弾性波素子の周波数を測定し、周波
数のずれに応じて素子の周波数調整を行う表面弾性波素
子の製造方法において、ウェハの状態でウェハ内の個々
の素子の周波数を測定した後、ウェハをダイシングして
個々の素子に分割し、同じ周波数帯の素子に分類し、同
じ周波数帯の複数の素子を固定し、それらの素子を一括
して周波数調整を行うことを特徴とする表面弾性波素子
の製造方法。 - 【請求項２】 表面弾性波素子の周波数を測定し、周波
数のずれに応じて素子の周波数調整を行う表面弾性波素
子の製造方法において、ウェハの状態でウェハ内の個々
の素子の周波数を測定した後、ウェハをダイシングして
個々の素子に分割し、同じ周波数帯の素子に分類し、同
じ周波数帯の複数の素子をテープによってプレートに固
定し、それらの素子を一括して周波数調整を行うことを
特徴とする表面弾性波素子の製造方法。 - 【請求項３】 表面弾性波素子の周波数を測定し、周波
数のずれに応じて素子の周波数調整を行う表面弾性波素
子の製造方法において、ウェハの状態でウェハ内の個々
の素子の周波数を測定した後、ウェハをダイシングして
個々の素子に分割し、同じ周波数帯の素子に分類し、同
じ周波数帯の複数の素子をトレイに収納して保持し、そ
れらの素子を一括して周波数調整を行うことを特徴とす
る表面弾性波素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27775298A JP3306382B2 (ja) | 1998-09-30 | 1998-09-30 | 表面弾性波素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27775298A JP3306382B2 (ja) | 1998-09-30 | 1998-09-30 | 表面弾性波素子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000114903A JP2000114903A (ja) | 2000-04-21 |
| JP3306382B2 true JP3306382B2 (ja) | 2002-07-24 |
Family
ID=17587845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27775298A Expired - Fee Related JP3306382B2 (ja) | 1998-09-30 | 1998-09-30 | 表面弾性波素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3306382B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100431181B1 (ko) * | 2001-12-07 | 2004-05-12 | 삼성전기주식회사 | 표면 탄성파 필터 패키지 제조방법 |
| JP4492623B2 (ja) * | 2004-03-15 | 2010-06-30 | パナソニック株式会社 | 弾性表面波デバイスの製造方法 |
-
1998
- 1998-09-30 JP JP27775298A patent/JP3306382B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000114903A (ja) | 2000-04-21 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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