JP3303057B2 - 光ファイバ接続の自動位置合わせ機構 - Google Patents

光ファイバ接続の自動位置合わせ機構

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JP3303057B2
JP3303057B2 JP23214995A JP23214995A JP3303057B2 JP 3303057 B2 JP3303057 B2 JP 3303057B2 JP 23214995 A JP23214995 A JP 23214995A JP 23214995 A JP23214995 A JP 23214995A JP 3303057 B2 JP3303057 B2 JP 3303057B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、光通信あるいは
コンピュータネットワークの分野で必要とされる光ファ
イバと光導波路の接続、光計測機器や光音響機器の分野
で必要とされるレーザヘッドの組み込みなどの、光部品
の組立を高精度・高能率で行うことを可能にするための
光ファイバ接続の自動位置合わせ機構に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】光通信においては、光ファイバと光導波
路、あるいは光ファイバと光ファイバとの接続という光
伝送路の接続は不可欠の技術である。図1および図2は
光ファイバ相互の接続の状態を説明する図である。1は
光ビームの射出側の光ファイバで、1aはそのクラッド
層、2はそのコアである。1′は光ビームの受光側の光
ファイバで、1a′はそのクラッド層、2′はそのコア
である。
【0003】図1は光ビームの射出側の光ファイバ1の
コア2と光ビームの受光側の光ファイバ1′のコア2′
の中心軸が平行であるがオフセットeがあり、図2は前
記コア2とコア2′の中心軸が平行でない場合である。
これらの場合、光ビームの射出側の光ファイバ1のコア
2から出た光ビームの一部は光ビームの受光側の光ファ
イバ1′のコア2′に入射せず損失となる。シングルモ
ードの光伝送用の光ファイバではコア径は10μm以下
であるから、光ビームの射出側の光ファイバ1のコア2
と光ビームの受光側の光ファイバ1′のコア2′との位
置合わせは誤差1μm以内という高い精度が要求され
る。
【0004】図3は光通信において光分岐部品として用
いられる8芯テープ状の光ファイバと光導波路の接続例
を示すもので、あらかじめ8芯テープ状の光ファイバ1
の8本の光ファイバ1bをV溝基板(またはMTコネク
タ)に固定して正確なピッチに配列した光ファイバブロ
ック3と、8本のコア5を設けた光導波路4とを位置合
わせし、その位置合わせ間隙に紫外線硬化形接着剤(U
V接着剤)6を塗布して固定して構成している。
【0005】このように光通信用の光ファイバの接続で
は、8本のコアを同時に高精度で位置合わせすることが
必要であり、この接続のための位置合わせは、従来、人
手による粗合わせと自動調芯機構による精密合わせの2
段階に分けて行われてきた。図4は人手による粗合わせ
の例である。まず、光ファイバブロック3の光ファイバ
1にヘリウム・ネオンレーザなどの光源7から可視光を
導入し、光導波路4に向けて光ビームを射出する。この
光ビームが光導波路4のコア5に入射したかどうかを光
導波路4の射出端に置いたスクリーン8上の光スポット
の状態で目視確認し、外れていれば移動機構である微動
台9を手動で動かし、光ファイバブロック3と光導波路
4の相対位置を僅かにずらし、再び目視観測を行うとい
う試行錯誤を繰り返して、ほぼ光が通る状態まで粗く位
置合わせした。
【0006】それができると、次に自動調芯機構によっ
て光ファイバと光導波路を精密に調芯する。その自動調
芯機構の概要を説明すると、図4に示す目視を例えばマ
ルチモード光ファイバとホトマルチプライヤからなる光
パワーセンサに置き換え、図4の方法で粗く合わせた位
置を中心にメッシュ状に微小量だけ相対的に移動させ、
そのメッシュの各点において光導波路のコアを通過した
光量を光パワーセンサで測定し、最も大きな光量が得ら
れる位置に光ファイバと光導波路を位置合わせするとい
う方法を採っていた。
【0007】原理的にはこの自動調芯機構のメカニズム
によって粗合わせを行わなくても調芯ができるが、しか
し、実際には粗合わせを省略して直接この精密調芯を行
おうとすると、膨大な数のメッシュが必要となり、測定
時間が極めて長時間となること、また、能率を上げるた
めにメッシュを粗くすると光量の変化が僅かとなり、特
徴点が見出せず、収束できずに発振してしまうという問
題があり、現実にこの自動調芯機構のみによって粗合わ
せから一貫した自動化を行うことはできない。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来技術
では、光ファイバと光導波路とを位置合わせする段階を
人手に頼っているので、作業に熟練を要し、生産性が悪
く、これら接続部品のコストが高いという欠点があっ
た。この発明は、上述のような光ファイバと光導波路と
の接続など光射出部と受光部の接続において、従来、熟
練した人手に頼るため生産性が低く、コストが高いとい
う問題点を解決するために、自動的に光ファイバ接続の
位置合わせができる機構を提供することを目的とするも
のである。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明では、前記課題
を解決するための手段として、光ファイバと光導波路
を接続する機構において、前記光ファイバに位置合
わせ用の光を入射するための光源と、前記光ファイバ
の接続面Aと前記光導波路の接続面Bとを対向さ
せ、前記光ファイバからの射出光が前記光導波路4の
接続面Bを照射するような位置関係に保ちつつ前記光フ
ァイバと前記光導波路とを相対的に移動させる移動
機構(微動台9)と、前記射出光が前記光導波路の接
続面Bにおいて反射・散乱光を観測する光センサ12
と、前記光ファイバと前記光導波路の相対位置とそ
の相対位置における前記光センサ12の出力を取り込
み、光センサ12の出力変化の特徴点を判定して相対位
置を認識し、それに基づき必要な量だけ前記移動機構
を駆動し、前記光ファイバと前記光導波路を位置合
わせする制御部(パソコン15)からなることを特徴と
する光ファイバ接続の自動位置合わせ機構としたもので
ある。
【0010】 また、光導波路の両端に光ファイバ1お
よび光ファイバ1′を接続する機構において、前記光フ
ァイバ1および光ファイバ1′に位置合わせ用の光を入
射するための光源7,7′と、前記光ファイバ1の接続
面Aと前記光導波路の接続面Bを対向させ、前記光フ
ァイバ1から第1の射出光が前記接続面Bを照射するよ
うな位置関係を保ちつつ前記光ファイバ1を前記光導波
に対して相対的に移動させる第1の移動機構と、
前記第1の射出光が前記光導波路のクラッド層または
コア層を透過し前記接続面Bと反対の面から射出する位
置に置かれた面の反射・散乱光を観測する第1の光セン
12と、前記光ファイバ1′の接続面A′と前記光導
波路の接続面B′を対向させ、前記光ファイバ1′か
らの第2の射出光が前記接続面B′を照射するような位
置関係を保ちつつ前記光ファイバ1′を前記光導波路
に対して相対的に移動させる第2の移動機構9′と、前
記第2の射出光が前記光導波路のクラッド層またはコ
ア層を透過し前記接続面B′と反対の面から射出する位
置に置かれた面の反射・散乱光を観測する第2の光セン
12′と、前記光ファイバ1と前記光導波路の相対
位置とその相対位置における前記第1の光センサ12
出力および前記光ファイバ1′と前記光導波路の相対
位置とその相対位置における前記第2の光センサ12
の出力を取り込み、第1の光センサ12および第2の光
センサ12′の出力変化の特徴点を判定して前記光ファ
イバ1および光ファイバ1′の前記光導波路に対する
相対位置を認識し、それに基づきそれぞれ必要な量だけ
前記第1の移動機構または第2の移動機構9′を駆動
し、前記光ファイバ1および光ファイバ1′と前記光導
波路を位置合わせする制御部(パソコン15)からな
ることを特徴とする光ファイバ接続の自動位置合わせ機
構としたものである。
【0011】
【発明の実施の形態】この発明では、通常の光部品の接
続面においては、光射出部または受光部の近傍のある一
定の位置に光学特性の不連続なまたは変化の急峻な部分
があることに着目して発明したものである。その光学特
性の不連続または急峻な変化は、光導波路を形成するコ
アとクラッドでは屈折率が異なっていること、前記クラ
ッドと下部のシリコン基板とでは光の透過、反射、散乱
状態が全く異なっているなど、その光学部品の機能上ま
たは製造工程の必要によって光学定数の異なる材料で構
成されていることに由来している。これらの光学特性の
不連続部と受光部または光射出部の距離は部品設計上あ
るいは製造条件から決まる既知の値である。そして、例
えば光射出部から光ビームを射出して受光側の接続面を
照射しながら二つの接続面を相対移動させ、受光側の接
続面からの散乱、反射、屈折、回折、透過の何れかまた
は複合した光を計測し、その変化の特徴を見出すことに
よって不連続部を検出することができる。これによって
受光部と光射出部の相対位置が分かり、必要量相対移動
させることにより光射出部と受光部との光軸を一致させ
ることができる。その内容を以下の例で具体的に説明す
る。
【0012】 図5はこの発明の原理を説明する図であ
り、1は光ファイバ、2は光ファイバのコア、3は光フ
ァイバ1を組込んだ光ファイバブロック、4は光導波
路、5は光導波路4のコア、4aは光導波路4を形成す
る上部クラッド、4bは同下部クラッド、10は光導波
路4のシリコン基板、7は光ファイバ1に光を入射する
ための光源で、例えばヘリウム・ネオンレーザ、9は光
ファイバブロック3を移動させる移動機構である微動
台、11は微動台の駆動部、12は光センサで、例えば
CCD撮像素子を用いたTVカメラ、13は光センサ1
2の出力を解析する情報解析部で、例えば画像処理装置
である。
【0013】 光ファイバブロック3の接続面Aにある光
ファイバ1のコア2の端面と、光導波路4の接続面Bに
あるコア5の端面とを精密に位置合わせし、低損失の接
続を行う動作を説明すると、光源7を起動して光ビーム
を光ファイバ1のコア2に入射し、前記接続面Aのコア
端面から光ビームを射出させて前記光導波路4の接続面
Bを照射する。この接続面Bの照射部分からはその場所
の光学的条件に応じて散乱光、反射光、屈折光、回折
光、透過光のいずれかまたはその複合した光が放出され
る。放出された光を接続面の近傍に置いた光センサ12
で検出する。
【0014】 この光センサ12として例えば顕微鏡用対
物レンズまたは望遠レンズなどの光学レンズを備えたC
CDカメラを用いると、高倍率、高能率で放出光を検出
することができる。このカメラの出力を画像処理装置な
どの情報解析部13に取り込み、放出光の強度、スポッ
ト形状などを計測することができる。この状態で微動台
9をY方向(図において垂直方向)に動かして、光ファ
イバブロック3を上下させると、その位置に応じた放出
光の強度、スポット形状が得られる。この測定は連続的
な照射、連続的な微動台の移動でもよいし、それぞれ間
欠的な逐次動作でもよい。
【0015】 14はこのようにして測定した放出光(例
えば散乱光)の強度(またはスポット径)のY方向分布
である。例えば散乱光は、光導波路4を形成する下部ク
ラッド4bとシリコン基板10の境界部分で最も強度が
高く、次に光導波路4を形成する上部クラッド4aの上
部端面で強度が高く、スポット径も大きいという特徴を
もつ。従って、微動台9を移動させて散乱光を測定し、
最も大きな強度またはスポット径を検出した位置を読み
取ることによって、下部クラッド4bとシリコン基板1
0との境界位置を求めることができる。この境界と光導
波路4のコア5の間隔hは、光導波路4の設計値として
予め分かっているので、その間隔hだけ微動台9で光フ
ァイバブロック3を上昇させれば光ファイバ1のコア2
と光導波路4のコア5の高さを一致させることができ
る。
【0016】 また、光センサ12を例えば光センサ1
2′の位置に傾け、回折光や屈折光を計測することがで
きる。また、光センサ12を最も信号強度の得られる位
置に選択して配置し、その位置での検出光のY方向分布
特性を予め把握しておくことによって、コア相互の相対
位置が求まり、光軸を一致させることができる。この例
では光ファイバ側から測定光を照射して測定したが、受
光側であった光導波路側から測定光を入射し、光ファイ
バブロック3の接続面Aを照射しても測定できることは
言うまでもない。どちらを選択するかは接続面の状況、
得られる検出光の強度による。
【0017】 この測定は微動台9の駆動部11と、画像
処理装置などの情報解析部13と、光源7とを、RS2
32CやGP−IBやパラレルI/Oなどの適当なイン
ターフェース回路を用いて制御部であるパソコンと接続
し、適切なソフトで制御することによって自動的に制御
できる。この接続面の相対移動、接続面からの光の計
測、特徴抽出と光学特性の不連続面の検出、必要移動量
の判定と駆動を自動化することによって、効率よく粗合
わせを行うことができる。
【0018】
【実施例】図6はこの発明の第1の実施例(請求項1に
係る図)である。1は光ファイバ、2は光ファイバ1の
コア、3は光ファイバ1を組込んだ光ファイバブロッ
ク、4は光導波路、5は光導波路4のコア、4aは光導
波路4を形成する上部クラッド、4bは同下部クラッ
ド、10は光導波路4のシリコン基板、7は光ファイバ
1に光を入射するための光源で、例えばヘリウム・ネオ
ンレーザ、9は光ファイバブロック3をX,Y,Z方向
に平行移動させ、また、その軸のまわりにθx,θy,
θz方向に回転させるための移動機構である微動台、1
1は微動台9の駆動部、12は光センサで、例えば顕微
鏡用の対物レンズまたは望遠レンズなどの光学レンズを
備えたCCD撮像素子型TVカメラ、13は光センサの
出力を解析する情報解析部で、例えば画像処理装置、1
5は制御部であるパソコン、16は機構部のベースであ
る。
【0019】 このように構成された光ファイバ接続の自
動位置合わせ機構の動作は、図5に示した自動位置合わ
せ機構と基本的に同じである。すなわち、光源7の光ビ
ームを光ファイバ1のコア2に入射し、光ファイバブロ
ック3の接続面Aから光ビームを射出させて光導波路4
の接続面Bを照射する。前記接続面Bの照射部分からは
その場合の光学的条件に応じて散乱光、反射光、屈折
光、回折光、透過光の何れかまたはその複合した光が放
出される。この照射面からの放出光を光センサ12であ
るTVカメラで検出し、その出力を画像処理装置などの
情報解析部13に取り込み、放出光の強度、スポット形
状などを計測する。
【0020】 微動台9をY方向(上下方向)に動かして
光ファイバブロック3をY方向に走査すると、放出光の
強度、スポット形状のY方向分布が得られる。この分布
データから、その特徴点(例えば最も大きな強度または
スポット径を検出した位置)を読み取ることによって、
光導波路4を形成する下部クラッド4bとシリコン基板
10との境界位置を求めることができる。この境界と光
導波路4のコア5との間隔だけ微動台9で光ファイバブ
ロック3を上昇させれば、光ファイバ1のコア2と光導
波路4のコア5の高さは一致する。もちろん、特徴点の
およその位置が推定できるときは、その近傍を目標に測
定すればよく、また、特徴点を検出し次第、それ以後の
測定を打ち切ることができるので、必ずしも接続面全域
にわたって放出光の分布を測定する必要はない。
【0021】 X方向(水平方向)の位置合わせは次のよ
うに行う。光ファイバ1のX方向の位置は光ファイバブ
ロック3の側面から加工精度で決まる一定の距離にあり
既知である。また、光導波路4のコア5のX方向の位置
も光導波路4のシリコン基板10の側面から加工精度で
決まる一定の位置にあり既知である。従って、光センサ
(TVカメラ)12で光ファイバブロック3と光導波路
4のシリコン基板10の各側面位置を計測し、その各側
面位置から光ファイバ1のコア2と光導波路4のコア5
のX方向の位置を割り出し、微動台9をX方向に駆動し
て位置合わせを行うことができる。この一連の測定は、
微動台9の駆動部11と画像処理装置などの情報解析部
13と光源7とを、RS232CやGP−IBなどの適
当なインターフェース回路を用いてパソコン15と接続
し、適切な制御ソフトを付加することによって自動的に
制御できる。
【0022】 図7はこの発明の第2の実施例で、これは
図6に示した第1の実施例に反射散乱面17を付け加
え、これを光導波路4のもう一方の側に置き、この反射
散乱面17における光の強度と光パターンの変化を光セ
ンサ12で検出し、その光の強度と光パターンの変化の
特徴から位置あわせするものである。この動作は、先ず
光ファイバブロック3の接続面Aから光ビームを射出さ
せ、光導波路4の接続面Bを照射する。照射位置がシリ
コン基板10にあると反射散乱面17に光が当たらな
い。照射位置を徐々に上昇させると光ビームは光導波路
4を形成する下部クラッド4bを透過し反射散乱面17
を照射する。この時の光ビームはクラッド伝搬モードで
あるから拡散し反射散乱面17の光パターンの強度は弱
く広がっている。
【0023】 さらに照射位置を上昇させ、光ビームが光
導波路4のコア5と一致すると、光ビームはコア内部を
透過するので拡散せず、反射散乱面17における光パタ
ーンの強度は強くスポット径は小さい。照射位置をさら
に上昇させると、光ビームは光導波路4を形成する上部
クラッド4aを透過し再び反射散乱面17の光パターン
の強度は弱くかつ広がる。さらに上昇させて上部クラッ
ド4a層を外れると、反射散乱面17における光パター
ンは著しく弱くなる。
【0024】 反射散乱面17における光パターンには前
記のような特徴があるから、先ず光ビームを上下に走査
してシリコン基板10と光導波路4の下部クラッド4b
との境界(または上部クラッド4aの上端)の位置を検
出し、そこからコア5の存在する位置まで部品設計定数
として定まっている一定量を上昇(または降下)させ、
先ずY方向(上下方向)の位置を合わせる。次にその位
置でX方向(水平方向)に走査して、最も光パターンの
強度が強くかつ光スポット径が小さい場所を求めること
によってX方向(水平方向)を位置合わせることができ
る。
【0025】 なお、この実施例においては反射散乱面1
7を使用したが、これは光導波路は微小で、かつ、両端
接続を行う場合が多いので、検出機器を設置するスペー
スが確保できないためであるが、スペースがあれば反射
散乱面17の位置に光センサ12を置いて、光導波路4
を透過して来る光パターンを直接検出することができる
ことは言うまでもない。また、X方向の位置合わせの方
法として、図6に示した第1の実施例で説明したよう
に、シリコン基板10の側面の位置を計測し、それを基
準として位置合わせする方法が可能であることは言うま
でもない。
【0026】 図8は第3の実施例(請求項2に係る図)
で、前記第2の実施例の反射散乱面の位置に、もう一つ
の光ファイバブロック3′を置いたものである。通常ほ
とんどの光導波路4には、その両端にそれぞれ入射用の
光ファイバと出射用の光ファイバが接続される。従っ
て、図8に示すように光導波路4を挟んで両側に光ファ
イバブロック3,3′が配置されるので、始めからこの
ままの形状で一括接続できると能率が上がる。光導波路
4と光ファイバブロック3,3′の端面は接合面での反
射戻り光を抑止するために6°程度傾けられている。こ
の実施例のように光導波路4の両端面が山形の場合に
は、光ファイバブロック3′の接合面の反射・散乱光を
上部で検出できないが、光ファイバブロック3′の本体
はプラスチック製のハウジング部3a′と、ガラス製の
接合部3b′からなっているので、光はガラス製接合部
を透過してハウジング部3a′で反射する。従って、上
部での反射光の検出が可能である。
【0027】 この実施例の動作の第1段階は、前記第2
の実施例(図7参照)の反射散乱面をハウジング部3
a′と置き換えて説明できる。光ファイバブロック3の
接続面Aから光ビームを射出させて上下に走査し、ハウ
ジング部3a′面における反射光パターンを検出して光
ファイバブロック3のコア2と光導波路4のコア5の位
置を合わせることができる。
【0028】 動作の第2段階は、今度は逆にレーザー光
源7′を点灯し、光ファイバブロック3′のコア2′か
ら光ビームを照射し、同様に光ファイバブロック3のハ
ウジング部3a面での反射・散乱光パターンを光センサ
12′で計測し、光ファイバブロック3′のコア2′と
光導波路4のコア5との位置を合わせる。この方法にお
いて、光ファイバブロック3と光ファイバブロック3′
の走査の方向を逆にするなど相互の光干渉を少なくする
ことにより、第1段階と第2段階を同時に行い、一度に
両端の光ファイバブロック3,3′のコア2,2′を光
導波路4のコア5に位置合わせすることができる。
【0029】 動作の第2段階の他のもう一つの方法は、
第1段階で前記光ファイバブロック3のコア2と光導波
路4のコア5とが一致すると、前記ハウジング部3a′
面で光スポット径の小さく強い反射・散乱光が検出でき
るが、さらにこれが光ファイバブロック3′のコア2′
と光導波路4のコア5とが一致すると、反射・散乱光は
大きく減衰するので、光ファイバブロック3′のコア
2′の位置を検出することができる。従って、第1段階
で得られた前記光ファイバブロック3のコア2と光導波
路4のコア5の位置データを用いて光ファイバブロック
3′のコア2′の位置を推定し、その近傍を走査し、ハ
ウジング部3a′の反射・散乱光が大きく減衰する部分
を検出することによって、光ファイバブロック3′のコ
ア2′と光導波路4のコア5の位置を合わせることがで
きる。この方法では位置合わせ用のレーザー光源および
光センサは一台でよく、切り換えも不要なためその分構
造が簡単になる。
【0030】 以上の2段階の位置合わせを連続的(また
は同時)に行うことによって光導波路4の両端に光ファ
イバブロックを短時間で能率よく位置合わせして接続す
ることができる。もし光ファイバブロックの構造が上部
での光検出に適さないときは、下部に光センサの受光部
を置くことで位置合わせできることは言うまでもない。
【0031】 図9はこの発明の第4の実施例で、テープ
状の光ファイバなど多芯光ファイバを装着した光ファイ
バブロックと光導波路のコアの光軸まわりのねじれを検
出し、回転位置を合わせる方法に適用した例である。テ
ープ状の光ファイバ1の両側縁の光ファイバ11 ,12
に光源7を用いて測定光を入射する。まず光ファイバ1
1 を用いて対応する光導波路4の接続面Bの点イを照射
し、散乱光、回折光など接続面Bから放出される光を計
測し、実施例1、実施例2、または実施例3によって特
徴点の位置y1 を求める。同様に光ファイバ12 を用い
て対応する接続面Bの点ロを照射し、特徴点の位置y2
を求める。そうすると、光ファイバと光導波路のなすZ
軸まわりの角(水平角)θz は、光ファイバ11 ,12
の距離をLとすると、 θz =tan-1((y1 −y2 )/L) である。微動台9を駆動して光ファイバブロック3をZ
軸まわりにθz だけ回転させれば、前記光ファイバブロ
ック3の接続面Aと光導波路4の接続面Bの水平角度が
一致する。その後、光ファイバブロック3を、 (y1 +y2 )/2 だけ上昇させるか、または、再度光ファイバ11 または
2 を用いてy1 またはy2 を求め、その量だけY方向
に微動台9を移動させれば、接続面Aと接続面Bのコア
の高さを一致させることができる。
【0032】 その後、コアの水平方向を一致させるため
に、光センサであるTVカメラで光導波路4のコアの位
置、または基準位置を検出し、これと光ファイバ1から
の光ビームで照射される位置を合わせることによって、
光ファイバブロック3の接続面Aと光導波路4の接続面
Bのコアを完全に一致させるこができる。また、TVカ
メラによって光導波路4のコアまたは基準位置が計測で
きない場合には、この実施例の方法で光ファイバブロッ
ク3の接続面A、光導波路4の接続面Bのコアの高さを
一致させた後、光ファイバ1から光を照射しつつ水平方
向に微動台9を移動し、そのときの光導波路4の出射側
の光量を計測し、光量が最大となる位置を求めることに
よって、光ファイバブロック3と光導波路4のコアの位
置を一致させることができる。
【0033】 図10はこの発明の第5の実施例で、光導
波路4の両側にテープ状の光ファイバを自動接続するた
めのものである。1は入射側のテープ状の光ファイバ、
1′は出射側のテープ状の光ファイバ、3は入射側の光
ファイバブロック、3′は出射側の光ファイバブロッ
ク、4は光導波路、9は入射側の光ファイバブロック3
をXYZ駆動・位置決めするするための微動台、9′は
出射側の光ファイバブロック3′をXYZ方向に駆動・
位置決めするための微動台、11 ,12 は入射側のテー
プ状の光ファイバ1の両側縁の光ファイバ、11 ′,1
2 ′は出射側のテープ状の光ファイバ1′の両側縁の光
ファイバ、7は測定光の光源、18a,18bおよび1
8a′,18b′はそれぞれ光ファイバ11 ,12 およ
び11 ′,12 ′に測定光を導入するためのカプラーで
ある。11は微動台9,9′の駆動部、12は光センサ
で、CCD撮像素子などのTVカメラ、13は画像処理
装置などの情報解析部、15は全体を制御するパソコン
である。
【0034】 この実施例の動作を説明すると、先ず実施
例3および実施例4で説明した方法によって光ファイバ
ブロック3の接続面A、光導波路4の接続面Bの水平位
置合わせ、コアの位置合わせを行う。次に光導波路4の
もう一方の接続面B′と光ファイバブロック3′の接続
面A′を同様の手順で位置合わせすることができる。な
お、以上の実施例では光射出部を光ファイバブロックを
例にして説明したが、光ファイバブロックの代わりにレ
ーザーダイオード、光導波路を適用する場合でも同様に
位置合わせができることは言うまでもない。
【0035】
【発明の効果】以上、説明してきたように、この発明に
おいては、光部品の接続面においては光射出部あるいは
光受光部の近傍に光学的な不連続または急峻な変化点が
あることに着目し、相対する接続面を相対的に移動する
機構と、光射出部から射出した光が相対する接続面で散
乱、反射、屈折、透過した強度を測定する光センサと、
これら計測と移動を制御する制御部とで構成し、光学的
な変化の特徴を検出することによって、自動的に光ファ
イバのコアの位置合わせをする機構であるから、その位
置合わせ操作が簡単で、熟練を必要とせず、人手による
位置合わせに比べて極めて能率的である。そのため生産
性が向上しコストを引き下げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】2本の光ファイバの接続を説明する図(オフセ
ットがある場合)である。
【図2】2本の光ファイバの接続を説明する図(中心軸
が平行でない場合)である。
【図3】8芯テープ状の光ファイバと光導波路の接続を
説明する図である。
【図4】人手による光ファイバブロックと光導波路のコ
アの粗位置合わせを説明する図である。
【図5】この発明の原理を示す図である。
【図6】この発明の第1の実施例を示す図である。
【図7】この発明の第2の実施例を示す図である。
【図8】この発明の第3の実施例を示す図である。
【図9】この発明の第4の実施例を示す図である。
【図10】この発明の第5の実施例を示す図である。
【符号の説明】
1,1′ 光ファイバ 11 ,12 光ファイバ 1a,1a′ クラッド層 1b 光ファイバ 2,2′ コア 3,3′ 光ファイバブロック 3a,3a′ プラスチック製のハウジング部 3b,3b′ ガラス製の接合部 4 光導波路 4a 上部クラッド 4b 下部クラッド 5 コア 6 紫外線硬化形接着剤 7,7′ 光源 8 スクリーン 9,9′ 微動台 10 シリコン基板 11,11′ 駆動部 12,12′ 光センサ 13 情報解析部 14 Y方向分布 15 パソコン 16 機構部のベース 17 反射散乱面 18a,18a′カプラー 18b,18b′カプラー A,B 接続面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 工藤 一樹 東京都千代田区内幸町一丁目1番6号 日本電信電話株式会社内 (56)参考文献 特開 平6−281850(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 6/30 G02B 6/24

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光ファイバと光導波路を接続する機構
    において、前記光ファイバに位置合わせ用の光を入射
    するための光源と、前記光ファイバの接続面Aと前
    記光導波路の接続面Bとを対向させ、前記光ファイバ
    からの射出光が前記光導波路4の接続面Bを照射する
    ような位置関係に保ちつつ前記光ファイバと前記光導
    波路とを相対的に移動させる移動機構と、前記射出
    光が前記光導波路の接続面Bにおいて反射・散乱光を
    観測する光センサ12と、前記光ファイバと前記光導
    波路の相対位置とその相対位置における前記光センサ
    12の出力を取り込み、光センサ12の出力変化の特徴
    点を判定して相対位置を認識し、それに基づき必要な量
    だけ前記移動機構を駆動し、前記光ファイバと前記
    光導波路を位置合わせする制御部15からなることを
    特徴とする光ファイバ接続の自動位置合わせ機構。
  2. 【請求項2】 光導波路の両端に光ファイバ1および光
    ファイバ1′を接続する機構において、前記光ファイバ
    1および光ファイバ1′に位置合わせ用の光を入射する
    ための光源7,7′と、前記光ファイバ1の接続面Aと
    前記光導波路の接続面Bを対向させ、前記光ファイバ
    1から第1の射出光が前記接続面Bを照射するような位
    置関係を保ちつつ前記光ファイバ1を前記光導波路
    対して相対的に移動させる第1の移動機構と、前記第
    1の射出光が前記光導波路のクラッド層またはコア層
    を透過し前記接続面Bと反対の面から射出する位置に置
    かれた面の反射・散乱光を観測する第1の光センサ12
    と、前記光ファイバ1′の接続面A′と前記光導波路
    の接続面B′を対向させ、前記光ファイバ1′からの第
    2の射出光が前記接続面B′を照射するような位置関係
    を保ちつつ前記光ファイバ1′を前記光導波路に対し
    て相対的に移動させる第2の移動機構と、前記第2の
    射出光が前記光導波路のクラッド層またはコア層を透
    過し前記接続面B′と反対の面から射出する位置に置か
    れた面の反射・散乱光を観測する第2の光センサ12
    と、前記光ファイバ1と前記光導波路の相対位置とそ
    の相対位置における前記第1の光センサ12の出力およ
    び前記光ファイバ1′と前記光導波路の相対位置とそ
    の相対位置における前記第2の光センサ12′の出力を
    取り込み、第1の光センサ12および第2の光センサ
    ′の出力変化の特徴点を判定して前記光ファイバ1お
    よび光ファイバ1′の前記光導波路に対する相対位置
    を認識し、それに基づきそれぞれ必要な量だけ前記第1
    の移動機構または第2の移動機構′を駆動し、前記
    光ファイバ1および光ファイバ1′と前記光導波路
    位置合わせする制御部15からなることを特徴とする光
    ファイバ接続の自動位置合わせ機構。
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JP2002196195A (ja) * 2000-12-27 2002-07-10 Nippon Sheet Glass Co Ltd 光分波モジュールの調芯組立方法及び自動調芯機構
FR2841657B1 (fr) * 2002-06-27 2004-07-30 Commissariat Energie Atomique Dispositif de centrage automatique d'un faisceau laser et procede de fabrication de ce dispositif
JP4737590B2 (ja) * 2004-09-27 2011-08-03 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション 光接続の調節装置及び調節方法、並びに光配線の製造方法
JP4587303B2 (ja) * 2005-03-18 2010-11-24 株式会社モリテックス 光カプラ調心方法
JP4659629B2 (ja) * 2006-02-02 2011-03-30 富士通株式会社 光学部品製造装置及び方法、光学部品におけるレンズ組立装置
KR100872743B1 (ko) * 2007-08-13 2008-12-08 호서대학교 산학협력단 광 정렬을 위한 최적점 추적 방법
JP6006681B2 (ja) * 2013-05-27 2016-10-12 日本電信電話株式会社 光デバイスの光軸調整装置および光軸調整方法
JP6264797B2 (ja) * 2013-09-12 2018-01-24 富士通株式会社 光伝送路の位置合わせ方法、位置合わせ装置、及び位置合わせプログラム
US20160133005A1 (en) * 2014-11-10 2016-05-12 Panduit Corp. Apparatus and method for terminating and testing connectors

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