JP3303028B2 - Disk storage device - Google Patents

Disk storage device

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JP3303028B2
JP3303028B2 JP25252997A JP25252997A JP3303028B2 JP 3303028 B2 JP3303028 B2 JP 3303028B2 JP 25252997 A JP25252997 A JP 25252997A JP 25252997 A JP25252997 A JP 25252997A JP 3303028 B2 JP3303028 B2 JP 3303028B2
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disk
water
water tank
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storage device
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和人 寺田
裕一 清原
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Mitsubishi Materials Corp
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  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスクや光
ディスク等の製造過程において、研磨を終えたディスク
を洗浄工程にわたすまでの間、湿潤な状態で保管してお
くためのディスクの保管装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a disk storage device for storing a polished disk in a wet state in a manufacturing process of a magnetic disk, an optical disk or the like until the disk is passed to a cleaning step. Things.

【0002】[0002]

【従来の技術】コンピュータの記憶媒体としてなじみの
深いハードディスク等の磁気ディスクは、アルミニウム
等の金属板、ガラス板、カーボン製の板材といった素材
を円盤状に加工し(以下、ディスクと称する)、その表
裏両面に磁気記録層を形成することにより製造される。
この製造過程には、表裏両面の研磨を終えたディスクを
洗浄する洗浄工程が含まれている。
2. Description of the Related Art A magnetic disk such as a hard disk, which is a familiar storage medium for a computer, is formed by processing a material such as a metal plate such as aluminum, a glass plate, or a carbon plate into a disk shape (hereinafter, referred to as a disk). It is manufactured by forming a magnetic recording layer on both sides.
This manufacturing process includes a cleaning step of cleaning the disc whose front and rear surfaces have been polished.

【0003】この洗浄工程においては、磁気記録層の形
成を支障なく行うために、研磨工程においてディスクの
表裏両面に付着した研磨粉等の異物や油膜等の汚れを除
去しディスクを清浄な状態とする操作が行われている。
ディスクの表面に僅かでも異物や汚れが付着していれ
ば、平滑な磁気記録層の形成を阻害されてしまい結果的
に情報の書き込みおよび読み出しに大きな影響を与える
ことになる。このように、ディスクを清浄な状態にする
ことは、磁気ディスクの記録媒体としての品質を高める
うえで非常に重要なことである。
In this cleaning step, in order to form the magnetic recording layer without hindrance, in the polishing step, foreign substances such as abrasive powder and dirt such as oil film adhered to the front and back surfaces of the disk are removed, and the disk is cleaned. Operation has been performed.
If any foreign matter or dirt adheres to the surface of the disk, the formation of a smooth magnetic recording layer is hindered, and as a result, writing and reading of information is greatly affected. Thus, keeping the disk in a clean state is very important for improving the quality of the magnetic disk as a recording medium.

【0004】洗浄工程における洗浄方式としては、ブラ
シによる直接洗浄が一般に採用されており、軸の周囲に
スポンジ製の洗浄部が設けられた回転ブラシをディスク
の側面に当接させた状態で回転させるとともにディスク
を円周方向に回転させ、さらに回転するディスクに向け
て洗浄水を供給することで、ディスクの全面を隈なく洗
浄するようになっている。
As a cleaning method in the cleaning step, direct cleaning with a brush is generally adopted, and a rotating brush provided with a sponge cleaning section around a shaft is rotated in a state in which the rotating brush is in contact with the side surface of the disk. At the same time, the disk is rotated in the circumferential direction, and cleaning water is further supplied to the rotating disk, so that the entire surface of the disk is completely washed.

【0005】ところで、研磨を終えたディスクをそのま
ま放置しておくと、研磨の際に使用した研磨液がディス
クの表面に残ったまま乾燥してしまったり、研磨液にま
みれた研磨粉がディスクに固着してしまったりすること
がある。
By the way, if the polished disk is left as it is, the polishing liquid used at the time of polishing remains on the surface of the disk and dries, or the polishing powder covered with the polishing liquid is deposited on the disk. It may stick.

【0006】こういった研磨液のシミや固着した研磨粉
等の異物は、回転ブラシによっても除去されない可能性
があり、これらが除去されないで残っていれば、平滑な
磁気記録層の形成を阻害されてしまい結果的に情報の書
き込みおよび読み出しに大きな影響を与えることが予想
される。
[0006] Such foreign matter such as stains of the polishing liquid and adhered polishing powder may not be removed even by the rotating brush, and if they remain without being removed, they hinder the formation of a smooth magnetic recording layer. As a result, it is expected that writing and reading of information will be greatly affected.

【0007】そこで、従来のディスク洗浄装置には、研
磨を終えたディスクを洗浄工程に渡すまで湿潤な状態で
保管しておくための水槽が設けられている。この水槽に
は保存水が満たされており、研磨を終えたディスクを専
用のカセット等に収納したうえで水槽の中に入れ、保存
水に浸漬しておくことでディスクを湿潤な状態で保管す
るようになっている。
Therefore, the conventional disk cleaning apparatus is provided with a water tank for storing the polished disk in a wet state until the disk is passed to the cleaning step. This water tank is filled with storage water, and the polished disks are stored in a special cassette or the like, then placed in a water tank, and immersed in the storage water to keep the disks in a wet state. It has become.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】ディスク洗浄装置に付
設された従来のディスクの保管装置では、ディスクを収
納したカセットもしくはこれを載置した台を昇降させる
機構が必要になり、保管装置を含めたディスク洗浄装置
が複雑かつ大型になることが問題とされていた。
In a conventional disk storage device attached to a disk cleaning device, a mechanism for raising and lowering a cassette storing the disk or a table on which the cassette is mounted is required. It has been a problem that the disk cleaning device becomes complicated and large.

【0009】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
であり、研磨を終えたディスクを湿潤な状態で保管する
保管装置の構成を単純化して保管装置を含めたディスク
洗浄装置の小型化を図ることを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and simplifies the configuration of a storage device for storing a polished disk in a wet state to reduce the size of a disk cleaning device including the storage device. It is intended for planning.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めの手段としては、ディスクの保管装置として、上方か
ら吊持された状態で支持されて洗浄すべきディスクが載
置される棚状部と、保存水を湛えて棚状部の下方に昇降
可能に設置され、上昇したときにディスクを棚状部ごと
保存水に浸漬する水槽とを設けることが有効である。
As means for solving the above-mentioned problems, a disk-shaped storage device is supported in a suspended state from above and is provided with a disk-shaped portion on which disks to be cleaned are placed. In addition, it is effective to provide a water tank which is installed so as to be able to ascend and descend below the shelves with the storage water filled therein, and immerses the discs together with the shelves in the storage water when ascending.

【0011】また、水槽の内側には、水槽底面からの高
さが水槽の深さよりも低く設定された管状部を立設して
おき、ディスクを載せた棚状部が浸漬されることで溢れ
る保存水を管状部上端の開口から流入させて水槽内の水
位の上昇を抑制するのが望ましい。
In addition, a tubular portion whose height from the bottom of the water tank is set lower than the depth of the water tank is erected inside the water tank, and the shelf on which the disc is mounted overflows by being immersed. It is desirable to prevent the rise of the water level in the water tank by flowing the stored water from the opening at the upper end of the tubular portion.

【0012】また、管状部の上端には複数の切り欠き部
を設けることが望ましい。これにより、水槽から溢れた
保存水が切り欠き部から少しずつ管状部に流入するの
で、保存水の急激なオーバーフローが防止される。
It is desirable to provide a plurality of notches at the upper end of the tubular portion. As a result, the stored water overflowing from the water tank flows into the tubular portion little by little from the cutout portion, thereby preventing a sudden overflow of the stored water.

【0013】さらに、棚状部を水平旋回可能に吊持し、
この棚状部に、ディスクを収納する容器を旋回方向に間
隔を空けて複数配置することで、棚状部により多くのデ
ィスクを載置しておくことが可能となる。
Further, the shelf is suspended so as to be able to turn horizontally,
By arranging a plurality of containers accommodating disks on the shelf at intervals in the turning direction, it is possible to place more disks on the shelf.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】本発明に係るディスクの保管装置
の一実施形態を図1ないし図3に示して説明する。ディ
スク洗浄装置は、表裏両面の研磨を終えたディスクを保
存水に浸漬した状態で保管する保管装置と、保存水から
取り出したディスクを洗浄する洗浄手段と、洗浄を終え
たディスクを乾燥させる乾燥手段と、乾燥を終えたディ
スクを専用の容器に納めて密閉する収納手段とを基台上
に備えるものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of a disk storage device according to the present invention will be described with reference to FIGS. The disc cleaning device is a storage device for storing the disc, both sides of which have been polished, immersed in storage water in a state of being immersed in the storage water, a cleaning means for cleaning the disc taken out of the storage water, and a drying means for drying the disc after cleaning. And a storage means for storing the dried disk in a dedicated container and sealing the disk.

【0015】このうち保管装置には、図1に示すように
基台1の天板2から吊持された状態で支持されて洗浄す
べきディスクDが載置される棚状部3と、保存水を湛え
て棚状部3の下方に昇降可能に設置され、上昇したとき
にディスクDを棚状部3ごと保存水に浸漬する水槽4と
が設けられている。
As shown in FIG. 1, the storage device includes a shelf 3 on which a disk D to be washed is mounted while being supported by being suspended from a top plate 2 of a base 1, and a storage device. A water tank 4 is provided so as to be able to ascend and descend below the shelf 3 with water, and to immerse the disk D in storage water together with the shelf 3 when it rises.

【0016】天板2には円形の開口5が設けられてお
り、棚状部3はこの開口5の直下に設けられている。開
口5の上方にはこの開口5と中心を一致させてリングプ
レート6が配置されており、このリングプレート6は天
板2上に設置された複数の支持ローラ7によって水平面
内で回転可能に支持されている。またリングプレート6
の外周端面には周方向に溝8が形成されることでリング
プレート6自体がプーリの形状を有しており、図2に示
すように天板2に設置されたサーボモータ9に無端ベル
ト10を介して接続され、サーボモータ9を作動させる
ことでリングプレート6を回動させ、かつ所定の位置で
停止させることができるようになっている。
The top plate 2 is provided with a circular opening 5, and the shelf 3 is provided immediately below the opening 5. A ring plate 6 is arranged above the opening 5 so as to be aligned with the center of the opening 5. The ring plate 6 is rotatably supported in a horizontal plane by a plurality of support rollers 7 installed on the top plate 2. Have been. Ring plate 6
The ring plate 6 itself has a pulley shape by forming a groove 8 in the circumferential direction on the outer peripheral end surface of the servo motor 9 installed on the top plate 2 as shown in FIG. The ring plate 6 can be rotated by operating the servo motor 9 and stopped at a predetermined position.

【0017】リングプレート6には、図3に示すように
下方に向けて4本の軸11が垂設されており、軸11の
下端は開口5を通じて下方に延出されている。軸11の
下端にはリングプレート6と中心を一致させて円形のプ
レート12が固定されており、このプレート12上にデ
ィスクDを一枚ずつ保管しておくカセット(容器)13
が着脱可能に固定されている。カセット13はプレート
12上の四方に4個が固定されており、リングプレート
6を1/4回転させるごとにそのいずれかひとつがディ
スクDの取り出しを受ける所定の位置にセットされるよ
うになっている。
As shown in FIG. 3, four shafts 11 extend downward from the ring plate 6, and the lower ends of the shafts 11 extend downward through the openings 5. A circular plate 12 is fixed to the lower end of the shaft 11 so as to coincide with the center of the ring plate 6, and a cassette (container) 13 for storing the disks D one by one on the plate 12.
Are detachably fixed. Four cassettes 13 are fixed on four sides of the plate 12, and each time the ring plate 6 is rotated by 1 /, one of the cassettes 13 is set at a predetermined position for receiving the disk D. I have.

【0018】カセット13は、垂直に立てたディスクD
を僅かな間隔を空けて平行に配置した状態で収納するよ
うになっており、基台1の上方に設置された搬送アーム
14によってディスクDを容易に取り出すことができる
ようになっている。
The cassette 13 has a vertically set disk D
Are stored in a state where they are arranged in parallel with a slight space therebetween, and the disk D can be easily taken out by the transfer arm 14 installed above the base 1.

【0019】プレート12の中央には、後述する水槽4
の管状部が周囲にゆとりをもって挿通される円形の開口
15が形成されている。
At the center of the plate 12 is a water tank 4 described later.
A circular opening 15 is formed around which the tubular portion is freely inserted.

【0020】水槽4は有底の円筒形を有しており、プレ
ート12に中心を一致させて設置されている。基台1の
内側には天板2と平行な仕切板16が設けられており、
水槽4はこの仕切板16に設置されたエアシリンダ17
によって鉛直方向に昇降可能に支持されている。エアシ
リンダ17はピストンロッド17aを上方に向けた状態
でシリンダ17bを仕切板16に固定され、ピストンロ
ッド17aの先端を水槽4の底部に固定されており、エ
アシリンダ17を伸縮させることで水槽4を鉛直方向に
昇降させるようになっている。また、仕切板16にはエ
アシリンダ17と平行に設置されて水槽4の移動方向を
規制するガイドシリンダ18が取り付けられている。
The water tank 4 has a cylindrical shape with a bottom, and is installed so as to be centered on the plate 12. Inside the base 1, a partition plate 16 parallel to the top plate 2 is provided.
The water tank 4 is provided with an air cylinder 17 installed on the partition plate 16.
It is supported so that it can move up and down in the vertical direction. The air cylinder 17 has a cylinder 17b fixed to the partition plate 16 with the piston rod 17a directed upward, and a tip of the piston rod 17a fixed to the bottom of the water tank 4. Is raised and lowered in the vertical direction. Further, a guide cylinder 18 which is installed in parallel with the air cylinder 17 and regulates the moving direction of the water tank 4 is attached to the partition plate 16.

【0021】水槽4の可動範囲は、水槽4の上端がプレ
ート12と同位もしくはプレート12よりも若干下とな
る位置から、棚状部3を内部に湛えた保存水に浸漬して
プレート12上のカセット13に収納されたディスクD
がすべて保存水に沈んだ状態となる位置までの間に設定
されている。
The movable range of the water tank 4 is set such that the shelf 3 is immersed in the storage water filled therein from the position where the upper end of the water tank 4 is at the same level as the plate 12 or slightly lower than the plate 12. Disk D stored in cassette 13
Are set up to the position where they are all submerged in the storage water.

【0022】水槽4内部の底面中央には、断面円形の管
状部19が鉛直方向に向けて立設されており、水槽4の
底面からの管状部19の高さは水槽4の深さよりも若干
低く設定されている。また、管状部19の上端に形成さ
れた開口20は水平な平断面とされており、しかも開口
20をなす管状部19の上端には複数の切り欠き部21
が周方向に間隔を空けて形成されている。切り欠き部2
1は管状部19の上端から下端に向けてV字形に切り込
まれた形状を有しており、いずれの切り欠き部21につ
いてもV字の頂点となる切り欠き部21の最下部は水槽
4の底面から等しい高さに設けられている。
At the center of the bottom inside the water tank 4, a tubular section 19 having a circular cross section is erected in the vertical direction. The height of the tubular section 19 from the bottom of the water tank 4 is slightly larger than the depth of the water tank 4. It is set low. The opening 20 formed at the upper end of the tubular portion 19 has a horizontal plane cross section, and a plurality of notches 21 are formed at the upper end of the tubular portion 19 forming the opening 20.
Are formed at intervals in the circumferential direction. Notch 2
1 has a shape cut into a V-shape from the upper end to the lower end of the tubular portion 19, and the lowermost part of the notch 21, which is the apex of the V-shape, is the water tank 4. Are provided at the same height from the bottom surface.

【0023】管状部19の下端ならびに側面には、水槽
4との間で保存水のやり取りが行われる連通箇所は一切
設けられておらず、保存水は水槽4と管状部19の外側
面との間に形成される空間に湛えられる。しかも保存水
の水位は、管状部19に形成された切り欠き部21の最
下部よりも若干下に設定されることになる。
At the lower end and side surfaces of the tubular portion 19, there are no communication points for exchanging the stored water with the water tank 4, and the stored water is transferred between the water tank 4 and the outer surface of the tubular portion 19. It is filled in the space formed between them. In addition, the water level of the storage water is set slightly lower than the lowermost part of the notch 21 formed in the tubular part 19.

【0024】上記のように構成されたディスクの保管装
置を使用して研磨を終えたディスクを保存水中で保管す
る工程を説明する。表裏両面の研磨を終えたディスクD
が、各カセットに整列して収納されてカセットごと棚状
部に載置されると、エアシリンダが作動して保存水を湛
えた水槽が上昇する。水槽の上昇に伴い、棚状部は保存
水に浸漬されていく。このとき管状部はプレートに形成
された開口に挿通されるため棚状部の水没を妨げてしま
うようなことは起こらない。
A process of storing a polished disk in storage water using the disk storage device configured as described above will be described. Disk D after polishing both sides
However, when the cassettes are arranged and stored in each cassette and placed on the shelf together with the cassettes, the air cylinder operates to raise the water tank filled with stored water. As the water tank rises, the shelf is immersed in the storage water. At this time, since the tubular portion is inserted through the opening formed in the plate, there is no possibility of preventing the shelf-shaped portion from being submerged.

【0025】棚状部が保存水に浸漬されて水没するにし
たがって水槽内での保存水の水位が除々に上昇してい
き、水槽内で保存水が溢れ始める。しかしながら、保存
水の水位が管状部に形成された切り欠き部の最下部に達
すると、この部分から保存水が管状部の内側に流入し、
水槽が上昇しても水槽内における保存水の水位はそれ以
上上昇しない。
As the shelf is immersed in the storage water and submerged, the level of the storage water in the water tank gradually rises, and the storage water starts to overflow in the water tank. However, when the water level of the stored water reaches the lowermost part of the notch formed in the tubular portion, the stored water flows into the tubular portion from this portion,
Even if the tank rises, the level of the stored water in the tank does not rise any more.

【0026】またこのとき、保存水は管状部の上端に設
けられた複数の切り欠き部から管状部の内側に向けてほ
ぼ同時に流入するため、保存水が急激に溢れ出すことが
ない。
At this time, the stored water flows from the plurality of notches provided at the upper end of the tubular portion almost simultaneously toward the inside of the tubular portion, so that the stored water does not suddenly overflow.

【0027】水槽は最高位まで上昇した位置で停止し、
この位置で棚状部上のディスクは保存水に完全に浸漬さ
れた状態となり、この状態で次の洗浄工程を待つことに
なる。
The water tank stops at the position where it has risen to the highest position,
At this position, the disk on the shelf is completely immersed in the storage water, and awaiting the next washing step in this state.

【0028】水槽に保管されたディスクは、搬送アーム
によって保存水中から取り上げられ、洗浄手段に渡され
る。このとき、所定の位置にセットされたカセットが空
になると、サーボモータが作動してリングプレートとこ
れに固定されたプレートが1/4回転されて隣に位置す
るカセットがさきほどの所定の位置に移動し、引続いて
ディスクが取り出される。この要領でプレート上に載置
された4つのカセットすべてからディスクの取り出しが
完了すると、並設されている同じ構造の水槽について同
様のディスク取り出し操作が行われる。
The disk stored in the water tank is taken out of the storage water by the transfer arm and passed to the cleaning means. At this time, when the cassette set at the predetermined position becomes empty, the servomotor is operated to rotate the ring plate and the plate fixed thereto 1/4 turn so that the adjacent cassette is at the predetermined position. It moves and the disc is subsequently ejected. When the removal of the disks from all the four cassettes placed on the plate is completed in this manner, the same disk removal operation is performed on the water tanks having the same structure arranged in parallel.

【0029】上記のように構成されたディスクの保管装
置によれば、水槽を昇降可能に設置し、カセットを載置
する棚状部をカセットの切り換え機構のみ備える構成と
してすることで保管装置の構成を簡略化することがで
き、これによって保管装置を含めたディスク洗浄装置の
小型化を図ることができる。
According to the disk storage device configured as described above, the water tank is installed so as to be able to move up and down, and the shelf on which the cassette is mounted is provided with only the cassette switching mechanism. Can be simplified, whereby the size of the disk cleaning device including the storage device can be reduced.

【0030】保存水が複数の切り欠き部から管状部の内
側に向けてほぼ同時に流入するため、保存水が急激に管
状部の内側に流入することがなく、水槽内の保存水の状
態を穏やかに保つことができる。
Since the stored water flows into the inside of the tubular portion almost simultaneously from the plurality of cutouts, the stored water does not suddenly flow into the inside of the tubular portion, and the condition of the stored water in the water tank is moderated. Can be kept.

【0031】ディスクを載せた棚状部が浸漬されて溢れ
る保存水を上端の開口から流入させることで保存水のオ
ーバーフローを防止することができる。
The overflow of the storage water can be prevented by flowing the storage water overflowing due to the immersion of the shelf on which the disk is placed from the opening at the upper end.

【0032】[0032]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のディスク
の保管装置によれば、上方から吊持された状態で支持さ
れて洗浄すべきディスクが載置される棚状部と、保存水
を湛えて棚状部の下方に昇降可能に設置され、上昇した
ときにディスクを棚状部ごと保存水に浸漬する水槽とを
備えることにより、従来検討されていたディスクを収納
したカセットもしくはこれを載置した台を昇降させる機
構等が必要なくなるため、保管装置の構成を簡略化する
ことができ、これによって保管装置を含めたディスク洗
浄装置の小型化を図ることができる。
As described above, according to the disk storage device of the present invention, the shelf-like portion on which the disk to be washed is supported while being suspended from above and the storage water is stored therein. A water tank that is installed so as to be able to ascend and descend below the shelves and that immerses the discs in the storage water together with the shelves when the cassettes are raised. Since a mechanism for elevating and lowering the placed table is not required, the configuration of the storage device can be simplified, and the size of the disk cleaning device including the storage device can be reduced.

【0033】また、このディスクの保管装置では、水槽
の内側に管状部を立設し、この管状部の水槽底面からの
高さを水槽の深さよりも低く設定することにより、ディ
スクを載せた棚状部が浸漬されて溢れる保存水を上端の
開口から流入させることで保存水のオーバーフローを防
止することができる。
In this disk storage device, a tubular portion is erected inside the water tank, and the height of the tubular portion from the bottom of the water tank is set lower than the depth of the water tank, so that the shelf on which the disk is placed is placed. The overflow of the preservation water can be prevented by flowing the preservation water overflowing by the immersion of the shape portion through the opening at the upper end.

【0034】さらに、管状部の上端に複数の切り欠き部
を設けることにより、保存水が複数の切り欠き部から管
状部の内側に向けてほぼ同時に流入するため、保存水が
急激に管状部の内側に流入することがなく、水槽内の保
存水の状態を穏やかに保つことができる。
Furthermore, by providing a plurality of notches at the upper end of the tubular portion, the stored water flows from the plurality of notches almost simultaneously toward the inside of the tubular portion. Without flowing into the inside, the state of the stored water in the water tank can be kept calm.

【0035】さらに、棚状部を水平旋回可能に吊持し、
この棚状部に、ディスクを収納する容器を旋回方向に間
隔を空けて複数配置することで、棚状部の限られたスペ
ースにより多くのディスクを載置することができ、しか
も洗浄手段へのディスクの搬送を簡単に行うことができ
る。
Further, the shelf is suspended so as to be able to turn horizontally,
By arranging a plurality of containers accommodating disks on the shelf at intervals in the turning direction, more disks can be placed in the limited space of the shelf, and moreover, the cleaning means The disc can be easily transported.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明に係るディスクの保管装置の一実施形
態を示す側方断面図である。
FIG. 1 is a side sectional view showing an embodiment of a disk storage device according to the present invention.

【図2】 図1におけるII−II線矢視断面図であ
る。
FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II in FIG.

【図3】 図1におけるIII−III線矢視断面図で
ある。
FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

3 棚状部 4 水槽 13 カセット(容器) 19 管状部 21 切り欠き部 D ディスク DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 Shelf part 4 Water tank 13 Cassette (container) 19 Tubular part 21 Notch D disk

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−13393(JP,A) 特開 平5−143980(JP,A) 特開 平5−143987(JP,A) 特開 平5−290373(JP,A) 特開 平6−282883(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 5/84 G11B 7/26 G11B 23/50 B08B 3/04 H01L 21/304 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-5-13393 (JP, A) JP-A-5-143980 (JP, A) JP-A-5-143987 (JP, A) JP-A-5-13987 290373 (JP, A) JP-A-6-282883 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G11B 5/84 G11B 7/26 G11B 23/50 B08B 3/04 H01L 21/304

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 研磨を終えたディスクを保存水に浸漬し
た状態で保管するディスクの保管装置であって、 上方から吊持された状態で支持されて前記ディスクが載
置される棚状部と、 保存水を湛えて前記棚状部の下方に設置されて昇降可能
に支持され、上昇したときにディスクを棚状部ごと保存
水に浸漬する水槽とを備えることを特徴とするディスク
の保管装置。
1. A storage device for a disk for storing a polished disk in a state of being immersed in storage water, comprising: a shelf-like portion which is supported in a suspended state from above and on which the disk is placed; A storage tank for storing the storage water, wherein the storage tank is provided below the shelf and supported so as to be able to ascend and descend, and when raised, immerses the disk in the storage water together with the shelf. .
【請求項2】 前記水槽の内側に立設されて水槽底面か
らの高さが水槽の深さよりも低く設定され、ディスクを
載せた棚状部が浸漬されることで溢れる保存水を上端の
開口から流入させる管状部を備えることを特徴とする請
求項1に記載のディスクの保管装置。
2. An upper end of the water tank, wherein the height from the bottom of the water tank is set lower than the depth of the water tank. The disk storage device according to claim 1, further comprising a tubular portion that flows from the disk.
【請求項3】 前記管状部の上端に複数の切り欠き部が
設けられていることを特徴とする請求項2に記載のディ
スクの保管装置。
3. The disk storage device according to claim 2, wherein a plurality of notches are provided at an upper end of the tubular portion.
【請求項4】 前記棚状部が水平旋回可能に吊持され、
該棚状部には、前記ディスクを収納する容器が旋回方向
に間隔を空けて複数配置されていることを特徴とする請
求項1、2または3に記載のディスクの保管装置。
4. The shelf-shaped part is suspended so as to be horizontally pivotable,
4. The disk storage device according to claim 1, wherein a plurality of containers accommodating the disks are arranged on the shelf-like portion at intervals in a turning direction.
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