JP3299482B2 - アクチュエータおよび位置決め装置 - Google Patents
アクチュエータおよび位置決め装置Info
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Classifications
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06705—Apparatus for holding or moving single probes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
- G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高い剛性を通常有
するリニア・アクチュエータに関し、特に、Ｘ方向ステ
ージおよびＹ方向ステージを有する位置決め装置のＺ方
向運動を与える硬くかつ高出力の高さステージに関す
る。
するリニア・アクチュエータに関し、特に、Ｘ方向ステ
ージおよびＹ方向ステージを有する位置決め装置のＺ方
向運動を与える硬くかつ高出力の高さステージに関す
る。
【０００２】本発明は、ＡＲＰＡにより認められた契約
番号ＭＤＡ９７２−９４−３−００３５のもとで、米国
政府の支援によりなされたものである。
番号ＭＤＡ９７２−９４−３−００３５のもとで、米国
政府の支援によりなされたものである。
【０００３】
【従来の技術】位置決め装置は、種々のデバイスに、比
較的高速に所定の動きをさせるのに用いられる。例え
ば、位置決め装置を用いて１つ以上のプローブを位置決
めし、回路テストのために、電子回路ボードの種々の点
に接触させることができる。あるいはまた、位置決め装
置は、組立てられるコンポーネントを回路ボードに供給
し、ワイヤボンディング装置を正しい位置に動かすとい
うように、組立て作業に用いられる。多くの機構を用い
て、位置決め装置内で一般にＸ方向運動およびＹ方向運
動と呼ばれる、面内での運動を与えている。この面は、
例えば、１つ以上の移動プローブでテストされる回路ボ
ードの面である。例えば、プローブを回路ボードとの接
触から離して、次のテスト・ポイントへ動かすことがで
きるようにするためには、面に垂直なＺ方向の動きが必
要とされる。回路ボード上でプローブまたは他のデバイ
スの高さが制御されるので、Ｚ方向ステージは、しばし
ば、高さステージと呼ばれている。一般に、Ｚ方向に
は、Ｘ方向およびＹ方向よりもより少ない全体の動きが
必要とされるが、このようなＺ方向運動は、急速かつ正
確なことが必要とされる。
較的高速に所定の動きをさせるのに用いられる。例え
ば、位置決め装置を用いて１つ以上のプローブを位置決
めし、回路テストのために、電子回路ボードの種々の点
に接触させることができる。あるいはまた、位置決め装
置は、組立てられるコンポーネントを回路ボードに供給
し、ワイヤボンディング装置を正しい位置に動かすとい
うように、組立て作業に用いられる。多くの機構を用い
て、位置決め装置内で一般にＸ方向運動およびＹ方向運
動と呼ばれる、面内での運動を与えている。この面は、
例えば、１つ以上の移動プローブでテストされる回路ボ
ードの面である。例えば、プローブを回路ボードとの接
触から離して、次のテスト・ポイントへ動かすことがで
きるようにするためには、面に垂直なＺ方向の動きが必
要とされる。回路ボード上でプローブまたは他のデバイ
スの高さが制御されるので、Ｚ方向ステージは、しばし
ば、高さステージと呼ばれている。一般に、Ｚ方向に
は、Ｘ方向およびＹ方向よりもより少ない全体の動きが
必要とされるが、このようなＺ方向運動は、急速かつ正
確なことが必要とされる。
【０００４】親ネジを用いて、種々のタイプの装置内に
配置されるデバイスの制御された動きを与えている。し
かし、この種の従来の応用は、１対のベアリングと、１
対のシャフト（その上を、位置決めされるデバイスがス
ライド・ブッシュと共に動く）と、デバイスに取付けら
れ親ネジにより係合されるナット内で回転するように取
付けられた親ネジを有している。親ネジの回転軸と、位
置決めされるデバイスの並進路は、ベアリングおよびブ
ッシュによって、それぞれ緊密に保持されており、結着
を防止するためには、親ネジの外ネジと、ナットの内ネ
ジとの間に、かなりのクリアランスが必要とされる。し
かし、このようなクリアランスは、バックラッシュ状態
を生じ、例えば、位置決めされるデバイスから与えられ
る荷重が方向を変えるときに、親ネジとナットとの間の
クリアランス距離にわたって急速な動きを発生させる。
さらに、ベアリングおよびブッシュの使用は、比較的小
さい全体運動を必要とする応用においてさえも、親ネジ
の機構が非常に長いことが要求される。例えば、たった
１２．７ｍｍ（半インチ）の運動を行う親ネジの機構
は、典型的に、５０．８ｍｍ（２インチ）の長さであ
る。
配置されるデバイスの制御された動きを与えている。し
かし、この種の従来の応用は、１対のベアリングと、１
対のシャフト（その上を、位置決めされるデバイスがス
ライド・ブッシュと共に動く）と、デバイスに取付けら
れ親ネジにより係合されるナット内で回転するように取
付けられた親ネジを有している。親ネジの回転軸と、位
置決めされるデバイスの並進路は、ベアリングおよびブ
ッシュによって、それぞれ緊密に保持されており、結着
を防止するためには、親ネジの外ネジと、ナットの内ネ
ジとの間に、かなりのクリアランスが必要とされる。し
かし、このようなクリアランスは、バックラッシュ状態
を生じ、例えば、位置決めされるデバイスから与えられ
る荷重が方向を変えるときに、親ネジとナットとの間の
クリアランス距離にわたって急速な動きを発生させる。
さらに、ベアリングおよびブッシュの使用は、比較的小
さい全体運動を必要とする応用においてさえも、親ネジ
の機構が非常に長いことが要求される。例えば、たった
１２．７ｍｍ（半インチ）の運動を行う親ネジの機構
は、典型的に、５０．８ｍｍ（２インチ）の長さであ
る。
【０００５】位置決め装置における多くの応用では、急
速運動の条件下で、位置決めされるデバイスと、装置の
骨組との間の剛性に対する大きな必要性が存在し、従来
の親ネジ機構の使用により発生するバックラッシュ状態
を、耐えがたいものにする。さらに、ＸおよびＹ方向ス
テージによって動かされるＺ方向ステージには、小質
量，小サイズと、入力部および出力部を近接して有する
機構とを特に必要とする。
速運動の条件下で、位置決めされるデバイスと、装置の
骨組との間の剛性に対する大きな必要性が存在し、従来
の親ネジ機構の使用により発生するバックラッシュ状態
を、耐えがたいものにする。さらに、ＸおよびＹ方向ス
テージによって動かされるＺ方向ステージには、小質
量，小サイズと、入力部および出力部を近接して有する
機構とを特に必要とする。
【０００６】米国特許第５，５４３，７２６号明細書
は、テストされる回路ボードの各面上で移動できる１対
のＸおよびＹ方向ステージを有するオープンフレーム・
ガントリ・プロービング・システムを開示している。米
国特許第５，４６７，０２０号明細書は、可撓性基板上
の回路のテストを容易にするために、この種のプロービ
ング・システムに設けることのできる取付け具を開示し
ている。
は、テストされる回路ボードの各面上で移動できる１対
のＸおよびＹ方向ステージを有するオープンフレーム・
ガントリ・プロービング・システムを開示している。米
国特許第５，４６７，０２０号明細書は、可撓性基板上
の回路のテストを容易にするために、この種のプロービ
ング・システムに設けることのできる取付け具を開示し
ている。
【０００７】米国特許第５，５４３，７２６号明細書で
は、電磁アクチュエータを用いて、Ｚ方向のプローブ運
動を与えている。このアクチュエータは、プローブを運
ぶアセンブリの中央ポストとして形成される永久磁石の
周りに拡がるコイル状ワイヤを有している。プローブを
動かすには、コイル状ワイヤに電流を流す。この米国特
許は、また、この装置内でテストされる回路ボードの厚
さの差を補償するために、カムを駆動するモータが設け
られたマクロＺ駆動機能について記載している。
は、電磁アクチュエータを用いて、Ｚ方向のプローブ運
動を与えている。このアクチュエータは、プローブを運
ぶアセンブリの中央ポストとして形成される永久磁石の
周りに拡がるコイル状ワイヤを有している。プローブを
動かすには、コイル状ワイヤに電流を流す。この米国特
許は、また、この装置内でテストされる回路ボードの厚
さの差を補償するために、カムを駆動するモータが設け
られたマクロＺ駆動機能について記載している。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】固定コイルと可動永久
磁石コアとの組合せは、上記米国特許明細書に記載され
ているように、簡単な電気プローブを動かすことによっ
て与えられる負荷のような、軽負荷に対しては良好に動
作するが、位置決め装置の他の応用は、一般に、Ｚ方向
に動かされるデバイスの大きな質量の故に、さらに大き
い荷重を必要とする。このような応用に対しては、より
大きな力を発生できるように高いメカニカル・アドバン
テージと、より大きい剛性とを有する異なる種類の駆動
装置を必要とする。このような駆動装置は、プローブの
運動の機能とマクロＺ駆動の機能との両方を与えること
ができなければならない。
磁石コアとの組合せは、上記米国特許明細書に記載され
ているように、簡単な電気プローブを動かすことによっ
て与えられる負荷のような、軽負荷に対しては良好に動
作するが、位置決め装置の他の応用は、一般に、Ｚ方向
に動かされるデバイスの大きな質量の故に、さらに大き
い荷重を必要とする。このような応用に対しては、より
大きな力を発生できるように高いメカニカル・アドバン
テージと、より大きい剛性とを有する異なる種類の駆動
装置を必要とする。このような駆動装置は、プローブの
運動の機能とマクロＺ駆動の機能との両方を与えること
ができなければならない。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の一態様によれ
ば、第１の方向に垂直な面上で所定の面運動を行なう第
１のステージと、前記垂直面に平行な他の面上で前記第
１のステージに連動して面運動を行なう第２のステージ
との間で、第１の方向に制御された相対運動を与えるア
クチュエータが提供される。このアクチュエータは、第
１のステージに回転可能に設けられた第１のネジ切り部
材と、第２のステージに取付けられ、第１のネジ切り部
材と係合する第２のネジ切り部材と、第１のネジ切り部
材を回転させるための回転駆動手段と、前記第１の方向
に平行な軸の周りに前記第２のネジ切り部材の回転を阻
止すると共に前記両ネジ切り部材間のクリアランスを減
少させるように前記両ステージで支持された可撓性制動
手段とを備えている。
ば、第１の方向に垂直な面上で所定の面運動を行なう第
１のステージと、前記垂直面に平行な他の面上で前記第
１のステージに連動して面運動を行なう第２のステージ
との間で、第１の方向に制御された相対運動を与えるア
クチュエータが提供される。このアクチュエータは、第
１のステージに回転可能に設けられた第１のネジ切り部
材と、第２のステージに取付けられ、第１のネジ切り部
材と係合する第２のネジ切り部材と、第１のネジ切り部
材を回転させるための回転駆動手段と、前記第１の方向
に平行な軸の周りに前記第２のネジ切り部材の回転を阻
止すると共に前記両ネジ切り部材間のクリアランスを減
少させるように前記両ステージで支持された可撓性制動
手段とを備えている。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１および図２は、位置決め装置
の高さステージとして、本発明により形成されたアクチ
ュエータ１０を示す。図１は、その平面図であり、図２
は、図１のII−II線により切断された垂直断面図であ
る。
の高さステージとして、本発明により形成されたアクチ
ュエータ１０を示す。図１は、その平面図であり、図２
は、図１のII−II線により切断された垂直断面図であ
る。
【００１１】図１および図２において、アクチュエータ
１０は、一般に、入力ステージ１２と出力ステージ１４
との間に延びている。この構成では、入力ステージ１２
は、アクチュエータが取付けられる基準フレームを与え
る。例えば、入力ステージ１２は、面内での運動（矢印
１６，１８で示される方向の）を与える米国特許第５，
５４３，７２６号明細書に記載されている種類のＸ−Ｙ
位置決め装置のキャリッジに取付けることができる。こ
の例では、出力ステージ１４は、入力ステージ１２を駆
動する機構（図示せず）により、アクチュエータ１０を
経て、矢印１６のＸ方向および矢印１８のＹ方向に、お
よびアクチュエータ１０内で発生される動きによって矢
印２０のＺ方向に駆動される負荷を表している。
１０は、一般に、入力ステージ１２と出力ステージ１４
との間に延びている。この構成では、入力ステージ１２
は、アクチュエータが取付けられる基準フレームを与え
る。例えば、入力ステージ１２は、面内での運動（矢印
１６，１８で示される方向の）を与える米国特許第５，
５４３，７２６号明細書に記載されている種類のＸ−Ｙ
位置決め装置のキャリッジに取付けることができる。こ
の例では、出力ステージ１４は、入力ステージ１２を駆
動する機構（図示せず）により、アクチュエータ１０を
経て、矢印１６のＸ方向および矢印１８のＹ方向に、お
よびアクチュエータ１０内で発生される動きによって矢
印２０のＺ方向に駆動される負荷を表している。
【００１２】図３は、本発明によって形成された高さス
テージ（またはアクチュエータ）１０を有する位置決め
装置のブロック図である。
テージ（またはアクチュエータ）１０を有する位置決め
装置のブロック図である。
【００１３】図１，図２，図３を参照すると、図３の例
では、第１のＸ−Ｙポジショナ２１は、アクチュエータ
１０を、矢印１６，１８のＸおよびＹ方向に動かす。ア
クチュエータ１０は、Ｚ方向の動きを加える。この動き
は、第２のＸ−Ｙポジショナ２１ａに入力として与えら
れる合成動きに加えられる。第２のＸ−Ｙポジショナ２
１ａの出力は、プローブ（図示せず）が取付けられる第
２の高さステージ２１ｂに入力として与えられる。第１
のＸ−Ｙポジショナは、矢印１６，１８の方向に比較的
長い動きを与えるように動作する。この比較的長い動き
は、第１のＸ−Ｙポジショナ２１による入力ステージ１
２の動きによって比較的ゆっくりと発生される。矢印１
６，１８の方向の比較的短い動きは、出力ステージ１４
の下に設けられた第２のＸ−Ｙポジショナ２１ａの動き
によって、比較的迅速に発生される。この種の装置で
は、アクチュエータ１０の剛性および出力は、第２のＸ
−Ｙポジショナの比較的大きい質量の故に、特に重要で
ある。他方、第２の高さステージ２１ｂは、それが動か
さなければならないプローブが軽いので、比較的軽い構
成とすることができる。
では、第１のＸ−Ｙポジショナ２１は、アクチュエータ
１０を、矢印１６，１８のＸおよびＹ方向に動かす。ア
クチュエータ１０は、Ｚ方向の動きを加える。この動き
は、第２のＸ−Ｙポジショナ２１ａに入力として与えら
れる合成動きに加えられる。第２のＸ−Ｙポジショナ２
１ａの出力は、プローブ（図示せず）が取付けられる第
２の高さステージ２１ｂに入力として与えられる。第１
のＸ−Ｙポジショナは、矢印１６，１８の方向に比較的
長い動きを与えるように動作する。この比較的長い動き
は、第１のＸ−Ｙポジショナ２１による入力ステージ１
２の動きによって比較的ゆっくりと発生される。矢印１
６，１８の方向の比較的短い動きは、出力ステージ１４
の下に設けられた第２のＸ−Ｙポジショナ２１ａの動き
によって、比較的迅速に発生される。この種の装置で
は、アクチュエータ１０の剛性および出力は、第２のＸ
−Ｙポジショナの比較的大きい質量の故に、特に重要で
ある。他方、第２の高さステージ２１ｂは、それが動か
さなければならないプローブが軽いので、比較的軽い構
成とすることができる。
【００１４】このような装置が、回路ボードを検査する
プローブを位置決めするのに用いられると、ボードの１
セクションから他のセクションへの長い動きは、入力ス
テージ１２に取付けられた第１のＸ−Ｙポジショナを用
いて作られ、回路ボードの単一セクション内の短い動き
は、出力ステージ１４の下に設けられた第２のＸ−Ｙポ
ジショナを用いて作られる。この種の検査プロセスは、
長い動きよりもより短い多くの動きを与えるように構成
することができるので、この種の方法は、全検査プロセ
スに要する時間を、かなり減少することができる。
プローブを位置決めするのに用いられると、ボードの１
セクションから他のセクションへの長い動きは、入力ス
テージ１２に取付けられた第１のＸ−Ｙポジショナを用
いて作られ、回路ボードの単一セクション内の短い動き
は、出力ステージ１４の下に設けられた第２のＸ−Ｙポ
ジショナを用いて作られる。この種の検査プロセスは、
長い動きよりもより短い多くの動きを与えるように構成
することができるので、この種の方法は、全検査プロセ
スに要する時間を、かなり減少することができる。
【００１５】この応用では、第２の高さステージ２１ｂ
は、プローブ（図示せず）を、回路ボード（図示せず）
と接触させ、および回路ボードから離すのに必要なすべ
ての動きを発生する。アクチュエータ１０は、矢印２０
のＺ方向の動きを発生して、回路ボードの厚さの差を補
償し、検査ツールに回路ボードをロードし、検査ツール
から回路ボードをアンロードするのに必要な隙間を与え
る。
は、プローブ（図示せず）を、回路ボード（図示せず）
と接触させ、および回路ボードから離すのに必要なすべ
ての動きを発生する。アクチュエータ１０は、矢印２０
のＺ方向の動きを発生して、回路ボードの厚さの差を補
償し、検査ツールに回路ボードをロードし、検査ツール
から回路ボードをアンロードするのに必要な隙間を与え
る。
【００１６】図１および図２を参照すると、アクチュエ
ータ１０では、出力ステージ１４と入力ステージ１２と
の間の動きは、駆動ネジ２４と係合する駆動ナット２２
を回転させることにより、実現される。駆動ネジ２４
は、下側の取付け板２６によって、出力ステージ１４に
固定され、駆動ナット２２は、ベアリング・アセンブリ
３０によってハウジング２８内に、回転可能に取付けら
れる。ハウジング２８は、上側の取付け板３２を経て、
入力ステージ１２に固定される。ベアリング・アセンブ
リ３０は、１対のベアリング３４を有している。各ベア
リングは、１対のスペーサ３８によって分離されたクロ
ス・ローラ３６を有している。この種のベアリングは、
最小の摩擦で高負荷を支えるために、Ｖ溝の交互面間で
回転するローラのアレイを用いている。
ータ１０では、出力ステージ１４と入力ステージ１２と
の間の動きは、駆動ネジ２４と係合する駆動ナット２２
を回転させることにより、実現される。駆動ネジ２４
は、下側の取付け板２６によって、出力ステージ１４に
固定され、駆動ナット２２は、ベアリング・アセンブリ
３０によってハウジング２８内に、回転可能に取付けら
れる。ハウジング２８は、上側の取付け板３２を経て、
入力ステージ１２に固定される。ベアリング・アセンブ
リ３０は、１対のベアリング３４を有している。各ベア
リングは、１対のスペーサ３８によって分離されたクロ
ス・ローラ３６を有している。この種のベアリングは、
最小の摩擦で高負荷を支えるために、Ｖ溝の交互面間で
回転するローラのアレイを用いている。
【００１７】駆動ネジ２４は、中空であり、内部ホール
３７を有して、アクチュエータ１０の全質量を軽減して
いる。ネジ２４は、好ましくは、Ｔｙｐｅ４１６のステ
ンレス鋼よりなり、ナット２２は、好ましくは、リン青
銅よりなる。これらの材料のいずれも、ネジ界面でかじ
り（ｇａｌｌｉｎｇ）を生じさせるメッキを必要としな
い。これら両材料は、滑らかな表面仕上げを得るために
容易に機械加工され、およびこれら両材料は固く、摩耗
を最小とする。これら材料は異なるので、かじりがさら
に小さくなり、リン青銅の固有の潤滑性が、摩擦を軽減
させる。
３７を有して、アクチュエータ１０の全質量を軽減して
いる。ネジ２４は、好ましくは、Ｔｙｐｅ４１６のステ
ンレス鋼よりなり、ナット２２は、好ましくは、リン青
銅よりなる。これらの材料のいずれも、ネジ界面でかじ
り（ｇａｌｌｉｎｇ）を生じさせるメッキを必要としな
い。これら両材料は、滑らかな表面仕上げを得るために
容易に機械加工され、およびこれら両材料は固く、摩耗
を最小とする。これら材料は異なるので、かじりがさら
に小さくなり、リン青銅の固有の潤滑性が、摩擦を軽減
させる。
【００１８】駆動ナット２２を回転させる機械力は、モ
ータ４０によって与えられる。モータ４０は、ナット２
２に取付けられた被駆動ギア４４とかみ合う駆動ギア４
２を回転させる。ギア４２とギア４５との間の直径比
は、約５．０のメカニカル・アドバンテージを与え、駆
動ナット２２を回転させるのに必要なトルクを減少させ
る。モータ４０は、垂直取付けブラケット４８の一部と
して延びる出張り部４６を経て、アクチュエータ１０内
に取付けられる。ブラケット４８は、入力ステージ１２
の直立脚部５０に取付けられている。リニア・ベアリン
グ・アセンブリ５６の内レース５２は、また、垂直取付
けブラケット４８に取付けられている。このベアリング
・アセンブリ５６の外レース５８は、スライド板６０に
取付けられている。これにより、このスライド板は、矢
印２０のＺ方向に動くことが可能となる。このベアリン
グ・アセンブリ５６は、Ｖ溝の交互面間で回転するクロ
ス・ローラ６２の１対のアレイを用いている。スライド
板６０は、可撓性板バネ６４を経て、下側の取付け板２
６に取付けられている。
ータ４０によって与えられる。モータ４０は、ナット２
２に取付けられた被駆動ギア４４とかみ合う駆動ギア４
２を回転させる。ギア４２とギア４５との間の直径比
は、約５．０のメカニカル・アドバンテージを与え、駆
動ナット２２を回転させるのに必要なトルクを減少させ
る。モータ４０は、垂直取付けブラケット４８の一部と
して延びる出張り部４６を経て、アクチュエータ１０内
に取付けられる。ブラケット４８は、入力ステージ１２
の直立脚部５０に取付けられている。リニア・ベアリン
グ・アセンブリ５６の内レース５２は、また、垂直取付
けブラケット４８に取付けられている。このベアリング
・アセンブリ５６の外レース５８は、スライド板６０に
取付けられている。これにより、このスライド板は、矢
印２０のＺ方向に動くことが可能となる。このベアリン
グ・アセンブリ５６は、Ｖ溝の交互面間で回転するクロ
ス・ローラ６２の１対のアレイを用いている。スライド
板６０は、可撓性板バネ６４を経て、下側の取付け板２
６に取付けられている。
【００１９】したがって、矢印１６，１８の方向におけ
る出力ステージ１４のＸ−Ｙ位置決めは、矢印１６に平
行な第１の軸の周り、および矢印１８に平行な第２の軸
の周りの、出力ステージ１４の角度位置決めと共に、駆
動ナット２２と駆動ネジ２４との間の係合状態によって
決定される。正確な位置決めを保証するには、駆動ナッ
ト２２および駆動ネジ２４は、大きい直径と、微細ピッ
チと、厳密に制御されたクラスのはめあい（ｆｉｔ）と
を有している。５０．８ｍｍ（２インチ）有効径と、２
５．４ｍｍ（１インチ）あたり４０個のネジ山のピッチ
と、０．０１２７ｍｍ（０．０００５インチ）のランニ
ング・クリアランスとを、ネジとナットとの間の３１．
７５ｍｍ（１．２５インチ）の係合長さと共に用いるこ
とによって、満足すべき結果が達成された。
る出力ステージ１４のＸ−Ｙ位置決めは、矢印１６に平
行な第１の軸の周り、および矢印１８に平行な第２の軸
の周りの、出力ステージ１４の角度位置決めと共に、駆
動ナット２２と駆動ネジ２４との間の係合状態によって
決定される。正確な位置決めを保証するには、駆動ナッ
ト２２および駆動ネジ２４は、大きい直径と、微細ピッ
チと、厳密に制御されたクラスのはめあい（ｆｉｔ）と
を有している。５０．８ｍｍ（２インチ）有効径と、２
５．４ｍｍ（１インチ）あたり４０個のネジ山のピッチ
と、０．０１２７ｍｍ（０．０００５インチ）のランニ
ング・クリアランスとを、ネジとナットとの間の３１．
７５ｍｍ（１．２５インチ）の係合長さと共に用いるこ
とによって、満足すべき結果が達成された。
【００２０】他方、矢印２０の方向に平行な垂直軸の周
りでの、出力ステージ１４の回転は、スライド板６０お
よび板バネ６４を経たリニア・ベアリング・アセンブリ
５６により下側の取付け板２６に与えられる制動トルク
によって、阻止される。板バネ６４の可撓性が、ナット
２２とネジ２４との間の密（ｔｉｇｈｔ）クリアランス
の同時状態のもとで、およびリニア・ベアリング・アセ
ンブリ５６内で、結着（ｂｉｎｄｉｎｇ）することなし
にナット２２を回転させることができるが、板バネ６４
の所定のひずみを用いて、ネジ２４とナット２２との間
で、矢印１６の方向の１つにおいて、横方向の予荷重を
与えることができる。この種の横方向荷重は、ネジ２４
とナット２２との間の密着クリアランスの状態のもとで
さえ、ネジ２４とナット２２との間に残るクリアラン
ス、したがってバックラッシュを除去する。
りでの、出力ステージ１４の回転は、スライド板６０お
よび板バネ６４を経たリニア・ベアリング・アセンブリ
５６により下側の取付け板２６に与えられる制動トルク
によって、阻止される。板バネ６４の可撓性が、ナット
２２とネジ２４との間の密（ｔｉｇｈｔ）クリアランス
の同時状態のもとで、およびリニア・ベアリング・アセ
ンブリ５６内で、結着（ｂｉｎｄｉｎｇ）することなし
にナット２２を回転させることができるが、板バネ６４
の所定のひずみを用いて、ネジ２４とナット２２との間
で、矢印１６の方向の１つにおいて、横方向の予荷重を
与えることができる。この種の横方向荷重は、ネジ２４
とナット２２との間の密着クリアランスの状態のもとで
さえ、ネジ２４とナット２２との間に残るクリアラン
ス、したがってバックラッシュを除去する。
【００２１】スライド板６０は、また、垂直取付けブラ
ケット４８から外側に延びるタブ７２上に設けられた近
接センサ７０の方向に延びるブロック状フラグ部６８を
有するフラグ・ブラケット６６を取付けている。フラグ
部６８と近接センサ７０とは、好ましくは、次のように
配置される。すなわち、これらセンサ７０のうちの第１
のセンサは、駆動ネジ２４がその許容行程の上端に達す
ると、第１の出力信号を発生し、第２のセンサは、駆動
ネジ２４がその許容行程の下端に達すると、第２の出力
信号を発生し、第３のセンサは、駆動ネジ２４がホーム
ポジションに達すると、出力を発生する。また、駆動モ
ータ４０は、好適には、エンコーダ・エミッタを有し、
このエンコーダ・エミッタは、その回転によりパルスを
発生する。
ケット４８から外側に延びるタブ７２上に設けられた近
接センサ７０の方向に延びるブロック状フラグ部６８を
有するフラグ・ブラケット６６を取付けている。フラグ
部６８と近接センサ７０とは、好ましくは、次のように
配置される。すなわち、これらセンサ７０のうちの第１
のセンサは、駆動ネジ２４がその許容行程の上端に達す
ると、第１の出力信号を発生し、第２のセンサは、駆動
ネジ２４がその許容行程の下端に達すると、第２の出力
信号を発生し、第３のセンサは、駆動ネジ２４がホーム
ポジションに達すると、出力を発生する。また、駆動モ
ータ４０は、好適には、エンコーダ・エミッタを有し、
このエンコーダ・エミッタは、その回転によりパルスを
発生する。
【００２２】したがって、アクチュエータ１０の動作
中、駆動ネジ２４の位置、したがって出力ステージ１４
の垂直位置は、モータ４０のロータの回転を表すエンコ
ーダまたはエミッタのパルスをカウントすることによっ
て追跡できる。駆動ネジ２４が、第３の近接センサ７０
からの信号によって表されるホームポジションに戻る
と、パルスのカウントはリセットされる。この応用によ
れば、駆動ネジ２４を、各動作の後に、あるいは周期的
に、ホームポジションに戻すことができる。このホーム
ポジションは、駆動ネジの許容動きの端部の１つの近
く、あるいはこのような動きの中心に近いところにする
ことができる。いずれにせよ、第１または第２の近接セ
ンサ７０の出力が許容行程の限界に達していることを示
すと、動きは停止し、駆動ネジ２４は、好ましくは、ホ
ームポジションに戻る。
中、駆動ネジ２４の位置、したがって出力ステージ１４
の垂直位置は、モータ４０のロータの回転を表すエンコ
ーダまたはエミッタのパルスをカウントすることによっ
て追跡できる。駆動ネジ２４が、第３の近接センサ７０
からの信号によって表されるホームポジションに戻る
と、パルスのカウントはリセットされる。この応用によ
れば、駆動ネジ２４を、各動作の後に、あるいは周期的
に、ホームポジションに戻すことができる。このホーム
ポジションは、駆動ネジの許容動きの端部の１つの近
く、あるいはこのような動きの中心に近いところにする
ことができる。いずれにせよ、第１または第２の近接セ
ンサ７０の出力が許容行程の限界に達していることを示
すと、動きは停止し、駆動ネジ２４は、好ましくは、ホ
ームポジションに戻る。
【００２３】板バネ６４は、その曲げの方向に非常に可
撓性があるが、矢印２０の方向における伸張または伸縮
には非常に硬い。したがって、スライド板６０の動き
は、出力ステージ１４の動きを正確に追跡し、ステージ
１４の垂直位置の正確な測定を、スライド板６０に取付
けられたフラグ部６８の動きを用いて行うことを可能に
する。
撓性があるが、矢印２０の方向における伸張または伸縮
には非常に硬い。したがって、スライド板６０の動き
は、出力ステージ１４の動きを正確に追跡し、ステージ
１４の垂直位置の正確な測定を、スライド板６０に取付
けられたフラグ部６８の動きを用いて行うことを可能に
する。
【００２４】このように、本発明により形成された高さ
ステージは、比較的重たい質量を動かすかなりの能力を
有している。これは、ギア４２，４４の駆動比によっ
て、および回転運動を直線運動に変えるためにらせんネ
ジを用いることによって与えられるメカニカル・アドバ
ンテージによる。従来の親ネジを用いるよりも、かなり
の利点が得られる。これは、結着することなしに、駆動
ナット２２と駆動ネジ２４との間に非常に密なクリアラ
ンスを実現できるからである。これらの密クリアランス
でさえも、板バネ６４による予荷重によって除去され
る。
ステージは、比較的重たい質量を動かすかなりの能力を
有している。これは、ギア４２，４４の駆動比によっ
て、および回転運動を直線運動に変えるためにらせんネ
ジを用いることによって与えられるメカニカル・アドバ
ンテージによる。従来の親ネジを用いるよりも、かなり
の利点が得られる。これは、結着することなしに、駆動
ナット２２と駆動ネジ２４との間に非常に密なクリアラ
ンスを実現できるからである。これらの密クリアランス
でさえも、板バネ６４による予荷重によって除去され
る。
【００２５】まとめとして、本発明の構成に関して以下
の事項を開示する。 （１）第１のステージと第２のステージとの間で、第１
の方向に制御された相対運動を与えるアクチュエータに
おいて、前記第１のステージに回転可能に設けられた第
１のネジ切り部材と、前記第２のステージに取付けら
れ、前記第１のネジ切り部材と係合する第２のネジ切り
部材と、前記第１のネジ切りを回転する駆動手段と、前
記第１の方向に平行な軸の周りに、前記第２のネジ切り
部材の回転を阻止する可撓性制動手段と、を備えること
を特徴とするアクチュエータ。 （２）前記駆動手段は、前記第１のステージに取付けら
れ、駆動ギアを回転させるモータと、前記第１のネジ切
り部材に取付けられ、前記駆動ギアと係合する被駆動ギ
アと、を有することを特徴とする上記（１）に記載のア
クチュエータ。 （３）前記可撓性制動手段が、前記第１のステージにス
ライド可能に取付けられ、前記第１の方向に動くスライ
ド板と、前記スライド板と前記第２のステージとの間の
可撓性接続部と、を有することを特徴とする上記（１）
に記載のアクチュエータ。 （４）前記可撓性接続部は、前記第１の方向に平行な面
内に延びる板バネを有することを特徴とする上記（３）
に記載のアクチュエータ。 （５）前記スライド板の動きによって作動され、前記第
２のステージの位置の表示を与える複数個の検出デバイ
スをさらに備えることを特徴とする上記（３）に記載の
アクチュエータ。 （６）前記第１の方向に垂直な面に沿った前記第２のネ
ジ切り部材の位置決めが、前記第１および第２のネジ切
り部材のネジ切り面の係合によって制御されることを特
徴とする上記（１）に記載のアクチュエータ。 （７）前記可撓性制動手段が、前記第１のステージにス
ライド可能に取付けられ、前記第１の方向に動くスライ
ド板と、前記スライド板と前記第２のステージとの間の
可撓性接続部とを有し、前記可撓性接続部は、前記第２
のネジ切り部材に、前記第１の方向に垂直な方向に予荷
重を供給する、ことを特徴とする上記（６）に記載のア
クチュエータ。 （８）前記第１のネジ切り部材はナットであり、前記第
２のネジ切り部材はネジであることを特徴とする上記
（１）に記載のアクチュエータ。 （９）前記ナットおよび前記ネジは、５０．８ｍｍ（２
インチ）有効径と、２５．４ｍｍ（１インチ）あたり４
０個のネジ山のピッチと、０．０１２７ｍｍ（０．００
０５インチ）のランニング・クリアランスとを有するこ
とを特徴とする上記（８）に記載のアクチュエータ。 （１０）第１の方向に垂直な面内に、第１のステージを
動かす第１のポジショナと、前記第１のステージに対
し、前記第１の方向に第２のステージを動かすアクチュ
エータとを備え、前記アクチュエータは、前記第１のス
テージに回転可能に設けられ第１のネジ切り部材と、前
記第２のステージに取付けられ、前記第１のネジ切り部
材と係合する第２のネジ切り部材と、前記第１のネジ切
りを回転する駆動手段と、前記第１の方向に平行な軸の
周りに、前記第２のネジ切り部材の回転を阻止する可撓
性制動手段とを有する、ことを特徴とする位置決め装
置。 （１１）前記第２のステージに取付けられ、前記第１の
方向に垂直な前記面内で、プローブを動かす第２のポジ
ショナをさらに備えることを特徴とする上記（１０）に
記載の位置決め装置。 （１２）前記駆動手段は、前記第１のステージに取付け
られ、駆動ギアを回転させるモータと、前記第１のネジ
切り部材に取付けられ、前記駆動ギアと係合する被駆動
ギアと、を有することを特徴とする上記（１１）に記載
の位置決め装置。 （１３）前記可撓性制動手段が、前記第１のステージに
スライド可能に取付けられ、前記第１の方向に動くスラ
イド板と、前記スライド板と前記第２のステージとの間
の可撓性接続部と、を有することを特徴とする上記（１
１）に記載の位置決め装置。 （１４）前記可撓性接続部は、前記第１の方向に平行な
面内に延びる板バネを有することを特徴とする上記（１
３）に記載の位置決め装置。 （１５）前記スライド板の動きによって作動され、前記
第２のステージの位置の表示を与える複数個の検出デバ
イスをさらに備えることを特徴とする上記（１３）に記
載の位置決め装置。 （１６）前記第１の方向に垂直な面に沿った前記第２の
ネジ切り部材の位置決めが、前記第１および第２のネジ
切り部材のネジ切り面の係合によって制御されることを
特徴とする上記（１１）に記載の位置決め装置。 （１７）前記可撓性制動手段が、前記第１のステージに
スライド可能に取付けられ、前記第１の方向に動くスラ
イド板と、前記スライド板と前記第２のステージとの間
の可撓性接続部とを有し、前記可撓性接続部は、前記第
２のネジ切り部材に、前記第１の方向に垂直な方向に予
荷重を供給する、ことを特徴とする上記（１６）に記載
の位置決め装置。 （１８）前記第１のネジ切り部材はナットであり、前記
第２のネジ切り部材はネジであることを特徴とする上記
（１１）に記載の位置決め装置。 （１９）前記ナットおよび前記ネジは、５０．８ｍｍ
（２インチ）有効径と、２５．４ｍｍ（１インチ）あた
り４０個のネジ山のピッチと、０．０１２７ｍｍ（０．
０００５インチ）のランニング・クリアランスとを有す
ることを特徴とする上記（１８）に記載の位置決め装
置。
の事項を開示する。 （１）第１のステージと第２のステージとの間で、第１
の方向に制御された相対運動を与えるアクチュエータに
おいて、前記第１のステージに回転可能に設けられた第
１のネジ切り部材と、前記第２のステージに取付けら
れ、前記第１のネジ切り部材と係合する第２のネジ切り
部材と、前記第１のネジ切りを回転する駆動手段と、前
記第１の方向に平行な軸の周りに、前記第２のネジ切り
部材の回転を阻止する可撓性制動手段と、を備えること
を特徴とするアクチュエータ。 （２）前記駆動手段は、前記第１のステージに取付けら
れ、駆動ギアを回転させるモータと、前記第１のネジ切
り部材に取付けられ、前記駆動ギアと係合する被駆動ギ
アと、を有することを特徴とする上記（１）に記載のア
クチュエータ。 （３）前記可撓性制動手段が、前記第１のステージにス
ライド可能に取付けられ、前記第１の方向に動くスライ
ド板と、前記スライド板と前記第２のステージとの間の
可撓性接続部と、を有することを特徴とする上記（１）
に記載のアクチュエータ。 （４）前記可撓性接続部は、前記第１の方向に平行な面
内に延びる板バネを有することを特徴とする上記（３）
に記載のアクチュエータ。 （５）前記スライド板の動きによって作動され、前記第
２のステージの位置の表示を与える複数個の検出デバイ
スをさらに備えることを特徴とする上記（３）に記載の
アクチュエータ。 （６）前記第１の方向に垂直な面に沿った前記第２のネ
ジ切り部材の位置決めが、前記第１および第２のネジ切
り部材のネジ切り面の係合によって制御されることを特
徴とする上記（１）に記載のアクチュエータ。 （７）前記可撓性制動手段が、前記第１のステージにス
ライド可能に取付けられ、前記第１の方向に動くスライ
ド板と、前記スライド板と前記第２のステージとの間の
可撓性接続部とを有し、前記可撓性接続部は、前記第２
のネジ切り部材に、前記第１の方向に垂直な方向に予荷
重を供給する、ことを特徴とする上記（６）に記載のア
クチュエータ。 （８）前記第１のネジ切り部材はナットであり、前記第
２のネジ切り部材はネジであることを特徴とする上記
（１）に記載のアクチュエータ。 （９）前記ナットおよび前記ネジは、５０．８ｍｍ（２
インチ）有効径と、２５．４ｍｍ（１インチ）あたり４
０個のネジ山のピッチと、０．０１２７ｍｍ（０．００
０５インチ）のランニング・クリアランスとを有するこ
とを特徴とする上記（８）に記載のアクチュエータ。 （１０）第１の方向に垂直な面内に、第１のステージを
動かす第１のポジショナと、前記第１のステージに対
し、前記第１の方向に第２のステージを動かすアクチュ
エータとを備え、前記アクチュエータは、前記第１のス
テージに回転可能に設けられ第１のネジ切り部材と、前
記第２のステージに取付けられ、前記第１のネジ切り部
材と係合する第２のネジ切り部材と、前記第１のネジ切
りを回転する駆動手段と、前記第１の方向に平行な軸の
周りに、前記第２のネジ切り部材の回転を阻止する可撓
性制動手段とを有する、ことを特徴とする位置決め装
置。 （１１）前記第２のステージに取付けられ、前記第１の
方向に垂直な前記面内で、プローブを動かす第２のポジ
ショナをさらに備えることを特徴とする上記（１０）に
記載の位置決め装置。 （１２）前記駆動手段は、前記第１のステージに取付け
られ、駆動ギアを回転させるモータと、前記第１のネジ
切り部材に取付けられ、前記駆動ギアと係合する被駆動
ギアと、を有することを特徴とする上記（１１）に記載
の位置決め装置。 （１３）前記可撓性制動手段が、前記第１のステージに
スライド可能に取付けられ、前記第１の方向に動くスラ
イド板と、前記スライド板と前記第２のステージとの間
の可撓性接続部と、を有することを特徴とする上記（１
１）に記載の位置決め装置。 （１４）前記可撓性接続部は、前記第１の方向に平行な
面内に延びる板バネを有することを特徴とする上記（１
３）に記載の位置決め装置。 （１５）前記スライド板の動きによって作動され、前記
第２のステージの位置の表示を与える複数個の検出デバ
イスをさらに備えることを特徴とする上記（１３）に記
載の位置決め装置。 （１６）前記第１の方向に垂直な面に沿った前記第２の
ネジ切り部材の位置決めが、前記第１および第２のネジ
切り部材のネジ切り面の係合によって制御されることを
特徴とする上記（１１）に記載の位置決め装置。 （１７）前記可撓性制動手段が、前記第１のステージに
スライド可能に取付けられ、前記第１の方向に動くスラ
イド板と、前記スライド板と前記第２のステージとの間
の可撓性接続部とを有し、前記可撓性接続部は、前記第
２のネジ切り部材に、前記第１の方向に垂直な方向に予
荷重を供給する、ことを特徴とする上記（１６）に記載
の位置決め装置。 （１８）前記第１のネジ切り部材はナットであり、前記
第２のネジ切り部材はネジであることを特徴とする上記
（１１）に記載の位置決め装置。 （１９）前記ナットおよび前記ネジは、５０．８ｍｍ
（２インチ）有効径と、２５．４ｍｍ（１インチ）あた
り４０個のネジ山のピッチと、０．０１２７ｍｍ（０．
０００５インチ）のランニング・クリアランスとを有す
ることを特徴とする上記（１８）に記載の位置決め装
置。
【図１】位置決め装置の高さステージとして、本発明に
より形成されたアクチュエータの平面図である。
より形成されたアクチュエータの平面図である。
【図２】図１のII−II線により切断された垂直断面図で
ある。
ある。
【図３】図１のアクチュエータを用いる位置決め装置の
ブロック図である。
ブロック図である。
１０ アクチュエータ １２ 入力ステージ １４ 出力ステージ ２１ 第１のＸ−Ｙポジショナ ２２ 駆動ナット ２４ 駆動ネジ ２６ 下側の取付け板 ２８ ハウジング ３０ ベアリング・アセンブリ ３２ 上側の取付け板 ３４ ベアリング ３６，６２ クロス・ローラ ３７ 内部ホール ３８ スペーサ ４０ モータ ４２ 駆動ギア ４４ 被駆動ギア ４６ 出張り部 ４８ 垂直取付けブラケット ５０ 直立脚部 ５２ 内レース ５６ リニア・ベアリング・アセンブリ ５８ 外レース ６０ スライド板 ６４ 板バネ ６６ フラグ・ブラケット ６８ フラグ部 ７０ 近接センサ ７２ タブ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ロバート・エドワード・ブラウン アメリカ合衆国 33432 フロリダ州 ボカ レイトン ナンバー310 ロイヤ ル パーム ウェイ ６ (56)参考文献 特開 昭62−283250（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−73163（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−218591（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−318606（ＪＰ，Ａ) 米国特許4723086（ＵＳ，Ａ) 米国特許5543726（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F16H 25/00 - 25/24 G01R 31/00 B23Q 1/00
Claims (15)
- 【請求項１】第１の方向に垂直な面上で所定の面運動を
行なうように駆動される第１のステージと、前記第１の
方向に垂直な他の面上で前記第１のステージに連動して
面運動を行なう第２のステージとの間で、前記第１の方
向に制御された相対運動を与えるアクチュエータにおい
て、 前記第１のステージに回転可能に設けられた第１のネジ
切り部材と、 前記第２のステージに固定され、前記第１のネジ切り部
材と係合する第２のネジ切り部材と、 前記第１のネジ切り部材を回転させるための回転駆動手
段と、 前記第１の方向に平行な軸の周りに前記第２のネジ切り
部材の回転を阻止すると共に前記両ネジ切り部材間のク
リアランスを減少させるように前記両ステージで支持さ
れた可撓性制動手段と、 を備えることを特徴とするアクチュエータ。 - 【請求項２】前記回転駆動手段は、 前記第１のステージに取付けられ、駆動ギアを回転させ
るモータと、 前記第１のネジ切り部材に取付けられ、前記駆動ギアと
係合する被駆動ギアと、 を有することを特徴とする請求項１記載のアクチュエー
タ。 - 【請求項３】前記可撓性制動手段が、 前記第１のステージにスライド可能に取付けられ、前記
第１の方向に動くスライド板と、 前記スライド板と前記第２のステージとの間の可撓性接
続部と、 を有することを特徴とする請求項１記載のアクチュエー
タ。 - 【請求項４】前記可撓性接続部は、前記第１の方向に平
行な面内に延びる板バネを有することを特徴とする請求
項３記載のアクチュエータ。 - 【請求項５】前記スライド板の動きによって作動され、
前記第２のステージの位置の表示を与える複数個の検出
デバイスをさらに備えることを特徴とする請求項３記載
のアクチュエータ。 - 【請求項６】前記第１の方向に垂直な面に沿った前記第
２のネジ切り部材の位置決めが、前記第１および第２の
ネジ切り部材のネジ切り面の係合によって制御されるこ
とを特徴とする請求項１記載のアクチュエータ。 - 【請求項７】前記可撓性制動手段が、前記第１のステー
ジにスライド可能に取付けられ、前記第１の方向に動く
スライド板と、前記スライド板と前記第２のステージと
の間の可撓性接続部とを有し、 前記可撓性接続部は、前記第２のネジ切り部材に、前記
第１の方向に垂直な方向に予め荷重を印加する、 ことを特徴とする請求項１記載のアクチュエータ。 - 【請求項８】第１の方向に垂直な面内に第１のステージ
を動かす第１のポジショナと、 前記第１の方向に垂直な他の面上で面運動を行なう第２
のステージと、 前記第１のステージに関して相対的に前記第２のステー
ジを前記第１の方向に駆動するためのアクチュエータと
を備え、 前記アクチュエータは、前記第１のステージに回転可能
に設けられた第１のネジ切り部材と、前記第２のステー
ジに取付けられ、前記第１のネジ切り部材と係合する第
２のネジ切り部材と、前記第１のネジ切り部材を回転さ
せるための回転駆動手段と、前記第１の方向に平行な軸
の周りに前記第２のネジ切り部材の回転を阻止すると共
に前記両ネジ切り部材間のクリアランスを減少させるよ
うに前記両ステージで支持された可撓性制動手段とを有
する、 ことを特徴とする位置決め装置。 - 【請求項９】前記第２のステージに取付けられ、前記第
１の方向に垂直な前記面内で、プローブを動かす第２の
ポジショナをさらに備えることを特徴とする請求項８記
載の位置決め装置。 - 【請求項１０】前記回転駆動手段は、 前記第１のステージに取付けられ、駆動ギアを回転させ
るモータと、 前記第１のネジ切り部材に取付けられ、前記駆動ギアと
係合する被駆動ギアと、 を有することを特徴とする請求項８記載の位置決め装
置。 - 【請求項１１】前記可撓性制動手段が、 前記第１のステージにスライド可能に取付けられ、前記
第１の方向に動くスライド板と、 前記スライド板と前記第２のステージとの間の可撓性接
続部と、 を有することを特徴とする請求項８記載の位置決め装
置。 - 【請求項１２】前記可撓性接続部は、前記第１の方向に
平行な面内に延びる板バネを有することを特徴とする請
求項１１記載の位置決め装置。 - 【請求項１３】前記スライド板の動きによって作動さ
れ、前記第２のステージの位置の表示を与える複数個の
検出デバイスをさらに備えることを特徴とする請求項１
１記載の位置決め装置。 - 【請求項１４】前記第１の方向に垂直な面に沿った前記
第２のネジ切り部材の位置決めが、前記第１および第２
のネジ切り部材のネジ切り面の係合によって制御される
ことを特徴とする請求項８記載の位置決め装置。 - 【請求項１５】前記可撓性制動手段が、前記第１のステ
ージにスライド可能に取付けられ、前記第１の方向に動
くスライド板と、前記スライド板と前記第２のステージ
との間の可撓性接続部とを有し、 前記可撓性接続部は、前記第２のネジ切り部材に、前記
第１の方向に垂直な方向に予め荷重を印加する、 ことを特徴とする請求項８記載の位置決め装置。
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