JP3295040B2 - 除塵装置 - Google Patents
除塵装置Info
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- JP3295040B2 JP3295040B2 JP25638398A JP25638398A JP3295040B2 JP 3295040 B2 JP3295040 B2 JP 3295040B2 JP 25638398 A JP25638398 A JP 25638398A JP 25638398 A JP25638398 A JP 25638398A JP 3295040 B2 JP3295040 B2 JP 3295040B2
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- dust
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- air supply
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- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、除塵装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、ワーク表面に高速エアを吹付けて
塵を除去する除塵ヘッドと、その除塵ヘッドにエアを供
給するエア供給路と、を有する除塵回路を備えた除塵装
置に於て、エア供給路側に、微小な塵を除去できるフィ
ルタを設けたものが公知であった。
塵を除去する除塵ヘッドと、その除塵ヘッドにエアを供
給するエア供給路と、を有する除塵回路を備えた除塵装
置に於て、エア供給路側に、微小な塵を除去できるフィ
ルタを設けたものが公知であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のような
従来の除塵装置では、フィルタにてエア中の有機成分を
除去することはできなかった。そして、ワーク表面の単
位面積当りに接触するエアの量はきわめて大量であるた
め、空気中に有機物が極微量に含まれている場合でも、
ワーク表面に有機物が多量に付着して有機物の薄膜がで
き、極微小の塵が取れなくなってしまうという問題があ
った。また、この有機物の薄膜に極微小の塵が再付着し
やすいという問題があった。
従来の除塵装置では、フィルタにてエア中の有機成分を
除去することはできなかった。そして、ワーク表面の単
位面積当りに接触するエアの量はきわめて大量であるた
め、空気中に有機物が極微量に含まれている場合でも、
ワーク表面に有機物が多量に付着して有機物の薄膜がで
き、極微小の塵が取れなくなってしまうという問題があ
った。また、この有機物の薄膜に極微小の塵が再付着し
やすいという問題があった。
【０００４】そこで、本発明は上述の問題を解決して、
ワーク表面に有機物が付着するのを防止でき、比較的大
きな塵のみならず極微小の塵をもワーク表面から確実に
除去できる除塵装置を提供することを目的とする。
ワーク表面に有機物が付着するのを防止でき、比較的大
きな塵のみならず極微小の塵をもワーク表面から確実に
除去できる除塵装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明に係る除塵装置は、ワーク表面に超音波エ
アを吹付けて塵を除去する除塵ヘッドと、該除塵ヘッド
にエアを供給するエア供給路と、該除塵ヘッドからエア
を吸引するエア吸引路と、上記エア供給路の上流端に連
通連結されるエア吐出口と上記エア吸引路の下流端に連
通連結されるエア吸込口とを有するブロワーと、を有す
る除塵回路を、備え、該除塵回路の上記エア供給路側
と、上記エア吸引路側とに、夫々、有機物を除去するケ
ミカルフィルタを、介装したものである。
めに、本発明に係る除塵装置は、ワーク表面に超音波エ
アを吹付けて塵を除去する除塵ヘッドと、該除塵ヘッド
にエアを供給するエア供給路と、該除塵ヘッドからエア
を吸引するエア吸引路と、上記エア供給路の上流端に連
通連結されるエア吐出口と上記エア吸引路の下流端に連
通連結されるエア吸込口とを有するブロワーと、を有す
る除塵回路を、備え、該除塵回路の上記エア供給路側
と、上記エア吸引路側とに、夫々、有機物を除去するケ
ミカルフィルタを、介装したものである。
【０００６】また、ワーク表面に超音波エアを吹付けて
塵を除去する除塵ヘッドと、該除塵ヘッドにエアを供給
するエア供給路と、該除塵ヘッドからエアを吸引するエ
ア吸引路と、上記エア供給路の上流端に連通連結される
エア吐出口とクリーンルーム内に開口しているエア吸込
口とを有するプレッシャー用ブロワーと、上記エア吸 引
路の下流端に連通連結されるエア吸込口とクリーンルー
ム内に開口しているエア吐出口とを有するバキューム用
ブロワーと、を備え、上記エア供給路側と、上記バキュ
ーム用ブロワーのエア吐出口の下流側とに、夫々、有機
物を除去するケミカルフィルタを、介装したものであ
る。
塵を除去する除塵ヘッドと、該除塵ヘッドにエアを供給
するエア供給路と、該除塵ヘッドからエアを吸引するエ
ア吸引路と、上記エア供給路の上流端に連通連結される
エア吐出口とクリーンルーム内に開口しているエア吸込
口とを有するプレッシャー用ブロワーと、上記エア吸 引
路の下流端に連通連結されるエア吸込口とクリーンルー
ム内に開口しているエア吐出口とを有するバキューム用
ブロワーと、を備え、上記エア供給路側と、上記バキュ
ーム用ブロワーのエア吐出口の下流側とに、夫々、有機
物を除去するケミカルフィルタを、介装したものであ
る。
【０００７】さらに、エア供給路に、ケミカルフィルタ
の有機物吸着用の微粒子を除去可能なフィルタが、該ケ
ミカルフィルタよりも下流側に、設けられている。
の有機物吸着用の微粒子を除去可能なフィルタが、該ケ
ミカルフィルタよりも下流側に、設けられている。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、実施の形態を示す図面に基
づき、本発明を詳説する。
づき、本発明を詳説する。
【０００９】図１は、本発明に係る除塵装置の実施の一
形態を示し、この除塵装置Ａは、帯状のワークＷ表面か
ら塵を除去するための除塵回路２を、備えている。その
除塵回路２は、ワークＷ表面に超音波エアを吹付けて塵
を除去する一対の除塵ヘッド１，１と、その除塵ヘッド
１，１にエアを供給するエア供給路７と、除塵ヘッド１
からエアを吸引するエア吸引路８と、エア供給路７の上
流端に連通連結されるエア吐出口14とエア吸引路８の下
流端に連通連結されるエア吸込口15とを有するブロワー
３と、エア供給路７側とエア吸引路８側とに夫々介装さ
れて有機物を除去するケミカルフィルタ４と、エア供給
路７側に介装されかつケミカルフィルタ４よりも下流側
に設けられると共にケミカルフィルタ４の有機物吸着用
の微粒子を除去可能なフィルタ５と、エア吸引路８側に
介装されかつケミカルフィルタ４よりも下流側に設けら
れる粉塵捕集フィルタ６と、を有している。なお、この
場合、除塵装置ＡはクリーンルームＣ内に設けられてい
る。
形態を示し、この除塵装置Ａは、帯状のワークＷ表面か
ら塵を除去するための除塵回路２を、備えている。その
除塵回路２は、ワークＷ表面に超音波エアを吹付けて塵
を除去する一対の除塵ヘッド１，１と、その除塵ヘッド
１，１にエアを供給するエア供給路７と、除塵ヘッド１
からエアを吸引するエア吸引路８と、エア供給路７の上
流端に連通連結されるエア吐出口14とエア吸引路８の下
流端に連通連結されるエア吸込口15とを有するブロワー
３と、エア供給路７側とエア吸引路８側とに夫々介装さ
れて有機物を除去するケミカルフィルタ４と、エア供給
路７側に介装されかつケミカルフィルタ４よりも下流側
に設けられると共にケミカルフィルタ４の有機物吸着用
の微粒子を除去可能なフィルタ５と、エア吸引路８側に
介装されかつケミカルフィルタ４よりも下流側に設けら
れる粉塵捕集フィルタ６と、を有している。なお、この
場合、除塵装置ＡはクリーンルームＣ内に設けられてい
る。
【００１０】しかして、図４と図５に示すように、除塵
ヘッド１は、可撓帯状のワークＷの走行方向に直交する
方向に配設されるケーシング34と、そのケーシング34内
に設けられる超音波発生器36，36と、からなる。ワーク
Ｗは、バックアップロール25にて支持される。
ヘッド１は、可撓帯状のワークＷの走行方向に直交する
方向に配設されるケーシング34と、そのケーシング34内
に設けられる超音波発生器36，36と、からなる。ワーク
Ｗは、バックアップロール25にて支持される。
【００１１】ケーシング34内は、円筒状の仕切壁35に
て、その仕切壁35の外側のエア排出室32と、内側のエア
吸入室33とに分けられる。エア排出室32には、仮想線で
示すようにエア供給路７が連通連結され、かつ、エア吸
入室33には、エア吸引路８が連通連結される。そして、
ブロワー３からエア供給路７を介してエア排出室32にエ
アが供給され、エア吸入室33内のエアがエア吸引路８を
介してブロワーに32に戻るように構成される。
て、その仕切壁35の外側のエア排出室32と、内側のエア
吸入室33とに分けられる。エア排出室32には、仮想線で
示すようにエア供給路７が連通連結され、かつ、エア吸
入室33には、エア吸引路８が連通連結される。そして、
ブロワー３からエア供給路７を介してエア排出室32にエ
アが供給され、エア吸入室33内のエアがエア吸引路８を
介してブロワーに32に戻るように構成される。
【００１２】また、ケーシング34の底壁38の上流側寄り
と下流側寄りに、相互に接近する方向に超音波エアを噴
出する第１噴出ノズル41と第２噴出ノズル42とを、設け
ると共に、第１噴出ノズル41と第２噴出ノズル42の間
に、吸引ノズル39を設ける。さらに、吸引ノズル39の開
口部を有する壁面47, 47を、側面視に於て上方から弧状
に弯曲させて、ワーク表面との間隔寸法が上流側端縁・
下流側端縁から中間部へと次第に増加する凹面24に形成
する。
と下流側寄りに、相互に接近する方向に超音波エアを噴
出する第１噴出ノズル41と第２噴出ノズル42とを、設け
ると共に、第１噴出ノズル41と第２噴出ノズル42の間
に、吸引ノズル39を設ける。さらに、吸引ノズル39の開
口部を有する壁面47, 47を、側面視に於て上方から弧状
に弯曲させて、ワーク表面との間隔寸法が上流側端縁・
下流側端縁から中間部へと次第に増加する凹面24に形成
する。
【００１３】また、エア排出室32の下半部は、仕切壁35
と帯板状鉛直壁部40, 40により、上流側排出室32ａと下
流側排出室32ｂとに分けられる。そして、上流側排出室
32ａの底部と、下流側排出室32ｂの底部に、超音波発生
器36, 36を固定する。
と帯板状鉛直壁部40, 40により、上流側排出室32ａと下
流側排出室32ｂとに分けられる。そして、上流側排出室
32ａの底部と、下流側排出室32ｂの底部に、超音波発生
器36, 36を固定する。
【００１４】超音波発生器36は、超音波を発生する連続
溝43を有するブロック体から成る。上流側の超音波発生
器36の連続溝43は、第１噴出ノズル41と上流側排出室32
ａとを連通連結する。また、下流側の超音波発生器36の
連続溝43は、第２噴出ノズル42と上流側排出室32ｂとを
連通連結する。
溝43を有するブロック体から成る。上流側の超音波発生
器36の連続溝43は、第１噴出ノズル41と上流側排出室32
ａとを連通連結する。また、下流側の超音波発生器36の
連続溝43は、第２噴出ノズル42と上流側排出室32ｂとを
連通連結する。
【００１５】さらに、凹面24とワークＷとの間隔寸法が
中間部にて最大となると共にその間隔寸法が中間部から
上流側端縁・下流側端縁へ次第に減少する形状の合流乱
流空室46を、第１噴出ノズル41と第２噴出ノズル42との
間に、形成する。
中間部にて最大となると共にその間隔寸法が中間部から
上流側端縁・下流側端縁へ次第に減少する形状の合流乱
流空室46を、第１噴出ノズル41と第２噴出ノズル42との
間に、形成する。
【００１６】しかして、図１にもどって、ワークＷの送
り方向の上流側の除塵ヘッド１がそのワークＷの一面側
に配設され、下流側の除塵ヘッド１は他面側に配設され
る。なお、除塵ヘッド１，１の夫々の上流側に、ワーク
Ｗの静電気を除去する静電除去装置30, 30が配設され
る。
り方向の上流側の除塵ヘッド１がそのワークＷの一面側
に配設され、下流側の除塵ヘッド１は他面側に配設され
る。なお、除塵ヘッド１，１の夫々の上流側に、ワーク
Ｗの静電気を除去する静電除去装置30, 30が配設され
る。
【００１７】次に、ケミカルフィルタ４は、図２に示す
ように、一端開口部９ａと他端開口部９ｂを有する枠体
９と、その枠体９内に複数枚（図例では３枚）重ねて取
付けられる濾材10…と、備える。その濾材10は、図３に
拡大して示すように、ポリウレタン発泡体から成る通気
性に優れた発泡構造体11の空隙部12…の内面に、直径0.
2 〜1.0mm 程度の球状活性炭から成る微粒子13…（吸着
剤）を、接着剤等にて固着したものである。このケミカ
ルフィルタ４は、空気中の有機物、アンモニア等を高効
率で除去できると共に、濾材10自体の発塵が極めて少な
い。
ように、一端開口部９ａと他端開口部９ｂを有する枠体
９と、その枠体９内に複数枚（図例では３枚）重ねて取
付けられる濾材10…と、備える。その濾材10は、図３に
拡大して示すように、ポリウレタン発泡体から成る通気
性に優れた発泡構造体11の空隙部12…の内面に、直径0.
2 〜1.0mm 程度の球状活性炭から成る微粒子13…（吸着
剤）を、接着剤等にて固着したものである。このケミカ
ルフィルタ４は、空気中の有機物、アンモニア等を高効
率で除去できると共に、濾材10自体の発塵が極めて少な
い。
【００１８】また、（図１にもどって）フィルタ５は、
詳細は図示省略するが、ガラス繊維を用いた板状の濾材
を、枠体の内側に、複数枚重ねた状態で取付けたもので
あり、（例えば直径0.3 μｍ程度の）微小な塵を高効率
で除去可能に構成される。また、粉塵捕集フィルタ６
は、主にワークＷ表面から除去された塵を除去可能なフ
ィルタであり、この場合25μｍ程度の塵を高効率で除去
可能に構成されている。なお、除塵回路２には、図示省
略の風量調整用（圧力調整用）のダンパを設けてもよ
い。
詳細は図示省略するが、ガラス繊維を用いた板状の濾材
を、枠体の内側に、複数枚重ねた状態で取付けたもので
あり、（例えば直径0.3 μｍ程度の）微小な塵を高効率
で除去可能に構成される。また、粉塵捕集フィルタ６
は、主にワークＷ表面から除去された塵を除去可能なフ
ィルタであり、この場合25μｍ程度の塵を高効率で除去
可能に構成されている。なお、除塵回路２には、図示省
略の風量調整用（圧力調整用）のダンパを設けてもよ
い。
【００１９】上述のように構成したことにより、ブロワ
ー３から出たエアは、ケミカルフィルタ４にて有機物や
塵等が除去され、さらに、フィルタ５にて塵が除去され
る。このとき、ケミカルフィルタ４から有機物吸着用の
微粒子13…が剥離して流れて来ても、フィルタ５にて微
粒子13…を除去することができる。従って、除塵ヘッド
１へ送られるエア（乾空）は、有機物と塵が含まれな
い。
ー３から出たエアは、ケミカルフィルタ４にて有機物や
塵等が除去され、さらに、フィルタ５にて塵が除去され
る。このとき、ケミカルフィルタ４から有機物吸着用の
微粒子13…が剥離して流れて来ても、フィルタ５にて微
粒子13…を除去することができる。従って、除塵ヘッド
１へ送られるエア（乾空）は、有機物と塵が含まれな
い。
【００２０】そして、除塵ヘッド１内に流入したエア
は、エア排出室32を通り、さらに、高速（140 〜200 ｍ
／ｓ程度）で上流側と下流側の超音波発生器36，36の連
続溝43, 43を通過し、超音波エアとなって、第１噴出ノ
ズル41と第２噴出ノズル42から、相互に接近する方向に
高速で吹き出され、合流乱流空室46にエアの乱流が生じ
る（図４と図５参照）。
は、エア排出室32を通り、さらに、高速（140 〜200 ｍ
／ｓ程度）で上流側と下流側の超音波発生器36，36の連
続溝43, 43を通過し、超音波エアとなって、第１噴出ノ
ズル41と第２噴出ノズル42から、相互に接近する方向に
高速で吹き出され、合流乱流空室46にエアの乱流が生じ
る（図４と図５参照）。
【００２１】このエアの乱流と、超音波とによって、ワ
ークＷの表面に境界層が生じることが無い。そして、ワ
ークＷ表面にエアが高速で直接当たり、いわゆるエアナ
イフの効果により、塵Ｒ…が剥離する。
ークＷの表面に境界層が生じることが無い。そして、ワ
ークＷ表面にエアが高速で直接当たり、いわゆるエアナ
イフの効果により、塵Ｒ…が剥離する。
【００２２】このとき、ワークＷの表面に有機物が付着
することは無く、ワークＷ表面の有機物による汚染を防
止できる。即ち、ワークＷ表面に単位時間当りに大量の
エアが接触するが、そのエアはケミカルフィルタ４にて
有機物が完全に除去されているので、有機物によるワー
クＷ表面の汚染を確実に防止できる。従って、極微小の
塵Ｒ…をも確実に剥離できる。
することは無く、ワークＷ表面の有機物による汚染を防
止できる。即ち、ワークＷ表面に単位時間当りに大量の
エアが接触するが、そのエアはケミカルフィルタ４にて
有機物が完全に除去されているので、有機物によるワー
クＷ表面の汚染を確実に防止できる。従って、極微小の
塵Ｒ…をも確実に剥離できる。
【００２３】ここで、ワークＷ表面の汚染状態は、「ぬ
れ性」により評価される。この「ぬれ性」とは、液体が
固体表面上に広がる性質のことを言う。その評価は、ワ
ークＷがガラスの場合、図６に示すように、ガラス（ワ
ークＷ）の表面に対する水滴50の接触角θ（ぬれ角度）
を測定することにより行われ、例えば、接触角θが10°
以下であれば表面の汚染は無く、10°以上になると汚染
されていると判断する。
れ性」により評価される。この「ぬれ性」とは、液体が
固体表面上に広がる性質のことを言う。その評価は、ワ
ークＷがガラスの場合、図６に示すように、ガラス（ワ
ークＷ）の表面に対する水滴50の接触角θ（ぬれ角度）
を測定することにより行われ、例えば、接触角θが10°
以下であれば表面の汚染は無く、10°以上になると汚染
されていると判断する。
【００２４】（図１にもどって）ワークＷから剥離した
塵を含んだエアは、エア吸引路８へと吸引され、ケミカ
ルフィルタ４及び粉塵捕集フィルタ６を通過して、有機
物及び塵が除去されたエアとなってブロワー３にもど
る。このように、除塵回路２をエアが循環しつつ除塵が
行われる。
塵を含んだエアは、エア吸引路８へと吸引され、ケミカ
ルフィルタ４及び粉塵捕集フィルタ６を通過して、有機
物及び塵が除去されたエアとなってブロワー３にもど
る。このように、除塵回路２をエアが循環しつつ除塵が
行われる。
【００２５】しかして、この除塵装置によれば、ワーク
Ｗ表面が有機物により汚染されることが無く、かつ、比
較的大きな塵のみならず極微小の塵をもワークＷから確
実に除去することができる。また、除塵回路２に外気が
ほとんど入らないので、余分な粉塵や有機物等も除塵回
路２内に入り難く、ケミカルフィルタ４、フィルタ５等
が長持ちする。さらに、ブロワー３へ帰還するエア中か
ら有機物を除去することができるので、ブロワー３から
吐出するエア中に有機物がほとんど含まれず、ワークＷ
の有機物による汚染を一層確実に防止できる。
Ｗ表面が有機物により汚染されることが無く、かつ、比
較的大きな塵のみならず極微小の塵をもワークＷから確
実に除去することができる。また、除塵回路２に外気が
ほとんど入らないので、余分な粉塵や有機物等も除塵回
路２内に入り難く、ケミカルフィルタ４、フィルタ５等
が長持ちする。さらに、ブロワー３へ帰還するエア中か
ら有機物を除去することができるので、ブロワー３から
吐出するエア中に有機物がほとんど含まれず、ワークＷ
の有機物による汚染を一層確実に防止できる。
【００２６】また、図７は、他の実施の形態を示し、除
塵回路２が、プレッシャー用ブロワー３ａとバキューム
用ブロワー３ｂとの２つのブロワー３，３を有し、プレ
ッシャー用ブロワー３ａのエア吸込口15とバキューム用
ブロワー３ｂのエア吐出口14とが、クリーンルームＣ内
に開口している。そして、バキューム用ブロワー３ｂの
エア吐出口14の下流側に、ケミカルフィルタ４を設けて
いる。他の構成は、図１〜図５にて説明したものと同様
である。
塵回路２が、プレッシャー用ブロワー３ａとバキューム
用ブロワー３ｂとの２つのブロワー３，３を有し、プレ
ッシャー用ブロワー３ａのエア吸込口15とバキューム用
ブロワー３ｂのエア吐出口14とが、クリーンルームＣ内
に開口している。そして、バキューム用ブロワー３ｂの
エア吐出口14の下流側に、ケミカルフィルタ４を設けて
いる。他の構成は、図１〜図５にて説明したものと同様
である。
【００２７】このように構成すれば、クリーンルームＣ
内のエアの浄化もでき、除塵後のワークＷに塵等が再付
着するのを防止できる。また、ブロワー３，３の個々の
負荷を軽減でき、エア供給路７側のエアの圧送力と、エ
ア吸引路８側のエアの吸引力とを、十分に大きく維持で
きる。さらに、バキューム用ブロワー３ｂのエア吐出口
14からクリーンルームＣへ有機物が漏れることが無く、
クリーンルームＣ内のエアを一層有効に浄化できる。
内のエアの浄化もでき、除塵後のワークＷに塵等が再付
着するのを防止できる。また、ブロワー３，３の個々の
負荷を軽減でき、エア供給路７側のエアの圧送力と、エ
ア吸引路８側のエアの吸引力とを、十分に大きく維持で
きる。さらに、バキューム用ブロワー３ｂのエア吐出口
14からクリーンルームＣへ有機物が漏れることが無く、
クリーンルームＣ内のエアを一層有効に浄化できる。
【００２８】なお、本発明は、上述の実施の形態以外に
も設計変更可能であり、例えば、図８に示すように、２
個の除塵ヘッド１，１を上流側と下流側に平行に隣接さ
せて設けるも好ましい。このようにすれば、ワークＷ表
面から塵を除去する効率をより高くすることができ、か
つ、より確実に塵を除去し得る。また、ワークＷとして
は、図５にて説明したような可撓帯状（フィルム状やシ
ート状）のもの以外にも、枚葉の平板状やパネル状のも
のやそれ以外の形状のものであってもよい場合がある。
また、ケミカルフィルタ４としては、図３にて説明した
構造とは相違する構造のフィルタを使用可能であり、そ
の場合、有機物を除去できればよい。また、この除塵装
置は、クリーンルーム以外の工場内等にも設置可能であ
り、その場合もワーク表面に有機物が付着せず、優れた
除塵効果が得られる。
も設計変更可能であり、例えば、図８に示すように、２
個の除塵ヘッド１，１を上流側と下流側に平行に隣接さ
せて設けるも好ましい。このようにすれば、ワークＷ表
面から塵を除去する効率をより高くすることができ、か
つ、より確実に塵を除去し得る。また、ワークＷとして
は、図５にて説明したような可撓帯状（フィルム状やシ
ート状）のもの以外にも、枚葉の平板状やパネル状のも
のやそれ以外の形状のものであってもよい場合がある。
また、ケミカルフィルタ４としては、図３にて説明した
構造とは相違する構造のフィルタを使用可能であり、そ
の場合、有機物を除去できればよい。また、この除塵装
置は、クリーンルーム以外の工場内等にも設置可能であ
り、その場合もワーク表面に有機物が付着せず、優れた
除塵効果が得られる。
【００２９】
【実施例】次に、図９に示すように、ブロワー３のエア
吸込口15に粉塵捕集フィルタ６を連通連結し、エア吐出
口14にフィルタ５を連通連結すると共にその下流側にケ
ミカルフィルタ４を連通連結したものを実際に作製し
た。そのブロワー３を室内で作動させて、エア中の有機
成分分析を行った。
吸込口15に粉塵捕集フィルタ６を連通連結し、エア吐出
口14にフィルタ５を連通連結すると共にその下流側にケ
ミカルフィルタ４を連通連結したものを実際に作製し
た。そのブロワー３を室内で作動させて、エア中の有機
成分分析を行った。
【００３０】試料採取場所は、粉塵捕集フィルタ取入口
Ｅと、フィルタ後Ｆと、ケミカルフィルタ後Ｇと、の３
か所とした。試料採取方法は、吸着剤を充填した吸着管
に積算流量計を内蔵したポータブル型ポンプを接続し、
対象雰囲気を吸引流量0.5 ｌ／ｍｉｎにて30ｌ捕集し
た。そして、吸着剤より不活性ガスを通気しながら有機
成分を加熱脱離し、脱離ガスを冷却濃縮後、ガスクロマ
トグラフ／質量分析計（ＧＣ／ＭＳ）にて測定した。な
お、測定は電子衝撃イオン化法（ＥＩ法）にて行った。
Ｅと、フィルタ後Ｆと、ケミカルフィルタ後Ｇと、の３
か所とした。試料採取方法は、吸着剤を充填した吸着管
に積算流量計を内蔵したポータブル型ポンプを接続し、
対象雰囲気を吸引流量0.5 ｌ／ｍｉｎにて30ｌ捕集し
た。そして、吸着剤より不活性ガスを通気しながら有機
成分を加熱脱離し、脱離ガスを冷却濃縮後、ガスクロマ
トグラフ／質量分析計（ＧＣ／ＭＳ）にて測定した。な
お、測定は電子衝撃イオン化法（ＥＩ法）にて行った。
【００３１】上記ＥＩ法にて得られたトータルイオンク
ロマトグラム（ＴＩＣ）で検出された各々の成分を、ト
ルエン検量線から夫々の成分質量を算出し、採気量で除
すことにより気中濃度を算出した。
ロマトグラム（ＴＩＣ）で検出された各々の成分を、ト
ルエン検量線から夫々の成分質量を算出し、採気量で除
すことにより気中濃度を算出した。
【００３２】上記ＥＩ法による測定で検出された成分で
主成分10成分について各成分のマススペクトルを測定
し、このマススペクトルのライブラリー検索を行い検出
された主成分の構造推定を行った。
主成分10成分について各成分のマススペクトルを測定
し、このマススペクトルのライブラリー検索を行い検出
された主成分の構造推定を行った。
【００３３】エア中の有機成分のトルエン換算による定
量結果を次の表１に示す。この表１に於て、総有機物量
はトルエン換算値で示しており、メタン、エタンなど低
沸点化合物は評価されない。また、定量下限は0.1 μｇ
／ｍ3 である。
量結果を次の表１に示す。この表１に於て、総有機物量
はトルエン換算値で示しており、メタン、エタンなど低
沸点化合物は評価されない。また、定量下限は0.1 μｇ
／ｍ3 である。
【００３４】
【表１】
【００３５】次に、主成分のマススペクトルの定性分析
結果を表２に示す。さらに、図10に取入口の試料のトー
タルイオンクロマトグラムを示し、図11にケミカルフィ
ルタ後の試料のトータルイオンクロマトグラムを示す。
結果を表２に示す。さらに、図10に取入口の試料のトー
タルイオンクロマトグラムを示し、図11にケミカルフィ
ルタ後の試料のトータルイオンクロマトグラムを示す。
【００３６】
【表２】
【００３７】表１から明らかなように、取入口Ｅでの総
有機物量が1600μｇ／ｍ3 であったのに対し、ケミカル
フィルタ後Ｇでは36μｇ／ｍ3 と著しく減少した。ま
た、表２と図10及び図11から明らかなように、取入口Ｅ
ではトルエンやエチルベンゼン、キシレン等の成分が高
濃度で検出され、かつ、カラム保持時間約11〜29分に
て、多くの成分が検出されているが、ケミカルフィルタ
後Ｇでは、これらの成分は減少しているか若しくは定量
下限未満であった。以上の結果から、エア中の有機成分
は、ケミカルフィルタ後Ｇでは、ほとんど除去されたと
言える。
有機物量が1600μｇ／ｍ3 であったのに対し、ケミカル
フィルタ後Ｇでは36μｇ／ｍ3 と著しく減少した。ま
た、表２と図10及び図11から明らかなように、取入口Ｅ
ではトルエンやエチルベンゼン、キシレン等の成分が高
濃度で検出され、かつ、カラム保持時間約11〜29分に
て、多くの成分が検出されているが、ケミカルフィルタ
後Ｇでは、これらの成分は減少しているか若しくは定量
下限未満であった。以上の結果から、エア中の有機成分
は、ケミカルフィルタ後Ｇでは、ほとんど除去されたと
言える。
【００３８】
【発明の効果】本発明は上述の如く構成されるので、次
に記載する効果を奏する。
に記載する効果を奏する。
【００３９】請求項１記載の除塵装置によれば、ワーク
Ｗ表面に有機物が付着するのを防止でき、比較的大きな
塵のみならず極微小の塵をもワークＷ表面から確実に除
去できる。また、除塵回路２内にてエアを循環させてい
るため、エア中の有機物を一層確実に除去することがで
き、ワークＷ表面に有機物が付着せず、ワークＷ表面の
除塵効果が一層高くなる。
Ｗ表面に有機物が付着するのを防止でき、比較的大きな
塵のみならず極微小の塵をもワークＷ表面から確実に除
去できる。また、除塵回路２内にてエアを循環させてい
るため、エア中の有機物を一層確実に除去することがで
き、ワークＷ表面に有機物が付着せず、ワークＷ表面の
除塵効果が一層高くなる。
【００４０】請求項２記載の除塵装置によれば、ワーク
Ｗ表面に有機物が付着するのを防止でき、比較的大きな
塵のみならず極微小の塵をもワークＷ表面から確実に除
去できる。また、集塵後のエアをクリーンルーム内等に
排出するときに、クリーンルーム内に（ブロワーの潤滑
油等の）有機物が漏れるのを防止できる。
Ｗ表面に有機物が付着するのを防止でき、比較的大きな
塵のみならず極微小の塵をもワークＷ表面から確実に除
去できる。また、集塵後のエアをクリーンルーム内等に
排出するときに、クリーンルーム内に（ブロワーの潤滑
油等の）有機物が漏れるのを防止できる。
【００４１】請求項３記載の除塵装置によれば、請求項
１又は２記載のものと同様の効果を奏すると共に、ケミ
カルフィルタ４の下流側へ有機物吸着用の微粒子13…が
流れても、下流側のフィルタ５にて除去できるので、ワ
ークＷ表面に微粒子13…が付着するのを防止できる。
１又は２記載のものと同様の効果を奏すると共に、ケミ
カルフィルタ４の下流側へ有機物吸着用の微粒子13…が
流れても、下流側のフィルタ５にて除去できるので、ワ
ークＷ表面に微粒子13…が付着するのを防止できる。
【図１】本発明の除塵装置の実施の一形態を示す簡略図
である。
である。
【図２】ケミカルフィルタの一部破断した側面図であ
る。
る。
【図３】ケミカルフィルタの要部拡大断面図である。
【図４】除塵ヘッドの断面図である。
【図５】作用説明図である。
【図６】ぬれ性の説明図である。
【図７】他の実施の形態を示す簡略図である。
【図８】他の除塵ヘッドの要部拡大断面図である。
【図９】実施例の説明図である。
【図１０】グラフ図である。
【図１１】グラフ図である。
１ 除塵ヘッド ２ 除塵回路３ ブロワー ３ａ プレッシャー用ブロワー ３ｂ バキューム用ブロワー ４ ケミカルフィルタ ５ フィルタ ７ エア供給路 ８ エア吸引路 13 微粒子14 エア吐出口 15 エア吸込口 Ｃ クリーンルーム Ｗ ワーク
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B08B 5/02 B01D 46/00
Claims (3)
- 【請求項１】 ワークＷ表面に超音波エアを吹付けて塵
を除去する除塵ヘッド１と、該除塵ヘッド１にエアを供
給するエア供給路７と、該除塵ヘッド１からエアを吸引
するエア吸引路８と、上記エア供給路７の上流端に連通
連結されるエア吐出口14と上記エア吸引路８の下流端に
連通連結されるエア吸込口15とを有するブロワー３と、
を有する除塵回路２を、備え、該除塵回路２の上記エア
供給路７側と、上記エア吸引路８側とに、夫々、有機物
を除去するケミカルフィルタ４を、介装したことを特徴
とする除塵装置。 - 【請求項２】 ワークＷ表面に超音波エアを吹付けて塵
を除去する除塵ヘッド１と、該除塵ヘッド１にエアを供
給するエア供給路７と、該除塵ヘッド１からエアを吸引
するエア吸引路８と、上記エア供給路７の上流端に連通
連結されるエア吐出口14とクリーンルームＣ内に開口し
ているエア吸込口15とを有するプレッシャー用ブロワー
３ａと、上記エア吸引路８の下流端に連通連結されるエ
ア吸込口15とクリーンルームＣ内に開口しているエア吐
出口14とを有するバキューム用ブロワー３ｂと、を備
え、上記エア供給路７側と、上記バキューム用ブロワー
３ｂのエア吐出口14の下流側とに、夫々、有機物を除去
するケミカルフィルタ４を、介装したことを特徴とする
除塵装置。 - 【請求項３】 エア供給路７に、ケミカルフィルタ４の
有機物吸着用の微粒子13…を除去可能なフィルタ５が、
該ケミカルフィルタ４よりも下流側に、設けられている
請求項１又は２記載の除塵装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25638398A JP3295040B2 (ja) | 1998-09-10 | 1998-09-10 | 除塵装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25638398A JP3295040B2 (ja) | 1998-09-10 | 1998-09-10 | 除塵装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000084509A JP2000084509A (ja) | 2000-03-28 |
| JP3295040B2 true JP3295040B2 (ja) | 2002-06-24 |
Family
ID=17291925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25638398A Expired - Fee Related JP3295040B2 (ja) | 1998-09-10 | 1998-09-10 | 除塵装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3295040B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4506629B2 (ja) * | 2005-09-26 | 2010-07-21 | 東レ株式会社 | 熱可塑性樹脂フィルムの製造方法及び熱可塑性樹脂フィルム |
| JP2007152222A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Hitachi Plant Technologies Ltd | フィルムロールの除塵方法及びフィルムロール用除塵設備 |
| JP4684122B2 (ja) * | 2006-02-14 | 2011-05-18 | ヒューグルエレクトロニクス株式会社 | 可動式除塵装置 |
| TWI514028B (zh) * | 2010-11-10 | 2015-12-21 | Lg Chemical Ltd | 液晶薄膜 |
-
1998
- 1998-09-10 JP JP25638398A patent/JP3295040B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000084509A (ja) | 2000-03-28 |
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