JP3292834B2 - Electrolytic processing method and electrolytic processing apparatus - Google Patents

Electrolytic processing method and electrolytic processing apparatus

Info

Publication number
JP3292834B2
JP3292834B2 JP10984298A JP10984298A JP3292834B2 JP 3292834 B2 JP3292834 B2 JP 3292834B2 JP 10984298 A JP10984298 A JP 10984298A JP 10984298 A JP10984298 A JP 10984298A JP 3292834 B2 JP3292834 B2 JP 3292834B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
processing
electrode
distance
processing electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP10984298A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH11300533A (en
Inventor
正之 須田
礼子 入江
一吉 古田
邦雄 中島
寿彦 作原
Original Assignee
セイコーインスツルメンツ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by セイコーインスツルメンツ株式会社 filed Critical セイコーインスツルメンツ株式会社
Priority to JP10984298A priority Critical patent/JP3292834B2/en
Publication of JPH11300533A publication Critical patent/JPH11300533A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3292834B2 publication Critical patent/JP3292834B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、金属工業、電子工
業分野等において、電解溶液中で被加工物を回転させな
がら、加工電極を用いて電気化学反応により加工を行う
電解加工方法及び電解加工装置に係わり、特に、断面形
状が回転中心に対して均一でない形状の被加工物を加工
する電解加工方法及び電解加工装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrolytic processing method and an electrolytic processing method for performing processing by an electrochemical reaction using a processing electrode while rotating a workpiece in an electrolytic solution in the metal industry, the electronic industry, and the like. The present invention relates to an apparatus, and more particularly to an electrolytic processing method and an electrolytic processing apparatus for processing a workpiece whose cross-sectional shape is not uniform with respect to a rotation center.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、円柱状の被加工物を円形の底面の
中心を回転軸として回転させながら、加工具と被加工物
間に物理的もしくは化学的作用を生じさせて加工を行
う、旋削加工方法としては、旋盤などに代表される機械
的旋削加工、電解液中で被加工物を回転させながら加工
電極を被加工物の加工線上に微小な間隙を介して近接さ
せ、加工電極と被加工物間に電圧を印加して、その際に
生じる電気化学的溶解反応を利用することにより加工を
行う電解旋削加工、絶縁溶液中で被加工物を回転させな
がら加工電極を被加工物の加工線上に微小な間隙を介し
て近接させ、加工電極と被加工物間に高電圧を印加し
て、その際に生じる放電現象を利用することにより加工
を行う放電旋削加工などの方法がある。
2. Description of the Related Art Conventionally, turning is performed by causing a physical or chemical action between a processing tool and a workpiece while rotating a cylindrical workpiece about a center of a circular bottom surface as a rotation axis. Examples of the processing method include mechanical turning represented by a lathe and the like. The processing electrode is brought close to the processing line of the processing object through a minute gap while rotating the processing object in the electrolytic solution, and the processing electrode and the processing electrode are formed. Electrolytic turning, in which a voltage is applied between the workpieces and machining is performed by utilizing the electrochemical dissolution reaction that occurs at that time, and machining of the machining electrode while rotating the workpiece in an insulating solution There is a method such as electric discharge turning in which a material is brought close to a line via a minute gap, a high voltage is applied between a machining electrode and a workpiece, and machining is performed by utilizing an electric discharge phenomenon generated at that time.

【0003】このうち、電解旋削加工では被加工物と加
工電極が非接触で加工が進行するため、被加工物に加工
応力がかからず、被加工物の硬度が加工精度に与える影
響が少ない。また、化学反応を利用して加工を行うた
め、放電旋削加工のように放電に伴う被加工面の熱的損
傷が少ないなどの特徴がある。
[0003] Among these, in electrolytic turning, since the processing proceeds without contact between the workpiece and the processing electrode, the processing stress is not applied to the workpiece, and the hardness of the workpiece has little effect on the processing accuracy. . In addition, since machining is performed by using a chemical reaction, there is a characteristic in that thermal damage to a work surface due to electric discharge is small as in electric discharge turning.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の機械的
旋削加工においては、被加工物の断面形状が回転中心に
対して対称でなかった場合には、刃具を材料に接触させ
た際に生じる応力が材料に均等にかからないために、機
械的破損等が生じやすく加工は非常に困難であるという
問題がある。また、機械的旋削加工では、加工具と被加
工物が物理的に接触することにより、切削を行ってお
り、加工時には被加工物が加工具に対して、ある程度の
速度で移動していることが必要である。このため、被加
工物は高速で回転させる必要があり、断面形状が回転中
心に対して対象でなかった場合には、回転軸のぶれや振
動を伴い、加工精度が低下するという問題がある。
However, in the conventional mechanical turning, when the cross-sectional shape of the workpiece is not symmetrical with respect to the center of rotation, it occurs when the cutting tool comes into contact with the material. Since stress is not uniformly applied to the material, there is a problem that mechanical breakage and the like are likely to occur and processing is extremely difficult. In mechanical turning, cutting is performed by the physical contact between the processing tool and the workpiece, and the workpiece moves at a certain speed with respect to the processing tool during processing. is necessary. For this reason, it is necessary to rotate the workpiece at a high speed, and if the cross-sectional shape is not symmetrical with respect to the center of rotation, there is a problem that the rotating shaft is shaken or vibrated, and the processing accuracy is reduced.

【0005】また、従来の電解旋削加工や放電旋削加工
では、加工電極を被加工物に微小な間隙を介して近接さ
せ、そこで加工電極を固定した状態で被加工物を回転さ
せながら加工を行っているため、被加工物の断面形状が
真円でなかった場合には、加工電極と被加工物が接触し
てしまい、加工電極や被加工物の損傷が生じたり、正常
な加工が行われなくなってしまうなどの問題が生じる。
[0005] In conventional electrolytic turning and electric discharge turning, a machining electrode is brought close to a workpiece through a minute gap, and machining is performed while rotating the workpiece with the machining electrode fixed there. Therefore, if the cross-sectional shape of the workpiece is not a perfect circle, the workpiece electrode and the workpiece come into contact with each other, causing damage to the workpiece electrode and the workpiece, and performing normal processing. Problems such as disappearance occur.

【0006】さらに、被加工面の断面形状が円形でない
被加工物、例えば角柱の一部分に一様な深さの溝を彫る
場合等は、加工具が固定されているために、被加工物の
回転により加工具と被加工物の被加工面との相対距離が
変化してしまい、従来のいずれの旋削加工方法を用いて
も溝の深さが一定になるように加工することは不可能で
ある。
Further, when a workpiece having a non-circular cross section on a surface to be processed, for example, when a groove having a uniform depth is carved in a part of a prism, the processing tool is fixed, so that the Due to the rotation, the relative distance between the tool and the surface of the workpiece changes, and it is impossible to use any of the conventional turning methods to make the groove depth constant. is there.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】そこで、本発明の電解加
工方法では、加工時に加工電極を固定せず、被加工物の
回転と同期させて、所定の位置に加工電極を移動させ、
加工電極と被加工物の加工面の距離を所望の値になるよ
う制御しながら加工を行う。そのためには、まず、被加
工面上の加工線の回転中心からの距離を計測・記憶し
て、加工線における被加工面の断面形状を算出し、次に
加工時には、算出した断面形状に基づいて加工電極と被
加工物間の距離を制御しながら加工を行うという手順が
必要となる。
Therefore, in the electrolytic machining method of the present invention, the machining electrode is not fixed at the time of machining, but is moved to a predetermined position in synchronization with the rotation of the workpiece.
Processing is performed while controlling the distance between the processing electrode and the processing surface of the workpiece to a desired value. For that purpose, first, the distance from the rotation center of the processing line on the processing surface is measured and stored, and the cross-sectional shape of the processing surface on the processing line is calculated. Therefore, a procedure of performing processing while controlling the distance between the processing electrode and the workpiece is required.

【0008】まず、被加工面上の加工線の回転中心から
の距離を計測する手段として、本発明の電解加工方法で
は、次の2つのいずれかの方法をとる。第一の方法は、
被加工物と加工電極との接触を利用する方法である。ま
ず、被加工物の回転軸と垂直に交差する線上を加工電極
を移動させて、被加工面の加工線上に接触させた際の加
工電極の位置を記録する。次に、一旦、加工電極を被加
工物から離した後、被加工物をある一定微小角度回転さ
せ、再び、加工電極を移動させて、被加工物と接触した
際の加工電極の位置を記録する。これを被加工物が少な
くとも一周するまで繰り返し、収集したデータから加工
対象物の断面形状を算出する。
First, as a means for measuring a distance from a rotation center of a processing line on a surface to be processed, the electrolytic processing method of the present invention employs one of the following two methods. The first method is
This is a method utilizing contact between a workpiece and a processing electrode. First, the processing electrode is moved on a line that intersects perpendicularly with the rotation axis of the workpiece, and the position of the processing electrode when it is brought into contact with the processing line on the processing surface is recorded. Next, once the processing electrode is separated from the workpiece, the workpiece is rotated by a certain minute angle, the processing electrode is moved again, and the position of the processing electrode at the time of contact with the workpiece is recorded. I do. This is repeated until the workpiece goes at least once, and the cross-sectional shape of the workpiece is calculated from the collected data.

【0009】第二の方法は、被加工物と加工電極との間
に流れるトンネル電流を検出する方法である。まず、加
工電極と被加工物間に流れるトンネル電流を測定しなが
ら、被加工物の回転軸と垂直に交差する線上を加工電極
を移動させて、トンネル電流の大きさが、あらかじめ定
められた値になった際の加工電極の位置を記録する。こ
の作業を、接触を利用した場合と同様に、被加工物が少
なくとも一周するまで繰り返して、加工対象物の断面形
状を算出する。
The second method is a method of detecting a tunnel current flowing between a workpiece and a processing electrode. First, while measuring the tunnel current flowing between the machining electrode and the workpiece, the machining electrode is moved on a line perpendicular to the rotation axis of the workpiece, and the magnitude of the tunnel current is determined by a predetermined value. The position of the machining electrode at the time of is recorded. This operation is repeated until the workpiece makes at least one round, as in the case of using contact, and the cross-sectional shape of the workpiece is calculated.

【0010】次に、得られた加工線上における被加工面
の断面形状に基づき、加工電極と被加工物の距離を制御
するために、加工電極は加工時に定位置に固定されるの
ではなく、被加工物の回転中心と垂直に交差する線上を
移動可能な機構の上に設置する構造とする。そして、被
加工面の断面形状と被加工物の回転角度を検出する機構
から得られたデータを元に算出した加工電極の位置に加
工電極を移動させながら加工を行う。
Next, in order to control the distance between the processing electrode and the workpiece based on the cross-sectional shape of the surface to be processed on the obtained processing line, the processing electrode is not fixed at a fixed position at the time of processing. The structure is set on a mechanism that can move on a line that intersects perpendicularly with the rotation center of the workpiece. Then, the machining is performed while moving the machining electrode to the position of the machining electrode calculated based on the data obtained from the mechanism for detecting the cross-sectional shape of the work surface and the rotation angle of the work.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について図
面に基づいて説明する。 (実施の形態1)図1は、本発明の電解加工方法のうち、加
工線上における被加工面の断面形状を算出する方法とし
て、被加工物と加工電極の接触を検出する方法を利用す
る場合の手順を説明したものである。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. (Embodiment 1) FIG. 1 shows a case where a method of detecting contact between a workpiece and a processing electrode is used as a method of calculating a cross-sectional shape of a processing surface on a processing line in the electrolytic processing method of the present invention. This is an explanation of the procedure.

【0012】まず、被加工物を回転させ回転原点に戻
す。次に加工電極を被加工面の加工線上にくるように被
加工物の回転軸と平行な方向に移動させる。引き続き、
加工電極と被加工物の間の電気的抵抗値を測定しなが
ら、電気的抵抗値があらかじめ定められた一定の値以下
になるまで、加工電極を被加工物の回転軸と垂直に交差
する方向に移動させる。電気的抵抗値が、定められた一
定の値以下になったら加工電極の移動を停止させ、その
時の加工電極の位置、および、現在の被加工物の回転角
度を記憶する。次に、再び加工電極を被加工物との距離
が大きくなる方向にあらかじめ定められた距離を移動さ
せた後、被加工物をあらかじ定められた微小な角度回転
させる。この図1(3)から(7)の作業を、被加工物が少な
くとも360°回転するまで繰り返す。次に記憶した、被
加工物の回転角度および加工電極の位置に基づき、被加
工物の加工線上における断面形状を算出し、さらに目的
とする加工形状に加工する際の被加工物の回転角度と加
工電極位置を求める。
First, the workpiece is rotated and returned to the rotation origin. Next, the processing electrode is moved in a direction parallel to the rotation axis of the workpiece so as to be on the processing line of the processing surface. Continued
While measuring the electrical resistance between the processing electrode and the workpiece, the direction perpendicular to the rotation axis of the workpiece until the electrical resistance falls below a predetermined value. Move to When the electric resistance value becomes equal to or less than a predetermined value, the movement of the machining electrode is stopped, and the position of the machining electrode at that time and the current rotation angle of the workpiece are stored. Next, after moving the processing electrode again by a predetermined distance in a direction in which the distance from the workpiece increases, the workpiece is rotated by a predetermined minute angle. The operations of FIGS. 1 (3) to (7) are repeated until the workpiece rotates at least 360 °. Next, based on the stored rotation angle of the workpiece and the position of the processing electrode, the cross-sectional shape of the workpiece on the processing line is calculated, and the rotation angle and the rotation angle of the workpiece when processing into the target processing shape are further performed. Find the machining electrode position.

【0013】続いて加工時には、被加工物の回転に合わ
せて、加工電極の位置を先ほど求めた加工電極位置に移
動させながら、加工電極と被加工物との間にあらかじめ
定められた電圧を印加する。そして、あらかじめ定めら
れた時間が経過した後、電圧印加を停止し、必要があれ
ば、図1(1)から(13)の手順を繰り返す。なお、本実施例
においては、被加工物と加工電極の相対位置を変化させ
る工程において、被加工物を固定し加工電極を移動させ
る方法としてが、逆に加工電極を固定し、被加工物を移
動させる方法を用いることも可能である。また、加工電
極と被加工物の接触を検知する方法としては、両者の間
の電気的抵抗値を測定する方法の他に、電解液中におけ
る両者の平衡電位差を測定しておき、接触によりこの平
衡電位差が変化することを利用する方法も考えられる。
Subsequently, during processing, a predetermined voltage is applied between the processing electrode and the workpiece while the position of the processing electrode is moved to the previously determined processing electrode position in accordance with the rotation of the workpiece. I do. Then, after a predetermined time has elapsed, the application of the voltage is stopped, and if necessary, the procedure from FIG. 1 (1) to (13) is repeated. In the present embodiment, in the step of changing the relative position between the workpiece and the processing electrode, the method of fixing the workpiece and moving the processing electrode is as follows. It is also possible to use a moving method. As a method of detecting the contact between the processing electrode and the workpiece, in addition to the method of measuring the electric resistance value between the two, the equilibrium potential difference between the two in the electrolytic solution is measured, and this is determined by the contact. A method utilizing the change in the equilibrium potential difference is also conceivable.

【0014】(実施の形態2)図2は、本発明の電解加工
方法のうち、加工線上における被加工面の断面形状を算
出する方法として、被加工物と加工電極の間に流れるト
ンネル電流を測定する方法を利用する場合の手順を説明
したものである。まず、被加工物を回転させ回転原点に
戻す。次に加工電極を被加工面の加工線上にくるように
被加工物の回転軸と平行な方向に移動させる。引き続
き、加工電極と被加工物の電解液中における電位を、電
気化学反応が生じない値に設定し、両者の間に流れるト
ンネル電流を測定しながら、トンネル電流があらかじめ
定められた一定の値以上になるまで、加工電極を被加工
物の回転軸と垂直に交差する方向に移動させる。トンネ
ル電流が、定められた一定の値以上になったら加工電極
の移動を停止させ、その時の加工電極の位置、および、
現在の被加工物の回転角度を記憶する。次に、再び加工
電極を被加工物との距離が大きくなる方向にあらかじめ
定められた距離を移動させた後、被加工物をあらかじ定
められた微小な角度回転させる。この図2(4)から(8)の
作業を、被加工物が少なくとも360°回転するまで繰り
返す。次に記憶した、被加工物の回転角度および加工電
極の位置に基づき、被加工物の加工線上における断面形
状を算出し、さらに目的とする加工形状に加工する際の
被加工物の回転角度と加工電極位置の関係を求める。同
時にもし必要ならば、回転角度と被加工物−加工電極に
印加する電圧値の関係も求める。
(Embodiment 2) FIG. 2 shows a method of calculating a cross-sectional shape of a surface to be processed on a processing line in the electrolytic processing method of the present invention. FIG. 6 illustrates a procedure for using a measurement method. First, the workpiece is rotated and returned to the rotation origin. Next, the processing electrode is moved in a direction parallel to the rotation axis of the workpiece so as to be on the processing line of the processing surface. Subsequently, the potential in the electrolytic solution of the processing electrode and the workpiece is set to a value that does not cause an electrochemical reaction, and while measuring the tunnel current flowing between the two, the tunnel current is equal to or more than a predetermined value. Until the machining electrode is moved, the machining electrode is moved in a direction perpendicular to the rotation axis of the workpiece. When the tunnel current becomes equal to or more than a predetermined fixed value, the movement of the processing electrode is stopped, and the position of the processing electrode at that time, and
The current rotation angle of the workpiece is stored. Next, after moving the processing electrode again by a predetermined distance in a direction in which the distance from the workpiece increases, the workpiece is rotated by a predetermined minute angle. The operations of FIGS. 2 (4) to (8) are repeated until the workpiece rotates at least 360 °. Next, based on the stored rotation angle of the workpiece and the position of the processing electrode, the cross-sectional shape of the workpiece on the processing line is calculated, and the rotation angle and the rotation angle of the workpiece when processing into the target processing shape are further performed. Find the relationship between the processing electrode positions. At the same time, if necessary, the relationship between the rotation angle and the voltage applied to the workpiece-working electrode is also determined.

【0015】続いて加工時には、被加工物の回転に合わ
せて、加工電極の位置を先ほど求めた加工電極位置に移
動させながら、加工電極と被加工物との間に先ほど求め
た電圧を印加する。そして、あらかじめ定められた時間
が経過した後、電圧印加を停止し、必要があれば、図2
(1)から(14)の手順を繰り返す。なお、実施の形態1と同
様に、被加工物と加工電極の相対位置を変化させる工程
において、加工電極を固定し被加工物を移動させる方法
を用いることも可能である。
Subsequently, at the time of machining, the voltage previously obtained is applied between the machining electrode and the workpiece while moving the position of the machining electrode to the previously determined machining electrode position in accordance with the rotation of the workpiece. . Then, after a predetermined time has elapsed, the voltage application is stopped, and if necessary, FIG.
Repeat steps (1) to (14). As in the first embodiment, in the step of changing the relative position between the workpiece and the processing electrode, a method in which the processing electrode is fixed and the workpiece is moved may be used.

【0016】(実施の形態3)図3は実施の形態1で説明し
た手順を具体的に実施する本発明の電解加工装置の形態
の一例を模式的に示したものである。加工電極301は棒
状もしくは針状の形状で、被加工物302の回転軸と平行
および垂直に移動可能な加工電極移動ステージ303に加
工電極支持体304を介して固定されている。一方、被加
工物302はチャック305を介して、回転運動を発生させる
ためのモータ306に接続されている。さらにモータ306の
回転軸にはエンコーダ307が設置されており、エンコー
ダ307からの原点復帰信号、および回転パルス信号によ
り、被加工物の回転原点からの角度を検出することがで
きる。
(Embodiment 3) FIG. 3 schematically shows an example of an embodiment of the electrolytic processing apparatus of the present invention which specifically executes the procedure described in Embodiment 1. The processing electrode 301 has a rod-like or needle-like shape, and is fixed via a processing electrode support 304 to a processing electrode moving stage 303 that can move parallel and perpendicular to the rotation axis of the workpiece 302. On the other hand, the workpiece 302 is connected via a chuck 305 to a motor 306 for generating a rotational movement. Further, an encoder 307 is provided on the rotation axis of the motor 306, and the angle of the workpiece from the rotation origin can be detected by the origin return signal and the rotation pulse signal from the encoder 307.

【0017】一方、電解液308は加工槽309中に保持さ
れ、さらに加工槽309の下には加工槽309を上下に移動し
て、加工電極301および被加工物302を電解液308内に浸
漬したり、逆に電解液308から取り出したりするための
加工槽移動ステージ310が設置されている。また、加工
槽309に電解液供給タンク311から電解液308を供給する
ための電解液供給ポンプ312および、加工槽309から電解
液排出タンク313へ電解液308を排出するための電解液排
出ポンプ314も合わせて設置されている。
On the other hand, the electrolytic solution 308 is held in the processing tank 309, and the processing tank 309 is moved up and down below the processing tank 309 to immerse the processing electrode 301 and the workpiece 302 in the electrolytic solution 308. A processing tank moving stage 310 is provided for removing the battery from the electrolytic solution 308. An electrolyte supply pump 312 for supplying the electrolyte 308 from the electrolyte supply tank 311 to the processing tank 309 and an electrolyte discharge pump 314 for discharging the electrolyte 308 from the processing tank 309 to the electrolyte discharge tank 313. Is also installed.

【0018】加工電極301および被加工物302は、スイッ
チ401を介して、電気抵抗測定装置501とプログラマブル
電源315に接続されており、スイッチ401を切り換えるこ
とにより、いずれかと電気的に接続される。被加工物30
2の加工線上における断面形状算出時には、加工電極301
および被加工物302は、電気抵抗測定装置501と電気的に
接続され、両者の接触に伴う電気抵抗変化を検出するこ
とができる。加工時は、加工電極301および被加工物302
は、プログラマブル電源315に接続されており、電解液3
08中で両者の間に電圧を印加することが可能である。プ
ログラマブル電源315は加工電極301および被加工物302
間に定電圧を印加する機能に加えて、加工電極301と被
加工物302間に流れる電流が一定となるように電圧を印
加する機能や、パルス状の電圧を印加する機能も有す
る。
The working electrode 301 and the workpiece 302 are connected to an electric resistance measuring device 501 and a programmable power supply 315 via a switch 401, and are electrically connected to either of them by switching the switch 401. Workpiece 30
When calculating the cross-sectional shape on the processing line of 2, the processing electrode 301
The workpiece 302 is electrically connected to the electric resistance measuring device 501, and can detect a change in electric resistance due to the contact between the two. During processing, the processing electrode 301 and the workpiece 302
Is connected to the programmable power supply 315 and the electrolyte 3
In 08, it is possible to apply a voltage between the two. The programmable power supply 315 includes a machining electrode 301 and a workpiece 302.
In addition to the function of applying a constant voltage in between, it also has a function of applying a voltage so that the current flowing between the processing electrode 301 and the workpiece 302 is constant, and a function of applying a pulsed voltage.

【0019】加工電極移動ステージ303、モータ306、エ
ンコーダ307、加工槽移動ステージ310、電解液供給ポン
プ312、電解液排出ポンプ314およびプログラマブル電源
315は、いずれも制御装置316に接続されており、動作の
制御はすべてこの制御装置316によりなされる。次にこ
の電解加工装置を使用した場合の動作について説明す
る。
Processing electrode moving stage 303, motor 306, encoder 307, processing tank moving stage 310, electrolyte supply pump 312, electrolyte discharge pump 314, and programmable power supply
Each of the devices 315 is connected to a control device 316, and all control of the operation is performed by the control device 316. Next, the operation when this electrolytic processing apparatus is used will be described.

【0020】まず、電解液供給ポンプ312をONにし、加
工槽309内に適量の電解液308を入れる。次に加工槽移動
ステージ310により、加工電極301および被加工物302が
電解液308中に浸漬されるように、加工槽309の高さを調
節する。被加工物302の加工線上における断面形状を算
出する手段としては、まず、エンコーダ307の原点復帰
信号が検出されるまで、モータ306を回転させる。次に
加工電極移動ステージ303を加工電極301の先端が被加工
物302の加工線上にくるように被加工物302の回転軸と平
行な方向に移動させる。次にスイッチ401を加工電極301
と被加工物302が、電気抵抗測定装置501と接続されるよ
うに切り換え、加工電極301と被加工物302の間の電気的
抵抗を測定しながら、電気的抵抗値があらかじめ定めら
れた一定の値以下になるまで、加工電極移動ステージ30
3により加工電極301を被加工物302の回転軸と垂直に交
差する方向に移動させる。電気的抵抗値が、定められた
一定の値以下になったら加工電極移動ステージ303の移
動を停止させ、その時の加工電極移動ステージ303の位
置、および、現在の被加工物302の回転角度を制御装置3
16内に記憶する。次に、再び加工電極301を被加工物302
との距離が大きくなる方向にあらかじめ定められた距離
を移動させた後、被加工物302をモータ306により、あら
かじ定められた微小な角度回転させる。その際の角度検
出はモータ306と接続されたエンコーダ307からの回転パ
ルス信号により行う。この被加工物302を回転させなが
ら、加工電極301の先端が被加工物302と接触した際の加
工電極移動ステージ303の位置を制御装置316内に記憶す
る作業を、被加工物302が少なくとも360°回転するまで
繰り返す。次に制御装置316内に記憶した、被加工物302
の回転角度および加工電極移動ステージ310の位置に基
づき、制御装置316で被加工物302の加工線上における断
面形状を算出し、さらに目的とする加工形状に加工する
際の被加工物302の回転角度と加工電極移動ステージ310
の位置を求める。
First, the electrolyte supply pump 312 is turned on, and an appropriate amount of the electrolyte 308 is put into the processing tank 309. Next, the height of the processing tank 309 is adjusted by the processing tank moving stage 310 so that the processing electrode 301 and the workpiece 302 are immersed in the electrolytic solution 308. As means for calculating the cross-sectional shape of the workpiece 302 on the processing line, first, the motor 306 is rotated until an origin return signal of the encoder 307 is detected. Next, the processing electrode moving stage 303 is moved in a direction parallel to the rotation axis of the workpiece 302 so that the tip of the processing electrode 301 is on the processing line of the workpiece 302. Next, switch 401 is processed electrode 301
And the workpiece 302 are switched so as to be connected to the electrical resistance measuring device 501, and while measuring the electrical resistance between the processing electrode 301 and the workpiece 302, the electrical resistance value is a predetermined constant value. Process electrode moving stage 30
3 moves the processing electrode 301 in a direction perpendicular to the rotation axis of the workpiece 302. When the electric resistance value becomes equal to or less than a predetermined fixed value, the movement of the processing electrode moving stage 303 is stopped, and the position of the processing electrode moving stage 303 at that time and the current rotation angle of the workpiece 302 are controlled. Device 3
Store it in 16. Next, the processing electrode 301 is again attached to the workpiece 302.
Then, the workpiece 302 is rotated by the motor 306 at a predetermined small angle after moving the workpiece 302 by a predetermined distance in a direction in which the distance from the workpiece increases. The angle detection at this time is performed by a rotation pulse signal from an encoder 307 connected to the motor 306. While rotating the workpiece 302, the work of storing the position of the processing electrode moving stage 303 when the tip of the processing electrode 301 contacts the workpiece 302 in the control device 316 is performed by the workpiece 302 at least 360 ° Repeat until rotated. Next, the workpiece 302 stored in the control device 316 is stored.
Based on the rotation angle of the workpiece and the position of the processing electrode moving stage 310, the control device 316 calculates the cross-sectional shape of the workpiece 302 on the processing line, and furthermore, the rotation angle of the workpiece 302 when processing into the target processing shape And machining electrode moving stage 310
Find the position of

【0021】続いて加工時には、まず、加工電極301と
被加工物302がプログラマブル電源315に接続されるよう
にスイッチ401を切り換える。次にモータ306により被加
工物302を連続的あるいは間欠的に回転させ、被加工物
の回転角度をエンコーダ307の原点復帰信号および回転
パルス信号により求め、先ほど算出した、加工時におけ
る被加工物302の回転角度と加工電極移動ステージ310の
位置データに基づき、被加工物302の回転角度に応じた
位置に、加工電極移動ステージ310を移動させ、加工電
極301と被加工物302との間にあらかじめ定められた電圧
をプログラマブル電源315により印加する。そして、被
加工物302の回転に合わせて、加工電極移動ステージの
位置を移動する工程を継続し、あらかじめ定められた時
間が経過した後、あるいは、被加工物302が規定の回転
数を回転した後に電圧印加およびモータ306の回転を停
止する。
Subsequently, at the time of processing, first, the switch 401 is switched so that the processing electrode 301 and the workpiece 302 are connected to the programmable power supply 315. Next, the work piece 302 is continuously or intermittently rotated by the motor 306, and the rotation angle of the work piece is obtained from the origin return signal and the rotation pulse signal of the encoder 307. The processing electrode moving stage 310 is moved to a position corresponding to the rotation angle of the workpiece 302 based on the rotation angle of the A predetermined voltage is applied by the programmable power supply 315. Then, in accordance with the rotation of the workpiece 302, the process of moving the position of the processing electrode moving stage is continued, and after a predetermined time has elapsed, or the workpiece 302 has rotated a predetermined number of revolutions. Thereafter, the application of the voltage and the rotation of the motor 306 are stopped.

【0022】また必要に応じて、被加工物302の加工線
上の断面形状を測定する工程から加工までの工程を繰り
返すことにより、目的とする加工形状に被加工物302を
加工する。 (実施の形態4)図4は、実施の形態2で説明した手順を
具体的に実施する本発明の電解加工装置の形態の一例を
模式的に示したものである。
If necessary, the process from the step of measuring the cross-sectional shape of the workpiece 302 on the processing line to the process is repeated to process the workpiece 302 into a target processed shape. (Embodiment 4) FIG. 4 schematically shows an example of an embodiment of an electrolytic processing apparatus according to the present invention which specifically executes the procedure described in Embodiment 2.

【0023】加工電極301は棒状もしくは針状の形状
で、被加工物302の回転軸と平行および垂直に移動可能
な加工電極移動ステージ303に加工電極支持体304を介し
て固定されている。一方、被加工物302はチャック305を
介して、回転運動を発生させるためのモータ306に接続
されている。さらにモータ306の回転軸にはエンコーダ3
07が設置されており、エンコーダ307からの原点復帰信
号、および回転パルス信号により、被加工物の回転原点
からの角度を検出することができる。
The processing electrode 301 has a rod-like or needle-like shape and is fixed via a processing electrode support 304 to a processing electrode moving stage 303 that can move parallel and perpendicular to the rotation axis of the workpiece 302. On the other hand, the workpiece 302 is connected via a chuck 305 to a motor 306 for generating a rotational movement. Further, the rotating shaft of the motor 306 has an encoder 3
07 is provided, and the angle of the workpiece from the rotation origin can be detected by the origin return signal and the rotation pulse signal from the encoder 307.

【0024】一方、電解液308は加工槽309中に保持さ
れ、さらに加工槽309の下には加工槽309を上下に移動し
て、加工電極301および被加工物302を電解液308内に浸
漬したり、逆に電解液308から取り出したりするための
加工槽移動ステージ310が設置されている。また、加工
槽309に電解液供給タンク311から電解液308を供給する
ための電解液供給ポンプ312および、加工槽309から電解
液排出タンク313へ電解液308を排出するための電解液排
出ポンプ314も合わせて設置されている。
On the other hand, the electrolytic solution 308 is held in the processing tank 309, and the processing tank 309 is moved up and down below the processing tank 309 to immerse the processing electrode 301 and the workpiece 302 in the electrolytic solution 308. A processing tank moving stage 310 is provided for removing the battery from the electrolytic solution 308. An electrolyte supply pump 312 for supplying the electrolyte 308 from the electrolyte supply tank 311 to the processing tank 309 and an electrolyte discharge pump 314 for discharging the electrolyte 308 from the processing tank 309 to the electrolyte discharge tank 313. Is also installed.

【0025】加工電極301および被加工物302は、スイッ
チ401を介して、トンネル電流測定装置402とプログラマ
ブル電源315に接続されており、スイッチ401を切り換え
ることにより、いずれかと電気的に接続される。トンネ
ル電流測定装置402には、電解液中の電位の基準となる
参照電極403と、トンネル電流測定時における加工電極3
01と被加工物302の電位を制御するための対向電極404が
接続されており、トンネル電流測定装置402には、加工
電極301および被加工物302の電位を定められた値になる
よう制御する機構、および両者の間に流れるトンネル電
流の値を測定する機構が含まれている。
The machining electrode 301 and the workpiece 302 are connected to a tunnel current measuring device 402 and a programmable power supply 315 via a switch 401, and are electrically connected to either of them by switching the switch 401. The tunnel current measuring device 402 includes a reference electrode 403 serving as a reference for the potential in the electrolytic solution, and a processing electrode 3 when measuring the tunnel current.
01 and a counter electrode 404 for controlling the potential of the workpiece 302 are connected, and the tunnel current measuring device 402 controls the potential of the processing electrode 301 and the potential of the workpiece 302 to be a predetermined value. A mechanism and a mechanism for measuring a value of a tunnel current flowing between the two are included.

【0026】被加工物302の加工線上における断面形状
算出時には、スイッチ401を切り換え、加工電極301およ
び被加工物302は、トンネル電流測定装置402と電気的に
接続され、両者が近接した際に流れるトンネル電流を測
定することができる。加工時には、加工電極301および
被加工物302は、プログラマブル電源315に接続され、電
解液308中で両者の間に電圧を印加することが可能であ
る。プログラマブル電源315は加工電極301および被加工
物302間に定電圧を印加する機能に加えて、加工電極301
と被加工物302間に流れる電流が一定となるように電圧
を印加する機能や、パルス状の電圧を印加する機能も有
する。
At the time of calculating the cross-sectional shape of the workpiece 302 on the processing line, the switch 401 is switched, and the processing electrode 301 and the workpiece 302 are electrically connected to the tunnel current measuring device 402, and flow when both approach. The tunnel current can be measured. At the time of processing, the processing electrode 301 and the workpiece 302 are connected to a programmable power supply 315, and a voltage can be applied between them in the electrolyte 308. The programmable power supply 315 has the function of applying a constant voltage between the processing electrode 301 and the workpiece 302,
It also has a function of applying a voltage so that the current flowing between the workpiece 302 and the workpiece 302 is constant, and a function of applying a pulsed voltage.

【0027】加工電極移動ステージ303、モータ306、エ
ンコーダ307、加工槽移動ステージ310、電解液供給ポン
プ312、電解液排出ポンプ314、プログラマブル電源31
5、スイッチ401、および、トンネル電流測定装置402
は、いずれも制御装置316に接続されており、動作の制
御はすべてこの制御装置316によりなされる。次にこの
電解加工装置を使用した場合の動作について説明する。
Processing electrode moving stage 303, motor 306, encoder 307, processing tank moving stage 310, electrolyte supply pump 312, electrolyte discharge pump 314, programmable power supply 31
5, switch 401 and tunnel current measuring device 402
Are connected to a control device 316, and all the operations are controlled by the control device 316. Next, the operation when this electrolytic processing apparatus is used will be described.

【0028】まず、電解液供給ポンプ312をONにし、加
工槽309内に適量の電解液308を入れる。次に加工槽移動
ステージ310により、加工電極301および被加工物302が
電解液308中に浸漬されるように、加工槽309の高さを調
節する。被加工物302の加工線上における断面形状を算
出する手段としては、まず、エンコーダ307の原点復帰
信号が検出されるまで、モータ306を回転させる。次に
加工電極移動ステージ303を加工電極301の先端が被加工
物302の加工線上にくるように被加工物302の回転軸と平
行な方向に移動させる。次にスイッチ401を加工電極301
と被加工物302が、トンネル電流測定装置402と接続され
るように切り換え、トンネル電流測定装置402により、
加工電極301と被加工物302の電解液308中における電位
を、電気化学反応が生じない値に設定した際の、両者の
間に流れるトンネル電流を測定しながら、トンネル電流
があらかじめ定められた一定の値以上になるまで、加工
電極移動ステージ303を被加工物302の回転軸と垂直に交
差する方向に移動させる。トンネル電流が、定められた
一定の値以上になったら加工電極移動ステージ303の移
動を停止させ、その時の加工電極301の位置、および、
現在の被加工物302の回転角度を制御装置316内に記憶す
る。次に、再び加工電極301を被加工物302との距離が大
きくなる方向にあらかじめ定められた距離を移動させた
後、被加工物302をモータ306により、あらかじ定められ
た微小な角度回転させる。その際の角度検出はモータ30
6と接続されたエンコーダ307からの回転パルス信号によ
り行う。この被加工物302を回転させながら、加工電極3
01の先端が被加工物302へ定められたトンネル電流が検
出されるまで近接させた際の加工電極移動ステージ303
の位置を制御装置316内に記憶する作業を、被加工物302
が少なくとも360°回転するまで繰り返す。次に制御装
置316内に記憶した、被加工物302の回転角度および加工
電極移動ステージ310の位置に基づき、制御装置316で被
加工物302の加工線上における断面形状を算出し、さら
に目的とする加工形状に加工する際の被加工物302の回
転角度と加工電極移動ステージ310の位置を求める。
First, the electrolyte supply pump 312 is turned on, and an appropriate amount of the electrolyte 308 is put into the processing tank 309. Next, the height of the processing tank 309 is adjusted by the processing tank moving stage 310 so that the processing electrode 301 and the workpiece 302 are immersed in the electrolytic solution 308. As means for calculating the cross-sectional shape of the workpiece 302 on the processing line, first, the motor 306 is rotated until an origin return signal of the encoder 307 is detected. Next, the processing electrode moving stage 303 is moved in a direction parallel to the rotation axis of the workpiece 302 so that the tip of the processing electrode 301 is on the processing line of the workpiece 302. Next, switch 401 is processed electrode 301
And the workpiece 302 are switched so as to be connected to the tunnel current measuring device 402, and the tunnel current measuring device 402
When the potential in the electrolytic solution 308 of the processing electrode 301 and the workpiece 302 is set to a value that does not cause an electrochemical reaction, the tunnel current flowing between the two is measured while the tunnel current is kept at a predetermined constant value. The processing electrode moving stage 303 is moved in a direction perpendicular to the rotation axis of the workpiece 302 until the value becomes equal to or more than the value of. When the tunnel current is equal to or greater than a predetermined value, the movement of the processing electrode moving stage 303 is stopped, and the position of the processing electrode 301 at that time, and
The current rotation angle of the workpiece 302 is stored in the control device 316. Next, after moving the processing electrode 301 again by a predetermined distance in a direction in which the distance to the workpiece 302 increases, the workpiece 302 is rotated by a motor 306 at a predetermined minute angle. . The angle detection at that time is performed by the motor 30
This is performed by a rotation pulse signal from the encoder 307 connected to 6. While rotating the workpiece 302, the machining electrode 3
Working electrode moving stage 303 when the tip of 01 is brought close to workpiece 302 until a predetermined tunnel current is detected
The operation of storing the position of the
Repeat until has rotated at least 360 °. Next, based on the rotation angle of the workpiece 302 and the position of the processing electrode moving stage 310 stored in the control device 316, the control device 316 calculates the cross-sectional shape of the workpiece 302 on the processing line, which is a further object. The rotation angle of the workpiece 302 and the position of the processing electrode moving stage 310 when processing into the processing shape are obtained.

【0029】続いて加工時には、まず、加工電極301と
被加工物302がプログラマブル電源315に接続されるよう
にスイッチ401を切り換える。次にモータ306により、被
加工物302を連続的あるいは間欠的に回転させ、被加工
物の現在の回転角度をエンコーダ307の原点復帰信号お
よび回転パルス信号により求め、先ほど算出した、加工
時における被加工物302の回転角度と加工電極移動ステ
ージ310の位置データに基づき、被加工物302の回転角度
に応じた位置に、加工電極移動ステージ310を移動さ
せ、加工電極301と被加工物302との間にあらかじめ定め
られた電圧をプログラマブル電源315により印加する。
そして、被加工物302の回転に合わせて、加工電極移動
ステージの位置を移動する工程を継続し、あらかじめ定
められた時間が経過した後、あるいは、被加工物302が
規定の回転数を回転した後に電圧印加およびモータ306
の回転を停止する。
Subsequently, at the time of processing, first, the switch 401 is switched so that the processing electrode 301 and the workpiece 302 are connected to the programmable power supply 315. Next, the workpiece 302 is continuously or intermittently rotated by the motor 306, and the current rotation angle of the workpiece is obtained from the home position return signal and the rotation pulse signal of the encoder 307. Based on the rotation angle of the workpiece 302 and the position data of the processing electrode moving stage 310, the processing electrode moving stage 310 is moved to a position corresponding to the rotation angle of the workpiece 302, so that the processing electrode 301 and the workpiece 302 A predetermined voltage is applied by the programmable power supply 315 in the meantime.
Then, in accordance with the rotation of the workpiece 302, the process of moving the position of the processing electrode moving stage is continued, and after a predetermined time has elapsed, or the workpiece 302 has rotated a predetermined number of revolutions. After voltage application and motor 306
Stop the rotation of.

【0030】また必要に応じて、被加工物302の加工線
上の断面形状を測定する工程から加工までの工程を繰り
返すことにより、目的とする加工形状に被加工物302を
加工する。
If necessary, the process from the step of measuring the cross-sectional shape of the workpiece 302 on the processing line to the process is repeated, whereby the workpiece 302 is processed into a target processed shape.

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明では、被加工物を回転させなが
ら、加工線上にある被加工面の回転中心からの距離をあ
らかじめ計測する工程と、被加工物の回転と同期させ
て、被加工物の回転軸と垂直に交差する方向に加工電極
を移動させながら、被加工物−加工電極間に電圧を印加
する工程により被加工物の旋削加工を実施する。このた
め、被加工物の断面形状が真円でなかった場合にも、機
械加工のように応力が均一にかからないために刃具や被
加工物が損傷したりすることがない。また、従来の電解
旋削加工や放電加工のように、加工電極と被加工物間の
距離が微小であっても、被加工物の被加工面にならって
加工電極位置を移動させながら加工を行うため、加工電
極と被加工物が接触してしまうことがない。また、被加
工物の加工線上における断面形状を計測してから加工を
行っているため、被加工物の形状が円形でない場合にも
加工が可能である。
According to the present invention, the process of measuring the distance from the center of rotation of the processing surface on the processing line in advance while rotating the processing object, and synchronizing the rotation of the processing object with the rotation of the processing object, The turning of the workpiece is performed by applying a voltage between the workpiece and the processing electrode while moving the processing electrode in a direction perpendicular to the rotation axis of the workpiece. Therefore, even when the cross-sectional shape of the workpiece is not a perfect circle, the stress is not uniformly applied as in the case of machining, so that the cutting tool and the workpiece are not damaged. Also, as in conventional electrolytic turning and electric discharge machining, even when the distance between the machining electrode and the workpiece is minute, machining is performed while moving the machining electrode position following the workpiece surface of the workpiece. Therefore, the workpiece and the workpiece do not come into contact with each other. Further, since the processing is performed after measuring the cross-sectional shape of the workpiece on the processing line, the processing can be performed even when the shape of the workpiece is not circular.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の電解加工方法の実施の形態1の手順を示
すフローチャートである。
FIG. 1 is a flowchart showing a procedure of an electrolytic processing method according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の電解加工方法の実施の形態2の手順を
示すフローチャートである。
FIG. 2 is a flowchart illustrating a procedure of an electrolytic processing method according to a second embodiment of the present invention.

【図3】本発明の電解加工装置のうち、実施の形態3の
装置の説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram of an apparatus according to a third embodiment of the electrolytic processing apparatus of the present invention.

【図4】本発明の電解加工装置のうち、実施の形態4の
装置の説明図である。
FIG. 4 is an explanatory view of an electrolytic processing apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

301・・・・・・加工電極 302・・・・・・被加工物 303・・・・・・加工電極移動ステージ 304・・・・・・加工電極支持体 305・・・・・・チャック 306・・・・・・モータ 307・・・・・・エンコーダ 308・・・・・・電解液 309・・・・・・加工槽 310・・・・・・加工槽移動ステージ 311・・・・・・電解液供給タンク 312・・・・・・電解液供給ポンプ 313・・・・・・電解液排出タンク 314・・・・・・電解液排出ポンプ 315・・・・・・プログラマブル電源 316・・・・・・制御装置 401・・・・・・スイッチ 402・・・・・・トンネル電流測定装置 403・・・・・・参照電極 404・・・・・・対向電極 501・・・・・・電気抵抗測定装置 301: Processing electrode 302: Workpiece 303: Processing electrode moving stage 304: Processing electrode support 305: Chuck 306・ ・ ・ ・ ・ ・ Motor 307 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Encoder 308 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Electrolyte 309 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Processing tank 310 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Processing tank moving stage 311 ・ ・ ・ ・・ Electrolyte supply tank 312 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Electrolyte supply pump 313 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Electrolyte discharge tank 314 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Electrolyte discharge pump 315 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Programmable power supply 316 ・ ・Control device 401 Switch 402 Tunnel current measuring device 403 Reference electrode 404 Counter electrode 501 Electric resistance measuring device

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中島 邦雄 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 セイコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 作原 寿彦 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 セイコーインスツルメンツ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭52−148887(JP,A) 特開 昭61−188020(JP,A) 特開 平9−267218(JP,A) 特開 平1−271126(JP,A) 特公 昭63−9945(JP,B2) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B23H 3/00 C25F 3/00 C25F 7/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Kunio Nakajima, 1-8-8 Nakase, Mihama-ku, Chiba City, Chiba Prefecture Inside Seiko Instruments Inc. (72) Inventor Toshihiko Sakuhara 1-8-8, Nakase, Mihama-ku, Chiba City, Chiba JP-A-52-148887 (JP, A) JP-A-61-188020 (JP, A) JP-A-9-267218 (JP, A) JP-A 1-271126 (JP) , A) JP-B-63-9945 (JP, B2) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) B23H 3/00 C25F 3/00 C25F 7/00

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 回転軸を中心として回転する被加工物
と、棒体状もしくは針状の加工電極を、電解液中に微小
な間隙を介して対向させ、両者の間に電圧を印加し、電
気化学的溶解反応もしくは電気化学的析出反応を生じさ
せ、前記被加工物の形状加工を実施する電解加工法にお
いて、 前記被加工物を回転させながら、加工線上にある被加工
面の回転中心からの距離をあらかじめ計測する工程と、 前記計測により得られた距離より加工線における前記被
加工面の断面形状を算出する工程と、 前記被加工物を回転させながら、前記断面形状に基づい
て前記被加工物の回転角と同期させて、算出した被加工
物の加工線上における断面形状から、目的とする加工形
状に加工する際の被加工物の回転角度において、被加工
物と加工電極間の距離があらかじめ設定された値となる
ように、前記被加工物の回転軸と垂直に交差する方向に
前記加工電極を移動させながら、前記被加工物−前記加
工電極間に電圧を印加することにより被加工面の加工を
行う工程からなることを特徴とする電解加工方法。
1. A workpiece rotating around a rotation axis and a rod-shaped or needle-shaped processing electrode are opposed to each other through a minute gap in an electrolytic solution, and a voltage is applied between the two. In an electrolytic processing method for causing an electrochemical dissolution reaction or an electrochemical precipitation reaction to carry out the shape processing of the workpiece, while rotating the workpiece, from a rotation center of a processing surface on a processing line while rotating the workpiece. Measuring a distance in advance, a step of calculating a cross-sectional shape of the processing surface on a processing line from the distance obtained by the measurement, and rotating the workpiece while rotating the workpiece based on the cross-sectional shape. Workpiece calculated in synchronization with the rotation angle of the workpiece
From the cross-sectional shape of the object on the processing line,
The angle of rotation of the workpiece when machining into a shape
The distance between the workpiece and the processing electrode is a preset value
Thus, from the step of processing the processing surface by applying a voltage between the workpiece and the processing electrode while moving the processing electrode in a direction perpendicular to the rotation axis of the workpiece, An electrolytic processing method characterized in that:
【請求項2】 前記加工線上にある被加工面の回転中心
からの距離を計測する工程において、前記被加工物の加
工線上の任意の点で前記加工電極が接触する位置に前記
加工電極を移動し、その時の前記加工電極の位置を記録
する操作を、前記被加工物をあらかじめ定められた角度
間隔で少なくとも1周回転させながら繰り返すことによ
り測定することを特徴とする請求項1記載の電解加工方
法。
2. The step of measuring a distance from a rotation center of a surface to be processed on the processing line to move the processing electrode to a position where the processing electrode contacts at an arbitrary point on the processing line of the workpiece. The electrolytic processing according to claim 1, wherein the operation of recording the position of the processing electrode at that time is measured by repeating the operation while rotating the workpiece at least once at a predetermined angular interval. Method.
【請求項3】 前記加工線上にある被加工面の回転中心
からの距離を計測する工程において、前記被加工物の加
工線上の任意の点に、定められた大きさのトンネル電流
が検出されるまで前記加工電極を近接させ、その時の前
記加工電極の位置を記録する操作を、前記被加工物をあ
らかじめ定められた角度ステップで少なくとも1周回転
させながら繰り返すことにより測定することを特徴とす
る請求項1記載の電解加工方法。
3. A step of measuring a distance from a rotation center of a surface to be processed on the processing line, wherein a tunnel current having a predetermined magnitude is detected at an arbitrary point on the processing line of the workpiece. And measuring the position of the processing electrode by repeating the operation of recording the position of the processing electrode at that time while rotating the workpiece at least once around a predetermined angular step. Item 6. The electrolytic processing method according to Item 1.
【請求項4】 電解質溶液中で被加工物を回転させる被
加工物回転手段と、前記被加工物の被加工面に電気化学
的溶解反応もしくは電気化学的析出反応により形状加工
を施す加工電極と、前記被加工物の被加工面と前記加工
電極の先端部との距離を変更させる距離変更手段とを備
えた電解加工装置において、 前記被加工物の回転角を検出する被加工物回転角検出手
段と、 前記被加工物の被加工面と前記加工電極の先端部との距
離を前記距離変更手段による距離の変更により前記被加
工物と前記加工電極とが相互に近接させた際に、前記被
加工物と前記加工電極の接触を検出する接触検出手段
と、 前記接触検出手段によって接触が検出された際の前記加
工電極の位置を記憶する加工電極接触位置記憶手段と、 前記加工電極接触位置記憶手段に記憶された値から、加
工線上にある被加工面と回転中心間の距離を算出する被
加工面回転中心距離算出手段と、 前記被加工物回転角検出手段、および、前記被加工面回
転中心距離算出手段からの信号に基づき、前記距離変更
手段により、前記回転角と同期させて前記加工電極位置
を移動させる加工電極位置制御手段と、 前記被加工物回転角検出手段、および、前記被加工面回
転中心距離算出手段からの信号に基づき、前記回転角と
同期させて、前記被加工物−前記加工電極間に電圧を印
加する電圧同期印加手段を備え、 前記被加工物を回転させながら、加工線上にある被加工
面の回転中心からの距離をあらかじめ計測し、前記被加
工物の回転角と同期させて、算出した被加工物の加工線
上における断面形状から、目的とする加工形状に加工す
る際の被加工物の回転角度において、被加工物と加工電
極間の距離があらかじめ設定された値となるように、
記被加工物の回転軸と垂直に交差する方向に前記加工電
極を移動させながら、前記被加工物−前記加工電極間に
電圧を印加することにより被加工面の加工を行うことを
特徴とする電解加工装置。
4. A workpiece rotating means for rotating a workpiece in an electrolyte solution, and a processing electrode for performing a shape processing on a workpiece surface of the workpiece by an electrochemical dissolution reaction or an electrochemical deposition reaction. An electrolytic processing apparatus comprising: a distance changing unit configured to change a distance between a processing surface of the workpiece and a tip portion of the processing electrode; a workpiece rotation angle detection that detects a rotation angle of the workpiece. Means, when the workpiece and the processing electrode are brought closer to each other by changing the distance between the processing surface of the workpiece and the tip of the processing electrode by changing the distance by the distance changing means, Contact detection means for detecting contact between the workpiece and the processing electrode; processing electrode contact position storage means for storing the position of the processing electrode when the contact is detected by the contact detection means; and the processing electrode contact position For storage means A processing surface rotation center distance calculating means for calculating a distance between the processing surface on the processing line and the rotation center from the memorized value; the processing object rotation angle detecting means; and the processing surface rotation center distance Processing electrode position control means for moving the processing electrode position in synchronization with the rotation angle by the distance changing means based on a signal from the calculation means, the workpiece rotation angle detection means, and the work surface Based on a signal from the rotation center distance calculation means, the apparatus further comprises voltage synchronization application means for applying a voltage between the workpiece and the processing electrode in synchronization with the rotation angle, and processing the workpiece while rotating the workpiece. The distance from the center of rotation of the work surface on the line is measured in advance, and the work line of the work is calculated in synchronization with the rotation angle of the work.
From the cross-sectional shape above,
The workpiece and the machining power
Applying a voltage between the workpiece and the processing electrode while moving the processing electrode in a direction perpendicular to the rotation axis of the workpiece so that the distance between the electrodes becomes a preset value. An electrolytic processing apparatus characterized in that the surface to be processed is processed by doing.
【請求項5】 電解質溶液中で被加工物を回転させる被
加工物回転手段と、前記被加工物の被加工面に電気化学
的溶解反応もしくは電気化学的析出反応により形状加工
を施す加工電極と、前記被加工物の被加工面と前記加工
電極の先端部との距離を変更させる距離変更手段とを備
えた電解加工装置において、 前記被加工物の回転角を検出する被加工物回転角検出手
段と、 前記被加工物の被加工面と前記加工電極の先端部との距
離を前記距離変更手段による距離の変更により前記被加
工物と前記加工電極とが相互に近接させた際に、前記被
加工物と前記加工電極の間に流れるトンネル電流を測定
するトンネル電流測定手段と、 前記トンネル電流測定手段によって、あらかじめ定めら
れた値のトンネル電流が検出された際の前記加工電極の
位置を記憶する加工電極接触位置記憶手段と、 前記加工電極接触位置記憶手段に記憶された値から、加
工線上にある被加工面と回転中心間の距離を算出する被
加工面回転中心距離算出手段と、 前記被加工物回転角検出手段、および、前記被加工面回
転中心距離算出手段からの信号に基づき、前記距離変更
手段により、前記回転角と同期させて前記加工電極位置
を移動させる加工電極位置制御手段と、 前記被加工物回転角検出手段、および、前記被加工面回
転中心距離算出手段からの信号に基づき、前記回転角と
同期させて、前記被加工物−前記加工電極間に電圧を印
加する電圧同期印加手段を備え、 前記被加工物を回転させながら、加工線上にある被加工
面の回転中心からの距離をあらかじめ計測し、前記被加
工物の回転角と同期させて、算出した被加工物の加工線
上における断面形状から、目的とする加工形状に加工す
る際の被加工物の回転角度において、被加工物と加工電
極間の距離があらかじめ設定された値となるように、
記被加工物の回転軸と垂直に交差する方向に前記加工電
極を移動させながら、前記被加工物−前記加工電極間に
電圧を印加することにより被加工面の加工を行うことを
特徴とする電解加工装置。
5. A workpiece rotating means for rotating a workpiece in an electrolyte solution, and a processing electrode for shaping a workpiece surface of the workpiece by an electrochemical dissolution reaction or an electrochemical deposition reaction. An electrolytic processing apparatus comprising: a distance changing unit configured to change a distance between a processing surface of the workpiece and a tip portion of the processing electrode; a workpiece rotation angle detection that detects a rotation angle of the workpiece. Means, when the workpiece and the processing electrode are brought closer to each other by changing the distance between the processing surface of the workpiece and the tip of the processing electrode by changing the distance by the distance changing means, A tunnel current measuring means for measuring a tunnel current flowing between the workpiece and the processing electrode, and a position of the processing electrode when a tunnel current having a predetermined value is detected by the tunnel current measuring means. Processing electrode contact position storage means for storing, from the value stored in the processing electrode contact position storage means, a processing surface rotation center distance calculation means for calculating the distance between the processing surface and the rotation center on the processing line, Processing electrode position control for moving the processing electrode position in synchronization with the rotation angle by the distance changing means based on a signal from the workpiece rotation angle detecting means and the processing surface rotation center distance calculating means; Means, based on a signal from the workpiece rotation angle detecting means, and a signal from the workpiece surface rotation center distance calculating means, applying a voltage between the workpiece and the processing electrode in synchronization with the rotation angle. comprising a voltage synchronization application means for said while rotating the workpiece, the distance from the rotation center of the work surface in the processing line measured in advance, the in synchronization with the rotation angle of the workpiece, the calculated Processing line of the workpiece
From the cross-sectional shape above,
The workpiece and the machining power
Applying a voltage between the workpiece and the processing electrode while moving the processing electrode in a direction perpendicular to the rotation axis of the workpiece so that the distance between the electrodes becomes a preset value. An electrolytic processing apparatus characterized in that the surface to be processed is processed by doing.
JP10984298A 1998-04-20 1998-04-20 Electrolytic processing method and electrolytic processing apparatus Expired - Fee Related JP3292834B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10984298A JP3292834B2 (en) 1998-04-20 1998-04-20 Electrolytic processing method and electrolytic processing apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10984298A JP3292834B2 (en) 1998-04-20 1998-04-20 Electrolytic processing method and electrolytic processing apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11300533A JPH11300533A (en) 1999-11-02
JP3292834B2 true JP3292834B2 (en) 2002-06-17

Family

ID=14520590

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10984298A Expired - Fee Related JP3292834B2 (en) 1998-04-20 1998-04-20 Electrolytic processing method and electrolytic processing apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3292834B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101455527B1 (en) * 2013-04-30 2014-10-27 현대제철 주식회사 Electropolishing apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JPH11300533A (en) 1999-11-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102297270B1 (en) Electrode Setting Apparatus of Electrical Discharge Machine
Spieser et al. Design of an electrochemical micromachining machine
JPS6253293B2 (en)
JP2018144137A (en) Wire electric discharge machine
JP3292834B2 (en) Electrolytic processing method and electrolytic processing apparatus
JP2004066393A (en) Wire contact/non-contact boundary position detecting device of wire cut electric discharge machine
JPH0751948A (en) Bent hole machining method and bent hole machining device
CN107775131B (en) Wire electric discharge machine and measurement method
EP1392465B1 (en) Method for a removal of cathode depositions by means of bipolar pulses
RU2313427C2 (en) Method, apparatus, control system and computer program for automatically removing cathode deposits during bipolar electrochemical treatment
JP3354890B2 (en) Processing method and processing device
JP5543282B2 (en) Numerical control device for wire cut electric discharge machine with rotating shaft
JP3270416B2 (en) Processing electrode manufacturing method and processing electrode manufacturing apparatus
KR100358290B1 (en) Method for manufacturing a probe using electrolytic processing
JPS6258850B2 (en)
EP1509356B1 (en) A method and an arrangement to determine a running value of the gap during the electrochemical machining
JPS6137047B2 (en)
JP2021070085A (en) Electric discharge machine, probe and manufacturing method of workpiece
JP2002113617A (en) Electrochemical machining method using current density control
JPH10263931A (en) Electro-chemical machining method and electro-chemical machining equipment
JP2005144651A (en) Penetration detecting device, method and electric discharge machine
JPS6036690A (en) Electroforming device for rotating body
JP4907803B2 (en) Method for correcting wire-shaped electrode for generating electric discharge machining and method for generating electric discharge machining
JP4822506B2 (en) Positioning method, measuring method, and coordinate system setting method.
JP2022105813A (en) Tool position measurement device, tool position measurement method, groove processing device and groove processing method

Legal Events

Date Code Title Description
S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090329

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100329

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110329

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110329

Year of fee payment: 9

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D03

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110329

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120329

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120329

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130329

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140329

Year of fee payment: 12

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees