JP2021070085A

JP2021070085A - Electric discharge machine, probe and manufacturing method of workpiece

Info

Publication number: JP2021070085A
Application number: JP2019197493A
Authority: JP
Inventors: 誠池亀; Makoto Ikegame; 敬志橘; Takashi Tachibana
Original assignee: Makino Milling Machine Co Ltd
Current assignee: Makino Milling Machine Co Ltd
Priority date: 2019-10-30
Filing date: 2019-10-30
Publication date: 2021-05-06
Anticipated expiration: 2039-10-30
Also published as: CN112743171A; JP6765493B1

Abstract

To provide an electric discharge machine which can measure the fine shape of a workpiece.SOLUTION: An electric discharge machine 100 for performing electric discharge machining on a workpiece W by applying the pulse voltage between an electrode 11 attached to a main shaft 1 and the workpiece W attached to a table 2, comprises: the main shaft 1 which has the electrode 11 for machining the workpiece W, a gripping part 12 that grips a first probe 14 for measuring the workpiece W and a rotation device 13; a molding material 6 which is provided so as to be relatively movable with respect to the main shaft 1, has the conductivity and molds the first probe 14; a control device 3 which measures the workpiece W by detecting contact between the first probe 14 and the workpiece W; and a power source 4 which applies the pulse voltage between a material attached to the gripping part 12 and the molding material 6 in the case of molding of the first probe 14 and applies the pulse voltage between the electrode 11 attached to the gripping part 12 and the workpiece W in the case of processing of the workpiece W.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本願は、放電加工機、測定子及びワークの製造方法に関する。 The present application relates to a method for manufacturing an electric discharge machine, a stylus and a workpiece.

従来、電極とワークとの間にパルス電圧を印加することによって、ワークを加工する放電加工機が知られている。例えば、特許文献１は、ワークからコアピンを成形するための放電加工機を開示している。この放電加工機は、ワークを加工するための加工電極と、加工電極を別の形状に成形するための二次電極と、を備えている。この放電加工機では、加工電極によって、ワークが概略形状に成形され、続いて、二次電極によって、加工電極が別の形状に成形される。ワークは、成形された加工電極によって、コアピンに近い形状に更に成形される。以上の工程を複数回繰り返すことによって、コアピンが成形される。 Conventionally, an electric discharge machine for machining a work by applying a pulse voltage between an electrode and a work has been known. For example, Patent Document 1 discloses an electric discharge machine for forming a core pin from a work. This electric discharge machine includes a machining electrode for machining a workpiece and a secondary electrode for molding the machining electrode into a different shape. In this electric discharge machine, the machining electrode forms the workpiece into a rough shape, and then the secondary electrode shapes the machining electrode into another shape. The work is further formed into a shape close to the core pin by the formed processed electrode. The core pin is formed by repeating the above steps a plurality of times.

また、特許文献２は、被加工物に対して微細形状（例えば微細孔）を成形するための放電加工装置を開示している。この放電加工装置は、電極を微細軸に成形するための成形プレートを備えている。この放電加工装置では、成形プレートによって電極が微細軸に成形される。続いて、ステージ上の成形プレートが除去され、同じステージ上に被加工物が装着される。放電加工装置は、上記の微細軸を用いて、被加工物に微細孔を成形することができる。 Further, Patent Document 2 discloses an electric discharge machining apparatus for forming a fine shape (for example, fine holes) on a work piece. This electric discharge machine includes a molding plate for molding an electrode into a fine shaft. In this electric discharge machine, an electrode is formed into a fine shaft by a forming plate. Subsequently, the molded plate on the stage is removed, and the workpiece is mounted on the same stage. The electric discharge machine can form fine holes in the workpiece using the above-mentioned fine shaft.

国際公開第２０１６／０１６９７６号International Publication No. 2016/016996 国際公開第２００７／０５８１１０号International Publication No. 2007/058110

一般的に、放電加工によって成形された微細形状（例えば、微細溝などの凹部等）の加工精度を確認する場合、例えば、ワークを加工機から取り外して、別の測定器によって微細形状を測定する場合がある。また、例えば、測定によってワークの再加工が必要だと判断された場合には、ワークを加工機に再度取り付ける必要がある。しかしながら、ワークを同じ位置に再度取り付けることは困難であり得る。 Generally, when checking the machining accuracy of a fine shape formed by electric discharge machining (for example, a recess such as a fine groove), for example, the workpiece is removed from the machining machine and the fine shape is measured by another measuring instrument. In some cases. Further, for example, when it is determined by measurement that the work needs to be reworked, it is necessary to reattach the work to the processing machine. However, it can be difficult to reattach the workpieces in the same position.

本発明は、上記のような課題を考慮して、ワークの微細形状を測定することができる放電加工機を提供することを目的とする。また、本願は、そのような放電加工機で使用される測定子にも関連する。さらに、本願は、そのような放電加工機で実施可能なワークの製造方法にも関連する。 An object of the present invention is to provide an electric discharge machine capable of measuring the fine shape of a work in consideration of the above problems. The present application also relates to stylus used in such electric discharge machines. Furthermore, the present application also relates to a method of manufacturing a workpiece that can be implemented in such an electric discharge machine.

本開示の一態様は、主軸に取り付けられた電極とテーブルに取り付けられたワークとの間にパルス電圧を印加してワークを放電加工する放電加工機において、ワークを加工する電極及びワークを測定する第１の測定子を把持する把持部、並びに、回転装置を有する主軸と、主軸に対して相対移動可能に設けられ、導電性を有し、第１の測定子を成形する成形材と、第１の測定子とワークとの間の接触を検知することによって、ワークを測定する制御装置と、第１の測定子の成形の場合には、把持部に取り付けられた材料と成形材との間にパルス電圧を印加し、ワークの加工の場合には、把持部に取り付けられた電極とワークとの間にパルス電圧を印加する電源と、を備える放電加工機である。 One aspect of the present disclosure is to measure an electrode and a work to be machined in an electric discharge machine for electric discharge machining of the work by applying a pulse voltage between an electrode attached to the spindle and a work attached to a table. A grip portion that grips the first stylus, a main shaft having a rotating device, a molding material that is provided so as to be movable relative to the main shaft, has conductivity, and forms the first stylus, and a first In the case of molding the first stylus, between the control device that measures the workpiece by detecting the contact between the stylus 1 and the workpiece, and the material attached to the grip and the molding material. In the case of machining a work, the electric discharge machine is provided with a power supply that applies a pulse voltage between the electrode attached to the grip portion and the work.

本開示の一態様に係る放電加工機によれば、把持部に取り付けられた材料と成形材との間にパルス電圧を印加することによって、放電加工機上で第１の測定子が成形される。このような放電加工によれば、微細な測定子を成形することが可能である。また、この第１の測定子を主軸の把持部に取り付けて、第１の測定子とワークとの間の接触を検知することによって、放電加工機からワークを取り外すことなく、放電加工機上でワークを測定することができる。したがって、放電加工機からワークを取り外すことなく、ワークの微細形状を測定することができる。 According to the electric discharge machine according to one aspect of the present disclosure, the first stylus is molded on the electric discharge machine by applying a pulse voltage between the material attached to the grip portion and the molding material. .. By such electric discharge machining, it is possible to form a fine stylus. Further, by attaching the first stylus to the grip portion of the spindle and detecting the contact between the first stylus and the work, the work can be mounted on the electric discharge machine without removing the work from the electric discharge machine. The workpiece can be measured. Therefore, the fine shape of the work can be measured without removing the work from the electric discharge machine.

制御装置は、回転する主軸の把持部に取り付けられた材料と、主軸に対して相対移動する成形材と、の間にパルス電圧を印加することによって、丸棒形状の第１の測定子を成形することと、電極によって、ワークに凹部を形成することと、第１の測定子を丸棒形状の中心軸線に沿って移動させて、丸棒形状の先端をワークの凹部の底に接触させることによって、凹部の底の位置を測定することと、を実行するように構成されていてもよい。この場合、第１の測定子は、ワークに形成される凹部の底を測定する。この場合、第１の測定子はワークに対して半径方向から接触する必要はなく、したがって、単純な丸棒形状であることができる。よって、第１の測定子を容易に成形することができ、かつ、第１の測定子を微細な凹部にも挿入することができる。 The control device forms a round bar-shaped first stylus by applying a pulse voltage between a material attached to a grip portion of a rotating spindle and a molding material that moves relative to the spindle. To form a recess in the work by means of electrodes, and to move the first stylus along the central axis of the round bar shape so that the tip of the round bar shape comes into contact with the bottom of the recess in the work. It may be configured to measure the position of the bottom of the recess and to perform. In this case, the first stylus measures the bottom of the recess formed in the work. In this case, the first stylus does not need to come into contact with the work from the radial direction and can therefore be in the shape of a simple round bar. Therefore, the first stylus can be easily formed, and the first stylus can be inserted into a fine recess.

放電加工機は、第１の測定子よりも太い第２の測定子を更に備えてもよく、制御装置は、第１の測定子が成形された後に、第１の測定子の長さと第２の測定子の長さとの間の差を測定することと、第２の測定子によってワークの基準を測定することと、凹部の底の測定された位置、ワークの測定された基準、及び、第１の測定子の長さと第２の測定子の長さとの間の測定された差を用いて、凹部の深さを求めることと、を実行するように構成されていてもよい。この場合、より太い第２の測定子を用いて、半径方向を含む様々な方向からワークの基準を測定することができる。 The discharge machine may further include a second stylus that is thicker than the first stylus, and the controller may include the length of the first stylus and the second stylus after the first stylus has been formed. To measure the difference between the length of the stylus and the length of the work piece, to measure the reference of the work by the second stylus, the measured position of the bottom of the recess, the measured reference of the work, and the first. It may be configured to use the measured difference between the length of one stylus and the length of a second stylus to determine the depth of the recess. In this case, a thicker second stylus can be used to measure the work reference from various directions, including the radial direction.

本開示の他の態様は、主軸に取り付けられた電極とテーブルに取り付けられたワークとの間にパルス電圧を印加してワークを放電加工する放電加工機において使用される測定子であって、主軸の把持部に取り付けられた材料と、主軸に対して相対移動する導電性を有する成形材と、の間にパルス電圧を印加することによって成形された、測定子である。このような測定子は、上記のように、放電加工機上で作製されることができ、また、微細であることができる。したがって、このような測定子によれば、上記のように、放電加工機からワークを取り外すことなく、ワークの微細形状を測定することができる。 Another aspect of the present disclosure is a stylus used in an electric discharge machine that applies a pulse voltage between an electrode mounted on a spindle and a work mounted on a table to perform electric discharge machining of the work. It is a stylus formed by applying a pulse voltage between a material attached to the grip portion of the above and a conductive molding material that moves relative to the spindle. As described above, such a stylus can be manufactured on an electric discharge machine and can be fine. Therefore, according to such a stylus, the fine shape of the work can be measured without removing the work from the electric discharge machine as described above.

本開示の更に他の態様は、主軸に取り付けられた電極とテーブルに取り付けられたワークとの間にパルス電圧を印加してワークを放電加工する放電加工機において、凹部を含むワークを製造するための方法であって、放電加工機は、ワークを加工する電極及びワークを測定する第１の測定子を把持する把持部、並びに、回転装置を有する主軸と、主軸に対して相対移動可能に設けられ、導電性を有し、第１の測定子を成形する成形材と、第１の測定子とワークとの間の接触を検知することによって、ワークを測定する制御装置と、第１の測定子の成形の場合には、把持部に取り付けられた材料と成形材との間にパルス電圧を印加し、ワークの加工の場合には、把持部に取り付けられた電極とワークとの間にパルス電圧を印加する電源と、を備え、当該方法は、主軸の把持部に取り付けられた材料と、主軸に対して相対移動する成形材と、の間にパルス電圧を印加することによって、第１の測定子を成形することと、電極によって、ワークに凹部を形成することと、第１の測定子の先端をワークの凹部の底に接触させることによって、凹部の底の位置を測定することと、を含む、ワークを製造するための方法である。本態様に係るワークの製造方法によれば、上記と同様に、放電加工機からワークを取り外すことなく、ワークに形成された微細な凹部をより簡単に測定することができる。したがって、ワークの製造中に、凹部の加工精度を確認することができる。 Yet another aspect of the present disclosure is to manufacture a work including a recess in an electric discharge machine that applies a pulse voltage between an electrode attached to a spindle and a work attached to a table to perform electric discharge machining of the work. The electric discharge machine is provided so as to be movable relative to the main shaft with the electrode for processing the work, the grip portion for gripping the first stylus for measuring the work, and the main shaft having the rotating device. A control device that measures a workpiece by detecting contact between a molding material that is conductive and forms a first stylus, and a first stylus and a workpiece, and a first measurement. In the case of child molding, a pulse voltage is applied between the material attached to the grip and the molding material, and in the case of machining a workpiece, a pulse is applied between the electrode attached to the grip and the workpiece. The method comprises a power supply to which a voltage is applied, the method of which is by applying a pulsed voltage between a material attached to the grip of the spindle and a molding material that moves relative to the spindle. Forming a stylus, forming a recess in the work with electrodes, and measuring the position of the bottom of the recess by bringing the tip of the first stylus into contact with the bottom of the recess in the work. It is a method for manufacturing a work including. According to the work manufacturing method according to this aspect, it is possible to more easily measure the fine recesses formed in the work without removing the work from the electric discharge machine, as described above. Therefore, it is possible to confirm the machining accuracy of the concave portion during the manufacturing of the work.

本開示の一態様によれば、放電加工機上でワークの微細形状を測定することができる。 According to one aspect of the present disclosure, the fine shape of the work can be measured on the electric discharge machine.

実施形態に係る放電加工機を示す概略図である。It is the schematic which shows the electric discharge machine which concerns on embodiment. 図２（ａ）はワークの一例を示す斜視図である。図２（ｂ）は図２（ａ）中のｂ−ｂ線に沿った拡大矢視断面図である。FIG. 2A is a perspective view showing an example of the work. FIG. 2B is an enlarged cross-sectional view taken along the line bb in FIG. 2A. 実施形態に係るワークの製造方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of the work which concerns on embodiment. 図１中の制御装置の表示装置に示される画面の一例である。This is an example of a screen shown on the display device of the control device in FIG.

以下、添付図面を参照して、実施形態に係る放電加工機、測定子及びワークの製造方法を説明する。同様な又は対応する要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。理解を容易にするために、図の縮尺は変更されている場合がある。 Hereinafter, a method of manufacturing the electric discharge machine, the stylus, and the work according to the embodiment will be described with reference to the attached drawings. Similar or corresponding elements are designated by the same reference numerals, and duplicate description will be omitted. The scale of the figure may have been changed for ease of understanding.

図１は、実施形態に係る放電加工機１００を示す概略図である。放電加工機（以下、単に加工機とも称され得る）１００は、主軸１に取り付けられた電極１１と、テーブル２に取り付けられたワークＷとの間にパルス電圧を印加して、ワークＷを加工するように構成されている。加工機１００は、電極１１とワークＷとの間に放電現象を発生させることによって、電極１１の形状をワークＷに転写させるように構成されている。このような加工機１００は、形彫放電加工機であることができる。加工機１００は、主軸１と、テーブル２と、制御装置３と、電源４と、電極交換装置５と、を備えている。加工機１００は、不図示の他の構成要素を更に備えていてもよい（例えば、加工槽及び主軸１の支持機構等）。 FIG. 1 is a schematic view showing an electric discharge machine 100 according to an embodiment. The electric discharge machine (hereinafter, also simply referred to as a machine) 100 processes the work W by applying a pulse voltage between the electrode 11 attached to the spindle 1 and the work W attached to the table 2. It is configured to do. The processing machine 100 is configured to transfer the shape of the electrode 11 to the work W by generating a discharge phenomenon between the electrode 11 and the work W. Such a processing machine 100 can be a die-sinking electric discharge machine. The processing machine 100 includes a spindle 1, a table 2, a control device 3, a power supply 4, and an electrode replacement device 5. The processing machine 100 may further include other components (not shown) (for example, a processing tank and a support mechanism for the spindle 1).

主軸１は、ホルダ（把持部）１２と、回転装置１３と、を有している。ホルダ１２は、電極１１を把持するように構成されている。例えば、電極交換装置５のマガジン５１に、複数の電極１１が保管されていてもよく、ホルダ１２は、複数の電極１１のなかから選択された電極を保持してもよい。また、ホルダ１２は、第１の測定子１４と、第２の測定子１５と、を把持するように構成されている。 The spindle 1 has a holder (grip portion) 12 and a rotating device 13. The holder 12 is configured to grip the electrode 11. For example, a plurality of electrodes 11 may be stored in the magazine 51 of the electrode changing device 5, and the holder 12 may hold an electrode selected from the plurality of electrodes 11. Further, the holder 12 is configured to grip the first stylus 14 and the second stylus 15.

第１の測定子１４は、放電加工機１００上で成形される（詳しくは、後述）。第１の測定子１４は、例えばタングステン等の導電材料から作製されることができる。例えば、第１の測定子１４は、複数の電極１１のなかから選択された電極を、成形材６を用いて放電加工によって成形する（例えば、細くする）ことによって作製される。代替的に、第１の測定子１４は、電極１１としては使用されていない部材を、成形材６を用いて放電加工によって成形することによって作製されてもよい。第２の測定子１５は、例えば、放電加工機で使用可能な商業的に入手可能な測定子であってもよい。例えば、第２の測定子１５は、加工機１００によって加工されないように非導電性の材料を含んでもよい。第１の測定子１４と第２の測定子１５とは、互いに異なる形状を有することができる。第１の測定子１４及び第２の測定子１５は、マガジン５１に保管される。 The first stylus 14 is formed on the electric discharge machine 100 (details will be described later). The first stylus 14 can be made of a conductive material such as tungsten. For example, the first stylus 14 is manufactured by molding (for example, thinning) an electrode selected from a plurality of electrodes 11 by electric discharge machining using a molding material 6. Alternatively, the first stylus 14 may be manufactured by molding a member that is not used as the electrode 11 by electric discharge machining using the molding material 6. The second stylus 15 may be, for example, a commercially available stylus that can be used in an electric discharge machine. For example, the second stylus 15 may contain a non-conductive material so that it will not be machined by the machine 100. The first stylus 14 and the second stylus 15 can have different shapes from each other. The first stylus 14 and the second stylus 15 are stored in the magazine 51.

図２（ａ）は、ワークＷの一例を示す斜視図であり、加工後のワークＷの形状を示している。図２（ｂ）は、図２（ａ）中のｂ−ｂ線に沿った拡大矢視断面図である。図２（ａ）を参照して、この例では、ワークＷは、電子機器（例えば、スマートフォン等）用の端子の製造に用いられる型である。ワークＷは、加工機１００によって成形される複数の微細形状ｐを含んでいる。例えば、微細形状ｐは、凹部（例えば、溝又は段部等）であることができる。例えば、本実施形態では、微細形状ｐは微細溝である。 FIG. 2A is a perspective view showing an example of the work W, and shows the shape of the work W after processing. FIG. 2B is an enlarged cross-sectional view taken along the line bb in FIG. 2A. With reference to FIG. 2A, in this example, the work W is a mold used for manufacturing terminals for electronic devices (eg, smartphones, etc.). The work W includes a plurality of fine shapes p formed by the processing machine 100. For example, the fine shape p can be a recess (for example, a groove or a step portion). For example, in this embodiment, the fine shape p is a fine groove.

図２（ｂ）を参照して、例えば、微細溝ｐは、深さｄ１（例えば、０．３ｍｍ）及び幅ｄ２（例えば、約０．１２ｍｍ）を含むことができる。このようなワークＷの測定に対して、上記の第１の測定子１４及び第２の測定子１５を用いることができる。例えば、第２の測定子１５が、ワークＷの基準（ワークＷのテーブル２上における位置）の測定に使用され、第１の測定子１４が、微細溝ｐの深さｄ１の測定に使用される。したがって、第２の測定子１５の太さは幅ｄ２よりも大きくてもよい一方で（例えば、球の直径約１ｍｍ）、第１の測定子１４の太さは幅ｄ２よりも小さい必要がある（例えば、直径約０．０８ｍｍ）（つまり、第１の測定子１４は、第２の測定子１５よりも細い）。また、第１の測定子１４の長さは、深さｄ１よりも大きい必要がある一方で、折れないように比較的短い必要もある。対照的に、第２の測定子１５は第１の測定子１４よりも太いので、第２の測定子１５の長さは比較的長くてもよい。したがって、第１の測定子１４は、第２の測定子１５よりも短い。第２の測定子１５は、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向の各方向からワークＷに接触するのに適したように、球状の先端部を有していてもよい。例えば、第２の測定子１５の寸法（例えば、長さ及び球の直径等）は、記憶装置３２に保存されていてもよい。第１の測定子１４は、深さｄ１の測定のためにＺ方向のみからワークＷに接触することが意図されているので、単純な棒形状（例えば、丸棒形状）の先端部を有していてもよい。他の実施形態では、第１の測定子１４は、棒形状でなくてもよい。この場合、成形材６に所望の形状を付与することによって、第１の測定子１４に当該形状を転写することができる。 With reference to FIG. 2B, for example, the microgroove p can include a depth d1 (eg, 0.3 mm) and a width d2 (eg, about 0.12 mm). The first stylus 14 and the second stylus 15 described above can be used for such measurement of the work W. For example, the second stylus 15 is used to measure the reference of the work W (the position of the work W on the table 2), and the first stylus 14 is used to measure the depth d1 of the fine groove p. To. Therefore, the thickness of the second stylus 15 may be larger than the width d2 (for example, the diameter of the sphere is about 1 mm), while the thickness of the first stylus 14 needs to be smaller than the width d2. (For example, about 0.08 mm in diameter) (that is, the first stylus 14 is thinner than the second stylus 15). Further, while the length of the first stylus 14 needs to be larger than the depth d1, it also needs to be relatively short so as not to break. In contrast, since the second stylus 15 is thicker than the first stylus 14, the length of the second stylus 15 may be relatively long. Therefore, the first stylus 14 is shorter than the second stylus 15. The second stylus 15 may have a spherical tip portion suitable for contacting the work W from each of the X, Y, and Z directions. For example, the dimensions of the second stylus 15 (eg, length, sphere diameter, etc.) may be stored in the storage device 32. Since the first stylus 14 is intended to come into contact with the work W only in the Z direction for the measurement of the depth d1, it has a simple rod-shaped (for example, round bar-shaped) tip. You may be. In other embodiments, the first stylus 14 does not have to be rod-shaped. In this case, by imparting a desired shape to the molding material 6, the shape can be transferred to the first stylus 14.

図１を参照して、回転装置１３は、回転軸線Ｏｓを中心にしてホルダ１２を回転させるように構成されている。回転装置１３は、例えば、サーボモータ等の構成要素を含むことができる。回転装置１３の回転は、ＮＣ装置によって制御されることができる。加工機１００では、回転軸線Ｏｓに対して平行な方向がＺ方向（上下方向）である。Ｚ方向に対して垂直な平行のうち、主軸１の支持機構とテーブル２とが対向する方向がＹ方向（前後方向）である。Ｚ方向及びＹ方向に対して垂直な方向が、Ｘ方向（左右方向）である。 With reference to FIG. 1, the rotating device 13 is configured to rotate the holder 12 about the rotation axis Os. The rotating device 13 can include components such as a servomotor, for example. The rotation of the rotating device 13 can be controlled by the NC device. In the processing machine 100, the direction parallel to the rotation axis Os is the Z direction (vertical direction). Of the parallels perpendicular to the Z direction, the direction in which the support mechanism of the main shaft 1 and the table 2 face each other is the Y direction (front-back direction). The direction perpendicular to the Z direction and the Y direction is the X direction (horizontal direction).

テーブル２は、ワークＷを支持するように構成されている。例えば、ワークＷは、テーブル２上に着脱可能に固定されたバイス２１を介して、テーブル２上に固定されることができる。主軸１とテーブル２とは、Ｘ，Ｙ及びＺ軸方向において、相互に相対的に移動するように構成されている。例えば、本実施形態では、テーブル２が固定され、主軸１が、各方向の駆動装置によって、Ｘ，Ｙ及びＺ軸方向に移動されるように構成されている。代替的に、テーブル２が、Ｘ，Ｙ及びＺ軸方向のうちの少なくとも１つの方向に移動するように構成されていてもよい。各方向の駆動装置は、例えば、直動ガイド、ボールねじ及び／又はサーボモータ等の構成要素を含むことができる。Ｘ，Ｙ及びＺ軸方向の移動は、ＮＣ装置によって制御されることができる。テーブル２の上方の空間は、加工槽（不図示）によって囲われることができ、ワークＷ又は第１の測定子１４が成形されるとき（詳しくは後述）には、加工部位が加工液に浸される。 The table 2 is configured to support the work W. For example, the work W can be fixed on the table 2 via a vise 21 that is detachably fixed on the table 2. The spindle 1 and the table 2 are configured to move relative to each other in the X, Y, and Z axis directions. For example, in the present embodiment, the table 2 is fixed, and the spindle 1 is configured to be moved in the X, Y, and Z axis directions by a driving device in each direction. Alternatively, the table 2 may be configured to move in at least one of the X, Y and Z axis directions. The drive device in each direction can include components such as, for example, a linear motion guide, a ball screw and / or a servomotor. Movement in the X, Y and Z axis directions can be controlled by the NC device. The space above the table 2 can be surrounded by a processing tank (not shown), and when the work W or the first stylus 14 is formed (details will be described later), the processed portion is immersed in the processing liquid. Will be done.

加工機１００は、テーブル２上に、成形材６と、測定基準７と、を更に備えている。例えば、成形材６は、テーブル２上に着脱可能に固定された冶具６１を介して、テーブル２上に固定されることができる。成形材６は、テーブル２が主軸１に対して相対移動可能であることから、同様に、主軸１に対して相対移動可能である。成形材６は、導電性を有しており、成形材６と、把持部１２によって支持された材料（例えば、電極１１）と、の間に放電現象を生じさせることによって、第１の測定子１４を成形するように構成されている。例えば、このような成形材６は、第１の測定子１４の材料よりも放電現象による減少が遅い材料（例えば、銅タングステン）で作製されてもよい。例えば、成形材６は、平板形状を有してもよい。 The processing machine 100 further includes a molding material 6 and a measurement reference 7 on the table 2. For example, the molding material 6 can be fixed on the table 2 via a jig 61 that is detachably fixed on the table 2. Since the table 2 is movable relative to the spindle 1, the molding material 6 is similarly movable relative to the spindle 1. The molding material 6 has conductivity, and by causing a discharge phenomenon between the molding material 6 and the material supported by the grip portion 12 (for example, the electrode 11), the first stylus It is configured to mold 14. For example, such a molding material 6 may be made of a material (for example, copper tungsten) whose decrease due to the discharge phenomenon is slower than that of the material of the first stylus 14. For example, the molding material 6 may have a flat plate shape.

測定基準７は、テーブル２上の原点を定義するために使用されることができる。測定基準７は、テーブル２上に着脱可能に固定されることができる。例えば、測定基準７は、商業的に入手可能な芯出し球であってもよい。例えば、測定基準７は、球状の先端部を有することができ、球の中心がテーブル２上の原点として定義されることができる。球の半径及びＮＣ装置の座標系における球の中心の位置（測定基準７の位置）は、例えば、制御装置３の記憶装置３２に予め記憶されることができる。 The metric 7 can be used to define the origin on the table 2. The measurement reference 7 can be detachably fixed on the table 2. For example, the metric 7 may be a commercially available centering sphere. For example, the measurement reference 7 can have a spherical tip, and the center of the sphere can be defined as the origin on the table 2. The radius of the sphere and the position of the center of the sphere in the coordinate system of the NC device (position of the measurement reference 7) can be stored in advance in the storage device 32 of the control device 3, for example.

制御装置３は、加工機１００の構成要素と無線で又は有線で通信可能に接続されており、これら構成要素を制御するように構成されている。例えば、制御装置３は、上記のＮＣ装置を含んでもよい。また、例えば、制御装置３は、電極交換装置５等の機械構成要素を制御するための機械制御装置を含んでもよい。例えば、制御装置３は、ＣＰＵ等のプロセッサ３１と、ハードディスクドライブ等の記憶装置３２と、表示装置３３（例えば、液晶ディスプレイ及び／又タッチパネル）と、を有することができる。例えば、プロセッサ３１は、記憶装置３２に記憶されたプログラムにしたがって、以下に示される動作を実行してもよい。また、例えば、制御装置３は、ＲＯＭ（read only memory）、ＲＡＭ（random access memory）、及び／又は、入力装置（例えば、マウス、キーボード及び／又タッチパネル）等の他の構成要素を更に備えることができ、制御装置３の構成要素は、バス（不図示）等を介して互いに接続されることができる。制御装置３は、他の構成要素を更に備えていてもよい。例えば、制御装置３は、コンピュータ、サーバー、又は、タブレット等であることができる。 The control device 3 is wirelessly or wiredly and communicably connected to the components of the processing machine 100, and is configured to control these components. For example, the control device 3 may include the above NC device. Further, for example, the control device 3 may include a mechanical control device for controlling mechanical components such as the electrode changing device 5. For example, the control device 3 can include a processor 31 such as a CPU, a storage device 32 such as a hard disk drive, and a display device 33 (for example, a liquid crystal display and / or a touch panel). For example, the processor 31 may execute the operations shown below according to the program stored in the storage device 32. Further, for example, the control device 3 further includes other components such as a ROM (read only memory), a RAM (random access memory), and / or an input device (for example, a mouse, a keyboard, and / or a touch panel). The components of the control device 3 can be connected to each other via a bus (not shown) or the like. The control device 3 may further include other components. For example, the control device 3 can be a computer, a server, a tablet, or the like.

電源４は、制御装置３と無線で又は有線で通信可能に接続されており、制御装置３からの指令に基づいて、動作するように構成されている。例えば、電源４は、第１の測定子１４の成形の場合には、ホルダ１２に取り付けられた材料と、成形材６との間に第１のパルス電圧Ｖ１を印加する。また、電源４は、ワークＷの加工の場合には、ホルダ１２に取り付けられた電極１１と、ワークＷとの間に第２のパルス電圧Ｖ２を印加する。また、電源４は、第１の測定子１４又は第２の測定子１５を用いて測定が行われる場合には、ホルダ１２に取り付けられた第１の測定子１４又は第２の測定子１５と、ワークＷ又は測定基準７との間に第３のパルス電圧Ｖ３を印加する。第３のパルス電圧Ｖ３は、放電加工が実質的に行われないように、第１のパルス電圧Ｖ１及び第２のパルス電圧Ｖ２よりも小さい。 The power supply 4 is wirelessly or wiredly and communicably connected to the control device 3, and is configured to operate based on a command from the control device 3. For example, in the case of molding the first stylus 14, the power supply 4 applies a first pulse voltage V1 between the material attached to the holder 12 and the molding material 6. Further, in the case of processing the work W, the power supply 4 applies a second pulse voltage V2 between the electrode 11 attached to the holder 12 and the work W. Further, the power supply 4 is connected to the first stylus 14 or the second stylus 15 attached to the holder 12 when the measurement is performed using the first stylus 14 or the second stylus 15. , A third pulse voltage V3 is applied between the work W or the measurement reference 7. The third pulse voltage V3 is smaller than the first pulse voltage V1 and the second pulse voltage V2 so that electric discharge machining is not substantially performed.

電極交換装置５は、ホルダ１２に取り付けられる電極１１、第１の測定子１４、及び、第２の測定子１５を交換するように構成されている。例えば、電極交換装置５は、マガジン５１を有している。電極交換装置５は、他の構成要素を更に有してもよい（例えば、アーム等）。マガジン５１は、複数の電極１１、第１の測定子１４、及び、第２の測定子１５を保管するように構成されている。電極交換装置５の動作は、例えば、機械制御装置によって制御されることができる。 The electrode changing device 5 is configured to replace the electrode 11, the first stylus 14, and the second stylus 15 attached to the holder 12. For example, the electrode changing device 5 has a magazine 51. The electrode changing device 5 may further have other components (for example, an arm or the like). The magazine 51 is configured to store a plurality of electrodes 11, a first stylus 14, and a second stylus 15. The operation of the electrode changing device 5 can be controlled by, for example, a mechanical control device.

続いて、加工機１００の動作について説明する。 Subsequently, the operation of the processing machine 100 will be described.

図３は、実施形態に係るワークの製造方法を示すフローチャートである。例えば、図３に示される各動作は、ワークＷをテーブル２に取り付けた後に、オペレータによって指令が制御装置３に入力されたときに開始されることができる。制御装置３のプロセッサ３１は、第２の測定子１５を用いて、測定基準７を測定するように加工機１００を制御する（ステップＳ１００）。具体的には、図１を参照して、プロセッサ３１は、第２の測定子１５をホルダ１２に取り付けるように電極交換装置５を制御し、続いて、第２の測定子１５を測定基準７に近づけるように、主軸１のＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の駆動装置の少なくとも１つを制御する。例えば、測定基準７の位置は、記憶装置３２に予め記憶されていてもよく、プロセッサ３１は、記憶されている位置に向けて第２の測定子１５を移動させてもよい。また、プロセッサ３１は、第２の測定子１５と測定基準７との間に第３のパルス電圧Ｖ３を印加するように、電源４を制御する。プロセッサ３１は、第２の測定子１５と測定基準７とが接触して第２の測定子１５と測定基準７との間の導通が検知された場合に、測定基準７が測定されたと判断することができる。例えば、プロセッサ３１は、測定された測定基準７の球の中心の位置（ＮＣ装置の座標系における位置）を、テーブル２上の原点として定義することができる。 FIG. 3 is a flowchart showing a method of manufacturing a work according to an embodiment. For example, each operation shown in FIG. 3 can be started when a command is input to the control device 3 by the operator after the work W is attached to the table 2. The processor 31 of the control device 3 uses the second stylus 15 to control the processing machine 100 so as to measure the measurement reference 7 (step S100). Specifically, referring to FIG. 1, the processor 31 controls the electrode changing device 5 so as to attach the second stylus 15 to the holder 12, and subsequently attaches the second stylus 15 to the measurement reference 7. At least one of the drive devices in the X direction, the Y direction, and the Z direction of the spindle 1 is controlled so as to approach. For example, the position of the measurement reference 7 may be stored in advance in the storage device 32, and the processor 31 may move the second stylus 15 toward the stored position. Further, the processor 31 controls the power supply 4 so as to apply the third pulse voltage V3 between the second stylus 15 and the measurement reference 7. The processor 31 determines that the measurement reference 7 has been measured when the second stylus 15 and the measurement reference 7 come into contact with each other and the continuity between the second stylus 15 and the measurement reference 7 is detected. be able to. For example, the processor 31 can define the position of the center of the sphere of the measured measurement reference 7 (the position in the coordinate system of the NC device) as the origin on the table 2.

図３を参照して、続いて、プロセッサ３１は、第２の測定子１５を用いて、ワークＷの基準（ワークＷの位置）を測定するように加工機１００を制御する（ステップＳ１０２）。具体的には、図１を参照して、プロセッサ３１は、第２の測定子１５をワークＷに近づけるように、主軸１のＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の駆動装置の少なくとも１つを制御する。例えば、ワークＷの基準は、オペレータによってワークＷ上の１つ又は複数の任意の点に予め定められてもよい。また、例えば、ワークＷの基準の位置（計算上の位置）は、オペレータによって制御装置３に予め入力されてもよく、プロセッサ３１は、入力された位置に向けて第２の測定子１５を移動させてもよい。また、プロセッサ３１は、第２の測定子１５とワークＷとの間に第３のパルス電圧Ｖ３を印加するように、電源４を制御する。プロセッサ３１は、第２の測定子１５とワークＷとが接触して第２の測定子１５とワークＷとの間の導通が検知された場合に、ワークＷが測定されたと判断することができる。例えば、プロセッサ３１は、ステップＳ１００において測定された測定基準７の位置と、ステップＳ１０２において測定されたワークＷの位置（ＮＣ装置の座標系における位置）と、に基づいて、テーブル２上におけるワークＷの位置を定義することができる。 With reference to FIG. 3, the processor 31 subsequently controls the machine 100 to measure the reference (position of the work W) of the work W using the second stylus 15 (step S102). Specifically, referring to FIG. 1, the processor 31 controls at least one of the drive devices in the X, Y, and Z directions of the spindle 1 so that the second stylus 15 approaches the work W. To do. For example, the reference of the work W may be predetermined by the operator at one or more arbitrary points on the work W. Further, for example, the reference position (calculated position) of the work W may be input in advance to the control device 3 by the operator, and the processor 31 moves the second stylus 15 toward the input position. You may let me. Further, the processor 31 controls the power supply 4 so as to apply a third pulse voltage V3 between the second stylus 15 and the work W. The processor 31 can determine that the work W has been measured when the second stylus 15 and the work W come into contact with each other and the continuity between the second stylus 15 and the work W is detected. .. For example, the processor 31 has the work W on the table 2 based on the position of the measurement reference 7 measured in step S100 and the position of the work W measured in step S102 (the position in the coordinate system of the NC device). The position of can be defined.

図３を参照して、続いて、プロセッサ３１は、第１の測定子１４を成形するように加工機１００を制御する（ステップＳ１０４）。図１を参照して、例えば、プロセッサ３１は、複数の電極１１の中から選択された電極をホルダ１２に取り付けるように、電極交換装置５を制御することができる。続いて、プロセッサ３１は、選択された電極１１を成形材６の表面（例えば、ＹＺ平面に対して平行な表面）に沿ってもしくは向かって移動させるように、主軸１のＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の駆動装置の少なくとも１つを制御する。電極１１が成形材６に沿ってもしくは向かって移動する際に、プロセッサ３１は、電極１１を回転するように回転装置１３を制御する。また、プロセッサ３１は、選択された電極１１と成形材６との間に第１のパルス電圧Ｖ１を印加するように、電源４を制御する。回転する電極１１と成形材６とが互いに相対的に移動される間に、電極１１が放電加工によって細くされ、これによって、第１の測定子１４が成形される。例えば、電極１１と成形材６との間の移動は、往復式に複数回繰り返されてもよい。また、この複数回の往復のセットが、複数工程繰り返されてもよい。 With reference to FIG. 3, the processor 31 subsequently controls the processing machine 100 to form the first stylus 14 (step S104). With reference to FIG. 1, for example, the processor 31 can control the electrode changing device 5 so that an electrode selected from a plurality of electrodes 11 is attached to the holder 12. Subsequently, the processor 31 moves the selected electrode 11 along or toward the surface of the molding material 6 (for example, a surface parallel to the YZ plane) in the X and Y directions of the spindle 1. Controls at least one of the Z-direction drives. As the electrode 11 moves along or toward the molding material 6, the processor 31 controls the rotating device 13 to rotate the electrode 11. Further, the processor 31 controls the power supply 4 so as to apply the first pulse voltage V1 between the selected electrode 11 and the molding material 6. While the rotating electrode 11 and the molding material 6 are relatively moved to each other, the electrode 11 is thinned by electric discharge machining, whereby the first stylus 14 is formed. For example, the movement between the electrode 11 and the molding material 6 may be repeated a plurality of times in a reciprocating manner. Further, this set of a plurality of round trips may be repeated in a plurality of steps.

図４は、図１中の制御装置３の表示装置３３に示される画面の一例であり、第１の測定子１４を成形する際に用いられる画像を示す。第１の測定子１４を成形する際（ステップＳ１０４）に、例えば、オペレータは、項目ｉ１〜ｉ５のみを最低限入力する必要がある。例えば、ｉ１は、プログラム番号である。第１の測定子１４を成形するためのプログラムの番号（例えば、図４では９０２０）がｉ１に入力されると、項目ｉ１よりも下の他の項目が表示される。なお、第１の測定子１４を成形するためのプログラムは、既存の電極１１から微細な電極を成形するためにも使用することができる。ｉ２，ｉ３は、それぞれＸ方向及びＹ方向におけるプログラム開始位置であり、材料となる電極１１と成形材６は接触しておらず、電極１１の成形材６における初期の位置を示す。ｉ４は目標成形長さであり、オペレータは、目標成形長さｉ３を入力することによって、放電加工によって細くされる部分の長さを設定することができる。例えば、目標成形長さｉ３に材料（電極１１）のホルダ１２からの突出長さよりも小さい値を入力することによって、先端が細く根元が太い第１の測定子１４を作製することができる。このような第１の測定子１４は、曲げに対してより高い抵抗を有する。ｉ５は目標仕上り径であり、オペレータは、目標仕上り径ｉ５を入力することによって、放電加工によって細くされる部分の直径を設定することができる。オペレータは、上記の項目ｉ１〜ｉ５を入力するのみで、第１の測定子１４を成形することができる。 FIG. 4 is an example of a screen shown on the display device 33 of the control device 3 in FIG. 1, and shows an image used when molding the first stylus 14. When molding the first stylus 14 (step S104), for example, the operator needs to input only the items i1 to i5 at a minimum. For example, i1 is a program number. When the number of the program for forming the first stylus 14 (for example, 9020 in FIG. 4) is input to i1, other items below the item i1 are displayed. The program for molding the first stylus 14 can also be used for molding a fine electrode from the existing electrode 11. i2 and i3 are program start positions in the X and Y directions, respectively, and the electrode 11 as a material and the molding material 6 are not in contact with each other, and indicate the initial positions of the electrode 11 in the molding material 6. i4 is a target forming length, and the operator can set the length of the portion to be thinned by electric discharge machining by inputting the target forming length i3. For example, by inputting a value smaller than the protrusion length of the material (electrode 11) from the holder 12 into the target molding length i3, the first stylus 14 having a thin tip and a thick root can be manufactured. Such a first stylus 14 has a higher resistance to bending. i5 is a target finished diameter, and the operator can set the diameter of the portion to be thinned by electric discharge machining by inputting the target finished diameter i5. The operator can mold the first stylus 14 only by inputting the above items i1 to i5.

項目ｉ６〜ｉ１０は、任意に入力されてもよい。例えば、項目ｉ６は、上記の電極１１と成形材６との間の移動の最終工程における、往復の回数である。例えば、オペレータは、項目ｉ６により多い回数を入力することによって、加工精度を向上させることができる。項目ｉ７は、成形材６への電極１１のアプローチ方向である（例えば、図１において、Ｘ方向において正方向又は負方向）。図４を参照して、項目ｉ８，ｉ９は、それぞれ電極１１の中心位置のシフト量及び電極１１の成形長さのシフト量である。例えば、ステップＳ１０４を実施した後に第１の測定子１４が所望の寸法に成形されなかった場合には、オペレータは、項目ｉ８及び／又は項目ｉ９を入力してステップＳ１０４を再度実施することによって、第１の測定子１４を修正することができる。項目ｉ１０は、電極１１の回転数である。 Items i6 to i10 may be arbitrarily input. For example, item i6 is the number of round trips in the final step of movement between the electrode 11 and the molding material 6. For example, the operator can improve the machining accuracy by inputting a larger number of times in the item i6. Item i7 is the approach direction of the electrode 11 to the molding material 6 (for example, in FIG. 1, the positive direction or the negative direction in the X direction). With reference to FIG. 4, items i8 and i9 are the shift amount of the center position of the electrode 11 and the shift amount of the molding length of the electrode 11, respectively. For example, if the first stylus 14 is not formed to the desired dimensions after performing step S104, the operator may enter item i8 and / or item i9 and perform step S104 again. The first stylus 14 can be modified. Item i10 is the rotation speed of the electrode 11.

図３を参照して、続いて、プロセッサ３１は、第１の測定子１４と第２の測定子１５との間の長さの差を測定するように加工機１００を制御する（ステップＳ１０６）。具体的には、図１を参照して、プロセッサ３１は、成形された第１の測定子１４を測定基準７に近づけるように、主軸１のＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の駆動装置の少なくとも１つを制御する。また、プロセッサ３１は、第１の測定子１４と測定基準７との間に第３のパルス電圧Ｖ３を印加するように、電源４を制御する。プロセッサ３１は、第１の測定子１４と測定基準７とが接触して第１の測定子１４と測定基準７との間の導通が検知された場合に、測定基準７が測定されたと判断することができる。例えば、プロセッサ３１は、ステップＳ１００において第２の測定子１５によって測定基準７が検知されたときの主軸１のＺ方向位置と、ステップＳ１０６において第１の測定子１４によって測定基準７が検知されたときの主軸１のＺ方向位置と、の差を求めることによって、第１の測定子１４と第２の測定子１５との間の長さの差を算出することができる。 With reference to FIG. 3, the processor 31 subsequently controls the machine 100 to measure the difference in length between the first stylus 14 and the second stylus 15 (step S106). .. Specifically, referring to FIG. 1, the processor 31 drives at least the X, Y, and Z directions of the spindle 1 so that the molded first stylus 14 approaches the measurement reference 7. Control one. Further, the processor 31 controls the power supply 4 so as to apply a third pulse voltage V3 between the first stylus 14 and the measurement reference 7. The processor 31 determines that the measurement reference 7 has been measured when the first stylus 14 and the measurement reference 7 come into contact with each other and the continuity between the first stylus 14 and the measurement reference 7 is detected. be able to. For example, in the processor 31, the Z-direction position of the spindle 1 when the measurement reference 7 is detected by the second stylus 15 in step S100, and the measurement reference 7 is detected by the first stylus 14 in step S106. By obtaining the difference between the position of the spindle 1 in the Z direction and the time, the difference in length between the first stylus 14 and the second stylus 15 can be calculated.

図３を参照して、続いて、プロセッサ３１は、ワークＷを加工するように加工機１００を制御する（ステップＳ１０８）。具体的には、図１を参照して、プロセッサ３１は、複数の電極１１の中から選択された電極をホルダ１２に取り付けるように電極交換装置５を制御し、続いて、ワークＷに所望の微細溝ｐを含む形状が成形されるように、主軸１のＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の駆動装置の少なくとも１つを制御する。電極１１がワークＷに対して移動する際に、プロセッサ３１は、電極１１を回転するように回転装置１３を制御してもよい。また、プロセッサ３１は、電極１１とワークＷとの間に第２のパルス電圧Ｖ２を印加するように、電源４を制御する。電極１１とワークＷとが互いに相対的に移動される間に、ワークＷに所望の微細溝ｐを含む形状が成形され、これによって、ワークＷが製造される。 With reference to FIG. 3, the processor 31 subsequently controls the processing machine 100 to process the work W (step S108). Specifically, referring to FIG. 1, the processor 31 controls the electrode changing device 5 so as to attach an electrode selected from the plurality of electrodes 11 to the holder 12, and subsequently, the work W is desired. At least one of the driving devices in the X direction, the Y direction, and the Z direction of the spindle 1 is controlled so that the shape including the fine groove p is formed. When the electrode 11 moves with respect to the work W, the processor 31 may control the rotating device 13 to rotate the electrode 11. Further, the processor 31 controls the power supply 4 so as to apply a second pulse voltage V2 between the electrode 11 and the work W. While the electrode 11 and the work W are relatively moved to each other, the work W is formed into a shape including the desired fine groove p, whereby the work W is manufactured.

図３を参照して、続いて、プロセッサ３１は、成形された微細溝ｐの近傍（例えば、上方の位置）に第１の測定子１４を移動するように加工機１００を制御する（ステップＳ１１０）。具体的には、図１を参照して、プロセッサ３１は、第１の測定子１４をホルダ１２に取り付けるように電極交換装置５を制御し、続いて、微細溝ｐの近傍に第１の測定子１４を移動するように、主軸１のＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の駆動装置の少なくとも１つを制御する。例えば、微細溝ｐの近傍の位置は、オペレータによって予め制御装置３に入力されてもよい。 With reference to FIG. 3, the processor 31 subsequently controls the machine 100 to move the first stylus 14 to the vicinity (eg, upper position) of the formed microgroove p (step S110). ). Specifically, referring to FIG. 1, the processor 31 controls the electrode changing device 5 so as to attach the first stylus 14 to the holder 12, followed by the first measurement in the vicinity of the microgroove p. At least one of the X-direction, Y-direction, and Z-direction drive devices of the spindle 1 is controlled so as to move the child 14. For example, the position near the fine groove p may be input to the control device 3 in advance by the operator.

図３を参照して、続いて、プロセッサ３１は、第１の測定子１４がワークＷの微細溝ｐの底を測定するように、加工機１００を制御する（ステップＳ１１２）。具体的には、図１を参照して、プロセッサ３１は、第１の測定子１４を丸棒形状の中心軸線（主軸１の回転軸線Ｏｓ）に沿って移動させて、丸棒形状の先端をワークＷの微細溝ｐの底の狭いエリアに接触させるように、主軸１のＺ方向の駆動装置を制御する。また、プロセッサ３１は、第１の測定子１４とワークＷとの間に第３のパルス電圧Ｖ３を印加するように、電源４を制御する。プロセッサ３１は、第１の測定子１４とワークＷとが接触して第１の測定子１４とワークＷとの間の導通が検知された場合に、微細溝ｐの底が測定されたと判断することができる。 With reference to FIG. 3, the processor 31 subsequently controls the processing machine 100 so that the first stylus 14 measures the bottom of the microgroove p of the work W (step S112). Specifically, referring to FIG. 1, the processor 31 moves the first stylus 14 along the central axis of the round bar shape (rotational axis Os of the spindle 1) to move the tip of the round bar shape. The drive device in the Z direction of the spindle 1 is controlled so as to come into contact with the narrow area at the bottom of the fine groove p of the work W. Further, the processor 31 controls the power supply 4 so as to apply a third pulse voltage V3 between the first stylus 14 and the work W. The processor 31 determines that the bottom of the fine groove p has been measured when the first stylus 14 and the work W come into contact with each other and the continuity between the first stylus 14 and the work W is detected. be able to.

図３を参照して、続いて、プロセッサ３１は、測定結果を記憶装置３２に保存し（ステップＳ１１４）、一連の動作を終了する。例えば、プロセッサ３１は、ステップＳ１１２で測定された微細溝ｐの底の位置、ステップＳ１０２において測定されたワークＷの基準の位置、及び、ステップＳ１０６において測定された第１の測定子１４の長さと第２の測定子１５の長さとの間の差を用いて、微細溝ｐの深さを求めることができる。例えば、微細溝ｐの深さが所望の値と異なる場合、プロセッサ３１は、ステップＳ１０８〜Ｓ１１２を繰り返すことによって、ワークＷを加工機１００から取り外すことなく、ワークＷを再加工することができる。プロセッサは、これらの測定結果（微細溝ｐの底の位置、ワークＷの基準の位置、第１の測定子１４の長さと第２の測定子１５の長さとの間の差、及び、微細溝ｐの深さのうちの少なくとも１つ）を、記憶装置３２に保存する。 With reference to FIG. 3, the processor 31 subsequently stores the measurement result in the storage device 32 (step S114) and ends a series of operations. For example, the processor 31 has the position of the bottom of the fine groove p measured in step S112, the reference position of the work W measured in step S102, and the length of the first stylus 14 measured in step S106. The depth of the fine groove p can be determined by using the difference from the length of the second stylus 15. For example, when the depth of the fine groove p is different from the desired value, the processor 31 can reprocess the work W by repeating steps S108 to S112 without removing the work W from the processing machine 100. The processor has these measurement results (the position of the bottom of the microgroove p, the reference position of the work W, the difference between the length of the first stylus 14 and the length of the second stylus 15, and the microgroove. At least one of the depths of p) is stored in the storage device 32.

以上のような実施形態に係る加工機１００によれば、ホルダ１２に取り付けられた材料と、成形材６との間に第１のパルス電圧Ｖ１を印加することによって、加工機１００上でワークＷを測定するための第１の測定子１４が成形される。このような放電加工によれば、微細な測定子１４を成形することが可能である。また、この第１の測定子１４をホルダ１２に取り付けて、第１の測定子１４とワークＷとの間の接触を検知することによって、加工機１００上でワークＷを測定することができる。したがって、加工機１００からワークＷを取り外すことなく、ワークＷの微細溝ｐを測定することができる。 According to the processing machine 100 according to the above embodiment, the work W is applied on the processing machine 100 by applying the first pulse voltage V1 between the material attached to the holder 12 and the molding material 6. A first stylus 14 for measuring is formed. By such electric discharge machining, it is possible to form a fine stylus 14. Further, the work W can be measured on the processing machine 100 by attaching the first stylus 14 to the holder 12 and detecting the contact between the first stylus 14 and the work W. Therefore, the fine groove p of the work W can be measured without removing the work W from the processing machine 100.

また、加工機１００では、制御装置３は、回転する主軸１のホルダ１２に取り付けられた材料と、主軸１に対して相対移動する成形材６と、の間に第１のパルス電圧Ｖ１を印加することによって、丸棒形状の第１の測定子１４を成形することと、電極１１によって、ワークＷに微細溝ｐを形成することと、第１の測定子１４を丸棒形状の中心軸線に沿って（すなわち、ｚ方向に沿って）移動させて、丸棒形状の先端をワークＷの微細溝ｐの底に接触させることによって、微細溝ｐの底の位置を測定することと、を実行するように構成されている。したがって、第１の測定子１４はワークＷに対して半径方向から接触する必要はなく、したがって、単純な丸棒形状であることができる。よって、第１の測定子１４を容易に成形することができ、かつ、微細溝ｐにも容易に挿入することができる。 Further, in the processing machine 100, the control device 3 applies a first pulse voltage V1 between the material attached to the holder 12 of the rotating spindle 1 and the molding material 6 that moves relative to the spindle 1. By doing so, the first stylus 14 having a round bar shape is formed, the fine groove p is formed in the work W by the electrode 11, and the first stylus 14 is set to the central axis of the round bar shape. By moving along (that is, along the z direction) and bringing the tip of the round bar shape into contact with the bottom of the fine groove p of the work W, the position of the bottom of the fine groove p is measured. It is configured to do. Therefore, the first stylus 14 does not need to come into contact with the work W from the radial direction, and can therefore have a simple round bar shape. Therefore, the first stylus 14 can be easily formed and can be easily inserted into the fine groove p.

また、加工機１００は、第１の測定子１４よりも太い第２の測定子１５を更に備えており、制御装置３は、第１の測定子１４が成形された後に、第１の測定子１４の長さと第２の測定子１５の長さとの間の差を測定することと、第２の測定子１５によってワークＷの基準を測定することと、微細溝ｐの底の測定された位置、ワークＷの測定された基準、及び、第１の測定子１４の長さと第２の測定子１５の長さとの間の測定された差を用いて、微細溝ｐの深さを求めることと、を実行するように構成されている。したがって、より太い第２の測定子を用いて、半径方向を含む様々な方向からワークＷの基準を測定することができ、さらに、より細い第１の測定子を用いて、微細溝ｐの底を測定することができる。 Further, the processing machine 100 further includes a second stylus 15 that is thicker than the first stylus 14, and the control device 3 is a first stylus after the first stylus 14 is formed. Measuring the difference between the length of 14 and the length of the second stylus 15, measuring the reference of the work W with the second stylus 15, and the measured position of the bottom of the microgroove p. , The measured reference of the work W, and the measured difference between the length of the first stylus 14 and the length of the second stylus 15 to determine the depth of the microgroove p. , Is configured to run. Therefore, a thicker second stylus can be used to measure the work W reference from various directions, including the radial direction, and a thinner first stylus can be used to measure the bottom of the microgroove p. Can be measured.

また、実施形態に係る第１の測定子１４は、上記のように、加工機１００上で作製されることができ、また、微細であることができる。したがって、このような第１の測定子１４によれば、上記のように、加工機１００からワークＷを取り外すことなく、ワークＷの微細溝ｐを測定することができる。また、第１の測定子１４は、測定に使用されることが意図されているため、繰り返し使用することができる。 Further, the first stylus 14 according to the embodiment can be manufactured on the processing machine 100 and can be fine as described above. Therefore, according to such a first stylus 14, the fine groove p of the work W can be measured without removing the work W from the processing machine 100 as described above. Further, since the first stylus 14 is intended to be used for measurement, it can be used repeatedly.

また、実施形態に係るワークＷの製造方法によれば、上記のように、加工機１００からワークＷを取り外すことなく、ワークＷに形成された微細溝ｐの深さをより簡単に測定することができる。したがって、ワークＷの製造中に、微細溝ｐの加工精度を確認することができる。 Further, according to the method for manufacturing the work W according to the embodiment, as described above, the depth of the fine groove p formed in the work W can be measured more easily without removing the work W from the processing machine 100. Can be done. Therefore, the processing accuracy of the fine groove p can be confirmed during the production of the work W.

放電加工機、測定子及びワークの製造方法の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されない。当業者であれば、上記の実施形態の様々な変形が可能であることを理解するだろう。また、当業者であれば、上記の動作は、上記の順番で実施される必要はなく、矛盾が生じない限り、他の順番で実施可能であることを理解するだろう。 Although the embodiment of the method for manufacturing the electric discharge machine, the stylus and the workpiece has been described, the present invention is not limited to the above embodiment. Those skilled in the art will appreciate that various variations of the above embodiments are possible. Those skilled in the art will also understand that the above operations need not be performed in the above order and can be performed in any other order as long as there is no contradiction.

例えば、図３を参照して、上記の実施形態では、測定基準７の測定（ステップＳ１００）及びワークＷの基準の測定（ステップＳ１０２）の後に、第１の測定子１４の成形（ステップＳ１０４）及び第１の測定子１４と第２の測定子１５との間の長さの差の測定（ステップＳ１０６）が実施されている。しかしながら、他の実施形態では、ステップＳ１０４及びステップＳ１０６は、ステップＳ１００及びステップＳ１０２の前に実施されてもよい。また、第１の測定子１４は折れない限り繰り返し使用することができるので、微細溝ｐの測定に使用可能な第１の測定子１４が既に作製されている場合には、ステップＳ１０４及びステップＳ１０６は、省略されてもよい。 For example, with reference to FIG. 3, in the above embodiment, after the measurement of the measurement reference 7 (step S100) and the measurement of the reference of the work W (step S102), the first stylus 14 is formed (step S104). And the measurement of the difference in length between the first stylus 14 and the second stylus 15 (step S106) is carried out. However, in other embodiments, steps S104 and S106 may be performed before steps S100 and S102. Further, since the first stylus 14 can be used repeatedly as long as it is not broken, if the first stylus 14 that can be used for measuring the fine groove p has already been manufactured, steps S104 and S106 May be omitted.

また、上記の実施形態では、第１の測定子１４と第２の測定子１５との間の長さの差の測定（ステップＳ１０６）は、測定基準７を用いて実施されている。しかしながら、他の実施形態では、例えば、テーブル２上にレーザ測定器又はカメラ等の測定装置を搭載してもよく、第１の測定子１４の成形（ステップＳ１０４）の後に、この測定装置によって第１の測定子１４の長さ及び幅等の寸法を測定してもよい。この場合、測定された第１の測定子１４の長さと、既知の第２の測定子１５の長さとに基づいて、第１の測定子１４と第２の測定子１５との間の長さの差を求めることができる。 Further, in the above embodiment, the measurement of the difference in length between the first stylus 14 and the second stylus 15 (step S106) is performed using the measurement reference 7. However, in another embodiment, for example, a measuring device such as a laser measuring device or a camera may be mounted on the table 2, and after the molding of the first stylus 14 (step S104), the measuring device is used. Dimensions such as the length and width of the stylus 14 of 1 may be measured. In this case, the length between the first stylus 14 and the second stylus 15 based on the measured length of the first stylus 14 and the known length of the second stylus 15. The difference can be calculated.

１主軸
２テーブル
３制御装置
４電源
６成形材
１１電極
１２ホルダ（把持部）
１３回転装置
１４第１の測定子
１５第２の測定子
１００放電加工機
Ｏｓ回転軸線
ｐ微細溝
Ｗワーク 1 Spindle 2 Table 3 Control device 4 Power supply 6 Molding material 11 Electrode 12 Holder (grip part)
13 Rotating device 14 1st stylus 15 2nd stylus 100 Electric discharge machine Os Rotating axis p Fine groove W work

Claims

In an electric discharge machine that applies a pulse voltage between an electrode attached to a spindle and a work attached to a table to perform electric discharge machining of the work.
An electrode for processing the work, a grip portion for gripping the first stylus for measuring the work, and a spindle having a rotating device,
A molding material that is provided so as to be movable relative to the spindle, has conductivity, and forms the first stylus, and
A control device that measures the work by detecting contact between the first stylus and the work.
In the case of molding the first stylus, a pulse voltage is applied between the material attached to the grip portion and the molding material, and in the case of processing the work, it is attached to the grip portion. A power supply that applies a pulse voltage between the electrode and the work,
An electric discharge machine characterized by being equipped with.

The control device is
By applying a pulse voltage between the material attached to the grip portion of the rotating spindle and the molding material that moves relative to the spindle, the first stylus having a round bar shape is formed. Molding and
By forming a recess in the work by the electrode,
The position of the bottom of the recess is measured by moving the first stylus along the central axis of the round bar and bringing the tip of the round bar into contact with the bottom of the recess of the work. That and
The electric discharge machine according to claim 1, wherein the electric discharge machine is configured to perform the above.

A second stylus that is thicker than the first stylus is further provided.
The control device is
After the first stylus is molded, measuring the difference between the length of the first stylus and the length of the second stylus
Measuring the reference of the work by the second stylus and
Using the measured position of the bottom of the recess, the measured reference of the work, and the measured difference between the length of the first stylus and the length of the second stylus, Finding the depth of the recess and
The electric discharge machine according to claim 2, wherein the electric discharge machine is configured to perform the above.

A stylus used in an electric discharge machine that applies a pulse voltage between an electrode attached to a spindle and a workpiece attached to a table to perform electric discharge machining of the workpiece.
A stylus formed by applying a pulse voltage between a material attached to a grip portion of the spindle and a conductive molding material that moves relative to the spindle.

A method for manufacturing a work including a recess in an electric discharge machine that applies a pulse voltage between an electrode attached to a spindle and a work attached to a table to perform electric discharge machining of the work.
The electric discharge machine is provided so as to be movable relative to the spindle having an electrode for machining the workpiece, a grip portion for gripping the first stylus for measuring the workpiece, and a spindle having a rotating device, and is conductive. A control device for measuring the work by detecting contact between the molding material for forming the first stylus, the first stylus and the work, and the first stylus. In the case of molding the stylus, a pulse voltage is applied between the material attached to the grip portion and the molding material, and in the case of machining the workpiece, the electrode attached to the grip portion is used. A power supply for applying a pulse voltage between the workpiece and the work is provided.
The method is
By applying a pulse voltage between the material attached to the grip portion of the spindle and the molding material that moves relative to the spindle, the first stylus is formed.
By forming a recess in the work by the electrode,
By bringing the tip of the first stylus into contact with the bottom of the recess of the work, the position of the bottom of the recess is measured.
Methods for manufacturing workpieces, including.