JP3290127B2 - Heat conductive silicone rubber composition and heat dissipation sheet comprising the heat conductive silicone rubber composition - Google Patents

Heat conductive silicone rubber composition and heat dissipation sheet comprising the heat conductive silicone rubber composition

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JP3290127B2
JP3290127B2 JP1456598A JP1456598A JP3290127B2 JP 3290127 B2 JP3290127 B2 JP 3290127B2 JP 1456598 A JP1456598 A JP 1456598A JP 1456598 A JP1456598 A JP 1456598A JP 3290127 B2 JP3290127 B2 JP 3290127B2
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inorganic filler
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    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73253Bump and layer connectors

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、トランジスター、
コンピューターのCPU(中央演算処理装置)等の電気
部品と放熱器との間に配置され、電子・電気部品から発
生する熱を放熱器に伝導する放熱シートを形成するため
に好適な熱伝導性シリコーンゴム組成物及びこの熱伝導
性シリコーンゴム組成物にて成形された放熱シートに関
するものである。
The present invention relates to a transistor,
Thermal conductive silicone which is arranged between an electric component such as a CPU (Central Processing Unit) of a computer and a radiator and is suitable for forming a heat radiating sheet for conducting heat generated from electronic and electric components to the radiator. The present invention relates to a rubber composition and a heat radiation sheet formed from the thermally conductive silicone rubber composition.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年パソコン、ワークステーション等の
クロック数の増加や、集積度の増加に伴い、電子部品4
からの発熱量が増加している。またパワーIC等の発熱
も様々な問題を抱えている。これらの電子部品4からの
発熱を効率よく放熱するためには、図2(a)に示すよ
うに半田バンプ等の実装用電極8を介して基板6に実装
された電子部品4に放熱器5を設けることが一般的に行
なわれている。ここで電子部品4と放熱器5との間に図
2(c)のように空隙7が生じた場合、この空隙7が熱
伝導の大きな抵抗となるため、放熱器5と電子部品4と
の間に放熱シート3を配置し、図2(b)のように放熱
器5と電子部品4の接合面の微妙な反りやうねりに放熱
シート3を沿わせることによって、空隙7が生じること
を防ぎ、電子部品4から発する熱を放熱器5に効率良く
伝導させるようにしている。
2. Description of the Related Art In recent years, with the increase in the number of clocks of personal computers and workstations and the increase in the degree of integration, electronic components 4
The calorific value from the air is increasing. Further, heat generation of the power IC and the like also has various problems. In order to efficiently radiate the heat generated from these electronic components 4, as shown in FIG. 2A, a radiator 5 is attached to the electronic components 4 mounted on the substrate 6 via mounting electrodes 8 such as solder bumps. Is generally performed. Here, if a gap 7 is formed between the electronic component 4 and the radiator 5 as shown in FIG. 2C, the gap 7 becomes a large resistance for heat conduction. The heat radiation sheet 3 is interposed between the heat radiation sheet 5 and the radiator 5 and the electronic component 4, as shown in FIG. 2 (b). The heat generated from the electronic component 4 is efficiently transmitted to the radiator 5.

【0003】従来このような放熱シート3のための材料
として、柔軟性を持ったゴムシート、両面に接着剤をコ
ーティングしたテープ、あるいは接着剤やグリース等の
ような形態のものが用いられており、いずれの形態のも
のにおいても熱伝導性フィラーをマトリックス樹脂に混
合分散することが行なわれている。この場合マトリッッ
クス樹脂としては、耐熱性、耐寒性に優れ、広い温度範
囲で良好な圧縮復元性を有するシリコーンゴムが用いら
れることが多く、また熱伝導性フィラーとしては、アル
ミナ、酸化マグネシウム、窒化ホウ素等の高熱伝導性の
無機フィラーを用いるものであり、この熱伝導性無機フ
ィラーをマトリックス樹脂に高充填量で混合分散するこ
とによって得られる熱伝導性シリコーンゴム組成物を加
熱成形して放熱シート3を形成することが行なわれてい
る。ここで、熱伝導性フィラーは放熱シート3の熱抵抗
をできる限り低減するために用いられるものであり、電
子機器の小型化、放熱器5の小型化、更には電子部品4
の発熱量の増加の傾向に伴い、電子部品4から発生した
熱をできる限り効率よく放熱器5から放熱させようとす
るものである。
Conventionally, a rubber sheet having flexibility, a tape coated with an adhesive on both sides, or a material such as an adhesive or grease has been used as a material for the heat radiation sheet 3. In either case, the heat conductive filler is mixed and dispersed in the matrix resin. In this case, as the matrix resin, a silicone rubber having excellent heat resistance and cold resistance and having good compression restorability in a wide temperature range is often used, and as the heat conductive filler, alumina, magnesium oxide, boron nitride is used. And the like. A heat-conductive silicone rubber composition obtained by mixing and dispersing the heat-conductive inorganic filler in a matrix resin at a high filling amount is heat-formed to form a heat dissipation sheet 3. Is formed. Here, the heat conductive filler is used to reduce the thermal resistance of the heat radiating sheet 3 as much as possible, so that the size of the electronic device, the size of the radiator 5 and the size of the electronic component 4 can be reduced.
The heat generated from the electronic component 4 is radiated from the radiator 5 as efficiently as possible in accordance with the tendency of the increase in the calorific value.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし熱伝導率を上昇
させるために単にシリコーンゴムに対する熱伝導性無機
フィラー充填量を増加させると、熱伝導性シリコーンゴ
ム組成物の成形スラリー粘度が上昇し、成形加工性が低
下したり、成形したシートの硬度が高硬度化することに
なる。このように放熱シート3が高硬度化すると、電子
部品4や放熱器5の接合面の微妙なうねりや反りに対し
ての追随性が低下し、放熱器5と電子部品4との間の空
隙7を充分に埋めることができないという問題が発生す
る。またこのような高硬度の放熱シート3を微妙なうね
りや反りに追随させようとすると、電子部品4と放熱シ
ート3の間にかなりの荷重を掛ける必要があり、電子部
品4に対して大きなダメージを与える恐れがある。
However, simply increasing the amount of the thermally conductive inorganic filler in the silicone rubber in order to increase the thermal conductivity increases the viscosity of the thermally conductive silicone rubber composition in the molding slurry. The workability is reduced, and the hardness of the formed sheet is increased. When the heat radiating sheet 3 becomes harder in this way, the ability of the joining surface of the electronic component 4 and the radiator 5 to follow a slight undulation or warp is reduced, and the gap between the radiator 5 and the electronic component 4 is reduced. 7 cannot be buried sufficiently. In order to make the heat-radiating sheet 3 of such high hardness follow fine undulations and warpages, it is necessary to apply a considerable load between the electronic component 4 and the heat-radiating sheet 3, resulting in large damage to the electronic component 4. May be given.

【0005】このような放熱シート3の高硬度化の問題
に対しては、樹脂中の主剤と硬化剤との組成比を変える
ことにより、すなわち樹脂の架橋密度を下げることによ
り、低硬度化と高充填化を両立することが可能である
が、そのような場合、放熱シート3のゴム弾性を低下さ
せ、圧縮永久歪み測定では歪みが著しく大きくなった
り、引裂強度が低下したりという新たな問題が生じるこ
とになる。
[0005] In order to solve the problem of increasing the hardness of the heat radiating sheet 3, it is possible to reduce the hardness by changing the composition ratio of the main agent and the curing agent in the resin, that is, by lowering the crosslinking density of the resin. Although it is possible to achieve both high filling, in such a case, the rubber elasticity of the heat radiating sheet 3 is reduced, and in the measurement of compression set, a new problem such as a remarkable increase in strain or a decrease in tear strength is caused. Will occur.

【0006】また熱伝導性無機フィラーの充填率が高い
場合には、ゴムの機械物性の耐熱信頼性を著しく低下さ
せる。例えば150〜200℃で長時間放置する際の機
械特性変化のデータを測定してみると、熱伝導性無機フ
ィラーの充填率を大きくすると、ゴム硬度が大きく上昇
すると共に、材料が脆化する(硬く脆くなる)。従って
熱伝導性無機フィラーの充填率を大きくすると、ゴム硬
度が大きくなると共に、引裂強度、引張強度が低下する
ものである。
[0006] When the filling rate of the thermally conductive inorganic filler is high, the heat resistance reliability of the mechanical properties of rubber is significantly reduced. For example, when the data of the change in mechanical properties when left at 150 to 200 ° C. for a long time is measured, when the filling rate of the thermally conductive inorganic filler is increased, the rubber hardness is greatly increased and the material is embrittled ( Hard and brittle). Therefore, when the filling rate of the thermally conductive inorganic filler is increased, the rubber hardness increases, and the tear strength and the tensile strength decrease.

【0007】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、熱伝導性無機フィラーを高充填化しても、成形物
に柔軟性と耐熱機械特性が付与される熱伝導性シリコー
ンゴム組成物及び放熱シートを提供することを目的とす
るものであり、更に具体的には、成形スラリーの粘度低
下、成形物の圧縮永久歪みの低下(ゴム弾性の付与)及
び引裂強度の向上の効果をもたらす熱伝導性シリコーン
ゴム組成物及び放熱シートを提供することを目的とする
ものである。
[0007] The present invention has been made in view of the above points, and a heat-conductive silicone rubber composition that imparts flexibility and heat-resistant mechanical properties to a molded product even if the heat-conductive inorganic filler is highly filled. More specifically, the present invention provides the effects of lowering the viscosity of the molding slurry, lowering the compression set of the molded product (giving rubber elasticity), and improving the tear strength. It is an object of the present invention to provide a heat conductive silicone rubber composition and a heat dissipation sheet.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に記載
の熱伝導性シリコーンゴム組成物は、シリコーンゴム
に、上記一般式(A)で示されるシランカップリング
表面処理を施した熱伝導性無機フィラー1を分散させ
て成り、熱伝導性無機フィラー1が熱伝導性シリコーン
ゴム組成物全量に対して40vol%〜80vol%で
ることを特徴とするものである。
The thermally conductive silicone rubber composition according to claim 1 of the present invention comprises a silicone rubber having a silane coupling agent represented by the above general formula (A ).
In Ri formed by the thermally conductive inorganic filler 1 subjected to a surface treatment by dispersing the thermally conductive inorganic filler 1 is thermally conductive silicone
40 vol% to 80 vol% based on the total amount of the rubber composition
Oh and is characterized in Rukoto.

【0009】また本発明の請求項2に記載の熱伝導性シ
リコーンゴム組成物は、請求項1の構成に加えて、上記
熱伝導性無機フィラー1として金属酸化物、金属窒化
物、金属炭化物、金属ほう化物、及び金属単体から選択
されたものを用いることを特徴とするものである。
The heat conductive silicone rubber composition according to a second aspect of the present invention has the same structure as the first aspect, and further includes, as the heat conductive inorganic filler 1, a metal oxide, a metal nitride, a metal carbide, It is characterized by using a material selected from a metal boride and a simple metal.

【0010】また本発明の請求項3に記載の熱伝導性シ
リコーンゴム組成物は、請求項1又は2の構成に加え
て、熱伝導性無機フィラー1としてアルミナを用いるこ
とを特徴とするものである。
The heat conductive silicone rubber composition according to the third aspect of the present invention is characterized by using alumina as the heat conductive inorganic filler 1 in addition to the constitution of the first or second aspect. is there.

【0011】また本発明の請求項4に記載の熱伝導性シ
リコーンゴム組成物は、請求項1乃至3のいずれかの構
成に加えて、熱伝導性無機フィラー1としてシリカを用
いることを特徴とするものである。
The thermally conductive silicone rubber composition according to claim 4 of the present invention is characterized in that, in addition to any one of claims 1 to 3, silica is used as the thermally conductive inorganic filler 1. Is what you do.

【0012】また本発明の請求項5に記載の放熱シート
は、請求項1乃至4のいずれかに記載の熱伝導性シリコ
ーンゴム組成物にて成形されることを特徴とするもので
ある。
A heat radiation sheet according to a fifth aspect of the present invention is characterized by being formed from the heat conductive silicone rubber composition according to any one of the first to fourth aspects.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。本発明の熱伝導性シリコーンゴム組成物は、シリ
コーンゴムに、シランカップリング剤にて表面処理され
た熱伝導性無機フィラーを分散させたものである。
Embodiments of the present invention will be described below. The thermally conductive silicone rubber composition of the present invention is obtained by dispersing a thermally conductive inorganic filler surface-treated with a silane coupling agent in silicone rubber.

【0014】シリコーンゴムとしては、二液型や一液型
の液状タイプのシリコーンゲルやシリコーンゴム、熱加
硫型のシリコーンゴム等の各種のタイプを使用すること
ができる。
As the silicone rubber, various types such as a two-part or one-part liquid type silicone gel and silicone rubber, and a heat vulcanization type silicone rubber can be used.

【0015】また熱伝導性無機フィラー1としては、ア
ルミナ、シリカ、酸化マグネシウム、酸化ベリリウム、
酸化チタン等の金属酸化物、窒化アルミニウム、窒化ホ
ウ素、金属アルミニウム、銅粉等を用いることができる
が、金属酸化物を用いると、カップリング剤の処理効率
が高くなるものであり、上記フィラーの表面の一部又は
全部を酸化させることにより、カップリング剤の処理効
率を向上することもできる。またこの熱伝導性無機フィ
ラー1の形状としては、特に限定するものではなく、球
状であっても針状であっても板状であっても構わないも
のである。ここで熱伝導性シリコーンゴム組成物中の熱
伝導性無機フィラー1の配合割合は、熱伝導性シリコー
ンゴム組成物全量に対して40vol%〜80vol%
とするものであり、40vol%に満たないと高い熱伝
導率を得ることが困難であり、80vol%を超えると
熱伝導性シリコーンゴム組成物の硬化成形物がさらに硬
く脆くなる恐れがあって好ましくない。
As the heat conductive inorganic filler 1, alumina, silica, magnesium oxide, beryllium oxide,
Metal oxides such as titanium oxide, aluminum nitride, boron nitride, metal aluminum, copper powder, and the like can be used, but the use of metal oxides increases the processing efficiency of the coupling agent, By oxidizing part or all of the surface, the processing efficiency of the coupling agent can be improved. The shape of the thermally conductive inorganic filler 1 is not particularly limited, and may be spherical, needle-like, or plate-like. Here, the compounding ratio of the thermally conductive inorganic filler 1 in the thermally conductive silicone rubber composition is 40 vol% to 80 vol% based on the total amount of the thermally conductive silicone rubber composition.
There therefore also with, if less than 40 vol%, it is difficult to obtain a high thermal conductivity, preferably there is a possibility that the cured molding of the thermally conductive silicone rubber composition exceeds 80 vol% is more hard and brittle Absent.

【0016】シランカップリング剤としては、下記一般
式(A)に示すようなものを用いることができる。
As the silane coupling agent, those represented by the following general formula (A ) can be used.

【0017】[0017]

【化2】 Embedded image

【0018】ここで熱伝導性無機フィラー1に対する上
記のシランカップリング剤の処理量は、〔熱伝導性無機
フィラーの添加量(g)〕×〔熱伝導性無機フィラーの
比表面積(m2/g)〕÷〔熱伝導性無機フィラーの最
小被覆面積(m2/g)〕の式で示される熱伝導性無機
フィラー1の表面にシランカップリング剤の単分子層を
形成するのに必要なシランカップリング剤量の、0.1
〜15倍とするのが好ましいものである。ここで0.1
倍に満たないと、シランカップリング剤による処理効果
が少なくなる。また15倍を超えるとシランカップリン
グ剤のコストが大きくなり、また熱伝導性シリコーンゴ
ムの加熱処理を行う際にメタノールの発生に起因すると
思われるボイドが発生する恐れがある。
Here, the amount of the silane coupling agent to be treated with respect to the thermally conductive inorganic filler 1 is [the amount of the thermally conductive inorganic filler added (g)] × [the specific surface area of the thermally conductive inorganic filler (m 2 / g)] {Minimum covering area of thermal conductive inorganic filler (m 2 / g)] Necessary for forming monolayer of silane coupling agent on surface of thermal conductive inorganic filler 1 represented by formula 0.1 of the amount of the silane coupling agent
It is preferable to set it to 15 times. Where 0.1
If it is less than twice, the effect of the treatment with the silane coupling agent will be reduced. If the ratio exceeds 15 times, the cost of the silane coupling agent increases, and a void which may be caused by the generation of methanol may be generated during the heat treatment of the thermally conductive silicone rubber.

【0019】以下に本発明の熱伝導性シリコーンゴム組
成物を形成する方法を説明する。熱伝導性無機フィラー
1へのシランカップリング剤による表面処理は、熱伝導
性無機フィラー1への直接処理法、インテグラルブレン
ド法、ドライコンセントレート法等を用いることができ
る。直接処理法には、乾式法、スラリー法、スプレー法
等があり、インテグラルブレンド法としては、直接法、
マスターバッチ法等があるが、このうち乾式法、スラリ
ー法、直接法が良く用いられる。
Hereinafter, a method for forming the thermally conductive silicone rubber composition of the present invention will be described. The surface treatment of the thermally conductive inorganic filler 1 with the silane coupling agent may be performed by a direct treatment method, an integral blend method, a dry concentrate method, or the like on the thermally conductive inorganic filler 1. The direct processing method includes a dry method, a slurry method, a spray method and the like, and the integral blending method includes a direct method,
There are a master batch method and the like, of which a dry method, a slurry method, and a direct method are often used.

【0020】乾式法にて処理を行なう場合は、例えば所
定量のシランカップリング剤を水又はアルコール水溶液
(水/アルコール=1/9)で2〜5倍に希釈したもの
を均一になるまで攪拌する。一方所定量の熱伝導性無機
フィラー1をヘルシェンミキサー等の装置に仕込んで攪
拌し、この攪拌されている熱伝導性無機フィラー1に上
記のシランカップリング剤溶液を数十分かけて滴下又は
スプレー噴霧する。シランカップリング剤全量を添加し
たら、この状態のまま10分間攪拌を続ける。このよう
にして処理した熱伝導性無機フィラー1を浅いトレー等
に均一に拡げ、100〜150℃で1時間乾燥させる。
乾燥後、熱伝導性無機フィラー1によっては凝集するの
でボールミル等で粉砕する。
When the treatment is carried out by a dry method, for example, a predetermined amount of a silane coupling agent diluted 2 to 5 times with water or an aqueous alcohol solution (water / alcohol = 1/9) is stirred until it becomes uniform. I do. On the other hand, a predetermined amount of the thermally conductive inorganic filler 1 is charged into a device such as a Herschen mixer and stirred, and the silane coupling agent solution is dropped over several tens of minutes into the stirred thermally conductive inorganic filler 1 or Spray spray. After the total amount of the silane coupling agent has been added, stirring is continued for 10 minutes in this state. The thermally conductive inorganic filler 1 thus treated is spread evenly on a shallow tray or the like, and dried at 100 to 150 ° C. for 1 hour.
After drying, some of the thermally conductive inorganic fillers 1 are agglomerated and are pulverized by a ball mill or the like.

【0021】またスラリー法にて処理を行なう場合は、
例えば所定量の熱伝導性無機フィラー1に水又はアルコ
ール水溶液(水/アルコール=1/9)を加えてスラリ
ー状にし、所定量のシランカップリング剤をスラリー状
の熱伝導性無機フィラー1に添加する。添加後数十分攪
拌を続けた後、デカンテーション又は濾過を行い、シラ
ンカップリング剤で処理した熱伝導性無機フィラー1を
取り出す。このようにして処理した熱伝導性無機フィラ
ー1を浅いトレー等に均一に拡げ、100〜150℃で
1時間乾燥させる。乾燥後、熱伝導性無機フィラー1に
よっては凝集するのでボールミル等で粉砕する。
When the treatment is performed by the slurry method,
For example, a water or alcohol aqueous solution (water / alcohol = 1/9) is added to a predetermined amount of the thermally conductive inorganic filler 1 to form a slurry, and a predetermined amount of a silane coupling agent is added to the slurry of the thermally conductive inorganic filler 1. I do. After stirring for several tens minutes after the addition, decantation or filtration is performed to take out the thermally conductive inorganic filler 1 treated with the silane coupling agent. The thermally conductive inorganic filler 1 thus treated is spread evenly on a shallow tray or the like, and dried at 100 to 150 ° C. for 1 hour. After drying, some of the thermally conductive inorganic fillers 1 are agglomerated and are pulverized by a ball mill or the like.

【0022】またインテグラルブレンド法の直接法にて
処理を行なう場合は、シリコーンゴム中に熱伝導性無機
フィラー1を混練する際に熱伝導性無機フィラー1を同
時に配合するものであるが、この場合はスラリー法や乾
式法等の直接処理法の場合よりもシランカップリング剤
の添加量を多くすることが好ましい。
In the case of performing the treatment by the direct method of the integral blending method, the heat conductive inorganic filler 1 is simultaneously mixed with the silicone rubber when the heat conductive inorganic filler 1 is kneaded. In this case, it is preferable to increase the amount of the silane coupling agent to be added as compared with the case of a direct treatment method such as a slurry method or a dry method.

【0023】シリコーンゴムと熱伝導性無機フィラー1
を混練する際、シリコーンゴムとして一液型のものを用
いる場合は、予めシランカップリング剤によるカップリ
ング処理を施した熱伝導性無機フィラー1を混練機を用
いてシリコーンゴムと混練することができ、このように
して熱伝導性シリコーンゴム組成物を形成することがで
きる。また上記のようにインテグラルブレンド法の直接
法のように、未処理の熱伝導性無機フィラー、シランカ
ップリング剤、及びシリコーンゴムをインテグラルブレ
ンドすることもできる。またシリコーンゴムとして二液
型のものを用いる場合は、予め主剤と硬化剤にそれぞれ
目的量の熱伝導性無機フィラー1を混合してスラリーを
形成しておき、その主剤スラリーと硬化剤スラリーを混
練して熱伝導性シリコーンゴム組成物を形成することが
できるものであり、また主剤と硬化剤を混合した後、熱
伝導性無機フィラー1を添加してもよい。
Silicone rubber and thermally conductive inorganic filler 1
When a one-pack type silicone rubber is used, the thermally conductive inorganic filler 1 previously subjected to the coupling treatment with the silane coupling agent can be kneaded with the silicone rubber using a kneader. Thus, a thermally conductive silicone rubber composition can be formed. As described above, an untreated thermally conductive inorganic filler, a silane coupling agent, and a silicone rubber can be integral blended as in the direct method of the integral blending method. When a two-pack type silicone rubber is used, a slurry is formed by previously mixing a desired amount of the thermally conductive inorganic filler 1 with a main agent and a curing agent, and the main agent slurry and the curing agent slurry are kneaded. The heat conductive inorganic filler 1 may be added after mixing the main agent and the curing agent.

【0024】上記のようにして形成される熱伝導性シリ
コーンゴム組成物は、スラリー状に形成されるものであ
る。この熱伝導性シリコーンゴム組成物をシート状にプ
レス成形した後、加熱硬化させることによって、放熱シ
ート3を形成することができる。またこのようにコンパ
ウンドの状態で成形する他、ガラス布等の基材にシリコ
ーンゴム組成物を含浸させた後成形したものを、加熱硬
化させることもできる。このようにして形成される放熱
シート3は、図2(a)に示すように基板6上に半田バ
ンプ等からなる実装用電極8を介して実装されたIC、
電源モジュール、パワートランジスタ、CPU等の電子
部品4と、ヒートシンク、ヒートパイプ、筺体等の放熱
器5と間に配置され、図2(b)のように放熱器5と電
子部品4の接合面の微妙な反りやうねりに放熱シートを
沿わせることによって、放熱器5と電子部品4の接合面
に図2(c)に示すような熱抵抗の大きい空隙7が生じ
ることを防ぎ、電子部品4から発する熱を放熱器5に効
率良く伝導させるようにしている。
The thermally conductive silicone rubber composition formed as described above is formed into a slurry. The heat-radiating sheet 3 can be formed by press-molding the heat-conductive silicone rubber composition into a sheet and then heat-curing the sheet. In addition to molding in a compound state as described above, a molded article obtained by impregnating a base material such as a glass cloth with a silicone rubber composition can be heated and cured. The heat-dissipating sheet 3 formed in this manner is an IC mounted on a substrate 6 via a mounting electrode 8 made of a solder bump or the like as shown in FIG.
A power supply module, a power transistor, an electronic component 4 such as a CPU, and a radiator 5 such as a heat sink, a heat pipe, and a housing are disposed between the radiator 5 and the bonding surface of the radiator 5 and the electronic component 4 as shown in FIG. By arranging the heat radiating sheet along a subtle warp or swell, it is possible to prevent a void 7 having a large thermal resistance from being generated at the joint surface between the radiator 5 and the electronic component 4 as shown in FIG. The generated heat is efficiently conducted to the radiator 5.

【0025】ここで、上記のようにしてシランカップリ
ング剤にて表面処理が成された熱伝導性無機フィラー1
の表面の様子は、図1に示すようになる。すなわち、シ
ランカップリング剤としてYSi(OMe)3(OMe
はメトキシ基、Yは炭素数6以上の脂肪族長鎖アルキル
基を示す)を用いるとすると、シランカップリング剤
は、下記の式のようにYSi(OH)3まで加水分解さ
れた後、数個の分子が脱水反応によりオリゴマー化す
る。
Here, the thermally conductive inorganic filler 1 surface-treated with the silane coupling agent as described above.
1 is as shown in FIG. That is, YSi (OMe) 3 (OMe) is used as a silane coupling agent.
Is a methoxy group, and Y is an aliphatic long-chain alkyl group having 6 or more carbon atoms). When a silane coupling agent is hydrolyzed to YSi (OH) 3 as in the following formula, several silane coupling agents are used. Are oligomerized by a dehydration reaction.

【0026】[0026]

【化3】 Embedded image

【0027】更に熱伝導性無機フィラー1の表面の水酸
基と反応して、熱伝導性無機フィラー1の表面は図1に
示すような、疎水性の長鎖のアルキル基2で覆われるも
のである。このように親水性の熱伝導性無機フィラー1
の表面が疎水性の長鎖のアルキル基2で覆われることに
より、熱伝導性無機フィラー1とマトリックスのシリコ
ーンゴムとの相溶性が著しく向上するものである。上記
の式(A)中にYで表されているアルキル基の炭素数
は、大きければ大きいほど熱伝導性無機フィラー1とマ
トリックスのシリコーンゴムとの相溶性が向上するもの
であるが、現時点ではこのアルキル基の炭素数が18の
ものまでが、安定に存在することが確認されており、Y
で表されているアルキル基の炭素数の上限は18となっ
ている
Further, by reacting with the hydroxyl groups on the surface of the thermally conductive inorganic filler 1, the surface of the thermally conductive inorganic filler 1 is covered with a hydrophobic long-chain alkyl group 2 as shown in FIG. . Thus, the hydrophilic heat conductive inorganic filler 1
Is covered with the hydrophobic long-chain alkyl group 2, thereby significantly improving the compatibility between the thermally conductive inorganic filler 1 and the silicone rubber as the matrix. The greater the number of carbon atoms of the alkyl group represented by Y in the above formula (A ) , the more the compatibility between the thermally conductive inorganic filler 1 and the silicone rubber of the matrix is improved. It has been confirmed that the alkyl groups having up to 18 carbon atoms are stably present.
Upper limit of the carbon number of in represented by that group has a 18.

【0028】上記のように本発明の熱伝導性シリコーン
ゴム組成物では、熱伝導性無機フィラー1とマトリック
スのシリコーンゴムとの相溶性を向上することができる
ため、熱伝導性を高めるためにマトリックスのシリコー
ンゴムに熱伝導性無機フィラー1を高充填化しても、ス
ラリー状の熱伝導性シリコーンゴム組成物の成形スラリ
ー粘度が上昇して成形加工性が低下するようなことがな
く、熱伝導性無機フィラー1を高充填化して熱伝導性を
高めた熱伝導性シリコーンゴム組成物の成形加工性を向
上することができる。
As described above, in the thermally conductive silicone rubber composition of the present invention, the compatibility between the thermally conductive inorganic filler 1 and the silicone rubber of the matrix can be improved. Even if the silicone rubber of the present invention is highly filled with the thermally conductive inorganic filler 1, the viscosity of the slurry of the thermally conductive silicone rubber composition in the form of a slurry does not increase and the molding processability does not decrease. It is possible to improve the moldability of the thermally conductive silicone rubber composition in which the inorganic filler 1 is highly filled to increase the thermal conductivity.

【0029】またシリコーンゴムとの相溶性を向上させ
たことにより、熱伝導性無機フィラー1同士の凝集を防
ぎ、シリコーンゴムのマトリックス中での熱伝導性無機
フィラー1の二次凝集の少ない良好な分散状態を可能と
することができ、従って熱伝導性シリコーンゴム組成物
の硬化成形物の柔軟性が向上し、ゴム弾性が向上すると
共に、引張強度、引裂強度、圧縮永久歪み特性を著しく
改善することできる。
Further, by improving the compatibility with the silicone rubber, the aggregation of the thermally conductive inorganic fillers 1 is prevented, and the secondary aggregation of the thermally conductive inorganic fillers 1 in the silicone rubber matrix is reduced. It can be in a dispersed state, thus improving the flexibility of the cured product of the thermally conductive silicone rubber composition, improving the rubber elasticity, and significantly improving the tensile strength, tear strength and compression set characteristics. it is possible.

【0030】またシリコーンゴムとの相溶性を向上する
と耐熱エージング(高温放置)によるシリコーンゴムの
酸化を起こしにくくさせ、またこのときの熱伝導性無機
フィラー1同士の凝集も、上記のように起こりにくいこ
とから、この熱伝導性シリコーンゴム組成物の硬化成形
物の、耐熱試験における機械特性変化を低減することが
できるものである。
When the compatibility with the silicone rubber is improved, oxidation of the silicone rubber due to heat aging (leaving at high temperature) is less likely to occur, and aggregation of the thermally conductive inorganic fillers 1 at this time is also less likely to occur as described above. Therefore, it is possible to reduce the change in the mechanical properties of the cured product of the thermally conductive silicone rubber composition in the heat resistance test.

【0031】従って本発明の熱伝導性シリコーンゴム組
成物で放熱シート3を形成する際の成形性を向上するこ
とができるものであり、また形成された放熱シート3は
ゴム弾性が高いと共に強度が高いため、放熱器5と電子
部品4との間に配置する際、電子部品4に強い荷重を掛
けなくて放熱器5と電子部品4の接合面の反りやうね
りを容易に埋めることができ、放熱器5と電子部品4の
間に熱抵抗が高い空隙7が形成されることがなく、かつ
この放熱シート3は熱伝導性が高いので、電子部品4か
ら放熱器5への熱伝導効率を向上し、電子部品4からの
発熱を容易に放熱することができるものである。また耐
熱試験における機械特性変化が低いため、電子部品4か
らの発熱による機械特性の変化が小さく、長期間に亘っ
て安定して使用することができるものである。このよう
に本発明の熱伝導性シリコーンゴム組成物は、放熱シー
ト3を形成するために好適なものである。
Therefore, it is possible to improve the moldability when forming the heat radiating sheet 3 with the heat conductive silicone rubber composition of the present invention, and the formed heat radiating sheet 3 has high rubber elasticity and strength. high because, when disposed between the radiator 5 and the electronic component 4, without multiplying the strong load on the electronic component 4 can be filled easily warp or undulation of the joint surface of the radiator 5 and the electronic component 4 Since the air gap 7 having high thermal resistance is not formed between the radiator 5 and the electronic component 4 and the heat radiating sheet 3 has high thermal conductivity, the efficiency of heat conduction from the electronic component 4 to the radiator 5 is improved. And the heat generated from the electronic component 4 can be easily radiated. Further, since the change in the mechanical properties in the heat resistance test is low, the change in the mechanical properties due to the heat generated from the electronic component 4 is small, and it can be used stably for a long period of time. Thus, the heat conductive silicone rubber composition of the present invention is suitable for forming the heat radiation sheet 3.

【0032】[0032]

【実施例】以下、本発明を実施例によって詳述する。 (実施例1) シリコーンゴムとして、主剤と硬化剤の二液よりなる付
加反応型シリコーンゲル(東レダウコーニング社製、品
番「SE1885」)を、熱伝導性無機フィラー1とし
てアルミナ(昭和電工社製)を、シランカップリング剤
としてn−ヘキシルトリメトキシシランをそれぞれ用
い、熱伝導性無機フィラー1に上記の直接処理法の乾式
法にて、シランカップリング剤を、熱伝導性無機フィラ
ー100重量部に対して0.5重量部の割合で処理し、
シリコーンゴムの主剤と硬化剤のそれぞれに、この表面
処理を施した熱伝導性無機フィラー1を、熱伝導性無機
フィラー1の体積分率(Vf)が60%となるように配
合した。この混練物の主剤と硬化剤を一対一の比率で混
練して、スラリー状の熱伝導性シリコーンゴム組成物を
得た。
The present invention will be described below in detail with reference to examples. (Example 1) An addition reaction type silicone gel (manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd., product number "SE1885") composed of two liquids of a main agent and a curing agent was used as a silicone rubber, and alumina (manufactured by Showa Denko KK) was used as a thermally conductive inorganic filler 1. ), N-hexyltrimethoxysilane was used as a silane coupling agent, and a silane coupling agent was added to the thermally conductive inorganic filler 1 by the dry method of the direct treatment method described above, and 100 parts by weight of the thermally conductive inorganic filler was used. 0.5 parts by weight of
The thermally conductive inorganic filler 1 subjected to this surface treatment was blended with each of the main component and the curing agent of the silicone rubber so that the volume fraction (Vf) of the thermally conductive inorganic filler 1 became 60%. The main component and the curing agent of the kneaded product were kneaded at a one-to-one ratio to obtain a slurry-like thermally conductive silicone rubber composition.

【0033】またこの熱伝導性シリコーンゴム組成物を
離型フィルムで挟み込み、プレス成形により2mm厚の
シート状に成形し、これを120℃、2hの条件下で硬
化させて、放熱シート3を形成した。 (実施例2〜、比較例1〜9) シランカップリング剤及びその処理量を下記のようにし
た他は、実施例1と同様に行なった。
The heat conductive silicone rubber composition is sandwiched between release films, formed into a sheet having a thickness of 2 mm by press molding, and cured at 120 ° C. for 2 hours to form a heat radiation sheet 3. did. (Examples 2 to 8 and Comparative Examples 1 to 9) The same operation as in Example 1 was performed except that the silane coupling agent and the treatment amount were as described below.

【0034】 実施例2 n−ヘキシルトリメトキシシラン 1.0重量部 (対フィラー100重量部) 実施例3 n−ヘキシルトリエトキシシラン 0.5重量部 (対フィラー100重量部) 実施例4 n−ヘキシルトリエトキシシラン 1.0重量部 (対フィラー100重量部) 実施例5 n−オクチルトリエトキシシラン 0.5重量部 (対フィラー100重量部) 実施例6 n−オクチルトリエトキシシラン 1.0重量部 (対フィラー100重量部) 実施例7 n−デシルトリメトキシシラン 0.5重量部 (対フィラー100重量部) 実施例8 n−デシルトリメトキシシラン 1.0重量部 (対フィラー100重量部) 較例1 シランカップリング剤未処理 比較例2 メチルトリメトキシシラン 0.5重量部 (対フィラー100重量部) 比較例3 メチルトリメトキシシラン 1.0重量部 (対フィラー100重量部) 比較例4 メチルトリエトキシシラン 0.5重量部 (対フィラー100重量部) 比較例5 メチルトリエトキシシラン 1.0重量部 (対フィラー100重量部) 比較例6 ジメチルジメトキシシラン 0.5重量部 (対フィラー100重量部) 比較例7 ジメチルジメトキシシラン 1.0重量部 (対フィラー100重量部) 比較例8 ジメチルジエトキシシラン 0.5重量部 (対フィラー100重量部) 比較例9 ジメチルジエトキシシラン 1.0重量部 (対フィラー100重量部) (実施例9〜11、比較例10〜12) 実施例9〜11ではシランカップリング剤としてn−デ
シルトリメトキシシランをフィラー100重量部に対し
て1.0重量部処理し、比較例10〜12ではシランカ
ップリング剤は未処理とし、熱伝導性無機フィラー1と
して下記のものを用いた以外は、実施例1と同様に行な
った。
Example 2 n-hexyltrimethoxysilane 1.0 part by weight (based on 100 parts by weight of filler) Example 3 n-hexyltriethoxysilane 0.5 part by weight (based on 100 parts by weight of filler) Example 4 n-hexyltriethoxysilane Hexyltriethoxysilane 1.0 part by weight (based on 100 parts by weight of filler) Example 5 n-octyltriethoxysilane 0.5 part by weight (based on 100 parts by weight of filler) Example 6 1.0 part by weight of n-octyltriethoxysilane Part (to 100 parts by weight of filler) Example 7 0.5 parts by weight of n-decyltrimethoxysilane (100 parts by weight of filler) Example 8 1.0 part by weight of n-decyltrimethoxysilane (100 parts by weight of filler) The ratio Comparative examples 1 silane coupling agent untreated Comparative example 2 methyltrimethoxysilane, 0.5 parts by weight (with respect to the filler 100 parts by weight) Comparative Example 3 Methyltrimethoxysilane 1.0 part by weight (based on 100 parts by weight of filler) Comparative Example 4 Methyltriethoxysilane 0.5 part by weight (based on 100 parts by weight of filler) Comparative Example 5 1.0 part by weight of methyltriethoxysilane Comparative Example 6 0.5 part by weight of dimethyldimethoxysilane (100 parts by weight of filler) Comparative Example 7 1.0 part by weight of dimethyldimethoxysilane (100 parts by weight of filler) Comparative Example 8 Dimethyldiethoxysilane 0.5 parts by weight (based on 100 parts by weight of filler) Comparative Example 9 1.0 part by weight of dimethyldiethoxysilane (100 parts by weight of based on filler) (Examples 9 to 11 , Comparative Examples 10 to 12) In Examples 9 to 11 , 1.0 part by weight of n-decyltrimethoxysilane as a silane coupling agent was added to 100 parts by weight of the filler. Comparative Examples 10 to 12 In the silane coupling agent is untreated, except that used was the following as the thermally conductive inorganic filler 1 was carried out in the same manner as in Example 1.

【0035】 実施例 シリカ(龍森(株)製) 実施例10 酸化マグネシウム(協和化学(株)製) 実施例11 酸化チタン(石原産業(株)製) 比較例10 シリカ(龍森(株)製) 比較例11 酸化マグネシウム(協和化学(株)製) 比較例12 酸化チタン(石原産業(株)製) 上記の各実施例及び比較例について、下記のような評価
試験を行なった。 (成形スラリー粘度測定) 各実施例及び比較例のスラリー状の熱伝導性シリコーン
ゴム組成物について、レオメーターにより、せん断速度
5(1/S)の条件で粘度を測定した。 (圧縮永久歪み測定) 各実施例及び比較例の放熱シート3を50%圧縮し、1
20℃で10h処理した後、圧縮分の何%が歪みとして
残ったかを測定した。 (引裂強度測定) 各実施例及び比較例の放熱シート3について、JIS
K6301により、2号型 A型に準拠して測定した。 (ゴム硬度測定) 各実施例及び比較例の放熱シート3について、JIS
K6301Aに準拠して測定した。また各実施例及び比
較例の放熱シートを150℃で1000h処理した後、
同様にゴム硬度を測定し、加熱後のゴム硬度の変化を測
定した。
Example 9 Silica (manufactured by Tatsumori Corp.) Example 10 Magnesium oxide (manufactured by Kyowa Chemical Co., Ltd.) Example 11 Titanium oxide (manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd.) Comparative Example 10 Silica (manufactured by Tatsumori Corp.) Comparative Example 11 Magnesium oxide (manufactured by Kyowa Chemical Co., Ltd.) Comparative Example 12 Titanium oxide (manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd.) The following evaluation tests were performed on each of the above Examples and Comparative Examples. (Measurement of Molding Slurry Viscosity) The slurries of the thermally conductive silicone rubber compositions of the respective Examples and Comparative Examples were measured for viscosity with a rheometer at a shear rate of 5 (1 / S). (Measurement of compression set) The heat radiation sheet 3 of each of the examples and comparative examples was compressed by 50%, and
After treatment at 20 ° C. for 10 h, it was measured what percentage of the compression remained as strain. (Measurement of tear strength) The heat dissipation sheet 3 of each of Examples and Comparative Examples was subjected to JIS.
It was measured according to No. 2 type A type by K6301. (Rubber hardness measurement) The heat dissipation sheet 3 of each of the examples and the comparative examples was measured according to JIS.
It measured according to K6301A. Moreover, after treating the heat radiation sheet of each example and the comparative example at 150 ° C. for 1000 hours,
Similarly, the rubber hardness was measured, and the change in rubber hardness after heating was measured.

【0036】上記の結果を表1及び2に示す。The above results are shown in Tables 1 and 2.

【0037】[0037]

【表1】 [Table 1]

【0038】[0038]

【表2】 [Table 2]

【0039】ここで表中の−OMeはメトキシ基、−O
Etはエトキシ基をそれぞれ示す。
Here, -OMe in the table is a methoxy group, -O
Et represents an ethoxy group .

【0040】表1及び表2から判る様に、実施例1乃至
11のものは、比較例1乃至12のものに対して全体的
に、圧縮永久歪みの低減、引裂強度の向上、及び加熱後
のゴム硬度変化の低減が生じていることが確認できた。
As can be seen from Tables 1 and 2, Examples 1 to
It was confirmed that the sample of No. 11 exhibited a reduction in the permanent compression set, an improvement in the tear strength, and a change in the rubber hardness after heating as a whole as compared with the samples of Comparative Examples 1 to 12.

【0041】また表2に、シランカップリング剤の構造
によって分類した実施例及び比較例の一覧を示し、表3
にシランカップリング剤の構造によって分類した圧縮永
久歪みの測定結果の一覧を、表4にシランカップリング
剤の構造によって分類した引裂強度の測定結果の一覧
を、表5にシランカップリング剤の構造によって分類し
たゴム硬度の測定結果の一覧をそれぞれ示す。
Table 2 shows a list of Examples and Comparative Examples classified according to the structure of the silane coupling agent.
Table 4 shows a list of measurement results of compression set classified by the structure of the silane coupling agent, Table 4 shows a list of measurement results of tear strength classified by the structure of the silane coupling agent, and Table 5 shows a structure of the silane coupling agent. A list of the measurement results of the rubber hardness classified by the above is shown below.

【0042】[0042]

【表3】 [Table 3]

【0043】[0043]

【表4】 [Table 4]

【0044】[0044]

【表5】 [Table 5]

【0045】[0045]

【表6】 [Table 6]

【0046】表4から判るように、炭素数が6以上の脂
肪族アルキル基を有するシランカップリング剤の処理に
より、圧縮永久歪み率が低減することが確認できた。詳
しくは、カップリング剤未処理の場合は、98%(比較
例1)、シランカップリング剤のアルキル基が炭素数1
のメチル基の場合は、85〜95%(比較例2〜9)で
あるが、炭素数が6個以上のアルキル基を用いることに
より、30%台から50%台まで低減したことが確認で
きた。
As can be seen from Table 4, it was confirmed that the compression set was reduced by the treatment with the silane coupling agent having an aliphatic alkyl group having 6 or more carbon atoms. Specifically, when the coupling agent was not treated, 98% (Comparative Example 1) and the alkyl group of the silane coupling agent had 1 carbon atom.
In the case of a methyl group, the content is 85 to 95% (Comparative Examples 2 to 9), but it can be confirmed that the use of an alkyl group having 6 or more carbon atoms has reduced the content from 30% to 50%. Was.

【0047】またシランカップリング剤処理量について
は、0.5重量部と1.0重量部において圧縮永久歪み
率の差が小さいことから、0.5重量部の処理量で圧縮
永久歪み率の低減の効果が充分得られると考えられる。
Regarding the treatment amount of the silane coupling agent, since the difference in the compression set between 0.5 part by weight and 1.0 part by weight is small, the treatment amount of the silane coupling agent is 0.5 part by weight. It is considered that the effect of reduction is sufficiently obtained.

【0048】またアルキル基の鎖長がC6からC10と長
くなるに従って圧縮永久歪み率が低減する傾向にあるこ
とが確認でき、アルキル基の長さが圧縮永久歪み率の低
減効果に重要な影響を及ぼしていることが確認できた。
Further, it can be confirmed that the compression set tends to decrease as the chain length of the alkyl group increases from C 6 to C 10, and the length of the alkyl group is important for the effect of reducing the compression set. It was confirmed that it had an effect.

【0049】また表5から判るように、炭素数が6以上
の脂肪族アルキル基を有するシランカップリング剤の処
理により、引裂強度が向上したことが確認できた。詳し
くは、カップリング剤未処理の場合(比較例1)、及び
シランカップリング剤のアルキル基が炭素数1のメチル
基の場合(比較例2〜9)は、引裂強度が0.4〜0.
5kgf/cm2程度であったのに対し、炭素数が6個
以上のアルキル基を用いることにより、引裂強度は2倍
の1kgf/cm2以上に向上したことが観察された。
As can be seen from Table 5, it was confirmed that the treatment with the silane coupling agent having an aliphatic alkyl group having 6 or more carbon atoms improved the tear strength. Specifically, when the coupling agent was not treated (Comparative Example 1) and when the alkyl group of the silane coupling agent was a methyl group having 1 carbon atom (Comparative Examples 2 to 9), the tear strength was 0.4 to 0. .
While it was about 5 kgf / cm 2 , it was observed that by using an alkyl group having 6 or more carbon atoms, the tear strength was doubled to 1 kgf / cm 2 or more.

【0050】また引裂強度においても、0.5重量部と
1.0重量部において引裂強度の差が小さいことから、
0.5重量部の処理量で引裂強度の向上の効果が充分得
られると考えられる。
Also, regarding the tear strength, since the difference in the tear strength between 0.5 parts by weight and 1.0 parts by weight is small,
It is considered that the effect of improving the tear strength can be sufficiently obtained with the treatment amount of 0.5 part by weight.

【0051】またアルキル基の鎖長がC6からC10と長
くなるに従って引裂強度が向上する傾向にあることが確
認でき、また3官能より2官能の方が、やや引裂強度が
高い傾向にあることが確認でき、アルキル基の長さや数
が引裂強度に大きな影響を及ぼすことが確認できた。
Further, it can be confirmed that the tear strength tends to increase as the chain length of the alkyl group increases from C 6 to C 10, and the tear strength tends to be slightly higher in the case of bifunctional than in the case of trifunctional. It was confirmed that the length and number of the alkyl groups had a great influence on the tear strength.

【0052】また表6から判るように、炭素数が6以上
の脂肪族アルキル基を有するシランカップリング剤の処
理により、加熱処理後のゴム硬度変化の低減、すなわち
耐熱機械特性の向上の効果が生じることが確認できた。
詳しくは、カップリング剤未処理の場合(比較例1)、
加熱処理後のゴム硬度変化は+40とかなり増加し、シ
ランカップリング剤のアルキル基が炭素数1のメチル基
の場合(比較例2〜9)は、+10〜+25程度と、未
処理の場合と比較すると低減しているものの、大きく増
加しているのに対して、炭素数が6個以上のアルキル
用いることにより、加熱処理後のゴム硬度変化は+1
0未満にまで低減したことが確認できた。
As can be seen from Table 6, the treatment of the silane coupling agent having an aliphatic alkyl group having 6 or more carbon atoms reduces the change in rubber hardness after heat treatment, that is, the effect of improving the heat-resistant mechanical properties. It was confirmed that it would occur.
Specifically, when the coupling agent was not treated (Comparative Example 1),
The change in rubber hardness after the heat treatment significantly increases to +40, and when the alkyl group of the silane coupling agent is a methyl group having 1 carbon atom (Comparative Examples 2 to 9), it is about +10 to +25, Alkyl groups with 6 or more carbon atoms, although reduced, but greatly increased by comparison
, The change in rubber hardness after the heat treatment is +1
It was confirmed that it was reduced to less than 0.

【0053】またアルキル基の鎖長がC6からC10と長
くなるに従って加熱処理後のゴム硬度変化が低減する傾
向にあることが確認され、アルキル基の長さが加熱処理
後のゴム硬度変化に大きな影響を及ぼすことが確認でき
た。また3官能より2官能の方が、ゴム硬度変化が低減
する傾向が見られた。
It was also confirmed that as the chain length of the alkyl group increased from C 6 to C 10 , the change in rubber hardness after heat treatment tended to decrease. Was confirmed to have a significant effect on In addition, a tendency was observed that the change in rubber hardness was reduced in the case of bifunctional than in the case of trifunctional.

【0054】また加熱処理前のゴム硬度が、アルキル基
の鎖長がC6からC10と長くなるに従って低減する傾向
にあり、またシランカップリング剤の添加量が0.5重
量部から1.0重量部になるに従って低減する傾向にあ
ることが確認でき、加熱処理前のゴム硬度がシランカッ
プリング剤のアルキル基の炭素数及び添加量に大きく影
響を受けることが確認できた。
The rubber hardness before the heat treatment tends to decrease as the chain length of the alkyl group increases from C 6 to C 10, and the addition amount of the silane coupling agent ranges from 0.5 parts by weight to 1. It was confirmed that the rubber hardness before the heat treatment was significantly affected by the number of carbon atoms and the amount of the alkyl group of the silane coupling agent.

【0055】[0055]

【発明の効果】上記のように本発明の請求項1に記載の
熱伝導性シリコーンゴム組成物は、シリコーンゴムに、
上記一般式(A)で示されるシランカップリング剤で
面処理を施した熱伝導性無機フィラーを分散させて成
り、熱伝導性無機フィラーが熱伝 導性シリコーンゴム組
成物全量に対して40vol%〜80vol%であるた
め、熱伝導性無機フィラーの表面が疎水性の長鎖のアル
キル基に覆われてシリコーンゴムとの相溶性が向上し、
熱伝導性を高めるためにマトリックスのシリコーンゴム
に熱伝導性無機フィラーを高充填化しても、スラリー状
の熱伝導性シリコーンゴム組成物の成形スラリー粘度が
上昇して成形加工性が低下するようなことがなく、熱伝
導性無機フィラーを高充填化した熱伝導性シリコーンゴ
ム組成物の成形加工性を向上することができるものであ
り、また熱伝導性無機フィラー同士の凝集を防ぎ、シリ
コーンゴムのマトリックス中での熱伝導性無機フィラー
の二次凝集の少ない良好な分散状態を可能とすることが
でき、熱伝導性シリコーンゴム組成物の硬化成形物の柔
軟性が向上し、ゴム弾性が向上すると共に、引張強度、
引裂強度の向上及び圧縮永久歪みを低減することでき
るものであり、また耐熱エージング(高温放置)による
シリコーンゴムの酸化を起こしにくくさせると共に上記
のように熱伝導性無機フィラー同士の凝集も起こりにく
いものであって、この熱伝導性シリコーンゴム組成物の
硬化成形物の、耐熱試験におけるゴム硬度変化等の機械
特性変化を低減することができるものである。また熱伝
導性無機フィラーが熱伝導性シリコーンゴム組成物全量
に対して40vol%以上であることで高い熱伝導率を
得ると共に、80vol%以下であることから熱伝導性
シリコーンゴム組成物の硬化成形物が硬く脆くなること
を防止することができるものである。
As described above, the thermally conductive silicone rubber composition according to the first aspect of the present invention comprises a silicone rubber,
A thermal conductive inorganic filler which has been subjected to surface treatment with the silane coupling agent represented by the general formula (A ) is dispersed.
Ri, thermally conductive inorganic filler thermoelectric Shirubesei silicone rubber sets
40vol% ~80vol% der because respect Narubutsu total amount, the surface of the thermally conductive inorganic filler is covered with the alkyl group of the hydrophobic long chain improves compatibility with the silicone rubber,
Even when the matrix silicone rubber is highly filled with a thermally conductive inorganic filler to enhance thermal conductivity, the viscosity of the slurry of the thermally conductive silicone rubber composition in the form of a slurry increases and the molding processability decreases. It is possible to improve the moldability of the thermally conductive silicone rubber composition which is highly filled with the thermally conductive inorganic filler, prevent aggregation of the thermally conductive inorganic fillers, and reduce the amount of the silicone rubber. A good dispersion state with little secondary aggregation of the thermally conductive inorganic filler in the matrix can be achieved, the flexibility of the cured molded product of the thermally conductive silicone rubber composition is improved, and the rubber elasticity is improved. Together with the tensile strength,
A <br/> shall be able to reduce the enhancement and compression set tear strength, and the thermal conductive inorganic filler grains as described above with is difficult to cause oxidation of the silicone rubber by thermal aging (high-temperature storage) This hardly causes agglomeration of the heat-conductive silicone rubber composition, and can reduce changes in mechanical properties such as changes in rubber hardness in a heat resistance test of a cured molded product of the heat conductive silicone rubber composition. Also heat transfer
Conductive inorganic filler is the total amount of thermally conductive silicone rubber composition
High thermal conductivity by being at least 40 vol%
And 80% by volume or less, it has thermal conductivity
Hardened and brittle cured silicone rubber composition
Can be prevented.

【0056】また本発明の請求項2に記載の熱伝導性シ
リコーンゴム組成物は、請求項1の構成に加えて、上記
熱伝導性無機フィラーとして金属酸化物、金属窒化物、
金属炭化物、金属ほう化物、及び金属単体から選択され
たものを用いるため、熱伝導性シリコーンゴム組成物の
熱伝導性を効率良く向上することができると共に、熱伝
導性無機フィラーに対して容易にシランカップリング処
理を施すことができるものである。
The thermally conductive silicone rubber composition according to the second aspect of the present invention is characterized in that, in addition to the constitution of the first aspect, a metal oxide, a metal nitride or a metal nitride is used as the thermally conductive inorganic filler.
Since a metal carbide, a metal boride, and a metal simple substance are used, the heat conductivity of the heat conductive silicone rubber composition can be efficiently improved, and the heat conductive inorganic filler can be easily removed. It can be subjected to a silane coupling treatment.

【0057】また本発明の請求項3に記載の熱伝導性シ
リコーンゴム組成物は、熱伝導性無機フィラーとしてア
ルミナを用いるため、熱伝導性無機フィラーとシランカ
ップリング剤との反応性が良く、熱伝導性無機フィラー
に対するシランカプリング剤の処理効率を向上するとが
できるものであり、また熱伝導性無機フィラーのコスト
を安くすることができ、熱伝導性無機フィラーの充填量
を多くできるものである。
Further, in the thermally conductive silicone rubber composition according to the third aspect of the present invention, since alumina is used as the thermally conductive inorganic filler, the reactivity between the thermally conductive inorganic filler and the silane coupling agent is good. It can improve the processing efficiency of the silane coupling agent with respect to the thermally conductive inorganic filler, and can also reduce the cost of the thermally conductive inorganic filler and increase the amount of the thermally conductive inorganic filler. .

【0058】また本発明の請求項4に記載の熱伝導性シ
リコーンゴム組成物は、熱伝導性無機フィラーとしてシ
リカを用いるため、熱伝導性無機フィラーとシランカッ
プリング剤との反応性が良く、熱伝導性無機フィラーに
対するシランカプリング剤の処理効率を向上することが
できるものであり、また熱伝導性無機フィラーのコスト
を安くすることができ、熱伝導性無機フィラーの充填量
を多くできるものである。
Further, in the thermally conductive silicone rubber composition according to the fourth aspect of the present invention, since silica is used as the thermally conductive inorganic filler, the reactivity between the thermally conductive inorganic filler and the silane coupling agent is good. It can improve the processing efficiency of the silane coupling agent with respect to the thermally conductive inorganic filler, can also reduce the cost of the thermally conductive inorganic filler, and can increase the amount of the thermally conductive inorganic filler. is there.

【0059】また本発明の請求項5に記載の放熱シート
は、請求項1乃至4のいずれかに記載の熱伝導性シリコ
ーンゴム組成物を成形したため、放熱シートを形成する
際の成形性を向上することができるものであり、またこ
の放熱シートはゴム弾性が高いと共に強度が高いため、
放熱器と電子部品との間に配置する際、電子部品に強い
荷重を掛けなくても放熱器と電子部品の接合面の反りや
うねりを容易に埋めることができ、放熱器と電子部品の
間に熱抵抗が高い空隙が形成されることがなく、かつこ
の放熱シートは熱伝導性が高いので、電子部品から放熱
器への熱伝導効率を向上し、電子部品からの発熱を容易
に放熱することができるものである。また耐熱試験にお
ける機械特性変化が低いため、電子部品からの発熱によ
る機械特性の変化が小さく、長期間に亘って安定して使
用することができるものである。
In the heat radiation sheet according to the fifth aspect of the present invention, the heat conductive silicone rubber composition according to any one of the first to fourth aspects is molded, so that the moldability in forming the heat radiation sheet is improved. The heat dissipation sheet has high rubber elasticity and high strength.
When placed between the radiator and the electronic component, the warpage and undulation of the joint surface between the radiator and the electronic component can be easily filled without applying a strong load to the electronic component. Since the heat dissipation sheet has high thermal conductivity, there is no space with high thermal resistance, and the heat conduction efficiency from the electronic component to the radiator is improved, and the heat from the electronic component is easily radiated. Is what you can do. Further, since the change in the mechanical properties in the heat resistance test is low, the change in the mechanical properties due to the heat generated from the electronic components is small, and the device can be used stably for a long period of time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態の一例を示すものであり、
(a)はシランカップリング剤で表面処理を施された熱
伝導性無機フィラーを示す模式図、(b)は(a)の一
部拡大した模式図である。
FIG. 1 shows an example of an embodiment of the present invention,
(A) is a schematic diagram showing a thermally conductive inorganic filler surface-treated with a silane coupling agent, and (b) is a partially enlarged schematic diagram of (a).

【図2】(a)は本発明の放熱シートの使用形態の一例
を示す断面図、(b)は(a)の一部の拡大図、(c)
は放熱シートを使用しない場合の放熱器と電子部品との
接合面を示す一部の断面図である。
Figure 2 (a) is a sectional view showing an example of application of the thermal sheet release of the present invention, (b) is an enlarged view of a portion of (a), (c)
FIG. 4 is a partial cross-sectional view showing a joint surface between a radiator and an electronic component when a heat radiating sheet is not used.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 熱伝導性無機フィラー 3 放熱シート 1 thermal conductive inorganic filler 3 heat dissipation sheet

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平9−321191(JP,A) 特開 平7−292251(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C08L 83/04 C08K 7/04 C08K 9/06 C08K 3/20 C08K 3/28 C08K 3/34 C08K 3/38 Continuation of the front page (56) References JP-A-9-321191 (JP, A) JP-A-7-292251 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) C08L 83 / 04 C08K 7/04 C08K 9/06 C08K 3/20 C08K 3/28 C08K 3/34 C08K 3/38

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 シリコーンゴムに、下記一般式(A)
示されるシランカップリング剤で表面処理を施した熱伝
導性無機フィラーを分散させて成り、熱伝導性無機フィ
ラーが熱伝導性シリコーンゴム組成物全量に対して40
vol%〜80vol%であることを特徴とする熱伝導
性シリコーンゴム組成物。 【化1】
To 1. A silicone rubber, Ri formed by dispersing thermally conductive inorganic filler surface-treated with a silane coupling agent represented <br/> by the following general formula (A), the thermally conductive inorganic Fi
Is 40% based on the total amount of the thermally conductive silicone rubber composition.
vol% ~80vol% der Rukoto thermally conductive silicone rubber composition characterized. Embedded image
【請求項2】 上記熱伝導性無機フィラーとして金属酸
化物、金属窒化物、金属炭化物、金属ほう化物、及び金
属単体から選択されたものを用いることを特徴とする請
求項1に記載の熱伝導性シリコーンゴム組成物。
2. The heat conduction according to claim 1, wherein the heat conductive inorganic filler is selected from the group consisting of metal oxides, metal nitrides, metal carbides, metal borides, and simple metals. Silicone rubber composition.
【請求項3】 熱伝導性無機フィラーとしてアルミナを
用いることを特徴とする請求項1又は2に記載の熱伝導
性シリコーンゴム組成物。
3. The thermally conductive silicone rubber composition according to claim 1, wherein alumina is used as the thermally conductive inorganic filler.
【請求項4】 熱伝導性無機フィラーとしてシリカを用
いることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載
の熱伝導性シリコーンゴム組成物。
4. The thermally conductive silicone rubber composition according to claim 1, wherein silica is used as the thermally conductive inorganic filler.
【請求項5】 請求項1乃至4のいずれかに記載の熱伝
導性シリコーンゴム組成物を成形して成ることを特徴と
する放熱シート。
5. A heat dissipation sheet formed by molding the heat conductive silicone rubber composition according to claim 1.
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