JP3289759B2 - コロナモータおよびその製造方法 - Google Patents
コロナモータおよびその製造方法Info
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- JP3289759B2 JP3289759B2 JP06178595A JP6178595A JP3289759B2 JP 3289759 B2 JP3289759 B2 JP 3289759B2 JP 06178595 A JP06178595 A JP 06178595A JP 6178595 A JP6178595 A JP 6178595A JP 3289759 B2 JP3289759 B2 JP 3289759B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超小型の回転駆動装置
として用いられる静電力を利用したアクチュエータに関
する。
として用いられる静電力を利用したアクチュエータに関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来のコロナモータは図６に示すよう
に、絶縁円板からなる回転子２の両面にくし形電極９を
２組配置したものがある。くし形電極９は極性の異なる
一対のくし形電極９１ともう一対の９２を１８０°の位
置に配置したものである。くし形電極９から回転子２の
両面にコロナ放電を行わせると、回転子２の円板上にく
し形電極９と同符号の電荷が集まる。そうすると、回転
子２とくし状電極９との間に反発力が生じて回転力が発
生する。回転子２が９０度以上回転すると反発力と同時
に今度は反対符号の電極との間に吸引力が働き、反対符
号電極に接近する。接近すると今度はコロナ放電により
同符号の電荷に切り換えられる。くし形電極９のところ
で回転子２の電荷の極性が切り換えられることにより、
回転子２は連続的に同一方向の力を受けて回転する（例
えば、オーム社発行、静電気学会編者の「静電気ハンド
ブック」Ｐ．６６８〜６６９）。
に、絶縁円板からなる回転子２の両面にくし形電極９を
２組配置したものがある。くし形電極９は極性の異なる
一対のくし形電極９１ともう一対の９２を１８０°の位
置に配置したものである。くし形電極９から回転子２の
両面にコロナ放電を行わせると、回転子２の円板上にく
し形電極９と同符号の電荷が集まる。そうすると、回転
子２とくし状電極９との間に反発力が生じて回転力が発
生する。回転子２が９０度以上回転すると反発力と同時
に今度は反対符号の電極との間に吸引力が働き、反対符
号電極に接近する。接近すると今度はコロナ放電により
同符号の電荷に切り換えられる。くし形電極９のところ
で回転子２の電荷の極性が切り換えられることにより、
回転子２は連続的に同一方向の力を受けて回転する（例
えば、オーム社発行、静電気学会編者の「静電気ハンド
ブック」Ｐ．６６８〜６６９）。
【０００３】
【本発明が解決しようとする課題】ところが、コロナモ
ータを小型化するには、回転力を高める必要がある。回
転力を高めるには、電極数を増やし、かつ傾斜させる必
要がある。従来技術では微小な電極を精度よく傾斜させ
て配置することが困難であり、また、回転子の両面から
電圧を加えるための部品点数が多く、回転子と電極の位
置決めが困難であるといった問題があった。そこで、本
発明は固定子全面にわたって多数の電極を精度よく傾斜
させ配置することにより、駆動力が大きく、構造の簡単
な小型のコロナモータを提供することを目的とする。
ータを小型化するには、回転力を高める必要がある。回
転力を高めるには、電極数を増やし、かつ傾斜させる必
要がある。従来技術では微小な電極を精度よく傾斜させ
て配置することが困難であり、また、回転子の両面から
電圧を加えるための部品点数が多く、回転子と電極の位
置決めが困難であるといった問題があった。そこで、本
発明は固定子全面にわたって多数の電極を精度よく傾斜
させ配置することにより、駆動力が大きく、構造の簡単
な小型のコロナモータを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、本発明は少なくとも１対の極性の異なる電極を有す
る固定子と、絶縁体からなる回転子とを微小空隙をもっ
て対向させ、前記電極に印加した電圧により放電現象を
発生させ、前記回転子に前記電極と同極の荷電粒子を帯
電させて生じる反発力と、この反発力によって前記回転
子が駆動して異極性の電極に接近した時に生ずる吸引力
と、吸引後、異極性の電圧により荷電粒子の極性が異極
性に変化したときの反発力との繰り返しによって前記回
転子を駆動させるコロナモータにおいて、前記固定子
は、前記回転子の一方の側に設けた絶縁板と、前記絶縁
板表面の中心から放射状に等角度のピッチで延びた一方
の極性の幹線電極と、前記幹線電極同志の間に前記絶縁
板の縁淵部から中心に向かって等角度のピッチで延びた
他方の極性の幹線電極と、前記幹線電極の表面に接触・
導通させたコーン状または錘状の放電電極とからなり、
かつ前記放電電極の先端を通る中心線を前記回転子表面
の垂直線に対して傾斜させた構成にしている。また、前
記固定子の作製方法は絶縁基板の表面に中心から放射状
に等角度で延びる幹線電極を配線し、この上に感光性樹
脂を塗布し微細マスクをもうけて選択的に感光させて電
極支持部をつくり、その上に電極用の金属層を設け、さ
らにその上に放電電極となる部分にレジストマスクをも
うけ、前記電極用の金属層を等方性エッチングによりコ
ーン状または錘状の前記放電電極を形成し、前記感光性
樹脂の非感光部を溶解除去した後、前記幹線電極にパル
ス電圧を印加して前記放電電極を接触・導通させて作製
する。
め、本発明は少なくとも１対の極性の異なる電極を有す
る固定子と、絶縁体からなる回転子とを微小空隙をもっ
て対向させ、前記電極に印加した電圧により放電現象を
発生させ、前記回転子に前記電極と同極の荷電粒子を帯
電させて生じる反発力と、この反発力によって前記回転
子が駆動して異極性の電極に接近した時に生ずる吸引力
と、吸引後、異極性の電圧により荷電粒子の極性が異極
性に変化したときの反発力との繰り返しによって前記回
転子を駆動させるコロナモータにおいて、前記固定子
は、前記回転子の一方の側に設けた絶縁板と、前記絶縁
板表面の中心から放射状に等角度のピッチで延びた一方
の極性の幹線電極と、前記幹線電極同志の間に前記絶縁
板の縁淵部から中心に向かって等角度のピッチで延びた
他方の極性の幹線電極と、前記幹線電極の表面に接触・
導通させたコーン状または錘状の放電電極とからなり、
かつ前記放電電極の先端を通る中心線を前記回転子表面
の垂直線に対して傾斜させた構成にしている。また、前
記固定子の作製方法は絶縁基板の表面に中心から放射状
に等角度で延びる幹線電極を配線し、この上に感光性樹
脂を塗布し微細マスクをもうけて選択的に感光させて電
極支持部をつくり、その上に電極用の金属層を設け、さ
らにその上に放電電極となる部分にレジストマスクをも
うけ、前記電極用の金属層を等方性エッチングによりコ
ーン状または錘状の前記放電電極を形成し、前記感光性
樹脂の非感光部を溶解除去した後、前記幹線電極にパル
ス電圧を印加して前記放電電極を接触・導通させて作製
する。
【０００５】
【作用】上記手段により、印加電圧の極性の異なる幹線
電極を交互に配置し、その作製をフォトリソグラフィ技
術や電鋳技術を適用したので、多数の放電電極を設ける
ことができる。したがって、小型にすることができ駆動
力を大きくできる。そして放電電極の形状をコーン状ま
たは錘状にして回転子表面の垂直線に対して傾斜させた
配置にしたので、回転子表面に対する角度の大きい部分
と小さい部分では電界密度の差異が生じ、反発力を増加
することができる。また、回転子の反空隙側の面金属膜
を配置したので、放電電極を固定子の片面のみ配置する
ことができ、部品点数を減らすことができる。さらに幹
線電極を２相の共通配線に結線したので、配線を簡略化
でき、小型化することができる。
電極を交互に配置し、その作製をフォトリソグラフィ技
術や電鋳技術を適用したので、多数の放電電極を設ける
ことができる。したがって、小型にすることができ駆動
力を大きくできる。そして放電電極の形状をコーン状ま
たは錘状にして回転子表面の垂直線に対して傾斜させた
配置にしたので、回転子表面に対する角度の大きい部分
と小さい部分では電界密度の差異が生じ、反発力を増加
することができる。また、回転子の反空隙側の面金属膜
を配置したので、放電電極を固定子の片面のみ配置する
ことができ、部品点数を減らすことができる。さらに幹
線電極を２相の共通配線に結線したので、配線を簡略化
でき、小型化することができる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図に基づいて説明す
る。図１は本発明のコロナモータの概観を示す斜視図、
図２は部分側断面図、図３は固定子の平面図である。図
において１は固定子、２は回転子、３は回転軸である。
固定子４と回転子２とは微小な空隙を介して平行に図示
しない支持機構によって支持されている。固定子は図３
に示すように、円形の絶縁板１１の表面に一定の角度ピ
ッチで放射状に設けられた幹線電極１２と幹線電極１２
を一つ置きに２相に分け、それぞれを内径側と外径側で
結線されている共通配線１３および幹線電極１２の上に
設けた放電電極１４とからなる。幹線電極１２はＡ相幹
線電極１２１とＢ相幹線電極１２２とからなる。Ａ相幹
線電極１２１は内径側のＡ相共通配線１３１に接続され
ており、Ｂ相幹線電極１２２は外径側のＢ相共通配線１
３２に接続されている。放電電極１４は図２に示すよう
に、円錐形をしており、底面の一方端が幹線電極１２に
接触し電気的導通がとられ、底面の他方端は幹線電極１
２より大きい寸法の段差のある電極支持部６にのってい
る。これにより、放電電極１４は先端をとおる中心線が
回転子２の表面に対して傾斜することになる。放電電極
１４は図示しないが、全ての幹線電極１２の上に配置さ
れている。放電電極１４は幹線電極１２が交互に二つの
相に接続されているため、交互にＡ相放電電極１４１と
Ｂ相放電電極１４２の二つの相にわけられる。回転子２
は絶縁板２１と反空隙側の面に金属膜からなる背面電極
２２が設けられ、中心部には回転軸３が固定されてい
る。つぎに動作原理を図４により説明する。いま、Ａ相
幹線電極１２１に直流の正極（＋Ｖ）の電圧を、Ｂ相幹
線電極１２２に負極（−Ｖ）の電圧を加えると、回転子
２と放電電極１４間の電界が大きくなりコロナ放電が起
こる。図４（ａ）では、回転子２に背面電極２２を設け
ているので、Ａ相放電電極１４１に対向する回転子２の
領域では放電電極１４に向かって電荷が放出されので、
＋の電荷が帯電し、Ｂ相放電電極１４２に対向する回転
子２の領域では放電電極１４から回転子２に向かって電
荷が放出されるので、−の電荷が帯電する。したがっ
て、放電電極１４と回転子２の電荷が帯電した領域との
間で極性は異なっても全て反発力が働き、回転子２はわ
ずかに回転する。図４（ｂ）では、回転子２の帯電領域
が、隣接する次の放電電極１４に接近すると、互いに極
性が異なるため吸引力が働き、さらに回転力を高める。
図４（ｃ）では、帯電領域が放電電極１４に最接近する
と、放電電極１４からの放電により、今度は反対の極
性、つまり放電電極１４と同極性に切り替わる。このた
め、反発力が発生して回転子を押し進めるような力が働
く。順次、この動作が繰り返えされることによって回転
子は連続的に回転する。図５は本発明の固定子１の作製
プロセスを示した図である。微細化するためにフォトリ
ソグラフィ、技術を用いて作製する。まず、絶縁板１１
の上にマスクを用いて薄膜金属を蒸着して幹線電極のパ
ターニングを行う（図５（ａ））。続いて、その上にポ
リイミド系樹脂のような弾力のある感光性樹脂５を塗布
し、たとえば、ポジ型の感光性樹脂５の場合には、電極
支持部６の形状になるように感光性樹脂５を感光させて
おく（図５（ｂ））。さらに、その上に銅のシードめっ
きを蒸着してその上にＮｉ等の金属を電鋳によりメッ
キ、電極用金属層７を形成する。その上に放電電極１４
を作製する時のマスクとして用いるレジスト８を塗って
パターニングする（図５（ｃ））。等方性のエッチング
によってＮｉを尖らせて放電電極１４を形成する。つぎ
に、感光性樹脂５を現象、除去する。最後に幹線電極１
２に電圧を加えると静電力によって放電電極１４が幹線
電極に引きつけられるが一端が支持されているので固定
子電極は傾きやがて幹線電極と接触する。流れる電流に
よって固定子電極と幹線電極は融着する（図５
（ｄ））。
る。図１は本発明のコロナモータの概観を示す斜視図、
図２は部分側断面図、図３は固定子の平面図である。図
において１は固定子、２は回転子、３は回転軸である。
固定子４と回転子２とは微小な空隙を介して平行に図示
しない支持機構によって支持されている。固定子は図３
に示すように、円形の絶縁板１１の表面に一定の角度ピ
ッチで放射状に設けられた幹線電極１２と幹線電極１２
を一つ置きに２相に分け、それぞれを内径側と外径側で
結線されている共通配線１３および幹線電極１２の上に
設けた放電電極１４とからなる。幹線電極１２はＡ相幹
線電極１２１とＢ相幹線電極１２２とからなる。Ａ相幹
線電極１２１は内径側のＡ相共通配線１３１に接続され
ており、Ｂ相幹線電極１２２は外径側のＢ相共通配線１
３２に接続されている。放電電極１４は図２に示すよう
に、円錐形をしており、底面の一方端が幹線電極１２に
接触し電気的導通がとられ、底面の他方端は幹線電極１
２より大きい寸法の段差のある電極支持部６にのってい
る。これにより、放電電極１４は先端をとおる中心線が
回転子２の表面に対して傾斜することになる。放電電極
１４は図示しないが、全ての幹線電極１２の上に配置さ
れている。放電電極１４は幹線電極１２が交互に二つの
相に接続されているため、交互にＡ相放電電極１４１と
Ｂ相放電電極１４２の二つの相にわけられる。回転子２
は絶縁板２１と反空隙側の面に金属膜からなる背面電極
２２が設けられ、中心部には回転軸３が固定されてい
る。つぎに動作原理を図４により説明する。いま、Ａ相
幹線電極１２１に直流の正極（＋Ｖ）の電圧を、Ｂ相幹
線電極１２２に負極（−Ｖ）の電圧を加えると、回転子
２と放電電極１４間の電界が大きくなりコロナ放電が起
こる。図４（ａ）では、回転子２に背面電極２２を設け
ているので、Ａ相放電電極１４１に対向する回転子２の
領域では放電電極１４に向かって電荷が放出されので、
＋の電荷が帯電し、Ｂ相放電電極１４２に対向する回転
子２の領域では放電電極１４から回転子２に向かって電
荷が放出されるので、−の電荷が帯電する。したがっ
て、放電電極１４と回転子２の電荷が帯電した領域との
間で極性は異なっても全て反発力が働き、回転子２はわ
ずかに回転する。図４（ｂ）では、回転子２の帯電領域
が、隣接する次の放電電極１４に接近すると、互いに極
性が異なるため吸引力が働き、さらに回転力を高める。
図４（ｃ）では、帯電領域が放電電極１４に最接近する
と、放電電極１４からの放電により、今度は反対の極
性、つまり放電電極１４と同極性に切り替わる。このた
め、反発力が発生して回転子を押し進めるような力が働
く。順次、この動作が繰り返えされることによって回転
子は連続的に回転する。図５は本発明の固定子１の作製
プロセスを示した図である。微細化するためにフォトリ
ソグラフィ、技術を用いて作製する。まず、絶縁板１１
の上にマスクを用いて薄膜金属を蒸着して幹線電極のパ
ターニングを行う（図５（ａ））。続いて、その上にポ
リイミド系樹脂のような弾力のある感光性樹脂５を塗布
し、たとえば、ポジ型の感光性樹脂５の場合には、電極
支持部６の形状になるように感光性樹脂５を感光させて
おく（図５（ｂ））。さらに、その上に銅のシードめっ
きを蒸着してその上にＮｉ等の金属を電鋳によりメッ
キ、電極用金属層７を形成する。その上に放電電極１４
を作製する時のマスクとして用いるレジスト８を塗って
パターニングする（図５（ｃ））。等方性のエッチング
によってＮｉを尖らせて放電電極１４を形成する。つぎ
に、感光性樹脂５を現象、除去する。最後に幹線電極１
２に電圧を加えると静電力によって放電電極１４が幹線
電極に引きつけられるが一端が支持されているので固定
子電極は傾きやがて幹線電極と接触する。流れる電流に
よって固定子電極と幹線電極は融着する（図５
（ｄ））。
【０００７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、フ
ォトリソグラフィ技術や電鋳技術を用いて極性の異なる
幹線電極を交互に配置し、その幹線電極に多数の放電電
極を設けたので、駆動力が大きく、構造が簡単な超小型
のコロナモータを得る効果がある。
ォトリソグラフィ技術や電鋳技術を用いて極性の異なる
幹線電極を交互に配置し、その幹線電極に多数の放電電
極を設けたので、駆動力が大きく、構造が簡単な超小型
のコロナモータを得る効果がある。
【図１】本発明のコロナモータを示す斜視図である。
【図２】本発明のコロナモータの部分側断面図である。
【図３】本発明の固定子を示す平面図である。
【図４】本発明の駆動原理を示す側断面図である。
【図５】本発明の固定子の作製方法を示す断面図であ
る。
る。
【図６】従来のコロナモータを示す断面図である。
１ ：固定子 １１：絶縁板 １２：幹線電極 １２１：Ａ相幹線電極 １２２：Ｂ相幹線電極 １３：共通配線 １３１：Ａ相共通配線 １３２：Ｂ相共通配線 １４：放電電極 １４１：Ａ相放電電極 １４２：Ｂ相放電電極 ２ ：回転子 ２１：絶縁板 ２２：背面電極 ３ ：回転軸 ４ ：直流電源 ５ ：感光性樹脂 ６ ：感光部（電極支持部） ７ ：電極用金属層 ８ ：レジスト ９、９１、９２：くし形電極
Claims (5)
- 【請求項１】少なくとも１対の極性の異なる電極を有す
る固定子と、絶縁体からなる回転子とを微小空隙をもっ
て対向させ、前記電極に印加した電圧により放電現象を
発生させ、前記回転子に前記電極と同極の荷電粒子を帯
電させて生じる反発力と、この反発力によって前記回転
子が駆動して異極性の電極に接近した時に生ずる吸引力
と、吸引後、異極性の電圧により荷電粒子の極性が異極
性に変化したときの反発力との繰り返しによって前記回
転子を駆動させるコロナモータにおいて、 前記固定子は、前記回転子の一方の側に設けた絶縁板
と、前記絶縁板表面の中心から放射状に等角度のピッチ
で延びた一方の極性の幹線電極と、前記幹線電極同志の
間に前記絶縁板の縁淵部から中心に向かって等角度のピ
ッチで延びた他方の極性の幹線電極と、前記幹線電極の
表面に接触・導通させたコーン状または錘状の放電電極
とからなり、かつ前記放電電極の先端を通る中心線を前
記回転子表面の垂直線に対して傾斜させたことを特徴と
するコロナモータ。 - 【請求項２】前記回転子の反空隙側の面に電気伝導性の
膜を設けたことを特徴とする請求項１記載のコロナモー
タ。 - 【請求項３】前記幹線電極は、内径側と外径側にそれぞ
れ共通配線をもうけていることを特徴とする請求項１ま
たは２のいずれかに記載のコロナモータ。 - 【請求項４】少なくとも１対の極性の異なる電極を有す
る固定子と、絶縁体からなる回転子とを微小空隙をもっ
て対向させ、前記電極に印加した電圧により放電現象を
発生させ、前記回転子に前記電極と同極の荷電粒子を帯
電させて生じる反発力と、この反発力によって前記回転
子が駆動して異極性の電極に接近した時に生ずる吸引力
と、吸引後、異極性の電圧により荷電粒子の極性が異極
性に変化したときの反発力との繰り返しによって前記回
転子を駆動させるコロナモータの製造方法において、 前記固定子は絶縁板の表面に中心から放射状に等角度で
延びる幹線電極を配線し、この上に感光性樹脂を塗布し
微細マスクをもうけて選択的に感光させ電極支持部をつ
くり、その上に電極用の金属層を設け、さらにその上に
放電電極となる部分にレジストマスクをもうけ、前記電
極用の金属層を等方性エッチングによりコーン状または
錘状の前記放電電極を形成し、前記感光性樹脂の非感光
部を溶解除去した後、前記幹線電極にパルス電圧を印加
して前記放電電極を接触・導通させて作製することを特
徴とするコロナモータの製造方法。 - 【請求項５】 前記幹線電極および前記放電電極をフォ
トリソグラフィ技術を用い、前記放電電極のベースとな
る前記金属層を電鋳により作製することを特徴とする請
求項４記載のコロナモータの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06178595A JP3289759B2 (ja) | 1995-02-24 | 1995-02-24 | コロナモータおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06178595A JP3289759B2 (ja) | 1995-02-24 | 1995-02-24 | コロナモータおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08237965A JPH08237965A (ja) | 1996-09-13 |
| JP3289759B2 true JP3289759B2 (ja) | 2002-06-10 |
Family
ID=13181099
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06178595A Expired - Fee Related JP3289759B2 (ja) | 1995-02-24 | 1995-02-24 | コロナモータおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3289759B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4537128B2 (ja) * | 2004-06-22 | 2010-09-01 | シシド静電気株式会社 | コロナモータ |
-
1995
- 1995-02-24 JP JP06178595A patent/JP3289759B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08237965A (ja) | 1996-09-13 |
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