JP3285496B2 - Continuity inspection device, its inspection method, and its inspection probe - Google Patents

Continuity inspection device, its inspection method, and its inspection probe

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JP3285496B2 JP20593296A JP20593296A JP3285496B2 JP 3285496 B2 JP3285496 B2 JP 3285496B2 JP 20593296 A JP20593296 A JP 20593296A JP 20593296 A JP20593296 A JP 20593296A JP 3285496 B2 JP3285496 B2 JP 3285496B2
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  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、導通を検査する装
置及びその検査方法に関し、特にプリント基板上のパタ
ーンの導通検査を行う導通検査装置及びその検査方法及
びその検査プローブに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for inspecting continuity and an inspection method thereof, and more particularly, to an continuity inspection apparatus for inspecting continuity of a pattern on a printed circuit board, an inspection method thereof, and an inspection probe thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】プリント基板上にプリントされた導体パ
ターンや、その導体パターンに半田付けされた部品を含
めた導通検査の手法が、従来より提案されている。例え
ば、特開平6−213955号には、部品を半田付けさ
れたプリント基板を、触針(プローブ)がマトリックス
状に複数配置された基板の上に該プリント基板のパター
ン面が接するように載せ、更に該プリント基板の部品上
に、容量性テストプローブが複数配置されたプレート状
の検査プローブを載せ、その検査プローブと各触針との
間に形成される容量性結合を測定し、所定値と比較する
ことにより、半田付け不良や断線等を検出する手法が開
示されている。また、例えば、特開平4−244976
号には、プリント基板の一方の端部にその基板の導体パ
ターンと等間隔に配列された複数のピン状の検査プロー
ブを接触させ、もう一方の端部の該導体パターンの末端
部分に接続されたコネクタの上部に導通チェック治具を
載せ、容量結合させることにより、非接触で各導体パタ
ーンの導通を検査する手法が開示されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, there has been proposed a continuity inspection method including a conductor pattern printed on a printed circuit board and components soldered to the conductor pattern. For example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 6-213955, a printed board on which components are soldered is placed on a board on which a plurality of styluses (probes) are arranged in a matrix so that the pattern surface of the printed board is in contact with the board. Further, a plate-shaped inspection probe having a plurality of capacitive test probes placed thereon is mounted on the printed circuit board component, and a capacitive coupling formed between the inspection probe and each stylus is measured. A method of detecting a soldering failure, a disconnection, or the like by comparison is disclosed. Further, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-244076
In this case, a plurality of pin-shaped inspection probes arranged at regular intervals with the conductor pattern of the printed board are brought into contact with one end of the printed board, and the other end is connected to the end of the conductor pattern. A method of inspecting the continuity of each conductor pattern in a non-contact manner by mounting a continuity check jig on the upper part of the connector and coupling the jigs capacitively is disclosed.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例においては、前者の場合、触針(プローブ)が2次
元方向に複数配置されているため、検査対象であるプリ
ント基板に全ての触針が適切に接触しているかを適時確
認する必要がある。また、触針の先端部分が細い形状を
しているので、プリント基板の接触部分に傷を付けない
ように、且つ該触針自体を曲げないように取り扱う必要
がある。また、後者の場合、前記の等間隔に配列された
複数のピン状の検査プローブを、プリント基板の導体パ
ターンの所定位置に接触させる必要があるため、検査す
べきプリント基板が小型・高密度化するほど位置決めが
困難となる。更に、上記の何れの場合も触針またはピン
状の検査プローブが、検査対象であるプリント基板の導
体パターンと等間隔で配置されているため、導体パター
ンの間隔が異なるプリント基板への応用が困難である。
However, in the above conventional example, in the former case, since a plurality of styluses (probes) are arranged in a two-dimensional direction, all the styluses are placed on the printed circuit board to be inspected. It is necessary to confirm that contact is being made properly. Further, since the tip of the stylus has a thin shape, it is necessary to handle the stylus so as not to damage the contact portion of the printed circuit board and to bend the stylus itself. In the latter case, the plurality of pin-shaped inspection probes arranged at equal intervals need to be brought into contact with predetermined positions of the conductor pattern on the printed circuit board. The more difficult it is to position. Further, in any of the above cases, the stylus or the pin-shaped inspection probe is arranged at regular intervals with the conductor pattern of the printed circuit board to be inspected, so that it is difficult to apply to a printed circuit board having different conductor pattern intervals. It is.

【0004】そこで本発明は、位置決めが容易で、汎用
性に優れた導通検査装置及びその検査方法及びその検査
プローブの提供を目的とする。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a continuity inspection apparatus which is easy to position and is excellent in versatility, an inspection method therefor, and an inspection probe therefor.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の導通検査装置は以下の構成を特徴とする。
In order to achieve the above object, a continuity inspection apparatus according to the present invention has the following features.

【0006】即ち、基板上に形成されている複数の導体
パターンに検査プローブを接触させ、その複数の導体パ
ターンの導通を検査する導通検査装置であって、前記検
査プローブが有する複数の検出導体を、前記複数の導体
パターンに関連付ける関連付け手段と、その関連付け手
段により得られた関連付け情報に基づいて前記複数の導
体パターンをそれぞれ選択し、導通を検査する検査手段
とを備え、前記複数の導体パターンに前記検査プローブ
を接触させ、前記複数の検出導体のうちのある検出導体
に電圧を印加した結果、その電圧が検出された前記ある
検出導体以外の検出導体と前記ある検出導体とを、前記
複数の導体パターンのうちのある導体パターンとして関
連付けすることを特徴とする。
That is, a continuity inspection apparatus for contacting an inspection probe with a plurality of conductor patterns formed on a substrate and inspecting the continuity of the plurality of conductor patterns, wherein a plurality of detection conductors of the inspection probe are provided. An association unit for associating with the plurality of conductor patterns, and an inspection unit for selecting the plurality of conductor patterns based on the association information obtained by the association unit, and inspecting continuity , The inspection probe
And a detection conductor of the plurality of detection conductors
As a result of applying a voltage to the
The detection conductor other than the detection conductor and the certain detection conductor,
Related as a certain conductor pattern among multiple conductor patterns
It characterized Rukoto to be assigned communication.

【0007】[0007]

【0008】また例えば、前記検査プローブが有する複
数の検出導体は、前記複数の導体パターンにおける各導
体パターンに、少なくとも2つ接触する間隔で配置され
ていることを特徴とし、好ましくは前記複数の検出導体
の間隔は、前記複数の導体パターンの間隔の略1/3で
あるとよい。
Further, for example, the plurality of detection conductors of the inspection probe are arranged at intervals of at least two in contact with each of the plurality of conductor patterns, and preferably the plurality of detection conductors are provided. The interval between the conductors is preferably about 1/3 of the interval between the plurality of conductor patterns.

【0009】また例えば、前記検査プローブの複数の検
出導体を、フレキシブル基板により作成し、そのフレキ
シブル基板における前記複数の導体パターンとの接触部
分を、弾性材により支持したことを特徴とする。これに
より、検査プローブの構造を単純化し、且つ導体パター
ンへの接触を確実なものとする。また、上記の目的を達
成するため、本発明の導通検査方法は以下の構成を特徴
とする。
Further, for example, a plurality of detection conductors of the inspection probe are formed on a flexible substrate, and portions of the flexible substrate that are in contact with the plurality of conductor patterns are supported by an elastic material. This simplifies the structure of the inspection probe and ensures contact with the conductor pattern. In order to achieve the above object, a continuity inspection method of the present invention has the following configuration.

【0010】即ち、基板上に形成されている複数の導体
パターンに検査プローブを接触させ、その複数の導体パ
ターンの導通を検査する導通検査方法であって、前記検
査プローブが有する複数の検出導体を、前記複数の導体
パターンに関連付ける関連付け工程と、その関連付け工
程により得られた関連付け情報に基づいて前記複数の導
体パターンをそれぞれ選択し、導通を検査する検査工程
とを備え、前記関係付け工程は、前記複数の導体パター
ンに前記検査プローブを接触させ、前記複数の検出導体
のうちのある検出導体に電圧を印加し、その電圧が検出
された前記ある検出導体以外の検出導体と前記ある検出
導体とを、前記複数の導体パターンのうちのある導体パ
ターンとして関連付けすることを特徴とする。
That is, a continuity inspection method for contacting an inspection probe with a plurality of conductor patterns formed on a substrate and inspecting continuity of the plurality of conductor patterns, wherein the plurality of detection conductors of the inspection probe are An association step of associating with the plurality of conductor patterns, and an inspection step of selecting each of the plurality of conductor patterns based on the association information obtained in the association step and inspecting continuity , wherein the associating step includes: The plurality of conductor putters
Contacting the test probe with the detection probe, applying a voltage to a certain detection conductor of the plurality of detection conductors, and detecting the voltage and detecting the detection conductor other than the certain detection conductor and the certain detection conductor. Of the conductor patterns described above.

【0011】[0011]

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
を参照して説明する。はじめに、本発明に係る導通検査
装置の全体の構成について図1及び図2を参照して説明
する。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. First, the overall configuration of the continuity inspection device according to the present invention will be described with reference to FIGS.

【0013】図1は、本発明の一実施形態としての導通
検査装置のシステム構成図である。
FIG. 1 is a system configuration diagram of a continuity inspection device as one embodiment of the present invention.

【0014】図中、1は検査プローブ(詳細は後述す
る)であり、検査対象である基板10上の導体パターン
102の一方の端部にあるコンタクト101Aに接触さ
せる。2はコネクタであり、導体パターン102のもう
一方の端部にあるコンタクト101Bに接続される。3
は制御装置であり、検査装置全体の動作を制御する(動
作については後述する)。6及び7はスイッチ回路であ
り、好ましくは複数のFET(Field Effect Transisto
r)を有するマルチプレクサ回路である。4はアナログ/
デジタル(以下、A/D)コンバータであり、スイッチ
回路7からのアナログ出力電圧をデジタル信号に変換し
て制御装置3に入力する。5はDC電源であり、スイッ
チ回路6に供給される。8はドライバ・レシーバ回路で
あり、プローブ1とスイッチ回路6及び/または制御装
置3との間の電圧のインタフェースを行う。好ましく
は、基板10の所定位置へのセット及びそのセットされ
た基板10上へのプローブ1の移動は不図示の工業用ロ
ボット及びステージ等により自動化されているものとす
る。
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes an inspection probe (to be described in detail later), which is brought into contact with a contact 101A at one end of a conductor pattern 102 on a substrate 10 to be inspected. Reference numeral 2 denotes a connector, which is connected to a contact 101B at the other end of the conductor pattern 102. 3
Denotes a control device, which controls the operation of the entire inspection device (the operation will be described later). Reference numerals 6 and 7 denote switch circuits, preferably a plurality of FETs (Field Effect Transistors).
r). 4 is analog /
A digital (hereinafter, A / D) converter converts an analog output voltage from the switch circuit 7 into a digital signal and inputs the digital signal to the control device 3. Reference numeral 5 denotes a DC power supply, which is supplied to the switch circuit 6. Reference numeral 8 denotes a driver / receiver circuit, which interfaces a voltage between the probe 1 and the switch circuit 6 and / or the control device 3. Preferably, the setting of the substrate 10 at a predetermined position and the movement of the probe 1 onto the set substrate 10 are automated by an unillustrated industrial robot, stage, and the like.

【0015】尚、以下の説明において、基板10のパタ
ーン102は図示の如く導体が平行に配置された形状の
プリント基板やフレキシブル基板とする。また、コネク
タ2はコネクタに限られるものではなく、パターン10
2と等間隔で配置されたピンプローブや、交流電圧の印
加による非接触検査を行うための容量性プローブであっ
てもよいことは言うまでもない。
In the following description, the pattern 102 of the board 10 is a printed board or a flexible board having conductors arranged in parallel as shown in the figure. Further, the connector 2 is not limited to the connector,
Needless to say, it may be a pin probe arranged at an equal interval to 2 or a capacitive probe for performing a non-contact inspection by applying an AC voltage.

【0016】図2は、本発明の一実施形態としての制御
装置のブロック構成図である。
FIG. 2 is a block diagram of a control device according to an embodiment of the present invention.

【0017】図中、制御装置3は、例えばパーソナルコ
ンピュータであり、21はプログラムに従って導通検査
装置を制御するCPU、22は表示手段であるCRT、
23は入力手段であるキーボード、24はブートプログ
ラム等を記憶しているROM(リードオンリメモリ)、
25は各種処理結果を一時記憶するRAM、26はCP
U21で使用するプログラム等を記憶するハードディス
クドライブ(HDD)等の記憶装置、27はA/Dコン
バータ4からのデジタル信号が入力される入力インタフ
ェース、そして28はスイッチ回路6及び7に動作制御
信号を出力する出力インタフェースを備える。これらの
各構成は、内部バス29を介して接続されている。
In the figure, a control device 3 is, for example, a personal computer, 21 is a CPU for controlling a continuity inspection device according to a program, 22 is a CRT as display means,
23, a keyboard as input means; 24, a ROM (read only memory) storing a boot program and the like;
25 is a RAM for temporarily storing various processing results, 26 is a CP
A storage device such as a hard disk drive (HDD) for storing programs and the like used in U21, an input interface 27 for receiving a digital signal from the A / D converter 4, and an operation control signal 28 for the switch circuits 6 and 7 It has an output interface for outputting. These components are connected via an internal bus 29.

【0018】ここで、上記の構成を備える導通検査装置
の動作の概要を述べれば、制御装置3は、まず、DC電
源5が印加されているスイッチ回路6の接続を順次切り
換えることによりプローブ1とコンタクト101Aの接
触状態を判断(詳細は後述する)する(このとき、スイ
ッチ回路7は動作させず、パターン102とは電気的に
解放されているものとする)。次に、制御装置3は、パ
ターン102にDC電源5の電圧を順次印加するため、
該判断結果に基づいてスイッチ回路6及びスイッチ回路
7を切り換え、スイッチ回路7から得られる出力値をA
/Dコンバータ4で変換し入手する。これによりパター
ン102の導通検査を行う。
Here, an outline of the operation of the continuity inspection device having the above configuration will be described. First, the control device 3 sequentially switches the connection of the switch circuit 6 to which the DC power supply 5 is applied, thereby connecting the probe 1 to the probe circuit 1. The contact state of the contact 101A is determined (details will be described later) (at this time, it is assumed that the switch circuit 7 is not operated and the pattern 102 is electrically released). Next, the control device 3 sequentially applies the voltage of the DC power supply 5 to the pattern 102,
The switch circuit 6 and the switch circuit 7 are switched based on the determination result, and the output value obtained from the switch circuit 7 is set to A
Converted by the / D converter 4 and obtained. Thus, a continuity test of the pattern 102 is performed.

【0019】次に、プローブ1の構造について図3及び
図4を参照して説明する。
Next, the structure of the probe 1 will be described with reference to FIGS.

【0020】図3は、本発明の一実施形態としての検査
プローブの斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view of an inspection probe as one embodiment of the present invention.

【0021】図4は、本発明の一実施形態としての検査
プローブの構造説明図である。
FIG. 4 is a structural explanatory view of a test probe as one embodiment of the present invention.

【0022】図3及び図4において、プローブ1の検査
対象との接点を形成するフレキシブル基板51は、図4
に示すようにゴム55を貼り付けられたプローブボディ
54に取り巻くようにしてプローブボディカバー56に
より固定されている(一部接着している)。ゴム55の
形状は、フレキシブル基板51が基板10上の各パター
ン102と接触し易いように、図4の点Pの部分に合せ
て山形とするとよい。また、フレキシブル基板51の一
端は、コネクタ52及び平型のリード線53を介してド
ライバレシーバ回路8に接続される。フレキシブル基板
51のN本の導体は、接点Pの部分が基板10の各パタ
ーン102と接触する。このとき、弾性材としてのゴム
55の性質と、フレキシブル基板51の接点Pの部分の
形状により、基板10及びパターン102を傷つけるこ
となく、且つ各パターン102に適当な圧力で接触させ
ることができる。尚、リード線53の役割をフレキシブ
ル基板自身に持たせコネクタ52を省略したプローブ1
Aを図7に示す。
3 and 4, a flexible substrate 51 for forming a contact point of the probe 1 with an object to be inspected is shown in FIG.
As shown in (1), it is fixed (partially adhered) by a probe body cover 56 so as to surround the probe body 54 to which the rubber 55 is attached. The shape of the rubber 55 is preferably a mountain shape in accordance with the point P in FIG. 4 so that the flexible substrate 51 can easily come into contact with each pattern 102 on the substrate 10. One end of the flexible board 51 is connected to the driver receiver circuit 8 via a connector 52 and a flat lead wire 53. As for the N conductors of the flexible substrate 51, the contact P portion comes into contact with each pattern 102 of the substrate 10. At this time, due to the properties of the rubber 55 as the elastic material and the shape of the contact point P of the flexible substrate 51, the substrate 10 and the pattern 102 can be brought into contact with each pattern 102 at an appropriate pressure without being damaged. The probe 1 in which the flexible board itself has the role of the lead wire 53 and the connector 52 is omitted.
A is shown in FIG.

【0023】図7は、本発明の一実施形態の変形例とし
ての検査プローブの斜視図であり、フレキシブル基板5
1A自体をドライバ・レシーバ回路に接続すること以外
は図3及び図4のプローブ1と同様のため説明を省略す
る。
FIG. 7 is a perspective view of an inspection probe as a modification of the embodiment of the present invention,
Except that 1A itself is connected to the driver / receiver circuit, it is the same as the probe 1 of FIGS.

【0024】次に、本実施形態の導通検査の手法につい
て述べる。
Next, a continuity inspection method according to the present embodiment will be described.

【0025】図5は、本発明の一実施形態としてのプロ
ーブと基板の関係を説明する図である。
FIG. 5 is a diagram for explaining the relationship between a probe and a substrate according to an embodiment of the present invention.

【0026】図中、説明の便宜上基板10は短手方向の
断面で表わされており、M本の導体パターン(1021
〜102M)を有する。一方、プローブ1はN本の導体
(111〜11N)だけを表わしている。プローブ1の
導体間隔Aは、プローブ1を基板10に接触させた際、
1本のパターン102(幅B)上にプローブ1の導体が
少なくとも2本接触する間隔として、A<Bの条件を満
足し、好ましくはプローブ1の導体間隔が、基板10の
パターン間隔の略1/3とするとよい。尚、本実施形態
では、プローブ1の導体間隔及び基板10のパターン間
隔間隔は、数百ミクロンのオーダーである。この関係を
有するプローブ1により、まず、プローブ1の各導体
と、基板10の各パターン102の接触状態を判定す
る。即ち、制御装置3により、どのプローブ1の導体
と、どのパターン102が接触しているかを割り付ける
(関連付ける)。この割り付け処理から導通検査処理ま
での流れを図6に示す。
In the figure, for convenience of explanation, the substrate 10 is represented by a cross section in the short direction, and M conductor patterns (1021
〜10102 M). On the other hand, the probe 1 shows only N conductors (111 to 11N). When the probe 1 is brought into contact with the substrate 10, the conductor spacing A of the probe 1
The interval of at least two conductors of the probe 1 on one pattern 102 (width B) satisfies the condition of A <B, and preferably, the conductor interval of the probe 1 is approximately one of the pattern interval of the substrate / 3 is recommended. In this embodiment, the conductor spacing of the probe 1 and the pattern spacing of the substrate 10 are on the order of several hundred microns. First, the contact state between each conductor of the probe 1 and each pattern 102 on the substrate 10 is determined by the probe 1 having this relationship. That is, the controller 3 assigns (associates) which conductor of the probe 1 is in contact with which pattern 102. FIG. 6 shows a flow from the allocation processing to the continuity inspection processing.

【0027】図6は、本発明の一実施形態としての割り
付け処理/導通検査処理を示すフローチャートである。
FIG. 6 is a flowchart showing the assignment processing / continuity inspection processing as one embodiment of the present invention.

【0028】図中、ステップS1からステップS5は、
プローブ1の導体と、パターン102との割り付けルー
チン(尚、本ルーチンではスイッチ回路7は動作させな
い)である。制御装置3は、キーボード23からの検査
開始指令により、カウンタを初期化し(ステップS
1)、スイッチ回路6を動作させて導体11Iを選択
し、DC電源5の電圧を印加(ステップS2)する。そ
して、制御装置3は、ステップS2で印加した電圧が検
出できる導体11I以外のプローブ1の導体をスイッチ
回路6を動作させて検索し、その電圧を検出した全ての
導体を、ある1本のパターン102として割り付ける
(ステップS3)。例えば、Iが1の場合、図5では導
体111にDC電源5の電圧を印加される。この時、ス
イッチ回路6が導体112から導体11Nを順次選択す
ると、プローブ1が基板10に接触しているので、導体
111の印加電圧がパターン1021を介して導体11
2だけに印加される。この電圧を制御装置3が検出する
ことにより、ある1本のパターン(パターン1021)
として導体111と導体112が割り付けられることに
なる。この処理をプローブ1の導体111から導体11
Nまで順次行えば、基板10のM本のパターンとプロー
ブ1のN本の導体が割り付けられる。
In the figure, steps S1 to S5 are:
This is a routine for allocating the conductor of the probe 1 and the pattern 102 (the switch circuit 7 is not operated in this routine). The control device 3 initializes the counter in response to the inspection start command from the keyboard 23 (Step S).
1) The switch circuit 6 is operated to select the conductor 11I, and the voltage of the DC power supply 5 is applied (step S2). Then, the control device 3 searches the conductors of the probe 1 other than the conductor 11I in which the voltage applied in step S2 can be detected by operating the switch circuit 6 and searches all the conductors for which the voltage has been detected in one pattern. Assigned as 102 (step S3). For example, when I is 1, the voltage of the DC power supply 5 is applied to the conductor 111 in FIG. At this time, when the switch circuit 6 sequentially selects the conductors 112 to 11N, since the probe 1 is in contact with the substrate 10, the applied voltage of the conductor 111 is changed to the conductor 11N via the pattern 1021.
2 only. By detecting this voltage by the control device 3, a certain one pattern (pattern 1021)
As a result, the conductor 111 and the conductor 112 are allocated. This processing is performed from the conductor 111 of the probe 1 to the conductor 11
By sequentially performing the processing up to N, M patterns of the substrate 10 and N conductors of the probe 1 are allocated.

【0029】プローブ1のN本の導体についての割り付
け処理の終了をした場合は(ステップS4)、スイッチ
回路6にDC電源を印加し、ステップS3の割り付け結
果に基づいてスイッチ回路6及び7を連動させ、スイッ
チ回路7及びA/Dコンバータ4を介して該印加電圧を
検出することにより、基板10のM本のパターン102
の導通検査を順次行う(ステップS6)。
When the allocation process for the N conductors of the probe 1 is completed (step S4), DC power is applied to the switch circuit 6, and the switch circuits 6 and 7 are linked based on the allocation result in step S3. Then, by detecting the applied voltage via the switch circuit 7 and the A / D converter 4, the M patterns 102 on the substrate 10 are detected.
Are sequentially performed (step S6).

【0030】尚、プローブ1の導体の間隔に応じて、印
加された電圧が検出される導体が多くなることは言うま
でもない。また、印加電圧を検出された導体は、それ以
降の割り付け処理から除外することにより、処理の高速
化を図ってもよい。
It goes without saying that the number of conductors from which the applied voltage is detected increases in accordance with the distance between the conductors of the probe 1. In addition, the conductor for which the applied voltage has been detected may be excluded from the subsequent allocation processing to speed up the processing.

【0031】<本実施形態の効果> (1)導体間隔Aのプローブ1を基板10に接触させる
際、1本のパターン102(幅B)上にプローブ1の導
体が少なくとも2本接触する間隔として、A<Bの条件
を満足する他の基板への汎用性を備えることができた。 (2)プローブ1の基板10との接点部分をフレキシブ
ル基板51で構成し、ゴム55でサポートしたことによ
り、基板10を傷つけることなく、各パターン102に
適切に接触させることができた。また、フレキシブル基
板51なので、接点部分の各導体の間隔に位置ズレを起
こすことはない。 (3)プローブ1の基板10との接点部分をフレキシブ
ル基板51で構成し、ゴム55でサポートする構造と
し、構成部品の点数が少なく、且つ製造が容易なため、
プローブ1の製造コストを低減できる。 (4)検査対象である基板10それぞれに対して図6の
フローチャートの割り付け処理を行うため、プローブ1
の±X方向(図5)への高精度な位置決めを不用とし
た。これにより、小型・高密度化された基板の導通検査
であってもリードタイムを削減することができる。
<Effects of the present embodiment> (1) When the probe 1 having the conductor spacing A is brought into contact with the substrate 10, the spacing between at least two conductors of the probe 1 on one pattern 102 (width B) is set. , A <B. (2) Since the contact portion of the probe 1 with the substrate 10 is formed of the flexible substrate 51 and supported by the rubber 55, the probe 10 can be appropriately contacted with each pattern 102 without damaging the substrate 10. Further, since the flexible substrate 51 is used, there is no positional deviation between the conductors in the contact portion. (3) The contact portion of the probe 1 with the substrate 10 is constituted by the flexible substrate 51 and is structured to be supported by the rubber 55. Since the number of components is small and the production is easy,
The manufacturing cost of the probe 1 can be reduced. (4) In order to perform the allocation process of the flowchart of FIG. 6 for each of the substrates 10 to be inspected, the probe 1
High-precision positioning in the ± X direction (FIG. 5) was unnecessary. As a result, the lead time can be reduced even in a continuity test of a small and high-density substrate.

【0032】[0032]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
位置決めが容易で、汎用性に優れた導通検査装置及びそ
の検査方法及びその検査プローブの提供が実現する。
As described above, according to the present invention,
It is possible to provide a continuity inspection device which is easy to position and has excellent versatility, an inspection method thereof, and an inspection probe thereof.

【0033】[0033]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態としての導通検査装置のシ
ステム構成図である。
FIG. 1 is a system configuration diagram of a continuity inspection device as one embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施形態としての制御装置のブロッ
ク構成図である。
FIG. 2 is a block configuration diagram of a control device as one embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施形態としての検査プローブの斜
視図である。
FIG. 3 is a perspective view of an inspection probe as one embodiment of the present invention.

【図4】本発明の一実施形態としての検査プローブの構
造説明図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating the structure of a test probe as one embodiment of the present invention.

【図5】本発明の一実施形態としてのプローブと基板の
関係を説明する図である。
FIG. 5 is a diagram illustrating a relationship between a probe and a substrate according to an embodiment of the present invention.

【図6】本発明の一実施形態としての割り付け処理/導
通検査処理を示すフローチャートである。
FIG. 6 is a flowchart illustrating an assignment process / continuity check process as one embodiment of the present invention.

【図7】本発明の一実施形態の変形例としての検査プロ
ーブの斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view of a test probe as a modification of the embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 検査プローブ 2,52 コネクタ 3 制御装置 6,7 スイッチ回路 4 A/Dコンバータ 5 DC電源 8 ドライバ・レシーバ回路 10 基板 21 CPU 22 CRT 23 キーボード 24 ROM 25 RAM 26 記憶装置 27 入力インタフェース 28 出力インタフェース 29 内部バス 51,51A フレキシブル基板 53 リード線 54 プローブボディ 55 ゴム 56,56A プローブボディカバー 101A,101B コンタクト 102 導体パターン 111〜11N プローブ1の導体 1021〜102M 基板10の導体パターン Reference Signs List 1 inspection probe 2, 52 connector 3 control device 6, 7 switch circuit 4 A / D converter 5 DC power supply 8 driver / receiver circuit 10 board 21 CPU 22 CRT 23 keyboard 24 ROM 25 RAM 26 storage device 27 input interface 28 output interface 29 Internal bus 51, 51A Flexible board 53 Lead wire 54 Probe body 55 Rubber 56, 56A Probe body cover 101A, 101B Contact 102 Conductor pattern 111-11N Conductor of probe 1 1021-102M Conductor pattern of board 10

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 基板上に形成されている複数の導体パタ
ーンに検査プローブを接触させ、その複数の導体パター
ンの導通を検査する導通検査装置であって、 前記検査プローブが有する複数の検出導体を、前記複数
の導体パターンに関連付ける関連付け手段と、前記 関連付け手段により得られた関連付け情報に基づい
て前記複数の導体パターンをそれぞれ選択し、導通を検
査する検査手段とを備え 前記関係付け手段は、前記複数の導体パターンに前記検
査プローブを接触させ、前記複数の検出導体のうちのあ
る検出導体に電圧を印加した結果、その電 圧が検出され
た前記ある検出導体以外の検出導体と前記ある検出導体
とを、前記複数の導体パターンのうちのある導体パター
ンとして関連付けすることを特徴とする導通検査装置。
1. A continuity inspection device for contacting an inspection probe with a plurality of conductor patterns formed on a substrate and inspecting continuity of the plurality of conductor patterns, wherein a plurality of detection conductors of the inspection probe are provided. and associating means for associating said plurality of conductive patterns, the plurality of conductive patterns respectively selected based on the association information obtained by the associating means, and a checking means for checking the continuity, the association means, The detection is performed on the plurality of conductor patterns.
Probe and contact one of the plurality of detection conductors.
That a result of applying a voltage to the detection conductor, characterized by associating a detection conductor in the the detection conductor other than the certain detection conductor whose voltage is detected, as the conductor pattern of ones of said plurality of conductive patterns Continuity inspection device.
【請求項2】 前記複数の検出導体は、前記複数の導体
パターンにおける各導体パターンに、少なくとも2つ接
触する間隔で配置されていることを特徴とする請求
載の導通検査装置。
2. The continuity inspection device according to claim 1, wherein the plurality of detection conductors are arranged at intervals of at least two contacting each of the plurality of conductor patterns.
【請求項3】 前記複数の検出導体の間隔は、前記複数
の導体パターンの間隔の略1/3であることを特徴とす
る請求項または請求項記載の導通検査装置。
Distance wherein the plurality of detection conductors, said plurality of conductive testing device according to claim 1 or claim 2, wherein it is substantially 1/3 of the interval of the conductive pattern.
【請求項4】 基板上に形成されている複数の導体パタ
ーンに検査プローブを接触させ、その複数の導体パター
ンの導通を検査する導通検査方法であって、 前記検査プローブが有する複数の検出導体を、前記複数
の導体パターンに関連付ける関連付け工程と、前記 関連付け工程により得られた関連付け情報に基づい
て前記複数の導体パターンをそれぞれ選択し、導通を検
査する検査工程とを備え 前記関係付け工程は、前記複数の導体パターンに前記検
査プローブを接触させ、前記複数の検出導体のうちのあ
る検出導体に電圧を印加し、その電圧が検出された前記
ある検出導体以外の検出導体と前記ある検出導体とを、
前記複数の導体パターンのうちのある導体パターンとし
て関連付けする ことを特徴とする導通検査方法。
4. A continuity inspection method for bringing an inspection probe into contact with a plurality of conductor patterns formed on a substrate and inspecting continuity of the plurality of conductor patterns, wherein the plurality of detection conductors of the inspection probe are provided. , an association step of associating said plurality of conductive patterns, the associate said plurality of conductive patterns respectively selected based on the association information obtained by the process, and a testing step of testing the continuity, the association step, The detection is performed on the plurality of conductor patterns.
Probe and contact one of the plurality of detection conductors.
Voltage is applied to the detection conductor, and the voltage is detected.
A detection conductor other than a certain detection conductor and the certain detection conductor,
A conductor pattern of the plurality of conductor patterns;
A continuity inspection method characterized by making association with each other .
【請求項5】 導通検査装置により個別に信号供給及び
検出が可能な、並列に配設されている複数の検出導体を
有し、基板上に形成されている複数の導体パターンに
記検出導体を接触させ、前記複数の導体パターンの導通
を検査する検査プローブであって、 前記複数の検出導体が、前記複数の導体パターンにおけ
る各導体パターンに、少なくとも2つ接触する間隔で配
置され、前記複数の導体パターンへ接触する前記複数の検出導体
のうちのある検出導体に前記導通検査装置より電圧を印
加し、前記導通検査装置による前記ある検出導体以外の
他の検出導体よりその電圧の検出を可能とする ことを特
徴とする検査プローブ。
5. A method for individually supplying signals by a continuity inspection device.
Multiple detection conductors arranged in parallel that can be detected
Has, prior to the plurality of conductor patterns formed on the substrate
Serial contacting the detection conductors, an inspection probe for inspecting the continuity of the plurality of conductive patterns, the plurality of detection conductors, each conductor pattern of the plurality of conductive patterns are arranged at intervals in contact at least two The plurality of detection conductors contacting the plurality of conductor patterns
Voltage is applied to one of the detection conductors from the continuity inspection device.
In addition, other than the certain detection conductor by the continuity inspection device
An inspection probe characterized in that the voltage can be detected from another detection conductor .
【請求項6】 前記複数の検出導体の配設間隔は、前記
複数の導体パターンの間隔の略1/3であることを特徴
とする請求項記載の検査プローブ。
6. The arrangement interval of the plurality of detection conductors, the inspection probe according to claim 5, characterized in that approximately one third of the interval of the plurality of conductive patterns.
【請求項7】 前記複数の検出導体を、フレキシブル基
板により作成したことを特徴とする請求項記載の検査
プローブ。
7. The inspection probe according to claim 6 , wherein the plurality of detection conductors are made of a flexible substrate.
【請求項8】 前記フレキシブル基板における前記複数
の導体パターンとの接触部分を、弾性材により支持した
ことを特徴とする請求項記載の検査プローブ。
8. The inspection probe according to claim 7, wherein a contact portion of the flexible substrate with the plurality of conductor patterns is supported by an elastic material.
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