JP3282549B2 - 赤外分光光度計 - Google Patents

赤外分光光度計

Info

Publication number
JP3282549B2
JP3282549B2 JP20866197A JP20866197A JP3282549B2 JP 3282549 B2 JP3282549 B2 JP 3282549B2 JP 20866197 A JP20866197 A JP 20866197A JP 20866197 A JP20866197 A JP 20866197A JP 3282549 B2 JP3282549 B2 JP 3282549B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
shutter
interference filter
measurement
infrared spectrophotometer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP20866197A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH1137842A (ja
Inventor
努 林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP20866197A priority Critical patent/JP3282549B2/ja
Publication of JPH1137842A publication Critical patent/JPH1137842A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3282549B2 publication Critical patent/JP3282549B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料に赤外光を照
射し透過光又は反射光を検出することにより吸光度等を
測定する赤外分光光度計に関する。
【0002】
【従来の技術】図3は、従来の赤外分光光度計の光学系
の一例を示す概略構成図である。ハロゲンランプ等によ
る光源10から発した光は近赤外光を中心とする種々の
波長を含んでおり、モノクロメータ13にて所定波長を
有する単色光が測定光として取り出される。この測定光
は試料溶液を満たした試料セル16に照射され、光が試
料セル16内を透過する際に試料に特有な波長の光が吸
収される。透過光は光検出器17にて検出され、その検
出信号に基づいて吸光度又は透過率が計算される。
【0003】モノクロメータ13は、円盤状のホルダ1
31に透過波長の相違する複数の干渉フィルタ132が
取り付けられている。ホルダ131は軸を中心に回転自
在になっており、複数の干渉フィルタ132に順次光が
照射され、相違する波長の単色光が取り出されるよう
に、その回転動作が制御される。これにより、干渉フィ
ルタ132の数と同数の波長点の吸光度又は透過率を測
定することができる。
【0004】一般に、干渉フィルタ132の通過波長は
温度依存性を有しており、周囲温度が変動すると取り出
される単色光に波長ずれが生じる。そこで、モノクロメ
ータ13は温度調整可能なケース14内に収容され、例
えばケース14は約50℃に維持される。しかしなが
ら、モノクロメータ13への入射光には近赤外光が含ま
れているため、干渉フィルタに光が継続して照射される
と、その部分の温度は70〜80℃にも上昇する。
【0005】この場合、光源10を点灯・消灯すること
により干渉フィルタ132へ光が照射されることを回避
するのは実際上困難である。なぜなら、ハロゲンランプ
は点灯してから発光が安定状態に達するまでに比較的長
い時間を要し、またランプを点灯した後に分光光度計内
部の温度が上昇し全体が熱平衡状態に至るまでにも時間
を要するからである。
【0006】そこで、図3に示した装置では、モノクロ
メータ13の手前側にごく近接して入射光を遮蔽可能な
シャッタ12を設け、非測定時(例えばスタンバイ時)
にシャッタ12により入射光を遮蔽して干渉フィルタ1
32に光が到達しないようにしている。勿論、このシャ
ッタ12は、光検出器17への入射光を遮蔽して暗電流
を測定する際にも利用することができる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の分光光度計では、非測定時にモノクロメータ13に
照射される光は遮蔽されるものの、シャッタ12の金属
製の遮蔽板は赤外光により熱せられ、その周囲温度は遮
蔽板からの熱放散により局部的にかなり高くなる。する
と、シャッタ12直近の干渉フィルタも暖められ、その
温度は他の干渉フィルタよりも2〜3℃高いものとな
る。その結果、干渉フィルタの通過波長がずれて、正確
な分光測定に支障をきたすことになる。
【0008】本発明は上記課題を解決するために成され
たものであり、その目的とするところは、干渉フィルタ
の温度上昇による測定精度の劣化を防止することができ
る赤外分光光度計を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明は、光源から発した赤外光を試料に照
射し、透過光又は反射光を測定する赤外分光光度計にお
いて、 a)光源から発した光を単色光化する複数の干渉フィルタ
を切替自在に備えるフィルタ保持手段と、 b)非測定時に前記干渉フィルタへの入射光を遮蔽する遮
光手段と、 c)該遮光手段が入射光を遮蔽しているとき、該遮光手段
に最も近接した干渉フィルタが順次入れ替わるように前
記フィルタ保持手段を移動させる駆動手段と、 を備えることを特徴としている。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明による赤外分光光度計で
は、例えば、フィルタ保持手段は円盤部材の外周部に複
数の干渉フィルタを配置した構成を有し、円盤部材を円
周方向に回転することにより干渉フィルタを切り替える
ものとすることができる。遮光手段は非測定時に光路を
遮断し、干渉フィルタに光が照射されることを妨げる。
一方、駆動手段は、遮光手段が光路を遮断しているとき
には、連続的又は間欠的にフィルタ保持手段の円盤部材
を回転させる。つまり、測定時に単色光の波長を選択す
るべく干渉フィルタを切り替えるのと同様に、光の入射
すべき位置、つまり遮光手段の直近にくる干渉フィルタ
が順次入れ替わるようにする。遮光手段の光遮蔽部分は
赤外光の照射により温度が上昇し、その周囲の温度は高
くなっている。このため、遮光手段に近接する干渉フィ
ルタも加熱される。しかしながら、干渉フィルタは順次
入れ替わるので、特定の干渉フィルタの温度が特に上昇
することはなく、遮光手段の直近にきたときに熱せられ
た干渉フィルタも遮光手段から離れたときに冷えて元の
温度に戻る。
【0011】
【発明の効果】従って、本発明の赤外分光光度計によれ
ば、非測定時に干渉フィルタの温度が上昇することを防
止できるので、温度上昇による通過波長のずれが生じ
ず、極めて精度の高い測定を行なうことができる。
【0012】
【実施例】本発明に係る赤外分光光度計の一実施例を図
を参照して説明する。図1は、本実施例による赤外分光
光度計の要部の構成図である。この赤外分光光度計の基
本的構成は従来の分光光度計と同様である。すなわち、
モノクロメータ13の手前側の光路上に近接して開閉自
在のシャッタ12が設けられており、シャッタ12はシ
ャッタ駆動部19により開閉駆動される。モノクロメー
タ13の円盤状のホルダ131は、付設されたモータ1
8により軸を中心に回転される。制御部20はCPUを
中心に構成されており、操作部21からの指示を受け
て、モータ18及びシャッタ駆動部19の動作を後述の
ように制御している。なお、図示していないが、図3と
同様に、シャッタ12及びモノクロメータ13全体は温
調可能なケース内に収納されている。
【0013】本実施例の分光光度計は、分光測定時には
次のように動作する。すなわち、操作部21にて測定の
指示がなされると、制御部20は、図2(a)に示すよ
うに、シャッタ開放信号をシャッタ駆動部19に送出す
る。これにより、光源10から発し、レンズ11にてコ
リメートされた光がモノクロメータ13に到達する。ま
た、制御部20は、図2(b)に示すように、モノクロ
メータ13に備えられた複数の干渉フィルタ132にそ
れぞれ所定時間(例えば0.5秒)ずつ光が入射するよ
うにホルダ131を間欠的に回転すべくモータ18を制
御する。これにより、各干渉フィルタ132の通過波長
を有する単色光が順次レンズ15に到達し、集光されて
試料セル16に照射される。そして、試料セル16を透
過した光が光検出器17に入射する。光検出器17から
は、モノクロメータ13のホルダ131の回転が停止し
ている期間(つまり干渉フィルタ132の切替動作以外
の期間)の測定タイミングに同期して検出信号が取り出
される。従って、干渉フィルタ132の通過波長λ1、
λ2、…に対応した検出信号が得られ、これに基づき、
例えば吸光度スペクトルを作成することができる。制御
部20は、ホルダ131が1回転して全ての干渉フィル
タ132の通過光が得られたならば、図2(a)に示す
ように、シャッタ閉鎖信号をシャッタ駆動部19に送出
する。
【0014】次に、非測定時の動作を説明する。上述の
ように測定が終了したならばシャッタ12は閉鎖される
ので、光はシャッタ12の遮蔽板に遮られモノクロメー
タ13には到達しない。制御部20は、測定が終了する
と、シャッタ12を閉鎖させると同時に、先の測定時よ
りも停止時間を長く設定した間欠的な回転動作を行なう
ようにモータ18を制御する。例えば、図2(b)に示
すように、10秒毎に1回、光の照射位置にくる干渉フ
ィルタ132が円周上で隣接したものに入れ替わるよう
にモータ18を間欠的に回転させる。これにより、或る
干渉フィルタがシャッタ12の遮蔽板の至近に約10秒
間位置して停止した後、次には隣接する干渉フィルタが
該遮蔽板の至近にくる。
【0015】シャッタ12の遮蔽板には連続して光が当
たるため、その温度はかなり高まり、その近傍の空気も
局部的に高いものとなる。そして、その加熱空気からの
熱伝導又は遮蔽板自体からの輻射熱により、遮蔽板の至
近に位置する干渉フィルタも約10秒の間に加熱され
る。しかしながら、その時間は短く、また遮蔽板から離
れたときには、ケース内にてほぼ均一温度に維持されて
いる空気により冷却されるので、加熱される前の温度に
戻る。このため、モノクロメータ13全体として、温度
はほぼケース内の雰囲気温度に維持される。これによ
り、測定時に干渉フィルタ132を通過する単色光の波
長を精度の高いものとすることができる。
【0016】なお、上記説明では、非測定時にホルダ1
31を間欠回転させるようにしているが、これは、測定
時に各干渉フィルタが順次入射光の位置にくるように間
欠的に回転駆動しているため、その間欠駆動の時間幅を
変えるのみで簡単に対応ができるからである。従って、
当然、非測定時に連続的にホルダ131を回転させるよ
うにしても同様の効果を奏する。
【0017】更には、上記実施例は一例であって、本発
明の趣旨の範囲で適宜変形や修正を行なえることは明ら
かである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の赤外分光光度計の一実施例の構成
図。
【図2】 図1の実施例におけるシャッタ及びモータの
制御動作を説明するための波形図。
【図3】 従来の赤外分光光度計の光学系の概略構成
図。
【符号の説明】
10…光源 12…シャッタ 13…モノクロメータ 131…ホルダ 132…干渉フィルタ 16…試料セル 17…光検出器 18…モータ 19…シャッタ駆動部 20…制御部 21…操作部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01J 3/00 - 3/52 G01N 21/00 - 21/01 G01N 21/17 - 21/61 G02B 5/20 - 5/28

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光源から発した赤外光を試料に照射し、
    透過光又は反射光を測定する赤外分光光度計において、 a)光源から発した光を単色光化する複数の干渉フィルタ
    を切替自在に備えるフィルタ保持手段と、 b)非測定時に前記干渉フィルタへの入射光を遮蔽する遮
    光手段と、 c)該遮光手段が入射光を遮蔽しているとき、該遮光手段
    に最も近接した干渉フィルタが順次入れ替わるように前
    記フィルタ保持手段を移動させる駆動手段と、 を備えることを特徴とする赤外分光光度計。
JP20866197A 1997-07-16 1997-07-16 赤外分光光度計 Expired - Fee Related JP3282549B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20866197A JP3282549B2 (ja) 1997-07-16 1997-07-16 赤外分光光度計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20866197A JP3282549B2 (ja) 1997-07-16 1997-07-16 赤外分光光度計

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH1137842A JPH1137842A (ja) 1999-02-12
JP3282549B2 true JP3282549B2 (ja) 2002-05-13

Family

ID=16559963

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20866197A Expired - Fee Related JP3282549B2 (ja) 1997-07-16 1997-07-16 赤外分光光度計

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3282549B2 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6190838B1 (en) * 1998-04-06 2001-02-20 Imation Corp. Process for making multiple data storage disk stampers from one master
US7099003B2 (en) * 2003-05-09 2006-08-29 Delta Search Labs, Inc. Spectroscopic systems and methods
CN110531477A (zh) * 2019-08-30 2019-12-03 北京临近空间飞行器系统工程研究所 一种多元件高密度装填装置
CN112557326B (zh) * 2020-12-22 2023-07-07 西安鼎研科技股份有限公司 一种多轴差分吸收光谱仪测量装置及其工作方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH1137842A (ja) 1999-02-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4890245A (en) Method for measuring temperature of semiconductor substrate and apparatus therefor
JP2010522317A (ja) 遠隔光学式ガス検出装置
US4875773A (en) Optical system for a multidetector array spectrograph
JP3282549B2 (ja) 赤外分光光度計
JPH052931B2 (ja)
US2605671A (en) Spectrophotometer
US20030067956A1 (en) Temperature measuring method and apparatus
JP3992390B2 (ja) 分光分析方法
JP3591427B2 (ja) 分光光度計
JPH085550A (ja) 分光分析装置
US3439985A (en) Pyrometric device
JPS6186621A (ja) 放射率と温度の同時測定方法及びその装置
JP2006250836A (ja) 分光光度計
CA1174076A (en) Normalized radiometer and method of measuring analytes
JP2001021489A (ja) 分光分析装置
JPH06241900A (ja) 分光分析装置
JPH0712718A (ja) 分光分析装置
JP2011058898A (ja) 分光光度計
JPH08271417A (ja) オイル劣化度測定装置
JPH06109538A (ja) 分光分析装置
JPH0720043A (ja) 分光分析装置
JPH0443222B2 (ja)
JP2003270134A (ja) 分光分析装置
JPS62167422A (ja) 分光検出器
JPS61112930A (ja) 2光路光学系測色計

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees