JP3272266B2 - 対物レンズ支持装置 - Google Patents
対物レンズ支持装置Info
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- JP3272266B2 JP3272266B2 JP12854697A JP12854697A JP3272266B2 JP 3272266 B2 JP3272266 B2 JP 3272266B2 JP 12854697 A JP12854697 A JP 12854697A JP 12854697 A JP12854697 A JP 12854697A JP 3272266 B2 JP3272266 B2 JP 3272266B2
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- Japan
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- Optical Head (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ディスク等の媒体
から信号の読み取りを行う為、あるいは媒体に信号の書
き込みを行う為の光ビームを出射する光学ヘッドにおけ
る対物レンズを支持する対物レンズ支持装置に関する。
から信号の読み取りを行う為、あるいは媒体に信号の書
き込みを行う為の光ビームを出射する光学ヘッドにおけ
る対物レンズを支持する対物レンズ支持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】対物レンズ支持装置においては、対物レ
ンズが装着されたレンズホルダーを変位可能に支持し、
フォーカシングコイル及びトラッキングコイル等の駆動
コイルを前記レンズホルダーに装着すると共に、前記各
駆動コイルの使用部分を磁気回路により形成される所定
の磁界内に配置することにより前記各駆動コイルに供給
する信号に応じて対物レンズを駆動出来るようにした構
成が主流となっている。
ンズが装着されたレンズホルダーを変位可能に支持し、
フォーカシングコイル及びトラッキングコイル等の駆動
コイルを前記レンズホルダーに装着すると共に、前記各
駆動コイルの使用部分を磁気回路により形成される所定
の磁界内に配置することにより前記各駆動コイルに供給
する信号に応じて対物レンズを駆動出来るようにした構
成が主流となっている。
【０００３】このような対物レンズ支持装置は、光源か
らの光ビームを対物レンズに導く光学系及び前記対物レ
ンズに戻された光ビームを光検出器に導く光学系が形成
された光学ハウジングに取り付けられ、該光学ハウジン
グと前記対物レンズ支持装置とで光学ヘッドが構成され
る。その為、光学ハウジングと対物レンズ支持装置との
間で光軸調整を必要とする。
らの光ビームを対物レンズに導く光学系及び前記対物レ
ンズに戻された光ビームを光検出器に導く光学系が形成
された光学ハウジングに取り付けられ、該光学ハウジン
グと前記対物レンズ支持装置とで光学ヘッドが構成され
る。その為、光学ハウジングと対物レンズ支持装置との
間で光軸調整を必要とする。
【０００４】ところで、光学ハウジングと対物レンズ支
持装置との間における光軸調整としては、位置合わせだ
けでなく傾き方向の光軸調整を必要とする。対物レンズ
のトラッキング方向の光軸調整は、例えば実公平４−２
６９７７号公報に示される如く、対物レンズ支持装置に
おいてレンズホルダーを支持するための支持ワイヤーの
一端が固定される基板をフレームに対して回動させるこ
とにより行うことが出来る。
持装置との間における光軸調整としては、位置合わせだ
けでなく傾き方向の光軸調整を必要とする。対物レンズ
のトラッキング方向の光軸調整は、例えば実公平４−２
６９７７号公報に示される如く、対物レンズ支持装置に
おいてレンズホルダーを支持するための支持ワイヤーの
一端が固定される基板をフレームに対して回動させるこ
とにより行うことが出来る。
【０００５】この対物レンズ支持装置においては、対物
レンズのトラッキング方向の光軸調整が完了した後にネ
ジを締着し直してその状態を保持した上で前記基板をフ
レームに固定する構成となっている。
レンズのトラッキング方向の光軸調整が完了した後にネ
ジを締着し直してその状態を保持した上で前記基板をフ
レームに固定する構成となっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記公報に
示される対物レンズ支持装置は、前記基板を回動させる
基準となるフレームに止めネジが螺合される構成である
ので、ネジを締着した際の残留応力がフレームに対して
基板を回動させる方向に作用し易い構造であり、経時変
化に対する対物レンズのトラッキング方向の光軸調整の
信頼性の点で劣っていた。
示される対物レンズ支持装置は、前記基板を回動させる
基準となるフレームに止めネジが螺合される構成である
ので、ネジを締着した際の残留応力がフレームに対して
基板を回動させる方向に作用し易い構造であり、経時変
化に対する対物レンズのトラッキング方向の光軸調整の
信頼性の点で劣っていた。
【０００７】本発明は、ネジを締着した際の残留応力が
フレームに対して基板を回動させる方向に作用し難い構
造とした対物レンズ支持装置を提供するものである。
フレームに対して基板を回動させる方向に作用し難い構
造とした対物レンズ支持装置を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、弾性支持部材
の一端が固定される基板と、フレームの所定面の壁を挟
んで前記基板と相対する位置に配置される補助部材とを
前記フレームの所定面の壁に回動可能に支持し、前記基
板及び前記補助部材をまとめて把持する把持部材を回動
させることにより前記基板及び前記補助部材を前記フレ
ームの所定面の壁に対して一体的に回動可能とし、か
つ、前記基板及び前記フレームの所定面の壁に止めネジ
が貫通される貫通孔を形成すると共に、前記補助部材に
前記止めネジのネジ穴を形成し、前記止めネジを前記基
板側から前記補助部材に締着することにより前記基板及
び前記補助部材をまとめて前記フレームの所定面の壁に
固定するようにしている。
の一端が固定される基板と、フレームの所定面の壁を挟
んで前記基板と相対する位置に配置される補助部材とを
前記フレームの所定面の壁に回動可能に支持し、前記基
板及び前記補助部材をまとめて把持する把持部材を回動
させることにより前記基板及び前記補助部材を前記フレ
ームの所定面の壁に対して一体的に回動可能とし、か
つ、前記基板及び前記フレームの所定面の壁に止めネジ
が貫通される貫通孔を形成すると共に、前記補助部材に
前記止めネジのネジ穴を形成し、前記止めネジを前記基
板側から前記補助部材に締着することにより前記基板及
び前記補助部材をまとめて前記フレームの所定面の壁に
固定するようにしている。
【０００９】このようにして把持部材を回動させること
により基板及び補助部材をフレームの所定面の壁に対し
て一体的に回動させて対物レンズのトラッキング方向の
光軸調整を行うようにしている。
により基板及び補助部材をフレームの所定面の壁に対し
て一体的に回動させて対物レンズのトラッキング方向の
光軸調整を行うようにしている。
【００１０】
【実施例】図１は本発明の一実施例を示す展開斜視図で
あり、図２はその対物レンズ支持装置を組み立てた状態
を示す斜視図である。
あり、図２はその対物レンズ支持装置を組み立てた状態
を示す斜視図である。
【００１１】図に示す対物レンズ駆動機構は、信号記録
媒体の信号に光ビームを合焦した状態で信号トラックに
追従させてトレースするべく対物レンズ１を駆動させる
構成を有している。
媒体の信号に光ビームを合焦した状態で信号トラックに
追従させてトレースするべく対物レンズ１を駆動させる
構成を有している。
【００１２】対物レンズ１はレンズホルダー２に保持さ
れており、該レンズホルダー２には中央部分に空間３を
有しているボビンに巻回されるフォーカシングコイル４
が装着され、レンズホルダー２の両脇の張り出し部には
それぞれトラッキングコイル５が巻回されている。
れており、該レンズホルダー２には中央部分に空間３を
有しているボビンに巻回されるフォーカシングコイル４
が装着され、レンズホルダー２の両脇の張り出し部には
それぞれトラッキングコイル５が巻回されている。
【００１３】レンズホルダー２は、４本の各支持ワイヤ
ー７ａ〜７ｄにより４点で支持されており、その各支持
ワイヤー７ａ〜７ｄは一端がプリント基板６にハンダ付
け固定される。
ー７ａ〜７ｄにより４点で支持されており、その各支持
ワイヤー７ａ〜７ｄは一端がプリント基板６にハンダ付
け固定される。
【００１４】前記プリント基板６は、把持部材８により
フレーム９の所定面の壁を挟んで補助部材１０とまとめ
て把持され、ネジ１１によるネジ止めによりフレーム９
に固定される。
フレーム９の所定面の壁を挟んで補助部材１０とまとめ
て把持され、ネジ１１によるネジ止めによりフレーム９
に固定される。
【００１５】フレーム９には、フォーカシングコイル４
に作用する磁界を形成するマグネット１２と、トラッキ
ングコイル５に作用する磁界を形成するマグネット１
３、１４、１５、１６及びヨーク１７、１８とが固着さ
れ、一体的に形成されているヨークと共に磁気回路が形
成されている。
に作用する磁界を形成するマグネット１２と、トラッキ
ングコイル５に作用する磁界を形成するマグネット１
３、１４、１５、１６及びヨーク１７、１８とが固着さ
れ、一体的に形成されているヨークと共に磁気回路が形
成されている。
【００１６】次に、本発明の特徴を有するレンズホルダ
ー２のフレーム９への取付に関係する部分について詳細
に説明する。把持部材８はステンレス板による板金加工
により構成され、その形状は断面コ字状に形成されてい
る。そして、前記把持部材８の一方の端面には、対物レ
ンズ１のトラッキング方向の光軸調整時に用いられる調
整具が係合される係合突起８ａが形成されている。
ー２のフレーム９への取付に関係する部分について詳細
に説明する。把持部材８はステンレス板による板金加工
により構成され、その形状は断面コ字状に形成されてい
る。そして、前記把持部材８の一方の端面には、対物レ
ンズ１のトラッキング方向の光軸調整時に用いられる調
整具が係合される係合突起８ａが形成されている。
【００１７】補助部材１０には、厚み方向の中央に前記
把持部材８の一方の端面が挿入されると共に、その端面
の係合突起８ａが貫通される孔１９が形成されている。
一方、プリント基板６にはネジ１１が貫通される貫通孔
２０が、該プリント基板６が取り付けられるフレーム９
の所定面の壁にはネジ１１が貫通される貫通孔２１がそ
れぞれ形成されている。
把持部材８の一方の端面が挿入されると共に、その端面
の係合突起８ａが貫通される孔１９が形成されている。
一方、プリント基板６にはネジ１１が貫通される貫通孔
２０が、該プリント基板６が取り付けられるフレーム９
の所定面の壁にはネジ１１が貫通される貫通孔２１がそ
れぞれ形成されている。
【００１８】そして、把持部材８にも各端面にそれぞれ
ネジ１１が貫通される貫通孔２２、２３が形成されてい
る。また、補助部材１０には孔１９よりフレーム９の所
定面の壁側の部分にネジ１１が貫通される貫通孔２４が
形成され、孔１９よりフレーム９の所定面の壁から遠い
部分に前記ネジ１１が螺合されるネジ穴２５が形成され
ている。
ネジ１１が貫通される貫通孔２２、２３が形成されてい
る。また、補助部材１０には孔１９よりフレーム９の所
定面の壁側の部分にネジ１１が貫通される貫通孔２４が
形成され、孔１９よりフレーム９の所定面の壁から遠い
部分に前記ネジ１１が螺合されるネジ穴２５が形成され
ている。
【００１９】フレーム９にレンズホルダー２を取り付け
る場合、まず、治具を用いてプリント基板６及び補助部
材１０をフレーム９の所定面の壁を挟んで両側にそれぞ
れ位置決めして配置する。その状態で把持部材８の一方
の端面を補助部材１０の孔１９に挿入すると共に、把持
部材８の他方の端面をプリント基板６のフレーム９に接
触しない面から覆うようにして前記把持部材８により前
記フレーム９の所定面の壁を挟んで前記プリント基板６
及び前記補助部材１０をまとめて把持する状態にする。
る場合、まず、治具を用いてプリント基板６及び補助部
材１０をフレーム９の所定面の壁を挟んで両側にそれぞ
れ位置決めして配置する。その状態で把持部材８の一方
の端面を補助部材１０の孔１９に挿入すると共に、把持
部材８の他方の端面をプリント基板６のフレーム９に接
触しない面から覆うようにして前記把持部材８により前
記フレーム９の所定面の壁を挟んで前記プリント基板６
及び前記補助部材１０をまとめて把持する状態にする。
【００２０】この状態でネジ１１をプリント基板６側か
ら挿入し、そのネジ１１を補助部材１０に締着する。前
記ネジ１１は把持部材８の一方の貫通孔２２、プリント
基板６の貫通孔２０、フレーム９の貫通孔２１、補助部
材１０の貫通孔２４及び把持部材８のもう一方の貫通孔
２３を貫通し、補助部材１０のネジ穴２５に螺合され
る。その為、ネジ１１を締結することによりプリント基
板６及び補助部材１０をまとめて把持部材８と共にフレ
ーム９の所定面の壁に固定することが出来る。
ら挿入し、そのネジ１１を補助部材１０に締着する。前
記ネジ１１は把持部材８の一方の貫通孔２２、プリント
基板６の貫通孔２０、フレーム９の貫通孔２１、補助部
材１０の貫通孔２４及び把持部材８のもう一方の貫通孔
２３を貫通し、補助部材１０のネジ穴２５に螺合され
る。その為、ネジ１１を締結することによりプリント基
板６及び補助部材１０をまとめて把持部材８と共にフレ
ーム９の所定面の壁に固定することが出来る。
【００２１】ここで、把持部材８を金属板により構成
し、ネジ１１が貫通される構成としているので、該把持
部材８はネジ１１のワッシャーの役目を担っている。一
方、レンズホルダー２には、対物レンズ１とフォーカシ
ングコイル４及び各トラッキングコイル５とを装着して
おき、前述した如く、プリント基板６及び補助部材１０
をフレーム９の所定面の壁に固定した状態にしておい
て、そのフレーム９内の所定位置にそのレンズホルダー
２を配置する。
し、ネジ１１が貫通される構成としているので、該把持
部材８はネジ１１のワッシャーの役目を担っている。一
方、レンズホルダー２には、対物レンズ１とフォーカシ
ングコイル４及び各トラッキングコイル５とを装着して
おき、前述した如く、プリント基板６及び補助部材１０
をフレーム９の所定面の壁に固定した状態にしておい
て、そのフレーム９内の所定位置にそのレンズホルダー
２を配置する。
【００２２】その後、各支持ワイヤー７ａ〜７ｄをそれ
ぞれ配置してプリント基板６及びレンズホルダー２の所
定箇所でハンダ付けしてプリント基板６及びレンズホル
ダー２間に架設する。これによりレンズホルダー２が各
支持ワイヤー７ａ〜７ｄを介してプリント基板６に支持
され、図２に示す如く、フレーム９へのレンズホルダー
２の取り付けが完了し、該レンズホルダー２はフレーム
９に対して変位可能に支持されることになる。
ぞれ配置してプリント基板６及びレンズホルダー２の所
定箇所でハンダ付けしてプリント基板６及びレンズホル
ダー２間に架設する。これによりレンズホルダー２が各
支持ワイヤー７ａ〜７ｄを介してプリント基板６に支持
され、図２に示す如く、フレーム９へのレンズホルダー
２の取り付けが完了し、該レンズホルダー２はフレーム
９に対して変位可能に支持されることになる。
【００２３】前記各支持ワイヤー７ａ〜７ｄは、フレー
ム９に形成された各溝内に配置されると共に、補助部材
１０に形成された各溝２６ａ〜２６ｄ内に配置される。
その為、レンズホルダー２の変位に伴う各支持ワイヤー
７ａ〜７ｄの変位可能範囲が確保されている。
ム９に形成された各溝内に配置されると共に、補助部材
１０に形成された各溝２６ａ〜２６ｄ内に配置される。
その為、レンズホルダー２の変位に伴う各支持ワイヤー
７ａ〜７ｄの変位可能範囲が確保されている。
【００２４】ところで、レンズホルダー２がフレーム９
に取り付けられた状態において、把持部材８の係合突起
８ａに調整具を係合して把持部材８をネジ１１を軸とし
て回動させると、把持部材８によりプリント基板６が押
されて該プリント基板６はフレーム９の所定面の壁に対
してネジ１１を軸として回動される。その為、プリント
基板６がフレーム９に対して支持ワイヤー７ａ〜７ｄの
軸回り方向に回動され、対物レンズ１のトラッキング方
向の光軸調整を行うことが出来る。
に取り付けられた状態において、把持部材８の係合突起
８ａに調整具を係合して把持部材８をネジ１１を軸とし
て回動させると、把持部材８によりプリント基板６が押
されて該プリント基板６はフレーム９の所定面の壁に対
してネジ１１を軸として回動される。その為、プリント
基板６がフレーム９に対して支持ワイヤー７ａ〜７ｄの
軸回り方向に回動され、対物レンズ１のトラッキング方
向の光軸調整を行うことが出来る。
【００２５】この場合、前記プリント基板６は把持部材
８により補助部材１０とまとめられており、前記プリン
ト基板６及び前記補助部材１０は把持部材８と共にネジ
１１を軸として回動可能と成されている。その為、前記
把持部材８を回動させると、前記プリント基板６と共に
前記補助部材１０がネジ１１を軸としてフレーム９の所
定面の壁に対して一体的に回動される。そして、フレー
ム９にはネジ１１が貫通されるだけでそのネジ１１に螺
合されない貫通孔２１が形成されており、前記ネジ１１
が螺合されるネジ穴２５は前記補助部材１０に形成され
ているので、ネジ１１を締着した際の残留応力が前記補
助部材１０に作用する構造であり、また、プリント基板
６と前記補助部材１０とが一体化されていることもあっ
て、その残留応力がフレーム９に対してプリント基板６
を回動させる方向に作用される度合を削減することが出
来る。
８により補助部材１０とまとめられており、前記プリン
ト基板６及び前記補助部材１０は把持部材８と共にネジ
１１を軸として回動可能と成されている。その為、前記
把持部材８を回動させると、前記プリント基板６と共に
前記補助部材１０がネジ１１を軸としてフレーム９の所
定面の壁に対して一体的に回動される。そして、フレー
ム９にはネジ１１が貫通されるだけでそのネジ１１に螺
合されない貫通孔２１が形成されており、前記ネジ１１
が螺合されるネジ穴２５は前記補助部材１０に形成され
ているので、ネジ１１を締着した際の残留応力が前記補
助部材１０に作用する構造であり、また、プリント基板
６と前記補助部材１０とが一体化されていることもあっ
て、その残留応力がフレーム９に対してプリント基板６
を回動させる方向に作用される度合を削減することが出
来る。
【００２６】したがって、対物レンズ１のトラッキング
方向の光軸調整が終了した後にネジ１１を強固に締結し
た際に生じる残留応力がその光軸調整をずらすように作
用されにくく、その光軸調整の経時変化によるズレが削
減される。
方向の光軸調整が終了した後にネジ１１を強固に締結し
た際に生じる残留応力がその光軸調整をずらすように作
用されにくく、その光軸調整の経時変化によるズレが削
減される。
【００２７】また、把持部材８を回動させると、プリン
ト基板６と共に補助部材１０がフレーム９の所定面の壁
に対して一体的に回動されるので、対物レンズ１のトラ
ッキング方向の光軸調整を行うことにより各支持ワイヤ
ー７ａ〜７ｄの配置位置が移動されてもそれらの移動に
伴って補助部材１０の各溝２６ａ〜２６ｄの位置も移動
され、各支持ワイヤー７ａ〜７ｄの変位可能範囲が狭め
られることはない。
ト基板６と共に補助部材１０がフレーム９の所定面の壁
に対して一体的に回動されるので、対物レンズ１のトラ
ッキング方向の光軸調整を行うことにより各支持ワイヤ
ー７ａ〜７ｄの配置位置が移動されてもそれらの移動に
伴って補助部材１０の各溝２６ａ〜２６ｄの位置も移動
され、各支持ワイヤー７ａ〜７ｄの変位可能範囲が狭め
られることはない。
【００２８】ところで、補助部材１０の各溝２６ａ〜２
６ｄには、各支持ワイヤー７ａ〜７ｄをダンプするダン
プ剤が充填される。その為、各支持ワイヤー７ａ〜７ｄ
の共振を抑制することが出来る。
６ｄには、各支持ワイヤー７ａ〜７ｄをダンプするダン
プ剤が充填される。その為、各支持ワイヤー７ａ〜７ｄ
の共振を抑制することが出来る。
【００２９】
【発明の効果】以上述べた如く、本発明は、把持部材に
より基板及び補助部材をフレームの所定面の壁に対して
一体的に回動可能とし、かつ、フレームに止めネジが貫
通されるだけでそのネジに螺合されない貫通孔を形成
し、前記ネジが螺合されるネジ穴を前記補助部材に形成
しているので、前記ネジを締着した際の残留応力がフレ
ームに対して基板を回動させる方向に作用しにくくする
ことが出来、対物レンズのトラッキング方向の光軸調整
を行った際にその光軸調整の経時変化によるズレを削減
することが出来る。
より基板及び補助部材をフレームの所定面の壁に対して
一体的に回動可能とし、かつ、フレームに止めネジが貫
通されるだけでそのネジに螺合されない貫通孔を形成
し、前記ネジが螺合されるネジ穴を前記補助部材に形成
しているので、前記ネジを締着した際の残留応力がフレ
ームに対して基板を回動させる方向に作用しにくくする
ことが出来、対物レンズのトラッキング方向の光軸調整
を行った際にその光軸調整の経時変化によるズレを削減
することが出来る。
【００３０】また、本発明は、把持部材に対物レンズの
トラッキング方向の光軸調整を行うための調整具が係合
される係合部を設けているので、その調整具により基板
及び補助部材をフレームの所定面の壁に対して一体的に
回動可能とすることが出来る。
トラッキング方向の光軸調整を行うための調整具が係合
される係合部を設けているので、その調整具により基板
及び補助部材をフレームの所定面の壁に対して一体的に
回動可能とすることが出来る。
【００３１】また、把持部材を金属板により構成し、止
めネジが貫通される構成としているので、該把持部材が
そのネジのワッシャーの役目を担い、別にワッシャーを
必要としない。
めネジが貫通される構成としているので、該把持部材が
そのネジのワッシャーの役目を担い、別にワッシャーを
必要としない。
【００３２】また、補助部材に弾性支持部材をダンプす
るダンプ剤を充填する充填空隙を形成しているので、そ
のダンプ剤を充填するための専用部材を用意する必要が
ない。
るダンプ剤を充填する充填空隙を形成しているので、そ
のダンプ剤を充填するための専用部材を用意する必要が
ない。
【図１】本発明の一実施例を示す展開斜視図である。
【図２】図１の対物レンズ支持装置を組み立てた状態を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
２ レンズホルダー ６ プリント基板 ７ａ〜７ｄ 支持ワイヤー ８ 把持部材 ８ａ 係合突起 ９ フレーム １０ 補助部材 １１ ネジ ２０，２１，２２，２３，２４ 貫通孔 ２５ ネジ穴 ２６ａ〜２６ｄ 溝
Claims (4)
- 【請求項１】 対物レンズが装着されたレンズホルダー
をフレームに対して変位可能に支持する対物レンズ支持
装置であって、該レンズホルダーを弾性的に支持するた
めの弾性支持部材と、該弾性支持部材の一端が固定され
ると共に、前記フレームの所定面に配置される基板と、
前記フレームの所定面の壁を挟んで前記基板と相対する
位置に配置される補助部材と、前記フレームの所定面の
壁を挟んで前記基板及び前記補助部材をまとめて把持す
る把持部材とを具備し、前記基板及び前記補助部材を前
記フレームの所定面の壁に回動可能に支持し、前記把持
部材を回動させることにより前記基板及び前記補助部材
を前記フレームの所定面の壁に対して一体的に回動可能
とし、かつ、前記基板及び前記フレームの所定面の壁に
止めネジが貫通される貫通孔を形成すると共に、前記補
助部材に前記止めネジのネジ穴を形成し、前記止めネジ
を前記基板側から前記補助部材に締着することにより前
記基板及び前記補助部材をまとめて前記フレームの所定
面の壁に固定するようにしたことを特徴とする対物レン
ズ支持装置。 - 【請求項２】 前記把持部材に調整具が係合される係合
部を設け、調整具により前記把持部材を回動させること
により前記基板及び前記補助部材を前記フレームの所定
面の壁に対して一体的に回動させて対物レンズのトラッ
キング方向の光軸調整を行うようにしたことを特徴とす
る請求項１記載の対物レンズ支持装置。 - 【請求項３】 前記把持部材を金属板により構成し、前
記把持部材は前記基板の止めネジが貫通される手前側に
一部分が配置され、その部分に止めネジが貫通される貫
通孔を形成し、その部分が止めネジのワッシャーの役目
を担うようにしたことを特徴とする請求項１記載の対物
レンズ支持装置。 - 【請求項４】 前記補助部材に弾性支持部材をダンプす
るダンプ剤を充填する充填空隙を形成したことを特徴と
する請求項１記載の対物レンズ支持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12854697A JP3272266B2 (ja) | 1997-05-19 | 1997-05-19 | 対物レンズ支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12854697A JP3272266B2 (ja) | 1997-05-19 | 1997-05-19 | 対物レンズ支持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10320787A JPH10320787A (ja) | 1998-12-04 |
| JP3272266B2 true JP3272266B2 (ja) | 2002-04-08 |
Family
ID=14987437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12854697A Expired - Fee Related JP3272266B2 (ja) | 1997-05-19 | 1997-05-19 | 対物レンズ支持装置 |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP3272266B2 (ja) |
-
1997
- 1997-05-19 JP JP12854697A patent/JP3272266B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10320787A (ja) | 1998-12-04 |
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