JP3271244B2 - Electronic component mounting method and electronic component mounting machine - Google Patents

Electronic component mounting method and electronic component mounting machine

Info

Publication number
JP3271244B2
JP3271244B2 JP11360398A JP11360398A JP3271244B2 JP 3271244 B2 JP3271244 B2 JP 3271244B2 JP 11360398 A JP11360398 A JP 11360398A JP 11360398 A JP11360398 A JP 11360398A JP 3271244 B2 JP3271244 B2 JP 3271244B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mounting
component
coordinates
electronic component
program
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP11360398A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH11307998A (en
Inventor
佑攻 今井
哲夫 大島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP11360398A priority Critical patent/JP3271244B2/en
Publication of JPH11307998A publication Critical patent/JPH11307998A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3271244B2 publication Critical patent/JP3271244B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Automatic Assembly (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に電子部品
を実装する際の電子部品の実装方法及び電子部品の実装
機に係わり、特に自動的に実装を行う実装機に適用して
好適なものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electronic component mounting method and an electronic component mounting machine for mounting an electronic component on a substrate, and more particularly to a mounting machine for automatically mounting electronic components. Things.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子部品において、実装部品の小
型化及び基板の高密度化が留まる所を知らず日進月歩で
進んでいる。
2. Description of the Related Art In recent years, electronic components have been steadily progressing without knowing where the miniaturization of mounted components and the densification of substrates remain.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上述の実装部品の高密
度化に伴い、実装を行う製造設備に対しても、精度の要
求が厳しくなる傾向にあり、現状の設備構造における精
度の限界を超えた精度が要望される場合も起こってきて
いる。
With the increase in the density of mounted components described above, there is a tendency that the requirements for accuracy are also strict for manufacturing equipment for mounting, and the accuracy of existing equipment structures has been exceeded. In some cases, high accuracy is required.

【0004】実装精度を向上するだけであれば、例えば
3次元測定機並に剛性を有するように設備(実装機)を
構成すれば達成可能である。しかしながら、実装機の剛
性を強くすると、その分重量が増加するため慣性力が大
きくなり、動作に大きな力を必要としたり、消費電力が
増大したりするため、高速動作させることが困難にな
る。即ち、実装速度の要求を満足できなくなるため、実
装機の剛性のみを高めることはできない。
[0004] The improvement of mounting accuracy can be achieved only by configuring equipment (mounting machine) so as to have the same rigidity as a three-dimensional measuring machine, for example. However, if the rigidity of the mounting machine is increased, the weight is increased by that much, and the inertia force is increased, so that a large force is required for the operation and the power consumption is increased, so that it is difficult to operate at high speed. That is, since the requirement for the mounting speed cannot be satisfied, only the rigidity of the mounting machine cannot be increased.

【0005】また、最近では、基板サイズの大型化も合
わせて進行しているために、これに対応して設備の大型
化を図る必要があり、ますます実装精度を向上すること
が困難な状況となってきている。
In recent years, since the size of the substrate has been increasing, it is necessary to increase the size of the equipment in response to the increase in the size of the substrate. It is becoming.

【0006】因みに、基板に対して複数種の電子部品を
実装する異形部品装着機(異形マウンター)において、
現在のカタログスペックの平均レベルは以下の通りであ
る。 1.基板サイズ :460×510mm (部品吸着点を含めると可動範囲は800×800mm程度が必要である。) 2.装着精度(0.3mmピッチのVQFP(Very Quad Flat Plastic)を実装 する場合の値) :±0.025mm 3.部品サイズ :50×50mm 4.基板当たり装着時間 :2.0秒(リードの認識時間含む) 5.装着角度 :1度単位で設定可能
By the way, in a modified component mounting machine (deformed mounter) for mounting a plurality of types of electronic components on a substrate,
The average level of the current catalog specification is as follows. 1. 1. Board size: 460 × 510 mm (The movable range needs to be about 800 × 800 mm including the component suction point.) 2. Mounting accuracy (value when mounting 0.3 mm pitch VQFP (Very Quad Flat Plastic)): ± 0.025 mm Part size: 50 × 50mm 4. Mounting time per board: 2.0 seconds (including lead recognition time) Mounting angle: Can be set in units of 1 degree

【0007】実装する部品の位置決めは、画像認識を用
いているため、それ自身にも幾分誤差を有している。従
って、装着設備のメカ部としては、装着精度より高精度
の±0.02mm程度の精度が要求される。
Since the positioning of the component to be mounted uses image recognition, the component itself has some errors. Therefore, the mechanical part of the mounting equipment is required to have an accuracy of about ± 0.02 mm, which is higher than the mounting accuracy.

【0008】しかしながら、実際には高速性を重視する
ために、軽量化した機構部と、1000mm以上の可動
部を有する構造とされていて、軽量化のため振動しやす
く、可動部が長いため撓みやすくなり、上述の±0.0
2mm程度の精度を実現できないことが多くなり、この
点が問題となっている。
However, in actuality, in order to emphasize high-speed performance, a structure having a lightened mechanism and a movable portion of 1000 mm or more is employed. ± 0.0 above
In many cases, an accuracy of about 2 mm cannot be realized, which is a problem.

【0009】ここで、部品、基板ともにカメラで位置認
識を行っているため、本来ならば装着位置のズレは発生
しないはずである。ところが、実際には、ロボット即ち
実装機の可動部の機構が公差内であっても多少の誤差を
有していることと、カメラによる位置の読みとりにも幾
分誤差が有ることから、ズレを全く0とすることは実際
には困難である。
Here, since the position of both the component and the board is recognized by the camera, the mounting position should not normally be displaced. However, in practice, there is some error even if the mechanism of the movable part of the robot, that is, the mounting machine is within the tolerance, and there is some error in reading the position by the camera. It is actually difficult to make it completely zero.

【0010】従来は、このズレが問題とならなかった
が、最近の部品の小型化に伴う高精度実装では精度の要
求がより厳しくなり、ズレが許容できなくなってきてい
る。
Conventionally, this deviation has not been a problem. However, in recent high-precision mounting due to miniaturization of components, the requirement for accuracy has become more severe, and the deviation has become unacceptable.

【0011】このズレ即ち装着誤差は、実装機の可動部
の機構をできる限り高精度にすることにより、幾分は改
善できる。
This displacement or mounting error can be reduced to some extent by making the mechanism of the movable part of the mounting machine as precise as possible.

【0012】しかしながら、実装機の可動部の機構とし
て一般に用いられている、X軸方向(水平方向)に延び
るレールに部品ヘッド部をぶら下げて部品ヘッド部の先
端からZ軸方向に部品吸着ノズルを伸ばしている構成に
おいては、レールと部品ヘッド部の自重によりレールが
たわんだり、レールが捻れたりする。またレールの摩耗
等により部品ヘッド部の位置がずれたりする。
However, the component head is hung on a rail extending in the X-axis direction (horizontal direction), which is generally used as a mechanism of the movable portion of the mounting machine, and the component suction nozzle is moved in the Z-axis direction from the tip of the component head. In the extended configuration, the rail bends or twists due to the weight of the rail and the component head. In addition, the position of the component head portion is shifted due to wear of the rail or the like.

【0013】このとき、自由端である部品ヘッド部の部
品吸着ノズル先端が最もズレ量が大きくなり、場合によ
っては上述の許容精度の範囲を超えてしまうことがあ
る。
At this time, the tip of the component suction nozzle of the component head portion, which is the free end, has the largest amount of displacement, and in some cases, exceeds the allowable tolerance range described above.

【0014】例えばX軸方向の長さが1m以上のレール
に、Z軸方向(鉛直方向)に150mm近くも延びる部
品ヘッド部がぶら下がっている状態では、部品ヘッド部
の部品吸着ノズル先端では、要求されるスペック例えば
±0.025mmを超えるズレが生じてしまっている。
For example, when a component head extending nearly 150 mm in the Z-axis direction (vertical direction) hangs on a rail having a length of 1 m or more in the X-axis direction, at the tip of the component suction nozzle of the component head portion, For example, a deviation exceeding ± 0.025 mm has occurred.

【0015】また、部品ヘッド部には、通常、装着位置
を認識する画像認識用のTVカメラと、部品吸着ノズル
(2本以上の場合もある)が組み込まれている。
Further, the component head unit usually incorporates a TV camera for image recognition for recognizing the mounting position and a component suction nozzle (in some cases, two or more nozzles).

【0016】ここで、X軸方向の移動に伴うTVカメラ
及び部品吸着ノズルのY軸方向の変化量を図6に示す。
Sは移動のスタート点、曲線IはTVカメラのY軸方向
の変化量、曲線IIは部品吸着ノズルのY軸方向の変化
量をそれぞれ示す。尚、この測定に用いた実装機におけ
る装着範囲はX:−155〜415(mm)の範囲であ
る。
FIG. 6 shows the amount of change in the Y-axis direction of the TV camera and the component suction nozzle accompanying the movement in the X-axis direction.
S indicates a movement start point, curve I indicates a change amount of the TV camera in the Y-axis direction, and curve II indicates a change amount of the component suction nozzle in the Y-axis direction. The mounting range of the mounting machine used for this measurement is X: -155 to 415 (mm).

【0017】図6では、Y座標を固定して(Y=250
mm)、X軸方向に移動を行っているので、理想的には
Y軸方向の変化量は0であるが、実際にはレールと部品
ヘッドとの間のかみ合わせの具合等によりY軸にμm単
位の変化が生じている。また、TVカメラと部品吸着ノ
ズルとはある程度例えば約100mmの間隔を有してい
るため、Y軸方向の変化量に多少の違いを生じていて、
これらの相対位置関係は常に一定ではないことがわか
る。
In FIG. 6, the Y coordinate is fixed (Y = 250
mm), the movement is performed in the X-axis direction, and therefore, the amount of change in the Y-axis direction is ideally zero, but actually, the μ-axis is changed by μm due to the degree of engagement between the rail and the component head. A unit change has occurred. In addition, since the TV camera and the component suction nozzle have a certain interval of, for example, about 100 mm, there is a slight difference in the amount of change in the Y-axis direction.
It can be seen that these relative positional relationships are not always constant.

【0018】このように、TVカメラ及び部品吸着ノズ
ルの相対位置関係が、部品の取付位置のXY座標により
変化することが判明しており、そのため、前述の精度の
問題をより複雑にしている。
As described above, it has been found that the relative positional relationship between the TV camera and the component suction nozzle changes depending on the XY coordinates of the component mounting position, which complicates the accuracy problem described above.

【0019】上述した問題の解決のために、本発明にお
いては、実装の際に生じる誤差を修正することにより、
高速動作においても充分な実装精度を確保することがで
きる電子部品の実装方法及び電子部品の実装機を提供す
るものである。
In order to solve the above-mentioned problem, in the present invention, by correcting an error generated at the time of mounting,
An object of the present invention is to provide an electronic component mounting method and an electronic component mounting machine capable of securing sufficient mounting accuracy even at high speed operation.

【0020】[0020]

【課題を解決するための手段】本発明の電子部品の実装
方法は、水平方向及び垂直方向に移動することが可能な
部品装着用ヘッドを用いて、所定の実装プログラムに従
って、自動的に基板に複数の電子部品の実装を行う電子
部品の実装機に対して、複数のマークがマトリクス状に
設けられた治具基板のマークの位置座標を測定し、部品
装着用ヘッドによりマークの位置を装着位置として治具
基板にダミー部品の装着を行い、ダミー部品が装着され
た位置の座標を測定し、治具基板のマークの位置座標と
ダミー部品が装着された位置座標との間の誤差量を算出
し、所定の実装プログラムに誤差量に基づいた修正を行
った修正実装プログラムを得、この修正実装プログラム
により、基板への電子部品の実装を行うものである。
According to a method of mounting an electronic component of the present invention, a component mounting head capable of moving in a horizontal direction and a vertical direction is used to automatically mount a component on a substrate in accordance with a predetermined mounting program. For an electronic component mounting machine that mounts multiple electronic components, measure the position coordinates of the marks on the jig board on which multiple marks are provided in a matrix, and use the component mounting head to determine the position of the marks. Mount the dummy component on the jig board, measure the coordinates of the position where the dummy component is mounted, and calculate the error amount between the position coordinates of the mark on the jig substrate and the position coordinates of the dummy component mounted Then, a modified mounting program in which a predetermined mounting program is modified based on an error amount is obtained, and the electronic component is mounted on the board by the modified mounting program.

【0021】本発明の電子部品の実装機は、水平方向及
び垂直方向に移動することが可能な部品装着用ヘッドを
用いて、所定の実装プログラムに従って、自動的に基板
に複数の電子部品の実装を行う電子部品の実装機であっ
て、座標を測定する測定手段と、予め座標が測定された
複数のマークがマトリクス状に設けられた治具基板に対
して、マークの座標が測定手段により測定された第1の
測定値と、部品ヘッドによりマークの位置に装着された
ダミー部品の座標が測定手段により測定された第2の測
定値とから、治具基板のマークの座標とダミー部品が装
着された座標との間の誤差量を算出する誤差量算出手段
と、誤差量を記憶する記憶手段と、この記憶手段に記憶
した誤差量に基づいて、所定の実装プログラムに修正を
行う実装プログラム修正手段とを備え、この実装プログ
ラム修正手段により修正された実装プログラムにより、
基板への電子部品の実装位置が規定されるものである。
The electronic component mounter of the present invention automatically mounts a plurality of electronic components on a substrate in accordance with a predetermined mounting program using a component mounting head that can be moved in the horizontal and vertical directions. And a measuring device for measuring coordinates, and a jig substrate on which a plurality of marks whose coordinates have been measured in advance are provided in a matrix, wherein the coordinates of the marks are measured by the measuring device. From the first measured value obtained and the second measured value obtained by measuring the coordinates of the dummy component mounted at the position of the mark by the component head by the measuring means, the coordinates of the mark on the jig board and the dummy component are mounted. Error amount calculating means for calculating an error amount between the set coordinates, storage means for storing the error amount, and a mounting program for correcting a predetermined mounting program based on the error amount stored in the storing means. And a correction means, the corrected mounting program by the mounting program modifying means,
The mounting position of the electronic component on the substrate is defined.

【0022】上述の本発明の電子部品の実装方法によれ
ば、治具基板のマークの座標とダミー部品が装着された
座標との間の誤差量を算出し、この誤差量に基づいて修
正された実装プログラムにより基板への電子部品の実装
を行うことにより、部品装着用ヘッドの移動の際に生じ
る誤差量を修正して基板上の正しい位置に精度良く部品
を実装することができる。
According to the electronic component mounting method of the present invention described above, the amount of error between the coordinates of the mark on the jig board and the coordinates at which the dummy component is mounted is calculated and corrected based on the amount of error. By mounting the electronic component on the board by the mounting program, the error amount generated when the component mounting head is moved can be corrected and the component can be mounted at a correct position on the board with high accuracy.

【0023】上述の本発明の電子部品の実装機によれ
ば、治具基板のマークの座標とダミー部品が装着された
座標との間の誤差量が算出され、記憶手段に記憶された
この誤差量に基づいて修正された実装プログラムにより
基板への電子部品の実装位置が規定されることにより、
部品装着用ヘッドの移動の際に生じる誤差量を修正して
基板上の正しい位置に精度良く部品を実装できる実装機
を構成することができる。
According to the electronic component mounter of the present invention described above, the amount of error between the coordinates of the mark on the jig substrate and the coordinates of the dummy component is calculated, and this error stored in the storage means is calculated. By defining the mounting position of the electronic component on the board by the mounting program corrected based on the amount,
It is possible to configure a mounting machine that can correct the amount of error generated when the component mounting head is moved and mount the component at a correct position on the board with high accuracy.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】本発明は、水平方向及び垂直方向
に移動することが可能な部品装着用ヘッドを用いて、所
定の実装プログラムに従って、自動的に基板に複数の電
子部品の実装を行う電子部品の実装機に対して、複数の
マークがマトリクス状に設けられた治具基板の該マーク
の位置座標を測定し、部品装着用ヘッドによりマークの
位置を装着位置として治具基板にダミー部品の装着を行
い、ダミー部品が装着された位置の座標を測定する工程
と、治具基板のマークの位置座標とダミー部品が装着さ
れた位置座標との間の誤差量を算出する工程とを有し、
所定の実装プログラムに誤差量に基づいた修正を行った
修正実装プログラムを得、修正実装プログラムにより、
基板への電子部品の実装を行う電子部品の実装方法であ
る。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS According to the present invention, a plurality of electronic components are automatically mounted on a substrate according to a predetermined mounting program by using a component mounting head which can be moved in a horizontal direction and a vertical direction. For the electronic component mounter, measure the position coordinates of the marks on a jig substrate on which a plurality of marks are provided in a matrix, and use the component mounting head to set the position of the mark as a mounting position to the dummy component on the jig substrate. And the step of measuring the coordinates of the position where the dummy component is mounted, and the step of calculating the amount of error between the position coordinates of the mark on the jig board and the position coordinate of the dummy component. And
Obtain a modified mounting program that makes a correction based on the error amount to a predetermined mounting program, and by the corrected mounting program,
This is an electronic component mounting method for mounting an electronic component on a substrate.

【0025】また本発明は、上記電子部品の実装方法に
おいて、部品が装着された位置の座標の測定を、部品装
着用ヘッドに併設され部品装着用ヘッドに追随して移動
する撮像カメラによって測定を行う。
Further, according to the present invention, in the electronic component mounting method, the measurement of the coordinates of the position where the component is mounted is performed by an imaging camera which is attached to the component mounting head and moves following the component mounting head. Do.

【0026】また本発明は、上記電子部品の実装方法に
おいて、撮像カメラの読みとり精度より充分高い精度の
測定機により治具基板のマークの位置座標を測定した後
に、再度撮像カメラにより上記治具基板のマークの位置
座標の測定を行い、撮像カメラの読みとり誤差量を算出
する。
Further, according to the present invention, in the above electronic component mounting method, after measuring the position coordinates of the mark on the jig board by a measuring machine having an accuracy sufficiently higher than the reading accuracy of the imaging camera, the jig board is again used by the imaging camera. The position coordinates of the mark are measured, and the reading error amount of the imaging camera is calculated.

【0027】また本発明は、上記電子部品の実装方法に
おいて、撮像カメラの読みとり誤差量を全てのマークの
位置について記憶し、記憶した読みとり誤差量を読み出
して実装プログラムの読み取り誤差の補正を行う。
According to the present invention, in the electronic component mounting method, the reading error amount of the imaging camera is stored for all the mark positions, and the stored reading error amounts are read to correct the reading error of the mounting program.

【0028】また本発明は、上記電子部品の実装方法に
おいて、治具基板のマークが、治具基板にマトリクス状
に形成された穴であって、かつダミー部品として穴の径
より大なる径の円板形状のダミー部品を用いる。
Further, according to the present invention, in the above electronic component mounting method, the mark of the jig substrate may be a hole formed in a matrix on the jig substrate and having a diameter larger than the diameter of the hole as a dummy component. Disc-shaped dummy parts are used.

【0029】また本発明は、上記電子部品の実装方法に
おいて、電子部品を装着する位置座標の近傍の少なくと
も1つ以上の上記マークの上記誤差量から修正量を算出
して上記実装プログラムに修正を行う。
According to the present invention, in the electronic component mounting method, a correction amount is calculated from the error amount of at least one or more of the marks in the vicinity of a position coordinate at which the electronic component is mounted, and the correction is performed by the mounting program. Do.

【0030】本発明は、水平方向及び垂直方向に移動す
ることが可能な部品装着用ヘッドを用いて、所定の実装
プログラムに従って、自動的に基板に複数の電子部品の
実装を行う電子部品の実装機であって、座標を測定する
測定手段と、予め座標が測定された複数のマークがマト
リクス状に設けられた治具基板に対して、マークの座標
が測定手段により測定された第1の測定値と、部品装着
用ヘッドによりマークの位置に装着されたダミー部品の
座標が測定手段により測定された第2の測定値とから、
治具基板のマークの座標とダミー部品が装着された座標
との間の誤差量を算出する誤差量算出手段と、誤差量を
記憶する記憶手段と、この記憶手段に記憶した誤差量に
基づいて、所定の実装プログラムに修正を行う実装プロ
グラム修正手段とを備え、この実装プログラム修正手段
により修正された実装プログラムにより、基板への電子
部品の実装位置が規定される電子部品の実装機である。
According to the present invention, a plurality of electronic components are automatically mounted on a substrate according to a predetermined mounting program by using a component mounting head that can move in a horizontal direction and a vertical direction. A measuring device for measuring coordinates, and a first measurement in which the coordinates of the marks are measured by the measuring device on a jig substrate on which a plurality of marks whose coordinates have been measured in advance are provided in a matrix. From the value and the second measurement value obtained by measuring the coordinates of the dummy component mounted at the position of the mark by the component mounting head by the measurement unit,
An error amount calculating means for calculating an error amount between the coordinates of the mark of the jig board and the coordinates at which the dummy component is mounted; a storage means for storing the error amount; And a mounting program correcting means for correcting a predetermined mounting program, wherein the mounting position of the electronic component on the substrate is defined by the mounting program corrected by the mounting program correcting means.

【0031】また本発明は、上記電子部品の実装機にお
いて、第1の測定値と予め測定されたマークの座標の測
定値との間の誤差量を算出する第2の誤差量算出手段
と、第2の誤差量算出手段により算出された誤差量を記
憶する第2の記憶手段とを備え、この第2の記憶手段に
記憶された誤差量により第2の測定値が補正される構成
とする。
According to the present invention, in the electronic component mounting machine, a second error amount calculating means for calculating an error amount between the first measured value and the measured value of the coordinates of the mark measured in advance, A second storage unit for storing the error amount calculated by the second error amount calculation unit, wherein the second measurement value is corrected by the error amount stored in the second storage unit. .

【0032】また本発明は、上記電子部品の実装機にお
いて、測定手段が、上記部品装着用ヘッドに併設され上
記部品装着用ヘッドに追随して移動する撮像カメラであ
る構成とする。
Further, in the electronic component mounting machine according to the present invention, the measuring means is an imaging camera which is provided alongside the component mounting head and moves following the component mounting head.

【0033】図1は本発明に係る電子部品の実装機の一
実施の形態の概略構成図を示す。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an embodiment of an electronic component mounting machine according to the present invention.

【0034】図1に示す実装機1は、基板上に複数種の
部品を実装する異形部品装着機(異形マウンター)の一
形態であり、一般的な直行型の三軸ロボットをベースに
して作られている。実装機1は、電子部品がマウントさ
れる基板20を載置する基板載置部と、電子部品を供給
するための部品供給部3と、部品供給部3から電子部品
を吸着(もしくは把持)して基板20上にマウントする
ための部品装着用ヘッド(以下部品ヘッド部12とす
る)と、部品の位置を確認するための撮像カメラである
位置認識カメラ15と、実装プログラムに基づいて部品
ヘッド部12の制御を行うための制御ボックス5とを備
えて成る。
The mounting machine 1 shown in FIG. 1 is an embodiment of a deformed component mounting machine (deformed mounter) for mounting a plurality of types of components on a substrate, and is based on a general orthogonal type three-axis robot. Have been. The mounting machine 1 mounts a substrate 20 on which an electronic component is mounted, a component supply unit 3 for supplying the electronic component, and sucks (or holds) the electronic component from the component supply unit 3. A component mounting head (hereinafter referred to as a component head unit 12) for mounting the component head on a substrate 20, a position recognition camera 15 which is an imaging camera for confirming a component position, and a component head unit based on a mounting program. And a control box 5 for performing the control of Twelve.

【0035】部品ヘッド部12は、水平面にX軸及びY
軸をとり、鉛直方向をZ軸方向として、X軸方向、Y軸
方向、Z軸方向にそれぞれ移動可能な機構を備えてい
る。
The component head 12 has an X axis and a Y
It has a mechanism that can move in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction, with the axis as the axis and the vertical direction as the Z-axis direction.

【0036】即ち、具体的な移動可能な機構として、梁
状のレール2を跨いで、ケーブルベアー11が接続され
たX軸方向の移動が可能な部品ヘッド部12が設けられ
ている。
That is, as a specific movable mechanism, there is provided a component head section 12 which can move in the X-axis direction and is connected to the cable bear 11 across the beam-shaped rail 2.

【0037】また、部品ヘッド部12の拡大図を図2に
示すように、この部品ヘッド部12には2本の部品保持
用ノズル13,14が設けられ、さらに部品の位置を撮
影かつ検出する検出部(撮像装置)として位置認識カメ
ラ15が併設されている。この図2の場合は、部品吸着
ノズル13と部品把持ノズル14の2本のノズルが設け
られている。
As shown in FIG. 2 which is an enlarged view of the component head section 12, the component head section 12 is provided with two component holding nozzles 13 and 14, and further photographs and detects the position of the component. A position recognition camera 15 is provided as a detection unit (imaging device). In the case of FIG. 2, two nozzles, a component suction nozzle 13 and a component gripping nozzle 14, are provided.

【0038】尚、部品保持用ノズル13,14は、交換
可能であり、吸着ノズルや把持ノズルに限らずその他の
種類のノズルを装着するようにしてもよく、2つの同一
種のノズルを装着してもよい。
The component holding nozzles 13 and 14 are replaceable, and may be replaced by other types of nozzles, not limited to the suction nozzles and the gripping nozzles. You may.

【0039】梁状のレール2は、その両端がスライドす
ることによりY軸方向への移動が可能である。また、Z
軸方向の移動は、部品ヘッド部12から部品保持用ノズ
ル13,14の根元が出入りすることにより行われる。
The beam-shaped rail 2 can be moved in the Y-axis direction by sliding both ends thereof. Also, Z
The movement in the axial direction is performed when the roots of the component holding nozzles 13 and 14 enter and exit from the component head 12.

【0040】実装機1の後部には、部品供給トレイ等の
容器に収納された電子部品を保管し、実装の際に部品供
給トレイが送り出されるように構成した部品供給部3が
設けられている。尚、部品供給部3から送り出された部
品供給トレイ等の容器の近傍には、部品認識カメラ(図
示せず)が設けられ、画像認識により部品ノズル13,
14によって吸着又は把持した電子部品の形状及び位置
を高速で認識することができる。
At the rear of the mounting machine 1, there is provided a component supply unit 3 configured to store electronic components stored in a container such as a component supply tray and to send out the component supply tray at the time of mounting. . A component recognition camera (not shown) is provided in the vicinity of a container such as a component supply tray sent out from the component supply unit 3, and the component nozzles 13 and 13 are recognized by image recognition.
14 allows the shape and position of the electronic component sucked or gripped to be recognized at high speed.

【0041】実装機1の側部には、部品認識カメラの像
を表示するモニタ4と、部品保持用ノズル13,14の
移動の制御を行う制御ボックス5が設けられている。制
御ボックス5の表面には制御のためのデータやコマンド
の入力を行うボタンや入力内容などの表示を行うディス
プレイ等が設けられる。
A monitor 4 for displaying the image of the component recognition camera and a control box 5 for controlling the movement of the component holding nozzles 13 and 14 are provided on the side of the mounting machine 1. On the surface of the control box 5, buttons for inputting control data and commands, a display for displaying input contents, and the like are provided.

【0042】尚、図1では、部品を実装した後の基板の
排出機構等の構成は省略している。
Note that, in FIG. 1, the configuration of the mechanism for discharging the board after the components are mounted is omitted.

【0043】この実装機1における部品取付は、実装プ
ログラムに基づいて、制御部からの命令により、例えば
次のような流れで行われる。ここではQFP(Quad Fla
t Plastic )装着の場合を説明する。
The mounting of components in the mounting machine 1 is performed in accordance with a command from a control unit based on a mounting program, for example, in the following flow. Here, QFP (Quad Fla
t Plastic) The case of mounting will be described.

【0044】まず、部品供給部3から部品供給トレイ
(図示せず)が部品保持用ノズル13,14の可動範囲
内に送り出され、上述のX軸方向、Y軸方向、Z軸方向
の移動を行うことにより、部品保持用ノズル13,14
が供給トレイ内の実装プログラムにより指定された電子
部品を吸着又は把持する。
First, a component supply tray (not shown) is sent from the component supply unit 3 into the movable range of the component holding nozzles 13 and 14, and moves in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction. By doing so, the component holding nozzles 13 and 14
Sucks or grips the electronic component specified by the mounting program in the supply tray.

【0045】次に、下から見上げている部品認識カメラ
で電子部品の形状と位置(含む角度)を読み取る。QF
P装着ではここでリードの曲がりも認識される。
Next, the shape and position (including angle) of the electronic component are read by the component recognition camera looking up from below. QF
In P mounting, the bending of the lead is also recognized here.

【0046】そして、部品を吸着したまま、Z軸方向の
上方に移動して部品供給トレイから取り出した後、X軸
方向及びY軸方向の移動を行って、電子部品の実装を行
う基板20の所定の取付位置まで移動する。このとき、
基板20に目印として記載したターゲットマークから基
板20の位置と角度を読み取る。
Then, while holding the component, the component is moved upward in the Z-axis direction and taken out of the component supply tray, and then moved in the X-axis direction and the Y-axis direction to mount the electronic component on the substrate 20. Move to the specified mounting position. At this time,
The position and the angle of the substrate 20 are read from the target mark described as a mark on the substrate 20.

【0047】さらに、X軸方向・Y軸方向夫々のズレを
修正した後、部品保持用ノズル13,14がZ軸方向の
下方に移動して基板20への部品の取付が行われる。取
付後は、部品吸着ノズル13の吸着を停止させ、或いは
部品把持ノズル14の把持を緩め、さらに部品保持用ノ
ズル13,14をZ軸方向上方に移動させることにより
基板20に取り付けられた部品から離して、次の部品の
取付を行うことが可能となる。これらの動作を所定分繰
り返して実装を終了する。
Further, after correcting the displacement in the X-axis direction and the Y-axis direction, the component holding nozzles 13 and 14 move downward in the Z-axis direction, and the components are mounted on the substrate 20. After the mounting, the suction of the component suction nozzle 13 is stopped, or the grip of the component gripping nozzle 14 is loosened, and the component holding nozzles 13 and 14 are further moved upward in the Z-axis direction. Then, the next part can be attached. These operations are repeated for a predetermined number of times, and the mounting is completed.

【0048】上述のQFP(Quad Flat Plastic )装着
の場合は、リードの曲がり方向認識も必要であるため、
約2秒/個程度の速度であるが、リードのない例えばチ
ップ部品の装着では0.5秒/個程度で実装が行われる
ため、実装機1が揺れる程の速度である。
When the above-mentioned QFP (Quad Flat Plastic) is mounted, it is necessary to recognize the bending direction of the lead.
Although the speed is about 2 seconds / piece, the mounting is performed at about 0.5 seconds / piece when mounting a chip component without a lead, for example, so that the mounting machine 1 swings at a high speed.

【0049】ここで、部品、基板ともにカメラで位置認
識を行っているため、本来ならば装着位置のズレは発生
しないはずである。ところが、実際はロボット即ち可動
部の機構が公差内であっても多少の誤差を有しているこ
とと、カメラによる位置の読みとりにも幾分誤差が有る
ことから、ズレ量を全く0とすることは実際には困難で
ある。
Here, since the position of both the component and the board is recognized by the camera, the displacement of the mounting position should normally not occur. However, in practice, there is some error even if the robot, that is, the mechanism of the movable part is within the tolerance, and there is some error in reading the position by the camera. Is actually difficult.

【0050】しかし、そのズレ量は部品の装着位置の座
標に対応していて、再現性があることが分かっているた
め、ズレ量の分だけ部品保持用ノズル13,14の位置
を修正することが可能である。
However, since the shift amount corresponds to the coordinates of the component mounting position and is known to have reproducibility, the positions of the component holding nozzles 13 and 14 must be corrected by the shift amount. Is possible.

【0051】その修正方法を以下に説明する。一連の工
程の流れを図4及び図5に示す。図4及び図5中、太い
矢印は、矢印の元の実装プログラム等のプログラム又は
工程に基づいて実行されることを示す。
The correction method will be described below. 4 and 5 show the flow of a series of steps. 4 and 5, a thick arrow indicates that the process is executed based on a program or a process such as an original mounting program of the arrow.

【0052】1.図4の第1ステップS1で治具基板を
作成する。 治具基板21としては、その実装機1に適用可能な基板
20の最大限の大きさを有し熱膨張の少ない金属板が好
ましい。この金属板に、マークとして約50mm四方間
隔の格子状に配列されるように例えば直径3mm程度の
穴22を空けて、治具基板21を作製する。
1. In a first step S1 in FIG. 4, a jig substrate is created. As the jig substrate 21, a metal plate having the maximum size of the substrate 20 applicable to the mounting machine 1 and having a small thermal expansion is preferable. A hole 22 having a diameter of, for example, about 3 mm is formed in the metal plate so as to be arranged in a grid pattern with marks of about 50 mm square, and a jig substrate 21 is manufactured.

【0053】図3に治具基板21の一形態を示す。この
治具基板21は、(X0,Y0)の位置を座標の基準点
として、X座標がそれぞれX0,X1,X2,X3,X
4,X5,・・・、Y座標がそれぞれY0,Y1,Y
2,Y3,Y4である位置にマークとなる格子穴22が
開けられ、この格子穴22が格子状に配列されている。
FIG. 3 shows an embodiment of the jig substrate 21. The jig substrate 21 has X coordinates X0, X1, X2, X3, and X, respectively, using the position of (X0, Y0) as a coordinate reference point.
, X5,..., Y coordinates are Y0, Y1, Y, respectively.
At positions 2, Y3, and Y4, grid holes 22 serving as marks are formed, and the grid holes 22 are arranged in a grid.

【0054】尚、格子穴22の格子間隔は、図3に示す
ようにX方向の間隔とY方向の間隔とを等しくするのが
好ましいが、特にいずれかの方向の要求実装精度が高い
製品の場合には、その方向の間隔を他の方向の間隔より
狭くする構成を採ってもよい。
It is preferable that the lattice spacing of the lattice holes 22 is equal to the spacing in the X direction and the spacing in the Y direction as shown in FIG. In such a case, a configuration in which the interval in that direction is narrower than the interval in other directions may be adopted.

【0055】2.図4の第2ステップS2で治具基板2
1の夫々の格子穴22の座標を、例えば3次元測定機な
ど高精度の測定機により精密に測定する。ここで得られ
る測定値をData.1とする。このとき、測定機によ
って格子穴22の中心(又は重心)の位置を求めて、格
子穴22の中心の座標を格子穴22の座標とする。格子
穴22が円形の場合は中心の位置、楕円形その他の場合
は重心の位置の座標を使用する。
2. In the second step S2 of FIG.
The coordinates of each of the grid holes 22 are precisely measured by a high-precision measuring device such as a three-dimensional measuring device. The measured values obtained here are referred to as Data. Let it be 1. At this time, the position of the center (or the center of gravity) of the grid hole 22 is obtained by the measuring instrument, and the coordinates of the center of the grid hole 22 are set as the coordinates of the grid hole 22. When the lattice hole 22 is circular, the coordinates of the center position are used, and in other cases, the coordinates of the center of gravity are used.

【0056】この格子穴22の中心又は重心の位置は、
画像処理プログラム等を用いてコンピュータにより自動
的に位置を求め座標を決定することも可能である。
The position of the center or the center of gravity of the lattice hole 22 is
It is also possible to automatically determine the position and determine the coordinates by a computer using an image processing program or the like.

【0057】3.図4の第3ステップS3で治具基板2
1の格子穴22と同じ位置に部品を取り付ける実装プロ
グラムを作成する。この実装プログラムは、部品を取り
付ける位置の座標データを与えることによって、基板上
のその座標の位置に部品を取り付けることができるよう
に制御するように構成されたプログラムである。即ち、
この工程において、実装プログラム(Prog.1)に
は、先に高精度の測定機で測定した格子穴22の中心
(又は重心)座標データ(Data.1)を入力する。
3. In the third step S3 in FIG.
A mounting program for mounting a component at the same position as one lattice hole 22 is created. This mounting program is a program configured to give control such that the component can be mounted at the position of the coordinates on the board by giving the coordinate data of the position where the component is to be mounted. That is,
In this step, the center (or the center of gravity) coordinate data (Data. 1) of the grid hole 22 measured by the high-precision measuring device is input to the mounting program (Prog. 1).

【0058】尚、この格子穴22の中心(又は重心)の
座標データの入力は、高精度の測定機による測定値を人
手で入力を行ってもよく、また高精度の測定機から電子
記憶媒体に記憶してこの記憶媒体を介して入力を行って
も良く、またデータ転送プログラムを用いることにより
高精度の測定機から実装プログラムを用いる実装機1に
自動的に実装プログラムにデータ転送して測定値が取り
込まれるようにしてもよい。
The input of the coordinate data of the center (or the center of gravity) of the lattice hole 22 may be performed by manually inputting a measurement value by a high-precision measuring device, or by inputting the data from the high-precision measuring device to an electronic storage medium. And the data may be input through this storage medium, or the data transfer program may be used to automatically transfer the data from the high-precision measuring machine to the mounting machine 1 using the mounting program and perform the measurement. A value may be taken in.

【0059】4.図4の第4ステップS4で治具基板2
1を実装機1に設置して、原点合わせをした後、部品ヘ
ッド部12に搭載された位置認識カメラ15を移動させ
て、各格子穴22の座標を測定する。このとき得られる
データをData.2とする。
4. In the fourth step S4 in FIG.
1 is set on the mounting machine 1 and the origin is aligned. Then, the position recognition camera 15 mounted on the component head 12 is moved to measure the coordinates of each lattice hole 22. Data obtained at this time is referred to as Data. Let it be 2.

【0060】位置認識カメラ15による座標の測定は、
前述の高精度の測定機による測定と同様に、格子穴22
の中心又は重心の位置を自動的に認識して測定を行うこ
とができる。
Measurement of coordinates by the position recognition camera 15 is as follows.
As in the measurement by the high-precision measuring device described above,
Measurement can be performed by automatically recognizing the center or the position of the center of gravity.

【0061】5.図4の第5ステップS5で位置認識カ
メラ15によって測定した格子穴(マーク)22の座標
(Data.2)を精度の高い測定機によって測定した
格子穴(マーク)22の座標(Data.1)と比較す
る。これにより、カメラの読みとり誤差(Data.
C)が得られる。Data.2−Data.1=カメラ
の読みとり誤差(Data.C)
5. The coordinates (Data.2) of the grid holes (marks) 22 measured by the position recognition camera 15 in the fifth step S5 of FIG. 4 are the coordinates (Data.1) of the grid holes (marks) 22 measured by a highly accurate measuring device. Compare with Thereby, the reading error of the camera (Data.
C) is obtained. Data. 2-Data. 1 = Reading error of camera (Data.C)

【0062】この誤差の量Data.Cの算出は、誤差
量算出手段として、実装機1の制御プログラム中に算出
プログラムを含めておくことにより、入力されているD
ata.1と、位置認識カメラ15の測定により得られ
たData.2とから自動的に算出することが可能であ
る。
The error amount Data. The calculation of C is performed by including a calculation program in the control program of the mounting machine 1 as an error amount calculation means.
ata. 1 and Data. 1 obtained by measurement by the position recognition camera 15. 2 can be automatically calculated.

【0063】尚、このカメラの読みとり誤差は、各格子
穴22の座標毎に算出した値を実装機1の記憶手段に記
憶しておいて、以降の位置認識カメラ15による測定の
際には測定値を修正できるように制御プログラムを構成
するとよい。このとき、任意の点の修正値には、その点
の周囲にある格子穴22のうち、最も近い格子穴22に
おけるカメラの読みとり誤差の量を採用する。
Incidentally, the reading error of the camera is determined by storing the value calculated for each coordinate of each grid hole 22 in the storage means of the mounting machine 1 and performing the measurement by the position recognition camera 15 thereafter. The control program may be configured so that the value can be modified. At this time, as the correction value of an arbitrary point, the amount of the camera reading error in the closest lattice hole 22 among the lattice holes 22 around the point is adopted.

【0064】6.図4の第6ステップS6で実装プログ
ラム(Prog.1)に基づいて、治具基板21の格子
穴(マーク)22の位置にダミー部品を装着する。例え
ば直径5mmの円形形状で厚さが2mmのダミー部品
を、部品吸着ノズル13で吸着し、治具基板21の直径
3mmの各格子穴22上に装着する。このとき、ダミー
部品の装着後の位置ずれを防止するために、治具基板2
1の格子穴22上に粘着テープ等を貼ることが望まし
い。
6. In a sixth step S6 in FIG. 4, a dummy component is mounted at the position of the grid hole (mark) 22 of the jig board 21 based on the mounting program (Prog. 1). For example, a dummy component having a circular shape with a diameter of 5 mm and a thickness of 2 mm is suctioned by the component suction nozzle 13 and mounted on each of the lattice holes 22 with a diameter of 3 mm of the jig substrate 21. At this time, in order to prevent a displacement after the mounting of the dummy component, the jig substrate 2 is used.
It is desirable to stick an adhesive tape or the like on one lattice hole 22.

【0065】ダミー部品は、格子穴22の直径より大き
い直径として、格子穴22の上に取り付けることができ
るようにする。また、ダミー部品は、各方向の長さが等
しく、かつ中心を容易に求めることができる円形形状と
するのが望ましい。
The dummy part has a diameter larger than the diameter of the lattice hole 22 so that it can be mounted on the lattice hole 22. Further, it is desirable that the dummy component has a circular shape having the same length in each direction and the center can be easily obtained.

【0066】7.図4の第7ステップS7で部品ヘッド
12に搭載された位置認識カメラ15により実装機1で
のダミー部品の装着位置の座標を測定する。このとき得
られるデータをData.3とする。
7. In a seventh step S7 in FIG. 4, the coordinates of the mounting position of the dummy component in the mounting machine 1 are measured by the position recognition camera 15 mounted on the component head 12. Data obtained at this time is referred to as Data. 3 is assumed.

【0067】8.図4の第8ステップS8でダミー部品
の装着位置(Data.3)と位置認識カメラ15によ
って測定した格子穴(マーク)22の座標(Data.
2)とを比較することにより、真の装着誤差を得る。こ
の真の装着誤差の値をData.4とする。Data.
3−Data.2=真の装着誤差(Data.4)尚、
この工程は、位置認識カメラ15の読み取り誤差を修正
した後に実施する。
8. In the eighth step S8 in FIG. 4, the mounting position (Data. 3) of the dummy component and the coordinates (Data.
By comparing with 2), a true mounting error is obtained. The value of this true mounting error is referred to as Data. 4 is assumed. Data.
3-Data. 2 = True mounting error (Data.4)
This step is performed after correcting the reading error of the position recognition camera 15.

【0068】この誤差の量Data.4の算出は、誤差
量算出手段として、実装機1の制御プログラム中に算出
プログラムを含めておくことにより、先に得られた格子
穴(マーク)22の位置測定値Data.2と、後で得
られたダミー部品の装着位置の測定値Data.3とか
ら自動的に算出することが可能である。
This error amount Data. 4 is calculated by including a calculation program in the control program of the mounting machine 1 as an error amount calculation means, so that the position measurement value Data. 2 and a measured value Data. Of the mounting position of the dummy component obtained later. 3 can be automatically calculated.

【0069】そして、この真の装着誤差は、各格子穴2
2の座標毎に算出した値を実装機1の記憶手段に記憶し
ておいて、後述するように実際に基板20に部品を実装
する実装プログラムを修正できるようにするとよい。
This true mounting error is caused by the fact that each grid hole 2
It is preferable that the value calculated for each of the coordinates 2 is stored in the storage unit of the mounting machine 1 so that the mounting program for actually mounting the components on the board 20 can be modified as described later.

【0070】上述の装着誤差を算出する工程までの流れ
は、図4に示すように行われる。続いて、基板20上に
部品を実装するまでの流れを図5に示す。
The flow up to the step of calculating the mounting error is performed as shown in FIG. Subsequently, a flow until components are mounted on the board 20 is shown in FIG.

【0071】9.CAD情報等の実装する部品の設計情
報に基づいて、図5の第9ステップS9で実装機1毎の
実装プログラム(Prog.2)を作成する。
9. Based on the design information of the component to be mounted, such as CAD information, a mounting program (Prog. 2) for each mounting machine 1 is created in a ninth step S9 in FIG.

【0072】10.図5の第10ステップS10でこの
実装機1毎の実装プログラム(Prog.2)に、前述
の第8ステップS8で得られた真の装着誤差(Dat
a.4)を加味した修正を加え、修正済み実装プログラ
ム(Prog.3)を作成する。
10. In the tenth step S10 of FIG. 5, the mounting program (Prog. 2) for each mounting machine 1 is added to the true mounting error (Dat) obtained in the eighth step S8.
a. 4) is added, and a corrected mounting program (Prog. 3) is created.

【0073】この実装プログラムの修正は、実装プログ
ラム修正手段として、例えば実装機1の制御プログラム
中に、実装機1毎の実装プログラム(Prog.2)に
真の装着誤差(Data.4)を加味して修正済みプロ
グラム(Prog.3)を自動的に作成するプログラム
を含めて行うようにするとよい。
The mounting program is modified by, for example, adding a true mounting error (Data.4) to the mounting program (Prog.2) for each mounting machine 1 in the control program of the mounting machine 1 as a mounting program correcting means. Then, it is preferable to include a program that automatically creates the corrected program (Prog. 3).

【0074】尚、この修正済み実装プログラム(Pro
g.3)は、実装機1の中に実装プログラム(Pro
g.2)を読み込む際に、自動的に真の装着誤差(Da
ta.4)を加味してその都度作成させ実装機1の例え
ば制御ボックス5内にある記憶領域にのみ存在させるよ
うにしてもよい。
The modified implementation program (Pro
g. 3), the mounting program (Pro
g. 2) When reading, the true mounting error (Da
ta. In consideration of 4), it may be created each time, and may exist only in the storage area of the mounting machine 1, for example, in the control box 5.

【0075】11.図5の第11ステップS11で修正
済み実装プログラム(Prog.3)により生産用の基
板20への電子部品の実装を行う。
11. In the eleventh step S11 in FIG. 5, the electronic component is mounted on the production board 20 by the modified mounting program (Prog. 3).

【0076】尚、実装機1毎に真の実装誤差Data.
4が異なるため、1つの実装機1用に作成した修正済み
実装プログラム(Prog.3)は、他の実装機1に流
用するべきではない。
It should be noted that the true mounting error Data.
4, the modified mounting program (Prog. 3) created for one mounting machine 1 should not be diverted to another mounting machine 1.

【0077】この一連の工程を定期的に行うことによ
り、実装機1が元来有している誤差を修正するだけでな
く、例えばレールの摩耗等の経時変化に起因する誤差分
も修正可能となる。これにより、経時変化が生じても、
繰り返しの再現性が維持され、生じる誤差量が一定であ
る間は、精度を保つことが可能である。従って、基板2
0への実装位置の測定を一枚毎に行う必要がなく、繰り
返しの再現性が得られる間は、同じ修正済み実装プログ
ラムによって、基板20上の正しい位置に部品を実装す
ることができる。
By performing this series of steps periodically, it is possible not only to correct errors inherent in the mounting machine 1 but also to correct errors caused by temporal changes such as abrasion of rails. Become. Thereby, even if a change over time occurs,
Accuracy can be maintained as long as the reproducibility of the repetition is maintained and the amount of error generated is constant. Therefore, the substrate 2
It is not necessary to measure the mounting position to 0 for each sheet, and the component can be mounted at the correct position on the board 20 by the same modified mounting program while reproducibility is obtained.

【0078】そして、繰り返しの再現性が維持されなく
なった場合には、部品ヘッド12やレール2等の可動機
構を点検し、必要に応じて修理・交換した後に、再び治
具基板21とダミー部品による測定を行って、修正実装
プログラムを作成すれば、また再現性が維持される間は
精度を保つことができる。
When the reproducibility of the repetition is no longer maintained, the movable mechanisms such as the component head 12 and the rail 2 are inspected, repaired and replaced if necessary, and then the jig board 21 and the dummy component are re-exposed. , A corrected mounting program is created, and accuracy can be maintained while reproducibility is maintained.

【0079】上述の一連の工程を、さらに具体的な数値
を示して説明する。ここで、図3に示す治具基板21の
(X3,Y2)の位置の格子穴(マーク)22であるA
点に着目して説明する。A点の座標を、3次元測定機等
により精密測定して(Data.1)、X=150m
m,Y=100mmを得たとする。以下単位のmmは省
略して説明する。
The above-described series of steps will be described with more specific numerical values. Here, A which is a lattice hole (mark) 22 at the position (X3, Y2) of the jig substrate 21 shown in FIG.
The description will be given focusing on the points. The coordinates of the point A are precisely measured by a three-dimensional measuring device or the like (Data. 1), and X = 150 m
It is assumed that m, Y = 100 mm is obtained. Hereinafter, the unit mm will be omitted.

【0080】続いて、A点を位置認識カメラ15で読み
取り、読み取った測定値(Data.2)がX=14
9.9,Y=100.2であったとする。このとき、位
置認識カメラ15の読みとり誤差(Data.C)は、
X方向で、149.9−150=−0.1Y方向で、1
00.2−100=+0.2となる。
Subsequently, the point A is read by the position recognition camera 15, and the read measurement value (Data.2) is X = 14.
Suppose that 9.9, Y = 100.2. At this time, the reading error (Data.C) of the position recognition camera 15 is:
In the X direction, 149.9-150 = -0.1 In the Y direction, 1
00.2-100 = + 0.2.

【0081】従って、カメラ読みとり修正値、即ち誤差
を打ち消すための修正値は、(−Data.C)に該当
し、次の通りとなる。 X方向=+0.1,Y方向=−0.2
Therefore, the camera reading correction value, that is, the correction value for canceling the error, corresponds to (-Data.C) and is as follows. X direction = +0.1, Y direction = -0.2

【0082】このカメラ読みとり修正値をカメラによる
測定値に加算すると次のようになる。 X方向では、144.9(カメラ測定値)+0.1(修
正値)=150 Y方向では、100.2(カメラ測定値)−0.2(修
正値)=100 このように、最初に精密測定した値(Data.1)と
一致する。
When the corrected value read by the camera is added to the value measured by the camera, the following is obtained. In the X direction, 144.9 (camera measurement value) +0.1 (correction value) = 150. In the Y direction, 100.2 (camera measurement value) −0.2 (correction value) = 100. It matches the measured value (Data.1).

【0083】このカメラ読みとり修正値の適用範囲は、
各格子穴22の中線を境界とした範囲、即ちA点の場合
には、X方向:125〜175,Y方向:75〜125
とする。
The applicable range of the camera reading correction value is as follows.
In the range defined by the middle line of each lattice hole 22 as a boundary, that is, in the case of the point A, the X direction: 125 to 175, the Y direction: 75 to 125
And

【0084】続いて、治具基板の各格子穴(マーク)2
2上に部品を置く実装プログラムを作成し、その実装プ
ログラムでダミー部品(直径5mm厚さ2mm)をマウ
ントする。そして、マウントされたダミー部品の位置
を、位置認識カメラ15で測定し(Data.3)、例
えばA点の場合に、X=149.7,Y=100.5で
あったとする。
Subsequently, each grid hole (mark) 2 of the jig substrate
2, a mounting program for placing the components is prepared, and a dummy component (5 mm in diameter and 2 mm in thickness) is mounted by the mounting program. Then, the position of the mounted dummy component is measured by the position recognition camera 15 (Data. 3). For example, in the case of the point A, it is assumed that X = 149.7 and Y = 100.5.

【0085】次に、ダミー部品の位置を位置認識カメラ
15で読み取った測定値(Data.3)に、先に求め
たカメラ読みとり誤差の修正値(−Data.C)を加
算して、ダミー部品の真の装着位置座標(Data.3
−Data.C)を求める。 X方向 149.7+0.1(カメラ修正値)=14
9.8 Y方向 100.5−0.2(カメラ修正値)=10
0.3 このとき、真の装着誤差(Data.4)は次のように
なる。 X方向 149.8−150=−0.2 Y方向 100.5−100=+0.3 これは、式で表すと次の数1になる。
Next, the corrected value (−Data.C) of the previously obtained camera reading error is added to the measured value (Data.3) read by the position recognition camera 15 for the position of the dummy part, and the dummy part is read. True mounting position coordinates (Data.3)
-Data. C). X direction 149.7 + 0.1 (camera correction value) = 14
9.8 Y direction 100.5-0.2 (camera correction value) = 10
0.3 At this time, the true mounting error (Data.4) is as follows. X direction 149.8−150 = −0.2 Y direction 100.5−100 = + 0.3 This is expressed by the following equation (1).

【0086】[0086]

【数1】 (Data.3−Data.C)−Data.1 =Data.3−(Data.2−Data.1)−Data.1 =Data.3−Data.2 =Data.4(Data.3-Data.C) -Data. 1 = Data. 3- (Data.2-Data.1) -Data. 1 = Data. 3-Data. 2 = Data. 4

【0087】そして、装着位置の修正値即ち真の装着誤
差を打ち消す値は、(−Data.4)に該当し、その
値は次の通りとなる。 X方向 +0.2,Y方向 −0.3 この修正値を用いて修正済み実装プログラム(Pro
g.3)を作成することができる。
The correction value of the mounting position, that is, the value for canceling the true mounting error, corresponds to (-Data.4), and the value is as follows. X-direction +0.2, Y-direction -0.3 Using the corrected values, the modified mounting program (Pro
g. 3) can be created.

【0088】この修正値の適用範囲は、カメラ読みとり
誤差の修正値(−Data.C)の場合と同じく各格子
穴22の中線を境界としてもよいが、さらに微細修正す
る場合には、境界内の格子穴22の隣に位置する格子穴
22における装着位置の修正値(−Data.4)との
差を比例配分するとよい。
The range of application of this correction value may be the middle line of each lattice hole 22 as in the case of the correction value (−Data.C) of the camera reading error. The difference from the correction value (−Data.4) of the mounting position in the lattice hole 22 located next to the lattice hole 22 in the inside may be proportionally distributed.

【0089】尚、上述の説明では、A点の座標は(10
0mm,150mm)ちょうどとして説明したが、治具
基板21の格子穴22の加工精度はそれほど高くなくて
もよく、A点にある格子穴22の中心(又は重心)の座
標が例えば(101mm,149mm)等であっても、
3次元測定機等精度の高い測定機によって、座標の精密
な測定値が得らればよい。
In the above description, the coordinates of point A are (10
(0 mm, 150 mm), but the processing accuracy of the grid holes 22 of the jig substrate 21 may not be so high, and the coordinates of the center (or the center of gravity) of the grid holes 22 at the point A are, for example, (101 mm, 149 mm). ) Etc.
It is sufficient that a precise measurement value of coordinates is obtained by a highly accurate measuring machine such as a three-dimensional measuring machine.

【0090】上述の精度較正法は、治具基板とダミー部
品があれば、実装機1が有している機能を利用すること
で自己修正が可能となる。尚、制御ソフトウエアの面で
の追加は必要である。
In the accuracy calibration method described above, if there is a jig substrate and a dummy component, self-correction can be performed by using the function of the mounting machine 1. It is necessary to add control software.

【0091】そして、この修正済み実装プログラム(P
rog.3)に従って部品の実装を行うことにより、下
記の効果を生ずることができる。
Then, the modified mounting program (P
log. The following effects can be obtained by mounting components according to 3).

【0092】1.設備類の剛性をさほど高めることなく
高精度の部品装着が可能となる。
1. It is possible to mount components with high precision without significantly increasing the rigidity of the equipment.

【0093】2.治具基板21と修正済み実装プログラ
ム(Prog.3)を1回用意すれば、次回からは特に
技能を必要とせずに実装位置の修正ができる。
2. If the jig board 21 and the corrected mounting program (Prog. 3) are prepared once, the mounting position can be corrected from the next time without requiring any special skills.

【0094】3.経時変化によりレール2や部品ヘッド
部12等機構部に変化があっても、再現性が得られる状
態で有る間は精度が維持できる。
3. Accuracy can be maintained as long as reproducibility is obtained, even if there is a change in the mechanical section such as the rail 2 and the component head section 12 due to aging.

【0095】4.治具基板21は、格子穴22の座標の
測定精度さえ高ければ、穴の加工精度は低くてもよいた
め、治具基板21を用いることによる製造コストアップ
は少なく、むしろ基板20一枚毎に部品の実装位置を測
定し修正する必要がないため、製造時間の短縮ができ、
その結果として製造コストの低減が図られる。
4. As long as the jig substrate 21 has a high measurement accuracy of the coordinates of the grid holes 22, the processing accuracy of the holes may be low. Therefore, the increase in manufacturing cost by using the jig substrate 21 is small. Since there is no need to measure and correct the mounting position of components, manufacturing time can be reduced,
As a result, the manufacturing cost can be reduced.

【0096】本発明の電子部品の実装方法及び電子部品
の実装機は、上述の実施の形態に限定されるものではな
く、本発明の要旨を逸脱しない範囲でその他様々な構成
が取り得る。
The electronic component mounting method and electronic component mounting machine of the present invention are not limited to the above-described embodiment, but may take various other configurations without departing from the gist of the present invention.

【0097】[0097]

【発明の効果】上述の本発明によれば、設備類の剛性を
さほど高めなくても高精度の部品の実装が可能となる。
According to the present invention described above, it is possible to mount components with high accuracy without increasing the rigidity of the equipment.

【0098】また、治具基板と実装プログラムとを用意
し、いったん実装プログラムの修正を行えば、次回から
は特に技能を必要とせずに実装位置の修正ができる。さ
らに、経時変化による機構部変化があっても再現性が得
られる状態で有れば精度が維持できる。そして、治具基
板は、測定精度さえ高ければ加工精度は低くてもよいた
め、治具基板は安価に作成することができる。従って実
装位置の測定を基板一枚一枚に対して行う必要がなく、
製造に係る時間が短縮されるとともに、治具基板を用い
ることによるコスト上昇は小さいので、基板への部品の
実装にかかる製造コストの低減が図られる。
Further, once the jig board and the mounting program are prepared and the mounting program is corrected, the mounting position can be corrected from the next time without requiring any special skills. Further, even if there is a change in the mechanism due to a change over time, accuracy can be maintained as long as reproducibility is obtained. Since the processing accuracy of the jig substrate may be low as long as the measurement accuracy is high, the jig substrate can be manufactured at low cost. Therefore, it is not necessary to measure the mounting position for each substrate,
Since the time required for manufacturing is reduced and the cost increase due to the use of the jig substrate is small, the manufacturing cost for mounting components on the substrate can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る電子部品の実装機の一実施の形態
の概略構成図(斜視図)である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram (perspective view) of an embodiment of an electronic component mounting machine according to the present invention.

【図2】図1の実装機の部品ヘッド部付近の拡大図であ
る。
FIG. 2 is an enlarged view of the vicinity of a component head of the mounting machine of FIG. 1;

【図3】格子穴を設けた治具基板を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a jig substrate provided with lattice holes.

【図4】真の装着誤差を得るまでの工程の流れを示す図
である。
FIG. 4 is a diagram showing a process flow until a true mounting error is obtained.

【図5】修正した実装プログラムを用いて実装を行うま
での工程の流れを示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a flow of processes until mounting is performed using a corrected mounting program.

【図6】X軸方向の移動による位置認識カメラ及び部品
吸着ノズルの位置の変化量を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing the amount of change in the position of the position recognition camera and the component suction nozzle due to movement in the X-axis direction.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 実装機、2 レール、3 部品供給部、4 モニ
タ、5 制御ボックス、11 ケーブルベアー、12
部品ヘッド部、13 部品吸着ノズル、14 部品把持
ノズル、15 位置認識カメラ、20 基板、21 治
具基板、22 格子穴(マーク)
1 mounting machine, 2 rails, 3 parts supply section, 4 monitor, 5 control box, 11 cable carrier, 12
Component head, 13 Component suction nozzle, 14 Component gripping nozzle, 15 Position recognition camera, 20 substrates, 21 Jig substrate, 22 Grid holes (marks)

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平8−23196(JP,A) 特開 平4−130800(JP,A) 特開 平6−252596(JP,A) 特開 平11−274794(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H05K 13/04 Continuation of the front page (56) References JP-A-8-23196 (JP, A) JP-A-4-130800 (JP, A) JP-A-6-252596 (JP, A) JP-A-11-274794 (JP) , A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) H05K 13/04

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 水平方向及び垂直方向に移動することが
可能な部品装着用ヘッドを用いて、所定の実装プログラ
ムに従って、自動的に基板に複数の電子部品の実装を行
う電子部品の実装機に対して、 複数のマークがマトリクス状に設けられた治具基板の該
マークの位置座標を測定し、 上記部品装着用ヘッドにより上記マークの位置を装着位
置として上記治具基板にダミー部品の装着を行い、 上記ダミー部品が装着された位置の座標を測定し、 上記治具基板のマークの位置座標と上記部品が装着され
た位置座標との間の誤差量を算出し、 上記所定の実装プログラムに上記誤差量に基づいた修正
を行った修正実装プログラムを得、 上記修正実装プログラムにより、上記基板への電子部品
の実装を行うことを特徴とする電子部品の実装方法。
An electronic component mounting machine that automatically mounts a plurality of electronic components on a substrate according to a predetermined mounting program using a component mounting head that can move in a horizontal direction and a vertical direction. On the other hand, the position coordinates of the marks on a jig substrate on which a plurality of marks are provided in a matrix are measured, and mounting of the dummy component on the jig substrate is performed by using the component mounting head with the position of the mark as a mounting position. The coordinates of the position where the dummy component is mounted are measured, and the amount of error between the position coordinates of the mark on the jig board and the position coordinates where the component is mounted is calculated. A method for mounting an electronic component, comprising: obtaining a corrected mounting program that has been corrected based on the error amount; and mounting the electronic component on the substrate using the corrected mounting program.
【請求項2】 上記ダミー部品が装着された位置の座標
の測定を、上記部品装着用ヘッドに併設され上記部品装
着用ヘッドに追随して移動する撮像カメラによって行う
ことを特徴とする請求項1に記載の電子部品の実装方
法。
2. The apparatus according to claim 1, wherein the measurement of the coordinates of the position at which the dummy component is mounted is performed by an imaging camera which is attached to the component mounting head and moves following the component mounting head. The electronic component mounting method described in the above.
【請求項3】 上記撮像カメラの読みとり精度より充分
高い精度の測定機により上記治具基板のマークの位置座
標を測定した後に、再度上記撮像カメラにより上記治具
基板のマークの位置座標の測定を行い、上記撮像カメラ
の読みとり誤差量を算出することを特徴とする請求項2
に記載の電子部品の実装方法。
3. After measuring the position coordinates of the mark on the jig board by a measuring instrument having sufficiently higher accuracy than the reading accuracy of the imaging camera, the position coordinates of the mark on the jig board are measured again by the imaging camera. 3. The method according to claim 2, further comprising calculating a reading error amount of the imaging camera.
The electronic component mounting method described in the above.
【請求項4】 上記撮像カメラの読みとり誤差量を全て
の上記マークの位置について記憶し、記憶した読みとり
誤差量を読み出して上記実装プログラムの読み取り誤差
の補正を行うことを特徴とする請求項3に記載の電子部
品の実装方法。
4. The reading error of the mounting program is stored by reading the reading error amount of the imaging camera for all the positions of the marks and reading the stored reading error amount. The mounting method of the described electronic component.
【請求項5】 上記治具基板のマークが、該治具基板に
マトリクス状に形成された穴であって、かつ上記ダミー
部品として該穴の径より大なる径の円板形状のダミー部
品を用いることを特徴とする請求項1に記載の電子部品
の実装方法。
5. The mark of the jig substrate is a hole formed in a matrix on the jig substrate, and a disc-shaped dummy component having a diameter larger than the diameter of the hole is used as the dummy component. The method for mounting an electronic component according to claim 1, wherein the mounting method is used.
【請求項6】 上記電子部品を装着する位置座標の近傍
の少なくとも1つ以上の上記マークの上記誤差量から修
正量を算出して上記実装プログラムに修正を行うことを
特徴とする請求項1に記載の電子部品の実装方法。
6. The mounting program according to claim 1, wherein a correction amount is calculated from the error amount of at least one or more marks in the vicinity of a position coordinate where the electronic component is mounted, and the mounting program is corrected. The mounting method of the described electronic component.
【請求項7】 水平方向及び垂直方向に移動することが
可能な部品装着用ヘッドを用いて、所定の実装プログラ
ムに従って、自動的に基板に複数の電子部品の実装を行
う電子部品の実装機であって、 座標を測定する測定手段と、 予め座標が測定された複数のマークがマトリクス状に設
けられた治具基板に対して、該マークの座標が上記測定
手段により測定された第1の測定値と、上記部品ヘッド
により上記マークの位置に装着されたダミー部品の座標
が上記測定手段により測定された第2の測定値とから、
治具基板のマークの座標と上記ダミー部品が装着された
座標との間の誤差量を算出する誤差量算出手段と、 上記誤差量を記憶する記憶手段と、 上記記憶手段に記憶した誤差量に基づいて、上記所定の
実装プログラムに修正を行う実装プログラム修正手段と
を備え、 上記実装プログラム修正手段により修正された実装プロ
グラムにより、上記基板への上記電子部品の実装位置が
規定されることを特徴とする電子部品の実装機。
7. An electronic component mounting machine that automatically mounts a plurality of electronic components on a substrate according to a predetermined mounting program using a component mounting head that can move in a horizontal direction and a vertical direction. A measuring means for measuring the coordinates, and a first measurement wherein the coordinates of the marks are measured by the measuring means on a jig substrate on which a plurality of marks whose coordinates have been measured in advance are provided in a matrix. From the value and the second measurement value obtained by measuring the coordinates of the dummy component mounted at the position of the mark by the component head by the measurement unit,
Error amount calculating means for calculating an error amount between the coordinates of the mark on the jig board and the coordinates at which the dummy component is mounted; a storage means for storing the error amount; and an error amount stored in the storage means. Mounting program correcting means for correcting the predetermined mounting program based on the mounting program. The mounting program corrected by the mounting program correcting means defines a mounting position of the electronic component on the board. Electronic component mounting machine.
【請求項8】 上記第1の測定値と予め測定された上記
マークの座標の測定値との間の誤差量を算出する第2の
誤差量算出手段と、該第2の誤差量算出手段により算出
された誤差量を記憶する第2の記憶手段とを備え、該第
2の記憶手段に記憶された誤差量により上記第2の測定
値が補正されることを特徴とする請求項7に記載の電子
部品の実装機。
8. A second error amount calculating means for calculating an error amount between the first measured value and a measured value of the coordinates of the mark measured in advance, and the second error amount calculating means. 8. A second storage means for storing the calculated error amount, wherein the second measurement value is corrected by the error amount stored in the second storage means. Electronic component mounting machine.
【請求項9】 上記測定手段が、上記部品装着用ヘッド
に併設され上記部品装着用ヘッドに追随して移動する撮
像カメラであることを特徴とする請求項7に記載の電子
部品の実装機。
9. The electronic component mounting machine according to claim 7, wherein said measuring means is an imaging camera which is attached to said component mounting head and moves following the component mounting head.
JP11360398A 1998-04-23 1998-04-23 Electronic component mounting method and electronic component mounting machine Expired - Fee Related JP3271244B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11360398A JP3271244B2 (en) 1998-04-23 1998-04-23 Electronic component mounting method and electronic component mounting machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11360398A JP3271244B2 (en) 1998-04-23 1998-04-23 Electronic component mounting method and electronic component mounting machine

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11307998A JPH11307998A (en) 1999-11-05
JP3271244B2 true JP3271244B2 (en) 2002-04-02

Family

ID=14616411

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11360398A Expired - Fee Related JP3271244B2 (en) 1998-04-23 1998-04-23 Electronic component mounting method and electronic component mounting machine

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3271244B2 (en)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3770072B2 (en) * 2000-10-31 2006-04-26 松下電器産業株式会社 Electronic component mounting method
JP4839535B2 (en) * 2001-07-13 2011-12-21 ソニー株式会社 Coordinate correction method, coordinate correction apparatus, and reference correction jig
JP4798888B2 (en) * 2001-08-06 2011-10-19 パナソニック株式会社 Offset measurement method
JP4494922B2 (en) * 2004-10-07 2010-06-30 Juki株式会社 Method and apparatus for detecting mounting error of electronic component mounting apparatus
JP4710845B2 (en) * 2007-02-20 2011-06-29 パナソニック株式会社 Specimen mounting stage, calibration method of component mounting apparatus using the specimen mounting stage, component mounting apparatus, and component mounting line
JP2009281836A (en) * 2008-05-21 2009-12-03 Olympus Corp Apparatus and method for substrate observation, control apparatus, and program
JP2011191307A (en) * 2011-03-25 2011-09-29 Sony Corp Correction tool
JP6014315B2 (en) * 2011-09-30 2016-10-25 ヤマハ発動機株式会社 Measuring method of electronic component mounting device
JP6842946B2 (en) * 2017-02-17 2021-03-17 株式会社Fuji Work machine
US11343948B2 (en) 2018-03-13 2022-05-24 Fuji Corporation Mounting device and mounting method
CN109099936A (en) * 2018-08-31 2018-12-28 江苏大学 A kind of calibration method of three-dimensional space lower sensor module installation error
JP7253905B2 (en) * 2018-11-28 2023-04-07 Juki株式会社 Mounting device and mounting method
CN113352092B (en) * 2021-08-10 2021-10-08 成都飞机工业(集团)有限责任公司 Machining reference determination method based on tool for machining aircraft parts

Also Published As

Publication number Publication date
JPH11307998A (en) 1999-11-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3271244B2 (en) Electronic component mounting method and electronic component mounting machine
EP1671525B1 (en) Component mounting method and apparatus
EP1986483B1 (en) Electronic component mounting method and electronic component mounting apparatus
JP5918622B2 (en) Component or board working device and component mounting device
JP5301329B2 (en) Electronic component mounting method
JP2010062591A (en) Method and device for deciding position of support in backup device
CN1780551B (en) Shifting device, surface installation apparatus, error list generating method
JP2007281432A (en) Determination method of component mounting condition
JP6124900B2 (en) Substrate height correction method for substrate work equipment
JP4540625B2 (en) Component mounting condition determination method
JP3273697B2 (en) Positioning method and device for mounting machine
JP2003234598A (en) Component-mounting method and component-mounting equipment
JP2008277770A (en) Component mounting method
JP2014096509A (en) Electronic component mounting apparatus, arithmetic operation unit, and electronic component mounting method
JP2005317806A (en) Mounting accuracy measuring method
KR20070016098A (en) Component mounting method and apparatus
JP4869214B2 (en) Component mounting time simulation method
CN110996644B (en) Height adjusting method for multiple suction rods of chip mounter
JP4234182B2 (en) Component mounting method
JPH08288695A (en) Method and apparatus for mounting chip component
JP2004039873A (en) Manufacturing equipment and manufacturing method of printed circuit board
WO2023286245A1 (en) Production support system and production support method
JP4689457B2 (en) Component mounting equipment
JP4750792B2 (en) Diagnostic tool for component feeder replacement
JPS634691A (en) Parts mounting system

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080125

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090125

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100125

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100125

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120125

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120125

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130125

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140125

Year of fee payment: 12

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees