JP3271212B2 - 波長変換装置および方法 - Google Patents

波長変換装置および方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体レーザから出射
されたレーザ光の基本波の第2高調波レーザ光を発生す
る波長変換方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】最近、半導体レーザから出射されたレー
ザ光の基本波の第2高調波レーザ光を発生して、レーザ
光を短波長化することが注目されている。このような短
波長化は、光記録再生および光磁気記録再生等において
記録密度を高めるのに有益である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】図14は、半導体レー
ザの注入電流に対する発振波長の変化の一例を示す。図
14に示されているように、半導体レーザには、注入電
流に対してヒステリシス現象が存在する領域がある。ヒ
ステリシス現象について説明すると、まず、注入電流が
Ic以上の場合には、注入電流の増加あるいは減少に関
係なく、半導体レーザの発振波長は、モードホップする
ことなく、領域Aの部分に留まっている。
【0004】しかし、注入電流がIc以下の場合には、
注入電流が減少しているときには、注入電流がIc以上
の場合と同様に半導体レーザの発振波長は領域Aの部分
となるが、注入電流が増加しているときには、半導体レ
ーザの発振波長は、領域Aの部分ではなく、領域Bの部
分となる。すなわち、注入電流がIc以下の場合におい
ては、注入電流が増加しているときと、注入電流が減少
しているときとで、発振波長が異なるというヒステリシ
ス現象が存在する。
【0005】ここで、半導体レーザの発振波長がモード
ホップする注入電流値Icは、温度条件などが一定のと
きは半導体レーザ固有の値を示す。
【0006】波長変換出力を安定化するために、第2高
調波発生器の出力を半導体レーザの注入電流にフィード
バックする方法が提案されているが、前記方法におい
て、第2高調波発生器における波長変換効率が最大とな
る前記高調波発生器への入射光基本波の波長と、実際に
前記高調波発生器へ入射している光基本波の波長との
差、すなわち誤差信号を安定して得るには、半導体レー
ザの発振波長が注入電流に対してヒステリシス現象を示
さないことが望ましい。
【0007】すなわち、第2高調波発生器から出力が得
られる領域が、図14における波長領域Aであるとする
と、注入電流がIcよりも大である場合には、安定した
誤差信号が得られ、第2高調波発生器の出力すなわち波
長変換出力が安定するが、注入電流がIcよりも小さい
場合には、半導体レーザの発振波長が、注入電流の増加
または減少という状態に依存して、波長領域Aと波長領
域Bとの2つの領域をモードホップするというヒステリ
シス現象が存在するので、安定した誤差信号を得ること
ができず、波長変換出力の安定化は容易でなくなる。
【0008】本発明は、このような状況に鑑みてなされ
たものであり、半導体レーザの発振波長の注入電流に対
するヒステリシス現象を回避できる波長変換方法および
装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の波長変換装置
は、レーザ光を出射する半導体レーザと、半導体レーザ
から出射されたレーザ光を基本波とし、基本波より第2
高調波レーザ光を発生する第2高調波発生手段と、半導
体レーザの注入電流を発生する電流発生手段と、電流発
生手段により発生された注入電流に、半導体レーザが発
振を始める注入電流値と、半導体レーザの発振波長がモ
ードホップする注入電流値の差以上の振幅を有する高周
波電流を重畳し、半導体レーザに供給する高周波重畳手
段とを備え、高周波重畳手段により高周波電流が重畳さ
れた注入電流を、半導体レーザが発振を始める注入電流
値より大きい範囲で、かつ、半導体レーザの発振波長が
モードホップする注入電流値を含む範囲で、変化させる
ことを特徴とする。 第2高調波発生手段は、半導体レー
ザからのレーザ光が入射される光導波路を含むようにす
ることができる。 第2高調波発生手段は、YAGと非線形
光学素子との組み合わせを含むようにすることができ
る。 第2高調波発生手段は、YAGとKTPとの組み合わせを
含むようにすることができる。
【0010】本発明の波長変換装置の波長変換方法は、
半導体レーザから出射されたレーザ光を基本波とし、そ
の基本波より第2高調波レーザ光を発生する第2高調波
発生ステップと、半導体レーザの注入電流を発生する電
流発生ステップと、電流発生ステップの処理により発生
された注入電流に、半導体レーザが発振を始める注入電
流値と、半導体レーザの発振波長がモードホップする注
入電流値の差以上の振幅を有する高周波電流を重畳し、
半導体レーザに供給する高周波重畳ステップとを含み、
高周波重畳ステップの処理により高周波電流が重畳され
た注入電流を、半導体レーザが発振を始める注入電流値
より大きい範囲で、かつ、半導体レーザの発振波長がモ
ードホップする注入電流値を含む範囲で、変化させる。
【0011】
【作用】本発明の波長変換装置および方法においては、
半導体レーザから出射されたレーザ光を基本波とし、基
本波より第2高調波レーザ光が発生され、半導体レーザ
の注入電流が発生され、発生された注入電流に、半導体
レーザが発振を始める注入電流値と、半導体レーザの発
振波長がモードホップする注入電流値の差以上の振幅を
有する高周波電流が重畳され、半導体レーザに供給され
る。また、高周波電流が重畳された注入電流が、半導体
レーザが発振を始める注入電流値より大きい範囲で、か
つ、半導体レーザの発振波長がモードホップする注入電
流値を含む範囲で、変化される。
【0012】
【実施例】図1は、本発明の波長変換装置の一実施例の
構成を示す。レーザダイオード等の半導体レーザ素子1
から発光されたレーザ光(周波数ω)は、高調波発生器
2に入射し、周波数2ωの光に一部変換される。高調波
発生器2から出射される周波数ωのレーザ光およびその
第2高調波(周波数2ω)の光は、誘電体ミラー3によ
り分岐される。ここでは、誘電体ミラー3が周波数ωの
半導体レーザ光を反射し、第2高調波(周波数2ω)の
光を透過する場合を例にあげるが、その逆であってもか
まわない。
【0013】誘電体ミラー3を透過した第2高調波の光
は、ビームスプリッタ4によりさらに分岐され、フォト
ダイオード5に入射し、その光量が電気信号に変換され
る。フォトダイオード5により得られた電気信号と、局
部発振器7から発生される100Hz乃至100MH
z、好ましくは数10kHzの低周波信号とが乗算回路
6により乗算され、電流制御回路9に供給される。ここ
で、局部発振器7は、半導体レーザ1の波長に、周波数
Δλωの微小変動信号を重畳させるものであり、乗算回
路6は、光高調波出力パワー信号ΔPout2ωと、Δ
λωとの内積をとり、波長依存性に対する1次微分曲線
を得るためのものである。この点については、図2乃至
図7を参照して後述する。
【0014】電流源8は、局部発振器7から発生される
100Hz乃至100MHz、好ましくは数10kHz
の低周波信号と、電流制御回路9から与えられる信号と
の和を電流に変換する。電流源8から出力される注入電
流は、高周波重畳回路10によって例えば750MHz
の電流が重畳されて半導体レーザ素子1に供給される。
【0015】ここで、波長変換出力の安定化の原理につ
いて説明しておく。高調波発生器2が疑似位相整合構造
の第2高調波発生(SHG)素子で構成される場合を例
にとると、高調波発生器2に入力パワーPinω、波長
λωの光基本波が入力される場合、高調波発生器2の光
基本波出力パワーPoutωと光高調波出力パワーPo
ut2ωの入力波長λωに対する依存性は、それぞれ図
2または図3に示すようになる。すなわち、ある波長λ
pにおいてピークを持ち、高調波発生器2の変換効率
は、波長λpにおいて最大となる。
【0016】高調波発生器2に入射される光基本波の波
長が微小変動信号(Δλω)を持つ場合、それに伴い、
高調波発生器2から光基本波出力パワー信号ΔPout
ω、および光高調波出力パワー信号ΔPout2ωは、
それぞれ図4または図5に示すようになる。そこで、光
基本波出力パワー信号ΔPoutω、および光高調波出
力パワー信号ΔPout2ωそれぞれにおいて、Δλω
との内積をとった場合、それぞれ図6または図7に示す
ように、その波長依存性は、それぞれ図2または図3に
対する1次微分曲線として得られる。
【0017】この1次微分曲線には、最大変換効率を与
えるλpを境に正負に反転する値を示す波長領域(図6
および図7のAの領域)が存在し、光基本波中心波長λ
ωがこの領域に存在する場合、その波長λωがλpに対
して長波長側(図6および図7において右側)および短
波長側(図6および図7において左側)のどちらに存在
するかの情報が、1次微分曲線の正負を判定することに
より得られる。この情報を使用し、光基本波入力中心波
長λωを最大変換効率を与えるλpに一致する方向に変
化させるように負帰還をかけることにより、λωとλp
とを常に一致させることができる。
【0018】図8は、図1の実施例において、半導体レ
ーザ1への注入電流に、高周波を前記注入電流の最大値
120mAに対する電流比約40%で重畳したときの半
導体レーザ1の注入電流に対する発振波長の変化の一例
を示す。
【0019】図8に示されたデータは、半導体レーザ1
への注入電流を70mAから120mAまで単調に増加
させながら発振波長を測定し、その後、前記注入電流を
単調に減少させながら、発振波長を測定したものであ
る。このとき、前記半導体レーザ1への注入電流に重畳
する前記高周波の電流値は一定であり、前記注入電流の
最大値120mAに対する電流比約40%(すなわち、
約48mA)である。
【0020】ここで、重畳した高周波の周波数は750
MHzであり、使用した半導体レーザ1は、三洋電機
(株)製:SDL6032−101であり、この半導体
レーザ1の定格出力(40mW)が得られる電流は、1
16.9mA(メーカ提供値であり、個々の半導体レー
ザごとに若干の差がある)であり、この半導体レーザ1
の発振閾値は、47.9mA(メーカ提供値であり、個
々の半導体レーザごとに若干の差がある)であり、ま
た、モードホップする注入電流値は約92mAである。
【0021】この測定状態において、半導体レーザ1の
縦モードは、すべてシングル状態であった。このよう
に、半導体レーザ1の注入電流に高周波を重畳すること
により、発振波長縦モードがシングル状態のままで、注
入電流の変化に対する発振波長のヒステリシス現象を回
避できることが判明した。ここで、半導体レーザ1の注
入電流に重畳する高周波電流の振幅(48mA)は、前
記半導体レーザ1が発振を始める注入電流値(47.9
mA)と前記半導体レーザ1の発振波長がモードホップ
する注入電流値(92mA)との差(約44mA)、す
なわちヒステリシスの幅の30%以上であることが望ま
しく、ヒステリシスの幅以上であればさらに望ましい。
【0022】図9は、図1の実施例において高周波を重
畳していないときの波長スペクトルデータの一例を示す
スペクトル図であり、図10は、図1の実施例において
高周波を電流比約40%で重畳したときの波長スペクト
ルデータの一例を示すスペクトル図であり、図11は、
図1の実施例において高周波を電流比約80%で重畳し
たときの波長スペクトルデータの一例を示すスペクトル
図である。図9乃至図11のデータを得るために使用し
た半導体レーザ1は、三洋電機(株)製:SDL603
2−101であり、この半導体レーザ1の定格出力(4
0mA)が得られる電流119.7mA(メーカ提供
値)を注入した。また、図10および図11のデータを
得るために、750MHzの高周波を注入電流に重畳し
た。
【0023】図9乃至図11から明かなように、この半
導体レーザ1においては、定格出力が得られる注入電流
に高周波を重畳させても、縦モードマルチ状態になら
ず、縦モードシングル状態を保持し、発振波長のピーク
も変動しないことが判明した。
【0024】図12は、図1の実施例で使用した半導体
レーザ素子1に高周波を重畳し、縦モードマルチ状態に
した場合のスペクトルデータの一例を示すスペクトル図
である。この場合の注入電流は、70.0mAであり、
光出力は13mAである。また、高周波の周波数は、図
10および図11の場合と同様に、750MHzであ
り、電流比は約80%である。このように、注入電流に
重畳する高周波電流の振幅(約59mA)がヒステリシ
スの幅(約44mA)以上で、前記注入電流値が70.
0mAと低い場合、縦モードマルチ状態になる。
【0025】図13は、本発明の波長変換装置の別の実
施例の構成を示す。この実施例では、フォトダイオード
5が、図1の実施例のように、周波数2ωの光ではな
く、誘電体ミラー3によって分岐された周波数ωの光を
電気信号に変換して、乗算回路6に供給するようにした
ものである。このようにしても、注入電流の変化に対す
る発振波長のヒステリシス現象を回避でき、波長変換出
力を安定にすることができる。
【0026】なお、高調波発生器2すなわち第2高調波
発生(SHG)素子としては、例えば分極反転構造を有
するLiNbxTa(1-x)3(0≦x≦1)にプロトン
交換光導波路を形成してなる波長変換素子を使用でき、
あるいはKTiOPO4非線形 光学結晶基板上にTa2
5からなる線形光導波路を被着形成してなる波長変換
素子を使用できる。
【0027】また、高調波発生器2は、例えばNd:Y
AG等の固体レーザ媒体と、KTP等の非線形光学結晶
との組み合わせにより構成することもできる。
【0028】
【発明の効果】本発明の波長変換装置および方法によれ
ば、半導体レーザから出射されたレーザ光を基本波と
し、基本波より第2高調波レーザ光を発生し、半導体レ
ーザの注入電流を発生し、発生した注入電流に、半導体
レーザが発振を始める注入電流値と、半導体レーザの発
振波長がモードホップする注入電流値の差以上の振幅を
有する高周波電流を重畳し、半導体レーザに供給する。
また、高周波電流を重畳した注入電流を、半導体レーザ
が発振を始める注入電流値より大きい範囲で、かつ、半
導体レーザの発振波長がモードホップする注入電流値を
含む範囲で、変化させるようにしたので、半導体レーザ
より発光されるレーザ光の発振波長のヒステリシス現象
を回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の波長変換装置の一実施例の構成を示す
ブロック図である。
【図2】図1の高調波発生器2へ入射される光基本波の
波長と前記高調波発生器2から出力される光基本波出力
パワーとの関係を示す図である。
【図3】図1の高調波発生器2へ入射される光基本波の
波長と前記高調波発生器2から出力される光高調波出力
パワーとの関係を示す図である。
【図4】図1の高調波発生器2へ入射される光基本波の
波長の微小変動と前記高調波発生器2から出力される光
基本波出力パワーの変動との関係を示す図である。
【図5】図1の高調波発生器2へ入射される光基本波の
波長の微小変動と前記高調波発生器2から出力される光
高調波出力パワーの変動との関係を示す図である。
【図6】光基本波波長微小変動信号と光基本波出力パワ
ー信号との内積の光基本波の波長との関係を示す図であ
る。
【図7】光基本波波長微小変動信号と光高調波出力パワ
ー信号との内積の光基本波の波長との関係を示す図であ
る。
【図8】図1の実施例において高周波を電流比約40%
で重畳したときの半導体レーザの注入電流に対する発振
波長の変化の一例を示すグラフである。
【図9】図1の実施例において高周波を重畳していない
ときの波長スペクトルデータの一例を示すスペクトル図
である。
【図10】図1の実施例において高周波を電流比約40
%で重畳したときの波長スペクトルデータの一例を示す
スペクトル図である。
【図11】図1の実施例において高周波を電流比約80
%で重畳したときの波長スペクトルデータの一例を示す
スペクトル図である。
【図12】図1の実施例において高周波を電流比約80
%で重畳し、縦モードマルチ状態にした場合のスペクト
ルデータの一例を示すスペクトル図である。
【図13】本発明の波長変換装置の別の実施例の構成を
示すブロック図である。
【図14】従来技術による半導体レーザの注入電流に対
する発振波長の変化の一例を示すグラフである。
【符号の説明】 1 半導体レーザ素子 2 高調波発生器 3 誘電体ミラー 4 ビームスプリッタ 5 フォトダイオード 6 乗算回路 7 局部発振器 8 電流源 9 電流制御回路 10 高周波重畳回路
フロントページの続き (72)発明者 小川 剛 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソ ニー株式会社内 (56)参考文献 特開 平4−345078(JP,A) 特開 昭59−130494(JP,A) 特開 平4−139779(JP,A) 特開 平2−101438(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01S 3/00 - 3/30 H01S 5/00 JICSTファイル(JOIS)

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザ光を出射する半導体レーザと、 前記半導体レーザから出射されたレーザ光を基本波と
    し、前記基本波より第2高調波レーザ光を発生する第2
    高調波発生手段と、 前記半導体レーザの注入電流を発生する電流発生手段
    と、 前記電流発生手段により発生された前記注入電流に、前
    記半導体レーザが発振を始める注入電流値と、前記半導
    体レーザの発振波長がモードホップする注入電流値の差
    以上の振幅を有する高周波電流を重畳し、前記半導体レ
    ーザに供給する高周波重畳手段と を備え、 前記高周波重畳手段により前記高周波電流が重畳された
    前記注入電流を、前記半導体レーザが発振を始める注入
    電流値より大きい範囲で、かつ、前記半導体レーザの発
    振波長がモードホップする注入電流値を含む範囲で、変
    化させる ことを特徴とする波長変換装置。
  2. 【請求項2】 前記第2高調波発生手段は、前記半導体
    レーザからのレーザ光が入射される光導波路を含む こと
    を特徴とする請求項1に記載の波長変換装置。
  3. 【請求項3】 前記第2高調波発生手段は、YAGと非線
    形光学素子との組み合わせを含む ことを特徴とする請求
    項1に記載の波長変換装置。
  4. 【請求項4】 前記第2高調波発生手段は、YAGとKTPと
    の組み合わせを含む ことを特徴とする請求項1に記載の
    波長変換装置。
  5. 【請求項5】 半導体レーザから出射されたレーザ光を
    基本波とし、前記基本波の波長を変換する波長変換装置
    の波長変換方法において、 前記基本波より第2高調波レーザ光を発生する第2高調
    波発生ステップと、 前記半導体レーザの注入電流を発生する電流発生ステッ
    プと、 前記電流発生ステップの処理により発生された前記注入
    電流に、前記半導体レーザが発振を始める注入電流値
    と、前記半導体レーザの発振波長がモードホップする注
    入電流値の差以上の振幅を有する高周波電流を重畳し、
    前記半導体レーザ に供給する高周波重畳ステップと を含
    み、 前記高周波重畳ステップの処理により前記高周波電流が
    重畳された前記注入電流を、前記半導体レーザが発振を
    始める注入電流値より大きい範囲で、かつ、前記半導体
    レーザの発振波長がモードホップする注入電流値を含む
    範囲で、変化させる ことを特徴とする波長変換方法。
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