JP3270112B2 - 液晶表示素子 - Google Patents

液晶表示素子

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JP3270112B2
JP3270112B2 JP15762492A JP15762492A JP3270112B2 JP 3270112 B2 JP3270112 B2 JP 3270112B2 JP 15762492 A JP15762492 A JP 15762492A JP 15762492 A JP15762492 A JP 15762492A JP 3270112 B2 JP3270112 B2 JP 3270112B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、画素電極をスイッチン
グ素子によって駆動するアクティブマトリックス型の液
晶表示素子に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、従来のCRTに代わる新しい表示
装置の開発が盛んに行われるようになってきた。その中
でも液晶表示装置は薄型で低電力動作が可能であるため
家電、OA機器の市場での期待は大きいものがある。
【0003】特に、表示特性の優れた薄膜トランジスタ
(TFT)をスイッチング素子に用いたアクティブマト
リクス方式の表示装置は大いに期待され有望な商品の開
発が行われている。
【0004】しかしながらこの様なTFT液晶表示素子
では、大型化、高精細化へ進んでおり、画素数の増加、
或は画素密度の増加を招き、結果として画素欠陥の発生
率が高まるので、製造歩留まりが著しく低下することが
大きな問題となっている。
【0005】この問題を解決する方法として従来、1画
素に画素電極と電気的に接続された第1のTFTと電気
的に接続されていない予備のTFTを配置し、第1のT
FTが正常に作動しない場合にはレーザのような高エネ
ルギービームを用いて予備のTFTを接続するという方
法が提案されている。図8を用いて、このレーザビーム
を照射して電気的に接続する部分(レーザコンタクト
部)の構造を説明する。図8(a)は重畳配列した導体
膜の平面図である。図中801、802は導体膜であ
る。図において絶縁膜は省略している。806はレーザ
照射部である。
【0006】D1 D2 での断面図を図8(b)に示す。
基板803上に導体膜801、絶縁膜804、導体膜8
02、パッシベーション膜805が形成されている。基
板803から見てパッシベーション膜805側に液晶が
封入されている。
【0007】図8(b)のEの方向からレーザを照射す
ると、先ず導体膜801がレーザのエネルギーを吸収し
急激に加熱され、液化あるいは気化し体積が膨張する。
その結果絶縁膜804、導体膜802、パッシベーショ
ン膜805が突き破られる。そのとき導体膜801の液
層はレーザ照射によって発生した穴の周囲に付着し、導
体膜802と電気的コンタクトをとる働きをする。その
結果導体膜801と導体膜802は電気的に接続され
る。この構造は一般に冗長構造と併用される事が多い。
この様な従来の薄膜トランジスタの冗長構造を図9を用
いて説明する。図9は従来のTFTアレイの一つの画素
に関する基板側から見た平面構成図である。層間絶縁膜
を除去した状態を示している。
【0008】走査線101はゲート電極102に接続さ
れており、信号線103はドレイン電極104と接続さ
れている。また、ソース電極105は画素電極106と
接続されており、ソース電極112は予備のTFTと電
気的に接続されており導体膜113と絶縁膜を介して重
畳配置している。導体膜113は画素電極106と絶縁
層を介して重畳は位置している。110はレーザコンタ
クト部でありレーザビームを照射する事によってソース
電極112と導体膜113、画素電極106と導体膜1
13を電気的に接続する事ができる。107はTFTで
あり、108は予備のTFTである。配線109は共通
電極に接続されていて、画素電極106と絶縁層を介し
コンデンサを形成している。
【0009】以上のように構成されたTFTアレイにお
いて信号線103に信号電圧、走査線101に走査電圧
が与えられた場合、第1のTFTのスイッチングが行わ
れ画素電極106に信号が入力される。
【0010】ここで、第1のTFT107は画素電極1
06と接続されているが、予備のTFT108は待機し
た状態になっており、画素電極106とはレーザコンタ
クト部110を介して配置されている。TFT107が
不良であった場合、レーザ照射により2か所のレーザコ
ンタクト部110を電気的に接続し、同じくレーザ照射
によってTFT107のソース電極105を111部分
で切断する。こうすることにより予備のTFT108を
画素電極106と電気的に接続し修復する。2個のTF
Tの両方が不良となる確率は極めて低いため、この方法
によりTFTに関する不良点欠陥画素はほぼ100%修
復できる。
【0011】ところがリペアしない場合レーザコンタク
ト部110は導体膜が絶縁膜を介して重畳した構造であ
るため、当然寄生容量を有する。この様なレーザコンタ
クト部の寄生容量は無視できない大きさであるためLC
Dの表示特性に大きな影響を与えるという問題を有して
いる。また、リペアした場合には寄生容量はなくなるの
で、リペアした画素としない画素とではその寄生容量に
大きな差が生じてしまう。したがって画素の不均一を招
きLCDの品質が大きく低下してしまうという問題を有
している。
【0012】上述したような従来のTFTアレイでは、
トランジスタのOFF時にスイッチングノイズが発生し
画素電位がシフトしてしまうことが知られている。図1
0、図11を用いてこの画素電位のシフトについて説明
する。
【0013】図10はTFTアレイ1画素の等価回路で
ある。第1のTFTのゲート・ソース間の寄生容量40
1、予備のTFTのゲート・ソース間の寄生容量40
2、液晶容量405、蓄積容量406、レーザコンタク
ト部の寄生容量601が図10に示すように接続されて
いる。端子Aは信号線に接続され、端子B、端子Cは共
通電極(コモン電極) に接続されている。
【0014】この回路に走査線にVdの電圧を印加し、
端子Aから図11(a)に示すような大きさdVg11
のパルス波を加えると、D点の電位は図11(b)のグ
ラフに示すような特性を示す。12は突き抜け電圧と呼
ばれるものである。走査線からのパルス波の電位の変化
があるとトランジスタの寄生容量のために起こる現象で
ある。縦軸は画素電位V[V]、横軸は時間T[s]で
ある。
【0015】ここで突き抜け電圧12をdVp、トラン
ジスタOFF時のゲート電圧のシフト量11をdVg、
第1のTFTのゲートソース間の寄生容量401と予備
のTFTの寄生容量402とレーザコンタクト部の寄生
容量601の合成容量をCgs、液晶容量405をCl
c、蓄積容量406をCsとすると
【0016】
【数1】 dVp=Cgs/(Cgs+Clc+Cs)×dVg…(1) で求められる。画素の明るさは実行電圧によって決まる
ので、dVpは表示特性に大きな影響を与えることが知
られており、パネル内でdVpを均一にする必要があ
る。
【0017】しかしながら、レーザコンタクト部をレー
ザビームを照射することによって電気的に接続しさらに
第1のTFTを電気的に切断するというリペアを施した
場合Cgsの容量は大きく変化してしまう。その結果リ
ペアする場合としない場合ではdVpは異なることが予
想される。実際にリペアする場合としない場合でのdV
pを測定したところ、表示特性上無視できない差が測定
された。このように予備のTFT及びレーザーコンタク
ト部は無視できない寄生容量を持つため、表示特性に大
きな影響を与えるという問題を有している。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】上述したように従来の
薄膜トランジスタアレイでは、トランジスタのOFF時
にスイッチングノイズによる画素電位のシフトがリペア
した画素とリペアしない画素で大きく変化してしまい画
素の不均一を招いて、表示特性上無視できない影響を与
えるという問題を有している。
【0019】本発明は上記問題点を解決し、予備のTF
Tとレーザコンタクト部の寄生容量の影響を皆無にし、
表示特性の良好な液晶表示素子を提供することを目的と
する。
【0020】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明による液晶表示素子は、基板と、この基板上に
形成された画素電極と、前記基板上に形成された走査線
と、前記基板上に形成され前記画素電極に電気的に接続
され前記走査線の電位によりスイッチングする第1のス
イッチング素子と、前記基板上に形成され前記走査線の
電位によりスイッチングする予備のスイッチング素子
と、前記基板上に形成され前記画素電極に接続された第
1の導体膜と、前記第1の導体膜と絶縁層を介して重畳
配置するように形成され前記予備のTFTに接続される
か或は接続可能な状態にある第2の導体膜とを具備し、
前記第1及び第2の導体膜の重畳部分にレーザビームを
照射することによって前記画素電極と前記予備のスイッ
チング素子は電気的に接続可能な状態にあり、前記第2
の導体膜は前記走査線の電位の変化時に一定電位に保つ
ようにすることを特徴とする液晶表示素子。
【0021】
【作用】本発明の液晶表示素子によれば、リペアしない
画素において、前記第2の導体膜は前記走査線の電位の
変化時に一定電位に保つようにすることにより、走査線
の電位のOFF時に予備のTFTとレーザーコンタクト
部の寄生容量による突き抜け電圧の影響を画素電極に伝
えなくすることが可能であり、その結果リペアの有無に
よる表示特性の差異を無くすことが可能となる。
【0022】
【実施例】以下本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。本発明の第1の実施例に係るアクティブマトリクス
型TFT液晶表示素子について説明する。図1はTFT
アレイの一つの画素に関する基板側から見た平面構成図
で、層間絶縁膜を除去した状態を示している。
【0023】107は第1のスイッチング素子であるT
FT、108は予備のスイッチング素子で走査線101
はゲート電極102に接続されており、信号線103は
ドレイン電極104と接続され、走査線101の電位に
より第1のTFT107及び予備のTFT108はスイ
ッチングする。また、ソース電極105は画素電極10
6と接続されており、第2の導体膜113はソース電極
112と絶縁層を介して重畳配置(レーザコンタクト
部)されレーザビーム照射によって予備のTFTと接続
可能な状態にある。画素電極106は第1の導体膜を兼
ねており、導体膜113と絶縁層を介して重畳配置され
レーザビーム照射によって電気的に接続可能な状態にあ
る。配線109は共通電極(図示せず)に接続されてい
て一定電位に保たれており、第2の導体膜113を一定
電位に保とうとするように機能している。またこの配線
109は画素電極106と絶縁層を介しコンデンサを形
成している。
【0024】以上のように構成されたTFTアレイにお
いて信号線103に信号電圧、走査線101に走査電圧
が与えられた場合、第1のTFTのスイッチングが行わ
れ画素電極106に信号が入力される。
【0025】ここで、第1のTFT107は画素電極1
06と接続されているが、予備のTFT108は待機し
た状態になっており、画素電極106とはレーザコンタ
クト部110を介して配置されている。
【0026】ここで第1のTFT107が不良であった
場合、レーザビーム照射により2か所のレーザコンタク
ト部110を電気的に接続し、同じくレーザビーム照射
によってTFT107のソース電極105を111部分
で切断し、配線109を114部分で切断する。こうす
ることにより予備のTFT108を画素電極106と電
気的に接続しする。2個のTFTの両方が不良となる確
率は極めて低いため、この方法によりTFTに関する不
良点欠陥画素はほぼ100%修復できる。
【0027】レーザーコンタクト部110及び第1の導
体膜を兼ねている画素電極106、第2の導体膜11
3、及びソース電極112の構造を図2、図3を用いて
説明する。
【0028】ソース電極112は予備のTFTに接続さ
れている。第2の導体膜113は一定電位に保たれてい
る配線109に接続されており走査線の電位の変化によ
る影響を画素電極106に伝えないようにしている。従
ってリペアしない場合に問題となる予備のTFT及びレ
ーザコンタクトの寄生容量の影響を格段に抑制すること
ができる。
【0029】ただし、予備のTFT及びレーザーコンタ
クト部110の寄生容量が問題となるのは、走査線の電
位に変化が生じた場合つまりTFTのOFFした場合で
あるので、第2の導体膜113は少なくとも信号の電位
変動時に一定電位に保たれていればよい。図2のAA'
における断面図を基板、及び絶縁膜も含めて図3に示
す。
【0030】基板301上に第2の導体膜113が形成
され、この第2の導体膜113を覆うように絶縁膜30
2が形成されている。106は画素電極、112は予備
のTFTと電気的に接続されているソース電極である。
前記画素電極106及びソース電極112を覆うように
絶縁膜302が形成されている。レーザコンタクト部1
01は図のように重畳配置している。レーザコンタクト
部101を電気的に接続するためには、基板側からレー
ザビームを照射すればよい。図4に第1の実施例で示し
た液晶表示素子のリペアしない場合の1画素の等価回路
を示す。
【0031】第1のTFTのゲート・ソース間の寄生容
量401、予備のTFTのゲート・ソース間の寄生容量
402、予備のTFT側のレーザコンタクトの寄生容量
403、画素電極寄りのレーザコンタクトの寄生容量4
04、液晶容量405、蓄積容量406が図4に示すよ
うに接続されている。端子Aは走査線、端子B及び端子
Cはコモン電極に接続されている。407は第2の導体
膜でこの部分は端子Cに接続されることによって一定電
位に保たれている。
【0032】この等価回路に走査線から図4のようなパ
ルス波を入力しても第2の導体膜407が一定電位に保
たれているので予備のTFTのゲート・ソース間の寄生
容量402、予備のTFT側のレーザコンタクトの寄生
容量403の影響による突き抜け電圧に相当する電位の
変化はソース電極の一部407に端子Cから電荷が供給
されることにより液晶容量405、及び蓄積容量406
に伝わらない。つまり、予備のTFTの寄生容量40
2、予備のTFT側のレーザコンタクト部の寄生容量4
03及び画素電極よりのレーザコンタクト部の寄生容量
404は画素電極には全く影響しない。従って突き抜け
電圧による影響はリペアした画素とリペアしない画素で
変化しないので画面上での画素のばらつきはなく高品質
の液晶表示素子を歩留まり良く提供することができる。
次に、本発明の第2の実施例に係るアクティブマトリク
ス型TFT液晶表示素子について説明する。図5はTF
Tアレイの一つの画素に関する基板側から見た平面構成
図で、層間絶縁膜を除去した状態を示している。
【0033】走査線101は第1のスイッチング素子で
ある第1のTFT107と予備のスイッチング素子であ
る予備のTFT108のゲート電極(図示せず。)と接
続されており、TFT107、108は走査線101の
電位によってスイッチングする。信号線103はドレイ
ン電極104と接続されている。また、ソース電極10
5は画素電極106と接続されており、ソース電極11
2は第2の導体膜110と絶縁膜を介し重畳配置するよ
うに形成され、第2の導体膜113は予備のTFTと電
気的に接続可能な状態にある。また第1の導体膜を兼ね
た画素電極106は第2の導体膜113と絶縁膜を介し
て重畳配置するように形成されお互いに接続可能な状態
にある。配線109はコモン電極に接続されていて一定
電位に保たれており、ソース電極112と絶縁膜を介し
て配置されコンデンサ502を形成しておりソース電極
112の一部を一定電位に保とうとするように機能して
いる。また、配線109はソース電極105とコンデン
サ501を形成している。
【0034】以上のように構成されたTFTアレイにお
いて信号線103に信号電圧、走査線101に走査電圧
が与えられた場合、第1のTFTのスイッチングが行わ
れ画素電極106に信号が入力される。
【0035】ここで、第1のTFT107は画素電極1
06と接続されているが、予備のTFT108は待機し
た状態になっており、画素電極106とはレーザコンタ
クト部110を介して配置されている。
【0036】ここで第1のTFT107が不良であった
場合、レーザ照射により2か所のレーザコンタクト部1
10を電気的に接続し、同じくレーザ照射によってTF
T107のソース電極105を111部分で切断する。
こうすることにより予備のTFT108を画素電極10
6と電気的に接続し修復する。2個のTFTの両方が不
良となる確率は極めて低いため、この方法によりTFT
に関する不良点欠陥画素はほぼ100%修復できる。
【0037】また、第一のTFTに接続されたソース電
極105と配線109は絶縁層を介して配置されて補助
容量であるコンデンサ501を形成しており、この部分
で層間絶縁不良を生じ、前記コンデンサが容量の不良を
起こしていた場合、同様のリペアを行い、第1のTFT
及び蓄積容量であるコンデンサ501を予備のTFT1
08及びコンデンサ502に切り替える。2個のコンデ
ンサが層間絶縁不良を起こし不良となる確率は極めて低
いため、この方法により補助容量に関する不良点欠陥画
素もほぼ100%修復できる。
【0038】このように、本実施例によればTFT不良
あるいは補助容量の層間絶縁不良という2種類の不良モ
ードに対してリペア箇所は同一であり、結果として複数
の不良モードに対応できる効率的な冗長構造を提供する
ことができる。図6に第2の実施例で示した液晶表示素
子のリペアしない場合の1画素に対する等価回路を示
す。
【0039】第1のTFTのゲート・ソース間の寄生容
量401、予備のTFTのゲート・ソース間の寄生容量
402、予備のTFT側のレーザコンタクトの寄生容量
403、画素電極寄りのレーザコンタクトの寄生容量4
04、液晶容量405、蓄積容量406、ソース電極1
12(図5)の一部と配線109(図5)で形成されて
いるコンデンサ502が図4に示すように接続されてい
る。端子Aは走査線、端子B及び端子Cはコモン電極に
接続されている。407は第2の導体膜113(図5)
を表し、602はソース電極112(図5)の一部でこ
の部分は端子Cとコンデンサ502を介して接続するこ
とによって一定電位に保たれようとしている。
【0040】この等価回路に走査線から図6のようなパ
ルス波を入力してもソース電極の一部602がコンデン
サ502によって電荷の供給を受け、一定電位に保たれ
ようとしているので予備のTFTのゲート・ソース間の
寄生容量402の影響による突き抜け電圧に相当する電
位の変化は第2の導体膜407に伝わらず、第2の導体
膜407は一定電位に保たれたままである。つまり、予
備のTFTの寄生容量402、レーザコンタクト部11
0の寄生容量403は画素電極には影響しない。従って
突き抜け電圧による影響はリペアした画素とリペアしな
い画素で変化しないので画面上での画素のばらつきはな
く高品質の液晶表示素子を歩留まり良く提供することが
できる。実験の結果、従来と比較して突き抜け電圧dV
pの差異を6分の1以下に抑えられることが分かった。
【0041】この構造の優位性については上記効果の他
に、TFT不良あるいは補助容量の層間絶縁不良という
2種類の不良モードに対してリペア箇所は同一であり、
結果として複数の不良モードに対応できる効率的な冗長
構造を提供することができることである。
【0042】本発明は、コモン電極電位を走査期間ごと
に切り替え、補助容量線の電位をコモン電極の電位に応
じて変化させる、いわゆるコモン反転に対して適用でき
る。図4及び図6に示す等価回路において端子Cをコモ
ン電極とする。図7はこのコモン電極を周期的に変化さ
せたときの様子を示すグラフである。ここで、Vg :ゲ
ート電圧、Vsig :信号電圧、Vcs:補助容量線電圧、
Vcom :コモン電圧、Vpixel :画素電極電位、VLC:
Vpixel −Vcom 、dVp:スイッチングノイズによる
画素電位のシフト(突き抜け電圧)を表す。
【0043】Vcs、Vcom の電位をVsig と逆位相で動
かす。こうすることによってVsigの振幅が小さいにも
拘らず大きなVLCを得ることができ、信号線ドライバI
Cは小さい電位差で信号を送れば良いので負担が低減さ
れ、低消費電力化を図ることができる。
【0044】図7において、スイッチングノイズにより
画素電位のシフトが問題となるのはt=t1 の時であ
り、このときはコモン電極Vcom は一定に保たれてい
る。スイッチングノイズにより画素電位がシフトするの
は走査線の電位が変化する時つまり、トランジスタのO
FF時であるゲート電圧Vg の変化時であるので第2の
導体膜407(図4、図6)は少なくともトランジスタ
のOFF時に一定電位に保たれようとしている。従っ
て、予備のトランジスタ及びレーザコンタクト部の寄生
容量の影響を十分抑えることができる。この様なコモン
反転を用いた液晶表示素子に対しても、本発明は効果を
発揮する。
【0045】また、冗長構造の考え方はTFTに限った
ことではなく、他の構成要素に対しても適用できる。発
生頻度の高い不良モードに対応した冗長構造を組み込む
のが有効である。また、TFTは1画素あたり3個以上
あってもよい。さらにはTFT以外にも、冗長あるいは
リペアを考慮したレーザーコンタクト部に本発明を適用
することは可能である。スイッチング素子はTFTに限
らずダイオード等他のスイッチング素子に対しても本発
明は有効である。その他本発明の趣旨を逸脱しないで種
々に変形することが可能である。
【0046】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ス
イッチング素子の不良に備え1画素に複数のスイッチン
グ素子を備えたアクティブマトリックス型の液晶表示素
子において、予備のスイッチング素子の寄生容量及びレ
ーザーコンタクト部の寄生容量の影響を皆無にすること
が可能であり、その結果リペアの有無による表示特性の
差異を無くすことことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施例に係る液晶表示素子の
概略構成を示す平面図。
【図2】 本発明の第1の実施例に係る液晶表示素子の
レーザコンタクト部を有する導体膜の概略構造を示す平
面図。
【図3】 本発明の第1の実施例に係る液晶表示素子の
レーザコンタクト部を有する導体膜の概略構造を示す断
面図。
【図4】 本発明の第1の実施例に係る液晶表示素子の
1画素における等価回路。
【図5】 本発明の第2の実施例に係る液晶表示素子の
概略構成を示す平面図。
【図6】 本発明の第2の実施例に係る液晶表示素子の
1画素における等価回路。
【図7】 コモン反転の様子を表すグラフ。
【図8】 従来の薄膜トランジスタアレイの冗長構造を
表す平面図。
【図9】 従来のTFTアレイの一つの画素に関する基
板側から見た平面構成図。
【図10】 従来のTFTアレイ1画素の等価回路。
【図11】 ゲート電極をOFFしたときに画素電極に
現れる突き抜け電圧の様子を表す図
【符号の説明】
101…走査線 102…ゲート電極 103…信号線 104…ドレイン電極 105…ソース電極 106…画素電極 107…第1のTFT 108…予備のTFT 109…画素電極とコンデンサを形成する配線(コモン
電極) 110…レーザコンタクト部 111…リペアする場合の切断部 112…ソース電極 113…第2の導体膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02F 1/1362 G02F 1/1343 G02F 1/13 101

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 画素電極と、 走査線と、 信号線と、 前記信号線と一端子が接続され、他端子が前記画素電極
    と接続され、前記走査線の電位により前記一端子と前記
    他端子の間の導通が制御される第一スイッチング素子
    と、 前記信号線と一端子が接続され、前記走査線の電位によ
    り導通が制御される予備の第二スイッチング素子と、前記走査線の電位が変化する時、一定電位に固定 される
    第一導体膜と、 前記第二スイッチング素子の他端子及び前記第一導体膜
    の間に設けられ、レーザビーム照射により導通可能な絶
    縁部を有する第一畳重部と、 前記画素電極に導通する第二導体膜及び前記第一導体膜
    の間に設けられ、レーザビーム照射により導通可能な絶
    縁部を有する第二畳重部とを具備し、 選択的に、前記信号線と前記画素電極の前記第一スイッ
    チング素子を介する接続が遮断され、且つ前記第一導体
    膜が一定電位源から遮断され、且つ前記第一畳重部及び
    前記第二畳重部が電気的に接続されることを特徴とする
    液晶表示素子。
  2. 【請求項2】 画素電極と、 走査線と、 信号線と、 前記信号線と一端子が接続され、他端子が前記画素電極
    と接続され、前記走査線の電位により前記一端子と前記
    他端子の間の導通が制御される第一スイッチング素子
    と、 前記信号線と一端子が接続され、前記走査線の電位によ
    り導通が制御される予備の第二スイッチング素子と、 前記第一スイッチング素子の一部上及び前記第二スイッ
    チング素子の他端子上に絶縁膜を介して重なって画素容
    量を形成し、前記走査線の電位が変化する時、一定電位
    に固定される一定電位線と、 導体膜と、 前記第二スイッチング素子の他端子と前記画素電極の間
    に設けられ、レーザビーム照射により前記導体膜と導通
    可能な絶縁部を有する畳重部とを具備し、 選択的に、前記信号線と前記画素電極の前記第一スイッ
    チング素子を介する接続が遮断され、且つ前記畳重部が
    導通することにより前記画素電極と前記第二スイッチン
    グ素子の他端子が電気的に接続されることを特徴とする
    液晶表示素子。
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