JP3266019B2

JP3266019B2 - 酸素センサ

Info

Publication number: JP3266019B2
Application number: JP33114196A
Authority: JP
Inventors: 芳樹中條; 智志菊池
Original assignee: Toyota Motor Corp
Current assignee: Toyota Motor Corp
Priority date: 1996-12-11
Filing date: 1996-12-11
Publication date: 2002-03-18
Anticipated expiration: 2016-12-11
Also published as: JPH10170474A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、内燃機関の空燃
比制御等に用いられる酸素センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】酸素センサの構成としては、ジルコニア
等の固体電解質により形成された内部空間を有する素子
と、同素子の内外面に設けられた一対の白金電極と、素
子の外周側を覆うカバーとを備えたものが一般的であ
る。また、素子の外周面には白金電極に被毒成分が付着
することを抑制するために、例えばアルミナからなる多
孔質層が形成される場合もある（特開昭５７−５４８５
６号公報に記載された「酸素濃度検出器」参照）。カバ
ーには導入孔が複数形成されており、同カバーの内部に
は導入孔を通じて検出対象となる検出ガスが導入され
る。各白金電極からは検出ガスの酸素濃度に応じた信号
が出力される。

【０００３】内燃機関の空燃比制御においては、図５に
示すように内燃機関１００の排気通路１０１に設けられ
た酸素センサ（排気側酸素センサ）１０２によって排気
の酸素濃度が検出され、その酸素濃度に基づいて実際の
空燃比が算出される。そして、その空燃比が目標空燃比
（通常、理論空燃比）と一致するようにフィードバック
制御される。

【０００４】ところで、内燃機関１００には、排気中に
おけるＮＯｘ（窒素酸化物）を低減させる排気還流装置
（ＥＧＲ装置）や、或いは同機関１００のクランクケー
ス（図示略）内に漏出した排気及び混合気等（ブローバ
イガス）を排出するためのブローバイガス還元装置（Ｐ
ＣＶ装置）が用いられる場合がある。

【０００５】図５に示すように、このＥＧＲ装置２００
では、排気通路１０１と吸気通路１０３とがＥＧＲ通路
２０１によって連通され、同通路２０１を通じて排気通
路１０１から吸気通路１０３に戻されるＥＧＲガス（排
気）の量（ＥＧＲ量）が流量調整弁２０２によって調整
される。

【０００６】また、ＰＣＶ装置３００では、内燃機関１
００のシリンダヘッドカバー（図示略）内と吸気通路１
０３においてスロットル弁１０４よりも上流側の部分と
が圧力通路３０１により連通されるとともに、内燃機関
１００のクランクケース（図示略）内とスロットル弁１
０４より下流側の吸気通路１０３とがＰＣＶ通路３０２
により連通される。ＰＣＶ通路３０２の途中には、流量
調節弁３０３が設けられ、同弁３０３によりクランクケ
ース内から吸気通路１０３に導入されるブローバイガス
の量（ＰＣＶ量）が調節される。

【０００７】このようにＥＧＲ装置２００或いはＰＣＶ
装置３００が設けられた内燃機関１００においては、Ｅ
ＧＲ量、ＰＣＶ量の変化により吸入空気の酸素濃度が異
なったものになる。その結果、実際の空燃比を目標空燃
比の変化に的確に追従させて制御することが困難になる
ことがあった。

【０００８】そこで、図５に示すように、前述した排気
側酸素センサ１０２に加えて、ＥＧＲ通路２０１或いは
ＰＣＶ通路３０２よりも下流側の吸気通路１０３に別の
酸素センサ（吸気側酸素センサ）１０５を設け、この吸
気側酸素センサ１０５によってＥＧＲガス或いはブロー
バイガスの影響を含めた吸入空気の酸素濃度を併せ検出
する方法なども講じられている。こうして、吸入空気の
酸素濃度も併せ参照することで、上述した空燃比制御に
おける制御精度を向上させることがきる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、排気通路１
０１或いは吸気通路１０３に設けられた上記各酸素セン
サ１０２，１０５では、内燃機関１００が運転状態とな
ることにより排気又はＥＧＲガス、ブローバイガスを含
んだ吸入空気に常時晒されることになるため、以下に示
す問題も無視できないものとなっている。

【００１０】即ち、吸排気にはカーボン、エンジンオイ
ル等の混合物からなる微粒子（以下、「デポジット」と
いう。）が含まれている。そして、このデポジットは酸
素センサ１０２，１０５のカバー１０６，１０７や、同
カバー１０６，１０７内の素子（図示略）に付着するこ
とがある。そして、カバー１０６，１０７や素子の表面
に付着したデポジットが堆積することにより、同カバー
１０６，１０７の導入孔や、素子の外周面に形成された
多孔質層に目詰まりが発生することがある。こうした目
詰まりが発生すると、カバー１０６，１０７の内外にお
ける酸素濃度に差が生じたり、或いは多孔質層を吸排気
が通過し難くなるため、酸素センサ１０２，１０５の検
出精度、特に応答性が悪化することとなる。

【００１１】特に、吸気側酸素センサ１０５にあって
は、吸気通路１０３を通過する吸入空気（ＥＧＲガス或
いはブローバイガスを含む）の温度が排気温度と比較し
て低温でありデポジットの粘性が比較的高い傾向にある
ことから、上記のような目詰まりがより発生しやすい状
況にある。

【００１２】この発明は、上記実情に鑑みてなされたも
のであり、その目的は、酸素センサにデポジットが付着
することを抑制することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載した発明は、素子と、当該素子を覆
い測定対象となる気体が流通する導入孔を有したカバー
とを備えた酸素センサであって、前記カバーは素線によ
り網目状をなすよう形成され、少なくともその外周面に
は撥水性被膜が形成されていることをその趣旨とする。
また、上記目的を達成するために、請求項２に記載した
発明は、ヒータを含む素子部と、当該素子部を覆うよう
にして設けられた二重構造をなす内カバー及び外カバー
とを備え、前記各カバーにはそれぞれ測定対象となる気
体が流通する導入孔が形成された酸素センサであって、
前記外カバーは素線により網目状をなすよう形成され、
少なくともその外周面には撥水性被膜が形成されている
ことをその要旨とする。また、上記目的を達成するため
に、請求項３に記載した発明は、請求項１又は２に記載
の酸素センサにおいて、前記素線はステンレス製である
ことをその要旨とする。

【００１４】

【００１５】請求項１に記載の構成によれば、カバーの
外周面に形成された撥水性被膜により、同面とデポジッ
トとの親和性が低下する。また、カバーは網目状をなす
ため、カバーの総表面積が増加して外部に拡散する熱量
が増大するため、同カバーがより低温の状態に維持され
る。加えて、このようにカバーを網目状に形成する素線
はエンジンの運転や車輌の走行に伴い振動することか
ら、その振動によってデポジットの付着を更に抑制する
ことができる。

【００１６】請求項２に記載の構成によれば、外カバー
の外周面に形成された撥水性被膜により、同面とデポジ
ットとの親和性が低下する。また、外カバーは、内カバ
ーによりヒータからの熱伝播が抑制されるため、同内カ
バーと比較して低温の状態になる。これにより、外カバ
ーに形成された撥水性被膜の熱による変質や劣化が抑制
される。また、外カバーは網目状をなすため、外カバー
の総表面積が増加して外部に拡散する熱量が増大するた
め、同カバーがより低温の状態に維持される。加えて、
このように外カバーを網目状に形成する素線はエンジン
の運転や車輌の走行に伴い振動することから、その振動
によってデポジットの付着を更に抑制することができ
る。

【００１７】

【００１８】

【発明の実施の形態】［参考例］以下、上記課題を解決する酸素センサをディーゼルエン
ジンに設けられた吸気側酸素センサとして具体化した参
考例について図１〜３を参照して説明する。

【００１９】図１は本参考例におけるディーゼルエンジ
ン（以下、単に「エンジン」という）１１の概略構成を
示している。同図に示すように、エンジン１１には吸気
管１２及び排気管１３が接続されている。エアクリーナ
（図示略）等を通過して吸気管１２内に取り込まれた吸
入空気は同管１２内を通過してエンジン１１の燃焼室
（図示略）内に取り込まれる。

【００２０】吸気管１２内にはスロットル弁１４が設け
られている。吸気管１２内を通過して燃焼室に取り込ま
れる吸入空気の量がスロットル弁１４の開度に応じて調
節される。燃焼室内においてインジェクタ（図示略）か
ら噴射された燃料と吸入空気とが混合され、この混合気
が爆発燃焼することによりエンジン１１には駆動力が得
られる。燃焼後の排気は燃焼室から排気管１３に導入さ
れた後、触媒等（図示略）を通過して外部に排出され
る。

【００２１】エンジン１１にはＥＧＲ装置１５が設けら
れている。このＥＧＲ装置１５は、排気管１３とスロッ
トル弁１４より下流側の吸気管１２とを連通するＥＧＲ
通路１６と、同通路１６の途中に設けられた流量調整弁
１７とを備えている。排気管１３における排気の一部は
ＥＧＲ通路１６を通過して吸気管１２内に戻される。流
量調整弁１７はエンジン１１の電子制御装置（図示略）
によって制御されることにより、ＥＧＲ通路１６を通過
する排気（ＥＧＲガス）の量を調節する。

【００２２】上記のようにエンジン１１の燃焼室に導入
される吸入空気の一部に排気、即ち燃焼に供されない不
活性ガスが混入され、燃焼室における燃焼ガスの最高温
度が下げられることにより、ＮＯｘの低減が図られる。

【００２３】吸気管１２において、ＥＧＲ通路１６の開
口部分１６ａよりも下流側の位置には吸気側酸素センサ
（以下、単に「酸素センサ」という）２０が取り付けら
れており、同センサ２０の先端部が吸気管１２内に突出
している。酸素センサ２０は、スロットル弁１４を通過
した空気とＥＧＲガスとを含む吸入空気の酸素濃度を検
出し、その検出信号を電子制御装置に出力する。電子制
御装置は、酸素センサ２０からの検出信号と、排気管１
３に別途設けられた排気側酸素センサ（図示略）からの
検出信号に基づいてエンジン１１の空燃比制御を実行す
る。

【００２４】図２は、酸素センサ２０の先端部を拡大し
て示す断面図である。同図に示すように、酸素センサ２
０は、素子部２１と、この素子部２１の外周を覆うよう
にして設けられたカバー２２とを備えている。素子部２
１及びカバー２２はいずれも酸素センサ２０のハウジン
グ２３に固定されている。

【００２５】素子部２１は基板２４と、同基板２４に対
して積層されたヒート板２５と、素子部２１の先端側を
覆うようにして形成された多孔質層２６とを備えてい
る。基板２４はジルコニア素子等の固体電解質により形
成されている。この基板２４の両面（図２の左右面）に
は白金電極（図示略）がそれぞれ設けられており、各電
極は電子制御装置に接続されている。ヒータ板２５はヒ
ータ（図示略）を内蔵しており、このヒータが電子制御
装置によって通電されることにより素子部２１が所定の
活性化温度以上にまで加熱される。

【００２６】素子部２１の先端部分には、アルミナから
なる多孔質層２６が同部分を覆うようにして形成されて
いる。この多孔質層２６には微少な径を有する細孔（図
示略）を複数有している。カバー２２内に導入された吸
入空気に含まれる酸素分子は、この細孔を通過して基板
２４の白金電極側に移動する際に拡散律速される。ま
た、多孔質層２６は吸入空気に含まれる鉛等の被毒成分
を捕捉することにより、同成分が白金電極に付着するこ
とを抑制する。

【００２７】本参考例において、この多孔質層２６の表
面は、フルオロアルキルシラン（Fluoro Alkyl Silane
、以下、単に「ＦＡＳ」という）からなるＦＡＳ被膜
（図示略）により被覆されている。

【００２８】図３（ａ）及び同図（ｂ）にこのＦＡＳ被
膜の化学的構成を示す。このＦＡＳ被膜は、シラン中の
酸素により外カバー２２のステンレス材（図中、「Ｍ」
で示す。）に結合されるとともに、このシランにフルオ
ロアルキル基が結合された構造を有している。このフル
オロアルキル基の存在により、ＦＡＳ被膜は撥水性を有
したものとなっている。尚、多孔質層２６の表面は上記
のようなＦＡＳ被膜により覆われているものの、同層２
６の細孔はＦＡＳ被膜によって閉塞されることなく開口
している。このため、多孔質層２６における拡散律速作
用がＦＡＳ被膜により阻害されるおそれはない。

【００２９】図２に示すように、カバー２２は、素子部
２１の先端部分を覆うように配置された内カバー２７
と、同内カバー２７と所定間隔を隔てて外嵌された外カ
バー２８とを備えている。各カバー２７，２８はいずれ
もステンレス材によって有底円筒状に形成されている。
また、各カバー２７，２８には複数の導入孔３０，３１
がそれぞれ形成されている。また、本参考例における外
カバー２８の外周面全体は多孔質層２６の表面と同様に
ＦＡＳ被膜により被覆されており、同カバー２８に撥水
性が付与されている。

【００３０】こうした酸素センサ２０にあっては、吸気
管１２を通過する吸入空気（ＥＧＲガスを含む）が、外
カバー２８及び内カバー２７に形成された各導入孔３
０，３１を通じて内カバー２７の内部側に導入された
後、多孔質層２６の細孔を通じて基板２４の外側面（図
２の左側面）に接触する。電子制御装置により白金電極
間に所定の電圧が印加されると、基板２４の内部で酸素
分子の移動が生じることにより各電極間には電流が流れ
るようになる。この際、基板２４の外側面側に流れる酸
素分子が多孔質層２６の細孔によって拡散律速されるこ
とにより、各電極間を流れる電流は吸入空気の酸素濃度
に応じた一定値（限界電流値）をとるようになる。従っ
て、電子制御装置はこの限界電流値の大きさに基づいて
エンジン１１の空燃比を算出することができる。

【００３１】ここで、前述したように、吸気管１２内に
はＥＧＲ通路１６を通じて所定量のＥＧＲガスが流入す
ることから、吸入空気にはカーボン、オイル等からなる
デポジットが含まれており、このデポジットは外カバー
２８の外周面や、多孔質層２６の表面に付着しようとす
る。

【００３２】しかしながら、本参考例では、外カバー２
８の外周面及び多孔質層２６の表面に撥水性を有するＦ
ＡＳ被膜が設けられていることから、それら各面とデポ
ジットとの親和性が低下している。従って、デポジット
の付着を抑制して、同デポジットによる導入孔３０，３
１及び細孔の閉塞を防止することができる。その結果、
カバー２２の内外における酸素濃度に差が生じ、酸素セ
ンサ２０の検出精度、特に応答性が悪化してしまうこと
を回避することができる。

【００３３】ところで、ＦＡＳ被膜は長時間高温の状態
に晒されることにより変質、劣化することが懸念され
る。仮にＦＡＳ被膜にこのような変質等が生じた場合、
同被膜における撥水性が低下してしまうおそれがある。

【００３４】この点、本参考例によれば、カバー２２を
内カバー２７及び外カバー２８からなる二重管構造と
し、その外カバー２８の外周面にＦＡＳ被膜を設けるよ
うにしている。このため、上記のようなＦＡＳ被膜にお
ける撥水性の低下が抑制される。

【００３５】即ち、素子部２１のヒータから伝播される
熱により各カバー２７，２８は温度上昇するが、外カバ
ー２８は内カバー２７によって熱が遮られることから相
対的に低温の状態に保持される。従って、ＦＡＳ被膜の
熱による変質等が抑制され、同被膜における撥水性の低
下が回避される。このため、本参考例によれば、ＦＡＳ
被膜の耐用寿命を向上させて長期間にわたりデポジット
の付着を抑制することができる。

【００３６】更に、前述したように、吸気側酸素センサ
２０では、排気管１３に取り付けられた酸素センサより
付着するデポジットの量が多い。また、ディーゼルエン
ジン１１にあっては、ガソリンエンジンと比較して吸入
空気に含まれるデポジットの量が相対的に多い。このた
め、ディーゼルエンジン１１の吸気側酸素センサ２０
は、デポジットによる導入孔３０の目詰まりが発生しや
すい傾向にある。本参考例は、このようなディーゼルエ
ンジン１１の吸気側酸素センサ２０におけるデポジット
付着を防止する点で極めて有効であるといえる。

【００３７】［実施形態］次に、本発明を具体化した一実施形態について上記参考
例との相違点を中心に説明する。尚、以下の説明におい
て上記参考例と同様の構成については同一の符号を付す
とともに説明を省略する。

【００３８】図４は、本実施形態における酸素センサ２
０の先端部を拡大して示す部分断面図である。同図に示
すように、外カバー２８はステンレス製の素線２８ａに
よって網目状をなすように形成されている。外カバー２
８には、前記導入孔３１と同様の機能を有する通過孔４
０がその全体にわたり複数形成されている。外カバー２
８の上端部分は前記ハウジング２３に固定されている。
また、外カバー２８の素線２８ａは全周にわたって前述
したＦＡＳ被膜（図示略）により被覆されている。

【００３９】上記構成を備えた本実施形態では、外カバ
ー２８を網目状に形成していることから、例えば、同カ
バー２８を円筒形状とした場合と比較してその総表面積
が増大する。従って、外カバー２８から吸入空気側に伝
達される熱量が増大し、上記参考例と比較して同カバー
２８の温度が更に低下する。その結果、本実施形態によ
れば、外カバー２８に設けられたＦＡＳ被膜の熱による
変質等を確実に抑制して、同被膜における撥水性の低下
を長期間にわたり回避できる。これにより、デポジット
の付着による通過孔４０の目詰まりを抑制して、その目
詰まりに起因した種々の不具合を防止することができ
る。

【００４０】更に、本実施形態では、外カバー２８を網
目状とし、その全体にわたって通過孔４０が存在するよ
うにしている。このため、仮に、外カバー２８にデポジ
ットが付着して通過孔４０の一部が閉塞されてしまって
も、他の閉塞されていない通過孔４０を通じて同カバー
２８の内部に十分な量の吸入空気を導入させることがで
きる。

【００４１】加えて、本実施形態によれば、外カバー２
８の素線２８ａはエンジンの運転や車輌の走行に伴い振
動することから、その振動によってデポジットの付着を
更に抑制することができる。

【００４２】上記実施形態又は参考例は以下に示すよう
に構成を変更して実施することもできる。この変更例に
おいても上記実施形態又は参考例と略同様の作用効果を
奏することができる。

【００４３】（１）上記実施形態又は参考例では、外カ
バー２８及び多孔質層２６に撥水性被膜としてＦＡＳ被
膜を設けるようにした。撥水性被膜としては、このＦＡ
Ｓ被膜に限定されず、所定の撥水性及び耐熱性を有する
ものであれば任意のものを適用できる。従って、例え
ば、比較的温度が低い外カバー２８の外周面にはＦＡＳ
被膜に換えてフッ素樹脂被膜を設けることも可能であ
る。更に、ＦＡＳ被膜上にフッ素樹脂被膜を形成するよ
うにしてもよい。この場合、ＦＡＳ被膜はフルオロアル
キル基が表面に偏在しているため、フッ素樹脂との親和
性が大きく、より密着したフッ素樹脂被膜を得ることが
できる。

【００４４】（２）上記参考例では、外カバー２８の外
周面と多孔質層２６の表面の双方にＦＡＳ被膜を形成す
るようにした。これに対して、外カバー２８の外周面の
み、或いは多孔質層２６の表面にのみＦＡＳ被膜を形成
するようにしてもよい。また、外カバー２８の外周面に
加えて、その内周面にＦＡＳ被膜を形成するようにした
り、或いは内カバー２７の内外周面に同被膜を形成する
ようにしてもよい。

【００４５】（３）上記参考例では、外カバー２８の外
周面全体にＦＡＳ被膜を形成するようにした。これに対
して、外カバー２８の外周面であって導入孔３０の周囲
部分のみにＦＡＳ被膜を形成するようにしてもよい。

【００４６】（４）上記参考例では、カバー２２を外カ
バー２８及び内カバー２７からなる二重管構造とした
が、内カバー２７を省略することもできる。（５）上記実施形態又は参考例では、酸素センサ２０を
ＥＧＲ装置１５を備えたエンジン１１の吸気管１２に取
り付けるようにしている。これに対して、ＰＣＶ装置を
備えたエンジン１１の吸気管１２に本発明に係る酸素セ
ンサ２０を取り付けるようにしてもよい。

【００４７】（６）上記実施形態又は参考例では、酸素
センサ２０をディーゼルエンジン１１の吸気管１２に取
り付けるようにした。これに対して、ディーゼルエンジ
ン１１の排気管１３に酸素センサを取り付けるようにし
てもよい。また、ガソリンエンジンの排気管１３や、Ｅ
ＧＲ装置１５或いはＰＣＶ装置を備えたガソリンエンジ
ンの吸気管１２に本発明に係る酸素センサを取り付ける
ようにしてもよい。

【００４８】上記実施形態又は参考例から把握できる技
術的思想について以下にその効果とともに記載する。（イ）多孔質層が外周面に形成された素子を有する酸素
センサであって、同センサは排気還流装置或いはブロー
バイガス還元装置を備えた内燃機関の吸気管に取り付け
られるものであり、前記多孔質層の表面には撥水性被膜
が形成されていることを特徴とする。

【００４９】このように、内燃機関の吸気管に取り付け
られた酸素センサでは、前述したように吸入空気の温度
が比較的低温であるため、同センサにデポジットが付着
しやすい傾向がある。上記（イ）に記載した構成は、上
記のような傾向にある酸素センサにおいて、デポジット
の付着を抑制する点で好適である。

【００５０】（ロ）多孔質層が外周面に形成された素子
を有する酸素センサであって、前記多孔質層の表面には
撥水性被膜が形成され、その撥水性被膜はフルオロアル
キルシランにより形成されていることを特徴とする。こ
のような構成によれば、フルオロアルキルシラン中のフ
ルオロアルキル基による撥水性によって、多孔質層の表
面若しくはカバーの外周面とデポジットとの親和性を低
下させることにより、各面にデポジットが付着すること
を抑制することができる。

【００５１】

【発明の効果】請求項１に記載した発明では、酸素セン
サに設けられたカバーの少なくとも外周面に撥水性被膜
を形成するようにしている。従って、カバーの外周面と
デポジットとの親和性が低下するため、同外周面にデポ
ジットが付着することを抑制することができる。また、
前記カバーは素線により網目状をなすよう形成してい
る。従って、カバーの総表面積が増加し外部に拡散する
熱量が増大するため、同カバーがより低温の状態にな
る。その結果、撥水性被膜の熱による変質や劣化を更に
確実に抑制することができる。加えて、このように前記
カバーを網目状に形成する素線はエンジンの運転や車輌
の走行に伴い振動することから、その振動によってデポ
ジットの付着を更に抑制することができる。

【００５２】

【００５３】請求項２に記載した発明では、酸素センサ
のカバーを二重構造とし、その外カバーの少なくとも外
周面に撥水性被膜を形成するようにしている。従って、
外カバーの外周面とデポジットとの親和性が低下する。
その結果、外カバーの外周面にデポジットが付着するこ
とを抑制することができる。また、内カバーによってヒ
ータからの熱伝播が抑制されるため、外カバーは相対的
に低温の状態になる。このため、撥水性被膜の熱による
変質や劣化を抑制することにより、同被膜の耐用寿命を
向上させて長期間にわたりデポジットの付着を抑制する
ことができる。また、前記外カバーは素線により網目状
をなすよう形成している。従って、外カバーの総表面積
が増加し外部に拡散する熱量が増大するため、同カバー
がより低温の状態になる。その結果、撥水性被膜の熱に
よる変質や劣化を更に確実に抑制することができる。加
えて、このように前記外カバーを網目状に形成する素線
はエンジンの運転や車輌の走行に伴い振動することか
ら、その振動によってデポジットの付着を更に抑制する
ことができる。

【００５４】

【図面の簡単な説明】

【図１】参考例におけるディーゼルエンジンシステムを
示す概略構成図。

【図２】酸素センサの先端部を示す断面図。

【図３】ＦＡＳ被膜の化学的構造を示す説明図。

【図４】一実施形態における酸素センサの先端部を示す
部分断面図。

【図５】ＥＧＲ装置及びＰＣＶ装置を備えた内燃機関を
示す概略構成図。

【符号の説明】

２６…多孔質層、２０…酸素センサ、２１…素子部、２
７…内カバー、２８…外カバー。

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01N 27/409 G01N 27/12

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】素子と、当該素子を覆い測定対象となる
気体が流通する導入孔を有したカバーとを備えた酸素セ
ンサであって、前記カバーは素線により網目状をなすよ
う形成され、少なくともその外周面には撥水性被膜が形
成されていることを特徴とする酸素センサ。
【請求項２】ヒータを含む素子部と、当該素子部を覆
うようにして設けられた二重構造をなす内カバー及び外
カバーとを備え、前記各カバーにはそれぞれ測定対象と
なる気体が流通する導入孔が形成された酸素センサであ
って、前記外カバーは素線により網目状をなすよう形成
され、少なくともその外周面には撥水性被膜が形成され
ていることを特徴とする酸素センサ。
【請求項３】前記素線はステンレス製であることを特
徴とする請求項１又は２に記載の酸素センサ。