JP3261662B2 - エアーシリンダ - Google Patents
エアーシリンダInfo
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- JP3261662B2 JP3261662B2 JP19296392A JP19296392A JP3261662B2 JP 3261662 B2 JP3261662 B2 JP 3261662B2 JP 19296392 A JP19296392 A JP 19296392A JP 19296392 A JP19296392 A JP 19296392A JP 3261662 B2 JP3261662 B2 JP 3261662B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はエアーシリンダに係り、
特に、高速動作を行い、真空容器に好適な機構を有した
エアーシリンダに関する。
特に、高速動作を行い、真空容器に好適な機構を有した
エアーシリンダに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のエアーシリンダについて典型的な
構造例を図２に示す。図２において、シリンダ５１の内
部空間に、Ｏリング５２を周囲面に備えたピストン５３
が移動自在に配置される。ピストン５３は、ロッド５４
の先端部にボルト５５で固定される。ロッド５４は、シ
リンダ５１の左端壁５１ａに形成された孔を挿通して外
部に引き出される。ロッド５４と左端壁５１ａに形成さ
れた孔との間にはＯリング５５が設けられる。Ｏリング
５５によってシリンダ５１の内部空間とシリンダ外との
気密性が保持される。またピストン５３およびＯリング
５２によって、シリンダ５１の内部空間は、左右の２つ
の空間５６，５７に区画される。２つの空間５６，５７
は気密に隔離され、かつそれぞれに対応するシリンダ端
部には圧縮空気給排気口５８，５９が設けられる。６０
は切換用の電磁弁である。この電磁弁６０の作用で、２
つの圧縮空気給排気口５８，５９のうち、いずれかに一
方に圧縮空気を供給し、他方を大気に開放することによ
り排気を行うことができる。これにより、２つの空間５
６，５７のいずれか一方に圧縮空気を供給し、他方から
圧縮空気を排気する構成によって、ピストン５３の両側
の圧力差に基づいてピストン５３をシリンダ内で移動さ
せる。
構造例を図２に示す。図２において、シリンダ５１の内
部空間に、Ｏリング５２を周囲面に備えたピストン５３
が移動自在に配置される。ピストン５３は、ロッド５４
の先端部にボルト５５で固定される。ロッド５４は、シ
リンダ５１の左端壁５１ａに形成された孔を挿通して外
部に引き出される。ロッド５４と左端壁５１ａに形成さ
れた孔との間にはＯリング５５が設けられる。Ｏリング
５５によってシリンダ５１の内部空間とシリンダ外との
気密性が保持される。またピストン５３およびＯリング
５２によって、シリンダ５１の内部空間は、左右の２つ
の空間５６，５７に区画される。２つの空間５６，５７
は気密に隔離され、かつそれぞれに対応するシリンダ端
部には圧縮空気給排気口５８，５９が設けられる。６０
は切換用の電磁弁である。この電磁弁６０の作用で、２
つの圧縮空気給排気口５８，５９のうち、いずれかに一
方に圧縮空気を供給し、他方を大気に開放することによ
り排気を行うことができる。これにより、２つの空間５
６，５７のいずれか一方に圧縮空気を供給し、他方から
圧縮空気を排気する構成によって、ピストン５３の両側
の圧力差に基づいてピストン５３をシリンダ内で移動さ
せる。
【０００３】シリンダ５１内のピストン５３の左右方向
への移動動作は、前述のごとく、その両側の空間５６，
５７に圧気供給と排気を選択的に行うことにより、２つ
の空間の圧力差に基づいて行われる。ピストン５３が左
右いずれかの方向に移動したとき、最終的にピストン５
３を停止させる必要がある。ピストン５３の停止を行う
ため、ピストン５３の両面にリング状のラバークッショ
ン６１を設ける。ラバークッション６１がシリンダ５１
の端部内壁部に当ることにより、停止が行われる。さら
に、ショックアブソーバ（図示せず）をシリンダ５１に
付設し、ピストン停止時に発生する衝撃をさらに吸収す
る構成を設けたものも存在する。
への移動動作は、前述のごとく、その両側の空間５６，
５７に圧気供給と排気を選択的に行うことにより、２つ
の空間の圧力差に基づいて行われる。ピストン５３が左
右いずれかの方向に移動したとき、最終的にピストン５
３を停止させる必要がある。ピストン５３の停止を行う
ため、ピストン５３の両面にリング状のラバークッショ
ン６１を設ける。ラバークッション６１がシリンダ５１
の端部内壁部に当ることにより、停止が行われる。さら
に、ショックアブソーバ（図示せず）をシリンダ５１に
付設し、ピストン停止時に発生する衝撃をさらに吸収す
る構成を設けたものも存在する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ピストン５３の移動動
作を高速に行うとき、ピストンの停止動作も急激に行わ
れる。ピストン５３がシリンダ５１内の所定箇所に当接
して、停止される場合、衝撃が大きい。そこで、前述の
ごとくラバークッション６１を設けて衝撃を吸収しよう
としている。しかし、従来、ラバークッションだけで衝
撃を吸収することはできず、ピストン５３において衝撃
による振動が発生する。衝撃による振動は、ピストン５
３の動作が高速になるほど、大きくなる。この振動は、
さらに、エアーシリンダを取り付けた装置全体を振動さ
せ、例えば精密位置出し等を行う装置には悪い影響を与
えていた。
作を高速に行うとき、ピストンの停止動作も急激に行わ
れる。ピストン５３がシリンダ５１内の所定箇所に当接
して、停止される場合、衝撃が大きい。そこで、前述の
ごとくラバークッション６１を設けて衝撃を吸収しよう
としている。しかし、従来、ラバークッションだけで衝
撃を吸収することはできず、ピストン５３において衝撃
による振動が発生する。衝撃による振動は、ピストン５
３の動作が高速になるほど、大きくなる。この振動は、
さらに、エアーシリンダを取り付けた装置全体を振動さ
せ、例えば精密位置出し等を行う装置には悪い影響を与
えていた。
【０００５】本発明の目的は、ピストンが高速の移動動
作を行う場合において、停止時の衝撃振動の発生を抑え
るようにしたエアーシリンダを提供することにある。
作を行う場合において、停止時の衝撃振動の発生を抑え
るようにしたエアーシリンダを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係るエアーシリ
ンダは、シリンダの内部空間を移動するように配設され
たピストンを有し、シリンダの両端部に内部空間に通じ
る圧縮空気給排口を設けたエアーシリンダであり、前記
ピストンは２つのピストンを用いて二重ピストンとして
構成され、この二重ピストンは両側に形成される２つの
内部空間の圧力差で移動し、シリンダの両端部のそれぞ
れに、二重ピストンがシリンダ端部に接近する位置で高
圧側の内部空間から低圧側の内部空間へ圧縮空気が供給
される逆止弁を設けるように構成され、さらに二重ピス
トンがシリンダ端部に位置するとき、シリンダ端部に対
応する圧縮空気給排口が二重ピストンの間隙空間に通
じ、圧縮空気給排口に供給された圧縮空気は間隙空間に
導入され、さらに他の逆止弁を通してシリンダ端部側の
内部空間に供給されることを特徴とする。
ンダは、シリンダの内部空間を移動するように配設され
たピストンを有し、シリンダの両端部に内部空間に通じ
る圧縮空気給排口を設けたエアーシリンダであり、前記
ピストンは２つのピストンを用いて二重ピストンとして
構成され、この二重ピストンは両側に形成される２つの
内部空間の圧力差で移動し、シリンダの両端部のそれぞ
れに、二重ピストンがシリンダ端部に接近する位置で高
圧側の内部空間から低圧側の内部空間へ圧縮空気が供給
される逆止弁を設けるように構成され、さらに二重ピス
トンがシリンダ端部に位置するとき、シリンダ端部に対
応する圧縮空気給排口が二重ピストンの間隙空間に通
じ、圧縮空気給排口に供給された圧縮空気は間隙空間に
導入され、さらに他の逆止弁を通してシリンダ端部側の
内部空間に供給されることを特徴とする。
【０００７】
【０００８】
【０００９】
【作用】本発明によるエアーシリンダでは、２つのピス
トンを設けて二重ピストンの構造とし、二重ピストンの
両側に位置する２つの内部空間と２つのピストンの間に
位置する間隙空間を形成しており、シリンダの両端部の
圧縮空気給排口のいずれか一方に圧縮空気を供給し、他
方を大気に開放して大気状態にセットすると、二重ピス
トンの両側の内部空間の圧力差に基づいてピストンは大
気圧状態にセットされた側のシリンダ端部に近づくよう
に移動する。ピストンがシリンダ端部に近づきつつある
とき、所定の位置で、逆止弁を通して圧縮空気が大気圧
側の内部空間に供給される。これによって二重ピストン
の両側の内部空間の圧力差がなくなり、２つのピストン
からなる二重ピストンは振動を生じることなく停止す
る。
トンを設けて二重ピストンの構造とし、二重ピストンの
両側に位置する２つの内部空間と２つのピストンの間に
位置する間隙空間を形成しており、シリンダの両端部の
圧縮空気給排口のいずれか一方に圧縮空気を供給し、他
方を大気に開放して大気状態にセットすると、二重ピス
トンの両側の内部空間の圧力差に基づいてピストンは大
気圧状態にセットされた側のシリンダ端部に近づくよう
に移動する。ピストンがシリンダ端部に近づきつつある
とき、所定の位置で、逆止弁を通して圧縮空気が大気圧
側の内部空間に供給される。これによって二重ピストン
の両側の内部空間の圧力差がなくなり、２つのピストン
からなる二重ピストンは振動を生じることなく停止す
る。
【００１０】
【実施例】以下に、本発明の実施例を添付図面を参照し
て説明する。図１は本発明に係るエアーシリンダの典型
的な実施例の構成を示す。図１において、１はシリン
ダ、２，３はピストンである。２つのピストン２，３は
ロッド４の先端部にボルト２０，３０で固定されてい
る。ピストン２，３は一定の間隔をあけて取り付けら
れ、ピストン２，３の間には間隙空間Ｃが形成される。
本実施例では、ピストン部分は２つのピストン２，３で
二重ピストンとして構成される。２つのピストン２，３
は、それぞれその周囲面に圧縮空気の洩れを防ぐＯリン
グ５を備えている。またロッド４とシリンダ１との間に
も同じ機能を有するＯリング５が設けられる。ピストン
２，３は、シリンダ１の内部空間を自在に移動する。図
１において、実線で示されたピストン２，３はシリンダ
１内の左端に位置する移動開始位置のピストンを示し、
二点鎖線で示されたピストン２，３はシリンダ１の右端
に位置する停止位置のピストンを示している。このよう
に、シリンダ１内において一体的に移動するピストン
２，３の両側に、すなわち二重ピストンの両側に内部空
間Ａ，Ｂが形成される。ピストン２，３の移動は、両側
の内部空間Ａ，Ｂの圧力差で行われる。
て説明する。図１は本発明に係るエアーシリンダの典型
的な実施例の構成を示す。図１において、１はシリン
ダ、２，３はピストンである。２つのピストン２，３は
ロッド４の先端部にボルト２０，３０で固定されてい
る。ピストン２，３は一定の間隔をあけて取り付けら
れ、ピストン２，３の間には間隙空間Ｃが形成される。
本実施例では、ピストン部分は２つのピストン２，３で
二重ピストンとして構成される。２つのピストン２，３
は、それぞれその周囲面に圧縮空気の洩れを防ぐＯリン
グ５を備えている。またロッド４とシリンダ１との間に
も同じ機能を有するＯリング５が設けられる。ピストン
２，３は、シリンダ１の内部空間を自在に移動する。図
１において、実線で示されたピストン２，３はシリンダ
１内の左端に位置する移動開始位置のピストンを示し、
二点鎖線で示されたピストン２，３はシリンダ１の右端
に位置する停止位置のピストンを示している。このよう
に、シリンダ１内において一体的に移動するピストン
２，３の両側に、すなわち二重ピストンの両側に内部空
間Ａ，Ｂが形成される。ピストン２，３の移動は、両側
の内部空間Ａ，Ｂの圧力差で行われる。
【００１１】シリンダ１の両端部には、それぞれ、所定
の位置に第１の逆止弁６，８と第２の逆止弁７，９が付
設される。第１の逆止弁６，８は、それぞれ、圧縮空気
を間隙空間Ｃから内部空間Ａ，Ｂへ供給するための流路
として設けた弁部材である。第２の逆止弁７，９は、そ
れぞれ、内部空間Ａと内部空間Ｂの間において高い圧力
の側から低い圧力の側へ圧縮空気を供給するための流路
として設けた弁部材である。図１中、矢印は圧縮空気の
流れる方向を示している。
の位置に第１の逆止弁６，８と第２の逆止弁７，９が付
設される。第１の逆止弁６，８は、それぞれ、圧縮空気
を間隙空間Ｃから内部空間Ａ，Ｂへ供給するための流路
として設けた弁部材である。第２の逆止弁７，９は、そ
れぞれ、内部空間Ａと内部空間Ｂの間において高い圧力
の側から低い圧力の側へ圧縮空気を供給するための流路
として設けた弁部材である。図１中、矢印は圧縮空気の
流れる方向を示している。
【００１２】シリンダ１の両端部には、それぞれ圧縮空
気給排口１０，１１が設けられる。圧縮空気給排口１０
の設置位置は、ピストン２，３の位置に応じて、内部空
間Ａまたは間隙空間Ｃに通じる位置である。また圧縮空
気給排口１１の設置位置は、ピストン２，３の位置に応
じて、内部空間Ｂまたは間隙空間Ｃに通じる位置であ
る。
気給排口１０，１１が設けられる。圧縮空気給排口１０
の設置位置は、ピストン２，３の位置に応じて、内部空
間Ａまたは間隙空間Ｃに通じる位置である。また圧縮空
気給排口１１の設置位置は、ピストン２，３の位置に応
じて、内部空間Ｂまたは間隙空間Ｃに通じる位置であ
る。
【００１３】圧縮空気給排口１０，１１のそれぞれは、
流路１３および切換用の電磁弁１２を経由して、圧縮空
気供給装置（図示せず）または大気環境に接続される。
流路１３および切換用の電磁弁１２を経由して、圧縮空
気供給装置（図示せず）または大気環境に接続される。
【００１４】次に、前記構成を有するエアーシリンダの
動作を説明する。初期の状態として図１に示すごとくピ
ストン２，３がシリンダ１の内部空間の左端に位置して
いるとする。
動作を説明する。初期の状態として図１に示すごとくピ
ストン２，３がシリンダ１の内部空間の左端に位置して
いるとする。
【００１５】電磁弁１２をオン・オフ動作させることに
より、圧縮空気給排口１０に圧縮空気を供給し、かつ圧
縮空気給排口１１を大気に開放する。圧縮空気給排口１
０に供給された圧縮空気は、間隙空間Ｃおよび逆止弁６
を通って内部空間Ａに供給される。また圧縮空気給排口
１１が大気に開放される結果、内部空間Ｂは大気圧状態
になる。このため、二重ピストンの両側に圧力差が生
じ、ピストン２，３は図１中において右方向（圧力の低
い方向）に向かって移動する。移動の途中で圧縮空気給
排口１０は直接に内部空間Ａに通じる。このとき以降、
逆止弁６は機能しない。
より、圧縮空気給排口１０に圧縮空気を供給し、かつ圧
縮空気給排口１１を大気に開放する。圧縮空気給排口１
０に供給された圧縮空気は、間隙空間Ｃおよび逆止弁６
を通って内部空間Ａに供給される。また圧縮空気給排口
１１が大気に開放される結果、内部空間Ｂは大気圧状態
になる。このため、二重ピストンの両側に圧力差が生
じ、ピストン２，３は図１中において右方向（圧力の低
い方向）に向かって移動する。移動の途中で圧縮空気給
排口１０は直接に内部空間Ａに通じる。このとき以降、
逆止弁６は機能しない。
【００１６】右方向に移動するピストン２，３が、二点
鎖線で示される位置に到達すると、圧縮空気給排口１１
からの流出は止まり、かつ高圧側の内部空間Ａの側から
逆止弁９を通して低圧側の内部空間Ｂに圧縮空気が供給
される。これによりピストン２，３の両側の内部空間
Ａ，Ｂの圧力の差がなくなり、ピストン２，３は、他の
部分と接触することなく、従って衝撃振動を発生するこ
となく、停止する。
鎖線で示される位置に到達すると、圧縮空気給排口１１
からの流出は止まり、かつ高圧側の内部空間Ａの側から
逆止弁９を通して低圧側の内部空間Ｂに圧縮空気が供給
される。これによりピストン２，３の両側の内部空間
Ａ，Ｂの圧力の差がなくなり、ピストン２，３は、他の
部分と接触することなく、従って衝撃振動を発生するこ
となく、停止する。
【００１７】ピストン２，３を右端位置から左の方向に
移動させる場合にも、圧縮空気の供給方向および作用す
る逆止弁が変更されるだけで、上記の動作と実質的に同
じである。
移動させる場合にも、圧縮空気の供給方向および作用す
る逆止弁が変更されるだけで、上記の動作と実質的に同
じである。
【００１８】上記構成を有するエアーシリンダでは、ピ
ストン停止時にピストンがシリンダ内部に強く当たるこ
とがないので、衝撃による振動が抑制される。従って、
衝撃の吸収をほぼ完全に行うことができる。
ストン停止時にピストンがシリンダ内部に強く当たるこ
とがないので、衝撃による振動が抑制される。従って、
衝撃の吸収をほぼ完全に行うことができる。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、エアーシリンダでピストンを高速に移動させて
も、振動を発生することなく停止させることができる。
従ってエアーシリンダが取り付けられた装置の動作を正
確に行うことができる。
よれば、エアーシリンダでピストンを高速に移動させて
も、振動を発生することなく停止させることができる。
従ってエアーシリンダが取り付けられた装置の動作を正
確に行うことができる。
【図１】本発明に係るエアーシリンダの内部構造を示す
断面図である。
断面図である。
【図２】従来の典型的なエアーシリンダの内部構造を示
す断面図である。
す断面図である。
１ …シリンダ ２，３ …ピストン ４ …ロッド ５ …Ｏリング ６，８ …第１の逆止弁 ７，９ …第２の逆止弁 １０，１１ …圧縮空気給排口 １２ …電磁弁
Claims (1)
- 【請求項１】 シリンダの内部空間を移動するように配
設されたピストンを有し、前記シリンダの両端部に前記
内部空間に通じる圧縮空気給排口を設けたエアーシリン
ダにおいて、 前記ピストンは二重ピストンであり、この二重ピストン
は当該二重ピストンの両側に形成される２つの内部空間
の圧力差で移動し、 前記シリンダの前記両端部のそれぞれに、前記二重ピス
トンがシリンダ端部に接近する位置で高圧内部空間から
低圧内部空間へ圧縮空気が供給される逆止弁を設け、 前記二重ピストンがシリンダ端部に位置するとき、シリ
ンダ端部に対応する圧縮空気給排口が前記二重ピストン
の間隙空間に通じ、前記圧縮空気給排口に供給された圧
縮空気は前記間隙空間に導入され、さらに他の逆止弁を
通してシリンダ端部側の内部空間に供給されることを特
徴とするエアーシリンダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19296392A JP3261662B2 (ja) | 1992-06-26 | 1992-06-26 | エアーシリンダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19296392A JP3261662B2 (ja) | 1992-06-26 | 1992-06-26 | エアーシリンダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0610917A JPH0610917A (ja) | 1994-01-21 |
| JP3261662B2 true JP3261662B2 (ja) | 2002-03-04 |
Family
ID=16299957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19296392A Expired - Fee Related JP3261662B2 (ja) | 1992-06-26 | 1992-06-26 | エアーシリンダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3261662B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6544917B1 (en) | 1999-09-06 | 2003-04-08 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Si3N4 ceramic, Si-base composition for its production, and method for its production |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB9404539D0 (en) * | 1994-03-09 | 1994-04-20 | Emhart Glass Mach Invest | Piston and cylinder devices |
| CN111911479B (zh) * | 2020-07-29 | 2023-04-07 | 北京机械设备研究所 | 一种缓冲液压缸 |
-
1992
- 1992-06-26 JP JP19296392A patent/JP3261662B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6544917B1 (en) | 1999-09-06 | 2003-04-08 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Si3N4 ceramic, Si-base composition for its production, and method for its production |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0610917A (ja) | 1994-01-21 |
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Legal Events
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