JP3258100B2 - LCD panel - Google Patents

LCD panel

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JP3258100B2
JP3258100B2 JP32992792A JP32992792A JP3258100B2 JP 3258100 B2 JP3258100 B2 JP 3258100B2 JP 32992792 A JP32992792 A JP 32992792A JP 32992792 A JP32992792 A JP 32992792A JP 3258100 B2 JP3258100 B2 JP 3258100B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、液晶パネルを構成する
基板上に設けた電極、例えば透明電極の構造に関し、さ
らに具体的には透明電極と他部材との接続性向上に関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrode provided on a substrate constituting a liquid crystal panel, for example, a structure of a transparent electrode, and more particularly to improvement of connectivity between the transparent electrode and other members.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示パネルは基本的には電極である
透明電極が形成された2枚の透明な基板をシール材によ
り封止し、これに液晶材料を注入して構成され、透明電
極はシール材の内側において画素電極を形成するととも
に、シール材の外に引き出されて配線電極を形成する。
2. Description of the Related Art A liquid crystal display panel is basically constructed by sealing two transparent substrates on which a transparent electrode, which is an electrode, is formed with a sealing material and injecting a liquid crystal material into the transparent substrate. A pixel electrode is formed inside the sealing material, and is drawn out of the sealing material to form a wiring electrode.

【0003】この透明電極の配線電極は、直接にFPC
(フレキシブル プリント サーキット)、あるいは異
方性導電ゴムなどを介して外部回路に接続される他、液
晶表示パネルを駆動するための半導体集積回路装置(以
下駆動ICと記載する)が接続される場合もある。
The wiring electrode of this transparent electrode is directly connected to the FPC.
(Flexible printed circuit), or connected to an external circuit via anisotropic conductive rubber, or a semiconductor integrated circuit device (hereinafter referred to as a drive IC) for driving a liquid crystal display panel. is there.

【0004】以下の説明は、駆動ICを液晶表示パネル
を構成する基板にフェイスダウンボンディングしてなる
液晶表示パネルについて行うが、本発明は前述のように
透明電極と駆動IC、FPC等の他部材との接続性向上
に関するものであり、説明の態様に限定するものではな
い。
The following description will be made with respect to a liquid crystal display panel in which a drive IC is face-down bonded to a substrate constituting the liquid crystal display panel. It is related to the improvement of connectivity with, and is not limited to the mode of description.

【0005】図3は駆動ICを液晶表示パネルを構成す
る基板にフェイスダウンボンディングしてなる液晶表示
パネルを示す概略平面図である。図3に示すように、第
1の基板101と第2の基板102とをシール材110
にて封止し、その封止領域内に液晶を充填する。第1の
基板101上に引き出した配線電極103に駆動IC1
06を接続する。配線電極103にはさらにFPC11
3を接続し、外部から信号などを供給する。
FIG. 3 is a schematic plan view showing a liquid crystal display panel obtained by face-down bonding a drive IC to a substrate constituting the liquid crystal display panel. As shown in FIG. 3, the first substrate 101 and the second substrate 102 are
And liquid crystal is filled in the sealed area. The driving IC 1 is connected to the wiring electrode 103 drawn out on the first substrate 101.
06. FPC 11 is further provided on the wiring electrode 103.
3 and supplies signals and the like from the outside.

【0006】図4は従来の構造例を示す概略断面図であ
り、図3のA−A線における断面を示す。図4では、た
とえば配向膜などの構造上の細部は省略してある。以下
図4を用いて従来の液晶表示パネルを説明する。
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a conventional structure example, and shows a cross section taken along line AA in FIG. In FIG. 4, structural details such as an alignment film are omitted. Hereinafter, a conventional liquid crystal display panel will be described with reference to FIG.

【0007】図4に示した従来の液晶表示パネルにおい
ては、第1の基板101の上に画素電極104と、駆動
IC106の電極に対応する配線電極103とをつぎに
述べる工程で形成する。
In the conventional liquid crystal display panel shown in FIG. 4, a pixel electrode 104 and a wiring electrode 103 corresponding to an electrode of a driving IC 106 are formed on a first substrate 101 in the following steps.

【0008】まず第1の基板101の上全面にスパッタ
リング法、真空蒸着法、またはパイロゾル法等を用いて
透明電極膜である酸化インジューム錫(以下ITOと記
載する)膜を形成する。
First, an indium tin oxide (hereinafter referred to as ITO) film as a transparent electrode film is formed on the entire surface of the first substrate 101 by using a sputtering method, a vacuum evaporation method, a pyrosol method, or the like.

【0009】その後フォトレジストをITO膜の形成さ
れた面全面に塗布し、所望のパターン形状を持つフォト
マスクを介し露光、現像、エッチングを行う、いわゆる
フォトエッチング法技術で画素電極104および配線電
極103を形成する。
Thereafter, a photoresist is applied to the entire surface on which the ITO film is formed, and is exposed, developed, and etched through a photomask having a desired pattern shape. To form

【0010】第2の基板102にも、同様な工程により
画素電極105と配線電極(図示せず)とを形成し、第
1の基板101と第2の基板102とを所定距離を隔て
て、シール材110で封止する。
A pixel electrode 105 and a wiring electrode (not shown) are formed on the second substrate 102 by the same process, and the first substrate 101 and the second substrate 102 are separated from each other by a predetermined distance. Seal with a sealant 110.

【0011】さらに第1の基板101と第2の基板10
2との重なった領域で、かつシール材110の内側の部
分には液晶(図示せず)を封入する。
Further, the first substrate 101 and the second substrate 10
A liquid crystal (not shown) is sealed in a region overlapping the area 2 and inside the sealing material 110.

【0012】そして第1の基板101の上に形成する配
線電極103と、駆動IC106の電極部にあらかじめ
形成した接続するための電極である突起電極107と
を、導電接着剤108にて、フェイスダウンボンディン
グを行い、電気的接続と機械的接続を行う。
The wiring electrode 103 formed on the first substrate 101 and the protruding electrode 107 which is a connection electrode formed in advance on the electrode portion of the driving IC 106 are face-down by a conductive adhesive 108. Bonding is performed to make electrical and mechanical connections.

【0013】さらに駆動IC106を含む第1の基板1
01の表面を樹脂109にて樹脂封止し、半田メッキ1
14を施したFPC113を配線電極103に熱圧着法
で接続する。
First substrate 1 further including drive IC 106
01 is resin-sealed with resin 109 and solder plating 1
The FPC 113 subjected to the step 14 is connected to the wiring electrode 103 by a thermocompression bonding method.

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】上記構造は簡便で、高
密度で多端子の接続が可能であり、小型かつ廉価な液晶
表示パネルを提供することが可能と思われる。
SUMMARY OF THE INVENTION It is considered that the above-mentioned structure is simple, can connect many terminals at high density, and can provide a small and inexpensive liquid crystal display panel.

【0015】ところでITOを形成する方法として現状
の真空蒸着法を採用した場合には、次に記すような欠点
がある。すなわち真空蒸着法で形成されたITO膜は比
較的粗で、ピンホールを発生し易い。
When the current vacuum deposition method is employed as a method for forming ITO, there are the following disadvantages. That is, the ITO film formed by the vacuum deposition method is relatively rough, and pinholes are easily generated.

【0016】画素電極104、105上にピンホールが
発生した場合には画素欠陥を招き、また配線電極103
上にピンホール発生した場合には、配線抵抗の増加によ
るクロストークの増大を生じ画質の悪化をもたらし、更
には配線電極103の断線を招いて、ともに歩留まりを
著しく低下させる。
If a pinhole occurs on the pixel electrodes 104 and 105, a pixel defect is caused, and
When a pinhole is generated on the upper side, crosstalk increases due to an increase in wiring resistance, resulting in deterioration of image quality, and furthermore, disconnection of the wiring electrode 103, which significantly lowers the yield.

【0017】配線電極103、画素電極104、105
上のピンホールの発生を防ぐためにITOの膜厚を厚く
することも検討されているが、ITO膜の光透過率の低
下、あるいはITO膜の段差部分が大きくなるために、
液晶の配向が不均一となり、表示品位を下げてしまうな
どの新たな問題が発生し、現実的な解決策とはなってい
ない。
The wiring electrode 103, the pixel electrodes 104 and 105
It has been considered to increase the thickness of the ITO film in order to prevent the occurrence of the upper pinhole. However, since the light transmittance of the ITO film is reduced or the step portion of the ITO film is increased,
The liquid crystal orientation becomes non-uniform, causing new problems such as lowering the display quality, and is not a practical solution.

【0018】一方スパッタリング法、あるいはパイロゾ
ル法で形成されたITO膜は比較的密で、ピンホールは
ごく少ない。
On the other hand, an ITO film formed by a sputtering method or a pyrosol method is relatively dense and has very few pinholes.

【0019】したがって配線電極103、画素電極10
4、105をスパッタリング法、あるいはパイロゾル法
で形成されたITO膜とすれば、画素欠陥、断線などに
よる歩留まりの低下をおさえることができる。
Therefore, the wiring electrode 103 and the pixel electrode 10
If the films 4 and 105 are formed of an ITO film formed by a sputtering method or a pyrosol method, it is possible to suppress a decrease in yield due to pixel defects, disconnection, and the like.

【0020】しかし実際にスパッタリング法あるいはパ
イロゾル法で形成されたITO膜を透明電極層として使
用すると、導電接着剤108を介しての配線電極103
と突起電極107との接続部、あるいは半田メッキ11
4を介しての配線電極103とFPC113との接続部
において、電気的、機械的接続が不安定なものが発生す
る。
However, when an ITO film actually formed by a sputtering method or a pyrosol method is used as a transparent electrode layer, the wiring electrode 103 via the conductive adhesive 108 is used.
Connecting portion with the protruding electrode 107 or solder plating 11
In some cases, electrical and mechanical connections are unstable at the connection between the wiring electrode 103 and the FPC 113 via the wiring 4.

【0021】このような場合、従来から配線電極103
に金メッキを施す方法が用いられていた。実際この従来
方法によれば接続の不安定さはなくなる。しかしこの従
来技術では工程が大幅にのび、コストも大幅に上昇す
る。
In such a case, the conventional wiring electrode 103
Gold plating is used. In fact, according to this conventional method, connection instability is eliminated. However, this conventional technique greatly increases the number of steps and the cost.

【0022】本発明はかかる点を解決するためなされた
ものであり、その目的とするところは、ピンホールの少
ない透明電極を得ると同時に配線電極と他の部材との接
続性向上を図り、電気的および機械的接続が安定でかつ
表示品位の高い液晶表示パネルを提供することにある。
The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to obtain a transparent electrode having a small number of pinholes, and at the same time, to improve the connectivity between a wiring electrode and another member, and An object of the present invention is to provide a liquid crystal display panel having stable display and mechanical connections and high display quality.

【0023】[0023]

【課題を解決するための手段】本発明は従来の問題を解
決するために、透明電極が形成された2枚の透明な基
板を、該透明電極が対向する如く間隙を設けて配設
し、該間隙の周囲をシール材により封止し、該間隙内に
液晶材料を注入して構成される液晶パネルであって
なくとも一方の前記基板に形成された前記透明電極層
は、前記シール材の内側に於いて画素電極を形成すると
ともに、前記シール材の外側に於いて配線電極を形成
し、該配線電極の少なくとも一部に他部材が接続されて
なる液晶パネルに於いて、少なくとも前記配線電極の
記他部材と接続される部分は、少なくとも第1の透明
極層と、第1の透明電極層上方に形成した第2の透明
電極層とよりなる多層構造なし、かつ該第2の透明
極層は、該第1の透明電極層よりも粗な層としたことを
特徴とする。
Means for Solving the Problems The present invention to solve the conventional problems, the two transparent substrates a transparent electrode layer is formed, arranged said transparent electrode layer is provided with a gap as opposed and sealed by a sealing material around the said gap, a liquid crystal panel constructed by a liquid crystal material is injected該間the gap, small
The transparent electrode layer formed on at least one of the substrates
Is to form a pixel electrode inside the sealing material
In both cases, a wiring electrode is formed outside the sealing material.
In a liquid crystal panel in which another member is connected to at least a part of the wiring electrode, at least a part in front of the wiring electrode
Portion connected with serial other member has at least a first transparent conductive <br/> electrode layer, the more becomes the multilayer structure and the second transparent <br/> electrode layer formed on the first transparent electrode layer above without a, and the transparent conductive <br/> electrode layer of the second is characterized by than the first transparent electrode layer was used as a crude layer.

【0024】また、前記他部材が外部回路を接続するた
めのFPCであることを特徴とする。
Further, the other member connects the external circuit.
It is a feature of the FPC .

【0025】また、前記配線電極の前記第2の透明電極
層と前記FPCが、樹脂の中に導電粒を混入した接着剤
で接続されていることを特徴とする。
Further, the said second transparent electrode layer of the wiring electrodes FPC, characterized in that it is connected with an adhesive mixed with the conductive particles in the resin.

【0026】また、前記他部材が半導体集積回路である
ことを特徴とする。
The other member is a semiconductor integrated circuit .

【0027】また、前記配線電極の前記第2の透明電極
層と前記半導体集積回路とが、樹脂の中に導電粒を混入
した接着剤で接続されていることを特徴とする。
Further, the semiconductor device is characterized in that the second transparent electrode layer of the wiring electrode and the semiconductor integrated circuit are connected by an adhesive in which conductive particles are mixed in a resin.

【0028】また、前記第1の透明電極層と前記第2の
透明電極層とが、共に酸化インジューム錫の層よりなる
ことを特徴とする。
Further, the first transparent electrode layer and the second transparent electrode layer
The transparent electrode layer and the transparent electrode layer are both formed of a layer of indium tin oxide.

【0029】また、前記第1の透明電極層は、スパッタ
リング法で形成したことを特徴とする。
Further, the first transparent electrode layer is formed by sputtering.
It is characterized by being formed by a ring method .

【0030】また、前記第2の透明電極層は、真空蒸着
または前記第1の透明電極層と条件の異なるスパッタ
リング法で形成したことを特徴とする。
Further, the second transparent electrode layer may be formed by a vacuum evaporation method or a sputtering method having different conditions from the first transparent electrode layer.
It is characterized by being formed by a ring method .

【0031】また、前記導電接着材がエポキシ樹脂剤に
Ag/Pdよりなる導電粒を混入した構成を成すことを
特徴とする。
Further, the conductive adhesive has a constitution in which conductive particles of Ag / Pd are mixed in an epoxy resin agent.

【0032】[0032]

【0033】[0033]

【0034】[0034]

【0035】[0035]

【0036】[0036]

【0037】[0037]

【作用】真空蒸着法で形成されたITO膜で配線電極を
形成した場合には、前述のような接続不安定な現象は、
見られないものである。このように、真空蒸着法で形成
されたITO膜で配線電極を形成した場合には導電接着
剤を介しての、配線電極と突起電極との接続部、あるい
は半田メッキを介しての配線電極とFPCとの接続部は
電気的機械的に安定している。
When a wiring electrode is formed by an ITO film formed by a vacuum deposition method, the above-mentioned unstable connection phenomenon occurs.
It is not seen. As described above, when the wiring electrode is formed of the ITO film formed by the vacuum evaporation method, the connection portion between the wiring electrode and the protruding electrode via the conductive adhesive or the wiring electrode via the solder plating is formed. The connection with the FPC is electrically and mechanically stable.

【0038】スパッタリング法、あるいはパイロゾル法
で形成されたITO膜により配線電極を形成した場合に
おける、電気的、機械的接続の不安定性の原因を調査し
たところ、次のような状況が判明した。
When the cause of the instability of the electrical and mechanical connection in the case where the wiring electrode was formed by the ITO film formed by the sputtering method or the pyrosol method, the following situation was found.

【0039】すなわちこれらスパッタリング法やパイロ
ゾル法で形成されたITO膜は比較的密であり、その表
面は非常に平滑性が良い。この結果、導電接着剤、半田
などとの接着性が劣り、接続性が低下する。他方、真空
蒸着法によるITO膜は比較的粗であり、その表面は平
滑性が悪い。その結果として導電接着剤、半田などとの
接着性が良く、接続性が向上する。
That is, the ITO film formed by the sputtering method or the pyrosol method is relatively dense, and its surface is very smooth. As a result, the adhesiveness with a conductive adhesive, solder, or the like is poor, and the connectivity is reduced. On the other hand, an ITO film formed by a vacuum deposition method is relatively rough, and its surface has poor smoothness. As a result, the adhesiveness with a conductive adhesive, solder, or the like is good, and the connectivity is improved.

【0040】そこで配線電極をピンホールの少ないIT
O膜からなる第1の透明電極層と、表面が粗く他の部材
との接続性の良いITO膜からなる第2の透明電極層と
からなる多層構造とすれば上記課題が解決できる。
Therefore, the wiring electrode is made of an IT having few pinholes.
The above problem can be solved by forming a multilayer structure including a first transparent electrode layer made of an O film and a second transparent electrode layer made of an ITO film having a rough surface and good connectivity with other members.

【0041】[0041]

【実施例】以下本発明の実施例を図面によって説明する
が、実施態様は従来例に合わせて駆動ICを液晶表示パ
ネルを構成する基板にフェイスダウンボンディングして
なる液晶表示パネルについて行う。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings, but the embodiment will be applied to a liquid crystal display panel in which a driving IC is face-down bonded to a substrate constituting a liquid crystal display panel in accordance with a conventional example.

【0042】図1は本発明の第1の実施例を示す液晶表
示パネルの概略断面図であり、対応する平面図は図3を
兼用する。図1は図3のA−A線における断面を示す。
以下図1を用いて本発明の液晶表示パネルを説明する
が、図は構造のみを示すものであって、寸法などについ
て示すものではない。
FIG. 1 is a schematic sectional view of a liquid crystal display panel according to a first embodiment of the present invention, and the corresponding plan view also shares FIG. FIG. 1 shows a cross section taken along line AA of FIG.
Hereinafter, the liquid crystal display panel of the present invention will be described with reference to FIG. 1. However, the figure shows only the structure, not the dimensions.

【0043】図1に示すように、第1の基板101上全
面にまずスパッタリング法を用いたITO膜による第1
の透明電極層111を設ける。つぎに配線電極103を
形成する部分以外をマスクして、配線電極103を形成
する部分にのみ真空蒸着法を用いたITO膜による第2
の透明電極層112を選択的に設ける。
As shown in FIG. 1, the first surface of the first substrate 101 is first formed of an ITO film using a sputtering method.
Is provided. Next, a portion other than the portion where the wiring electrode 103 is to be formed is masked, and only the portion where the wiring electrode 103 is to be formed is made of a second ITO film using a vacuum deposition method.
Is selectively provided.

【0044】その後フォトレジストをITO膜上全面に
塗布し、所定のパターン形状を持つフォトマスクを介
し、露光、現像、エッチングを行ういわゆるフォトエッ
チング法で画素電極104と配線電極103を形成す
る。
Thereafter, a photoresist is applied over the entire surface of the ITO film, and a pixel electrode 104 and a wiring electrode 103 are formed by a so-called photoetching method of exposing, developing, and etching through a photomask having a predetermined pattern shape.

【0045】その結果、画素電極104はスパッタリン
グ法を用いて設けたITO膜からなる第1の透明電極層
111のみの1層構造となる。これに対して配線電極1
03はスパッタリング法を用いて設けたITOまくから
なる第1の透明電極層111と、真空蒸着法を用いて設
けたITO膜からなる第2の透明電極層112との2層
構造を持つことになる。
As a result, the pixel electrode 104 has a single-layer structure including only the first transparent electrode layer 111 made of an ITO film provided by a sputtering method. On the other hand, the wiring electrode 1
03 has a two-layer structure of a first transparent electrode layer 111 made of ITO sowed using a sputtering method and a second transparent electrode layer 112 made of an ITO film provided using a vacuum evaporation method. Become.

【0046】第2の基板102にも本発明の手段を施す
場合には第1の基板101と同様の工程で、画素電極1
05、配線電極(図示せず)を形成する。
When the means of the present invention is also applied to the second substrate 102, the pixel electrode 1 is subjected to the same process as the first substrate 101.
05, a wiring electrode (not shown) is formed.

【0047】その後、第1の基板101と第2の基板1
02とを所定距離を隔てて画素電極104と画素電極1
05の形成された面を対向させ、周辺をシール材110
で封止する。
After that, the first substrate 101 and the second substrate 1
02 with a predetermined distance from the pixel electrode 104 and the pixel electrode 1
05 are formed facing each other, and the periphery thereof is sealed with a sealing material 110.
Seal with.

【0048】さらに第1の基板101と第2の基板10
2とが重なった領域で、さらにシール材110の内側の
部分には液晶(図示せず)を封入する。
Further, the first substrate 101 and the second substrate 10
A liquid crystal (not shown) is sealed in a region where 2 overlaps and a portion inside the sealing material 110.

【0049】そしてこの第1の基板101上に形成した
配線電極103と、駆動IC106の電極部にあらかじ
め形成した突起電極107とを導電接着剤108にてフ
ェイスダウンボンディングして、電気的機械的接続を取
る。
Then, the wiring electrodes 103 formed on the first substrate 101 and the protruding electrodes 107 formed in advance on the electrode portions of the driving IC 106 are face-down bonded with a conductive adhesive 108 to provide electrical and mechanical connection. I take the.

【0050】さらに駆動IC106を含む第1の基板1
01の表面を樹脂109にて樹脂封止し、またさらに半
田メッキを施したFPC113を配線電極103に熱圧
着法で接続する。
First substrate 1 further including drive IC 106
01 is resin-sealed with a resin 109, and an FPC 113 further subjected to solder plating is connected to the wiring electrode 103 by a thermocompression bonding method.

【0051】図2は本発明の第2の実施例である液晶表
示パネルを示す概略断面図であり、図3のA−A線にお
ける断面を示す。以下図2を用いて本発明の第2の実施
例を説明する。
FIG. 2 is a schematic sectional view showing a liquid crystal display panel according to a second embodiment of the present invention, and shows a section taken along line AA in FIG. Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

【0052】図2に示すように、第1の基板101上の
全面にまずスパッタリング法を用いたITO膜によるの
第1の透明電極層111を設ける。つぎに第1の透明電
極層111の上全面に真空蒸着法を用いたITOによる
第2の透明電極層112を設け2層構造とする。
As shown in FIG. 2, a first transparent electrode layer 111 of an ITO film is formed on the entire surface of the first substrate 101 by using a sputtering method. Next, a second transparent electrode layer 112 of ITO using a vacuum deposition method is provided on the entire surface of the first transparent electrode layer 111 to form a two-layer structure.

【0053】その後フォトレジストをITO膜上全面に
塗布し、所定のパターン形状を持つフォトマスクを介し
露光、現像、エッチングを行ういわゆるフォトエッチン
グ法で画素電極104、配線電極103を形成する。
Thereafter, a photoresist is applied to the entire surface of the ITO film, and a pixel electrode 104 and a wiring electrode 103 are formed by a so-called photo etching method of exposing, developing, and etching through a photo mask having a predetermined pattern shape.

【0054】その結果、画素電極104と配線電極10
3は、ともにスパッタリング法を用いて設けたITO膜
からなる第1の透明電極層111と、真空蒸着法を用い
て設けたITO膜からなる第2の透明電極層112との
2層構造を持つことになる。
As a result, the pixel electrode 104 and the wiring electrode 10
3 has a two-layer structure of a first transparent electrode layer 111 made of an ITO film provided by using a sputtering method and a second transparent electrode layer 112 made of an ITO film provided by using a vacuum deposition method. Will be.

【0055】第2の基板102にも本発明の手段を施す
場合には第1の基板101と同様の工程で、画素電極1
05、配線電極(図示せず)を形成する。
When the means of the present invention is also applied to the second substrate 102, the pixel electrode 1 is subjected to the same process as that for the first substrate 101.
05, a wiring electrode (not shown) is formed.

【0056】その後、第1の基板101と第2の基板1
02とを所定距離を隔てて画素電極104と画素電極1
05の形成された面を対向させ、周辺をシール材110
で封止する。
After that, the first substrate 101 and the second substrate 1
02 with a predetermined distance from the pixel electrode 104 and the pixel electrode 1
05 are formed facing each other, and the periphery thereof is sealed with a sealing material 110.
Seal with.

【0057】さらに第1の基板101と第2の基板10
2とが重なった領域で、さらにシール材110の内側の
部分には液晶(図示せず)を封入する。
Further, the first substrate 101 and the second substrate 10
A liquid crystal (not shown) is sealed in a region where 2 overlaps and a portion inside the sealing material 110.

【0058】そしてこの第1の基板101上に形成した
配線電極103と駆動IC106の電極部にあらかじめ
形成した突起電極107とを導電接着剤108にてフェ
イスダウンボンディングして、電気的機械的接続を取
る。
Then, the wiring electrodes 103 formed on the first substrate 101 and the protruding electrodes 107 formed in advance on the electrode portions of the driving IC 106 are face-down bonded with a conductive adhesive 108 to make electrical and mechanical connections. take.

【0059】さらに駆動IC106を含む第1の基板1
01の表面を樹脂109にて樹脂封止し、またさらに半
田メッキを施したFPC113を配線電極103に熱圧
着法で接続する。
First substrate 1 further including drive IC 106
01 is resin-sealed with a resin 109, and an FPC 113 further subjected to solder plating is connected to the wiring electrode 103 by a thermocompression bonding method.

【0060】この第2の実施例は第2の透明電極層11
2を第1の透明電極層111の上全面に設けている。こ
のため、第1の実施例のように第2の透明電極層112
を選択的に設けるために必要なマスキング手段が不要で
あり、工程が簡略化されるという有利さがある。
In the second embodiment, the second transparent electrode layer 11
2 is provided on the entire upper surface of the first transparent electrode layer 111. For this reason, as in the first embodiment, the second transparent electrode layer 112
There is no need for a masking means necessary for selectively providing a, and the process is advantageously simplified.

【0061】上記2種の実施例では、導電接着剤108
として、導電粒であるAg/Pdの微粉末をエポキシ樹
脂に混入したAg/Pdペーストを使用した。
In the above two embodiments, the conductive adhesive 108
An Ag / Pd paste in which a fine powder of Ag / Pd, which is a conductive particle, was mixed in an epoxy resin was used.

【0062】このAg/Pdペーストからなる導電接着
剤108を基板上にスキージーを用いて広げ、その後駆
動IC106の突起電極107をAg/Pdペーストに
接触させて、突起電極107に導電接着剤108を転写
する。
The conductive adhesive 108 made of the Ag / Pd paste is spread on the substrate using a squeegee, and then the protruding electrode 107 of the drive IC 106 is brought into contact with the Ag / Pd paste, and the conductive adhesive 108 is applied to the protruding electrode 107. Transcribe.

【0063】このスタンプ方式は駆動IC106上に形
成した突起電極107に、均一な量の導電接着剤108
を転写することができる。
In this stamp method, a uniform amount of a conductive adhesive 108 is applied to a protruding electrode 107 formed on a driving IC 106.
Can be transcribed.

【0064】導電接着剤108を転写した突起電極10
7を持つ駆動IC106を、第1の基板101上に形成
した配線電極103の所定の位置にフェイスダウンボン
ディングし、駆動IC106の突起電極107の反対側
から軽く押しつける。
The protruding electrode 10 to which the conductive adhesive 108 has been transferred
7 is face-down bonded to a predetermined position of the wiring electrode 103 formed on the first substrate 101, and lightly pressed from the side of the driving IC 106 opposite to the protruding electrode 107.

【0065】そして導電接着剤108を熱硬化した後、
駆動IC106を含む基板表面を樹脂109にて樹脂封
止する。
After the conductive adhesive 108 is thermally cured,
The surface of the substrate including the drive IC 106 is sealed with a resin 109.

【0066】本実施例で示した構造の液晶表示パネルを
製造したところ、駆動IC106、あるいはFPC11
3との電気的機械的接続が安定し、かつピンホールによ
る画素欠陥、配線電極の断線のない液晶表示パネルが安
定してできた。
When the liquid crystal display panel having the structure shown in this embodiment was manufactured, the driving IC 106 or the FPC 11
Thus, a liquid crystal display panel having stable electrical and mechanical connection with No. 3 and having no pixel defects due to pinholes and no disconnection of wiring electrodes was stably obtained.

【0067】このことは本発明の、配線電極103の表
面には真空蒸着法により形成された比較的表面の粗いI
TO膜を使用し、それ以外の部分はピンホールが少ない
スパッタリング法で形成したITO膜を使用するという
構成の妥当性を示している。
This means that the surface of the wiring electrode 103 of the present invention has a relatively rough surface formed by vacuum evaporation.
The validity of the configuration using a TO film and using an ITO film formed by a sputtering method with few pinholes in other portions is shown.

【0068】上記実施例においては第1の透明電極層1
11および第2の透明電極層112をともにITO膜と
する場合を示したが、酸化錫などのITO膜とは異なる
組成を有する透明導電層で形成しても良い。
In the above embodiment, the first transparent electrode layer 1
Although the case where both the 11th and the second transparent electrode layers 112 are made of ITO films has been shown, they may be formed of a transparent conductive layer such as tin oxide having a composition different from that of the ITO films.

【0069】しかし第1の透明導電層111、第2の透
明電極層112は、同一または類似の組成とする方が工
程上からも望ましく、さらにITO膜は透明電極として
ごく一般的に使用されている材料であるから、新たな設
備も不要であり、第1の透明電極層111および第2の
透明電極層112をともにITO膜とすることが望まし
い。
However, it is desirable that the first transparent conductive layer 111 and the second transparent electrode layer 112 have the same or similar composition from the viewpoint of the process. Further, an ITO film is very commonly used as a transparent electrode. Therefore, new equipment is not required, and it is preferable that both the first transparent electrode layer 111 and the second transparent electrode layer 112 be ITO films.

【0070】また上記実施例では第1の透明電極層11
1をスッパタ法で形成し、第2の透明電極層112を真
空蒸着法で形成した例を示した。
In the above embodiment, the first transparent electrode layer 11
In this example, No. 1 was formed by the sputtering method, and the second transparent electrode layer 112 was formed by the vacuum evaporation method.

【0071】しかし本発明の主旨はピンホールの少ない
第1の透明電極層111と、表面粗さが適度に大きい第
2の透明電極層112とを組み合わせることにより、透
明電極に求められる相異なる特性を得ることであるか
ら、この目的が達成されるのであれば、それぞれの透明
電極層の形成法は何であっても良い。
However, the gist of the present invention is that the combination of the first transparent electrode layer 111 having a small number of pinholes and the second transparent electrode layer 112 having a moderately large surface roughness provides different characteristics required for the transparent electrode. Therefore, any method of forming each transparent electrode layer may be used as long as this object is achieved.

【0072】たとえば第1の透明電極層111を、密な
層を得る形成条件でスパッタリング法で形成し、第2の
透明電極層112を、粗な層を得る形成条件でスパッタ
リング法で形成しても良い。
For example, the first transparent electrode layer 111 is formed by a sputtering method under a condition for forming a dense layer, and the second transparent electrode layer 112 is formed by a sputtering method under a condition for forming a rough layer. Is also good.

【0073】この場合には第1の透明電極層111と第
2の透明電極層112とを、途中で形成条件を変える事
により連続して作成することも可能になる。形成条件と
しては基板温度、酸素分圧、膜形成速度などを制御す
る。
In this case, it is possible to continuously form the first transparent electrode layer 111 and the second transparent electrode layer 112 by changing the forming conditions in the middle. As the formation conditions, a substrate temperature, an oxygen partial pressure, a film formation speed, and the like are controlled.

【0074】しかしながら第2の透明電極層112とし
て、表面の粗い透明電極層を容易に得るためには真空蒸
着法を用いるのが最も簡便である。
However, in order to easily obtain a transparent electrode layer having a rough surface as the second transparent electrode layer 112, it is most simple to use a vacuum evaporation method.

【0075】また少なくとも第1の透明電極層111を
ITO膜で形成する場合には、スパッタリング法による
ものであることが望ましい。
In the case where at least the first transparent electrode layer 111 is formed of an ITO film, it is desirable to use a sputtering method.

【0076】たとえばパイロゾル法で形成されたITO
膜はピンホールは少ないが、比抵抗が比較的高く、配線
電極103、画素電極104、105の電気抵抗値を充
分小さくすることができない。これらの電気抵抗の上昇
は、周知のようにいわゆるクロストークの原因となり、
液晶表示パネルの表示品質を低下させる場合がある。
For example, ITO formed by a pyrosol method
Although the film has few pinholes, the specific resistance is relatively high, and the electric resistance value of the wiring electrode 103 and the pixel electrodes 104 and 105 cannot be sufficiently reduced. As is well known, these rises in electric resistance cause so-called crosstalk,
The display quality of the liquid crystal display panel may be reduced.

【0077】もちろん透明電極層の膜厚を厚くすれば電
気抵抗値は下がるが、光透過率の低下、ITO膜段差部
分での液晶の配向不均一による表示品位の低下を招くこ
とになる。
Of course, if the thickness of the transparent electrode layer is increased, the electric resistance value is reduced, but the light transmittance is lowered and the display quality is lowered due to the non-uniform alignment of the liquid crystal at the step portion of the ITO film.

【0078】この点スパッタリング法で形成されたIT
O膜は比抵抗値を下げることができるため、同じ膜厚の
場合パイロゾル法、真空蒸着法に比べ配線電極103、
画素電極104、105の電気抵抗を下げることがで
き、都合がよい。
The IT formed by this point sputtering method
Since the O film can reduce the specific resistance, the wiring electrode 103,
The electric resistance of the pixel electrodes 104 and 105 can be reduced, which is convenient.

【0079】ところで上記実施例の説明の中でも明らか
なように、本発明の実施は第1の基板101のみに限定
しても良く、この例としてはいわゆるアクティブパネル
のように第2の基板上の配線電極と他の部材との接続条
件が、第1の基板101のそれとは異なる場合が挙げら
れる。
As is clear from the description of the above embodiment, the embodiment of the present invention may be limited to the first substrate 101 only. There may be a case where the connection condition between the wiring electrode and another member is different from that of the first substrate 101.

【0080】さらに本発明は配線電極103と他の部材
との接続において、導電接着剤を用いる方法、および半
田を介在させて熱圧着する方法を用いた場合に有効であ
ることは上述したが、たとえば異方性導電ゴムを圧接す
る方法などの他の接続方法においても有効である。
As described above, the present invention is effective when a method using a conductive adhesive and a method using thermocompression bonding with solder are used in connecting the wiring electrode 103 and other members. For example, the present invention is also effective in other connection methods such as a method in which anisotropic conductive rubber is pressed.

【0081】また本発明は電気的、機械的接続の安定性
を主眼になされたものではあるが、第2の実施例におい
ては第2の透明電極層112を第1の透明電極層111
の上全面に設けるため、シール材110あるいは配向膜
(図示せず)と第2の透明電極層112との密着性も向
上することになる。したがってこのような効果を得るた
め、単に機械的接続性を高める目的のみで用いても良い
ことは当然である。
Although the present invention is focused on the stability of electrical and mechanical connections, in the second embodiment, the second transparent electrode layer 112 is replaced with the first transparent electrode layer 111.
Since it is provided on the entire upper surface, the adhesion between the sealing material 110 or the alignment film (not shown) and the second transparent electrode layer 112 is also improved. Therefore, in order to obtain such an effect, it is obvious that it may be used only for the purpose of enhancing mechanical connectivity.

【0082】なお、第1の透明電極層111と第2の透
明電極層112との間に、これら2つの層の密着性を高
めるなどの目的で他の層を設けたり、あるいは第1の透
明電極層111と第2の透明電極層112の形成を連続
的に行う場合などにおいて、形成条件を徐々に変化さ
せ、2つの層の境界が判然としない場合であっても、部
分的に見た場合本発明の趣旨に合致する、特性の異なる
部分が存在する場合は本発明に含まれるものとする。
Note that another layer may be provided between the first transparent electrode layer 111 and the second transparent electrode layer 112 for the purpose of increasing the adhesion between these two layers, or the first transparent electrode layer 111 may be provided with a first transparent electrode layer. In the case where the electrode layer 111 and the second transparent electrode layer 112 are continuously formed, for example, even when the formation conditions are gradually changed and the boundary between the two layers is not clear, it is partially observed. In the case where there is a part with different characteristics that meets the gist of the present invention, it is included in the present invention.

【0083】ここで本発明の内容を整理すると、第1の
手段は「透明電極の少なくとも一部を、比較的密な第1
の透明電極層と、第1の透明電極層上方に形成した、比
較的粗い表面を有する第2の透明電極層を有する多層構
造とする」ことであり、これにより、ピンホールが少な
く、かつ他の部材との接続性が良い透明配線電極を得る
ことができる。
Here, when the contents of the present invention are arranged, the first means is that at least a part of the transparent electrode is formed by a relatively dense first electrode.
And a multilayer structure having a second transparent electrode layer having a relatively rough surface formed above the first transparent electrode layer. " A transparent wiring electrode having good connectivity with the above member can be obtained.

【0084】さらに第2の手段は「配線電極、画素電極
の両方を、第1の透明電極層と、第1の透明電極層上方
に形成した第2の透明電極層を有する多層構造とする」
ことであり、これにより第1の手段の実施工程を簡略化
することができる。
Further, the second means is that both the wiring electrode and the pixel electrode have a multilayer structure having a first transparent electrode layer and a second transparent electrode layer formed above the first transparent electrode layer.
This makes it possible to simplify the process of implementing the first means.

【0085】第3の手段は、第1または第2の手段とと
もに「第1の透明電極層と前記第2の透明電極層を、と
もに酸化インジューム錫で形成した透明電極層とする」
ことであり、これにより従来の工程、設備を有効に利用
することができる。
The third means is that, together with the first or second means, "the first transparent electrode layer and the second transparent electrode layer are both transparent electrode layers formed of indium tin oxide."
This means that conventional processes and equipment can be effectively used.

【0086】第4の手段は、第1、第2または第3の手
段とともに「第1の透明電極層を、スパッタリング法で
形成した透明電極層とする」ことであり、ピンホールが
少なくかつ電気抵抗が低い第1の透明電極層を容易に得
ることができる。
A fourth means is that the first transparent electrode layer is formed as a transparent electrode layer formed by a sputtering method together with the first, second or third means. The first transparent electrode layer having low resistance can be easily obtained.

【0087】第5の手段は、第1、第2、第3または第
4の手段とともに「第2の透明電極層を、真空蒸着法で
形成した透明電極層とする」ことであり、これにより容
易に表面が粗な第2の透明電極層を得ることができる。
The fifth means is to make the second transparent electrode layer a transparent electrode layer formed by a vacuum evaporation method together with the first, second, third or fourth means. A second transparent electrode layer having a rough surface can be easily obtained.

【0088】第6の手段は、第1、第2、第3、第4ま
たは第5の手段とともに「配線電極上に、駆動ICが、
突起電極を介して導電接着剤にてフェイスダウンボンデ
ィングする」ことであり、これにより、第1ないし第5
の手段の実施効果を高めることができる。
The sixth means is that, together with the first, second, third, fourth, or fifth means, the driving IC is provided on the wiring electrode.
Face-down bonding with a conductive adhesive via a protruding electrode ".
The effect of the means can be enhanced.

【0089】[0089]

【発明の効果】以上の説明で明かなように、本発明によ
れば液晶表示パネルにおいて、少なくとも配線電極を、
比較的密な第1の透明電極層と、その上方に形成した比
較的粗で表面が粗い第2の透明電極層を有する多層構造
とすることで、電気的機械的接続の安定した、画素欠陥
の少ない液晶表示パネルを高い歩留まりで安価に作るこ
とができる。
As is clear from the above description, according to the present invention, at least the wiring electrodes are provided in the liquid crystal display panel.
By forming a multilayer structure having a relatively dense first transparent electrode layer and a relatively coarse and rough surface transparent electrode layer formed above the first transparent electrode layer, pixel defects with stable electrical and mechanical connection can be obtained. A liquid crystal display panel with a small amount can be manufactured at a high yield at a low cost.

【0090】とくに第2の実施例の場合は配線電極と、
画素電極とをまったく同一の構造とするから、単に表面
が粗い透明電極層を1層余分に設けるだけの工程しか増
えない。このような簡便な解決法は従来の金メッキ層、
言い替えれば不透明な層を設ける手段では不可能だった
点であり、本発明が透明電極層の追加という新たな手段
を用いることにより初めて成し得たことである。
Particularly, in the case of the second embodiment, the wiring electrode
Since the pixel electrode and the pixel electrode have exactly the same structure, the number of steps is merely increased by merely providing one extra transparent electrode layer having a rough surface. Such a simple solution is a conventional gold plating layer,
In other words, it is impossible by means of providing an opaque layer, and the present invention can be achieved for the first time by using a new means of adding a transparent electrode layer.

【0091】近年、より高精細な液晶表示パネルが要求
されるにつれ、画素電極、配線電極の電極幅寸法が細く
なり、電気抵抗が増加するとともに、配線電極と他の部
材との接続面積も少なくなり、接続条件が悪くなる傾向
にあるが、本発明はこのような状況にあっても要求に答
得るものである。
In recent years, with the demand for higher definition liquid crystal display panels, the width of the pixel electrodes and wiring electrodes has become smaller, the electrical resistance has increased, and the connection area between the wiring electrodes and other members has been reduced. Thus, the connection condition tends to be worse, but the present invention can respond to the request even in such a situation.

【0092】第1、第2の実施例のように駆動ICを基
板上に設ける手法は高密度実装を可能にし、高精細液晶
表示パネルに最適であるが、配線電極と駆動ICとの端
子の接続はごく小さな面積内で行われるため、接続部分
の安定性はきわめて重要であり、本発明の実施効果がと
くに大きい。
The method of providing a drive IC on a substrate as in the first and second embodiments enables high-density mounting and is most suitable for a high-definition liquid crystal display panel. Since the connection is made within a very small area, the stability of the connection is very important and the effect of the present invention is particularly large.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施例における液晶表示パネル
を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing a liquid crystal display panel according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2の実施例における液晶表示パネル
を示す断面図である。
FIG. 2 is a sectional view showing a liquid crystal display panel according to a second embodiment of the present invention.

【図3】駆動ICを液晶パネルの基板上にフェイスダウ
ンボンディングした液晶表示パネルを示す平面図であ
る。
FIG. 3 is a plan view showing a liquid crystal display panel in which a driving IC is face-down bonded on a substrate of the liquid crystal panel.

【図4】従来の液晶表示パネルを示す断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing a conventional liquid crystal display panel.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101 第1の基板 102 第2の基板 103 配線電極 104 画素電極 105 画素電極 106 駆動IC 111 第1の透明電極層 112 第2の透明電極層 113 FPC 101 first substrate 102 second substrate 103 wiring electrode 104 pixel electrode 105 pixel electrode 106 driving IC 111 first transparent electrode layer 112 second transparent electrode layer 113 FPC

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 透明電極が形成された2枚の透明な基
板を、該透明電極が対向する如く間隙を設けて配設
し、該間隙の周囲をシール材により封止し、該間隙内に
液晶材料を注入して構成される液晶パネルであって
なくとも一方の前記基板に形成された前記透明電極層
は、前記シール材の内側に於いて画素電極を形成すると
ともに、前記シール材の外側に於いて配線電極を形成
し、該配線電極の少なくとも一部に他部材が接続されて
なる液晶パネルに於いて、 少なくとも前記配線電極の前記他部材と接続される部分
、少なくとも第1の透明電極層と、第1の透明電極
層上方に形成した第2の透明電極層とよりなる多層構造
なし、かつ該第2の透明電極層は、該第1の透明電極
層よりも粗な層としたことを特徴とする液晶パネル。
The method according to claim 1] Two transparent substrates a transparent electrode layer is formed, the transparent electrode layer is provided with a gap as opposed disposed seals the periphery of the gap with a sealing material, the gap a liquid crystal panel constructed by a liquid crystal material is injected inside, small
The transparent electrode layer formed on at least one of the substrates
Is to form a pixel electrode inside the sealing material
In both cases, a wiring electrode is formed outside the sealing material.
In a liquid crystal panel in which another member is connected to at least a part of the wiring electrode, at least a portion of the wiring electrode connected to the other member
At least a first transparent electrode layer, the more becomes the multilayer structure and the second transparent electrode layer formed on the first transparent electrode layer above
And none, and transparent electrode layer of said second liquid crystal panel, characterized in that the coarse layer than the first transparent electrode layer.
【請求項2】 前記他部材が外部回路を接続するための
FPCであることを特徴とする請求項1に記載の液晶パ
ネル。
2. The method according to claim 1, wherein the other member is for connecting an external circuit.
The liquid crystal panel according to claim 1, wherein the liquid crystal panel is an FPC .
【請求項3】 前記配線電極の前記第2の透明電極層と
前記FPCが、樹脂の中に導電粒を混入した接着剤で接
続されていることを特徴とする請求項2に記載の液晶パ
ネル。
3. The second transparent electrode layer of the wiring electrode
The liquid crystal panel according to claim 2, wherein the FPC is connected by an adhesive in which conductive particles are mixed in a resin.
【請求項4】 前記他部材が半導体集積回路であること
を特徴とする請求項1に記載の液晶パネル。
4. The liquid crystal panel according to claim 1, wherein said another member is a semiconductor integrated circuit .
【請求項5】 前記配線電極の前記第2の透明電極層と
前記半導体集積回路とが、樹脂の中に導電粒を混入した
接着剤で接続されていることを特徴とする請求項4に記
載の液晶パネル。
5. The semiconductor device according to claim 4, wherein the second transparent electrode layer of the wiring electrode and the semiconductor integrated circuit are connected by an adhesive in which conductive particles are mixed in a resin. LCD panel.
【請求項6】 前記第1の透明電極層と前記第2の透明
電極層とが、共に酸化インジューム錫の層よりなること
を特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一に記載
の液晶パネル。
And wherein said first transparent electrode layer and the second transparent <br/> electrode layer, any of claims 1 to 5 together, characterized in that consists of a layer of indium oxide and tin A liquid crystal panel according to claim 1.
【請求項7】 前記第1の透明電極層は、スパッタリン
グ法で形成したことを特徴とする請求項1乃至請求項6
のいずれか一に記載の液晶パネル。
7. The method according to claim 7, wherein the first transparent electrode layer is formed by sputtering.
Claim, characterized in that formed in the grayed method 1 to claim 6
The liquid crystal panel according to any one of the above.
【請求項8】 前記第2の透明電極層は、真空蒸着法
たは前記第1の透明電極層と条件の異なるスパッタリン
グ法で形成したことを特徴とする請求項1乃至請求項7
のいずれか一に記載の液晶パネル。
Wherein said second transparent electrode layer, a vacuum deposition method or
Or a sputtering method having different conditions from the first transparent electrode layer.
8. The method according to claim 1, wherein the first and second electrodes are formed by a metallization method.
The liquid crystal panel according to any one of the above.
【請求項9】 前記導電接着材がエポキシ樹脂剤にAg
/Pdよりなる導電粒を混入した構成を成すことを特徴
とする請求項3または請求項5に記載の液晶パネル。
9. The method according to claim 1, wherein the conductive adhesive is made of Ag resin.
/ Liquid crystal panel according to claim 3 or claim 5, characterized in that forming the entrained constituting the conductive particle made of Pd.
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