JPH10253991A - Liquid crystal display device - Google Patents

Liquid crystal display device

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JPH10253991A
JPH10253991A JP9060627A JP6062797A JPH10253991A JP H10253991 A JPH10253991 A JP H10253991A JP 9060627 A JP9060627 A JP 9060627A JP 6062797 A JP6062797 A JP 6062797A JP H10253991 A JPH10253991 A JP H10253991A
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JP
Japan
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thickness
liquid crystal
thin film
substrate
crystal display
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JP9060627A
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Japanese (ja)
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Yoshiyuki Hirosue
美幸 広末
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Advanced Display Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the uniformity in thickness of a TFT substrate and to prevent occurrence of a gap unevenness fault by removing at least one between a gate insulation film and an upper part insulation film in a part where the thickness of the TFT substrate is necessary to be more uniform. SOLUTION: Terminals 2 and a first metallic film 5 are formed on a first transparent substrate 4. Further, the gate insulation film 6 is formed excepting the part that a transfer pad 7 is to be formed and its periphery. Then, the transfer pad 7 is formed on the first metallic film 5, and further, a second metallic film 8 is formed on at least a part on the first metallic film 5 and transfer pad 7 for reducing resistance. Finally, an upper part insulation film 9 covering the TFT substrate surface is formed. In such a manner, by partially removing the gate insulation film 6, the thickness of the part being in contact with the seal material 1 of the TFT substrate is uniformized, and as a result, the matter that the gap unevenness fault occurs is prevented.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜トランジスタ
(以下、「TFT」という)が画素電極とともに複数配
列されてなるアクティブ型液晶表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an active liquid crystal display device in which a plurality of thin film transistors (hereinafter, referred to as "TFTs") are arranged together with pixel electrodes.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の液晶表示装置について説明する。
一般的に、液晶表示装置は、薄膜トランジスタ基板(以
下、「TFT基板」という)と、カラーフィルタ基板
と、前記TFT基板および前記カラーフィルタ基板間に
封入される液晶材料とからなる。前記TFT基板は、第
1の透明基板表面に、互いに平行な複数のゲート電極線
と、該複数のゲート電極線を覆うゲート絶縁膜と、前記
複数のゲート電極線に直交する複数のソース電極線と、
前記複数のゲート電極線および前記複数のソース電極線
の各交差部に形成される複数のTFTと、該複数のTF
Tの各ドレイン電極に接続され透明導電膜からなる複数
の画素電極とが形成されてなる。また、前記カラーフィ
ルタ基板は、第2の透明基板表面に、前記複数の画素電
極に対応する3原色からなるカラーフィルタが形成され
たのち、当該第2の透明基板表面上に透明電極が形成さ
れてなる。液晶材料は、TFT基板およびカラーフィル
タ基板が所定の間隔を保ってシール材によって貼り合わ
されたのち、前記TFT基板および前記カラーフィルタ
基板間に封入される。前記シール材は、TFT基板の表
示領域の周囲、すなわちTFT基板の端部付近に設けら
れる。
2. Description of the Related Art A conventional liquid crystal display device will be described.
Generally, a liquid crystal display device includes a thin film transistor substrate (hereinafter, referred to as a “TFT substrate”), a color filter substrate, and a liquid crystal material sealed between the TFT substrate and the color filter substrate. The TFT substrate includes a plurality of gate electrode lines parallel to each other, a gate insulating film covering the plurality of gate electrode lines, and a plurality of source electrode lines orthogonal to the plurality of gate electrode lines, on a first transparent substrate surface. When,
A plurality of TFTs formed at respective intersections of the plurality of gate electrode lines and the plurality of source electrode lines;
A plurality of pixel electrodes made of a transparent conductive film connected to each drain electrode of T are formed. In the color filter substrate, after a color filter composed of three primary colors corresponding to the plurality of pixel electrodes is formed on the surface of the second transparent substrate, a transparent electrode is formed on the surface of the second transparent substrate. It becomes. The liquid crystal material is sealed between the TFT substrate and the color filter substrate after the TFT substrate and the color filter substrate are adhered to each other with a sealant at a predetermined interval. The sealing material is provided around the display area of the TFT substrate, that is, near the end of the TFT substrate.

【0003】前記TFTは、前記複数のゲート電極線の
うちの1つのゲート電極線に接続されるゲート電極と、
該ゲート電極を覆うゲート絶縁膜と、前記ゲート電極上
にゲート絶縁膜を介して形成される半導体層と、該半導
体層上の一部を含む領域に形成されるソース電極および
ドレイン電極とからなる。なお、ソース電極は、前記複
数のソース電極線のうちの1つのソース電極線に接続さ
れ、ドレイン電極は、前記複数の画素電極のうちの1つ
の画素電極に接続される。
The TFT includes a gate electrode connected to one of the plurality of gate electrode lines,
A gate insulating film covering the gate electrode; a semiconductor layer formed over the gate electrode with the gate insulating film interposed therebetween; and a source electrode and a drain electrode formed in a region including part of the semiconductor layer. . The source electrode is connected to one of the plurality of source electrode lines, and the drain electrode is connected to one of the plurality of pixel electrodes.

【0004】図4は、従来の液晶表示装置のTFT基板
の一例を示す部分説明図である。図4には、TFT基板
のうちシール材に接する部分の一部が、シール材ととも
に示されている。図5は、図4に示されるB−B線断面
を示す断面説明図である。図4および図5において、1
はシール材、2は、ゲート電極線を形成する際に用いら
れる金属からなり、ゲート電極線またはソース電極線に
接続される端子、4は絶縁性を有する第1の透明基板、
5は、ゲート電極線を形成する際に同時に形成される第
1の金属膜、6はゲート絶縁膜、7は、画素電極を形成
する際に同時に形成されるトランスファーパッド、8
は、ソース電極線およびドレイン電極を形成する際に同
時に形成される第2の金属膜、9はTFT基板表面を覆
う上部絶縁膜を示す。なお、図4には、第1の透明基板
4、ゲート絶縁膜6および上部絶縁膜9は図示されてい
ない。また、端子2は、液晶表示装置の外部に設けられ
る駆動部からの制御信号をゲート電極線またはソース電
極線に入力するために露出すべき箇所を避けてゲート絶
縁膜6に覆われる。図4には、ゲート絶縁膜6に覆われ
た部分が示されている。前記上部絶縁膜9はトランスフ
ァーパッド7の一部表面上には形成されず、TFT基板
とカラーフィルタ基板とを貼り合わせたのちに、トラン
スファーパッド7の露出した箇所に導電性樹脂を注入す
ることにより、トランスファーパッド7とカラーフィル
タ基板の透明電極とが電気的に接続される。なお、図4
には示されていないが、表示領域はシール材1よりも上
側にある。
FIG. 4 is a partial explanatory view showing an example of a TFT substrate of a conventional liquid crystal display device. FIG. 4 shows a part of a portion of the TFT substrate that is in contact with the sealant together with the sealant. FIG. 5 is an explanatory cross-sectional view showing a cross section taken along line BB shown in FIG. 4 and 5, 1
Is a sealing material, 2 is a metal used for forming a gate electrode line, a terminal connected to the gate electrode line or the source electrode line, 4 is a first transparent substrate having an insulating property,
5 is a first metal film formed at the same time as forming a gate electrode line, 6 is a gate insulating film, 7 is a transfer pad formed at the same time as forming a pixel electrode, 8
Denotes a second metal film formed simultaneously when the source electrode line and the drain electrode are formed, and 9 denotes an upper insulating film covering the surface of the TFT substrate. In FIG. 4, the first transparent substrate 4, the gate insulating film 6, and the upper insulating film 9 are not shown. The terminal 2 is covered with the gate insulating film 6 so as to avoid a portion to be exposed to input a control signal from a driving unit provided outside the liquid crystal display device to the gate electrode line or the source electrode line. FIG. 4 shows a portion covered with the gate insulating film 6. The upper insulating film 9 is not formed on a part of the surface of the transfer pad 7, but is formed by bonding a TFT substrate and a color filter substrate and then injecting a conductive resin into an exposed portion of the transfer pad 7. The transfer pad 7 is electrically connected to the transparent electrode of the color filter substrate. FIG.
, The display area is above the sealing material 1.

【0005】また、前記トランスファーパッド7は、カ
ラーフィルタ基板表面上に形成される透明電極に一定の
電位を与えるために上部絶縁膜9上に設けられる。引き
込み配線を第1の金属膜5および第2の金属膜8とのい
ずれか一方で形成しても引き込み配線の役目は果せる
が、より低抵抗化を実現するために、引き込み配線は第
1の金属膜および第2の金属膜が多重に積層化されてな
る積層構造体とされる。また、ゲート絶縁膜6に形成さ
れたコンタクトホールによって、第1の金属膜5とトラ
ンスファパッド7とは電気的に接続される。トランスフ
ァーパッド7には、引き込み配線を介して液晶表示装置
の外部に設けられる駆動部からの制御信号が入力され
る。
The transfer pad 7 is provided on the upper insulating film 9 in order to apply a constant potential to a transparent electrode formed on the surface of the color filter substrate. Even if the lead-in wiring is formed in either the first metal film 5 or the second metal film 8, the role of the lead-in wiring can be fulfilled, but in order to realize a lower resistance, the lead-in wiring is formed by the first lead. A laminated structure is obtained by laminating a metal film and a second metal film in multiple layers. In addition, the first metal film 5 and the transfer pad 7 are electrically connected by the contact hole formed in the gate insulating film 6. A control signal from a drive unit provided outside the liquid crystal display device is input to the transfer pad 7 via a lead-in line.

【0006】前記積層構造体は、低抵抗化を実現するた
めには必須なものであるが、その反面、TFT基板を部
分的に厚くする。したがって、図5に示されるように、
TFT基板の厚さが、トランスファーパッド7が形成さ
れる部分と、端子2が形成される部分とで異なり、符号
「d2」で示される差が生じる。その結果、TFT基板
とカラーフィルタ基板との間隔が場所によって変化し液
晶表示装置においてギャップムラ不良が生じ、液晶表示
装置の表示特性に悪影響を及ぼすという問題がある。か
かる問題を解決する手段としては、(1)TFT基板の
厚さが薄い部分に形成される膜または層を厚くし、TF
T基板全体の厚さの均一性を向上させること、(2)ト
ランスファーパッドとなる金属性の膜の低抵抗化を図り
積層構造体を不要にすること、または(3)積層構造体
が形成される部分周辺に同様の積層構造体を形成し、T
FT基板全体の厚さの均一性を向上させることの3点が
考えられる。しかし、(1)については、製造工程にお
いて用いられる装置の処理能力の低下を招く。また、
(2)については、新しい材料または新しい製造技術の
開発によって低抵抗化を実現することを必要とするため
容易ではない。さらに、(3)については、液晶表示装
置を駆動させるのに不要な構造体を形成することによ
り、液晶表示装置を製造する際の歩留まりを低下させる
原因となる短絡パターンを形成する可能性を増やすこと
になり望ましくない。
The laminated structure is indispensable for realizing low resistance, but on the other hand, the thickness of the TFT substrate is partially increased. Therefore, as shown in FIG.
The thickness of the TFT substrate is different between the portion where the transfer pad 7 is formed and the portion where the terminal 2 is formed, and a difference indicated by reference numeral “d2” occurs. As a result, the distance between the TFT substrate and the color filter substrate changes depending on the location, causing a gap unevenness defect in the liquid crystal display device, which has a problem of adversely affecting the display characteristics of the liquid crystal display device. Means for solving such a problem include (1) increasing the thickness of the film or layer formed in the thin portion of the TFT substrate so that the TF
To improve the uniformity of the thickness of the entire T substrate, (2) to reduce the resistance of the metallic film serving as the transfer pad and to eliminate the need for a laminated structure, or (3) to form a laminated structure. A similar laminated structure is formed around the
There are three points to improve the uniformity of the thickness of the entire FT substrate. However, regarding (1), the processing capacity of the device used in the manufacturing process is reduced. Also,
(2) is not easy because it is necessary to realize a low resistance by developing a new material or a new manufacturing technique. Further, in the case of (3), by forming a structure unnecessary for driving the liquid crystal display device, the possibility of forming a short-circuit pattern which causes a decrease in yield when manufacturing the liquid crystal display device is increased. This is undesirable.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】従来の液晶表示装置に
おいては、前述のように、TFT基板の厚さの均一性が
低いため液晶表示装置においてギャップムラ不良が生
じ、液晶表示装置の表示特性が低下するという問題があ
る。
As described above, in the conventional liquid crystal display device, gap uniformity occurs in the liquid crystal display device due to the low uniformity of the thickness of the TFT substrate, and the display characteristics of the liquid crystal display device are reduced. There is a problem of lowering.

【0008】本発明はかかる問題を解決し、液晶表示装
置にギャップムラ不良が生じないように、さらに、製造
工程において用いられる装置の処理能力および歩留まり
に対して負荷を与えないような手段によって、TFT基
板の厚さの均一性向上を図ることにある。
The present invention solves the above-mentioned problem, so that the liquid crystal display device does not suffer from gap unevenness, and furthermore, means which does not impose a load on the processing capability and yield of the device used in the manufacturing process. The purpose is to improve the uniformity of the thickness of the TFT substrate.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示装置
は、第1の透明基板表面に、互いに平行な複数のゲート
電極線と、該複数のゲート電極線を覆うゲート絶縁膜
と、前記複数のゲート電極線に直交する複数のソース電
極線と、前記複数のゲート電極線および前記複数のソー
ス電極線の各交差部に形成される複数の薄膜トランジス
タと、該複数の薄膜トランジスタの各ドレイン電極に接
続され透明導電膜からなる複数の画素電極とが形成さ
れ、かつ、表面が上部絶縁膜で覆われてなる薄膜トラン
ジスタ基板、第2の透明基板表面に、前記複数の画素電
極に対応する3原色からなるカラーフィルタが形成され
たのち、当該第2の透明基板表面上に透明電極が形成さ
れてなるカラーフィルタ基板、および前記薄膜トランジ
スタ基板および前記カラーフィルタ基板が所定の間隔を
保ってシール材によって貼り合わされたのち、前記薄膜
トランジスタ基板および前記カラーフィルタ基板間に封
入される液晶材料からなる液晶表示装置であって、前記
薄膜トランジスタ基板のうち、該薄膜トランジスタ基板
の厚さがより均一であることが必要とされる箇所におい
て、前記ゲート絶縁膜および前記上部絶縁膜のうちの少
なくとも1つが除去されることを特徴とする。
According to the present invention, there is provided a liquid crystal display device comprising: a plurality of gate electrode lines parallel to each other; a gate insulating film covering the plurality of gate electrode lines; A plurality of source electrode lines orthogonal to the gate electrode lines, a plurality of thin film transistors formed at each intersection of the plurality of gate electrode lines and the plurality of source electrode lines, and a connection to each drain electrode of the plurality of thin film transistors. A plurality of pixel electrodes made of a transparent conductive film are formed, and the surface is covered with an upper insulating film. A thin film transistor substrate is formed on the surface of the second transparent substrate, and three primary colors corresponding to the plurality of pixel electrodes are formed. After a color filter is formed, a color filter substrate having a transparent electrode formed on the surface of the second transparent substrate, and the thin film transistor substrate and the color filter substrate A liquid crystal display device comprising a liquid crystal material sealed between the thin film transistor substrate and the color filter substrate after a filter substrate is bonded with a sealing material at a predetermined interval, wherein the thin film transistor substrate is Wherein at least one of the gate insulating film and the upper insulating film is removed at locations where the thickness of the gate insulating film needs to be more uniform.

【0010】また、前記薄膜トランジスタ基板の厚さが
より均一であることが必要とされる箇所が、前記薄膜ト
ランジスタ基板とシール材とが接する箇所である。
[0010] Further, a portion where the thickness of the thin film transistor substrate is required to be more uniform is a portion where the thin film transistor substrate and the sealing material are in contact with each other.

【0011】また、前記薄膜トランジスタ基板のシール
材と接する箇所のうち、最も厚い箇所の厚さと最も薄い
箇所の厚さとの差が大きくとも2000Åである。
The difference between the thickness of the thickest portion and the thickness of the thinnest portion among the portions in contact with the sealing material of the thin film transistor substrate is at most 2000 °.

【0012】また、前記ゲート絶縁膜および前記上部絶
縁膜のうちの上部絶縁膜が除去される。
Further, the upper insulating film of the gate insulating film and the upper insulating film is removed.

【0013】また、前記薄膜トランジスタ基板の厚さが
より均一であることが必要とされる箇所が、前記薄膜ト
ランジスタ基板とシール材とが接する箇所であり、前記
薄膜トランジスタ基板のシール材と接する箇所のうち、
最も厚い箇所の厚さと最も薄い箇所の厚さとの差が大き
くとも1000Åである。
Further, a portion where the thickness of the thin film transistor substrate is required to be more uniform is a portion where the thin film transistor substrate and the sealing material are in contact with each other.
The difference between the thickness of the thickest part and the thickness of the thinnest part is at most 1000 °.

【0014】また、前記シール材がエポキシ樹脂からな
る。
Further, the sealing material is made of an epoxy resin.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】つぎに図面を参照しながら本発明
の液晶表示装置について説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, a liquid crystal display of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0016】実施の形態1.図1は、本発明の液晶表示
装置のTFT基板の一実施の形態を示す部分説明図であ
る。図1には、TFT基板のうちシール材に接する部分
の一部が、シール材とともに示されている。図2は、図
1に示されるA−A線断面を示す断面説明図である。図
1および図2において、図4および図5と同一または対
応する部分は同じ符号を用いて示した。図1および図2
に示される層および膜は、TFT基板の表示領域を形成
するための工程に準じて形成される。まず、第1の透明
基板4上に、端子2と第1の金属膜5とが形成される。
さらに、のちにトランスファーパッド7が形成される部
分およびその周辺を除いてゲート絶縁膜6を形成する
(または、端子2および第1の金属膜5とが形成された
第1の透明基板4の全表面に対してゲート絶縁膜6を形
成したのち、のちにトランスファーパッド7が形成され
る部分およびその周辺のゲート絶縁膜6を除去する)。
つぎに、第1の金属膜5上にトランスファーパッド7を
形成し、さらに、低抵抗化のために第1の金属5および
トランスファーパッド7上の少なくとも一部に第2の金
属膜8を形成する。最後に、TFT基板表面を覆う上部
絶縁膜9を形成する。なお、TFT基板とカラーフィル
タ基板とを貼り合わせたのちに、トランスファーパッド
7とカラーフィルタ基板の透明電極とを電気的に接続し
うるように、トランスファーパッド7の一部表面には上
部絶縁膜9は形成されない。
Embodiment 1 FIG. 1 is a partial explanatory view showing one embodiment of the TFT substrate of the liquid crystal display device of the present invention. FIG. 1 shows a part of a portion of the TFT substrate which is in contact with the sealant together with the sealant. FIG. 2 is an explanatory cross-sectional view showing a cross section taken along line AA shown in FIG. 1 and 2, the same or corresponding parts as those in FIGS. 4 and 5 are denoted by the same reference numerals. 1 and 2
Are formed according to a process for forming a display region of a TFT substrate. First, the terminal 2 and the first metal film 5 are formed on the first transparent substrate 4.
Further, the gate insulating film 6 is formed except for a portion where the transfer pad 7 is to be formed and the periphery thereof (or the entirety of the first transparent substrate 4 on which the terminal 2 and the first metal film 5 are formed). After the gate insulating film 6 is formed on the surface, the portion where the transfer pad 7 is to be formed and the peripheral gate insulating film 6 are removed.
Next, a transfer pad 7 is formed on the first metal film 5, and a second metal film 8 is formed on at least a part of the first metal 5 and the transfer pad 7 for lowering resistance. . Finally, an upper insulating film 9 covering the surface of the TFT substrate is formed. After the TFT substrate and the color filter substrate are bonded together, an upper insulating film 9 is formed on a part of the surface of the transfer pad 7 so that the transfer pad 7 and the transparent electrode of the color filter substrate can be electrically connected. Is not formed.

【0017】つぎに本実施の形態の液晶表示装置によっ
てえられる効果について述べる。たとえば、端子2およ
び第1の金属膜5の厚さを4000Å、ゲート絶縁膜6
の厚さを4000Å、トランスファーパッド7の厚さを
1000Å、第2の金属膜8の厚さを5000Å、上部
絶縁膜9の厚さを5000Åと仮定したばあい、TFT
基板のトランスファーパッド7が形成される部分の厚さ
と端子2が形成される部分の厚さの差は、図5に示され
る従来の液晶表示装置のばあい、 d2=(4000+4000+1000+5000+5
000)−(4000+4000+5000)=600
0Å となるのに対し、図2に示される本実施の形態の液晶表
示装置のばあい、 d1=(4000+1000+5000+5000)−
(4000+4000+5000)=2000Å となり、差d2に対し差d1は1/3になる。したがっ
て、前記TFT基板のシール材と接する箇所の厚さがよ
り均一化される。
Next, effects obtained by the liquid crystal display device of the present embodiment will be described. For example, the thickness of the terminal 2 and the first metal film 5 is 4000
Assuming that the thickness of the TFT is 4000 °, the thickness of the transfer pad 7 is 1000 °, the thickness of the second metal film 8 is 5000 °, and the thickness of the upper insulating film 9 is 5000 °, the TFT
The difference between the thickness of the portion where the transfer pad 7 is formed on the substrate and the thickness of the portion where the terminal 2 is formed is d2 = (4000 + 4000 + 1000 + 5000 + 5) in the case of the conventional liquid crystal display device shown in FIG.
000)-(4000 + 4000 + 5000) = 600
In contrast, in the case of the liquid crystal display device of the present embodiment shown in FIG. 2, d1 = (4000 + 1000 + 5000 + 5000) −
(4000 + 4000 + 5000) = 2000 °, and the difference d1 is 1 / of the difference d2. Therefore, the thickness of the portion of the TFT substrate in contact with the sealing material is made more uniform.

【0018】本実施の形態においては、ゲート絶縁膜を
部分的に除去することにより、前記TFT基板のシール
材と接する箇所の厚さを均一化しているが、電気的に問
題がなければ上部絶縁膜を部分的に除去したばあいにお
いても同様の効果がえられる。かかるばあい、前記TF
T基板のシール材と接する箇所のうち、最も厚い箇所の
厚さと最も薄い箇所の厚さとの差を大きくとも1000
Åとすることができる。
In this embodiment, the thickness of the portion of the TFT substrate in contact with the sealing material is made uniform by partially removing the gate insulating film. The same effect can be obtained even when the film is partially removed. In such a case, the TF
The difference between the thickness of the thickest part and the thickness of the thinnest part among the parts in contact with the sealing material of the T substrate is at most 1000.
Å.

【0019】実施の形態2.図3は、本発明の液晶表示
装置のTFT基板の他の実施の形態を示す断面説明図で
ある。図3において、図2と同一または対応する部分は
同じ符号を用いて示した。実施の形態1と本実施の形態
との違いは、実施の形態1では、引き込み配線を第1の
金属膜と第2の金属膜とを用いて形成し、引き込み配線
の膜厚の均一化を図り低抵抗化を実現したのに対し、本
実施の形態では、第1の金属膜(すなわち端子)の膜厚
が第2の金属膜の膜厚に比べて薄いので、引き込み配線
を第2の金属膜のみを用いて形成する点である。
Embodiment 2 FIG. 3 is an explanatory sectional view showing another embodiment of the TFT substrate of the liquid crystal display device of the present invention. 3, the same or corresponding parts as those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals. The difference between the first embodiment and the present embodiment is that in the first embodiment, the lead-in wiring is formed using the first metal film and the second metal film, and the thickness of the lead-in wiring is made uniform. In the present embodiment, the thickness of the first metal film (that is, the terminal) is smaller than the thickness of the second metal film. The point is that it is formed using only a metal film.

【0020】たとえば、端子2の厚さを2000Å、ゲ
ート絶縁膜6の厚さを4000Å、トランスファーパッ
ド7の厚さを1000Å、第2の金属膜8の厚さを50
00Å、上部絶縁膜9の厚さを5000Åと仮定したば
あい、TFT基板のトランスファーパッド7が形成され
る部分の厚さと端子2が形成される部分の厚さの差は、
図5に示される従来の液晶表示装置のばあい、 d2=(4000+1000+5000+5000)−
(2000+4000+5000)=4000Å となるのに対し、図3に示される本実施の形態の液晶表
示装置のばあい、 (トランスファーパッド7が形成される部分の厚さ)−
(端子2が形成される部分の厚さ)=(1000+50
00+5000)−(2000+4000+5000)
=0Å となり、前記TFT基板のシール材と接する箇所の厚さ
は均一化される。
For example, the thickness of the terminal 2 is 2000 mm, the thickness of the gate insulating film 6 is 4000 mm, the thickness of the transfer pad 7 is 1000 mm, and the thickness of the second metal film 8 is 50 mm.
Assuming that the thickness of the upper insulating film 9 is 5000 °, the difference between the thickness of the portion of the TFT substrate where the transfer pad 7 is formed and the thickness of the portion where the terminal 2 is formed is:
In the case of the conventional liquid crystal display device shown in FIG. 5, d2 = (4000 + 1000 + 5000 + 5000)-
(2000 + 4000 + 5000) = 4000 °, whereas in the case of the liquid crystal display device of the present embodiment shown in FIG. 3, (the thickness of the portion where the transfer pad 7 is formed) −
(Thickness of portion where terminal 2 is formed) = (1000 + 50)
00 + 5000)-(2000 + 4000 + 5000)
= 0, and the thickness of the portion of the TFT substrate in contact with the sealing material is made uniform.

【0021】なお、実施の形態1および実施の形態2で
は、いずれもTFT基板のシール材が接する位置につい
て述べたが、電気的に問題がなければ、TFT基板のう
ち該TFT基板の厚さがより均一であることが必要とさ
れる他の箇所に本発明を適用することは可能である。
In the first and second embodiments, the position where the sealing material of the TFT substrate contacts is described. However, if there is no electrical problem, the thickness of the TFT substrate in the TFT substrate is reduced. It is possible to apply the invention elsewhere where more uniformity is required.

【0022】[0022]

【発明の効果】本発明によれば、TFT基板のうち該T
FT基板の厚さがより均一であることが必要とされる箇
所のTFT基板の厚さの均一性を容易に向上させること
ができる。したがって、液晶表示装置においてギャップ
ムラ不良が生じることを防止することができる。
According to the present invention, according to the present invention, the T
It is possible to easily improve the uniformity of the thickness of the TFT substrate in a place where the thickness of the FT substrate needs to be more uniform. Therefore, it is possible to prevent gap unevenness from occurring in the liquid crystal display device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の液晶表示装置のTFT基板の一実施の
形態を示す部分説明図である。
FIG. 1 is a partial explanatory view showing one embodiment of a TFT substrate of a liquid crystal display device of the present invention.

【図2】図1に示されるA−A線断面を示す断面説明図
である。
FIG. 2 is an explanatory sectional view showing a section taken along line AA shown in FIG. 1;

【図3】本発明の液晶表示装置のTFT基板の他の実施
の形態を示す断面説明図である。
FIG. 3 is an explanatory sectional view showing another embodiment of the TFT substrate of the liquid crystal display device of the present invention.

【図4】従来の液晶表示装置のTFT基板の一例を示す
部分説明図である。
FIG. 4 is a partial explanatory view showing an example of a TFT substrate of a conventional liquid crystal display device.

【図5】図4に示されるB−B線断面を示す断面説明図
である。
FIG. 5 is an explanatory sectional view showing a section taken along line BB shown in FIG. 4;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 シール材 2 端子 4 第1の透明基板 5 第1の金属膜 6 ゲート絶縁膜 7 トランスファーパッド 8 第2の金属膜 9 上部絶縁膜 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Seal material 2 Terminal 4 1st transparent substrate 5 1st metal film 6 Gate insulating film 7 Transfer pad 8 2nd metal film 9 Upper insulating film

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1の透明基板表面に、互いに平行な複
数のゲート電極線と、該複数のゲート電極線を覆うゲー
ト絶縁膜と、前記複数のゲート電極線に直交する複数の
ソース電極線と、前記複数のゲート電極線および前記複
数のソース電極線の各交差部に形成される複数の薄膜ト
ランジスタと、該複数の薄膜トランジスタの各ドレイン
電極に接続され透明導電膜からなる複数の画素電極とが
形成され、かつ、表面が上部絶縁膜で覆われてなる薄膜
トランジスタ基板、第2の透明基板表面に、前記複数の
画素電極に対応する3原色からなるカラーフィルタが形
成されたのち、当該第2の透明基板表面上に透明電極が
形成されてなるカラーフィルタ基板、および前記薄膜ト
ランジスタ基板および前記カラーフィルタ基板が所定の
間隔を保ってシール材によって貼り合わされたのち、前
記薄膜トランジスタ基板および前記カラーフィルタ基板
間に封入される液晶材料からなる液晶表示装置であっ
て、前記薄膜トランジスタ基板のうち、該薄膜トランジ
スタ基板の厚さがより均一であることが必要とされる箇
所において、前記ゲート絶縁膜および前記上部絶縁膜の
うちの少なくとも1つが除去されることを特徴とする液
晶表示装置。
1. A plurality of gate electrode lines parallel to each other, a gate insulating film covering the plurality of gate electrode lines, and a plurality of source electrode lines orthogonal to the plurality of gate electrode lines on a surface of a first transparent substrate. And a plurality of thin film transistors formed at each intersection of the plurality of gate electrode lines and the plurality of source electrode lines, and a plurality of pixel electrodes made of a transparent conductive film connected to each drain electrode of the plurality of thin film transistors. A color filter composed of three primary colors corresponding to the plurality of pixel electrodes is formed on a thin film transistor substrate formed and covered with an upper insulating film, and a second transparent substrate. A color filter substrate in which a transparent electrode is formed on the surface of a transparent substrate, and the thin film transistor substrate and the color filter substrate are sealed at a predetermined interval. A liquid crystal display device comprising a liquid crystal material sealed between the thin film transistor substrate and the color filter substrate after being bonded by a material, wherein the thickness of the thin film transistor substrate among the thin film transistor substrates is more uniform. A liquid crystal display device, wherein at least one of the gate insulating film and the upper insulating film is removed where necessary.
【請求項2】 前記薄膜トランジスタ基板の厚さがより
均一であることが必要とされる箇所が、前記薄膜トラン
ジスタ基板とシール材とが接する箇所である請求項1記
載の液晶表示装置。
2. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the portion where the thickness of the thin film transistor substrate is required to be more uniform is a portion where the thin film transistor substrate and the sealing material are in contact with each other.
【請求項3】 前記薄膜トランジスタ基板のシール材と
接する箇所のうち、最も厚い箇所の厚さと最も薄い箇所
の厚さとの差が大きくとも2000Åである請求項2記
載の液晶表示装置。
3. The liquid crystal display device according to claim 2, wherein a difference between a thickness of the thickest portion and a thickness of the thinnest portion among the portions in contact with the sealing material of the thin film transistor substrate is at most 2000 °.
【請求項4】 前記ゲート絶縁膜および前記上部絶縁膜
のうちの上部絶縁膜が除去される請求項1記載の液晶表
示装置。
4. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein an upper insulating film of said gate insulating film and said upper insulating film is removed.
【請求項5】 前記薄膜トランジスタ基板の厚さがより
均一であることが必要とされる箇所が、前記薄膜トラン
ジスタ基板とシール材とが接する箇所であり、前記薄膜
トランジスタ基板のシール材と接する箇所のうち、最も
厚い箇所の厚さと最も薄い箇所の厚さとの差が大きくと
も1000Åである請求項4記載の液晶表示装置。
5. A portion where the thickness of the thin film transistor substrate is required to be more uniform is a portion where the thin film transistor substrate and the sealing material are in contact, and among the portions where the thin film transistor substrate is in contact with the sealing material, 5. The liquid crystal display device according to claim 4, wherein the difference between the thickness of the thickest portion and the thickness of the thinnest portion is at most 1000 [deg.].
【請求項6】 前記シール材がエポキシ樹脂からなる請
求項1記載の液晶表示装置。
6. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the sealing material is made of an epoxy resin.
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