JP3251368B2 - 質量流量計 - Google Patents

質量流量計

Info

Publication number
JP3251368B2
JP3251368B2 JP05020593A JP5020593A JP3251368B2 JP 3251368 B2 JP3251368 B2 JP 3251368B2 JP 05020593 A JP05020593 A JP 05020593A JP 5020593 A JP5020593 A JP 5020593A JP 3251368 B2 JP3251368 B2 JP 3251368B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measuring tube
tube
measurement
outer cylinder
measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP05020593A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH06241857A (ja
Inventor
雄一 中尾
武博 畑仲
哲也 川田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oval Corp
Original Assignee
Oval Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oval Corp filed Critical Oval Corp
Priority to JP05020593A priority Critical patent/JP3251368B2/ja
Publication of JPH06241857A publication Critical patent/JPH06241857A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3251368B2 publication Critical patent/JP3251368B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【技術分野】本発明は、質量流量計に関し、より詳細に
は、断面が半径方向に多次元モードで振動する測定管内
を流れる流体が該測定管から与えられる流体振動のコリ
オリ力に基づいて測定管に変位を与える変位量から質量
流量を求める直管式の質量流量計に関する。
【0002】
【従来技術】最近、直接質量流量計としてコリオリの力
を利用したコリオリ流量計が多用されている。コリオリ
流量計は単位質量mで流速Vで流れる流体に角速度ωの
振動を与えたとき角速度ωと速度Vのベクトル積に比例
したコリオリの力が発生することを利用した質量流量計
である。従来、多用されているコリオリ流量計は、所定
の区間を挟んで2点で支持する測定管と、該測定管の中
央部で、測定管軸と直角方向に加振する駆動部と、該加
振部を挟んだ測定管の対称位置で、コリオリの力に基づ
く測定管の変位量の差を求める一対の変位センサと、該
変位センサ出力の差信号から質量流量を検知する質量流
量変換器とから構成されている。
【0003】このような、従来形式の質量流量計は、発
生するコリオリの力は非常に小さく、これに基づく測定
管の変位量も小さいので外部振動影響を受け易かった。
このため、コリオリの力に基づく変位量が大きくなるよ
うな測定管の形状や測定管の支持方式あるいは検出回路
等に関し、従来多くの提案がなされた。
【0004】また、測定管の形状を高感度でコリオリの
力を検出できるようにすると管路長が長くなり圧損が大
きくなるだけでなく大形になるという欠点があり、更に
は、測定管の振動は測定管自体の重心移動を伴ない、こ
れが測定管から外部配管への振動発生源になる等の欠点
があった。
【0005】特開平1−259221号公報において
は、上述の節点まわりに測定管全体を駆動するコリオリ
質量流量計の欠点を解決するために、測定管の横断面
を、相互に直径を挟んで相対する管壁部分が相互に反対
又は同じ方向に流体の流れの方向を横断するように、周
期的に変形させることにより、コリオリの力による測定
管の流入側と流出側との変位間の位相ずれから質量流量
を求める流量測定方法が開示された。
【0006】しかし、上述の特開平1−259221号
公報に開示された流量測定方法における測定管は、測定
流体が流れる両端固定された一本の管体であった。この
ような測定管に測定流体が流れた場合、測定管は、測定
流体の圧力変化に従って、弾性変形を伴なう。この弾性
変形は、コリオリの力に基づく流管壁の変位量の変化を
もたらし、変位センサ間の位相ずれ信号に測定流体の圧
力依存性が生ずる。すなわち、計測された質量流量が流
体圧力により変化するという問題点がある。
【0007】また、圧力影響を小さくするため測定管を
厚肉にすることが考えられるが、厚肉な測定管では管壁
を駆動するための駆動エネルギが増加しても検出感度が
小さくなる。更には、両端固定された測定管では固定端
における反力のため薄肉な測定管にしても駆動エネルギ
が大きくなり、エネルギ効率のよい測定は不可能であ
る。
【0008】
【目的】本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもの
で、小さい駆動エネルギでも高感度で測定流体の圧力影
響を受けない小形な質量流量計を提供することを目的と
する。
【0009】
【構成】本発明は、上記目的を達成するために、(1)
両端が測定流体の流れる流管に接続される外筒と、該外
筒より小径で測定流体が流れる薄肉な測定管と、該測定
管を前記外筒に同軸で該測定管内外の静圧が等しく該測
定管と外筒との間で流れがないように支持する支持手段
と、前記外筒中央部に配設され、前記測定管が断面半径
方向に多次元モードで変形するように該測定管を駆動す
る駆動手段と、前記外筒の前記駆動手段の対象位置に配
設され前記測定管の変位を検出する一対の変位センサ
と、測定流体が流れる前記測定管が駆動されたとき前記
一対の変位センサから出力されるコリオリの力に基づく
位相差信号から質量流量を検知する質量流量測定手段と
からなり、前記支持手段は、前記測定管の流入側端部に
おいて前記外筒に固着する流入側支持部と、該測定管の
流出側端部において該測定管と前記外筒との間に測定流
体を連通する連通孔を有し、軸方向にのみ移動可能に支
持するばね材からなる流出側支持部とで構成したこと、
更には、()前記(1)において、測定管の少なくと
も一部を磁性材とし、該測定管を電磁駆動することを特
徴とするものである。以下、本発明の実施例に基づいて
説明する。
【0010】図1は、本発明における質量流量計の一例
を説明するための縦断面図で、図中、1は外筒、2はフ
ランジ、3は測定管、4は流入側固定フランジ、5は流
出側支持フランジ、6は導圧孔、7a,7bは加振器、
8,9は変位センサ、10は環状室、11,12は外部
流管である。
【0011】図1において外筒1は厚肉の円筒体で、両
端面に測定流体が流れる外部流管11,12と接続する
フランジ2−2を有している。該外筒1内には、薄肉管
からなる測定管3が配設されている。該測定管3は、外
筒1に対し流入側固定フランジ4と流出側支持フランジ
5とで同軸に固着されている。特に、流入側固定フラン
ジ4は、流入側に絞り面4bと絞り面4b外周に鍔部4
aを有し、フランジ2の環状凹部2a内にボルト等で固
着される。測定管3を外筒1内に嵌挿するため流出側支
持フランジ5の外径は外筒1の内径より僅かに小さく選
んでいる。しかし、流出側支持フランジ5は後述する管
壁の変位検出精度を高めるために半径方向には移動でき
ないように外筒1内で固定されるように支持される必要
がある。
【0012】後流側支持フランジ5には、測定管3の軸
方向に少くとも1個の導圧孔6が貫通しており、外筒1
と測定管3とで形成される環状室10と測定管3内を流
れる流体とは同じ静圧が保たれている。このため、測定
管3は肉厚が薄いものでも測定流体の圧力の大きさによ
り変形することはない。
【0013】また、外筒1の測定管3に対する中間位置
に測定管3を半径方向に加振する加振器7a,7bが対
向して配設され、一方の加振器7aを挟んだ外筒1の対
称位置に変位センサ8,9が取り付けられている。加振
器7a,7bは発振器(図示せず)により駆動される。
例えば、電磁コイルからなる。この場合、測定管3は磁
性材(例えば、ニッケルスパンC等の不銹鋼)又は非磁
性管に対し電磁力の及ぶ箇所にのみ磁性材が固着され
る。
【0014】更に、外筒1の管壁には、測定管3の管壁
の変位を測定するため一対の変位センサ8,9が加振器
7aに関する対称位置に配設される。変位センサ8,9
は同一のもので、例えば、磁性体を芯としたコイルと該
コイルと対向して測定管3の管壁に取り付けられた磁石
8a,9aとからなり管壁変位に応じたコイルのリアク
タンス変化から信号を取り出す。また、光学的又は、静
電的に検出することも可能である。
【0015】次に、図1に基づいて動作を説明する。ま
ず、以上のように構成された質量流量計内に測定流体が
流管11から矢印Flow方向に流入すると、測定流体
は導圧孔6から環状室10内にも導入され、測定管3の
内外の静圧は等しくなる。このため測定管3は薄肉管で
も変形することはない。
【0016】図2(a),(b)は、流れのないときの
測定管断面半径方向の振動を説明するための図で、
(a)図と(b)図とは位相が180°異なる場合のも
ので2次の振動モードのフープ振動モードのものであ
る。このとき、加振器7a,7bは共通の発振器により
同位相の共振周波数で駆動される。(a),(b)図
は、共に変位センサ8の位置Aにおける振動を示すもの
であり、同様に加振器7aの位置B、変位センサ9の位
置Cの位置における振動はB,Cで示した振動を示す。
これらの2次のフープ振動モードでは点線で示した測定
管の円形静止断面に対して4ケ所の節部Nで交わる楕円
状の振動が生ずる。
【0017】図3(a),(b)は、流れのある場合の
コリオリの力を説明するための図で、(a)図は位相が
0,2πのとき、(b)図はπのときのものである。
【0018】図1において測定流体が矢印の方向に流
れ、測定管が(a)図の位相が0,2πのY−Y方向に
長軸を有する楕円状になる場合は、流入側フランジ4側
で等流速分布の正規流れの測定流体は、測定管3の長軸
Y−Y方向への変形のため測定流体も、この変形に従っ
た半径方向のベクトル方向に流れる。同様に短軸X−X
軸方向では中心軸方向のベクトルをもった流れが生ず
る。このため、外向の力をプラス内向きの力をマイナス
とすると、コリオリの力は、上記ベクトルを打ち消す方
向の力、すなわち長軸Y−Yでは中心軸方向の力(−F
y)、短軸X−Xでは半径方向の力(+Fx)が生ず
る。
【0019】反対に、C位置の下流側では測定流体の流
れは楕円状の流れから正規分布の流れに戻されるので、
コリオリの力は長軸方向で上流側とは反対方向の力が生
ずる。すなわち、長軸方向のY−Y軸方向(+Fy)、
短軸X−X軸方向で(−Fx)の力が生じ、測定管3の
管壁は、Y−Y軸方向で(±Fy)に比例した変位が生
ずる。
【0020】(b)図の位相がπの場合、A位置では測
定管3はX−X軸方向に長軸を有する横長の楕円形状と
なる。このとき、測定管3の上流側に作用するコリオリ
の力は、正規流れから横長の楕円流れを打ち消す方向の
力である。Y−Y軸では(+Fy)、X−X軸では(+
Fx)である。反対に測定管3の下流に作用するコリオ
リの力は、Y−Y軸では(−Fy)、X−Xでは(+F
x)である。
【0021】上述のコリオリの力による測定管3の管壁
の変位は、変位センサ8,9で計測され、このときの質
量流量は、変位センサ8と9との差信号に比例した量と
して求められる。
【0022】図4(a),(b)は、本発明に係る測定
管後流端支持部を説明するための図であり、(a)図は
部分縦断面図、(b)図は後流測からみた図で、図中、
13は支持ばねで、図1と同じ作用をする部分には図1
と同一の参照番号を付している。
【0023】図4に示した測定管後流端支持部は、測定
管3の後流端を半径方向に変位することなく、軸方向の
みに移動可能に支持するためのものである。後流端3a
は、図1に示した後流測支持フランジ2の外周部を削除
した部分であり外筒1に接することのない間隙を与え
る。
【0024】支持ばね13は、測定管3の後流端3aを
外筒1に支持させるためのもので測定流体を環状室10
に流通させるための透孔13aと測定管3の内面積と等
しい透孔13bを有し支持ばね部13cで支持する。支
持ばね13は透孔13bを測定管3の流路面と合せて電
子ビーム等により固着し、外筒1とはフランジ2の接合
面に形成された環状凹部2b内に嵌挿しビス孔13dに
おいてビス等で固着する。
【0025】外筒1に対し測定管3の両端を固定した場
合、外筒1と測定管3とは材質の相異による熱膨張差の
ため薄肉の測定管3に対して圧縮応力が作用しフープ振
動の共振周波数が変化する。支持ばね13は、矢印S方
向に変位し熱膨張差を吸収し、測定管3が半径方向に移
動しないようにする。
【0026】なお、以上、フープ振動の振動モードを2
次として説明したが、2以上の多次の振動モードの場合
も同様に利用できる。
【0027】
【効果】以上の説明から明らかなように、本発明による
と、以下のような効果がある。 (1)外筒内に測定管を流入側で完全固着し後流側で外
筒とで形成される環状室内に測定流体が流入する透孔を
有して支持したので、測定管が配管ストレスや測定流体
の圧力の変化によるストレスを受けることがないので薄
肉管であってもよく、薄肉測定管では駆動エネルギが小
さくてもコリオリ力による管壁の変位が大きくとれるの
で、高感度とすることができる。更には、測定管の外径
は外筒内径との差異がない程度に大口径とした方が高感
度とすることができるから大口径で圧損が小さく小形な
質量流量計とすることができる。 (2)測定管の支持方式として流入側を完全固定し、後
流側を軸方向に移動可能で半径方向に剛性を高く支持し
たので熱膨張の影響を受けることなく安定して測定でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明における質量流量計の一例を説明する
ための縦断面図である。
【図2】 流れのないときの測定管断面半径方向の振動
を説明するための図である。
【図3】 流れのある場合のコリオリの力を説明するた
めの図である。
【図4】 本発明に係る測定管後流端支持部を説明する
ための図である。
【符号の説明】
1…外筒、2…フランジ、3…測定管、4…流入側固定
フランジ、5…流出側支持フランジ、6…導圧孔、7
a,7b…加振器、8,9…変位センサ、10…環状
室、11,12…外部流管、13…支持ばね。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−174515(JP,A) 特開 昭63−158419(JP,A) 特開 平1−259221(JP,A) 米国特許4420983(US,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01F 1/84

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 両端が測定流体の流れる流管に接続され
    る外筒と、該外筒より小径で測定流体が流れる薄肉な測
    定管と、該測定管を前記外筒に同軸で該測定管内外の静
    圧が等しく該測定管と外筒との間で流れがないように支
    持する支持手段と、前記外筒中央部に配設され、前記測
    定管が断面半径方向に多次元モードで変形するように該
    測定管を駆動する駆動手段と、前記外筒の前記駆動手段
    の対象位置に配設され前記測定管の変位を検出する一対
    の変位センサと、測定流体が流れる前記測定管が駆動さ
    れたとき前記一対の変位センサから出力されるコリオリ
    の力に基づく位相差信号から質量流量を検知する質量流
    量測定手段とからなり、前記支持手段は、前記測定管の
    流入側端部において前記外筒に固着する流入側支持部
    と、該測定管の流出側端部において該測定管と前記外筒
    との間に測定流体を連通する連通孔を有し、前記測定管
    を軸方向にのみ移動可能に支持するばね材からなる流出
    側支持部とで構成したことを特徴とする質量流量計。
  2. 【請求項2】 測定管の少なくとも一部を磁性材とし、
    該測定管を電磁駆動することを特徴とする請求項1に
    載の質量流量計。
JP05020593A 1993-02-15 1993-02-15 質量流量計 Expired - Fee Related JP3251368B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP05020593A JP3251368B2 (ja) 1993-02-15 1993-02-15 質量流量計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP05020593A JP3251368B2 (ja) 1993-02-15 1993-02-15 質量流量計

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06241857A JPH06241857A (ja) 1994-09-02
JP3251368B2 true JP3251368B2 (ja) 2002-01-28

Family

ID=12852615

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP05020593A Expired - Fee Related JP3251368B2 (ja) 1993-02-15 1993-02-15 質量流量計

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3251368B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19601349A1 (de) * 1996-01-17 1997-07-24 Danfoss As Durchflußmesser für kleine Mengen
CN106482779B (zh) * 2016-02-22 2019-09-06 浙江罗托克执行器股份有限公司 一种使用传感器采集管道介质参数的法兰集成装置
CN118482786A (zh) * 2018-11-09 2024-08-13 高准有限公司 传感器装置及包括该传感器装置的科里奥利质量流量计

Also Published As

Publication number Publication date
JPH06241857A (ja) 1994-09-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3249133B2 (ja) 質量流量計
EP0867694B1 (en) Coriolis mass flow rate meter
US5945609A (en) Mass flowmeter for measuring flow rate of a fluid
JP2758798B2 (ja) コリオリ流量計
WO1988008517A1 (en) Fluid measurement apparatus providing flow tube strain relief
US6164140A (en) Solid state transducer for Coriolis flowmeter
CN107810391B (zh) 科里奥利质量流量和/或密度测量设备
US6477902B1 (en) Coriolis mass flowmeter
EP0381302B1 (en) Measuring mass flow rates of fluid flows
JP3251368B2 (ja) 質量流量計
US5060523A (en) Vibrating looped conduit mass flowmeter
JP3096181B2 (ja) コリオリ流量計
JPH0396818A (ja) 流量測定方法とその装置
JP2786829B2 (ja) コリオリ流量計
JP2786812B2 (ja) コリオリ流量計
JP2977114B2 (ja) コリオリ流量計
JPH11230804A (ja) コリオリ流量計
JPH0688740A (ja) コリオリ質量流量計
JP3555652B2 (ja) コリオリ質量流量計
JP3582949B2 (ja) コリオリ流量計
JP3834144B2 (ja) カウンタバランスチューブ式コリオリ流量計
JPH10232155A (ja) 振動式測定装置
JP2984134B2 (ja) コリオリ流量計
JP3224442B2 (ja) コリオリ流量計
JPH05215584A (ja) 振動式測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081116

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081116

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091116

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091116

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101116

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111116

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111116

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121116

Year of fee payment: 11

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees