JP3251008B2 - 気体渦流発生機 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明気体渦流発生機を以下の項目に従って詳細に説
明する。

A.産業上の利用分野 B.発明の概要 C.従来技術 D.発明が解決しようとする課題 E.課題を解決するための手段 F.実施例［第１図乃至第５図］ a.構造［第１図乃至第３図］ ａ−1.ノズルハーフ ａ−2.カップリング等 b.渦流及び負圧の発生［第２図］ c.変形例［第４図、第５図］ G.使用例［第６図、第７図］ a.第１の使用例［第６図］ b.第２の使用例［第７図］ H.発明の効果 （A.産業上の利用分野） 本発明は新規な気体渦流発生機に関する。詳しくは、
気体流路を為す管体の内部に螺旋状の旋回性を有して流
れる気体渦流を発生させる気体渦流発生機、特に、管体
の内部に高圧空気を供給することによって管体内部に気
体渦流を発生させると共にそれに伴なって管体の上流側
に負圧を発生させる気体渦流発生機に関するものであ
り、比較的簡単な構造でありながら、気体渦流と負圧を
良好に発生させることができ、しかも、各部の加工や条
件設定等を容易に行なうことができる新規な気体渦流発
生機を提供しようとするものである。

（B.発明の概要） 本発明気体渦流発生機は、軸方向で２分された２つの
筒状部材を互いに接合することで気体流路を形成する管
体が構成され、一方の接合面を円錐状凸面に形成すると
共に、他方の接合面を円錐状凹面に形成し、２つの筒状
部材を接合すると、円錐状凸面又は円錐状凹面に形成さ
れた筒状部材の外周面から内周面に達するまで延びる直
線状の凹溝が管体の軸心に対して傾いた方向に延びかつ
軸心を外れた位置を指向する直線状をした高圧空気流入
路を形成し、高圧空気流入路を通ることにより絞り込ま
れた状態で管体内に供給された高圧空気が管体の内周面
に当たることによって螺旋状の旋回性を与えられて気体
渦流になり管体内を流れるようにしたことによって構造
が比較的簡単であるにもかかわらず、容易に渦流を発生
させると共に、管体内の高圧空気流入路より上流側にお
いて負圧を発生させることができ、しかも、高圧空気流
入路等各部の加工も容易であり、また、渦流の流速や流
量等を制御する条件の設定を容易に行なうことができ
る。

（C.従来技術） 管体内に螺旋状の旋回性を有して流れる気体渦流を発
生させる方式には従来から幾つかあるが、回転翼等の機
械的動作を伴なう手段を使用しないで気体渦流を発生さ
せるものとしては、例えば、特開昭62−251075号公報に
記載されたものがある。

この公報に記載された気体渦流発生機は、気体流路を
為す管体の内壁の一部を略テーパ管状に形成し、該テー
パ管状を為す部分の大径側端部にその周方向へ環状に延
びるスリットを形成し、このスリットを通して高圧空気
を供給すると、管体の軸方向に流れる流体のベクトルに
横方向からのベクトルを加えることとなり管体内面に近
い部分に流体の境界層が形成され、流体は管体の軸方向
に高速で進行して気体渦流が発生するというものであ
る。

（D.発明が解決しようとする課題） 上記した従来の気体渦流を発生させる方式にあって
は、管体のテーパ管状を為す部分の軸に対する傾きの設
定に極めて微妙なものが要求され、従って、設計や加工
が難しく、また、気体渦流の流速や流量の設定等も難し
くなるという問題があった。

（E.課題を解決するための手段） そこで、本発明気体渦流発生機は、上記課題を解決す
るために、軸方向で２分された２つの筒状部材を互いに
接合することで気体流路を形成する管体が構成され、一
方の接合面を円錐状凸面に形成すると共に、他方の接合
面を円錐状凹面に形成し、２つの筒状部材を接合する
と、円錐状凸面又は円錐状凹面に形成された筒状部材の
外周面から内周面に達するまで延びる直線状の凹溝が管
体の軸心に対して傾いた方向に延びかつ軸心を外れた位
置を指向する直線状をした高圧空気流入路を形成し、高
圧空気流入路を通ることにより絞り込まれた状態で管体
内に供給された高圧空気が管体の内周面に当たることに
よって螺旋状の旋回性を与えられて気体渦流になり管体
内を流れるようにしたものである。

従って、本発明気体渦流発生機にあっては、高圧空気
の管体内への流入は該管体の軸方向へのベクトル成分と
軸方向と交差する方向へのベクトル成分を有しているの
で、該高圧空気は管体の内周面に当ったところから螺旋
状の旋回性を与えられ、それが気体渦流となって管体内
を流れ、また、そのような高圧な空気流により高圧空気
流入路より上流側においては負圧が発生する。そして、
気体渦流の流速や流量及び負圧の強さ等は高圧空気流入
路の管体の軸心に対する傾きや横断面の大きさ等によっ
て規定されるが、これら傾きや横断面の大きさ等の設定
は比較的容易であり、かつ、設定された条件での高圧空
気流入路の加工も容易であるため、所要の流速や流量及
び負圧の強さを伴なう気体渦流を容易に発生させること
ができる。

（F.実施例）［第１図乃至第５図］ 以下に、本発明気体渦流発生機の詳細を図示した実施
例に従って説明する。

（a.構造）［第１図乃至第３図］ １は気体渦流発生機であり、気体流路を為す管体を構
成する２つのノズルハーフと該２つのノズルハーフを互
いに連結するためのカップリングとから成る。

（ａ−1.ノズルハーフ） ２及び３はノズルハーフ（以下、一方のノズルハーフ
２を「後側ノズルハーフ」と言い、他方のノズルハーフ
３を「前側ノズルハーフ」と言う。）である。

尚、第１図における右斜め下方へ向う方向を前側と
し、左斜め上方へ向う方向を後側とする。また、同図に
おける上方へ向う方向を上側とし、下方へ向う方向を下
側とする。以下の説明において向きを示すときはこの方
向によるものとする。

後側ノズルハーフ２は、略円筒状をした管部４と、該
管部４軸方向における中間の位置より稍前方の位置から
前端より稍後端寄りの位置に至る部分に外方に突出され
た螺合部５とが一体に形成されている。管部４の外周面
６のうち螺合部５より前端側の部分6a（以下、「円錐状
凸面」と言う。）はその前端が管部４の孔７の内周面7a
に達する円錐状斜面を為すように形成され、また、螺合
部５の外周面には螺溝5aが形成され、更に、螺合部５の
前端面5bは後側ノズルハーフ２の軸と直交する平坦な面
をしている。

尚、上記円錐状凸面6aの管部４の軸心に対する傾き角
は略30゜にされている。

８、８は円錐状凸面6aから螺合部５にかけて形成され
た凹溝であり、該凹溝８、８は上下方向から見て管部４
の軸心ｏ−ｏに対して平行に延び、また、その軸心ｏ−
ｏから外れた位置、即ち、軸心ｏ−ｏと該軸心ｏ−ｏか
ら水平方向に離間した孔７の内周面7aとの間の位置を指
向するように、その溝底面が円錐状凸面6aに対して平行
になるように形成されていて、その前端は孔７の内周面
7aに達し、後端は螺合部５の前後方向における略中間の
位置まで達している。従って、凹溝８、８は螺合部５の
外周面とその前端面5b及び円錐状凸面6aに開口されてい
る。また、２つの凹溝８、８は後方から見て軸心ｏ−ｏ
を挟んで互いに点対称を為す位置関係で配列されてい
る。

前側ノズルハーフ３はその全体が略円筒状を為し、そ
の外径は後端部９において最も大きく、該後端部９と略
中間の位置との間の部分10（以下、「中間部」と言
う。）においては後端部９より稍小さく、中間部10より
も前側の部分11（以下、「連結部」と言う。）において
は中間部10より小さくなっており、従って、連結部11と
中間部10との間には前方を向いた段差面12が形成されて
いる。

また、前側ノズルハーフ３の後端部９の外径は後側ノ
ズルハーフ２の螺合部５の外径より小さくされている。

13は前側ノズルハーフ３の孔であり、該孔13はその後
端部の内周面13a（以下、「円錐状凹面」と言う。）が
後側ノズルハーフ２の円錐状凸面6aと相補関係を有する
円錐状斜面を為すように形成され、この円錐状凹面13a
の前端から前側ノズルハーフ３の前端側へ寄った位置ま
での間の部分13b（以下、「テーパ部」と言う。）はそ
の前端へ行くに従って径が小さくなるように形成され、
更に、テーパ部13bより前方の部分13cはテーパ部13bの
前端の径と同じ径を有している。

また、前側ノズルハーフ３の内孔13の後端は後側ノズ
ルハーフ２の孔７の前端と同じ内径に形成されている。

（ａ−2.カップリング等） 14はカップリングである。該カップリング14は前端縁
に内方へ突出した内向きフランジ15が形成された円筒状
を為し、その内向きフランジ15の内周縁15aが円形をし
た挿通孔となっており、また、その内周面16の軸方向に
おける略中央から後端までの部分にネジ山16aが形成さ
れている。

17はカップリング14の上記ネジ山16aが形成されてい
ない周壁にこれを貫通するように形成された螺孔であ
る。

そして、前側ノズルハーフ３はその連結部11がカップ
リング14の上記挿通孔15aにカップリング14の内側から
挿通されることでその中間部10及び後端部９がカップリ
ング14の内部に配置され、後側ノズルハーフ２はその円
錐状凸面6aが円錐状凹面13aと対向する向きでカップリ
ング14内に挿入され、かつ、その螺溝5aにカップリング
14のネジ山16aが螺合される。これにより、カップリン
グ14の内向きフランジ15の後面と前側ノズルハーフ３の
段差面12とが、また、後側ノズルハーフ２の円錐状凸面
6aと前側ノズルハーフ３の円錐状凹面13aとがそれぞれ
互いに圧接され、かつ、後側ノズルハーフ２の管部４の
孔７と前側ノズルハーフ３の孔13とが互いに連通された
状態で後側ノズルハーフ２と前側ノズルハーフ３とが結
合される。

しかして、上記孔７及び13によって気体流路18が形成
されると共に、凹溝８、８と円錐状凹面13aとにより上
記気体流路18の軸心ｏ−ｏに対して傾斜した方向に延
び、かつ、上記軸心ｏ−ｏを外れた位置を指向する２つ
の細長い孔19、19（以下、「高圧空気流入路」と言
う。）が形成される。また、前側ノズルハーフ３の中間
部10及び後端部９の各外周面とカップリング14の内周面
16及び内向きフランジ15と後側ノズルハーフ２の螺合部
５の前端面5bとによって環状をした高圧空気供給室20が
形成され、該高圧空気供給室20は上記高圧空気流入路1
9、19の螺合部５の前端面5bに開口した部分において該
高圧空気流入路19、19と連通される。

21は高圧空気供給パイプであり、その一端部のニップ
ル21aがカップリング14に形成された螺孔17に螺合さ
れ、その他端は図示しないエアコンプレッサと接続され
ている。

（b.渦流及び負圧の発生）［第２図］ 図示しないエアコンプレッサから吐出された高圧空気
22は高圧空気供給パイプ21を経て高圧空気供給室20に噴
入され、該高圧空気供給室20に噴入された高圧空気22は
高圧空気流入路19、19を通って気体流路18中に噴出され
て行く。

そして、そのように気体流路18中に噴出された高圧空
気22は渦流22′となって気体流路18内を流れて行く。即
ち、高圧空気流入路19、19を通される高圧空気22は気体
流路18の軸心ｏ−ｏに対して略30゜傾き、かつ、軸心ｏ
−ｏを外れた位置を指向する方向から気体流路18中に噴
出されて行くので、軸心ｏ−ｏに沿う方向へのベクトル
成分と気体流路18に交差する方向へのベクトル成分を有
しており、従って、孔13の内周面に当ったところから第
２図に幅のある矢印で示す旋回性が与えられ、そのよう
な旋回性を有して気体流路18中を流れて行くことにな
り、それにより、気体流路18を流れる高圧空気22′は渦
流となる。

しかして、気体流路18のうち高圧空気流入路19、19か
ら下流側は高圧な渦流22′が流れ、この渦流22′は孔13
のテーパ部13bを通されることによって加速され、ま
た、そのような高圧な渦流22′が管部４の下流に向って
流れることにより、気体流路18のうち高圧空気流入路1
9、19から上流側には負圧が発生する。

（c.変形例）［第４図、第５図］ 第４図及び第５図は上記気体渦流発生機１の変形例を
示すものである。

この変形例に示す気体渦流発生機1Aは前側ノズルハー
フ３の軸方向における位置を調節自在とすることによっ
て前記負圧の強さを調節し得るようにされている。

前側ノズルハーフ３の連結部11の外周面の中間部10寄
りの位置にはネジ山11aが形成され、また、カップリン
グ14の前端に設けられた挿入孔15aの内周面に螺溝15bが
形成されている。

しかして、後側ノズルハーフ２と前側ノズルハーフ３
との結合は、先ず、カップリング14にその後方から前側
ノズルハーフ３を挿入して前側ノズルハーフ３のネジ山
11aをカップリング14の螺溝15bに螺合し、次に、前側ノ
ズルハーフ３の後方から後側ノズルハーフ２をカップリ
ング14に挿入して後側ノズルハーフ２の螺合部５の螺溝
5bをカップリング14のネジ山16aに螺合することにより
行なわれる。

そして、カップリング14に対して後側ノズルハーフ２
及び／又は前側ノズルハーフ３を捩じ込み又は捩じ戻し
を行なうことにより、後側ノズルハーフ２の円錐状凸面
6aと前側ノズルハーフ３の円錐状凹面13aとの間にラッ
パ状の空間23（以下、「ノズル間隙」と言う。）が形成
され、かつ、そのノズル間隙23を調節することにより気
体渦流発生機1Aの発生する負圧を調節することができ
る。

即ち、上記ノズル間隙23を無にすると前記実施例の気
体渦流発生機１と同様に高圧空気22は高圧空気流入路1
9、19のみを通って気体流路18中に噴出されて行くた
め、その流路の断面積が小さく、高圧空気22の流速は早
く、従って、これにより発生される負圧は大きくなる。

次に、カップリング14に対して後側ノズルハーフ２及
び／又は前側ノズルハーフ３を捩じ戻してノズル間隙23
を大きくして行くと、高圧空気22の気体流路18への流路
は当該ノズル間隙23と高圧空気流入路19、19とをプラス
したものとなり、その流路の断面積は大きくなるので、
高圧空気22の流速は遅くなり、従って、これにより発生
される負圧は小さくなる。

このようにして、カップリング14に対して、後側ノズ
ルハーフ２及び／又は前側ノズルハーフ３を捩じ込み又
は捩じ戻すことによりノズル間隙23の間隔を調整するこ
とができ、これにより、気体渦流発生機1Aにより発生す
る負圧の強さを調節することができる。

尚、前記した気体渦流発生機１によっても若干ではあ
るが負圧の強さを調整することができる。

即ち、カップリング14を後側ノズルハーフ２に対して
めいっぱい締め付けた状態では円錐状凹面13aと円錐状
凸面6aとが面接触の状態にあり、高圧空気22は高圧空気
流入路19、19からしか流出されないが、上記螺合を稍緩
めることにより円錐状凹面13aと円錐状凸面6aとの間に
間隙、即ち、上記変形例の気体渦流発生機1Aにおけるノ
ズル間隙23に相当するものが形成される。尚、このと
き、カップリング14を緩めただけでは、前側ノズルハー
フ３とカップリング14の内向きフランジ15との間にガタ
つきが生じるが、高圧空気22を高圧空気供給室20に供給
して高圧空気流入路19、19に流入させることにより高圧
空気流入路19、19内の圧力が高くなり、該圧力が前側ノ
ズルハーフ３を前方に移動させて前側ノズルハーフ３の
段差面12をカップリング14の内向きフランジ15に圧着さ
せることになる。しかして、高圧空気22の気体流路18へ
の流路の断面積は高圧空気流入路19、19に円錐状凹面13
aと円錐状凸面6aとの間の間隙をプラスした分大きくす
ることができ、気体渦流発生機１により発生する負圧を
下げることができる。

但し、上述のように、気体渦流発生機１において負圧
を調節する場合、カップリング14の後側ノズルハーフ２
に対する螺合を緩めすぎると上記円錐状凹面13aと円錐
状凸面6aとの間隙及び高圧空気流入路19、19内の圧力が
低下して前側ノズルハーフ３を前方に移動させる力が弱
まり、カップリング14の内向きフランジ15と前側ノズル
ハーフ３との間に間隙ができてしまい、高圧空気22が外
部に漏れるため、僅かしかその調整をすることができな
い。

（G.使用例）［第６図、第７図］ 第６図及び第７図は、上記気体渦流発生機１を微粉体
噴射装置における微粉体回収部に微粉体を搬送するため
の気体渦流発生機として用いた各別の使用例を示すもの
である。

（a.第１の使用例）［第６図］ 24は微粉体噴射装置における処理室であり、該処理室
24には噴射ノズル25が配設され、該噴射ノズル25は一端
が図示しない微粉体供給部と接続された送給パイプ26の
他端が接続されており、高圧空気と混合され微粉体供給
部から送られて来た微粉体27、例えば、金属や無機物等
から成る微粉体を噴射ノズル25から処理対象物28、例え
ば、半導体ウェハ等に向けて高圧で噴射し、これによ
り、該処理対象物28に対して所定のブラスト処理を行な
うようになっている。

29は上記処理に供された微粉体27を分級しながら、即
ち、粒径の大きさで分けながら回収するための微粉体回
収部であり、微粉体搬送パイプ30と、該微粉体搬送パイ
プ30の先端が接続された除塵機31と、微粉体搬送パイプ
30に分岐状に連結された複数の分級パイプ32、32、・・
・と、回収槽33、33、・・・等から成る。微粉体搬送パ
イプ30はその基端が処理室24の上面壁に形成された出口
24aと接続されると共に、斜め上方へ向けて延びた後、
略水平に延びるように設けられ、その水平に延びた部分
30aの軸方向に離間した複数の位置に上下方向へ延びる
分級パイプ32、32、・・・の略漏斗状をした上端部が連
結され、これら分級パイプ32、32、・・・の下方に回収
槽33、33、・・・が各別に配置されている。

また、微粉体搬送パイプ30の基端寄りの位置に気体渦
流発生機１がその送風の向きが除塵機31に向うように介
挿されており、従って、微粉体搬送パイプ30の処理室24
側に負圧が生ずるように設けられている。

34は渦流発生用のエアコンプレッサであり、高圧空気
供給パイプ21を介して気体渦流発生機１と接続されてい
る。

しかして、気体渦流発生機１の気体流路18に発生した
高圧な気体渦流22′は微粉体搬送パイプ30内を除塵機31
へ向けて流れて行き、また、微粉体搬送パイプ30の基端
側には上記空気過流22′による負圧が発生するので、該
負圧により、処理室24内に浮遊している微粉体27は気体
渦流発生機１の気体流路18中に吸引されて気体渦流22′
に乗って、微粉体搬送パイプ30内を搬送されて行く。そ
して、このように微粉体搬送パイプ30内を搬送されて行
く微粉体27は、その粒径が大きくて重いものほど早く失
速して落下するため、より重いものは一番手前に位置し
た分級パイプ32を経て回収槽33に落下し、次に重い微粉
体27は２番目の分級パイプ32を経て回収槽33に落下し、
より軽い微粉体27は３番目の分級パイプ32を経て回収槽
33に落下し、最後まで失速しなかった微粉体27は除塵機
31のフィルター31aによって高圧空気と分離される。

また、微粉体搬送パイプ30内を搬送されて行く微粉体
27は、該微粉体搬送パイプ30内を流れる高圧空気が渦流
であるため、乱流状態で流されることは無く、従って、
微粉体27同士が凝集したり、パイプ内周面に激しく衝突
したりすることが無いので、互いに分離された状態でス
ムーズに搬送され、それにより、正確な分級を行なうこ
とができる。しかも、気体渦流発生機１においては渦流
の流速や流量を任意に設定することができるので、当該
微粉体27の平均粒径の大きさに応じた流速や流量による
搬送を行なうことができる。

（b.第２の使用例）［第７図］ 第７図は第２の使用例を示すものである。

この第２の使用例は微粉体搬送パイプ30が長い、即
ち、搬送距離が長い場合に２つの気体渦流発生機１、１
を直列に適宜距離を離して配設したものである。

搬送の距離が長い場合、１つの気体渦流発生機１では
微粉体搬送パイプ30内の渦流及び流速が衰えてしまい、
微粉体が凝集したりパイプ内壁に付着したりしてしま
い、微粉体を充分に搬送できない。

そこで、上記第２の使用例のように、複数個の気体渦
流発生機１、１、・・・を微粉体搬送パイプ30の適宜な
箇所に介挿することにより渦流及び流速が衰えることな
く、微粉体を遠く離れた場所に搬送することができる。

尚、図面では２つの気体渦流発生機１、１を微粉体搬
送パイプ30に介挿したものを示したが、これに限らず、
搬送の距離が長い場合には、２つ以上の気体渦流発生機
１、１、・・・を微粉体搬送パイプ30に介挿してもよ
い。

（H.発明の効果） 以上に記載したところから明らかなように、本発明気
体渦流発生機は、軸方向で２分された２つの筒状部材を
互いに接合することで気体流路を形成する管体が構成さ
れ、一方の接合面を円錐状凸面に形成すると共に、他方
の接合面を円錐状凹面に形成し、２つの筒状部材を接合
すると、円錐状凸面又は円錐状凹面に形成された筒状部
材の外周面から内周面に達するまで延びる直線状の凹溝
が管体の軸心に対して傾いた方向に延びかつ軸心を外れ
た位置を指向する直線状をした高圧空気流入路を形成
し、高圧空気流入路を通ることにより絞り込まれた状態
で管体内に供給された高圧空気が管体の内周面に当たる
ことによって螺旋状の旋回性を与えられて気体渦流にな
り管体内を流れるようにしたことを特徴とする。

従って、本発明気体渦流発生機にあっては、高圧空気
の管体内への流入は該管体の軸方向へのベクトル成分と
軸方向と交差する方向へのベクトル成分を有しているの
で、該高圧空気は管体の内周面に当ったところから螺旋
状の旋回性を与えられ、それが気体渦流となって管体内
を流れ、また、そのような高圧な空気流により高圧空気
流入路より上流側においては負圧が発生する。そして、
気体渦流の流速や流量及び負圧の強さ等は高圧空気流入
路の管体の軸心に対する傾きや横断面の大きさ等によっ
て規定されるが、これら傾きや横断面の大きさ等の設定
は比較的容易であり、かつ、設定された条件での高圧空
気流入路の加工も容易であるため、所要の流速や流量及
び負圧の強さを伴なう気体渦流を容易に発生させること
ができる。また、本発明気体渦流発生機においては、軸
方向で２分された２つの筒状部材を互いに接合すること
で管体が構成され、かつ、その接合部に高圧空気流入路
が形成されるようにしたが、このようにすることによ
り、高圧空気流入路の形成を容易に行なうことができる
と共に筒状部材の組み合わせを選ぶことによって高圧空
気流入路の状態を選択的に変更することができる。

尚、前記実施例において示した具体的な構成は、本発
明気体渦流発生機の実施に当たってのほんの一例を示し
たものにすぎず、これらによって本発明の技術的範囲が
限定的に解釈されてはならない。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第５図は本発明気体渦流発生機の実施の一例
を示すものであり、第１図は拡大分解斜視図、第２図は
要部を示す断面図、第３図は第２図のIII−III線に沿う
断面図、第４図及び第５図は変形例を示し、第４図は要
部を示す断面図、第５図は第４図のＶ−Ｖ線に沿う断面
図、第６図及び第７図は本発明気体渦流発生機を微粉体
噴射装置における微粉体の搬送用の気体渦流発生機とし
て用いた各別の使用例を示す概略側面図である。 符号の説明 １……気体渦流発生機、 ２……筒状部材、 ３……筒状部材、6a……円錐状凸面、８……凹溝、 13a……円錐状凹面、18……気体流路、 19……高圧空気流入路、 22……高圧空気、ｏ−ｏ……軸心、 1A……気体渦流発生機

フロントページの続き (72)発明者 三島 彰生 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソ ニー株式会社内 (72)発明者 松本 茂雄 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソ ニー株式会社内 (56)参考文献 特開 昭57−71000（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−262338（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】軸方向で２分された２つの筒状部材を互い
   に接合することで気体流路を形成する管体が構成され、 一方の接合面を円錐状凸面に形成すると共に、他方の接
   合面を円錐状凹面に形成し、 上記２つの筒状部材を接合すると、上記円錐状凸面又は
   上記円錐状凹面に形成された筒状部材の外周面から内周
   面に達するまで延びる直線状の凹溝が上記管体の軸心に
   対して傾いた方向に延びかつ軸心を外れた位置を指向す
   る直線状をした高圧空気流入路を形成し、 該高圧空気流入路を通ることにより絞り込まれた状態で
   管体内に供給された高圧空気が管体の内周面に当たるこ
   とによって螺旋状の旋回性を与えられて気体渦流になり
   管体内を流れるようにした ことを特徴とする気体渦流発生機。