KR102582598B1 - 퓸 제거 장치용 에어 펌프 - Google Patents

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Abstract

개시되는 퓸 제거 장치용 에어 펌프가 펌프 본체와, 에어 펌프 관체와, 외부 도입 관체와, 외부 도입 연통관을 포함함에 따라, 상기 외부 도입 연통관을 통해 유동되는 외부 도입 기체가 와류를 형성하면서 상기 에어 펌프 관체의 내부로 분사될 수 있게 되어, 반도체 제조 챔버 내부의 퓸 제거를 위한 작동 시 외부로부터 도입되는 상기 외부 도입 기체의 공급량이 감소될 수 있어서 상기 퓸 제거 장치용 에어 펌프의 작동 효율이 향상될 수 있게 되는 장점이 있다.

Description

퓸 제거 장치용 에어 펌프{Air pump for fume removing apparatus}
본 발명은 퓸 제거 장치용 에어 펌프에 관한 것이다.
반도체 제조를 위한 장비에는 각각의 공정 진행을 위한 반도체 제조 챔버가 구비되는데, 이러한 반도체 제조 챔버 내에는 공정 진행을 위한 여러 가스가 주입되고, 공정이 완료된 후에는 반도체 제조 챔버 내부에는 각종 부산물이 잔존하게 되는데, 이러한 각종 부산물은 냄새가 심하고, 각종 독성을 함유하고 있는 것들이고, 이러한 독성을 가진 것을 퓸(fume)이라고 한다.
이러한 퓸은 인체에 각종 암을 일으키는 등 위험한 물질이어서 제거되어야 하는데, 이러한 퓸을 제거하기 위한 장치의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것이다.
이러한 퓸을 제거시키기 위해, 반도체 제조 챔버 내부의 에어를 외부로 배출시켜주는 퓸 제거 장치용 에어 펌프가 설치된다.
그러나, 종래에는, 상기 퓸 제거 장치용 에어 펌프가 상기 반도체 제조 챔버와 단순히 연결되기만 해서, 상기 반도체 제조 챔버 내부의 퓸 제거를 위한 작동 시 외부로부터 공급되는 외부 도입 기체의 양이 많이 필요해서, 상기 퓸 제거 장치용 에어 펌프의 작동 효율이 떨어지는 문제가 있었다.
등록실용신안 제 20-0475559호, 등록일자: 2014.12.04., 고안의 명칭: 반도체 제조 챔버용 퓸 제거 장치
본 발명은 반도체 제조 챔버 내부의 퓸 제거를 위한 작동 시 외부로부터 도입되는 외부 도입 기체의 공급량이 감소될 수 있어서 그 작동 효율이 향상될 수 있는 퓸 제거 장치용 에어 펌프를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 퓸 제거 장치용 에어 펌프는 반도체 제조 챔버의 내부의 퓸을 제거시키기 위한 것으로서,
펌프 본체; 상기 펌프 본체를 관통하고 상기 반도체 제조 챔버와 연통되는 에어 펌프 관체; 상기 펌프 본체에 연결되어 외부 도입 기체를 도입시키는 외부 도입 관체; 및 상기 반도체 제조 챔버의 내부의 퓸이 상기 반도체 제조 챔버로부터 제거될 수 있도록, 상기 외부 도입 관체를 통해 도입된 상기 외부 도입 기체가 상기 에어 펌프 관체의 내부로 분사될 수 있도록 하는 외부 도입 연통관;을 포함하고,
상기 외부 도입 기체가 와류를 형성하면서 상기 에어 펌프 관체의 내부로 분사될 수 있도록, 상기 외부 도입 연통관은 상기 에어 펌프 관체의 내부의 에어 유동 방향에 대해 소정 각도로 경사진 방향으로 상기 외부 도입 기체를 분사시키고,
상기 펌프 본체의 내부에는 상기 외부 도입 관체의 내부와 연통되어 상기 외부 도입 기체가 유동되는 본체측 유동홀을 포함하고, 상기 본체측 유동홀은 상기 에어 펌프 관체를 감싼 링 형태로 형성되고, 상기 외부 도입 연통관은 복수 개로 형성되어, 서로 다른 지점에서 각각 상기 본체측 유동홀과 상기 에어 펌프 관체의 내부를 연통시키되, 상기 각 외부 도입 연통관은 상기 에어 펌프 관체의 내부의 에어 유동 방향에 대해 소정 각도로 경사진 방향으로 형성되고,
상기 퓸 제거 장치용 에어 펌프는 상기 펌프 본체의 내부에 상기 외부 도입 연통관과 별도로 형성되어 상기 외부 도입 연통관을 통해 상기 에어 펌프 관체의 내부로 도입되는 상기 외부 도입 기체의 혼류(混流)를 가속시키는 혼류 가속관;을 더 포함하고,
상기 혼류 가속관은 상기 외부 도입 연통관의 상측으로 소정 높이 이격된 위치에서 상기 본체측 유동홀과 상기 에어 펌프 관체의 내부를 연통시키되, 상기 외부 도입 연통관이 상기 에어 펌프 관체의 내부와 연통된 지점에 비해 상기 본체측 유동홀과 소정 거리만큼 더 이격되는 지점에서 상기 에어 펌프 관체의 내부와 연통됨으로써, 상기 본체측 유동홀을 통해 유동된 상기 외부 도입 기체 중 상기 외부 도입 연통관을 통해 상기 에어 펌프 관체의 내부로 분사된 것이 상기 에어 펌프 관체의 내부를 따라 소정 거리 유동된 상태에서 상기 외부 도입 기체 중 상기 혼류 가속관을 통해 분사된 것에 의해 상기 에어 펌프 관체의 중앙부 쪽으로 밀리면서 상기 에어 펌프 관체의 내부에서 혼류가 가속될 수 있게 되고,
상기 혼류 가속관은 상기 외부 도입 연통관의 상측으로 소정 높이 이격된 위치에서 상기 펌프 본체를 소정 거리 관통하는 혼류 가속 연결관과, 상기 혼류 가속 연결관으로부터 상기 에어 펌프 관체의 내부를 향해 소정 각도로 굽혀진 형태로 상기 펌프 본체를 관통하여 상기 혼류 가속 연결관과 상기 에어 펌프 관체의 내부를 연통시키는 혼류 가속 경사관을 포함하고,
상기 외부 도입 기체 중 상기 본체측 유동홀을 통해 유동된 것이 상기 혼류 가속 연결관을 통해 유동된 다음 상기 혼류 가속 경사관을 통해 유동된 후 상기 에어 펌프 관체의 내부로 분사되고,
상기 에어 펌프 관체의 내면에 대해 상기 외부 도입 연통관이 경사진 각도에 비해 상기 에어 펌프 관체의 내면에 대해 상기 혼류 가속 경사관이 경사진 각도가 소정 각도만큼 더 크게 형성됨으로써, 상기 외부 도입 연통관은 상기 혼류 가속 경사관에 비해 소정 각도만큼 상대적으로 완만한 각도로 상기 외부 도입 기체를 상기 에어 펌프 관체의 내부로 분사하고, 상기 혼류 가속 경사관은 상기 외부 도입 연통관에 비해 소정 각도만큼 상대적으로 급한 각도로 상기 외부 도입 기체를 상기 에어 펌프 관체의 내부로 분사하게 되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 퓸 제거 장치용 에어 펌프에 의하면, 상기 퓸 제거 장치용 에어 펌프가 펌프 본체와, 에어 펌프 관체와, 외부 도입 관체와, 외부 도입 연통관을 포함함에 따라, 상기 외부 도입 연통관을 통해 유동되는 외부 도입 기체가 와류를 형성하면서 상기 에어 펌프 관체의 내부로 분사될 수 있게 되어, 반도체 제조 챔버 내부의 퓸 제거를 위한 작동 시 외부로부터 도입되는 상기 외부 도입 기체의 공급량이 감소될 수 있어서 상기 퓸 제거 장치용 에어 펌프의 작동 효율이 향상될 수 있게 되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 퓸 제거 장치용 에어 펌프의 내부 구조를 보이는 단면도.
도 2는 도 1에 도시된 A부분에 대한 확대도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 퓸 제거 장치용 에어 펌프의 내부 구조를 위에서 내려다본 확대 단면도.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 퓸 제거 장치용 에어 펌프의 내부의 일부를 확대한 도면.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 퓸 제거 장치용 에어 펌프에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 퓸 제거 장치용 에어 펌프의 내부 구조를 보이는 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 A부분에 대한 확대도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 퓸 제거 장치용 에어 펌프의 내부 구조를 위에서 내려다본 확대 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 퓸 제거 장치용 에어 펌프(100)는 반도체 제조 챔버의 내부의 퓸을 제거시키기 위한 것으로서, 펌프 본체(140)와, 에어 펌프 관체(120)와, 외부 도입 관체(150)와, 외부 도입 연통관(160)을 포함한다.
상기 펌프 본체(140)는 상기 반도체 제조 챔버의 내부로부터 토출된 퓸이 유동되는 경로 상에 설치되고, 소정 크기로 형성되는 것으로, 예시적으로 직육면체 블록 형태로 형성될 수 있는 것이다.
상기 에어 펌프 관체(120)는 상기 펌프 본체(140)를 관통하고 상기 반도체 제조 챔버와 연통되는 것이다.
상기 에어 펌프 관체(120)는 원형 실린더 형태로 형성되어, 상기 펌프 본체(140)를 관통함으로써, 상기 반도체 제조 챔버로부터 토출된 퓸이 지나갈 수 있는 것이다.
상기 에어 펌프 관체(120) 중 상기 반도체 제조 챔버 쪽 부분(110)은 상기 반도체 제조 챔버 쪽으로부터 상기 펌프 본체(140) 쪽으로 갈수록 점진적으로 좁아지는 테이퍼 형태로 형성되고, 상기 에어 펌프 관체(120) 중 상기 반도체 제조 챔버와 상대적으로 이격된 말단 쪽 부분(130)은 상기 펌프 본체(140) 쪽으로부터 상기 에어 펌프 관체(120)의 말단 쪽으로 갈수록 점진적으로 확장되는 고깔 형태로 형성될 수 있다.
상기 외부 도입 관체(150)는 상기 펌프 본체(140)에 연결되어 외부 도입 기체를 도입시키는 것이다.
상기 외부 도입 관체(150)는 상기 펌프 본체(140)에 수직으로 연결되어, 상기 펌프 본체(140)의 내부에서 상기 에어 펌프 관체(120)와 수직을 이룰 수 있다.
상기 외부 도입 연통관(160)은 상기 반도체 제조 챔버의 내부의 퓸이 상기 반도체 제조 챔버로부터 제거될 수 있도록, 상기 외부 도입 관체(150)와 상기 에어 펌프 관체(120)를 연통시켜, 상기 외부 도입 관체(150)를 통해 도입된 상기 외부 도입 기체가 상기 에어 펌프 관체(120)의 내부(101)로 분사될 수 있도록 하는 것이다.
별도의 가압 펌프 등에 의해 가압된 상기 외부 도입 기체가 상기 외부 도입 관체(150)를 통해 유동된 다음 상기 외부 도입 연통관(160)을 통해 유동된 후 상기 에어 펌프 관체(120)의 내부(101)로 분사되고, 그에 따라 상기 에어 펌프 관체(120) 중 상기 반도체 제조 챔버 쪽 부분에 부압(negative pressure)이 형성되어, 상기 반도체 제조 챔버의 내부의 퓸이 빨려나와 상기 외부 도입 기체와 함께 상기 에어 펌프 관체(120)의 내부(101)를 유동한 다음 외부로 배출될 수 있게 된다.
상기 펌프 본체(140)의 내부에는 상기 외부 도입 관체(150)의 내부(152)와 연통되어 상기 외부 도입 기체가 유동되는 본체측 유동홀(141)을 포함하고, 상기 본체측 유동홀(141)은 상기 에어 펌프 관체(120)의 외부를 감싼 링 형태로 형성된다.
상기 외부 도입 연통관(160)은 상기 본체측 유동홀(141)의 바닥부와 상기 에어 펌프 관체(120)의 내부(101)를 연통시키되, 상기 본체측 유동홀(141)의 바닥부 중 상기 반도체 제조 챔버와 상대적으로 최대로 이격된 부분으로부터 상기 에어 펌프 관체(120)를 통한 퓸의 유동 방향으로 소정 길이로 연장되면서 점진적으로 상기 에어 펌프 관체(120)의 내부(101)를 향하도록 상기 에어 펌프 관체(120)의 내부(101)로 접근되는 형태로 형성된다.
상기 외부 도입 연통관(160)은 복수 개로 형성되어, 서로 다른 지점에서 각각 상기 본체측 유동홀(141)과 상기 에어 펌프 관체(120)의 내부(101)를 연통시키되, 상기 각 외부 도입 연통관(160)은 상기 에어 펌프 관체(120)의 내부(101)의 에어 유동 방향에 대해 소정 각도로 경사진 방향으로 형성된다.
본 실시예에서는, 상기 외부 도입 연통관(160)이 상기 에어 펌프 관체(120)의 내부(101)의 에어 유동 방향에 대해 소정 각도로 경사진 방향으로 상기 외부 도입 기체를 분사시키고, 그에 따라 상기 외부 도입 연통관(160)을 통해 유동되는 상기 외부 도입 기체가 와류를 형성하면서 상기 에어 펌프 관체(120)의 내부(101)로 분사될 수 있게 되어, 상기 반도체 제조 챔버 내부의 퓸 제거를 위한 작동 시 외부로부터 도입되는 상기 외부 도입 기체의 공급량이 감소될 수 있어서 상기 퓸 제거 장치용 에어 펌프(100)의 작동 효율이 향상될 수 있게 된다.
상기 각 외부 도입 연통관(160)은 상기 본체측 유동홀(141)로부터 상기 에어 펌프 관체(120)의 내부(101) 쪽으로 갈수록 점진적으로 좁아지는 형태로 형성되고, 그에 따라 상기 에어 펌프 관체(120)의 내부(101)로의 상기 외부 도입 기체의 분사력이 향상될 수 있게 된다.
상기 에어 펌프 관체(120)의 일 측 말단, 상세히는 상기 에어 펌프 관체(120) 중 상기 반도체 제조 챔버 쪽 부분(110)의 외측 말단은 상기 반도체 제조 챔버로부터 연장된 퓸 제거관의 말단과 맞대어지고, 상기 에어 펌프 관체(120)의 일 측 말단에는 상기 퓸 제거관의 말단의 제거관측 플랜지와 결합되는 관체측 플랜지(111)가 형성된다.
상기 제거관측 플랜지와 상기 관체측 플랜지(111)는 볼트 등의 결합 수단에 의해 서로 결합될 수 있다.
상기 외부 도입 관체(150)의 외측 말단은 외부의 가압 펌프 등으로부터 연장된 외부 공급관의 말단과 맞대어지고, 상기 외부 도입 관체(150)의 외측 말단에는 상기 외부 공급관의 말단의 공급관측 플랜지와 결합되는 외부측 플랜지(151)가 형성된다.
상기 공급관측 플랜지와 상기 외부측 플랜지(151)는 볼트 등의 결합 수단에 의해 서로 결합될 수 있다.
상기와 같이, 상기 퓸 제거 장치용 에어 펌프(100)가 상기 펌프 본체(140)와, 상기 에어 펌프 관체(120)와, 상기 외부 도입 관체(150)와, 상기 외부 도입 연통관(160)을 포함함에 따라, 상기 외부 도입 연통관(160)을 통해 유동되는 상기 외부 도입 기체가 와류를 형성하면서 상기 에어 펌프 관체(120)의 내부(101)로 분사될 수 있게 되어, 상기 반도체 제조 챔버 내부의 퓸 제거를 위한 작동 시 외부로부터 도입되는 상기 외부 도입 기체의 공급량이 감소될 수 있어서 상기 퓸 제거 장치용 에어 펌프(100)의 작동 효율이 향상될 수 있게 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 퓸 제거 장치용 에어 펌프에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 일 실시예에서 이미 기재된 내용과 설명과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 퓸 제거 장치용 에어 펌프의 내부의 일부를 확대한 도면이다.
도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 퓸 제거 장치용 에어 펌프는 펌프 본체(240)의 내부에 외부 도입 연통관(260)과 별도로 형성되어 상기 외부 도입 연통관(260)을 통해 에어 펌프 관체의 내부(201)로 도입되는 외부 도입 기체의 혼류(混流)를 가속시키는 혼류 가속관(270)을 더 포함한다.
상기 혼류 가속관(270)은 상기 외부 도입 연통관(260)의 상측으로 소정 높이 이격된 위치에서 본체측 유동홀(241)과 상기 에어 펌프 관체의 내부(201)를 연통시키되, 상기 외부 도입 연통관(260)이 상기 에어 펌프 관체의 내부(201)와 연통된 지점에 비해 상기 본체측 유동홀(241)과 소정 거리만큼 더 이격되는 지점에서 상기 에어 펌프 관체의 내부(201)와 연통된다. 그러면, 상기 본체측 유동홀(241)을 통해 유동된 상기 외부 도입 기체 중 상기 외부 도입 연통관(260)을 통해 상기 에어 펌프 관체의 내부(201)로 분사된 것이 상기 에어 펌프 관체의 내부(201)를 따라 소정 거리 유동된 상태에서 상기 외부 도입 기체 중 상기 혼류 가속관(270)을 통해 분사된 것에 의해 상기 에어 펌프 관체의 중앙부 쪽으로 밀리면서 상기 에어 펌프 관체의 내부(201)에서 혼류가 가속될 수 있게 되고, 그에 따라 상기 퓸 제거 장치용 에어 펌프의 작동 효율이 더욱 향상될 수 있게 된다.
상세히, 상기 혼류 가속관(270)은 상기 외부 도입 연통관(260)의 상측으로 소정 높이 이격된 위치에서 상기 펌프 본체(240)를 소정 거리 관통하는 혼류 가속 연결관(271)과, 상기 혼류 가속 연결관(271)으로부터 상기 에어 펌프 관체의 내부(201)를 향해 소정 각도로 굽혀진 형태로 상기 펌프 본체(240)를 관통하여 상기 혼류 가속 연결관(271)과 상기 에어 펌프 관체의 내부(201)를 연통시키는 혼류 가속 경사관(272)을 포함한다.
상기 외부 도입 기체 중 상기 본체측 유동홀(241)을 통해 유동된 것이 상기 혼류 가속 연결관(271)을 통해 유동된 다음 상기 혼류 가속 경사관(272)을 통해 유동된 후 상기 에어 펌프 관체의 내부(201)로 분사된다.
본 실시예에서는, 상기 에어 펌프 관체의 내면에 대해 상기 외부 도입 연통관(260)이 경사진 각도에 비해 상기 에어 펌프 관체의 내면에 대해 상기 혼류 가속 경사관(272)이 경사진 각도가 소정 각도만큼 더 크게 형성됨으로써, 상기 외부 도입 연통관(260)은 상기 혼류 가속 경사관(272)에 비해 소정 각도만큼 상대적으로 완만한 각도로 상기 외부 도입 기체를 상기 에어 펌프 관체의 내부(201)로 분사하고, 상기 혼류 가속 경사관(272)은 상기 외부 도입 연통관(260)에 비해 소정 각도만큼 상대적으로 급한 각도로 상기 외부 도입 기체를 상기 에어 펌프 관체의 내부(201)로 분사하게 되고, 그에 따라 상기 에어 펌프 관체의 내부(201)에서 혼류가 더욱 원활하게 형성될 수 있게 된다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 퓸 제거 장치용 에어 펌프에 의하면, 반도체 제조 챔버 내부의 퓸 제거를 위한 작동 시 외부로부터 도입되는 외부 도입 기체의 공급량이 감소될 수 있어서 그 작동 효율이 향상될 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
100 : 퓸 제거 장치용 에어 펌프
120 : 에어 펌프 관체
140 : 펌프 본체
150 : 외부 도입 관체
160 : 외부 도입 연통관

Claims (5)

  1. 반도체 제조 챔버의 내부의 퓸을 제거시키기 위한 퓸 제거 장치용 에어 펌프로서,
    펌프 본체;
    상기 펌프 본체를 관통하고 상기 반도체 제조 챔버와 연통되는 에어 펌프 관체;
    상기 펌프 본체에 연결되어 외부 도입 기체를 도입시키는 외부 도입 관체; 및
    상기 반도체 제조 챔버의 내부의 퓸이 상기 반도체 제조 챔버로부터 제거될 수 있도록, 상기 외부 도입 관체를 통해 도입된 상기 외부 도입 기체가 상기 에어 펌프 관체의 내부로 분사될 수 있도록 하는 외부 도입 연통관;을 포함하고,
    상기 외부 도입 기체가 와류를 형성하면서 상기 에어 펌프 관체의 내부로 분사될 수 있도록, 상기 외부 도입 연통관은 상기 에어 펌프 관체의 내부의 에어 유동 방향에 대해 소정 각도로 경사진 방향으로 상기 외부 도입 기체를 분사시키고,
    상기 펌프 본체의 내부에는 상기 외부 도입 관체의 내부와 연통되어 상기 외부 도입 기체가 유동되는 본체측 유동홀을 포함하고,
    상기 본체측 유동홀은 상기 에어 펌프 관체를 감싼 링 형태로 형성되고,
    상기 외부 도입 연통관은 복수 개로 형성되어, 서로 다른 지점에서 각각 상기 본체측 유동홀과 상기 에어 펌프 관체의 내부를 연통시키되, 상기 각 외부 도입 연통관은 상기 에어 펌프 관체의 내부의 에어 유동 방향에 대해 소정 각도로 경사진 방향으로 형성되고,
    상기 퓸 제거 장치용 에어 펌프는
    상기 펌프 본체의 내부에 상기 외부 도입 연통관과 별도로 형성되어 상기 외부 도입 연통관을 통해 상기 에어 펌프 관체의 내부로 도입되는 상기 외부 도입 기체의 혼류(混流)를 가속시키는 혼류 가속관;을 더 포함하고,
    상기 혼류 가속관은 상기 외부 도입 연통관의 상측으로 소정 높이 이격된 위치에서 상기 본체측 유동홀과 상기 에어 펌프 관체의 내부를 연통시키되, 상기 외부 도입 연통관이 상기 에어 펌프 관체의 내부와 연통된 지점에 비해 상기 본체측 유동홀과 소정 거리만큼 더 이격되는 지점에서 상기 에어 펌프 관체의 내부와 연통됨으로써, 상기 본체측 유동홀을 통해 유동된 상기 외부 도입 기체 중 상기 외부 도입 연통관을 통해 상기 에어 펌프 관체의 내부로 분사된 것이 상기 에어 펌프 관체의 내부를 따라 소정 거리 유동된 상태에서 상기 외부 도입 기체 중 상기 혼류 가속관을 통해 분사된 것에 의해 상기 에어 펌프 관체의 중앙부 쪽으로 밀리면서 상기 에어 펌프 관체의 내부에서 혼류가 가속될 수 있게 되고,
    상기 혼류 가속관은
    상기 외부 도입 연통관의 상측으로 소정 높이 이격된 위치에서 상기 펌프 본체를 소정 거리 관통하는 혼류 가속 연결관과,
    상기 혼류 가속 연결관으로부터 상기 에어 펌프 관체의 내부를 향해 소정 각도로 굽혀진 형태로 상기 펌프 본체를 관통하여 상기 혼류 가속 연결관과 상기 에어 펌프 관체의 내부를 연통시키는 혼류 가속 경사관을 포함하고,
    상기 외부 도입 기체 중 상기 본체측 유동홀을 통해 유동된 것이 상기 혼류 가속 연결관을 통해 유동된 다음 상기 혼류 가속 경사관을 통해 유동된 후 상기 에어 펌프 관체의 내부로 분사되고,
    상기 에어 펌프 관체의 내면에 대해 상기 외부 도입 연통관이 경사진 각도에 비해 상기 에어 펌프 관체의 내면에 대해 상기 혼류 가속 경사관이 경사진 각도가 소정 각도만큼 더 크게 형성됨으로써, 상기 외부 도입 연통관은 상기 혼류 가속 경사관에 비해 소정 각도만큼 상대적으로 완만한 각도로 상기 외부 도입 기체를 상기 에어 펌프 관체의 내부로 분사하고, 상기 혼류 가속 경사관은 상기 외부 도입 연통관에 비해 소정 각도만큼 상대적으로 급한 각도로 상기 외부 도입 기체를 상기 에어 펌프 관체의 내부로 분사하게 되는 것을 특징으로 하는 퓸 제거 장치용 에어 펌프.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 외부 도입 연통관은 상기 본체측 유동홀로부터 상기 에어 펌프 관체 쪽으로 갈수록 점진적으로 좁아지는 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 퓸 제거 장치용 에어 펌프.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 에어 펌프 관체의 일 측 말단은 상기 반도체 제조 챔버로부터 연장된 퓸 제거관의 말단과 맞대어지고,
    상기 에어 펌프 관체의 일 측 말단에는 상기 퓸 제거관의 말단의 제거관측 플랜지와 결합되는 관체측 플랜지가 형성되는 것을 특징으로 하는 퓸 제거 장치용 에어 펌프.
  5. 삭제
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