JP3249289B2 - Disk loading / unloading device - Google Patents
Disk loading / unloading deviceInfo
- Publication number
- JP3249289B2 JP3249289B2 JP7063694A JP7063694A JP3249289B2 JP 3249289 B2 JP3249289 B2 JP 3249289B2 JP 7063694 A JP7063694 A JP 7063694A JP 7063694 A JP7063694 A JP 7063694A JP 3249289 B2 JP3249289 B2 JP 3249289B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk
- mask
- holder
- pallet
- cassette
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、光ディスクあるいは光
磁気ディスクなどのディスク形状の記録媒体を製造する
装置に関する。さらに詳しくは、ディスク搬送用のカセ
ットに装填されたディスクを、ディスク製膜処理用のパ
レットに対して着脱する作業を自動化させた、ディスク
着脱装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium such as an optical disk or a magneto-optical disk. More specifically, the present invention relates to a disk loading / unloading apparatus that automates the operation of loading and unloading a disk loaded in a disk transport cassette from a pallet for disk film formation processing.
【0002】[0002]
【従来の技術】光ディスクや光磁気ディスクなどのディ
スク形状の記録媒体は、高密度、大容量の情報記録媒体
として、さまざまな分野への利用が進められている。こ
うしたディスク形状の記録媒体は、プラスチック材など
からなるディスク基板上に、さまざまなタイプの薄膜を
製膜して構成される。2. Description of the Related Art Disk-shaped recording media such as optical disks and magneto-optical disks are being used in various fields as high-density, large-capacity information recording media. Such a disk-shaped recording medium is formed by forming various types of thin films on a disk substrate made of a plastic material or the like.
【0003】ここで例えば記録膜は、スパッタ装置ある
いは蒸着装置などの薄膜形成装置を用いて、記録膜組成
の原材料からディスク上に真空中で形成される。そして
記録膜形成後は、薄膜形成装置の真空槽より記録膜を付
与したディスクが取り出され、さらに保護膜がスピンコ
ートなどの方法によりディスク上にコーティングされ
る。続いてディスクのセンターホール部にディスク芯だ
し用の金属円板等が取り付けられ、さらにケースに納め
られて製品となる。Here, for example, a recording film is formed in a vacuum from a raw material of a recording film composition on a disk by using a thin film forming apparatus such as a sputtering apparatus or a vapor deposition apparatus. After the formation of the recording film, the disk provided with the recording film is taken out of the vacuum chamber of the thin film forming apparatus, and a protective film is coated on the disk by a method such as spin coating. Subsequently, a metal disk or the like for centering the disk is attached to the center hole of the disk, and the disk is put into a case to form a product.
【0004】こうした製造工程において、薄膜形成装置
でディスクに記録膜を形成する時、薄膜形成装置内の所
定の場所にディスクを固定する必要がある。そこで生産
性が求められるような製造設備においては、パレットと
呼ばれるプレートが用いられる。In such a manufacturing process, when a recording film is formed on a disk by a thin film forming apparatus, it is necessary to fix the disk at a predetermined position in the thin film forming apparatus. Therefore, in a manufacturing facility where productivity is required, a plate called a pallet is used.
【0005】パレットには、ディスクホルダーと呼ばれ
るディスク固定部が複数個(通常10〜25個)設けら
れている。さらにディスクをディスクホルダーへ固定す
る際には、外マスクと内マスクが用いられる。外マスク
は、ディスク外周部の遮蔽物であってリング形状をして
いる。また内マスクは、ディスク内周部の遮蔽物であっ
て円板形状をしている。これらによって、ディスクの所
定の領域以外には薄膜の形成が行なわれないようにして
いる。[0005] The pallet is provided with a plurality (usually 10 to 25) of disk fixing portions called disk holders. Further, when fixing the disk to the disk holder, an outer mask and an inner mask are used. The outer mask is a shield on the outer periphery of the disk and has a ring shape. The inner mask is a shield at the inner peripheral portion of the disk and has a disk shape. Thus, a thin film is not formed except for a predetermined area of the disk.
【0006】ディスクは、薄膜形成装置の真空槽の外側
で、外マスクと内マスクと共にディスクホルダーに固定
される。そしてディスクは、複数個が1枚のパレットに
固定された後、薄膜形成装置内に移されて所定の場所に
固定され、薄膜の形成が行なわれる。[0006] The disk is fixed to a disk holder together with an outer mask and an inner mask outside the vacuum chamber of the thin film forming apparatus. After a plurality of disks are fixed to one pallet, the disks are moved into a thin film forming apparatus and fixed at a predetermined place, and a thin film is formed.
【0007】ところでディスクは、カセットと呼ばれる
容器に入れて取り扱うのが一般的である。このカセット
でのディスクの保持は、各ディスク面が平行でかつディ
スクの中心軸を揃えて、数ミリメートルピッチで垂直に
立てた状態で行なわれる。通常1つのカセットでは、デ
ィスクを20〜30枚程度を装填できる。[0007] By the way, discs are generally handled in a container called a cassette. The disk is held by the cassette in a state where the surfaces of the disks are parallel and the center axes of the disks are aligned, and the disks are erected vertically at a pitch of several millimeters. Usually, one cassette can load about 20 to 30 disks.
【0008】ディスクは、カセットから取り出されてパ
レットに取り付けられた後、パレットは薄膜形成装置の
真空槽内に移動して、決められた条件で記録膜が形成さ
れる。記録膜が形成されたディスクは、再びパレットご
と真空槽の外側に引き出される。After the disk is taken out of the cassette and mounted on a pallet, the pallet moves into a vacuum chamber of the thin film forming apparatus, and a recording film is formed under predetermined conditions. The disk on which the recording film has been formed is drawn out of the vacuum chamber together with the pallet again.
【0009】そしてディスクホルダーより外マスクと内
マスクが順次外され、その上で処理済み(記録膜形成済
み)ディスクは、1枚ずつカセットに装填される。そし
てスパッタ装置により記録膜を形成されたディスクは、
カセットに入れて次工程に送られ、さらに加工が加えら
れて光ディスクあるいは光磁気ディスクとなる。Then, the outer mask and the inner mask are sequentially removed from the disk holder, and the processed (recording film formed) disks are loaded into a cassette one by one. And the disk on which the recording film is formed by the sputtering device,
It is placed in a cassette and sent to the next step, where it is further processed to produce an optical disk or a magneto-optical disk.
【0010】こうしたディスク形状の記録媒体の、薄膜
形成装置による成膜工程においては、パレット上のディ
スクホルダーに対して、外マスクと内マスクと共にディ
スクを着脱する作業は、従来は人手により行なわれてい
た。しかし従来の手作業では生産性が悪く、製造量が増
えるに従い、装置を自動化する方法が検討されてきた。In the film forming process of such a disk-shaped recording medium by the thin film forming apparatus, the operation of attaching and detaching the disk together with the outer mask and the inner mask to and from the disk holder on the pallet has conventionally been performed manually. Was. However, the productivity is poor in the conventional manual work, and as the production volume increases, a method of automating the apparatus has been studied.
【0011】そこで自動的に処理する一つの方法とし
て、例えば多関節ロボットを使用して、まずは外マスク
と内マスクを機械的にチャッキングして把持する。さら
に内マスクに開けた真空吸引口を介して、ディスクを真
空吸引するという方法が検討された。Therefore, as one method of automatically processing, for example, using an articulated robot, first, the outer mask and the inner mask are mechanically chucked and gripped. Further, a method of vacuum-suctioning the disk via a vacuum suction port opened in the inner mask was studied.
【0012】すなわち、未処理ディスクをパレットのデ
ィスクホルダーに装着する場合、まずは外マスクと内マ
スクを多関節ロボットで機械的にチャッキングしてお
く。さらに、真空吸引口のある内マスクにディスクを供
給する。その上で、外マスク、内マスク、およびディス
クを一緒にディスクホルダーに装着する。そして、薄膜
形成装置で記録膜が形成された処理済みのディスクは、
外マスク、内マスクと一緒に多関節ロボットでディスク
ホルダーから取り外すという方法である。That is, when an unprocessed disk is mounted on the disk holder of the pallet, first, the outer mask and the inner mask are mechanically chucked by an articulated robot. Further, the disk is supplied to an inner mask having a vacuum suction port. Then, the outer mask, the inner mask, and the disk are mounted together on the disk holder. Then, the processed disk on which the recording film has been formed by the thin film forming apparatus,
In this method, the articulated robot removes it from the disk holder together with the outer and inner masks.
【0013】[0013]
【発明が解決しようとする課題】しかし前述した従来の
方法は、外マスクと内マスクを機械的にチャッキングす
るため、多関節ロボットとディスクホルダーの機械的位
置合わせが正確でないと、位置ズレによる設備破損やマ
スクとホルダー間の摩擦により金属粉の発生の原因とな
る。従って正確な位置決めを行うため画像処理などの方
法を併用することが必要になり、そのため設備費が高く
なるという課題があった。However, in the conventional method described above, since the outer mask and the inner mask are mechanically chucked, if the mechanical alignment between the articulated robot and the disk holder is not accurate, a displacement may occur. Equipment damage and friction between the mask and holder can cause metal powder. Therefore, in order to perform accurate positioning, it is necessary to use a method such as image processing in combination, and there has been a problem that equipment costs are increased.
【0014】すなわち、機械的位置決め精度が重要な機
構では設備費が高くなり、また精度を出すためディスク
の寸法、パレット、ディスクホルダーの寸法などで制約
条件が必要となったりする。さらに、処理対象物の機械
的寸法などを変更する場合は条件変更に時間がかかった
り、専用の装置への入れ替えが必要であったりするとい
う課題を有する。That is, in a mechanism in which mechanical positioning accuracy is important, the equipment cost is high, and in order to achieve the accuracy, constraints such as the dimensions of a disk, a pallet and a disk holder are required. Further, when changing the mechanical dimensions of the object to be processed, there is a problem that it takes a long time to change the conditions, and it is necessary to switch to a dedicated device.
【0015】本発明はかかる課題を解決して、簡単な構
造で確実なディスクの着脱を可能にし、しかもディスク
着脱の処理を短時間で行い、さらに条件変更などが容易
にできるディスク着脱装置を得ることを目的とする。According to the present invention, there is provided a disk mounting / dismounting apparatus which can reliably mount / dismount a disk with a simple structure, can perform processing for mounting / dismounting a disk in a short time, and can easily change conditions. The purpose is to:
【0016】[0016]
【課題を解決するための手段】本発明にかかるディスク
着脱装置は、ディスク搬送用カセットとディスクホルダ
ーとの間でディスクの取り継ぎを行なうディスク中継手
段を備えて、位置決めされたパレット上に配置されたデ
ィスクホルダーに対して、外マスクと内マスクと共にデ
ィスクの着脱を行なうディスク着脱装置において、ディ
スク中継手段が外マスク吸着用パッドと内マスク吸着用
パッドとディスク吸着用パッドとを備え、外マスク吸着
用パッドによって外マスクを真空吸着し、かつ内マスク
吸着用パッドによって内マスクを真空吸着し、さらにデ
ィスク吸着用パッドが内マスクに設けた真空吸引口を介
してディスクと内マスクを真空吸着することで、搬送用
のカセットから取り出されたディスクをディスクホルダ
ーに取り付けるまでの間、あるいはディスクホルダーか
ら取り外されたディスクを搬送用のカセットに納めるま
での間において、ディスク中継手段が外マスクと内マス
クとディスクとを保持することを特徴としている。A disk loading / unloading apparatus according to the present invention includes disk relay means for transferring a disk between a disk transport cassette and a disk holder, and is disposed on a pallet positioned. A disk mounting / dismounting apparatus for mounting / dismounting a disk together with an outer mask and an inner mask to / from a disk holder, wherein the disk relay means includes an outer mask suction pad, an inner mask suction pad, and a disk suction pad; Vacuum suction of the outer mask by the pad for suction, vacuum suction of the inner mask by the pad for suction of the inner mask, and vacuum suction of the disc and the inner mask by the suction pad of the disc through the vacuum suction port provided in the inner mask Until the disc removed from the transport cassette is attached to the disc holder. Between between, or the disc has been removed from the disk holder to fit the cassette for transport, it is characterized in that disc relaying means for holding the inner mask and the disk and the outer mask.
【0017】すなわち、ディスクは内マスクに設けた真
空吸引口を介して内マスクに吸着させるのみならず、外
マスクと内マスクの保持も真空吸着パッドにより吸着す
ることで行なう。そのために、外マスク吸着用パッド、
内マスク吸着用パッド、さらにディスク吸着用パッドを
用いる。That is, not only is the disk attracted to the inner mask through the vacuum suction port provided in the inner mask, but also the holding of the outer mask and the inner mask is performed by attracting the vacuum suction pad. Therefore, the outer mask suction pad,
An inner mask suction pad and a disk suction pad are used.
【0018】これらの吸着パッドは、同一のパッドホル
ダー上に取り付けられ、一体になって構成されて機能す
る。すなわち、カセットとパレットとの間で、ディスク
吸着用パッド、内マスク吸着用パッド、および外マスク
吸着用パッドが同時移動、同時吸着を行う。さらにパッ
ドホルダーは、パレット上のディスクホルダー面に対し
て垂直方向に移動し、ディスク、外マスク、および内マ
スクをディスクホルダーに対して取り付け、さらには取
り外しを行なう。こうして吸着パッドと一体になったパ
ッドホルダーが、ディスク中継手段として機能すること
になる。[0018] These suction pads are mounted on the same pad holder, and are constructed and function integrally. That is, the disk suction pad, the inner mask suction pad, and the outer mask suction pad simultaneously move and suction between the cassette and the pallet. Further, the pad holder moves in a direction perpendicular to the surface of the disk holder on the pallet, and attaches and removes the disk, the outer mask, and the inner mask to and from the disk holder. Thus, the pad holder integrated with the suction pad functions as the disk relay means.
【0019】真空吸着パッドで吸着する方法では、外マ
スクあるいは内マスクの吸着位置が仮にディスクホルダ
ーの中心とずれていて、ずれた位置でそのまま吸着して
も、同じマスクやディスクの取り出し位置に再びマスク
やディスクを取り付けることができるので好ましい。こ
のため従来の機械的位置決めが重要な方式に比べ、機構
が非常に簡単であり、非常に安価な設備でディスク着脱
が可能となる。In the suction method using a vacuum suction pad, the suction position of the outer mask or the inner mask is temporarily deviated from the center of the disk holder. It is preferable because a mask or a disk can be attached. For this reason, the mechanism is very simple as compared with the conventional method in which mechanical positioning is important, and the disk can be attached / detached with very inexpensive equipment.
【0020】また外マスク、内マスクとも成膜領域を規
制するマスク部分は、ディスクの成膜領域側に傾斜させ
ている場合が一般的である。従って吸着パッドで吸着す
る場合、傾斜部を吸着する必要が出てくるが、フレキシ
ブルタイプのパッドを使用するこで吸着の確実性が向上
する。In general, both the outer mask and the inner mask have a mask portion which regulates the film formation region, which is inclined toward the film formation region of the disk. Therefore, when suction is performed by the suction pad, it becomes necessary to suction the inclined portion. However, the use of a flexible type pad improves the reliability of suction.
【0021】さらに吸着パッドは、マスクの形状や重量
により最適なパッドを選定し、円周方向に複数個取り付
けることが好ましい。Further, it is preferable to select the most suitable suction pad according to the shape and weight of the mask and to attach a plurality of suction pads in the circumferential direction.
【0022】その上、生産銘柄を変更するためディスク
の寸法が変わっても、パレットにおけるディスクの取り
付け位置を一定にしておくと、パッドホルダーとディス
クの中心位置が一定のため、パッドホルダーにおける吸
着パッドの取り付け位置を変更するだけで、容易にディ
スクサイズ変更(生産銘柄変更)に対応できる。すなわ
ち同一の装置で多銘柄の生産に容易に対応することが可
能となるので好ましい。In addition, even if the size of the disk is changed to change the production brand, if the mounting position of the disk on the pallet is fixed, the center position of the pad holder and the disk is fixed. By simply changing the mounting position, you can easily respond to changes in disk size (change in production brand). That is, it is preferable because it is possible to easily cope with the production of many brands with the same device.
【0023】ところで多関節ロボットを使用する場合に
は、パレットのディスクホルダーとカセット間を最短距
離で移動することができる。あるいは、エアシリンダー
と一方向のみモーターにより移動する単軸ロボットを組
合わせて、パレットとカセット間の移動を行うようする
ことで、機構を簡単化することができる。When an articulated robot is used, the pallet can be moved between the disk holder and the cassette by the shortest distance. Alternatively, the mechanism can be simplified by moving the pallet and the cassette by combining an air cylinder and a single-axis robot that moves by a motor in only one direction.
【0024】またカセットは、パレットのディスクホル
ダー取り付け面に対し、カセットの中に保持されたディ
スク面が垂直になるように、さらにはできるだけパレッ
トに近ずけて配置することが好ましい。そしてカセット
とディスクホルダーでのディスク受け渡しには、カセッ
トより取り出したディスクがディスクホルダーに対して
平行な位置に回転移動するような90°回転の回転機構
を設ける。すなわち、カセットから取り出したディスク
をパレット側に90°回転させて、ディスク面とディス
クホルダー面とが平行に向い合わせる。その後、ディス
クをディスクホルダーに装着する。またディスクホルダ
ーから外したディスクは、逆方向に90°回転させた
直、カセットに挿入する機構とする。これによパレット
とカセット間の距離が短くなり、パレットとカセット間
でのハンドリングにかかる時間を短縮することができ
る。It is preferable that the cassette is arranged so that the disk surface held in the cassette is perpendicular to the disk holder mounting surface of the pallet, and is as close to the pallet as possible. In order to transfer the disk between the cassette and the disk holder, a 90 ° rotation mechanism for rotating the disk taken out of the cassette to a position parallel to the disk holder is provided. That is, the disk taken out of the cassette is rotated by 90 ° toward the pallet, and the disk surface and the disk holder surface face in parallel. Then, the disc is mounted on the disc holder. In addition, the disk removed from the disk holder is rotated 90 ° in the reverse direction, and is inserted into the cassette. As a result, the distance between the pallet and the cassette is reduced, and the time required for handling between the pallet and the cassette can be reduced.
【0025】なおカセットからのディスクの取り出しに
は、吸着パッドを備えたアームを用いることができる。
すなわちカセットの上部に張り出したアームが、カセッ
トのディスク近傍まで下降し、吸着パッドによりディス
クを吸着する。その後アームは、ディスクと共にパッド
ホルダー近傍まで上昇して、ディスクをパッドホルダー
の吸着パッドに受け渡す。またこの手順を逆に行なうこ
とで、カセットへのディスクを挿入できる。An arm provided with a suction pad can be used for taking out the disk from the cassette.
That is, the arm protruding above the cassette descends to the vicinity of the disk in the cassette, and sucks the disk by the suction pad. Thereafter, the arm moves up to the vicinity of the pad holder together with the disk, and transfers the disk to the suction pad of the pad holder. By reversing this procedure, a disc can be inserted into the cassette.
【0026】またパレットから処理済みのディスクを取
り外し、新たに未処理のディスクを取り付ける作業はに
は、次の二つのやり方がある。一つは、パレット上にあ
る処理済みの複数のディスクの全てを、処理済みディス
ク用カセットに装填した後で、未処理のディスクを順次
取り付けるやり方である。また一つは、1箇所のディス
クホルダーごとに、処理済みディスクを取り外した後引
続き、そのディスクホルダーに未処理のディスクを取り
付けるやり方である。これらの中では、後者が効率的で
ある。There are two methods for removing the processed disk from the pallet and attaching a new unprocessed disk. One is a method of loading all the processed disks on the pallet into a processed disk cassette and then mounting unprocessed disks sequentially. Another is a method in which a processed disk is removed for each disk holder and then an unprocessed disk is attached to the disk holder. Of these, the latter is more efficient.
【0027】なおカセットは、薄膜形成処理前のディス
クの入ったカセットを、製造ラインの上流側に、そして
処理済みディスクを挿入するカセットを下流側に配置す
れば、処理前ディスクを全てパレットに装着して空にな
ったカセットが、そのまま処理済みディスク用カセット
に使用できるので効率的である。If the cassette containing the disk before the thin film formation processing is arranged on the upstream side of the production line and the cassette for inserting the processed disk is arranged on the downstream side, all the disks before the processing are mounted on the pallet. The empty cassette can be used as it is as a processed disk cassette, which is efficient.
【0028】また装置を完全自動化する場合には、パレ
ットからディスクを取り出してディスクホルダーに取り
付けたり、ディスクホルダーからディスクを外してカセ
ットに入れたりするハンドリングが確実に行われている
かどうか検出することが必要となる。When the apparatus is fully automated, it is necessary to detect whether or not handling such as taking out a disc from a pallet and attaching it to a disc holder, or removing a disc from a disc holder and putting it in a cassette is performed reliably. Required.
【0029】そこで光電管などの方式によりディスクの
有無を検出し、ディスク無しを検出した場合には、動作
を停止してアラームを出すなどの処置をするようにして
おくことは重要である。その際には、ディスク検出器は
パッドホルダーの吸着パッド近傍に取り付けることで、
ディスクの有無の検出をより確実に行なうことができ
る。Therefore, it is important to detect the presence / absence of a disk by a method such as a photoelectric tube and to take measures such as stopping the operation and issuing an alarm when the absence of the disk is detected. In that case, the disk detector is attached near the suction pad of the pad holder,
The presence or absence of a disk can be detected more reliably.
【0030】また吸着パッドによりディスク、外マス
ク、内マスクのハンドリングを行うようにした場合、吸
着が確実に行われているかの確認も重要である。この確
認は、真空度が所定の値に達しているかどうかにより確
認するのが良い。そして所定の真空度に達していない場
合は、吸着ミスとして動作を停止しアラームを出すなど
の処置をすることが必要である。When the disk, the outer mask, and the inner mask are handled by the suction pad, it is also important to confirm whether suction is performed reliably. This confirmation is preferably made based on whether or not the degree of vacuum has reached a predetermined value. If the predetermined degree of vacuum has not been reached, it is necessary to take measures such as stopping the operation as a suction error and issuing an alarm.
【0031】以上述べてきたディスク着脱動作はクリー
ンな雰囲気で行う必要がある。ディスクにゴミなどが付
着した状態でスパッタリングを行い薄膜を付与すると製
品不良となる。従って、これらの装置はクリーンブース
の中に設置するのが良い。The above-described disk mounting / dismounting operation needs to be performed in a clean atmosphere. If a thin film is applied by sputtering with dust or the like adhered to the disk, the product will be defective. Therefore, these devices should be installed in a clean booth.
【0032】[0032]
【実施例】図1〜図4は、本発明の一実施例を示すディ
スク着脱装置である。ここで図1は吸着パッドを備えた
パッドホルダーパレット、図2はディスクが取り付けら
れた状態のディスクホルダー、図3は正面から見たパレ
ット、図4はパレットとカセットおよびパッドホルダー
との位置関係を示す図である。1 to 4 show a disk attaching / detaching apparatus showing an embodiment of the present invention. Here, FIG. 1 shows a pad holder pallet provided with a suction pad, FIG. 2 shows a disk holder with a disk mounted thereon, FIG. 3 shows a pallet viewed from the front, and FIG. 4 shows a positional relationship between a pallet, a cassette and a pad holder. FIG.
【0033】これらの図中で1は外マスク吸着用パッ
ド、2は内マスク吸着用パッド、3はディスク吸着用パ
ッド、4はパッドホルダー、5はディスク、6は外マス
ク、7は内マスク、8は内マスク7に設けられた真空吸
引口、9はディスクホルダー、10はパレット、11は
薄膜形成処理前のディスク用のカセット、12は薄膜形
成処理後のディスク用のカセット、13はディスク取り
出しアーム、14はディスク挿入アームである。また図
4中の矢印は、製造ラインの流れに沿ったカセットの搬
送方向およびパッドホルダーの移動方向を示す。In these figures, 1 is an outer mask suction pad, 2 is an inner mask suction pad, 3 is a disk suction pad, 4 is a pad holder, 5 is a disk, 6 is an outer mask, 7 is an inner mask, 8 is a vacuum suction port provided in the inner mask 7, 9 is a disk holder, 10 is a pallet, 11 is a cassette for a disk before the thin film formation processing, 12 is a cassette for a disk after the thin film formation processing, and 13 is a disk removal. The arm 14 is a disk insertion arm. Arrows in FIG. 4 indicate the direction in which the cassette is transported and the direction in which the pad holder moves along the flow of the production line.
【0034】そして光ディスクあるいは光磁気ディスク
を製造する場合、ディスク5は外マスク6と内マスク7
と一緒に、ディスクホルダー9に固定される。そして複
数個のディスクホルダー9が設けられたパレット10
は、薄膜形成装置の真空槽内に移動する。そしてディス
ク5の外マスク6と内マスク7に覆われていない部分に
は、真空中で成膜が行なわれる。その際、スパッタリン
グ法あるいは蒸着法などの方法により薄膜が形成され
る。When an optical disk or a magneto-optical disk is manufactured, the disk 5 includes an outer mask 6 and an inner mask 7.
Together with the disk holder 9. A pallet 10 provided with a plurality of disk holders 9
Moves into the vacuum chamber of the thin film forming apparatus. Then, a film is formed in a vacuum on a portion of the disk 5 not covered by the outer mask 6 and the inner mask 7. At that time, a thin film is formed by a method such as a sputtering method or an evaporation method.
【0035】ここでパレット10のディスクホルダー9
に、ディスク5を外マスク6と内マスク7を一緒に装着
したり、逆にディスクホルダー9からディスク5を外マ
スク6と内マスク7を一緒に外したりするのに、外マス
ク吸着用パッド1と内マスク吸着用パッド2、およびデ
ィスク吸着用パッド3を備えたパッドホルダー4を使用
する。Here, the disk holder 9 of the pallet 10
In order to mount the disk 5 together with the outer mask 6 and the inner mask 7 or to remove the disk 5 from the disk holder 9 together with the outer mask 6 and the inner mask 7, the outer mask suction pad 1 is used. And a pad holder 4 provided with an inner mask suction pad 2 and a disk suction pad 3.
【0036】その際に外マスク6は、パッドホルダー4
の外周部に複数個取り付けられた外マスク吸着用パッド
1により吸着される。また内マスク7は、内マスク吸着
用パッド2により吸着される。そしてディスク5は、内
マスク7の真空吸引口8を介してディスク吸着用パッド
3で吸着される。At this time, the outer mask 6 is attached to the pad holder 4
Is sucked by the outer mask suction pads 1 attached to a plurality of outer peripheral portions. The inner mask 7 is sucked by the inner mask suction pad 2. Then, the disk 5 is sucked by the disk suction pad 3 through the vacuum suction port 8 of the inner mask 7.
【0037】パッドホルダー4は、カセット11から取
り出したディスク5を外マスク6および内マスク7と一
緒にパレット10の方向に向けたり、パレット10上の
ディスクホルダー9より取り外したディスク5(外マス
ク6、内マスク7付)をカセット12方向に向けたりす
るため90°回転し、さらにディスク未処理用カセット
11とディスク処理済み用カセット12の間を平行移動
する。The pad holder 4 directs the disk 5 taken out of the cassette 11 together with the outer mask 6 and the inner mask 7 toward the pallet 10 or the disk 5 (the outer mask 6) removed from the disk holder 9 on the pallet 10. , With the inner mask 7) turned 90 ° in order to orient it in the direction of the cassette 12, and furthermore, move in parallel between the disc unprocessed cassette 11 and the disc processed cassette 12.
【0038】そのために処理前のディスクのカセット1
1は、パレット10の近くであって、パレット10のデ
ィスク取り付け面とカセット11の中のディスク面とが
垂直になる位置に配置される。また処理済みディスクの
カセット12も、処理前のディスクのカセット11の下
流側に、パレット10のディスク取り付け面とカセット
12の中のディスク面とが垂直になる位置に配置され
る。For this purpose, the cassette 1 of the disc before processing
Reference numeral 1 denotes a position near the pallet 10, where the disk mounting surface of the pallet 10 is perpendicular to the disk surface in the cassette 11. Further, the cassette 12 of the processed disk is also disposed downstream of the cassette 11 of the unprocessed disk at a position where the disk mounting surface of the pallet 10 and the disk surface of the cassette 12 are perpendicular to each other.
【0039】パレット10のディスクホルダー9にディ
スク5を装着するときは、まずはディスク取り出しアー
ム13で、カセット11よりディスク5を1枚づつ取り
出す。そのためにアーム13は、その先端部にディスク
内周部を吸着するための吸着パッドが設けてあると共
に、上下移動ができる構造となっている。When mounting the disks 5 on the disk holder 9 of the pallet 10, first, the disks 5 are removed one by one from the cassette 11 by the disk removal arm 13. For this purpose, the arm 13 has a suction pad for suctioning the inner peripheral portion of the disk at its tip end and has a structure capable of moving up and down.
【0040】そしてカセット11から取り出されたディ
スク5は、外マスク6と内マスク7を予め吸着し、吸着
面をアーム13の側に向けて待機しているパッドホルダ
ー4へとアーム13が移動して、そこへ手渡される。The disk 5 taken out of the cassette 11 sucks the outer mask 6 and the inner mask 7 in advance, and the arm 13 moves to the pad holder 4 which stands by with the suction surface facing the arm 13. And handed over there.
【0041】その後パッドホルダー4は、外マスク6と
内マスク7と共に吸着したディスク5の面を、パレット
10の側へ向ける形で90°回転する。続いてパッドホ
ルダー4は、ディスクホルダー9へと移動して、ディス
ク5を外マスク6と内マスク7と共に取り付ける。その
際に外マスク6は、ディスクホルダー9の側面に埋め込
まれた磁石によって固定される。Thereafter, the pad holder 4 rotates 90 ° so that the surface of the disk 5 sucked together with the outer mask 6 and the inner mask 7 faces the pallet 10. Subsequently, the pad holder 4 moves to the disk holder 9 and attaches the disk 5 together with the outer mask 6 and the inner mask 7. At that time, the outer mask 6 is fixed by a magnet embedded in the side surface of the disk holder 9.
【0042】なおパレット10は、回転可能な円板形状
をしており、さらに架台によって支持されている。さら
にこのパレット10には、ディスクホルダー9が複数備
えられている。そしてパレット10とパッドホルダー4
との間でのディスク3の受渡しは、パレット10が回転
することで常時同じ場所で行なわれる。すなわちパレッ
ト10の最下部に位置するディスクホルダーでディスク
の受渡しが行なわれる。そしてパレット10の薄膜形成
装置への移動は、その支持架台がコンベア上に載って移
動することで行なわれる。なおディスクホルダー9自身
も回転可能であり、すなわちパレット9上に取り付けら
れたディスク5は自公転可能な構造になっている。The pallet 10 has a rotatable disk shape and is supported by a gantry. Further, the pallet 10 is provided with a plurality of disk holders 9. And pallet 10 and pad holder 4
The delivery of the disc 3 between the pallet 10 and the pallet 10 is always performed at the same place as the pallet 10 rotates. That is, the delivery of the disk is performed by the disk holder located at the bottom of the pallet 10. The movement of the pallet 10 to the thin film forming apparatus is performed by moving the support base on a conveyor. The disc holder 9 itself is also rotatable, that is, the disc 5 mounted on the pallet 9 has a structure capable of revolving around itself.
【0043】そして薄膜形成処理が済んだディスク5
は、上記と逆の手順によって、処理後のディスクのカセ
ット12へと納められる。すなわち、ディスクホルダー
9より取り外された処理済のディスク5は、外マスク6
と内マスク7と一緒に、パッドホルダー4を90°カセ
ット側に回転させディスク挿入アーム14に付属の吸着
パッドで受け取られ、カセット12に挿入する。Then, the disk 5 having been subjected to the thin film forming process
Is stored in the cassette 12 of the processed disk in the reverse procedure. That is, the processed disk 5 removed from the disk holder 9 is
The pad holder 4 is rotated to the cassette side by 90 ° together with the inner mask 7 and received by the suction pad attached to the disk insertion arm 14 and inserted into the cassette 12.
【0044】処理後のディスクのカセット12が一杯に
なれば、カセット12はさらに下流側に送り出される。
そして元カセット12があった場所には、上流で空にな
った処理前のディスクのカセット11がセットされ、新
たな処理後のディスクのカセット12として使用され
る。When the cassette 12 of the processed disk is full, the cassette 12 is sent further downstream.
Then, in the place where the original cassette 12 was, the cassette 11 of the unprocessed disk that has been emptied upstream is set and used as the cassette 12 of the new processed disk.
【0045】[0045]
【発明の効果】本発明は以上詳述したとおり、簡単な構
造で確実なディスクの着脱を可能にし、しかもディスク
着脱の処理を短時間で行い、さらに条件変更などを容易
に対応できるディスク着脱装置を得ることができる。As has been described in detail above, the present invention provides a disk mounting / removing apparatus which enables a reliable mounting / dismounting of a disk with a simple structure, performs processing for mounting / dismounting a disk in a short time, and can easily cope with a change in conditions. Can be obtained.
【図1】パッドホルダーFig. 1 Pad holder
【図2】ディスクホルダーFIG. 2 Disc holder
【図3】パレットの正面図FIG. 3 is a front view of a pallet.
【図4】パレットとカセットおよびパッドホルダーとの
位置関係の平面図FIG. 4 is a plan view of a positional relationship between a pallet, a cassette, and a pad holder.
1 外マスク吸着用パッド 2 内マスク吸着用パッド 3 ディスク吸着用パッド 4 パッドホルダー 5 ディスク 6 外マスク 7 内マスク 8 真空吸引口 9 ディスクホルダー 10 パレット 11 薄膜処理前のディスクのカセット 12 薄膜処理後のディスクのカセット 13 ディスク取り出しアーム 14 ディスク挿入アーム REFERENCE SIGNS LIST 1 outer mask suction pad 2 inner mask suction pad 3 disk suction pad 4 pad holder 5 disk 6 outer mask 7 inner mask 8 vacuum suction port 9 disk holder 10 pallet 11 disk cassette before thin film processing 12 after thin film processing Disc cassette 13 Disc take-out arm 14 Disc insertion arm
Claims (2)
ダーとの間でディスクの取り継ぎを行なうディスク中継
手段を備えて、位置決めされたパレット上に配置された
ディスクホルダーに対して、外マスクと内マスクと共に
ディスクの着脱を行なうディスク着脱装置において、デ
ィスク中継手段が外マスク吸着用パッドと内マスク吸着
用パッドとディスク吸着用パッドとを備え、外マスク吸
着用パッドによって外マスクを真空吸着し、かつ内マス
ク吸着用パッドによって内マスクを真空吸着し、さらに
ディスク吸着用パッドが内マスクに設けた真空吸引口を
介してディスクと内マスクを真空吸着することで、搬送
用のカセットから取り出されたディスクをディスクホル
ダーに取り付けるまでの間、あるいはディスクホルダー
から取り外されたディスクを搬送用のカセットに納める
までの間において、ディスク中継手段が外マスクと内マ
スクとディスクとを保持することを特徴とするディスク
着脱装置。1. A disk relay means for transferring a disk between a disk transport cassette and a disk holder, wherein a disk holder disposed on a positioned pallet is provided together with an outer mask and an inner mask. In a disk mounting / dismounting apparatus for mounting / dismounting a disk, the disk relay means includes an outer mask suction pad, an inner mask suction pad, and a disk suction pad, and the outer mask suction pad vacuum-sucks the outer mask, and the inner mask. The inner mask is vacuum-sucked by the suction pad, and the disk and the inner mask are vacuum-sucked through the vacuum suction port provided in the inner mask by the disk suction pad, so that the disk taken out of the transport cassette can be disk-mounted. Until it is installed in the holder, or the data A disk mounting / removing device, wherein a disk relay means holds an outer mask, an inner mask, and a disk until the disk is accommodated in a transport cassette.
ら等距離かつ等角度間隔でパレット上に配置されたこと
特徴とする請求項1記載のディスク着脱装置。2. The disk mounting / dismounting device according to claim 1, wherein the disk holders are arranged on the pallet at equal distances and at equal angular intervals from the center of the pallet.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7063694A JP3249289B2 (en) | 1994-04-08 | 1994-04-08 | Disk loading / unloading device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7063694A JP3249289B2 (en) | 1994-04-08 | 1994-04-08 | Disk loading / unloading device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07283290A JPH07283290A (en) | 1995-10-27 |
JP3249289B2 true JP3249289B2 (en) | 2002-01-21 |
Family
ID=13437334
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7063694A Expired - Fee Related JP3249289B2 (en) | 1994-04-08 | 1994-04-08 | Disk loading / unloading device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3249289B2 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003131387A (en) * | 2001-10-22 | 2003-05-09 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Conveyance arm usable commonly for conveyance of mask and substrate for exposure and exposure device having the same |
US8402731B2 (en) | 2008-12-17 | 2013-03-26 | Mitsubishi Electric Corporation | Elevator rope |
KR20140010389A (en) * | 2011-01-31 | 2014-01-24 | 디에스엠 아이피 어셋츠 비.브이. | Stabilized ultra high molecular weight polyolefin fiber |
-
1994
- 1994-04-08 JP JP7063694A patent/JP3249289B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003131387A (en) * | 2001-10-22 | 2003-05-09 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Conveyance arm usable commonly for conveyance of mask and substrate for exposure and exposure device having the same |
US8402731B2 (en) | 2008-12-17 | 2013-03-26 | Mitsubishi Electric Corporation | Elevator rope |
KR20140010389A (en) * | 2011-01-31 | 2014-01-24 | 디에스엠 아이피 어셋츠 비.브이. | Stabilized ultra high molecular weight polyolefin fiber |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07283290A (en) | 1995-10-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3354761B2 (en) | Disk coating equipment | |
US8166985B2 (en) | Substrate cleaning and processing apparatus with magnetically controlled spin chuck holding pins | |
JP2002517055A (en) | Substrate handling and processing systems and methods | |
TWI246499B (en) | Plate-like object carrying mechanism and dicing device with carrying mechanism | |
JP4109733B2 (en) | Substrate transfer system and semiconductor manufacturing apparatus | |
JP3249289B2 (en) | Disk loading / unloading device | |
US20030010358A1 (en) | Clean method and apparatus for vacuum holding of substrates | |
WO2003085159A1 (en) | Replacement unit and replacement method for substrate in thin-film forming device | |
JP2003077988A (en) | Semiconductor wafer mounting method and cassette used therefor | |
JPH06345261A (en) | Transporting hand of automatic transport device | |
EP1336957B1 (en) | Magnetic transfer apparatus | |
JP2509362Y2 (en) | Optical information recording disk manufacturing equipment | |
JP2657466B2 (en) | Device for handling disc-shaped objects | |
JP3421358B2 (en) | Transport method | |
JP2001325725A (en) | Magnetic transfer device | |
JPH0685035A (en) | Carriage of disc-like parts and its method | |
JPH06168864A (en) | Cleaning equipment | |
JPH07296429A (en) | Handling device of disk-shaped recording medium | |
JP2012016758A (en) | Grinding device | |
JPS6221644A (en) | Wafer transporting apparatus | |
JP2002109730A (en) | Method and apparatus for magnetic disk transfer | |
TW202310133A (en) | Transfer preparation method of frame unit capable of confirming whether the unit for transferring a frame unit in a processing device is adjusted in a manner to match the size of an annular frame | |
JPH0476837A (en) | Feature aligner | |
JPH07104596B2 (en) | Original storage cassette | |
JPH10157707A (en) | Device for taping integrated circuit |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |