JP2002109730A - Method and apparatus for magnetic disk transfer - Google Patents

Method and apparatus for magnetic disk transfer

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JP2002109730A
JP2002109730A JP2000302311A JP2000302311A JP2002109730A JP 2002109730 A JP2002109730 A JP 2002109730A JP 2000302311 A JP2000302311 A JP 2000302311A JP 2000302311 A JP2000302311 A JP 2000302311A JP 2002109730 A JP2002109730 A JP 2002109730A
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magnetic
magnetic disk
disk
transfer
particles
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JP2000302311A
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Hironori Mine
宏則 美根
Akira Saito
明 斎藤
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Fuji Electric Co Ltd
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Fuji Electric Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To decrease particle influence and improve contact in recording predetermined magnetic patterns on a magnetic disk with a magnetic transfer method. SOLUTION: A cleaning part 7, which removes particles entering from outside of an apparatus, is provided, and magnetic disk handling through a disk handler 4 is performed in a condition that the inner radius, on which magnetic transfer of the magnetic disk is not executed, is vacuum absorbed. This allows the magnetic disk to reduce particle adhesion and perform magnetic transfer in a vacuum absorbed state, improving reliability of the magnetic disk.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、現在コンピュー
タの外部記憶装置として主流となっている、磁性膜を記
録材料として用いるハードディスクドライブ(HDDと
も略記する)において、磁気記録ディスク表面に書き込
まれているデータの書き込み/読み出しを行なう磁気ヘ
ッドの位置決め用サーボ信号または特定のデータを、磁
気的な転写技術を用いて書き込む方法および装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is written on the surface of a magnetic recording disk in a hard disk drive (HDD) using a magnetic film as a recording material, which is now mainstream as an external storage device of a computer. The present invention relates to a method and an apparatus for writing a servo signal for positioning a magnetic head for writing / reading data or specific data using a magnetic transfer technique.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、磁気ディスクは何も磁気的情報が
書かれない状態で出荷され、HDD装置に組み込まれた
後に、HDD装置で必要な磁気的情報が書き込まれる。
HDDにおいて、磁気ディスクは同心円状のトラックと
呼ばれる一定の幅を持った領域に磁気的に仕切られ、そ
のトラック上にヘッドを追従させながらデータの読み,
書きを行なう。HDDはトラック上に書かれたサーボ信
号と呼ばれる磁気的信号よりヘッドの位置ずれを検出
し、トラックから外れないようヘッドを制御する。この
動作はトラックサーボと呼ばれている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a magnetic disk is shipped in a state where no magnetic information is written therein, and is incorporated in an HDD device, and thereafter, magnetic information necessary for the HDD device is written.
In the HDD, a magnetic disk is magnetically partitioned into concentric tracks having a fixed width, and data is read and read while a head follows the track.
Write. The HDD detects a head displacement from a magnetic signal called a servo signal written on a track, and controls the head so as not to deviate from the track. This operation is called track servo.

【0003】しかし、何も書かれていない磁気ディスク
に精密に同心円状にサーボ信号を書き込むためには、精
密な位置制御機能を有する装置が必要であり、また、位
置合わせに必要な機構を外部よりHDD内に挿入するた
め、その作業はHDD内への塵埃の侵入を防ぐために、
クリーンルーム内で行なう必要があった。また、精密に
位置合わせを行ないながら、通常1面に数万本あるトラ
ックにサーボ信号を書き込むためには、数10分という
時間が必要である。このサーボ信号の書き込み作業は上
記のように、HDD1台毎にクリーンルーム内で行なう
必要があり、高精度な装置を使用するため、HDDの製
造コストを増大させる大きな要因となっている。
However, in order to write servo signals precisely concentrically on a magnetic disk on which nothing is written, a device having a precise position control function is required, and a mechanism required for positioning is externally provided. In order to insert the HDD more, the work is done to prevent dust from entering the HDD.
This had to be done in a clean room. Also, it takes several tens of minutes to write servo signals on tens of thousands of tracks on one surface while performing precise alignment. As described above, it is necessary to perform this servo signal writing operation for each HDD in a clean room, and since a high-precision device is used, this is a major factor in increasing the manufacturing cost of the HDD.

【0004】上述のサーボ信号パターンを持つマスタデ
ィスクと呼ばれる磁気転写用の特殊なディスクを、磁気
ディスクに密着させて外部より磁界を印加することによ
り、そのサーボ信号パターンを瞬時に転写するという技
術および装置が開発されている。このことにより、ドラ
イブ製造コストの削減やトラックの高密度化(トラック
幅の狭域化)が可能となる。しかし、磁気転写はマスタ
ディスクを磁気ディスクに密着させて行なうため、これ
らの間に挟まれるパーティクルが大きな問題となる。特
にパーティクルは、磁気ディスクが搬送される間に外周
部に付着することが多い。挟み込まれたパーティクル
は、マスタディスクと磁気媒体との密着性を悪化させ、
転写信号の品質劣化をもたらす。これらについては信号
評価により検出可能であるが、挟み込まれたパーティク
ルによりマスタディスクに損傷を与える可能性がある。
磁気ディスクがアルミ基板であれば、或る程度の可塑性
を持っているため、パーティクルによりマスタディスク
が損傷するということはあまり問題とならない。
A technique for transferring a servo signal pattern instantaneously by applying a magnetic field from the outside while closely attaching a special disk for magnetic transfer called a master disk having the above-mentioned servo signal pattern to the magnetic disk, and Equipment is being developed. This makes it possible to reduce the drive manufacturing cost and increase the track density (narrow the track width). However, since the magnetic transfer is performed while the master disk is brought into close contact with the magnetic disk, particles sandwiched between them cause a serious problem. In particular, particles often adhere to the outer peripheral portion while the magnetic disk is transported. The trapped particles deteriorate the adhesion between the master disk and the magnetic medium,
This results in quality deterioration of the transfer signal. These can be detected by signal evaluation, but there is a possibility that the master disk may be damaged by the interposed particles.
If the magnetic disk is an aluminum substrate, it has a certain degree of plasticity, so that damage to the master disk by particles does not cause much problem.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、磁気ディスク
が固いガラス基板であると、パーティクルによりマスタ
ディスクが損傷する確率が高くなると同時に、比較的小
さなパーティクルによって磁気ディスク側にも磁性膜を
破るなどの重大な損傷を与えることになる。また、この
ような磁気ディスクの損傷は比較的範囲が狭いので、試
験工程で精密に検査をしなければ発見しにくいという問
題がある。ところで、パーティクルには外部の環境から
来るもの、転写される媒体(磁気ディスク)に付着して
来るものなどがある。後者の磁気ディスクに付着して来
るものについては、磁気転写工程の前で光学的に磁気デ
ィスク表面に異物があるかどうかを検査することによ
り、検出することができる。しかし、入ってくるパーテ
ィクルそのものを減らさない限り、この光学検査での歩
留りを上げることはできない。
However, if the magnetic disk is a hard glass substrate, the probability that the master disk will be damaged by particles increases, and at the same time, the magnetic film is broken by the relatively small particles on the magnetic disk side. It will cause serious damage. In addition, since the damage of such a magnetic disk is relatively narrow, there is a problem that it is difficult to detect the damage unless a precise inspection is performed in a test process. By the way, the particles include those coming from an external environment and those adhering to a medium (magnetic disk) to be transferred. The latter, which adheres to the magnetic disk, can be detected by optically inspecting the surface of the magnetic disk for foreign matter before the magnetic transfer step. However, the yield in this optical inspection cannot be increased unless the incoming particles themselves are reduced.

【0006】従来、磁気転写工程前に磁気ディスクのク
リーニング処理を行なっていたが、これは別置の装置を
用いるものであり、クリーニング後に磁気転写される間
の搬送などによりパーティクルが付着する危険性を、十
分回避できるものではない。したがって、この発明の課
題は、パーティクルによる影響を受け難くし、密着性を
向上させることにある。
Conventionally, a magnetic disk cleaning process has been performed before the magnetic transfer process. However, this process uses a separate apparatus, and there is a risk that particles will adhere to the magnetic disk after the cleaning and during the magnetic transfer. Cannot be avoided sufficiently. Therefore, an object of the present invention is to reduce the influence of particles and improve the adhesion.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るため、請求項1の発明では、所定の磁気パターンを持
つマスタディスクを磁気ディスクに密着させて外部より
磁界を加え、前記所定の磁気パターンを磁気ディスク上
に転写する磁気ディスク転写方法において、前記磁気デ
ィスクの磁気転写面とは反対側の裏面を真空吸着により
ハンドリングした後、磁気ディスクに付着して来るパー
ティクルの除去作業を行なうことを特徴とする。
According to the first aspect of the present invention, a master disk having a predetermined magnetic pattern is brought into close contact with a magnetic disk to apply a magnetic field from the outside, and the predetermined magnetic pattern is applied. In a magnetic disk transfer method for transferring a pattern onto a magnetic disk, it is preferable that after the back surface of the magnetic disk opposite to the magnetic transfer surface is handled by vacuum suction, an operation of removing particles adhering to the magnetic disk is performed. Features.

【0008】上記請求項1の発明においては、前記パー
ティクルを除去してから磁気転写するまでの間に、パー
ティクルの付着がないかどうかの光学的試験を行なうこ
とができる(請求項2の発明)。また、これら請求項1
または2の発明においては、前記磁気ディスクがガラス
基板磁気ディスクであることができる(請求項3の発
明)。
According to the first aspect of the present invention, an optical test can be performed between the removal of the particles and the magnetic transfer to determine whether or not the particles are attached (the second aspect of the invention). . These claims 1
In the invention of the second aspect, the magnetic disk may be a glass substrate magnetic disk.

【0009】上記請求項4の発明では、所定の磁気パタ
ーンを持つマスタディスクを磁気ディスクに密着させて
外部より磁界を加え、前記所定の磁気パターンを磁気デ
ィスク上に転写する磁気ディスク転写装置において、前
記磁気ディスクの磁気転写面とは反対側の裏面を真空吸
着するハンドリング手段と、磁気ディスクに付着して来
るパーティクルを除去するパーティクル除去手段を設け
たことを特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a magnetic disk transfer device for transferring a predetermined magnetic pattern onto a magnetic disk by applying a magnetic field from outside by bringing a master disk having a predetermined magnetic pattern into close contact with the magnetic disk. The magnetic disk is characterized in that handling means for vacuum-sucking the back surface opposite to the magnetic transfer surface of the magnetic disk and particle removing means for removing particles adhering to the magnetic disk are provided.

【0010】上記請求項4の発明においては、前記パー
ティクル除去手段によるパーティクル除去から磁気転写
までの間に、パーティクルの付着がないかどうかを光学
的に試験する試験手段を配置することができる(請求項
5の発明)。また、これら請求項4または5の発明にお
いては、前記磁気ディスクがガラス基板磁気ディスクで
あることができる(請求項6の発明)。
[0010] In the fourth aspect of the present invention, it is possible to arrange a test means for optically testing whether or not the particles are attached between the particle removal by the particle removal means and the magnetic transfer (claim). Item 5). Further, in the invention according to claim 4 or 5, the magnetic disk can be a glass substrate magnetic disk (the invention according to claim 6).

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】図1はこの発明の実施の形態を示
す構成図である。同図において、1は磁気ディスク転写
装置、2はカセットステージ(入口)、3はカセットス
テージ(出口)、4はディスクハンドラ、5はディスク
保持・送り機構部、6は真空吸着ヘッド、7はクリーニ
ング部、8は異物検査部、9は磁気消去部、10は磁気
転写部、11はディスクカセット、12は磁気ディスク
を示す。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention. In the figure, 1 is a magnetic disk transfer device, 2 is a cassette stage (entrance), 3 is a cassette stage (exit), 4 is a disk handler, 5 is a disk holding / feeding mechanism, 6 is a vacuum suction head, and 7 is a cleaning. , 8 a foreign matter inspection unit, 9 a magnetic erase unit, 10 a magnetic transfer unit, 11 a disk cassette, and 12 a magnetic disk.

【0012】このような構成において、磁気ディスク1
2はディスクカセット11に通常25枚ずつ入れられ
て、製造ラインのコンベアにより転写装置投入口である
カセットステージ2まで搬送されて来る。カセットステ
ージ2には、ディスクをカセット下部の空隙部より突き
上げる機構を有しており、磁気ディスク12を1枚ずつ
ディスクカセット11の上部に上昇させる。ディスクハ
ンドラ4は、内周チャッキング機構を持ち、突き上げら
れた磁気ディスク12の内周へ閉じた状態でチャッキン
グ機構を挿入し、その後チャッキング機構を開くことに
より磁気ディスク12を保持する。
In such a configuration, the magnetic disk 1
2 are usually put into the disk cassette 11 by 25 sheets, and are conveyed to the cassette stage 2 which is the transfer apparatus input port by the conveyor of the production line. The cassette stage 2 has a mechanism for pushing the disks up from the gap below the cassette, and raises the magnetic disks 12 one by one to the upper part of the disk cassette 11. The disk handler 4 has an inner peripheral chucking mechanism, inserts the chucking mechanism in a closed state on the inner periphery of the protruded magnetic disk 12, and then holds the magnetic disk 12 by opening the chucking mechanism.

【0013】磁気ディスク12を保持したディスクハン
ドラ4は、水平方向180度の回転動作と垂直方向90
度の回転動作により、保持した磁気ディスクを磁気ディ
スク転写装置1内部のディスク保持・送り機構部5に装
着する。このディスク保持・送り機構部5に装着された
磁気ディスクは、転写装置1内で図1に例示されている
ように4段階で転写作業が実施される。ディスク保持・
送り機構部5は、先端部にディスク内周部を真空吸着し
て保持する真空吸着ヘッド6を持った6本の腕が等角度
に組み合わされて構成され、1つの真空吸着ヘッド6に
保持された磁気ディスク12に対し、ディスク保持・送
り機構部5が水平面上で1回転する間に4段階の転写作
業が順次行なわれる。残る2段階は、磁気ディスクの出
し入れのために使用される。
The disk handler 4 holding the magnetic disk 12 rotates 180 degrees in the horizontal direction and 90 degrees in the vertical direction.
The magnetic disk thus held is mounted on the disk holding / feeding mechanism 5 inside the magnetic disk transfer device 1 by the rotation operation. The transfer operation of the magnetic disk mounted on the disk holding / feeding mechanism 5 is performed in the transfer device 1 in four stages as illustrated in FIG. Disk holding /
The feed mechanism unit 5 is constituted by combining six arms having a vacuum suction head 6 for vacuum-holding and holding the inner peripheral portion of the disk at the front end thereof at an equal angle, and is held by one vacuum suction head 6. The four-stage transfer operation is sequentially performed on the magnetic disk 12 while the disk holding / feeding mechanism 5 makes one rotation on a horizontal plane. The remaining two stages are used for loading and unloading the magnetic disk.

【0014】上記転写作業はここではクリーニング,異
物検査,磁気消去および磁気転写の4段階である。ディ
スクハンドラ4により磁気転写面とは違う面を保持され
る磁気ディスク12は、クリーニング部7により磁気転
写面のクリーニング処理が行なわれる。そのクリーニン
グ処理については、テープを媒体表面に接触させてパー
ティクルを除去する、いわゆるテープクリーニング方式
などがある。このようなクリーニング処理により、特に
通常の磁気ディスク使用では問題とならないが磁気転写
で問題となる、最外周部付近のパーティクルが除去され
る。
The above-described transfer operation is performed in four steps of cleaning, foreign substance inspection, magnetic erasure and magnetic transfer. For the magnetic disk 12 held by the disk handler 4 on a surface different from the magnetic transfer surface, the cleaning unit 7 performs a cleaning process on the magnetic transfer surface. As the cleaning process, there is a so-called tape cleaning system in which the tape is brought into contact with the medium surface to remove particles. By such a cleaning process, particles near the outermost peripheral portion, which do not cause a problem particularly when a normal magnetic disk is used but cause a problem in magnetic transfer, are removed.

【0015】次に、磁気ディスクは異物検査部8で、磁
気ディスク12の磁気転写面にパーティクルの付着がな
いかどうかが光学的に検査される。この検査により、磁
気転写で問題となるパーティクルの付着がないと判断さ
れた磁気ディスク12は、磁気消去部9において磁気転
写面の磁気的消去が行なわれ、続く磁気転写部10にお
いて転写されるべき磁気パターンを持ったマスタディス
クと密着され、磁気転写処理が行なわれる。磁気転写を
完了した磁気ディスク12は、ディスクハンドラ4によ
り出口用のカセットステージ3で待機しているディスク
カセット11へ移し替えられる。異物検査部8により、
磁気転写で問題となるパーティクルが付着されていると
判断された磁気ディスク12は、磁気消去処理,磁気転
写処理をスキップし不良ディスクとして廃棄される。
Next, the magnetic disk is optically inspected by a foreign substance inspection unit 8 to determine whether or not particles adhere to the magnetic transfer surface of the magnetic disk 12. As a result of this inspection, the magnetic disk 12 that has been determined to be free of particles that pose a problem in magnetic transfer should be magnetically erased on the magnetic transfer surface in the magnetic eraser 9 and then transferred in the magnetic transfer unit 10. It is brought into close contact with a master disk having a magnetic pattern, and magnetic transfer processing is performed. The magnetic disk 12 that has completed the magnetic transfer is transferred by the disk handler 4 to the disk cassette 11 waiting on the cassette stage 3 for exit. By the foreign matter inspection unit 8,
The magnetic disk 12 that is determined to have particles that cause a problem in magnetic transfer is skipped by the magnetic erasing process and the magnetic transfer process and discarded as a defective disk.

【0016】図2にディスク保持・送り機構部5に装備
されている真空吸着ヘッド6の構造例を示す。すなわ
ち、真空吸着ヘッド6は、磁気ディスク12の内径より
も若干大きな径を持った円形の形状をしており、吸着エ
アー口13を有している。吸着エアー口13はエアーが
引かれている状態であり、この負圧により磁気ディスク
12の内周部を吸着部磁気ディスク接触面14に密着さ
せる。
FIG. 2 shows a structural example of the vacuum suction head 6 provided in the disk holding / feeding mechanism 5. That is, the vacuum suction head 6 has a circular shape having a diameter slightly larger than the inner diameter of the magnetic disk 12, and has the suction air port 13. The suction air port 13 is in a state in which air is drawn, and the inner pressure of the magnetic disk 12 is brought into close contact with the magnetic disk contact surface 14 of the suction portion by the negative pressure.

【0017】図3に磁気転写工程を示す。磁気転写は磁
気消去と、マスタディスク17を密着させる磁気パター
ン転写との2段階で行なわれる。磁気消去は図3(a)
のように、消去用外部磁石15を磁気ディスク12上で
一定距離を保持しながら1回転させることにより、全面
を消去する。磁気パターン転写は図3(b)のように、
マスタディスク17を磁気ディスク12に密着させた状
態で、消去時とは逆方向磁界の転写用外部磁石16を、
やはり一定距離を保持しながら1回転させることにより
行なう。
FIG. 3 shows a magnetic transfer step. Magnetic transfer is performed in two stages: magnetic erasure and magnetic pattern transfer for bringing the master disk 17 into close contact. Magnetic erasure is shown in FIG.
As described above, the entire surface is erased by rotating the erasing external magnet 15 once while keeping a fixed distance on the magnetic disk 12. Magnetic pattern transfer is as shown in FIG.
With the master disk 17 in close contact with the magnetic disk 12, the transfer external magnet 16 having a magnetic field in a direction opposite to that in the erase operation is
This is also performed by making one rotation while maintaining a constant distance.

【0018】図4に磁気的に転写されるパターンを示
す。転写される磁気パターン領域18には、有効である
最内周径19と最外周径20があり、それより内側,外
側には有効であるパターンは転写されない。図5にマス
タディスクの構成例を示す。図示のように、転写磁気パ
ターン21がマスタディスク17の表面に形成されてい
る。この転写磁気パターン21は通常、1μm程度の幅
のパターンで形成されており、マスタディスク17と磁
気転写が行なわれる磁気ディスクとは、そのパターン幅
の10数分の1から数分の1程度の密着性を保ちなが
ら、磁気転写処理が行なわれることが必要である。ここ
に数μm程度のパーティクルが挟み込まれると、特に可
塑性のないガラス基板であると、数mmから数10mm
の範囲にわたって磁気転写不良を発生させる原因となっ
てしまう。
FIG. 4 shows a magnetically transferred pattern. The magnetic pattern area 18 to be transferred has an effective innermost diameter 19 and an outermost diameter 20, and no effective pattern is transferred inside or outside the innermost diameter 19 and outermost diameter 20. FIG. 5 shows a configuration example of the master disk. As shown, a transfer magnetic pattern 21 is formed on the surface of the master disk 17. The transfer magnetic pattern 21 is usually formed in a pattern having a width of about 1 μm. It is necessary that the magnetic transfer process be performed while maintaining the adhesion. If a particle of about several μm is interposed here, a glass substrate having no particular plasticity may have a size of several mm to several tens mm.
Over the range described above.

【0019】[0019]

【発明の効果】この発明によれば、磁気ディスクのハン
ドリングを、磁気転写される面とは逆の裏面を真空吸着
して行なうことにより、パーティクルの付着が発生し易
い、装置内での磁気ディスクの内径または外形のチャッ
キング動作を無くすことができる。また、転写装置に投
入される前の工程で付着するパーティクルをクリーニン
グする機構を磁気転写装置内に備えることで、装置外か
らのパーティクルおよび装置内で付着するパーティクル
の影響を受けにくい、密着性に優れた磁気転写が可能と
なる。
According to the present invention, the handling of the magnetic disk is performed by vacuum-sucking the back surface opposite to the surface to be magnetically transferred, so that particles are easily attached to the magnetic disk in the apparatus. The chucking operation of the inside diameter or the outside shape can be eliminated. In addition, by providing a mechanism inside the magnetic transfer device that cleans the particles that adhere in the process before entering the transfer device, it is less susceptible to particles from outside the device and particles that adhere to the inside of the device. Excellent magnetic transfer becomes possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の実施の形態を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of the present invention.

【図2】真空吸着ヘッドの例を示す外観斜視図である。FIG. 2 is an external perspective view showing an example of a vacuum suction head.

【図3】磁気転写工程説明図である。FIG. 3 is an explanatory view of a magnetic transfer step.

【図4】磁気転写パターン説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a magnetic transfer pattern.

【図5】マスタディスクの構成例を示す説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing a configuration example of a master disk.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…磁気ディスク転写装置、2…カセットステージ(入
口)、3…カセットステージ(出口)、4…ディスクハ
ンドラ、5…ディスク保持・送り機構部、6…真空吸着
ヘッド、7…クリーニング部、8…異物検査部、9…磁
気消去部、10…磁気転写部、11…ディスクカセッ
ト、12…磁気ディスク、13…吸着部エアー口、14
…吸着部磁気ディスク接触面、15…消去用外部磁石、
16…転写用外部磁石、17…マスタディスク、18…
転写磁気パターン領域、19…転写磁気パターン有効最
内周径、20…転写磁気パターン有効最外周径、21…
転写磁気パターン。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magnetic disk transfer apparatus, 2 ... Cassette stage (entrance), 3 ... Cassette stage (exit), 4 ... Disk handler, 5 ... Disk holding / feeding mechanism part, 6 ... Vacuum suction head, 7 ... Cleaning part, 8 ... Foreign matter inspection section, 9: magnetic erasing section, 10: magnetic transfer section, 11: disk cassette, 12: magnetic disk, 13: suction port air port, 14
... Suction part magnetic disk contact surface, 15 ... Erase external magnet,
16: External magnet for transfer, 17: Master disk, 18:
Transfer magnetic pattern area, 19: Effective innermost diameter of transfer magnetic pattern, 20: Effective outermost diameter of transfer magnetic pattern, 21:
Transfer magnetic pattern.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 所定の磁気パターンを持つマスタディス
クを磁気ディスクに密着させて外部より磁界を加え、前
記所定の磁気パターンを磁気ディスク上に転写する磁気
ディスク転写方法において、 前記磁気ディスクの磁気転写面とは反対側の裏面を真空
吸着によりハンドリングした後、磁気ディスクに付着し
て来るパーティクルの除去作業を行なうことを特徴とす
る磁気ディスク転写方法。
1. A magnetic disk transfer method in which a master disk having a predetermined magnetic pattern is brought into close contact with a magnetic disk and a magnetic field is externally applied to transfer the predetermined magnetic pattern onto the magnetic disk. A method of transferring a magnetic disk, comprising: after handling the back surface opposite to the surface by vacuum suction, removing particles adhering to the magnetic disk.
【請求項2】 前記パーティクルを除去してから磁気転
写するまでの間に、パーティクルの付着がないかどうか
の光学的試験を行なうことを特徴とする請求項1に記載
の磁気ディスク転写方法。
2. The magnetic disk transfer method according to claim 1, wherein an optical test is performed to determine whether or not the particles are attached between the time when the particles are removed and the time when the magnetic transfer is performed.
【請求項3】 前記磁気ディスクがガラス基板磁気ディ
スクであることを特徴とする請求項1または2のいずれ
かに記載の磁気ディスク転写方法。
3. The method according to claim 1, wherein the magnetic disk is a glass substrate magnetic disk.
【請求項4】 所定の磁気パターンを持つマスタディス
クを磁気ディスクに密着させて外部より磁界を加え、前
記所定の磁気パターンを磁気ディスク上に転写する磁気
ディスク転写装置において、 前記磁気ディスクの磁気転写面とは反対側の裏面を真空
吸着するハンドリング手段と、磁気ディスクに付着して
来るパーティクルを除去するパーティクル除去手段とを
設けたことを特徴とする磁気ディスク転写装置。
4. A magnetic disk transfer device for bringing a master disk having a predetermined magnetic pattern into close contact with a magnetic disk and applying an external magnetic field to transfer the predetermined magnetic pattern onto the magnetic disk. A magnetic disk transfer device, comprising: a handling means for vacuum-sucking the back surface opposite to the surface; and a particle removing means for removing particles adhering to the magnetic disk.
【請求項5】 前記パーティクル除去手段によるパーテ
ィクル除去から磁気転写までの間に、パーティクルの付
着がないかどうかを光学的に試験する試験手段を配置す
ることを特徴とする請求項4に記載の磁気ディスク転写
装置。
5. The magnetic device according to claim 4, wherein a test unit for optically testing whether or not the particles are attached is disposed between the particle removal by the particle removal unit and the magnetic transfer. Disk transfer device.
【請求項6】 前記磁気ディスクがガラス基板磁気ディ
スクであることを特徴とする請求項4または5のいずれ
かに記載の磁気ディスク転写装置。
6. The magnetic disk transfer device according to claim 4, wherein the magnetic disk is a glass substrate magnetic disk.
JP2000302311A 2000-10-02 2000-10-02 Method and apparatus for magnetic disk transfer Pending JP2002109730A (en)

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