JP3236591B2 - 形状認識装置及びその製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、物体と直接接触
して物体の有否、あるいは異常有否、さらに形状及び移
動を感知する形状認識装置において、接触のしかたによ
って導電性物体を感知できるものに関し、より詳しく
は、形状及びその移動を感知する形状感知部の構成に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来技術による物体の形状を認知して判
断する装置の一例として、人体の指紋形状認識装置が存
在するが、該指紋形状認識装置は選択された特定の指紋
形状の所有者を見分けて確かめることによって、特定の
対象物への接近を選別的に許容できるようにするもので
ある。

【０００３】上記のごとき従来技術は、機械式錠を使用
することにおいて、錠の構造的原理をよく理解し、不純
な意図をもっている者によって容易に保安が解除される
問題点を改善したものであって、人ごとにおのおの違う
形の固有の指紋を認識する指紋認識、あるいは感知装置
を利用して、選択された特定多数の人たちばかりを制限
して特定の利用対象物への接近を許容するものであっ
た。

【０００４】上記のように、指紋の形状を認識する機能
の指紋形状認識装置の形状感知部において、指紋の形状
を感知する感知装置の手段は、撮像素子を利用した光学
式感知装置と、間接接触式として人体、あるいは物体に
帯電されている電気の電荷量を指紋、あるいは物体の凹
凸の微細な距離差で測定する間接接触形状感知部と、直
接接触式として人体、あるいは物体を通じて微かに流れ
る電気信号を直接接触して感知する形状感知部などがあ
った。

【０００５】以下、添付図面を参照して従来技術による
物体形状認識装置の形状感知部について述べる。図１は
物体の形状を感知する物体形状認識装置の機能ブロック
図であり、図２（ａ）及び図２（ｂ）は従来技術の一実
施例による間接接触形状感知部の構成及び利用状態図、
図３（ａ）及び図３（ｂ）は従来技術の他の一実施例に
よる直接接触形状感知部の構成及び利用状態図である。

【０００６】添付図面を参照して従来技術による物体形
状認知装置の形状感知部の構成について詳述する。一般
に、指紋、あるいは物体の形状を認識する物体形状認知
装置は、図１に示すように、指紋４０または物体を通じ
て微かに流れる電気信号を感知、あるいは帯電された電
荷量を感知する形状感知部１０と、該形状感知部１０か
ら印加された物体、あるいは指紋の形状に該当する電気
信号を認識及び選択された特定形状であるのかを比較/
判別して、制御信号を出力する形状判別部２０と、該形
状判別部２０から印加された制御信号によって必要な形
状表示、あるいは制御機能をする表示/制御部３０とか
ら構成される。

【０００７】図面には表示されていないが、従来技術に
よる実施例として、撮像素子を利用した光学式形状感知
部１０は、対象物体の実物に代わる写真などを利用する
場合、真偽如否を判別しにくい問題点及び光学器資材類
が高価であるということから、かぎられた用途だけに一
部が使われていた。

【０００８】次に、従来技術の一実施例として、図２
（ａ）及び図２（ｂ）に示す間接接触式の形状感知部１
０について述べることにする。指紋４０、あるいは特定
の物体の屈曲による突出部分である凸の部分４２と陥没
部分である凹の部分４４に帯電されている電荷を、前記
凸の部分４２と凹の部分４４との間隔よりさらに小さい
間隔で形成された複数の第１電極１２１及び複数の第２
電極１２２が感知する。該複数の第１電極１２１及び第
２電極１２２は、絶縁性基板１１０の上部にそれぞれ一
列に半導体製造工程を通じて形成される。さらに、前記
複数の第１及び第２電極１２１，１２２は、図示されて
いない線路を通じて形状判別部２０にそれぞれ連結され
る。

【０００９】前記複数の第１電極１２１及び第２電極１
２２の上部には、耐摩耗性の誘電体１３０が同じく半導
体製造工程を通じて被覆される。上記のごとき構成によ
る間接接触式形状感知部１０では、指紋４０または物体
に帯電された電気による電荷が、前記複数の第１及び第
２電極１２１，１２２で感知されるようになる。この
際、前記複数の第１及び第２電極１２１，１２２と指紋
４０、または物体の凸の部分４２及び凹の部分４４との
微細な距離の差によって、前記電極の感知する電荷の量
に差があるようになる。

【００１０】前記複数の電極は必要によっては多列に配
置されることができ、該複数の電極が感知した電荷量の
差を図示していない信号伝送線路を通じて指紋４０、あ
るいは物体の形状による信号として形状判別部２０に印
加するようになる。

【００１１】前記形状判別部２０は、印加された信号を
処理して指紋４０または物体の形状に該当するデ-タと
して変換する。形状判別部２０はまた、そのデータを該
形状判別部２０にデ-タとして記録及び保管されている
指紋、あるいは物体の形状と比較して選択された形状認
知を判別して、必要な制御信号を表示/制御部３０に印
加する。それによって、該表示/制御部３０は保安装置
の開閉、あるいは電子回路などを駆動するようになる。

【００１２】さらに、前記形状感知部１０で感知された
指紋４０、あるいは物体が特定方向へ動く場合、前記多
列及び複数で配置された電極が感知した電荷量の変化を
印加された前記形状判別部２０は、感知信号を処理して
物体の移動方向を判別し、必要な制御信号を前記表示/
制御部３０に印加することによって、マルチメディア装
置などで使われるマウス、あるいはジョイスティック機
能を果すことができる。

【００１３】ところで、上記のごとき間接接触式の従来
技術では、指紋４０または物体が接触される耐摩耗性の
誘電体１３０が、操返し使用によって結局摩耗される。
誘電体１３０が摩耗すると、前記複数の電極と指紋４
０、あるいは物体間の微細な距離による電荷量の感知に
大きい誤差が発生して、物体の形状、あるいは位置を適
確に確認できないという問題があった。

【００１４】上記のごとき誘電体１３０は、耐摩耗性を
高めることに限界があり、また上記のごとき間接接触式
形状感知部１０は半導体の薄膜製造工程を利用して製造
されることから、高価となる問題があるため、限られた
用途だけに一部が使用されてきた。

【００１５】次に、上記のごとき従来技術の誘電体１３
０の摩耗による問題点を一部改善した従来技術の他の一
実施例として、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示す直接接
触式の形状感知部１０について述べることにする。

【００１６】絶縁性基板１５０に最大０．１ｍｍを超え
ない直径の複数の第１列孔１６１及び第２列孔１６２を
レーザ穿孔、あるいはドリルリング、あるいはその他の
特殊な方法で穿孔し、前記複数の孔はその孔と孔の間隔
が最大０．１ｍｍを超えないように穿設する。

【００１７】前記複数の第１列孔１６１及び第２列孔１
６２には、めっき、塗布、あるいは挿入などの方法によ
って導電性金属を詰めこむことによって、第１列電極１
７１及び第２列電極１７２が形成される。該複数の第１
列及び第２列電極１７１，１７２の下部は、絶縁性基板
にめっき、塗布、あるいはプリンティングなどの方法に
よって形成された信号伝送線路１７５にそれぞれ連結さ
れる。それぞれの線路１７５は、前記複数の第１列及び
第２列電極１７１，１７２が感知した信号を形状判別部
２０に伝達する。以下、上記従来技術の一実施例による
説明と同一である。

【００１８】次に、上記のごとき従来技術の他の一実施
例による直接接触形状感知部１０の作用について述べる
ことにする。人体、あるいは物体を通じて流れる微細な
電気信号を、前記基板１５０に複数形成された第１列及
び第２列電極１７１，１７２が、指紋４０、あるいは物
体の凸の部分４２と直接接触することによって感知す
る。感知された電気信号は線路１７５を通じて形状判別
部２０に印加され、該形状判別部２０は形状感知部１０
で感知された電気信号を処理することになる。以下、動
作説明は上記一実施例と同一である。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のごと
き他の一実施例による直接接触形状感知部１０は、前記
基板１５０に前記複数の第１列及び第２列孔１６１，１
６２、あるいは必要によって第３〜第Ｎ列の孔を穿孔す
るにおいて、技術的に高精度を要し、不良発生率がきわ
めて高いという問題があるだけではなく、前記複数の孔
１６１，１６２に導電性金属材質をめっき、塗布、ある
いは挿入する方法にて形成するのもやはりきわめて高い
不良をもたらす。そのため、生産性及び量産性に劣り、
よって、製造コストアップとなるなどの問題があり、一
般の需要者には使いにくいという問題点があった。

【００２０】そこで、この発明は上記の問題点を解決す
るためになされたものであつて、その目的は、誘電体の
耐摩耗性に影響を受けずに、感知部の長寿命化を図るこ
とができるだけではなく、コストダウンを図って製造す
ることができ、生産性及び量産性に優れ、電極の断面を
利用する直接接触式の形状認識装置及びその製造方法を
提供することにある。

【００２１】

【課題を解決するための手段】上記のような目的を達成
するためになされたこの発明による形状認識装置は、一
側面に複数の電極が形成されている２つの基板を所定間
隔に対向配置し、その間の空間に絶縁接着剤が充填され
て２つの基板が結合されている形状感知部と、該形状感
知部で感知された信号を印加されて物体の形状、あるい
は移動方向を判別する形状判別部と、該形状判別部で判
別された信号によって表示、あるいは制御する表示/制
御部とから構成されることを特徴とする。

【００２２】また、本発明による形状認識装置の製造方
法は、絶縁性基板上に複数の電極を形成する段階と、電
極が複数形成された基板を相互に所定の間隔に対向され
るように配置する段階と、相互対向に配置された基板と
基板間の空間に絶縁接着剤を充填して２つの基板を結合
する段階と、接着結合された２つの基板の電極端部を研
磨する段階とからなることを特徴とする。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、この発明による一実施形態
について添付図面に従って詳述する。図４〜図８は、こ
の発明の一実施形態による形状感知部１０の導電性電極
の製造手順を示す図であり、図４は導電性電極のパター
ン形状を陰画部で示す露光用フィルムに光を照射して、
光感応性物質、金属基板、絶縁性基板の積層の順を示す
図、図５は図４のＡ−Ａ線における断面図、図６は露光
用フィルムを除去して光感応性物質を現象/硬化した状
態図、図７は基板の金属基板を腐食させた状態図、図８
は硬化された光感応性物質を除去して基板に形成された
複数の線形状電極の状態図である。図９はこの発明によ
る一実施形態であって、線形状電極が形成された基板の
一側面を対向に配置した状態図である。図１０はこの発
明による一実施形態であって、線形状電極が形成された
基板を一方向へ配置した状態図である。図１１はこの発
明による一実施例であって、対向状態で接合された形状
感知部を積載した状態図である。図１２はこの発明によ
る一実施例であって、基板を一方向へ多層積載した形状
感知部の状態図である。図１３（ａ）及び図１３（ｂ）
はこの発明による直接接触式形状感知部の物体形状の認
識状態図である。

【００２４】形状感知部１０は、例えば、相互に対向さ
れるように配置された２つの基板２００，２００-1と、
各基板２００，２００-1の一側に多数形成されている電
極２１４と、対向配置された基板２００，２００-1上の
電極２１４間の空間に充填されて２つの基板２００，２
００-1を結合している絶縁接着剤２４０とから構成され
る。電極２１４は、幅と厚さが最大０．１ｍｍの大きさ
で形成され、隣接する両電極２１４間の間隔は最大０．
１ｍｍである。

【００２５】上記形状感知部１０の製造方法は、絶縁性
基板２００，２００-1上に線形状電極２１４を複数形成
する段階と、該線形状電極２１４が複数形成された基板
２００，２００-1を相互に所定間隔で対向されるように
配置する段階と、相互対向に配置された基板２００と基
板２００-1との間の空間に絶縁接着剤２４０を充填して
２つの基板２００，２００-1を結合する段階と、接着結
合された２つの基板２００，２００-1の電極断面２１５
を研磨する段階とからなる。

【００２６】線形状電極２１４を複数形成する段階は、
絶縁性基板２００，２００-1上に導電性金属板２１０を
結合する第１工程と、該金属板２１０上に光に露光され
ると化学的に変化する光感応性物質２２０を最大限に薄
く塗布する第２工程と、前記光感応性物質２２０上に線
形状電極２１４の平面状態で光が透過される陰画部２３
４と、光が透過されない陽画部２３２とからなる露光用
フィルム２３０を密着させる第３工程と、前記陰画部２
３４及び陽画部２３２とからなる露光用フィルム２３０
に光を照射して線形状電極２１４の平面形状にてなる陰
画部２３４と対応する光感応性物質２２０に選択的に化
学的変化を発生させる第４工程と、前記光感応性物質２
２０が光によって選択的に化学的変化を発生せしめる露
光用フィルム２３０を除去する第５工程と、前記選択的
に化学的変化が発生した光感応性物質２２０を現象及び
硬化の過程を通して前記金属板２１０上に化学的に安定
された硬化部２２４を形成する第６工程と、該化学的に
安定された硬化部２２４が形成された金属板２１０を金
属腐食溶液に沈積して硬化部２２４が形成されない部分
の金属板２１０が腐食及び除去されるようにする第７工
程と、前記化学的に安定された硬化部２２４を剥離除去
する第８工程とからなる。

【００２７】以下、この発明による上記のごとき構成の
作用について添付図を参照して詳細に説明する。この発
明の一実施形態による形状感知部１０の導電性線形状電
極２１４の製造手順について、図４〜図８を参照して説
明する.図４を参照すると、絶縁性基板２００上に最大
０．１ｍｍの均一な厚さの導電性金属板２１０を接着
し、その上に光感応性物質２２０を最大限に薄く均一に
塗布し、最終的に必要な複数の線形状電極２１４のパタ
ーン形状を陰画部２３４で具現する露光用フィルム２３
０を密着させて、該露光用フィルム２３０の上部で光を
露光させる。

【００２８】この際、前記露光用フィルム２３０の陰画
部２３４及び陽画部２３２は、その幅がそれぞれ最大
０．１１ｍｍにならなければならない。図５は、図４の
Ａ−Ａ線における断面図であって、露光用フィルム２３
０の陰画部２３４を通して露光される光によって、前記
光感応性物質２２０が化学反応を起こす部分２２４が生
成されるのを示す。

【００２９】図６は、露光用フィルム２３０を除去し
て、光感応性物質２２０を現象及び硬化の過程を径るこ
とによって、光感応性物質２２０の光に露光されていな
い部分２２２を除去して、露光された部分を化学的に安
定された硬化部２２４に変化させた状態を示す。

【００３０】図７は、前記図６の段階によって硬化部２
２４が形成された導電性金属板２１０及び絶縁性基板２
００を腐食溶液に沈積させることによって、前記硬化部
２２４の下部にある金属板を除き、残余部分２１２が腐
食方法によって除去された状態を示す。

【００３１】図８は、前記腐食過程を経た後、前記硬化
部２２４を剥離過程を通して除去した状態を示す。その
結果、０．１ｍｍの幅と厚さを有する複数の導電性金属
板、すなわち複数の線形状の電極２１４が、絶縁性基板
２００上に形成される。

【００３２】上記のような方法によって基板２００に複
数の線形状電極２１４を形成する以外に、前記絶縁性基
板２００上に導電性物質を印刷して線形状電極２１４を
形成する方法や、厚さ及び幅が最大０．１ｍｍに加工さ
れた導電性金属線を最大０．１ｍｍの間隔で基板２００
上に付着することによって線形状電極２１４を形成する
方法などが適用できる。

【００３３】さらに、前記絶縁性基板２００は、エポキ
シ樹脂類のほかにセラミック類、ガラス類、あるいは強
化プラスチック類などの、耐摩耗性に優れ且つ絶縁性の
良好な材質であれば、どの様なものでも使うことができ
る。

【００３４】図９は、上記のごとき過程を通じて複数の
導電性線形状電極２１４が形成された複数の基板２０
０，２００-1を、線形状電極２１４を有する面が相互に
対向するように配置した状態を示す。図１０は、基板２
００，２００-1を、線形状電極２１４を有する面が対向
しないように一列に配置した状態を示す。

【００３５】図９のごとく対向配置される基板２００と
基板２００-1とは、図示されていない別の金型あるいは
ジグを使用して前記複数の線形状電極２１４が相互に最
大０．１ｍｍ以上の離間距離にならないように固定され
て、その間に絶縁性の良好な接着剤２４０を充填して固
着される。

【００３６】図１０のように一列に配置する場合、前記
基板２００-1の線形状電極２１４を保護するために、蓋
基板１５０を配置し、それぞれの基板２００，２００-
1，１５０の間に絶縁接着剤２４０を充填して接着させ
る。

【００３７】上記のごとき過程を通じて完成された基板
２００及び線形状電極２１４、すなわち形状感知部１０
の一端面は、研磨段階を経ることによって、平坦な電極
断面２１５を形成する。その結果、感知の対象物体との
接触性が良好になり、物体を通じて流れる微細な電気信
号を確実に感知することができる。

【００３８】この研磨によって、前記複数の線形状電極
２１４は、はじめてその一端面が物体の形状を容易に感
知できる電極断面２１５となり、最終的に形状感知部１
０として使用できるようになる。

【００３９】ところで、上記のごとき過程を経た形状感
知部１０は、第１及び第２列の複数の導電性電極断面２
１５のみを有するため、小さい物体、あるいは指紋４０
の一部分のみを感知できるようになる。感知対象物体、
あるいは指紋の全形状を感知するためには、前記複数の
電極断面２１５の配列方向と垂直な方向に向けて物体を
所定速度で動かす。この動きに伴い、電極断面２１５か
ら前記形状判別部２０に出力される感知信号が変化す
る。そして、形状判別部２０が自身に内装された制御プ
ログラムに従って感知信号を処理することによって、感
知対象物体、あるいは指紋の全形状を感知することが可
能になる。物体が単に複数の電極断面２１５の配列方向
と同一の方向へ移動する場合、容易に移動方向が判別で
きる。つまり、前記電極断面２１５の感知した信号を前
記形状判別部２０でプログラム処理することによって、
物体の一次元方向への動きをより容易に判別できるよう
になる。

【００４０】前記形状判別部２０は、前記電極断面２１
５を通して印加される電気信号の変化を感知した後、停
止された物体の形状認識モードであるのか、移動する物
体の形状認識モードであるのか、あるいは移動する物体
の移動方向認識モードであるのかを、内装プログラムに
よって判断して、識別されたデータによって必要な制御
信号を前記表示/制御部３０に印加するようになる。

【００４１】図１１及び図１２は、図９或いは図１０の
ようにして形成された形状感知部１０を多層に接着積載
した状態図であって、かなり大きい物体、あるいは指紋
の形状を一度に感知することができ、移動する物体の位
置を判別する場合、二次元平面でいずれの方向へ動いて
も直にその移動方向を判別できるようになる。したがっ
て、前記形状判別部２０による物体の形状認識、あるい
は移動方向認識の処理速度が割合容易になるか、早くな
り、移動方向の場合は、平面上で３６０°方向のいずれ
の方向へ移動するのかを適確に判断できるだけではな
く、移動速度を感知することもできる。

【００４２】図１３（ａ）及び図１３（ｂ）は、図１１
或いは図１２の形状感知部１０、すなわち、幅、厚さ及
び間隔が最大０．１ｍｍとなるように配列及び配置され
た複数の電極断面２１５上で物体の形状、あるいは移動
方向などを感知する状態図である。

【００４３】一例として、上記のごとき形状感知部１０
においては、図１３（ａ）に示すように、指紋４０に直
接接触する線形状電極２１４，２１４-2，２１４-4の電
極断面２１５が、指紋４０を通じて流れる微弱な電気信
号を感知して、その電気信号を電極断面２１５の反対側
の端部に連結されている伝送線路（図示されていない）
を通じて前記形状判別部２０に印加する。一方、前記指
紋４０に直接接触できなかった線形状電極２１４-1，２
１４-3，２１４-5の電極断面２１５は、指紋４０から感
知できなかった状態を示す信号を、電極断面２１５の反
対側の端部に連結されている伝送線路（図示されていな
い）を通じて前記形状判別部２０に印加する。該形状判
別部２０は、印加された信号をプログラムに従ってデー
タ処理することによって、前記形状感知部１０が感知し
た物体の指紋４０の形状を認識及び判別できるし、これ
に相応する制御及びデータ信号を前記表示/制御部３
０、一実施形態として、監視モニターなどに認識された
指紋４０の形状を表示するようになる。

【００４４】前記形状感知部１０の電極断面２１５に載
上されている指紋４０が動く場合、すなわち、図１３
（ａ）の状態から図１３（ｂ）の状態へ移動した場合、
前記形状判別部２０は、指紋４０と直接接触していた複
数の線形状電極２１４，２１４-2，２１４-4の電極断面
２１５を通じた微弱な電気信号の印加が中断され、指紋
４０と直接接触できなかった複数の線形状電極２１４-
1，２１４-3，２１４-5の電極断面２１５からは微弱な
電気信号を印加されるようになる。

【００４５】したがって、前記複数の電極断面２１５を
通して指紋４０の移動による微弱な電気信号の変化を印
加された前記形状判別部２０は、印加された信号をデ-
タ処理することによって、指紋４０が複数の線形状電極
２１４，２１４-2、２１４-4の電極断面２１５の位置か
ら複数の線形状電極２１４-l，２１４-3、２１４-5の電
極断面２１５の位置に移動したことを判別できる。そし
て、形状判別部２０は、これに相応する制御信号を前記
表示/制御部３０に出力することで、マルチメディアな
どに使用されるマウス、あるいはジョイスティックスの
機能を果すことができる。

【００４６】上記のごとく、形状感知部１０の一端面に
形成された電極断面２１５が物体の形状から感知した微
細な電気信号は、電極断面２１５と連結された線形状電
極２１４…の他端に印加される。それらの他端には、例
えば図３ａに示された信号伝送線路１７５と類似する形
態に形成された信号伝送線路がそれぞれ個別的に連結さ
れており、これらの信号伝送線路を通じて、形状判別部
２０に物体の形状を通じて感知した電気信号が伝送され
る。

【００４７】したがって、前記形状判別部２０は、印加
された信号を分析及び処理して指紋４０あるいは物体の
形状を認識、判断するか、物体あるいは指紋の移動方向
などを判断して表示/制御部３０にデータ及び制御信号
を印加することになる。

【００４８】さらに、上記のごとき導電性電極断面２１
５は、複数を一列に配列して使用できるだけではなく、
指紋４０あるいは物体の広さだけ多列に配列して使用で
き、物体の移動方向を感知する場合は、物体の大きさに
応じて配列することができる。

【００４９】

【発明の効果】上述のように、この発明は、基板上の導
電性金属層を単なる電気の流れる通路の役割としての使
用だけに留めず、その一側断面を平坦に研磨して指紋あ
るいは物体の凹凸形状を通じて流れる微弱な電気信号を
感知する形状感知装置の電極断面として使用することに
よって、生産性及び量産性に優れるとともに、不良発生
率を著しく減少させ、形状感知装置を安価で大量に供給
できる効果がある。

【００５０】さらに、物体を通じて流れる微弱な電気信
号を感知してデータ処理をして、電子回路及びソフトウ
ェア応用技術を追加適用することによって、類似する機
能の応用分野に広範に適用でき、指紋を利用した保安装
置として使用する場合、別に錠を携帯する必要のない効
果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 物体の形状を感知する物体形状認識装置の機
能ブロック図。

【図２】 従来技術の一実施例による間接接触形状感知
部の構成及び利用状態図。

【図３】 従来技術の他の一実施例による直接接触形状
感知装置の構成及び利用状態図。

【図４】 導電性電極のパターン形状を製造するための
各部材を積層する順を示す斜視図。

【図５】 図５は図４のＡ−Ａ線における断面図。

【図６】 露光用フィルムを除去して光感応性物質を現
象/硬化した状態図。

【図７】 基板の金属基板を腐食させた状態図。

【図８】 硬化された光感応性物質を除去して基板に形
成された複数の線形状電極の状態図。

【図９】 この発明による一実施形態であって、線形状
電極が形成された基板の一側面を対向配置した状態図。

【図１０】 この発明による一実施形態であって、線形
状電極が形成された基板を一方向へ配置した状態図。

【図１１】 この発明による一実施例であって、対向状
態で接合された形状感知部を多層積載した状態図。

【図１２】 この発明による一実施例であって、基板を
一方向へ多層積載した形状感知部の状態図。

【図１３】 この発明による直接接触式形状感知部の物
体認識状態図。

【符号の説明】

１０…形状感知部、２０…形状判別部、３０…表示/制
御部、４０…指紋、４２…指紋の凸の部分、４４…指紋
の凹の部分、２００…基板、２１０…導電性金属板、２
１５…電極断面、２１４，２１４-1，２１４-2，２１４
-3，２１４-4，２１４-5…線形状電極、２２０…光感応
性物質、２２４…硬化部、２３０…露光用フィルム、２
３２…陽画部、２３４…陰画部、２４０…絶縁接着剤。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−211241（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−6791（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−328405（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−288619（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−66663（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−19070（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−72306（ＪＰ，Ａ) 実開 昭50−55061（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭56−21709（ＪＰ，Ｕ) 特公 平５−14310（ＪＰ，Ｂ２) 実公 平２−30721（ＪＰ，Ｙ２) 米国特許4290052（ＵＳ，Ａ) 米国特許4353056（ＵＳ，Ａ) 欧州特許出願公開889521（ＥＰ，Ａ ２) 国際公開97／17668（ＷＯ，Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01B 7/28 G06T 1/00 G06F 3/03 G01D 5/25

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一側面に複数の電極が形成されている２
   つの基板を所定間隔に対向配置し、その間の空間に絶縁
   接着剤が充填されて２つの基板が結合されている形状感
   知部と、該形状感知部で感知された信号を印加されて物
   体の形状、あるいは移動方向を判別する形状判別部と、
   該形状判別部で判別された信号によって表示あるいは制
   御する表示/制御部とから構成されることを特徴とする
   形状認識装置。
2. 【請求項２】 前記一側面に複数の電極が形成されてい
   る２つの基板が所定間隔で対向に結合された形状感知部
   が多数積層結合されていることを特徴とする請求項１に
   記載の形状認識装置。
3. 【請求項３】 前記形状感知部は、基板に形成された複
   数の電極の幅及び厚さが最大０．１ｍｍの大きさに形成
   され、該複数の電極と電極間の間隔も最大０．１ｍｍで
   あることを特徴とする請求項１または２に記載の形状認
   識装置。
4. 【請求項４】 前記形状感知部は、一側面に複数の電極
   が形成されている基板を所定の順に配置し、最上側の基
   板には電極が形成されていない蓋基板を位置させ、上記
   順に配置された基板間の空間に絶縁接着剤を充填させて
   基板と基板を結合させることを特徴とする請求項１に記
   載の形状認識装置。
5. 【請求項５】 前記形状感知部は、基板に形成された複
   数の電極の幅及び厚さが最大０．１ｍｍの大きさに形成
   され、前記複数の電極と電極間の間隔も最大０．１ｍｍ
   であることを特徴とする請求項４に記載の形状認識装
   置。
6. 【請求項６】 絶縁性基板上に複数の電極を形成する段
   階と、電極が複数形成された基板を相互に所定の間隔に
   対向されるように配置する段階と、相互対向に配置され
   た基板と基板間の空間に絶縁接着剤を充填して２つの基
   板を結合する段階と、接着結合された２つの基板の電極
   端部を研磨する段階とからなることを特徴とする形状認
   識装置の製造方法。
7. 【請求項７】 前記複数の電極を形成する段階は、絶縁
   性基板上に導電性金属板を結合する第１工程と、該金属
   板上に光に露光されると化学的に変化する光感応性物質
   を塗布する第２工程と、該光感応性物質上に電極の平面
   状態で光が透過される陰画部と、光が透過されない陽画
   部とからなる露光用フィルムを密着させる第３工程と、
   該陰画部と陽画部とからなる露光用フィルムに光を照射
   して電極の平面形状にてなる陰画部に対応する光感応性
   物質に選択的に化学的変化を発生させる第４工程と、該
   光感応性物質が光によって選択的に化学的変化を発生せ
   しめるようにする露光用フィルムを除去する第５工程
   と、前記選択的に化学的変化が発生した光感応性物質を
   現象及び硬化して前記金属板上に化学的に安定された硬
   化部を形成する第６工程と、前記化学的に安定された硬
   化部が形成された金属板を金属腐食溶液に沈積して硬化
   部が形成されていない部分が腐食除去されるようにする
   第７工程と、前記化学的に安定された硬化部を剥離除去
   する第８工程とからなることを特徴とする請求項６に記
   載の形状認識装置の製造方法。