JP3235370B2 - Laminate - Google Patents

Laminate

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JP3235370B2
JP3235370B2 JP26066994A JP26066994A JP3235370B2 JP 3235370 B2 JP3235370 B2 JP 3235370B2 JP 26066994 A JP26066994 A JP 26066994A JP 26066994 A JP26066994 A JP 26066994A JP 3235370 B2 JP3235370 B2 JP 3235370B2
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polyimide film
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aromatic
polyimide
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誠一郎 高林
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • H05K1/0313Organic insulating material
    • H05K1/032Organic insulating material consisting of one material
    • H05K1/0346Organic insulating material consisting of one material containing N

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、改質されたポリ
イミドフィルムに関するものである。更に詳しくは、本
発明は、耐薬品性に優れ、弾性率が高い芳香族ポリイミ
ドフィルムを、他の材料と貼(張)り合わせた場合に大
きな貼り合わせ強度(接着強度)を有し、かつ他部品を
実装する際の位置合わせなどの操作が容易となるように
改質してなる芳香族ポリイミドフィルムに関するもので
ある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a modified polyimide film. More specifically, the present invention has a high bonding strength (adhesion strength) when an aromatic polyimide film having excellent chemical resistance and high elastic modulus is bonded (stretched) to another material, and The present invention relates to an aromatic polyimide film modified so as to facilitate operations such as positioning when mounting other components.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、ビフェニルテトラカルボン酸成分
を主成分とする芳香族テトラカルボン酸成分とフェニレ
ンジアミン類を主成分とする芳香族ジアミン成分とから
なる耐熱性の優れたポリイミドフィルムについては、例
えば特公昭60−42817号公報などに記載されてい
る。このビフェニルテトラカルボン酸系のポリイミドは
極めて優れた耐熱性、機械的強度、寸法安定性などを有
しているところから、フレキシブルプリント配線銅張基
板(FPC基板)やTAB用キャリアテ−プなどの製造
に用いる支持体として適している。しかしこのポリイミ
ドフィルムは、エポキシ系や熱可塑性ポリイミド系接着
剤を介して銅箔などと接合するために両者の接着を充分
に高くすることが出来ないという問題点がある。
2. Description of the Related Art Conventionally, a polyimide film having excellent heat resistance comprising an aromatic tetracarboxylic acid component containing a biphenyltetracarboxylic acid component as a main component and an aromatic diamine component containing a phenylenediamine as a main component has been proposed. It is described in JP-B-60-42817. Since the biphenyltetracarboxylic acid-based polyimide has extremely excellent heat resistance, mechanical strength, dimensional stability, etc., it can be used for flexible printed wiring copper-clad boards (FPC boards) and carrier tapes for TAB. Suitable as a support for use in production. However, since this polyimide film is bonded to a copper foil or the like via an epoxy-based or thermoplastic polyimide-based adhesive, there is a problem that the adhesion between the two cannot be sufficiently increased.

【0003】このため、ポリイミドフィルムの接着性を
改良するために、ポリイミドフィルムの表面をコロナ処
理、プラズマ処理などの後処理をする試みがなされてい
る。しかし、これらの技術によっては、他の材料と張り
合わせた場合の接着強度が大きく、種々の製造工程にお
けるアルカリのような薬品に対して耐性があり、剛性が
大きく製造工程での寸法精度も高く、他部品を実装する
際の位置合わせも良好である、という実用上求められる
種々の性能をバランス良く満足するポリイミドフィルム
を得るためには高コスト化を招くなど、エレクトロニク
ス業界における高品質・高精度・高生産性・低コスト化
といったニ−ズを満足することが困難になってきてい
る。
For this reason, in order to improve the adhesiveness of the polyimide film, attempts have been made to post-treat the surface of the polyimide film such as corona treatment and plasma treatment. However, depending on these technologies, the adhesive strength when bonded to other materials is large, it is resistant to chemicals such as alkali in various manufacturing processes, the rigidity is large and the dimensional accuracy in the manufacturing process is high, In order to obtain a polyimide film that satisfies the various performances required for practical use in a well-balanced manner, such as good alignment when mounting other parts, high cost, high quality, high precision, It has become difficult to satisfy needs such as high productivity and low cost.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は、芳
香族ポリイミドフィルムが本来有している優れた物性、
耐熱性などを高いレベルで保持したまま、引張弾性率が
大きく、耐薬品性が優れており、他の材料と張り合わせ
ても接着強度が大きく、種々の製造工程を経ても変化が
殆どなく、寸法精度が高く、他部品を実装する際の位置
合わせの良好な改質されたポリイミドフィルム及びその
積層体を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide excellent properties inherent to an aromatic polyimide film,
High tensile modulus, excellent chemical resistance, high heat resistance, etc., high adhesive strength when bonded to other materials, little change even after various manufacturing processes, An object of the present invention is to provide a modified polyimide film having high accuracy and good alignment when mounting other components, and a laminate thereof.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】すなわち、この発明は、
全フィルム中のリン(P)の含有率が5〜500ppm
の範囲にあり、引張弾性率が400kg/mm以上で
ある、芳香族テトラカルボン酸成分と芳香族ジアミン成
分とからなる芳香族ポリイミドフィルムであって、少な
くとも一方のフィルム表面が、X線光電子分光装置(V
G社)でMgKαのX線源(300W)を用いて測定し
た、酸素に対する炭素の重量割合(C/O)が2.9〜
4.6の範囲の値、窒素に対する酸素の重量割合(O/
N)が2.4〜3.5の範囲の値、そしてSiの含有率
が0.7〜3.0重量%の範囲の値となるようにケイ素
化合物処理されたフィルムの処理面にポリイミド系接着
剤が設けられており、スリットされている積層体に関す
るものである。
That is, the present invention provides:
Phosphorus (P) content in all films is 5 to 500 ppm
And an aromatic polyimide film comprising an aromatic tetracarboxylic acid component and an aromatic diamine component having a tensile modulus of 400 kg / mm 2 or more, wherein at least one of the film surfaces has an X-ray photoelectron spectrum. Device (V
G company) using a MgKα X-ray source (300 W), the weight ratio of carbon to oxygen (C / O) is 2.9 to
A value in the range of 4.6, the weight ratio of oxygen to nitrogen (O /
N) is a polyimide-based film on the treated surface of the silicon compound-treated film such that the value of N is in the range of 2.4 to 3.5 and the content of Si is in the range of 0.7 to 3.0% by weight. The present invention relates to a laminated body provided with an adhesive and slitted.

【0006】また、この発明は、前記に記載の積層体に
ポリイミド系接着剤を介して銅箔が積層されてなる積層
体に関するものである。
[0006] The present invention also relates to a laminate obtained by laminating a copper foil on the laminate described above via a polyimide-based adhesive.

【0007】この発明における芳香族テトラカルボン酸
成分として、例えば2,3,3' ,4' −ビフェニルテ
トラカルボン酸成分、3,3' ,4,4' −ビフェニル
テトラカルボン酸成分などのビフェニルテトラカルボン
酸類成分を、全テトラカルボン酸成分に対して30モル
%以上、特に50モル%以上、そのなかでも特に60モ
ル%以上含有する芳香族テトラカルボン酸成分が好適に
挙げられる。また、芳香族テトラカルボン酸成分とし
て、3,3' ,4,4' −ベンゾフェノンテトラカルボ
ン酸成分、ピロメリット酸成分、ビス(3,4−ジカル
ボキシフェニル)メタン成分、2,2,−ビス(3,4
−ジカルボキシフェニル)プロパン成分、ビス(3,4
−ジカルボキシフェニル)スルホンなどをビフェニルテ
トラカルボン酸類成分と組み合わせてもよい。例えば、
3,3' ,4,4' −ビフェニルテトラカルボン酸成分
とピロメリット酸成分との組合せが好適である。全芳香
族テトラカルボン酸成分中のビフェニルテトラカルボン
酸類成分の割合が多くなると、ポリイミドフィルムの弾
性率、耐薬品などの点において優れているので最適であ
る。逆に全芳香族テトラカルボン酸成分中のビフェニル
テトラカルボン酸類成分の割合が少なくなると、ポリイ
ミドフィルムの弾性率、耐薬品などの点が低下する傾向
にある。
[0007] As the aromatic tetracarboxylic acid component in the present invention, for example 2,3,3 ', 4' - biphenyl tetracarboxylic acid component, 3,3 ', 4,4' - biphenyl and biphenyl tetracarboxylic acid component tetra An aromatic tetracarboxylic acid component containing a carboxylic acid component in an amount of at least 30 mol%, particularly at least 50 mol%, and especially at least 60 mol%, based on the total tetracarboxylic acid component is preferred. Further, as the aromatic tetracarboxylic acid component, 3,3 ', 4,4' - benzophenone tetracarboxylic acid component include pyromellitic acid component, bis (3,4-carboxyphenyl) methane component, 2,2, - bis (3,4
-Dicarboxyphenyl) propane component, bis (3,4)
-Dicarboxyphenyl) sulfone may be combined with a biphenyltetracarboxylic acid component. For example,
3,3 ', 4,4' - a combination of biphenyl tetracarboxylic acid component and pyromellitic acid component are preferred. When the proportion of the biphenyltetracarboxylic acid component in the wholly aromatic tetracarboxylic acid component is large, the polyimide film is excellent in terms of the modulus of elasticity, chemical resistance and the like, and is therefore optimal. Conversely, when the proportion of the biphenyltetracarboxylic acid component in the wholly aromatic tetracarboxylic acid component is reduced, points such as the modulus of elasticity and chemical resistance of the polyimide film tend to decrease.

【0008】この発明における芳香族ジアミン成分とし
て、例えばm−またはp−フェニレンジアミン成分、
3,5−ジアミノトルエン成分、2,5−ジアミノトル
エン成分などのフェニレンジアミン類成分を、全芳香族
ジアミン成分に対して、50モル%以上、特に60モル
%以上、そのなかでも特に70モル%以上含有する芳香
族ジアミン成分が好適に挙げられる。この発明では、芳
香族ジアミン成分として、p−フェニレンジアミン成分
を60モル%以上、特に70モル%以上含有する芳香族
ジアミン成分が好適に挙げられる。芳香族ジアミン類成
分として4,4'−ジアミノジフェニルエ−テル成分、
3,4' −ジアミノジフェニルエ−テル成分、3,3'
−ジアミノジフェニルエ−テル成分などのジアミノジフ
ェニルエ−テル類成分、4,4' −ジアミノジフェニル
メタン成分、4,4' −ジアミノジフェニルプロパン成
分、4,4' −ジアミノジフェニルスルホン成分、4,
'−ジアミノジフェニルスルフィド成分などをフェニ
レンジアミン類成分と組み合わせてもよい。これらの組
合せの中でも、4,4' −ジアミノジフェニルエ−テル
成分などのジアミノジフェニルエ−テル類成分とフェニ
レンジアミン類成分が好適である。特に、2種類の芳香
族ジアミン成分の組合せでは、p−フェニレンジアミン
成分と4,4' −ジアミノジフェニルエ−テルとの組合
せが好適である。この組合せの場合も各成分の割合はp
−フェニレンジアミンが50モル%以上であることが特
に好ましい。全芳香族ジアミン成分中のフェニレンジア
ミン類成分の割合が多くなるとポリイミドフィルムの耐
熱性、前記機械的物性が優れているので好適である。逆
にこの割合が少なくなると、ポリイミドフィルムの耐熱
性、機械的物性が低下する傾向にある。
[0008] As the aromatic diamine component in the present invention, for example, m- or p-phenylenediamine component,
A phenylenediamine component such as a 3,5-diaminotoluene component or a 2,5-diaminotoluene component is added in an amount of 50 mol% or more, particularly 60 mol% or more, and especially 70 mol%, based on the total aromatic diamine component. The aromatic diamine component contained above is preferably exemplified. In the present invention, as the aromatic diamine component, an aromatic diamine component containing a p-phenylenediamine component in an amount of 60 mol% or more, particularly 70 mol% or more, is preferably exemplified. 4,4 As aromatic diamine components' - diamino diphenyl ether - ether component,
3,4 '- diaminodiphenyl et - ether component, 3,3'
- diamino diphenyl ether - diamino diphenyl ether, such as ether components - ethers component, 4,4 '- diaminodiphenylmethane component, 4,4' - diaminodiphenyl propane component, 4,4 '- diaminodiphenyl sulfone component, 4,
A 4' -diaminodiphenyl sulfide component or the like may be combined with a phenylenediamine component. Among these combinations, 4,4 '- diaminodiphenyl et - diamino diphenyl ether, such as ether components - ethers component and phenylenediamines component are preferred. In particular, the combination of two aromatic diamine component, p- phenylenediamine component and 4,4 '- diaminodiphenyl et - are preferred combination of ether. Also in the case of this combination, the ratio of each component is p
It is particularly preferred that phenylenediamine is at least 50 mol%. It is preferred that the proportion of the phenylenediamine component in the wholly aromatic diamine component be large because the polyimide film has excellent heat resistance and mechanical properties. Conversely, when this ratio decreases, the heat resistance and mechanical properties of the polyimide film tend to decrease.

【0009】この発明におけるポリイミドフィルムは、
芳香族テトラカルボン酸成分の30モル%以上、特に5
0モル%以上、その中でも特に60モル%以上がビフェ
ニルテトラカルボン酸成分であり、芳香族ジアミン成分
の50モル%以上、特に60モル%以上がフェニレンジ
アミン成分であるポリイミドが好ましい。また、このよ
うなポリイミドフィルムは各元素の重量割合がC(炭
素)/O(酸素)(Oに対するCの割合、以下同じ)が
4.0〜 5.7特に4.1〜5.6であり、O/N
(Nに対するOの割合)が1.8〜2.6、特に1.9
〜2.5となり、この範囲内で適宜選択することが好ま
しい。
The polyimide film according to the present invention comprises:
30 mol% or more, especially 5 mol% of the aromatic tetracarboxylic acid component
A polyimide in which 0 mol% or more, especially 60 mol% or more is a biphenyltetracarboxylic acid component, and 50 mol% or more, especially 60 mol% or more of an aromatic diamine component is a phenylenediamine component is preferable. Further, in such a polyimide film, the weight ratio of each element is C (carbon) / O (oxygen) (the ratio of C to O, the same applies hereinafter) of 4.0 to 5.7, particularly 4.1 to 5.6. Yes, O / N
(The ratio of O to N) is 1.8 to 2.6, particularly 1.9.
To 2.5, and it is preferable to appropriately select within this range.

【0010】この発明の改質ポリイミドフィルムは約5
0〜300℃の温度での平均線膨張係数が2.5×10
-5-1以下、好ましくは−0.1×10-5〜2.5×1
-5-1、特に好ましくは0.1×10-5〜2.3×1
-5-1であって、好ましくはフィルムの長手方向(M
D方向)と横断方向(TD方向)との線膨張係数の比
(MD/TD)が、約1/5〜4/1程度、特に好まし
くは1/3〜3/1程度であり、さらに、前述の熱寸法
変化率が0.3%以下、好ましくは0.25%以下であ
る。
[0010] The modified polyimide film of the present invention has about 5
The average coefficient of linear expansion at a temperature of 0 to 300 ° C. is 2.5 × 10
-5 ° C -1 or less, preferably -0.1 × 10 -5 to 2.5 × 1
0 −5 ° C. −1 , particularly preferably 0.1 × 10 −5 to 2.3 × 1
0 -5 ° C.- 1 and preferably in the longitudinal direction of the film (M
The ratio (MD / TD) of the coefficient of linear expansion between the (D direction) and the transverse direction (TD direction) is about 1/5 to 4/1, particularly preferably about 1/3 to 3/1. The aforementioned thermal dimensional change rate is 0.3% or less, preferably 0.25% or less.

【0011】この発明においては、前記ポリイミドフィ
ルムの片面あるいは両面における各元素の重量割合がC
(炭素)/O(酸素)が2.9〜4.6、好ましくは
3.0〜4.5、特に好ましくは3.1〜4.4であ
り、O(酸素)/N(窒素)が2.4〜3.5、好まし
くは2.5〜3.4、特に好ましくは2.6〜3.3で
あり、フィルム表面におけるSi(ケイ素)の含有率が
0.7〜3.0%(重量%)、好ましくは0.8〜2.
9%、特に好ましくは0.9〜2.8%であり、全フィ
ルム中のP(リン)の含有率が5〜500ppm(重量
割合)、好ましくは10〜400ppm、特に好ましく
は15〜300ppmであることが必要である。
In the present invention, the weight ratio of each element on one or both sides of the polyimide film is C
(Carbon) / O (oxygen) is 2.9 to 4.6, preferably 3.0 to 4.5, particularly preferably 3.1 to 4.4, and O (oxygen) / N (nitrogen) is 2.4 to 3.5, preferably 2.5 to 3.4, particularly preferably 2.6 to 3.3, and the content of Si (silicon) on the film surface is 0.7 to 3.0%. (% By weight), preferably 0.8 to 2.
9%, particularly preferably 0.9 to 2.8%, and the content of P (phosphorus) in the whole film is 5 to 500 ppm (weight ratio), preferably 10 to 400 ppm, particularly preferably 15 to 300 ppm. It is necessary to be.

【0012】前記のC/Oが前記下限より小さいとポリ
イミドフイルムの引張弾性率が小さくなり、C/Oが前
記上限より大きいとポリイミドフィルムの伸びが小さく
なるので適当ではない。前記のO/Nが前記下限より小
さいとポリイミドフィルムの伸びが小さくなり、O/N
が前記上限より大きいとポリイミドフィルムの引張弾性
率が小さくなるので適当ではない。またフィルム表面に
おけるSiの含有率が前記下限より小さいとポリイミド
フィルムの接着性が小さく、Siの含有率が前記上限よ
り大きいとポリイミドフィルム表面に析出物が付着しフ
ィルム表面の平滑性が損なわれるので好ましくない。さ
らに全ポリイミドフィルム中のPの含有率が前記下限よ
り少ないと効果なく、前記上限より多いとポリイミドフ
ィルムの物性、特に伸びが低下するので好ましくない。
When the C / O is smaller than the lower limit, the tensile elasticity of the polyimide film becomes small, and when the C / O is larger than the upper limit, the elongation of the polyimide film becomes small. When the O / N is smaller than the lower limit, the elongation of the polyimide film becomes small, and the O / N
Is larger than the above upper limit, the tensile modulus of the polyimide film becomes small, so that it is not appropriate. When the content of Si on the film surface is smaller than the lower limit, the adhesiveness of the polyimide film is small, and when the content of Si is larger than the upper limit, precipitates adhere to the polyimide film surface and the smoothness of the film surface is impaired. Not preferred. Further, if the content of P in the entire polyimide film is less than the lower limit, there is no effect, and if it is more than the upper limit, the physical properties of the polyimide film, particularly elongation, are undesirably reduced.

【0013】この発明においては、各成分および特性を
前記の範囲内にすることが必要であり、これによって引
張弾性率が好適には400kg/mm2 以上であり、接
着性が実用的なレベルで充分大きく、実用的なレベルで
充分な成形性を有し、耐薬品性が優れており、伸びが好
適には25%以上である改質ポリイミドフイルムを得る
ことができるのである。
In the present invention, it is necessary that the respective components and properties are within the above-mentioned ranges, whereby the tensile modulus is preferably 400 kg / mm 2 or more, and the adhesiveness is at a practical level. It is possible to obtain a modified polyimide film which is sufficiently large, has sufficient moldability at a practical level, has excellent chemical resistance, and preferably has an elongation of preferably 25% or more.

【0014】この発明のポリイミドフィルムは、例えば
有機極性溶媒中にリン含有化合物、好適にはリン酸エス
テルおよび/またはリン酸エステルのアミン塩と、芳香
族酸二無水物と芳香族ジアミンとから得られる芳香族ポ
リアミック酸とを含むポリアミック酸溶液から化学変換
の方法によって、あるいは熱変換の方法によってポリア
ミック酸をイミド化することによって得ることができ
る。好適には、前記芳香族ポリアミック酸(その20%
以下がイミド化されていてもよい)溶液を基体上にフィ
ルム状に流延し、加熱して自己支持性フィルムを形成
し、この自己支持性フィルムの表面にシランカップリン
グ剤の溶液を塗布し、加熱して、フィルム表面のC/
O、O/N、Siの含有率、全フイルム中のPの含有率
を前記の範囲内にすることによってこの発明の改質ポリ
イミドフィルムを得ることができる。
The polyimide film of the present invention is obtained, for example, from a phosphorus-containing compound, preferably a phosphoric acid ester and / or an amine salt of a phosphoric acid ester, an aromatic dianhydride and an aromatic diamine in an organic polar solvent. The polyamic acid solution can be obtained from a polyamic acid solution containing the obtained aromatic polyamic acid by a chemical conversion method or by imidizing the polyamic acid by a thermal conversion method. Preferably, the aromatic polyamic acid (20% of which)
The following may be imidized) The solution is cast into a film on a substrate, heated to form a self-supporting film, and a solution of a silane coupling agent is applied to the surface of the self-supporting film. , Heating, C /
The modified polyimide film of the present invention can be obtained by setting the content of O, O / N, Si, and the content of P in the whole film within the above ranges.

【0015】前記の有機極性溶媒は、前記の芳香族ポリ
アミック酸(このポリアミック酸は20%以下がイミド
化されていてもよい)を約2〜50重量%、特に5〜4
0重量%程度の濃度で均一に溶解することができる有機
極性溶媒であればよく、例えば、N,N−ジメチルホル
ムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジ
メチルメトキシアセトアミドなどのN,N−ジ低級アル
キルカルボキシルアミド類、N−メチル−2−ピロリド
ン、ジメチルスルホキシド、ジメチルスルホンなどの有
機極性溶媒を挙げることができる。
The above-mentioned organic polar solvent contains about 2 to 50% by weight, especially 5 to 4% by weight of the above-mentioned aromatic polyamic acid (this polyamic acid may be imidized up to 20%).
Any organic polar solvent that can be uniformly dissolved at a concentration of about 0% by weight may be used. For example, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylmethoxyacetamide, and other N, N And organic polar solvents such as di-lower alkylcarboxamides, N-methyl-2-pyrrolidone, dimethylsulfoxide and dimethylsulfone.

【0016】前記のリン含有化合物としては、例えば、
モノカプロイルリン酸エステル、モノオクチルリン酸エ
ステル、モノラウリルリン酸エステル、モノミリスチル
リン酸エステル、モノセチルリン酸エステル、モノステ
アリルリン酸エステル、トリエチレングリコ−ルモノト
リデシルエ−テルのモノリン酸エステル、テトラエチレ
ングリコ−ルモノラウリルエ−テルのモノリン酸エステ
ル、ジエチレングリコ−ルモノステアリルエ−テルのモ
ノリン酸エステル、ジカプロイルリン酸エステル、ジオ
クチルリン酸エステル、ジカプリルリン酸エステル、ジ
ラウリルリン酸エステル、ジミリスチルリン酸エステ
ル、ジセチルリン酸エステル、ジステアリルリン酸エス
テル、テトラエチレングリコ−ルモノネオペンチルエ−
テルのジリン酸エステル、トリエチレングリコ−ルモノ
トリデシルエ−テルのジリン酸エステル、テトラエチレ
ングリコ−ルモノラウリルエ−テルのジリン酸エステ
ル、ジエチレングリコ−ルモノステアリルエ−テルのジ
リン酸エステル等のリン酸エステルやこれらリン酸エス
テルのアミン塩が挙げられる。前記アミンとしてはアン
モニア、モノメチルアミン、モノエチルアミン、モノプ
ロピルアミン、モノブチルアミン、ジメチルアミン、ジ
エチルアミン、ジプロピルアミン、ジブチルアミン、ト
リメチルアミン、トリエチルアミン、トリプロピルアミ
ン、トリブチルアミン、モノエタノ−ルアミン、ジエタ
ノ−ルアミン、トリエタノ−ルアミン等がある。
Examples of the phosphorus-containing compound include, for example,
Monocaproyl phosphate, monooctyl phosphate, monolauryl phosphate, monomyristyl phosphate, monocetyl phosphate, monostearyl phosphate, monoethylene phosphate of triethylene glycol monotridecyl ether, tetraphosphate Monophosphate ester of ethylene glycol monolauryl ether, monophosphate ester of diethylene glycol monostearyl ether, dicaproyl phosphate, dioctyl phosphate, dicaprylic phosphate, dilauryl phosphate, dimyristyl phosphate, dicetyl phosphorus Acid ester, distearyl phosphate, tetraethylene glycol mononeopentyl
Phosphoric esters such as diphosphate of ter, diethylene phosphate of triethylene glycol monotridecyl ether, diphosphate of tetraethylene glycol monolauryl ether, and diphosphate of diethylene glycol monostearyl ether And amine salts of these phosphate esters. As the amine, ammonia, monomethylamine, monoethylamine, monopropylamine, monobutylamine, dimethylamine, diethylamine, dipropylamine, dibutylamine, trimethylamine, triethylamine, tripropylamine, tributylamine, monoethanolamine, diethanolamine, And triethanolamine.

【0017】前記の芳香族ポリアミック酸は、例えば前
述の芳香族テトラカルボン酸成分と芳香族ジアミン成分
とから低温での重合で得られたイミド化率が20%以下
のビフェニルテトラカルボン酸系のポリイミド前駆体で
あると共に、対数粘度(測定温度:30℃、濃度:0.
5g/100ml溶液、溶媒:N−メチル−2−ピロリ
ドン)が0.1〜7、特に0.2〜5程度であり、有機
極性溶媒に約2〜50重量%の濃度、特に5〜40重量
%にまで均一に溶解できるポリマ−であることが好まし
い。前記の対数粘度は次式によって算出された値であ
る。 対数粘度=自然対数(溶液粘度/溶媒粘度)/溶液の濃
The above-mentioned aromatic polyamic acid is, for example, a biphenyltetracarboxylic acid-based polyimide having an imidation ratio of 20% or less obtained by polymerization at a low temperature from the above-mentioned aromatic tetracarboxylic acid component and aromatic diamine component. It is a precursor and has a logarithmic viscosity (measuring temperature: 30 ° C., concentration: 0.
5 g / 100 ml solution, solvent: N-methyl-2-pyrrolidone) is about 0.1 to 7, especially about 0.2 to 5, and about 2 to 50% by weight, especially 5 to 40% by weight in the organic polar solvent. % Is preferable. The logarithmic viscosity is a value calculated by the following equation. Logarithmic viscosity = natural logarithm (solution viscosity / solvent viscosity) / concentration of solution

【0018】前記のポリアミック酸(その一部、好まし
くは70%以下がイミド化していてもよい)の自己支持
性フィルムは、前記芳香族ポリアミック酸100重量部
と、有機極性溶媒5〜150重量部、好ましくは10〜
120重量部、特に好ましくは20〜100重量部と、
ポリアミック酸重合体100重量部に対して好ましくは
0.01〜1重量部、特に0.02〜0.8重量部のリ
ン酸エステルおよび/またはリン酸エステルのアミン塩
とを含有している芳香族ポリアミック酸組成物からなる
柔軟で自己支持性フィルムであり、特に長尺の自己支持
性フィルムであることが好ましい。
The self-supporting film of the polyamic acid (part of which, preferably 70% or less may be imidized) comprises 100 parts by weight of the aromatic polyamic acid and 5 to 150 parts by weight of an organic polar solvent. , Preferably 10
120 parts by weight, particularly preferably 20 to 100 parts by weight,
Aroma containing preferably 0.01 to 1 part by weight, especially 0.02 to 0.8 part by weight of a phosphoric acid ester and / or an amine salt of a phosphoric acid ester based on 100 parts by weight of the polyamic acid polymer. It is a flexible, self-supporting film made of a group III polyamic acid composition, and particularly preferably a long self-supporting film.

【0019】前記のポリアミック酸の自己支持性フィル
ムは、例えば、前述の芳香族テトラカルボン酸成分と芳
香族ジアミン成分との略等モル(各成分の添加順序には
特に制限はなく、最初から略等モルを添加してもよく、
何段階かに分けて添加してもよい。)を、前記有機極性
溶媒中、約100℃以下の低い温度で、特に好ましくは
0〜80℃の温度で約0.1〜10時間、重合して得ら
れた高分子量の芳香族ポリアミック酸(芳香族ポリイミ
ド前駆体)が、有機極性溶媒に約2〜50重量%の濃度
で均一に溶解している芳香族ポリアミック酸溶液に、前
述のリン含有化合物を加えて溶解させて得られた組成物
を、製膜用ド−プ液として使用して好ましくは約150
℃以下の流延温度、特に好ましくは0〜120℃程度の
流延温度で支持体面上に液状の薄膜を形成し、その薄膜
を支持体上で好ましくは約150℃以下の乾燥温度、特
に好ましくは20〜140℃程度の乾燥温度で、好まし
くは約0.1〜1時間乾燥する溶液流延法などの製膜法
で形成される自己支持性フィルムが好適に使用できる。
The above-mentioned polyamic acid self-supporting film can be formed, for example, by a substantially equimolar amount of the above-mentioned aromatic tetracarboxylic acid component and aromatic diamine component (the order of addition of each component is not particularly limited, and is substantially the same from the beginning). Equimolar may be added,
It may be added in several stages. ) In the organic polar solvent at a low temperature of about 100 ° C or lower, particularly preferably at a temperature of 0 to 80 ° C for about 0.1 to 10 hours, to obtain a high molecular weight aromatic polyamic acid ( A composition obtained by adding and dissolving the above-mentioned phosphorus-containing compound to an aromatic polyamic acid solution in which an aromatic polyimide precursor) is uniformly dissolved in an organic polar solvent at a concentration of about 2 to 50% by weight. Is preferably used as a dope solution for film formation.
Forming a liquid thin film on the surface of the support at a casting temperature of not more than 0 ° C., particularly preferably at a casting temperature of about 0 to 120 ° C., and drying the thin film on the support preferably at a drying temperature of about 150 ° C. or less, particularly preferably A self-supporting film formed by a film forming method such as a solution casting method, which is dried at a drying temperature of about 20 to 140 ° C., preferably for about 0.1 to 1 hour, can be suitably used.

【0020】また、前記のポリアミック酸の自己支持性
フィルムは、例えば、前述の高分子量の芳香族ポリアミ
ック酸(芳香族ポリイミド前駆体)が、有機極性溶媒に
約2〜50重量%の濃度で均一に溶解している芳香族ポ
リアミック酸溶液に、ピリジン、ベ−タピコリンなどの
第3アミン化合物や無水酢酸のような酸無水物などの化
学変換剤、および前述のリン含有化合物を加えて溶解さ
せて得られた(これら各成分の添加順序には特に制限は
なく、組成物の安定性等から適宜選択すればよい)組成
物を、製膜用ド−プ液として使用して好ましくは約0〜
150℃の流延温度、特に好ましくは0〜120℃程度
の流延温度で支持体面上に液状の薄膜を形成し、その薄
膜を支持体上で好ましくは約150℃以下の乾燥温度、
特に好ましくは20〜140℃程度の乾燥温度で、好ま
しくは約0.1〜1時間乾燥する溶液流延法などの製膜
法で形成される自己支持性フィルムが好適に使用でき
る。
The self-supporting film of the polyamic acid can be prepared by, for example, dispersing the above-mentioned high-molecular-weight aromatic polyamic acid (aromatic polyimide precursor) in an organic polar solvent at a concentration of about 2 to 50% by weight. A tertiary amine compound such as pyridine and betapicoline, a chemical conversion agent such as an acid anhydride such as acetic anhydride, and the above-mentioned phosphorus-containing compound are added to an aromatic polyamic acid solution dissolved in The obtained composition (the order of addition of these components is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the stability of the composition and the like), and is preferably used as a dope solution for film formation.
Forming a liquid thin film on the support surface at a casting temperature of 150 ° C., particularly preferably at a casting temperature of about 0 to 120 ° C., and drying the thin film on the support at a drying temperature of preferably about 150 ° C. or less;
Particularly preferably, a self-supporting film formed by a film forming method such as a solution casting method, which is dried at a drying temperature of about 20 to 140 ° C., preferably for about 0.1 to 1 hour, can be suitably used.

【0021】この発明の改質ポリイミドフィルムは、先
ず、前記自己支持性フィルム(ポリアミック酸、あるい
はその一部がイミド化されたポリイミド前駆体)の少な
くとも片方の表面(必要であれば両側の表面)に、ケイ
素化合物を均一に分布させ、加熱してフィルムを形成し
ているポリアミック酸をイミド化することによって得る
ことができる。
The modified polyimide film of the present invention is obtained by firstly forming at least one surface (if necessary, both surfaces) of the self-supporting film (polyamic acid or a polyimide precursor partially imidized). Then, the silicon compound is uniformly distributed and heated to imidize the polyamic acid forming the film.

【0022】例えば、前記自己支持性フィルムに、ケイ
素化合物を0.5%以上の濃度で含有し、しかも水分の
含有率が20%以下であるケイ素化合物の溶液を、グラ
ビア−ト法、シルクスクリ−ン法、浸漬法などの塗布法
で均一に塗布して均一に分布させ、その塗布フィルムを
好ましくは50〜180℃、特に好ましくは60〜16
0℃、さらに好ましくは70〜150℃の乾燥温度で好
ましくは0.1〜20分間、特に好ましくは0.2〜1
5分間、更に好ましくは0.3〜10分間乾燥して溶媒
および生成水が、好ましくは約27〜60重量%、特に
好ましくは30〜50重量%残存している固化フィルム
を形成し、次いで、好ましくは(1) 100g/mm2
以下、特に好ましくは80g/mm2 以下である実質的
にフリ−の状態ないしは前記上限までの低張力下、およ
び好ましくは(2)約80〜250℃、特に好ましくは
100〜230℃の乾燥温度で、好ましくは約1〜20
0分間、特に好ましくは2〜100分間乾燥して、前記
溶媒および生成水分が、好ましくは約5〜25重量%、
特に好ましくは10〜23重量%の割合で含有されてい
る固化フィルムを形成することが望ましい。
For example, a solution of a silicon compound containing a silicon compound in a concentration of 0.5% or more and having a water content of 20% or less in the self-supporting film is prepared by a gravure method, a silk screen method. And uniformly distributed by a coating method such as a coating method or a dipping method, and the coated film is preferably 50 to 180 ° C., particularly preferably 60 to 16 ° C.
0 ° C, more preferably at a drying temperature of 70 to 150 ° C, preferably for 0.1 to 20 minutes, particularly preferably 0.2 to 1
Dried for 5 minutes, more preferably 0.3 to 10 minutes, to form a solidified film in which the solvent and product water remain, preferably about 27 to 60% by weight, particularly preferably 30 to 50% by weight, Preferably (1) 100 g / mm 2
Below, particularly preferably in a substantially free state of not more than 80 g / mm 2 or under a low tension up to the upper limit, and preferably (2) a drying temperature of about 80 to 250 ° C., particularly preferably 100 to 230 ° C. And preferably about 1-20
After drying for 0 minutes, particularly preferably for 2 to 100 minutes, the solvent and the produced water are preferably about 5 to 25% by weight,
It is particularly preferable to form a solidified film containing 10 to 23% by weight.

【0023】前記溶媒および生成水分が好ましくは約2
7〜60重量%、特に好ましくは30〜50重量%残存
している固化フィルムを乾燥温度に昇温する際には、比
較的短時間内に昇温することが好ましく、例えば、10
℃/分以上の昇温速度であることが好適である。乾燥す
る際に固化フィルム状体に対して加えられる張力を増大
することによって、最終的に得られるポリイミドフィル
ムの線膨張係数を小さくすることができ、この平均線膨
張係数を前述の範囲内において希望する値に調節するこ
とができる。
The solvent and the produced water are preferably about 2
When the temperature of the solidified film having 7 to 60% by weight, particularly preferably 30 to 50% by weight, remaining is raised to the drying temperature, it is preferable to raise the temperature within a relatively short time.
It is preferable that the temperature is raised at a rate of at least ° C / min. By increasing the tension applied to the solidified film during drying, the coefficient of linear expansion of the finally obtained polyimide film can be reduced. It can be adjusted to the value you want.

【0024】前記のケイ素化合物として、分解温度が好
ましくは275℃以上、特に好ましくは280〜600
℃、そのなかでも特に好ましくは290〜550℃の範
囲のアミノシラン化合物、エポキシシラン化合物を挙げ
ることができる。すなわち、β−(3,4−エポキシシ
クロヘキシル)−エチル−トリメトキシシラン、γ−グ
リシドキシプロピル−トリメトキシシランなどのエポキ
シシラン化合物、γ−アミノプロピル−トリエトキシシ
ラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピル
−トリエトキシシラン、N−〔β−(フェニルアミノ)
エチル〕−γ−アミノプロピル−トリエトキシシラン、
N−フェニル−γ−アミノプロピル−トリエトキシシラ
ンなどのアミノシラン化合物が好ましい。なかでも特に
N−フェニル−γ−アミノプロピル−トリエトキシシラ
ンが好ましい。
The silicon compound has a decomposition temperature of preferably 275 ° C. or higher, particularly preferably 280 to 600.
° C, and particularly preferably, an aminosilane compound and an epoxysilane compound in the range of 290 to 550 ° C. That is, epoxysilane compounds such as β- (3,4-epoxycyclohexyl) -ethyl-trimethoxysilane, γ-glycidoxypropyl-trimethoxysilane, γ-aminopropyl-triethoxysilane, N-β- (amino Ethyl) -γ-aminopropyl-triethoxysilane, N- [β- (phenylamino)
Ethyl] -γ-aminopropyl-triethoxysilane,
Aminosilane compounds such as N-phenyl-γ-aminopropyl-triethoxysilane are preferred. Among them, N-phenyl-γ-aminopropyl-triethoxysilane is particularly preferred.

【0025】前記のケイ素化合物は、この化合物を0.
5重量%以上、特に1〜100重量%、更に好ましくは
3〜55重量%の濃度で、低級アルコ−ル、アミド系溶
媒などの有機溶媒に均一に溶解している低粘度の溶液が
好ましい。前述の芳香族ポリアミック酸の製造に使用さ
れる重合溶媒や自己支持性フィルムに含有されている溶
媒と同じ種類の溶媒を挙げることができる。また、エチ
ルアルコ−ル、メチルアルコ−ル、プロピルアルコ−
ル、ブチルアルコ−ルなどの低級アルコ−ルを使用する
ことができる。
The above-mentioned silicon compound is used in an amount of 0.1.
A low-viscosity solution which is uniformly dissolved in an organic solvent such as a lower alcohol or an amide solvent at a concentration of 5% by weight or more, particularly preferably 1 to 100% by weight, more preferably 3 to 55% by weight, is preferred. Examples of the solvent include the same types of solvents as the above-mentioned polymerization solvent used for producing the aromatic polyamic acid and the solvent contained in the self-supporting film. Also, ethyl alcohol, methyl alcohol, propyl alcohol
And lower alcohols such as butyl alcohol.

【0026】この発明の改質ポリイミドフィルムは、好
適には前述の乾燥工程に続いて、連続的または断続的に
前記固化フィルムの少なくとも一対の両端縁を連続的ま
たは断続的に前記フィルムと共に移動可能な固定装置な
どで固定した状態で、前記の乾燥温度より高く、しかも
好ましくは200〜500℃の範囲内、特に好ましくは
250〜450℃の範囲内の高温度で、好ましくは1〜
200分間、特に2〜100分間、前記固化フィルムを
乾燥および熱処理して、好ましくは最終的に得られるポ
リイミドフィルム中の溶媒および生成水等からなる揮発
物の含有量が1重量%以下になるように、固化フィルム
から溶媒などを充分に除去するとともに前記フィルムを
構成しているポリマ−のイミド化を充分に行って、前述
の各性能を同時に満足するポリイミドフィルムを形成す
る。
Preferably, the modified polyimide film of the present invention is capable of continuously or intermittently moving at least one pair of both edges of the solidified film together with the film continuously or intermittently after the drying step. In a state fixed by a fixing device or the like, the temperature is higher than the above-mentioned drying temperature, and more preferably in the range of 200 to 500 ° C, particularly preferably in the range of 250 to 450 ° C, preferably 1 to
The solidified film is dried and heat-treated for 200 minutes, especially for 2 to 100 minutes, preferably so that the content of the volatile matter composed of the solvent and the generated water in the finally obtained polyimide film is 1% by weight or less. Then, the solvent and the like are sufficiently removed from the solidified film, and the polymer constituting the film is sufficiently imidized to form a polyimide film which simultaneously satisfies the above-mentioned respective properties.

【0027】前記の固化フィルムの固定装置としては、
例えば、多数のピンまたは把持具などを等間隔で備えた
ベルト状またはチェ−ン状のものを、連続的または断続
的に供給される前記固化フィルムの長手方向の両側縁に
沿って一対設置し、そのフィルムの移動と共に連続的ま
たは断続的に移動させながら前記フィルムを固定できる
装置が好適である。また、前記の固化フィルムの固定装
置は、熱処理中のフィルムを幅方向または長手方向に適
当な伸び率または収縮率(特に好ましくは0.5〜5%
程度の伸縮倍率)で伸縮することができる装置であって
もよい。
As a fixing device of the solidified film,
For example, a pair of belt-shaped or chain-shaped ones provided with a large number of pins or holding tools at equal intervals are installed along both longitudinal edges of the solidified film supplied continuously or intermittently. An apparatus capable of fixing the film while moving the film continuously or intermittently with the movement of the film is preferable. In addition, the above-described fixing device for a solidified film may be used to fix the film under heat treatment to an appropriate elongation or shrinkage in the width direction or the length direction (particularly preferably 0.5 to 5%).
A device that can expand and contract at a degree of expansion / contraction may be used.

【0028】なお、前記の工程において製造された改質
されたポリイミドフィルムを、再び好ましくは400g
/mm2 以下、特に好ましくは300g/mm2 以下の
低張力下において250〜500℃、特に好ましくは3
00〜450℃の温度で、好ましくは1〜30分間、特
に好ましくは2〜20分間、熱処理すると特に寸法安定
性が優れた耐熱性のポリイミドフィルムとすることがで
きる。また、製造された長尺のポリイミドフィルムは、
適当な公知の方法でロ−ル状に巻き取ることができる。
The modified polyimide film produced in the above step is again preferably 400 g
/ Mm 2 or less, particularly preferably at a low tension of 300 g / mm 2 or less at 250 to 500 ° C., particularly preferably 3 to 500 ° C.
When heat-treated at a temperature of 00 to 450 ° C., preferably for 1 to 30 minutes, particularly preferably for 2 to 20 minutes, a heat-resistant polyimide film having particularly excellent dimensional stability can be obtained. Also, the manufactured long polyimide film,
It can be wound into a roll by a suitable known method.

【0029】ケイ素化合物処理により表面が改質された
ポリイミドフィルムの表面の元素比率の分析は、それ自
体公知のXPS(X線光電子分光法)によって実施する
ことができる。具体的には、X線光電子分光装置(VG
社、ESCA・LAB・X型)にてMg−KαのX線源
(300W)を用い、2mm×3mmのフィルムの表面
に存在する元素をESCA法によって分析する方法を利
用して求めることができる。また、全フィルム中のリン
(P)の含有量は、ポリイミドフィルムを酸化亜鉛と一
緒に燃焼灰化させ、希硫酸で溶解後、モリブデン酸アン
モニウム、亜硫酸ソ−ダ、ハイドロキノンを加え、分光
光度計で吸光度(波長655nm)を測定することによ
り求めることができる。
The analysis of the element ratio on the surface of the polyimide film whose surface has been modified by the silicon compound treatment can be performed by XPS (X-ray photoelectron spectroscopy) known per se. Specifically, an X-ray photoelectron spectrometer (VG
Using a Mg-Kα X-ray source (300 W) at the ESCA LAB X type) and analyzing the elements present on the surface of the 2 mm × 3 mm film by the ESCA method. . The content of phosphorus (P) in the whole film was determined by burning and ashing a polyimide film together with zinc oxide, dissolving it with dilute sulfuric acid, adding ammonium molybdate, sodium sulfite, and hydroquinone to a spectrophotometer. By measuring the absorbance (wavelength 655 nm).

【0030】平均線膨張係数(α:℃-1)は、測定する
試料片(5mm×20mm)を、引張り荷重法による熱
機械分析装置(理学電気株式会社製)に設置して、常温
から300℃まで10℃/minの昇温速度で昇温し、
300℃に1分間保持した後、5〜20℃/minの降
温速度で常温まで冷却し、その降温時の300℃から5
0℃までの試料片の長さの変位(ΔL1)および試料片の
元の長さ(L1;10mm)から、次の計算式によって算
出したものである。 α=(ΔL1/L1)/(300−50) また、熱寸法変化率(A:%)は、前記と同様の熱機械
分析装置に試料片(5mm×20mm)を設置し、常温
から400℃まで10℃/minの昇温速度で昇温し、
400℃に2時間保持した後5〜20℃/minの降温
速度で常温まで冷却して、その際の加熱の前後の常温
(約 25℃)での試料片の長さの変位(ΔL2)および
試料片の元の長さ(L2:10mm)から、次の計算式に
よって算出したものである。 A=(ΔL2/L2)×100 また、フィルム中の揮発性成分の含有率は次の計算式に
よって算出した。 揮発性成分(重量%)=(W0 −W)/W0 ×100 W0 :150℃×10分乾燥後の重量 W :450℃×20分加熱処理後の重量
The average coefficient of linear expansion (α: ° C. -1 ) is determined by placing a sample (5 mm × 20 mm) to be measured in a thermomechanical analyzer (manufactured by Rigaku Denki Co., Ltd.) by a tensile load method and measuring the temperature from room temperature to 300 To 10 ° C at a rate of 10 ° C / min,
After holding at 300 ° C. for 1 minute, it is cooled to room temperature at a temperature lowering rate of 5 to 20 ° C./min.
It is calculated from the displacement of the length of the specimen up to 0 ° C. (ΔL 1 ) and the original length of the specimen (L 1 ; 10 mm) by the following formula. α = (ΔL 1 / L 1 ) / (300-50) The thermal dimensional change rate (A:%) is determined by placing a sample piece (5 mm × 20 mm) in the same thermomechanical analyzer as described above, The temperature is raised to 400 ° C. at a rate of 10 ° C./min,
After holding at 400 ° C. for 2 hours, the sample is cooled to room temperature at a temperature lowering rate of 5 to 20 ° C./min, and the length displacement (ΔL 2 ) of the sample piece at room temperature (about 25 ° C.) before and after heating. And the original length (L 2 : 10 mm) of the sample piece was calculated by the following formula. A = (ΔL 2 / L 2 ) × 100 The content of the volatile component in the film was calculated by the following formula. Volatile component (% by weight) = (W 0 −W) / W 0 × 100 W 0 : Weight after drying at 150 ° C. × 10 minutes W: Weight after heat treatment at 450 ° C. × 20 minutes

【0031】この発明の積層体は、例えば、前述のポリ
イミドフィルムにスパッタリングのような方法で直接あ
るいは接着剤を介してポリイミドフィルムの様な同種あ
るいは銅のような異種の基材を積層することによって得
ることができる。
The laminate of the present invention is obtained by, for example, laminating the same kind of polyimide film or a different kind of substrate such as copper on the above-mentioned polyimide film directly by a method such as sputtering or via an adhesive. Obtainable.

【0032】この発明の積層体として、例えば、この発
明の改質ポリイミドフィルムの上(前記Siを特定の割
合で有する表面上)に接着剤を塗布、乾燥し、銅箔を張
り合わせる方法、あるいは前記改質されたポリイミドフ
ィルムの片面あるいは両面(改質面)に耐熱性接着剤、
例えば熱可塑性ポリイミドの溶液、あるいはその前駆体
であるポリアミック酸の溶液を塗布、乾燥、加熱した耐
熱性接着剤付きポリイミドフィルムや、このポリイミド
フィルムの改質面に直接金属(銅、クロム、ニッケル
等)を蒸着、スパッタで直接付着し、その上にさらに金
属(例えば銅)を電解または無電解メッキで付着させた
2層基板にすることができる。
As the laminate of the present invention, for example, a method in which an adhesive is applied on the modified polyimide film of the present invention (on the surface having a specific ratio of Si), dried, and a copper foil is laminated, or Heat-resistant adhesive on one or both sides (modified surface) of the modified polyimide film,
For example, a solution of a thermoplastic polyimide or a solution of a polyamic acid as a precursor thereof is applied, dried, and heated. A polyimide film with a heat-resistant adhesive, or a metal (copper, chromium, nickel, etc.) directly on a modified surface of the polyimide film. ) Can be directly deposited by vapor deposition and sputtering, and a metal (for example, copper) is further deposited on the two-layer substrate by electrolytic or electroless plating.

【0033】この発明の積層体は、例えば、FPC、T
AB、LOC(リ−ド・オン・チップ)等に好適に使用
することができる。
The laminate of the present invention can be made of, for example, FPC, T
It can be suitably used for AB, LOC (lead on chip) and the like.

【0034】[0034]

【実施例】以下にこの発明の実施例を示す。以下の記載
において部は重量部を示す。
Embodiments of the present invention will be described below. In the following description, “parts” indicates “parts by weight”.

【0035】参考例1 N,N−ジメチルアセトアミド2470部中に3,
' ,4,4' −ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
294.22部とP−フェニレンジアミン108.14
部を加え25℃で約10時間反応させてポリアミック酸
溶液を得た。このポリアミック酸の対数粘度は2.66
であり、溶液の30℃の粘度は3100ポイズであっ
た。
Reference Example 1 3,470 parts of N, N-dimethylacetamide
3 ', 4,4' - biphenyl tetracarboxylic acid and anhydrides 294.22 parts P- phenylenediamine 108.14
The mixture was added and reacted at 25 ° C. for about 10 hours to obtain a polyamic acid solution. The logarithmic viscosity of this polyamic acid is 2.66.
And the viscosity at 30 ° C. of the solution was 3100 poise.

【0036】参考例2 N,N−ジメチルアセトアミド2570部中に4,4'
−ジアミノジフェニルエ−テル200.24部添加後、
ピロメリット酸二無水物218.14部を加え25℃で
約6時間反応させてポリアミック酸溶液を得た。このポ
リアミック酸溶液の対数粘度は1.60であり溶液の3
0℃の粘度は300ポイズであった。
Reference Example 2 4,4 'in 2570 parts of N, N-dimethylacetamide
After addition of 200.24 parts of diaminodiphenyl ether,
218.14 parts of pyromellitic dianhydride were added and reacted at 25 ° C. for about 6 hours to obtain a polyamic acid solution. The logarithmic viscosity of this polyamic acid solution is 1.60 and 3
The viscosity at 0 ° C. was 300 poise.

【0037】参考例3 N−メチル−2−ピロリドン1980部中に3,3'
4,4' −ビフェニテトラカルボン酸二無水物147.
2部、ピロメリット酸二無水物100.1部、パラフェ
ニレンジアミン75.7部、4,4' −ジアミノジフェ
ニルエ−テル60.6部を加え25℃で約6時間反応さ
せてポリアミック酸溶液を得た。このポリアミック酸溶
液の対数粘度(30℃、0.5g/100ml N−メ
チル−2−ピロリドン)は2.51であり、溶液の30
℃の粘度は2900ポイズであった。
Reference Example 3 N-methyl-2-pyrrolidone contained 1980 parts of 3,3 ,
4,4 '- biphenylene dianhydride 147.
2 parts, 100.1 parts of pyromellitic dianhydride, 75.7 parts of p-phenylenediamine, 4,4 '- diaminodiphenyl et - reacted for about 6 hours at 25 ° C. was added 60.6 parts of ether and a polyamic acid solution I got The logarithmic viscosity (30 ° C., 0.5 g / 100 ml N-methyl-2-pyrrolidone) of this polyamic acid solution is 2.51, and
The viscosity at ° C was 2900 poise.

【0038】実施例1 参考例1で調製したポリアミック酸溶液の重合体100
部に対して、モノステアリルリン酸エステルトリエタノ
−ルアミン塩0.1部を加え、室温25℃で6時間攪拌
してポリアミック酸組成物を得た。この組成物をステン
レスベルト上に流延塗布し、120℃で20分間乾燥し
たのち、ステンレスベルト面より剥がし自己支持性フィ
ルムを得た。剥離はスム−ズであった。
Example 1 Polymer 100 of polyamic acid solution prepared in Reference Example 1
To this part, 0.1 part of monostearyl phosphate triethanolamine salt was added, and the mixture was stirred at room temperature at 25 ° C. for 6 hours to obtain a polyamic acid composition. This composition was cast and applied on a stainless steel belt, dried at 120 ° C. for 20 minutes, and then peeled off from the stainless steel belt surface to obtain a self-supporting film. Peeling was smooth.

【0039】得られた自己支持性フィルムの表面にN−
フェニル−γ−アミノプロピルエトキシシランのN,N
−ジメチルアセトアミド溶液(シラン化合物濃度:5重
量%)を塗布して、100℃で1分間加熱した。この固
化フィルムをダンサ−によりフィルム状体の長手方向
(MD)の両端縁を10g/mm2 の低張力下(TD:
フリ−)に縦型炉内(乾燥温度180℃)へ供給し約4
分間で通過させた。乾燥工程に続いてその固化フィルム
を高温加熱炉内へ供給し、その炉内でフィルムの長手方
向の両端縁を横型テンタ−で保持して移動させながら約
250℃から450℃までしだいに高くなる熱風で乾燥
・熱処理およびイミド化して、改質芳香族ポリイミドフ
ィルムを連続的に形成し、最後にそのフィルムを冷却し
ながらロ−ル状に巻き取った。前述の製膜法で得られた
厚さ50μmの芳香族ポリイミドフィルムは、そのポリ
マ−のイミド化率が95%以上であって、フィルムの熱
分解開始温度で示す耐熱性が450℃以上であり、さら
に、引張試験によるフィルムのMD方向の物性値(20
℃)である引張強度が51kg/mm2 、伸び率が35
%、引張初期弾性率が810kg/mm2 であった。こ
のフィルムのC/Oは5.5で、O/Nは2.0であっ
た(柳本製作所、元素分析計:MT−3型使用)。
On the surface of the obtained self-supporting film, N-
N, N of phenyl-γ-aminopropylethoxysilane
-A dimethylacetamide solution (silane compound concentration: 5% by weight) was applied and heated at 100 ° C for 1 minute. This solidified film was subjected to a low tension of 10 g / mm 2 (TD:
Free) into a vertical furnace (drying temperature 180 ° C)
Passed in minutes. Following the drying step, the solidified film is fed into a high-temperature heating furnace, in which the longitudinal edges of the film are gradually moved from about 250 ° C. to 450 ° C. while being moved while being held by a horizontal tenter. The modified aromatic polyimide film was continuously formed by drying, heat treatment and imidation with hot air, and finally the film was rolled up while being cooled. The aromatic polyimide film having a thickness of 50 μm obtained by the above-described film forming method has an imidization ratio of the polymer of 95% or more, and has a heat resistance of 450 ° C. or more as indicated by the thermal decomposition onset temperature of the film. Further, physical properties in the MD direction of the film (20
° C), a tensile strength of 51 kg / mm 2 and an elongation of 35
%, And the initial tensile modulus was 810 kg / mm 2 . The C / O of this film was 5.5 and the O / N was 2.0 (Yanagimoto Seisakusho, elemental analyzer: MT-3 type used).

【0040】エポキシ系接着剤(ハイソ−ルジャパン社
製、ハイソ−ル:LOL.NO.OX−035)を厚さ
35μmの電解銅箔上に塗布し、120℃で30分間加
熱乾燥して接着剤層(厚さ200μm)を形成した。次
に、この電解銅箔上の接着剤層上に上記芳香族ポリイミ
ドフィルムを重ね合わせた後、170℃、40kg/cm
2 で5分間乾燥した後13時間放置して、銅箔層とポリ
イミドフィルム層との間のT−剥離試験(ASTM D
−1876)と180度剥離試験(ASTM D−90
3)とを行って評価した。
An epoxy-based adhesive (Hisol Japan Ltd., Hisol: LOL.NO.OX-035) is applied on a 35 μm-thick electrolytic copper foil, and heated and dried at 120 ° C. for 30 minutes to bond. An agent layer (thickness: 200 μm) was formed. Next, after the above-mentioned aromatic polyimide film was overlaid on the adhesive layer on the electrolytic copper foil, 170 ° C., 40 kg / cm
2 for 5 minutes and then left for 13 hours to allow a T-peel test (ASTM D) between the copper foil layer and the polyimide film layer.
-1876) and 180 degree peel test (ASTM D-90)
3) was evaluated.

【0041】T−剥離強度は、B面(流延による自己支
持性フィルムの製造時にステンレスベルト面に接してい
た側の表面)が1.6kg/cm以上、F面(流延による
自己支持性フィルムの製造時にステンレススベルト面に
接していなかったた側の表面)が1.5kg/cmであり
180度剥離強度は、B面が3.8kg/cmでF面が
3.0kg/cmであた。
The T-peel strength was 1.6 kg / cm or more on the B surface (the surface that was in contact with the stainless steel belt surface during the production of the self-supporting film by casting) and the F surface (self-supporting property by casting). The surface which was not in contact with the stainless steel belt surface during the production of the film) was 1.5 kg / cm, and the 180-degree peel strength was 3.8 kg / cm for the B side and 3.0 kg / cm for the F side. Was.

【0042】上記改質ポリイミドフィルムの表面のC/
O、O/N、Siの含有率、フィルム中のPの含有率を
表1に、線膨張係数、熱寸法変化率を表2に示す。ま
た、この改質ポリイミドフィルム全体のC/O、O/N
を測定したところ、改質前のポリイミドフィルムのそれ
ぞれの値と一致した。改質ポリイミドフィルムを10%
NaOH水溶液に60℃で1時間浸漬してもほとんど変
化なく形状を保持していた。
C / on the surface of the modified polyimide film
Table 1 shows the content of O, O / N, and Si, and the content of P in the film. Table 2 shows the coefficient of linear expansion and the rate of change in thermal dimension. Also, the C / O and O / N of the entire modified polyimide film
Was found to be consistent with the respective values of the polyimide film before modification. 10% modified polyimide film
Even when immersed in an aqueous NaOH solution at 60 ° C. for 1 hour, the shape was kept almost unchanged.

【0043】実施例2 製膜工程の乾燥工程において、固化フィルムの長手方向
の両端縁を約80g/mm2 になるように一定間隔で保
持しながら、乾燥した他は実施例1と同様の方法で製膜
して、厚さ25μmの芳香族ポリイミドフィルムを製造
した。芳香族ポリイミドフィルムをロ−ル巻きする際
に、シワが発生したりすることがなく、ロ−ル巻きされ
たフィルムの巻き状態の外観は良好であった。上記改質
ポリイミドフィルムの表面のC/O、O/N、Si含有
率、フィルム中のPの含有率、フィルムの物性を表1、
表2にまとめて示す。
Example 2 In the drying step of the film-forming step, the same method as that of Example 1 was used, except that the solidified film was dried while maintaining both ends in the longitudinal direction at a constant interval of about 80 g / mm 2. To produce an aromatic polyimide film having a thickness of 25 μm. When the aromatic polyimide film was roll-wound, wrinkles did not occur, and the rolled film had a good appearance in a rolled state. Table 1 shows C / O, O / N, Si content of the surface of the modified polyimide film, P content in the film, and physical properties of the film.
The results are shown in Table 2.

【0044】実施例3 参考例3で調製したポリアミック酸溶液の重合体100
部に対して、モノステアリルリン酸エステルトリエタノ
−ルアミン塩0.1部を加え、室温で6時間攪拌してポ
リアミック酸組成物を得た。この組成物をステンレスベ
ルト上に流延塗布し、100℃で1分間乾燥したのち、
ステンレスベルト面より剥がし自己支持性フィルムを得
た。剥離はスム−ズであった。得られた自己支持性フィ
ルムの表面にN−フェニル−γ−アミノプロピルエトキ
シシランのN,N−ジメチルアセトアミド溶液(シラン
化合物濃度:5重量%)を塗布して、実施例1と同様に
して厚さ50μの改質ポリイミドフィルムを製造した。
このフィルムのC/Oは4.1、O/Nは2.3であっ
た。
Example 3 Polymer 100 of Polyamic Acid Solution Prepared in Reference Example 3
To this part, 0.1 part of monostearyl phosphate triethanolamine salt was added and stirred at room temperature for 6 hours to obtain a polyamic acid composition. The composition was cast on a stainless steel belt and dried at 100 ° C. for 1 minute.
The self-supporting film was peeled off from the stainless belt surface. Peeling was smooth. A solution of N-phenyl-γ-aminopropylethoxysilane in N, N-dimethylacetamide (silane compound concentration: 5% by weight) was applied to the surface of the obtained self-supporting film. A modified polyimide film having a thickness of 50 μm was produced.
The C / O of this film was 4.1 and the O / N was 2.3.

【0045】この改質ポリイミドフィルムを使用して実
施例1と同様にしてエポキシ系接着剤と張り合わせた。
T−剥離強度は、B面が1.7kg/cm、F面が1.
4kg/cmであり、180度剥離強度は、B面が3.
3kg/cmでF面が2.9kg/cmであった。上記
改質されたポリイミドフィルムの表面及びフィルム中の
Pの含有率、他の特性を表1に示す。また、このフィル
ムは10%NaOH水溶液に60℃で1時間浸漬しても
ほとんど変化なく形状保持していた。結果をまとめて表
1、表2に示す。
Using this modified polyimide film, it was bonded to an epoxy adhesive in the same manner as in Example 1.
The T-peel strength was 1.7 kg / cm on the B side and 1. kg on the F side.
4 kg / cm, and the 180-degree peel strength of B-side is 3.
At 3 kg / cm, the F-plane was 2.9 kg / cm. Table 1 shows the content of P in the surface of the modified polyimide film and the film, and other characteristics. This film retained its shape with almost no change even when immersed in a 10% aqueous NaOH solution at 60 ° C. for 1 hour. The results are summarized in Tables 1 and 2.

【0046】比較例1 参考例1で調製したポリアミック酸溶液を使用し、自己
支持性フィルムの表面にN−フェニル−γ−アミノプロ
ピルエトキシシランのN,N−ジメチルアセトアミド溶
液を塗布しなかった他は実施例1と同様にしてポリイミ
ドフィルムを製造した。このポリイミドフィルムを使用
して実施例1と同様にしてエポキシ系接着剤と張り合わ
せた。接着性を評価した結果、T−剥離強度は、B面が
0.03kg/cm、F面が0.02kg/cmであ
り、180度剥離強度は、B面が0.3kg/cmでF
面が0.1kg/cmであった。上記ポリイミドフィル
ムの表面及びフィルム中の各成分の重量割合、含有率を
表1に示す。また、このフィルムの引張弾性率は870
kg/mm2 で,10%NaOH水溶液に60℃で1時
間浸漬してもほとんど変化なく形状保持していた。
Comparative Example 1 The polyamic acid solution prepared in Reference Example 1 was used, and the N, N-dimethylacetamide solution of N-phenyl-γ-aminopropylethoxysilane was not applied to the surface of the self-supporting film. Produced a polyimide film in the same manner as in Example 1. This polyimide film was bonded to an epoxy adhesive in the same manner as in Example 1. As a result of evaluating the adhesiveness, the T-peel strength was 0.03 kg / cm for the B side and 0.02 kg / cm for the F side, and the 180 ° peel strength was 0.3 kg / cm for the B side.
The surface was 0.1 kg / cm. Table 1 shows the weight ratio and content of each component in the surface of the polyimide film and in the film. The tensile modulus of this film was 870.
Even when immersed in a 10% aqueous solution of NaOH at 60 ° C. for 1 hour at kg / mm 2 , the shape was kept almost unchanged.

【0047】比較例2 参考例2で調製したポリアミック酸溶液を使用した他は
実施例1と同様にしてポリイミドフィルムを製造した。
このフィルムのC/Oは3.3で、O/Nは2.9であ
った。このポリイミドフィルムから実施例1と同様にし
て改質ポリイミドフィルムを得た。この改質ポリイミド
フィルムを使用して実施例1と同様にしてエポキシ系接
着剤と張り合わせた。接着性を評価した結果、T−剥離
強度は、B面が1.7kg/cm、F面が1.6kg/
cmであり、180度剥離強度は、B面が3.0kg/
cmでF面が2.9kg/cmであった。上記ポリイミ
ドフィルムの表面及びフィルム中の各成分の重量割合、
含有率を表1に、その他の特性を表2に示す。また、こ
のフィルムの引張弾性率は310kg/mm2 で,10
%NaOH水溶液に60℃で1時間浸漬するとフィルム
は溶解していた。
Comparative Example 2 A polyimide film was produced in the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution prepared in Reference Example 2 was used.
The C / O of this film was 3.3 and the O / N was 2.9. A modified polyimide film was obtained from this polyimide film in the same manner as in Example 1. This modified polyimide film was bonded to an epoxy adhesive in the same manner as in Example 1. As a result of evaluating the adhesiveness, the T-peel strength was 1.7 kg / cm on the B side and 1.6 kg / cm on the F side.
cm, and the 180 degree peel strength of the B side is 3.0 kg /
cm and the F-side was 2.9 kg / cm. Weight ratio of each component in the surface of the polyimide film and the film,
Table 1 shows the content, and Table 2 shows other characteristics. The tensile modulus of the film was 310 kg / mm 2 ,
When the film was immersed in a 60% aqueous solution of NaOH at 60 ° C. for 1 hour, the film was dissolved.

【0048】比較例3 参考例2で調製したポリアミック酸溶液に対して、モノ
ステアリルリン酸エステルトリエタノ−ルアミン塩を添
加しないで、ステンレスベルト上に流延塗布して、12
0℃で10分間乾燥したのち、ステンレスベルト面より
剥がそうとしたが、剥離が困難でフィルムが切断した
り、剥離面にも剥離痕が付いたりし、良好なフィルムを
製造することができなかった。
Comparative Example 3 The polyamic acid solution prepared in Reference Example 2 was cast on a stainless steel belt without adding the monostearyl phosphate triethanolamine salt to form
After drying at 0 ° C for 10 minutes, it was attempted to peel off from the stainless steel belt surface. However, peeling was difficult and the film was cut or peeling marks were formed on the peeled surface, making it impossible to produce a good film. Was.

【0049】実施例4〜9 N−フェニル−γ−アミノプロピルエトキシシランの
N,N−ジメチルアセトアミド溶液のシラン化合物濃度
を、1重量%(実施例4)に変えたか、シラン化合物濃
度を15重量%に変えたか(実施例5)、モノステアリ
ルリン酸エステルトリエタノ−ルアミン塩を0.025
部(実施例6)に変えたか、モノステアリルリン酸エス
テルトリエタノ−ルアミン塩を0.5部(実施例7)に
変えたか、モノステアリルリン酸エステルトリエタノ−
ルアミン塩に代えてジオクチルリン酸エステルモノエタ
ノ−ルアミン塩を0.1部用いた(実施例8)か、トリ
エチレングリコ−ルモノトリデシルエ−テルのモノリン
酸エステルを0.1部用いた(実施例9)他は実施例1
と同様に実施した。結果をまとめて表1および表2に示
す。
Examples 4 to 9 The concentration of the silane compound in the N, N-dimethylacetamide solution of N-phenyl-γ-aminopropylethoxysilane was changed to 1% by weight (Example 4), or the concentration of the silane compound was changed to 15% by weight. % (Example 5), or monostearyl phosphate triethanolamine salt was added to 0.025%.
Parts (Example 6) or 0.5 parts (Example 7) of monostearyl phosphate triethanolamine, or monostearyl phosphate triethanolamine.
0.1 part of dioctyl phosphate monoethanolamine salt was used in place of the ruamine salt (Example 8), or 0.1 part of the monophosphate ester of triethylene glycol monotridecyl ether was used (Example 1). Example 9) Other than Example 1
Was performed in the same manner as described above. The results are summarized in Tables 1 and 2.

【0050】[0050]

【表1】 [Table 1]

【0051】[0051]

【表2】 [Table 2]

【0052】実施例10 実施例1〜9で得られた改質ポリイミドフィルムをスリ
ットし、35mm幅のテ−プを作製し、その上に26m
m幅のポリイミド系の接着剤テ−プ(宇部興産株式会社
製、UPA−322)をポリイミドテ−プの改質面上に
その中心線が重なるようにラミネ−トして接着剤付きポ
リイミドテ−プを作製した。この接着剤付きポリイミド
テ−プにスプロケット穴やデバイスホ−ルをパンチング
で開け、銅箔(35μm)を130℃で張り合わせ、接
着剤を硬化させた。その銅箔に常法によるエッチングに
よりIL(インナ−リ−ド)やOL(アウタ−リ−ド)
等の回路を形成しTAB用キャリア−テ−プを作製し
た。このTAB用キャリア−テ−プにICを実装した
所、ICのバッドとILの寸法精度にほとんど狂いがな
く、正確にボンディングすることができた。
Example 10 The modified polyimide film obtained in Examples 1 to 9 was slit to form a tape having a width of 35 mm.
A polyimide adhesive tape having a width of m (UPA-322, manufactured by Ube Industries, Ltd.) is laminated on the modified surface of the polyimide tape so that the center line of the adhesive tape is overlapped with the adhesive tape. -A sample was prepared. A sprocket hole and a device hole were punched in the polyimide tape with the adhesive, and a copper foil (35 μm) was stuck at 130 ° C. to cure the adhesive. IL (inner lead) or OL (outer lead) is etched on the copper foil by a conventional method.
The carrier tape for TAB was manufactured by forming circuits such as those described above. When the IC was mounted on the carrier tape for TAB, the dimensional accuracy of the pad and the IL of the IC was hardly deviated, and the bonding could be performed accurately.

【0053】さらにポッティング樹脂でICを封止後、
プリント基板の上に実装したところプリント基板の回路
とTABのOLとの寸法の狂いが小さく、正確にボンデ
ィングできた。
After sealing the IC with a potting resin,
When mounted on a printed board, the deviation of the dimensions of the circuit of the printed board and the OL of the TAB was small, and bonding could be performed accurately.

【0054】比較例4 比較例1〜3で得られたポリイミドフィルムを用いた他
は上記と同様にしてTAB用キャリア−テ−プを作製し
た。このTAB用キャリア−テ−プにICを実装した
所、ICのバッドとILの寸法精度は大幅に狂い、正確
にボンディングすることができず使用不可であった。
Comparative Example 4 A carrier tape for TAB was prepared in the same manner as described above except that the polyimide films obtained in Comparative Examples 1 to 3 were used. When the IC was mounted on this TAB carrier tape, the dimensional accuracy of the IC pad and the IL was greatly deviated, and the IC could not be bonded accurately and could not be used.

【0055】[0055]

【発明の効果】この発明は以上説明したように構成され
ているので、以下に記載のような効果を奏する。
Since the present invention is configured as described above, the following effects can be obtained.

【0056】この改質ポリイミドフィルムは引張弾性率
が大きく、耐薬品性に優れ、他の材料と張り合わせても
接着強度が大きく、種々の製造工程を経ても変化なく、
製造工程での寸法精度も高く、他部品を実装する際の位
置合わせが良好である。
This modified polyimide film has a large tensile modulus, excellent chemical resistance, a large adhesive strength even when laminated with other materials, and remains unchanged even after various manufacturing processes.
The dimensional accuracy in the manufacturing process is high, and the alignment when mounting other components is good.

【0057】この改質ポリイミドフィルムとしてポリマ
−成分が30モル%以上のビフェニルテトラカルボン酸
成分と50モル%以上のフェニレンジアミン成分とから
なるものは、引張弾性率が400kg/mm2 以上であ
り、耐薬品性に優れ、他の材料と張り合わせても接着強
度が大きく、種々の製造工程を経ても変化がなく、製造
工程での寸法精度も高く、他部品を実装する際の位置合
わせが良好であり、安定的に一定した品質で大量に、工
業的に得ることができる。
The modified polyimide film comprising a biphenyltetracarboxylic acid component having a polymer component of 30 mol% or more and a phenylenediamine component of 50 mol% or more has a tensile modulus of 400 kg / mm 2 or more. Excellent chemical resistance, high adhesive strength even when bonded to other materials, no change even after various manufacturing processes, high dimensional accuracy in manufacturing processes, good alignment when mounting other parts Yes, it can be obtained industrially in large quantities with stable and consistent quality.

【0058】この改質ポリイミドフィルムを用いた積層
体は、接着強度が大きく、種々の製造工程を経ても変化
なく、製造工程での寸法精度も高く、他部品を実装する
際の位置合わせが良好である。
The laminate using the modified polyimide film has a high adhesive strength, does not change even after various manufacturing steps, has high dimensional accuracy in the manufacturing steps, and has good alignment when mounting other parts. It is.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI C08J 7/04 C08J 7/04 M // C08L 79:08 C08L 79:08 (56)参考文献 特開 昭61−264028(JP,A) 特開 昭60−244507(JP,A) 特開 昭62−267330(JP,A) 特開 平8−100072(JP,A) 特開 平8−134234(JP,A) 特開 平8−143688(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C08J 5/18 B32B 27/28 B32B 27/34 C08G 73/10 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI C08J 7/04 C08J 7/04 M // C08L 79:08 C08L 79:08 (56) References JP-A-61-264028 (JP) JP-A-60-244507 (JP, A) JP-A-62-267330 (JP, A) JP-A-8-100072 (JP, A) JP-A-8-134234 (JP, A) 8-143688 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) C08J 5/18 B32B 27/28 B32B 27/34 C08G 73/10

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】全フィルム中のリン(P)の含有率が5〜
500ppmの範囲にあり、50〜300℃の温度での
平均線膨張係数が2.5×10−5−1以下で、常温
から400℃まで昇温後該温度で2時間加熱を行った前
後の常温でのフィルムの寸法変化率で示す熱寸法変化率
が0.3%以下で、芳香族テトラカルボン酸成分と芳香
族ジアミン成分とからなる芳香族ポリイミドフィルムで
あって、少なくとも一方のフィルム表面が、X線光電予
分析法(XPS)によりMg KαのX線源(300
W)を用いて測定した、酸素に対する炭素の重量割合
(C/O)が2.9〜4.6の範囲の値、窒素に対する
酸素の重量割台(O/N)が2.4〜3.5の範囲の
値、そしてSiの含有率が0.7〜3.0重量%の範囲
の値となるようにケイ素化合物処理されたフィルムの処
理面にポリイミド系接着剤が設けられており、スリット
されてなる積層体。
1. The content of phosphorus (P) in the whole film is 5 to 5.
In the range of 500 ppm, an average linear expansion coefficient at a temperature of 50 to 300 ° C. is 2.5 × 10 -5-1 or less, before and after subjected to 2 hours of heating at a Atsushi Nobori after the temperature from room temperature to 400 ° C. An aromatic polyimide film comprising an aromatic tetracarboxylic acid component and an aromatic diamine component, wherein the thermal dimensional change rate represented by the dimensional change rate of the film at room temperature is 0.3% or less, and at least one film surface Was determined by X-ray photoelectric pre-analysis (XPS) using an X-ray source of Mg Kα (300
W), the weight ratio of carbon to oxygen (C / O) was in the range of 2.9 to 4.6, and the weight ratio of oxygen to nitrogen (O / N) was 2.4 to 3 A polyimide-based adhesive is provided on the treated surface of the silicon compound-treated film so that the value in the range of 0.5 and the content of Si is in the range of 0.7 to 3.0% by weight; A laminated body formed by slitting.
【請求項2】請求項1に記載の積層体にポリイミド系接
着剤を介して銅箔が積層されてなる積層体。
2. A laminate obtained by laminating a copper foil on the laminate of claim 1 via a polyimide-based adhesive.
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