JP3233264U - ラック挿入装置 - Google Patents
ラック挿入装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3233264U JP3233264U JP2021000434U JP2021000434U JP3233264U JP 3233264 U JP3233264 U JP 3233264U JP 2021000434 U JP2021000434 U JP 2021000434U JP 2021000434 U JP2021000434 U JP 2021000434U JP 3233264 U JP3233264 U JP 3233264U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rack
- rack insertion
- mounting member
- insertion device
- transport track
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000003780 insertion Methods 0.000 title claims abstract description 92
- 230000037431 insertion Effects 0.000 title claims abstract description 92
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 67
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims abstract description 49
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 42
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 claims abstract description 18
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims abstract description 15
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 42
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
【課題】複数の基板を収容ラックに平坦に挿入するラック挿入装置を提供する。【解決手段】ラック挿入装置100は、搬送軌道1、収容ラック2、昇降ラック挿入機構3及び制御機構を備えるとともに、収容ラック2中に複数の基板を挿入する。収容ラック2は、搬送軌道1の搬送面に移動可能に設置されるとともに、ラック21と、両側のサイドスロット部材22と、複数の底スロット部材23とを有する。昇降ラック挿入機構3は、搬送軌道1上に設置されるとともに、動力部材31と、ラック挿入載置部材32と、少なくとも1つの把持爪33とを有する。動力部材31は、ラック挿入載置部材32に動力結合され、ラック挿入載置部材32を搬送軌道1の搬送面に対して垂直に往復移動させ、把持爪33は、ラック挿入載置部材32の底部に設置され、把持爪33の設置位置は、底スロット部材23間の空隙に対応する。【選択図】図1
Description
本考案は、ラック挿入装置に関し、特に、複数の基板を収容ラックに平坦に挿入するラック挿入装置に関する。
メッキ、エッチングなどの工程では、複数の基板を一つ々々収容ラック中に挿入してから、収容ラックを液体薬に浸漬することがよく行われる。しかし、製造工程の発展に伴い、基板が徐々に薄型化しており、基板が薄すぎる場合、反ってしまうことがあった。そのため、従来、基板の上部だけを挟持するラック挿入装置では、収容ラックの所定位置に基板を平坦に挿入させることができず、最悪の場合、基板が損壊してしまうことがあった。
そこで、本考案者は、上記課題を解決するための鋭意検討を重ねた結果、かかる知見に基づいて、本考案に想到するに至った。
本考案の課題は、従来のラック挿入装置の様々な問題点を解決することができる、複数の基板を収容ラックに平坦に挿入するラック挿入装置を提供することにある。
上記課題を解決するために、本考案の第1の形態によれば、搬送軌道、収容ラック、昇降ラック挿入機構及び制御機構を備えるとともに、前記収容ラック中に複数の基板を挿入する、ラック挿入装置であって、前記収容ラックは、前記搬送軌道の搬送面に移動可能に設置されるとともに、ラックと、両側のサイドスロット部材と、複数の底スロット部材と、を有し、前記両側のサイドスロット部材が面状を呈し、前記ラックの両側面にそれぞれ配設され、前記両側のサイドスロット部材の内向き面には、複数のサイドスロットが形成され、前記底スロット部材は長尺状を呈し、前記ラックの底面に対して平行に設置され、前記底スロット部材は、複数の底スロットを有し、前記サイドスロットと前記底スロットとの数は同じであり、前記昇降ラック挿入機構は、前記搬送軌道上に設置されるとともに、動力部材と、ラック挿入載置部材と、少なくとも1つの把持爪と、を有し、前記動力部材は、前記ラック挿入載置部材に動力結合され、前記ラック挿入載置部材を前記搬送軌道の前記搬送面に対して垂直に往復移動させ、前記把持爪は、前記ラック挿入載置部材の底部に設置され、前記把持爪の設置位置は、前記底スロット部材間の空隙に対応し、前記制御機構は、前記搬送軌道及びリニア動力部材に信号接続されるとともに、前記搬送軌道を制御し、前記収容ラックを所定位置まで搬送させるとともに、前記動力部材を制御して前記ラック挿入載置部材を垂直に往復移動させることを特徴とする、ラック挿入装置を提供する。
前記把持爪は、回転軸及び爪部を有し、前記爪部は、前記回転軸に枢着されるとともに、前記ラック挿入載置部材に対して旋回可能に設置され、前記制御機構は、前記回転軸に信号接続されるとともに、前記回転軸を枢軸として前記爪部が旋回可能であることが好ましい。
前記昇降ラック挿入機構は、前記ラック挿入載置部材の両側辺にそれぞれ設置された2つの補助摺動部材を有し、前記補助摺動部材は、直線状に配列された自由輪群をそれぞれ有することが好ましい。
補助摺動部材は、自由輪群に枢着された動力枢軸をそれぞれ有することが好ましい。
前記昇降ラック挿入機構は、前記ラック挿入載置部材上に設置された上挟持爪を有することが好ましい。
前記搬送軌道の両側に設置された位置決め機構をさらに備えることが好ましい。
前記位置決め機構は気圧シリンダであることが好ましい。
前記位置決め機構の下流に設置されるとともに、下向きの複数の櫛歯を有するコムプレート機構をさらに備えることが好ましい。
前記動力部材はサーボモータであることが好ましい。
本考案のラック挿入装置は、ラック挿入載置部材の下方に把持爪を設置することにより、把持爪により基板の底部を挟持し、基板が移動するときも平坦に維持して反ることを防ぐことにより、ラック挿入作業をスムーズに行うことができる。
以下、本考案の目的、特徴及び効果をより分かりやすくするために、具体的な実施形態について図に基づいて詳しく説明する。
図1を参照する。図1に示すように、本考案の一実施形態に係るラック挿入装置100は、収容ラック2中に複数の基板Pを挿入するとともに、少なくとも搬送軌道1、収容ラック2、昇降ラック挿入機構3及び制御機構4から構成されてなる。
搬送軌道1は、搬送方向dで収容ラック2を搬送する。
収容ラック2は、搬送軌道1の搬送面に移動可能に設置される。収容ラック2は、ラック21と、両側のサイドスロット部材22と、複数の底スロット部材23と、を含む。図2及び図5を参照する。図2及び図5に示すように、両側のサイドスロット部材22は、面状を呈し、ラック21の両側面にそれぞれ配設される。両側のサイドスロット部材22の内向き面には、複数のサイドスロット221が形成される。底スロット部材23は、長尺状を呈し、ラック21の底面に対して平行に設置される。底スロット部材23は、複数の底スロット231を有し、サイドスロット221と底スロット231との数は同じである。
図1及び図2を参照する。図1及び図2に示すように、昇降ラック挿入機構3は搬送軌道1上に設置される。昇降ラック挿入機構3は、動力部材31と、ラック挿入載置部材32と、少なくとも1つの把持爪33と、を含む。動力部材31は、ラック挿入載置部材32に動力結合され、ラック挿入載置部材32を搬送軌道1の搬送面に対して垂直に往復移動させる。本実施形態の動力部材31はサーボモータであるが、本考案はこれだけに限定されるわけではない。少なくとも1つの把持爪33は、ラック挿入載置部材32の底部に設置され、把持爪33の設置位置は、複数の底スロット部材23間の空隙に対応する。本実施形態の把持爪33の数は3であるが、本考案はこれだけに限定されない。図4に示すように、把持爪33は、回転軸331及び爪部332を含む。爪部332は、回転軸331に枢着される。爪部332は、ラック挿入載置部材32に対して旋回可能に設置される。
制御機構4は、搬送軌道1、リニア動力部材31及び回転軸331に信号接続される。制御機構4は、例えば、制御回路又は制御チップでもよい。制御機構4は、搬送軌道1を制御し、収容ラック2を所定位置まで搬送するとともに、動力部材31を制御してラック挿入載置部材32を垂直に往復移動させ、回転軸331を枢軸として爪部332が旋回可能である。
続いて、本考案のラック挿入装置100が行うラック挿入について説明する。
図1を参照する。図1に示すように、制御機構4が搬送軌道1を制御し、収容ラック2を所定位置まで搬送させる。
ラック挿入装置100は、搬送軌道1の両側に配設した位置決め機構5をさらに備える。位置決め機構5は、例えば、気圧シリンダなど、動力を供給する機構でもよい。図2に示すように、制御機構4により位置決め機構5の突出を制御し、収容ラック2の四隅により収容ラック2が所定位置に固定される。
制御機構4は、動力部材31を制御し、ラック挿入載置部材32を収容ラック2の第1のラック挿入位置まで移動させる。
続いて、手作業又は自動機械方式により、ラック挿入載置部材32に基板Pを載置すると、爪部332がラック挿入載置部材32に対して略平行となり、底部から基板Pを挟持する。
昇降ラック挿入機構3は、2つの補助摺動部材34及び上挟持爪35を含む。2つの補助摺動部材34は、ラック挿入載置部材32の両側辺にそれぞれ配設される。2つの補助摺動部材34は、直線状に配列された自由輪群341及び動力枢軸342をそれぞれ含む。動力枢軸342は、自由輪群341に枢着される。
制御機構4は、動力部材31を介して動力枢軸342に信号接続され、動力部材31により動力枢軸342を駆動し、自由輪群341により基板Pの両側辺を挟持する。また、制御機構4は、動力部材31を介して上挟持爪35に信号接続され、動力部材31により上挟持爪35を下降させ、基板Pの上部を挟持する。
続いて、図2及び図5を参照する。図2及び図5に示すように、制御機構4は、動力部材31によりラック挿入載置部材32及び上挟持爪35を下向きに垂直移動させ、基板Pを両側のサイドスロット部材22の第1のサイドスロット221に沿って収容ラック2中に挿入する。自由輪群341は、基板Pを挿入する際にずれることを防ぎ、摩擦の発生を最小にする。基板Pを挿入する際、ラック21に当たって変形するか別の原因により、基板Pの抵抗力が大きくなった場合、制御機構4は、圧力センサ(図示せず)を介して基板Pの挿入に異常が発生したと判断して基板Pの挿入を停止し、制御機構4及び他の装置が損壊することを防いでもよい。
図5を参照する。図5に示すように、把持爪33により基板Pの底部を挟持して下方へ移動させ、基板Pの底部が底スロット部材23に接触すると、基板Pが底スロット部材23の第1の底スロット231に立設され、このときに把持爪33は、複数の底スロット部材23間の空隙に位置する。制御機構4により把持爪33を下降し続け、動力部材31により回転軸331を中心に爪部332を回転させて外方に開き、ラック挿入載置部材32を搬送方向dで移動させると、基板Pの底部に当たる。また、制御機構4は、動力部材31により基板Pの上部から上挟持爪35をリリースする。
続いて、制御機構4により動力部材31を制御し、搬送方向dでラック挿入載置部材32及び上挟持爪35を移動させ、垂直に上昇させてラック挿入載置部材32が1枚目の基板Pから離れ、次のラック挿入作業を行う。
制御機構4は、収容ラック2に所定数の基板Pが挿入されるまで、前述した工程を繰り返して行う。本実施形態では、制御機構4及び動力部材31の微調整により、ラック挿入載置部材32により搬送方向dで収容ラック2の各位置に基板Pを一つ々々挿入させるが、本考案はこれだけ方式に限定されるわけではない。例えば、制御機構4の代わりに搬送軌道1及び位置決め機構5により制御し、ラック挿入載置部材32を適切な位置に保持し、収容ラック2を移動させてラック挿入作業を行うようにしてもよい。
本考案のラック挿入装置100は、ラック挿入載置部材32の下方に把持爪33が設置され、この把持爪33により基板Pの底部を挟持し、基板Pが移動する際に平坦に維持されて反ることを防ぎ、ラック挿入作業をスムーズに行うことができる。
図6及び図7を参照する。図6及び図7に示すように、ラック挿入装置100は、位置決め機構5の下流に設置されたコムプレート機構6をさらに備えてもよい。コムプレート機構6は、下向きの複数の櫛歯61を有する。収容ラック2に所定数の基板Pを挿入した後、制御機構4により位置決め機構5の位置決めを解除すると、搬送軌道1は、下流のコムプレート機構6に向けて収容ラック2を搬送する。収容ラック2がコムプレート機構6の下方に位置すると、制御機構4によりコムプレート機構6を移動させ、複数の櫛歯61により複数の基板Pを整えることにより、収容ラック2内で基板Pが折れ曲がることを防ぐ。
当該分野の技術を熟知するものが理解できるように、本考案の好適な実施形態を前述の通り開示したが、これらは決して本考案を限定するものではない。本考案の主旨と領域を逸脱しない範囲内で各種の変更や修正を加えることができる。従って、本考案の実用新案登録請求の範囲は、このような変更や修正を含めて広く解釈されるべきである。
1 搬送軌道
2 収容ラック
3 昇降ラック挿入機構
4 制御機構
5 位置決め機構
6 コムプレート機構
21 ラック
22 サイドスロット部材
23 底スロット部材
31 動力部材
32 ラック挿入載置部材
33 把持爪
34 補助摺動部材
35 上挟持爪
61 櫛歯
100 ラック挿入装置
221 サイドスロット
231 底スロット
331 回転軸
332 爪部
341 自由輪群
342 動力枢軸
d 搬送方向
P 基板
2 収容ラック
3 昇降ラック挿入機構
4 制御機構
5 位置決め機構
6 コムプレート機構
21 ラック
22 サイドスロット部材
23 底スロット部材
31 動力部材
32 ラック挿入載置部材
33 把持爪
34 補助摺動部材
35 上挟持爪
61 櫛歯
100 ラック挿入装置
221 サイドスロット
231 底スロット
331 回転軸
332 爪部
341 自由輪群
342 動力枢軸
d 搬送方向
P 基板
Claims (9)
- 搬送軌道、収容ラック、昇降ラック挿入機構及び制御機構を備えるとともに、前記収容ラック中に複数の基板を挿入する、ラック挿入装置であって、
前記収容ラックは、前記搬送軌道の搬送面に移動可能に設置されるとともに、ラックと、両側のサイドスロット部材と、複数の底スロット部材と、を有し、前記両側のサイドスロット部材が面状を呈し、前記ラックの両側面にそれぞれ配設され、前記両側のサイドスロット部材の内向き面には、複数のサイドスロットが形成され、前記底スロット部材は長尺状を呈し、前記ラックの底面に対して平行に設置され、前記底スロット部材は、複数の底スロットを有し、前記サイドスロットと前記底スロットとの数は同じであり、
前記昇降ラック挿入機構は、前記搬送軌道上に設置されるとともに、動力部材と、ラック挿入載置部材と、少なくとも1つの把持爪と、を有し、前記動力部材は、前記ラック挿入載置部材に動力結合され、前記ラック挿入載置部材を前記搬送軌道の前記搬送面に対して垂直に往復移動させ、前記把持爪は、前記ラック挿入載置部材の底部に設置され、前記把持爪の設置位置は、前記底スロット部材間の空隙に対応し、
前記制御機構は、前記搬送軌道及びリニア動力部材に信号接続されるとともに、前記搬送軌道を制御し、前記収容ラックを所定位置まで搬送させるとともに、前記動力部材を制御して前記ラック挿入載置部材を垂直に往復移動させることを特徴とする、ラック挿入装置。 - 前記把持爪は、回転軸及び爪部を有し、
前記爪部は、前記回転軸に枢着されるとともに、前記ラック挿入載置部材に対して旋回可能に設置され、
前記制御機構は、前記回転軸に信号接続されるとともに、前記回転軸を枢軸として前記爪部が旋回可能であることを特徴とする請求項1に記載のラック挿入装置。 - 前記昇降ラック挿入機構は、前記ラック挿入載置部材の両側辺にそれぞれ設置された2つの補助摺動部材を有し、
前記補助摺動部材は、直線状に配列された自由輪群をそれぞれ有することを特徴とする請求項1に記載のラック挿入装置。 - 補助摺動部材は、自由輪群に枢着された動力枢軸をそれぞれ有することを特徴とする請求項1に記載のラック挿入装置。
- 前記昇降ラック挿入機構は、前記ラック挿入載置部材上に設置された上挟持爪を有することを特徴とする請求項1に記載のラック挿入装置。
- 前記搬送軌道の両側に設置された位置決め機構をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のラック挿入装置。
- 前記位置決め機構は気圧シリンダであることを特徴とする請求項6に記載のラック挿入装置。
- 前記位置決め機構の下流に設置されるとともに、下向きの複数の櫛歯を有するコムプレート機構をさらに備えることを特徴とする請求項6に記載のラック挿入装置。
- 前記動力部材はサーボモータであることを特徴とする請求項1に記載のラック挿入装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021000434U JP3233264U (ja) | 2021-02-09 | 2021-02-09 | ラック挿入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021000434U JP3233264U (ja) | 2021-02-09 | 2021-02-09 | ラック挿入装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3233264U true JP3233264U (ja) | 2021-08-05 |
Family
ID=77057238
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021000434U Active JP3233264U (ja) | 2021-02-09 | 2021-02-09 | ラック挿入装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3233264U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116175764A (zh) * | 2023-03-01 | 2023-05-30 | 鸿翔环境科技股份有限公司 | 用于再生功能性工程构件的制备生产线 |
-
2021
- 2021-02-09 JP JP2021000434U patent/JP3233264U/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116175764A (zh) * | 2023-03-01 | 2023-05-30 | 鸿翔环境科技股份有限公司 | 用于再生功能性工程构件的制备生产线 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8250742B2 (en) | Die ejector | |
US8676370B2 (en) | Workpiece carrier and workpiece positioning system and method | |
US20060113808A1 (en) | Handling apparatus for passing electronic components, in particular ICs, to a testing apparatus | |
JP3233264U (ja) | ラック挿入装置 | |
US11589489B2 (en) | Lead wire straightening device | |
KR100993220B1 (ko) | 노광장비용 카세트의 위치 정렬장치 | |
KR100829769B1 (ko) | 처리할 소자들을 배치하는 장치 및 방법 | |
EP1179974B1 (en) | Printed-wiring-board-relating-operation performing system | |
JP4601130B2 (ja) | ウエハーハンドリングロボットのティーチング装置および方法 | |
JP3711301B2 (ja) | Ic着脱装置及びその着脱ヘッド | |
KR101395570B1 (ko) | 기판공급장치 | |
JP5977044B2 (ja) | 印刷装置および印刷方法 | |
JP2801140B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
KR101485654B1 (ko) | 패턴 형성 방법 및 패턴 형성 장치 | |
EP4235761A1 (en) | Substrate handling device for handling a substrate | |
CN221164955U (zh) | 一种硅片盒对齐装置 | |
JPH0453033Y2 (ja) | ||
KR101191037B1 (ko) | 기판 처리 장치의 로봇 정렬을 위한 티칭 지그 및 티칭 방법 | |
JP2970308B2 (ja) | 半導体製造装置におけるウェーハ一括搬送用ロボットアームのフィンガ取付構造 | |
KR102270588B1 (ko) | 테스트트레이 및 이를 이용한 테스트 핸들러 | |
US20040071534A1 (en) | Adjustable wafer alignment arm | |
JP3283827B2 (ja) | 平板状精密部品の位置決め方法及び装置 | |
JPS5815363Y2 (ja) | ガラス板插入装置 | |
JP2000124688A (ja) | 基板保持固定装置およびその方法 | |
JP2002261498A (ja) | 電子部品実装装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210615 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3233264 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |