JP3232133U - Component carrier inspection station that inspects component carriers during component carrier manufacturing - Google Patents

Component carrier inspection station that inspects component carriers during component carrier manufacturing Download PDF

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Abstract

【課題】構成要素キャリアの製造中に構成要素キャリアを検査し、構成要素キャリアの製造を短縮し、検査精度を向上させることができる構成要素キャリア検査ステーションを提供する。【解決手段】構成要素キャリアはIDマークを含み、製造実行システムは、構成要素キャリアの製造履歴に関する情報を含む製造履歴ファイルが格納されているファイルサーバにアクセスする。構成要素キャリア検査ステーション1は、製造実行システムから少なくとも製造履歴ファイルを取得するために、インターフェースを介して製造実行システムと通信する。構成要素キャリア検査ステーション1は、IDマークの存在及びグレードの第1検査を行い、製造履歴ファイルの存在及び内容の第2検査を行うように構成されている。第1検査及び第2検査の少なくとも1つで構成要素キャリアが不良であると決定した場合、構成要素キャリアをソートする。【選択図】図1PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a component carrier inspection station capable of inspecting a component carrier during manufacturing of a component carrier, shortening the production of the component carrier, and improving inspection accuracy. A component carrier includes an ID mark, and a manufacturing execution system accesses a file server in which a manufacturing history file containing information about a manufacturing history of the component carrier is stored. The component carrier inspection station 1 communicates with the manufacturing execution system via an interface in order to acquire at least a manufacturing history file from the manufacturing execution system. The component carrier inspection station 1 is configured to perform the first inspection of the presence and grade of the ID mark and the second inspection of the existence and contents of the manufacturing history file. If at least one of the first and second inspections determines that the component carriers are defective, the component carriers are sorted. [Selection diagram] Fig. 1

Description

本考案は、構成要素キャリアの製造中に構成要素キャリアを検査する構成要素キャリア検査ステーション、構成要素キャリア検査ステーションを含む製造ライン、及び構成要素キャリアの製造中に構成要素キャリアを検査する方法に関する。構成要素キャリア検査ステーションは、特に、構成要素キャリアの製造中にトレーサビリティ分析を使用する構成要素キャリア調査/ソート装置であり得る。 The present invention relates to a component carrier inspection station that inspects a component carrier during the manufacture of a component carrier, a production line that includes a component carrier inspection station, and a method of inspecting a component carrier during the manufacture of a component carrier. The component carrier inspection station can be, in particular, a component carrier survey / sort device that uses traceability analysis during the manufacture of component carriers.

従来の製造ラインは、構成要素キャリアのソルダーマスクを検査するように構成されたソルダーマスク検査ステーションと、構成要素キャリアの電気的機能を検査するように構成された機能検査ステーションと、光学装置によって構成要素キャリアを検査するように構成された光学検査ステーションと、構成要素キャリアの目視検査を可能にするように構成された目視検査ステーションと、先立つステーションの検査結果を表す不良品マーキングを構成要素キャリア上に形成するように構成された不良品マーキングステーションと、構成要素キャリアをパッケージングするように構成されたパッケージステーションと、を含む。不良品マーキングステーションは、不良品マーキングとしてレーザマーキングを生成するレーザマーキングステーションとして実現することができる。不良品マーキングの他の実施形態は、機械的ドリル又はプリントによって形成される。 A conventional production line consists of a solder mask inspection station configured to inspect the solder masks of the component carriers, a functional inspection station configured to inspect the electrical function of the component carriers, and optics. An optical inspection station configured to inspect the element carrier, a visual inspection station configured to allow visual inspection of the component carrier, and a defective marking indicating the inspection result of the preceding station on the component carrier. Includes a defective marking station configured to form and a packaging station configured to package the component carriers. The defective product marking station can be realized as a laser marking station that generates laser marking as defective product marking. Other embodiments of defective marking are formed by mechanical drilling or printing.

本考案の目的は、構成要素キャリアの製造中に構成要素キャリアを検査する構成要素キャリア検査ステーションと、構成要素キャリア検査ステーションを含む製造ラインと、構成要素キャリアの製造中に構成要素キャリアを検査する方法とを提供することであり、これにより構成要素キャリアの製造を短縮し、検査精度を向上させることができる。この目的は、本考案の実施形態によって達成される。 An object of the present invention is to inspect a component carrier during the manufacture of a component carrier, a production line including a component carrier inspection station, and a component carrier during the manufacture of the component carrier. To provide a method, which can shorten the manufacture of component carriers and improve inspection accuracy. This object is achieved by embodiments of the present invention.

本考案の例示的な実施形態によれば、構成要素キャリア検査ステーションは、製造実行システムを使用して構成要素キャリアを製造する間に構成要素キャリアを検査(チェック)するために設けられている。構成要素キャリアはIDマークを含み、製造実行システムは、製造履歴ファイル、例えば、EMAPファイルが格納されたファイルサーバへアクセスし、これは、構成要素キャリアの製造履歴に関する情報を含む。構成要素キャリア検査ステーションは、少なくとも製造実行システムから製造履歴ファイルを取得するように、インターフェースを介して製造実行システムと通信する。EMAPファイルは、構成要素キャリアのテスト/評価データを各テスト/評価ユニットからストレージサーバ又はファイルサーバに転送することができる、XML又はCSV形式の特定のデータ媒体である。構成要素キャリアの製造履歴は、先立つ製造プロセス中の任意の事象を含んでよい。即ち、特定の事象又はエラーがどこで、いつ、及び/又はどのように発生したかに関する情報を含んでよいことを意味する。構成要素キャリア検査ステーションは、IDマークの存在及びグレードの第1検査を行い、製造履歴ファイルの存在及び内容の第2検査を行うように構成されている。第1検査及び第2検査の少なくとも1つで構成要素キャリアが不良であると決定した場合、構成要素キャリアをソートする。 According to an exemplary embodiment of the present invention, the component carrier inspection station is provided to inspect (check) the component carriers while manufacturing the component carriers using the manufacturing execution system. The component carrier includes an ID mark, and the manufacturing execution system accesses a file server that stores a manufacturing history file, for example, an EMAP file, which contains information about the manufacturing history of the component carrier. The component carrier inspection station communicates with the manufacturing execution system via an interface so as to obtain at least the manufacturing history file from the manufacturing execution system. An EMAP file is a specific data medium in XML or CSV format capable of transferring test / evaluation data of a component carrier from each test / evaluation unit to a storage server or file server. The manufacturing history of component carriers may include any events during the preceding manufacturing process. That is, it may include information about where, when, and / or how a particular event or error occurred. The component carrier inspection station is configured to perform the first inspection of the presence and grade of the ID mark and the second inspection of the existence and contents of the manufacturing history file. If at least one of the first and second inspections determines that the component carriers are defective, the component carriers are sorted.

IDマークは、1次元、2次元又は多次元であり得る。本考案の文脈で、一次元IDマーク、例えばバーコードは、一次元のみで走査され、二次元IDマーク、例えばQRコード(登録商標)は、二次元のみで走査される。 The ID mark can be one-dimensional, two-dimensional or multidimensional. In the context of the present invention, one-dimensional ID marks, such as barcodes, are scanned in one dimension only, and two-dimensional ID marks, such as QR codes®, are scanned in only two dimensions.

本考案の別の例示的な実施形態によれば、上述の構成要素キャリア検査ステーションを備える製造ラインが提供される。製造ラインはさらに、製造ラインの上流の側、好ましくは、構成要素キャリア検査ステーションの直前に配置される、以下のステーションのうちの少なくとも1つを含むことができる。即ち、構成要素キャリアのソルダーマスクを検査するように構成されるソルダーマスク検査ステーション、構成要素キャリアの電気的機能を検査するように構成される機能検査ステーション、光学装置によって構成要素キャリアを検査するように構成される光学検査ステーション、構成要素キャリアの目視検査を可能にするように構成される目視検査ステーション、及び構成要素キャリア上に不良品マーキングを形成するように構成される不良品マーキングステーションである。製造ラインはさらに、構成要素キャリアをパッケージングするように構成されたパッケージステーションを含むことができ、パッケージステーションは製造ラインの下流の側、好ましくは構成要素キャリア検査ステーションの直後に配置される。つまり、製造履歴ファイルの存在と内容に関する第2検査は、(中断なしで)先立つ全ての検査ステーションを考慮し、構成要素キャリアをパッケージングして顧客に送る直前に検証される。 According to another exemplary embodiment of the present invention, a production line comprising the component carrier inspection station described above is provided. The production line can further include at least one of the following stations located on the upstream side of the production line, preferably immediately in front of the component carrier inspection station. That is, a solder mask inspection station configured to inspect the solder mask of the component carrier, a functional inspection station configured to inspect the electrical function of the component carrier, and an optical device to inspect the component carrier. An optical inspection station configured to allow visual inspection of the component carrier, and a defective marking station configured to form a defective marking on the component carrier. .. The production line can further include a package station configured to package the component carriers, which are located on the downstream side of the production line, preferably immediately after the component carrier inspection station. That is, a second inspection of the existence and content of the manufacturing history file is verified just before packaging the component carrier and sending it to the customer, taking into account all preceding inspection stations (without interruption).

本考案の別の例示的な実施形態によれば、製造実行システムを使用して構成要素キャリアを製造する間に構成要素キャリアを検査する方法が提供される。構成要素キャリアは、IDマークを備え、製造実行システムは、製造履歴ファイル、例えばEMAPファイルが記憶されているファイルサーバにアクセスし、これは、構成要素キャリアの製造履歴に関する情報を含む。構成要素キャリアの履歴は、トレーサビリティとも称する。この方法は、IDマークの存在及びグレードを検査する第1検査ステップと、製造履歴ファイルの存在及び内容を検査する第2検査ステップと、第1検査及び第2検査の少なくとも1つで構成要素キャリアが不良であると決定した場合に、構成要素キャリアをソートするソートステップとを含む。 Another exemplary embodiment of the invention provides a method of inspecting a component carrier while manufacturing the component carrier using a manufacturing execution system. The component carrier comprises an ID mark, and the manufacturing execution system accesses a file server in which a manufacturing history file, for example, an EMAP file is stored, which contains information about the manufacturing history of the component carrier. The history of component carriers is also referred to as traceability. This method consists of a first inspection step for inspecting the presence and grade of the ID mark, a second inspection step for inspecting the existence and content of the manufacturing history file, and at least one of the first inspection and the second inspection. Includes a sort step to sort the component carriers if it is determined to be bad.

「不良である」という用語は、構成要素キャリアのIDマークが存在しない、又は損傷している、又はIDマークのグレードが劣等である状況を含んでよい。例えば、IDマークのグレードは、ISO/IEC15415に従って決定してよい。 The term "bad" may include situations where the component carrier's ID mark is absent or damaged, or the ID mark is inferior in grade. For example, the grade of the ID mark may be determined according to ISO / IEC15415.

また、「不良である」という用語は、製造履歴ファイルが完全でない、又は存在しない、又はフォーマットが誤りである、又は製造履歴ファイルの内容が標準の参照製造履歴ファイルと比較した場合に妥当でない、という状況を含むことがある。例えば、製造ライン内の検査ステーションの検査結果が製造履歴ファイルに含まれていない場合、製造履歴ファイルは完全ではない。例えば、製造ラインは、複数の異なる検査ステーションを備えることができ、各検査ステーションは、特定の品質問題を検査する。各検査ステーションは、レポート、ファイル又は検査結果をファイルサーバにアップロードしてよい。全てのレポート、ファイル又は検査結果は、(最終の)製造履歴ファイルにマージされる。例えば、製造ライン内の少なくとも1つの検査ステーションのファイル又は検査結果が最終の製造履歴ファイルに含まれない場合、製造履歴ファイルは完全ではないと決定してよい。製造履歴ファイルが完成しているかどうかの検査は、製造履歴ファイルと、ファイルサーバに予め格納できる参照製造履歴ファイルを比較することで、行われてよい。 Also, the term "bad" is not valid when the manufacturing history file is incomplete or does not exist, is in an incorrect format, or the contents of the manufacturing history file are compared to a standard reference manufacturing history file. May include the situation. For example, if the inspection result of the inspection station in the production line is not included in the production history file, the production history file is not complete. For example, a production line can be equipped with a plurality of different inspection stations, each inspection station inspecting a particular quality problem. Each inspection station may upload reports, files or inspection results to a file server. All reports, files or test results are merged into the (final) manufacturing history file. For example, if the file or inspection result of at least one inspection station in the production line is not included in the final production history file, it may be determined that the production history file is not complete. The inspection of whether or not the manufacturing history file is completed may be performed by comparing the manufacturing history file with the reference manufacturing history file that can be stored in advance in the file server.

本考案により、製造履歴ファイルのフォーマット及び製造履歴ファイルの内容が製造実行システムによってバックグラウンドで検査され確認されるので、不良な構成要素キャリア、例えば、製造履歴ファイルのない構成要素キャリアは、顧客に引き渡されなくなる。さらに、顧客の要求に応じてIDマークが検査できるため、破損したIDマークや、誤った内容のIDマークが付いた不良な構成要素キャリアは顧客に引き渡されない。 According to the present invention, the format of the manufacturing history file and the contents of the manufacturing history file are inspected and confirmed in the background by the manufacturing execution system, so that a defective component carrier, for example, a component carrier without a manufacturing history file, is sent to the customer. It will not be delivered. Further, since the ID mark can be inspected according to the customer's request, a damaged ID mark or a defective component carrier with an incorrect ID mark is not delivered to the customer.

構成要素キャリアが複数のカードを含むアレイである場合、位置と不良なカードの数とに従って構成要素キャリアをソートする能力があるようになる。さらに、異なるロットの構成要素キャリアを検査する場合、構成要素キャリアのIDマークを単に検査するだけで、混合ロット番号又は混合部品番号が分離できる。 If the component carriers are an array containing multiple cards, they will have the ability to sort the component carriers according to their position and the number of bad cards. Further, when inspecting component carriers of different lots, the mixed lot number or mixed part number can be separated by simply inspecting the ID mark of the component carrier.

以下、本考案のさらなる例示的な実施形態について説明する。 Hereinafter, further exemplary embodiments of the present invention will be described.

構成要素キャリアは、以下の特徴のうちの少なくとも1つを含んでよい。構成要素キャリアは、構成要素キャリアに表面実装されている、及び/又は埋め込まれている少なくとも1つの構成要素(component,部品)を含み、少なくとも1つの構成要素は、電子構成要素、非導電性及び/又は導電性インレイ、熱伝達ユニット、光導波素子、光学素子、ブリッジ、エネルギー収穫ユニット、能動電子構成要素、受動電子構成要素、電子チップ、記憶装置、フィルタ、集積回路、信号処理構成要素、電力管理構成要素、光電子インターフェース素子、電圧変換器、暗号構成要素、送信機及び/又は受信機、電気機械トランスデューサ、アクチュエータ、マイクロ電気機械システム、マイクロプロセッサ、コンデンサ、抵抗器、インダクタンス(インダクタ)、アキュムレータ、スイッチ、カメラ、アンテナ、磁気構成要素、追加の構成要素キャリア、及び論理チップを含んだ群から、特に選択される。構成要素キャリアの導電性の層構造の少なくとも1つは、銅、アルミニウム、ニッケル、銀、金、パラジウム及びタングステンを含んだ群のうちの少なくとも1つを含み、これらの材料はいずれも、任意に、グラフェンのような超導電性材料で被覆される。電気絶縁性の層構造は、樹脂、特に、強化樹脂又は非強化樹脂、例えば、エポキシ樹脂又はビスマレイミド−トリアジン樹脂、FR−4、FR−5、シアネートエステル、ポリフェニレン誘導体、ガラス、プリプレグ材料、ポリイミド、ポリアミド、液晶ポリマー、エポキシベースのビルドアップフィルム、ポリテトラフルオロエチレン、セラミック、及び金属酸化物を含んだ群のうちの少なくとも1つを含む。構成要素キャリアは、板の形状とされ、構成要素キャリアは、プリント回路基板、基板、及びインターポーザを含んだ群のうちの1つとして構成され、構成要素キャリアは、積層型構成要素キャリアとして構成される。 The component carrier may include at least one of the following features: The component carrier comprises at least one component (component) surface-mounted and / or embedded in the component carrier, the at least one component being an electronic component, a non-conductive and. / Or conductive inlays, heat transfer units, optical inductance elements, optical elements, bridges, energy harvesting units, active electronic components, passive electronic components, electronic chips, storage devices, filters, integrated circuits, signal processing components, power Management components, optoelectronic interface elements, voltage converters, cryptographic components, transmitters and / or receivers, electromechanical transducers, actuators, microelectromechanical systems, microprocessors, capacitors, resistors, inductances (inductors), accumulators, It is specifically selected from a group that includes switches, cameras, antennas, magnetic components, additional component carriers, and logic chips. At least one of the conductive layered structures of the component carriers comprises at least one of the group containing copper, aluminum, nickel, silver, gold, palladium and tungsten, any of these materials being optionally. , Coated with a superconducting material such as graphene. The electrically insulating layer structure is a resin, particularly a reinforced resin or a non-reinforced resin, for example, an epoxy resin or a bismaleimide-triazine resin, FR-4, FR-5, a cyanate ester, a polyphenylene derivative, a glass, a prepreg material, a polyimide. , Polyimides, liquid crystal polymers, epoxy-based build-up films, polytetrafluoroethylene, ceramics, and at least one of the group comprising metal oxides. The component carrier is in the shape of a plate, the component carrier is configured as one of a group including a printed circuit board, a substrate, and an interposer, and the component carrier is configured as a laminated component carrier. To.

一実施形態では、構成要素キャリア検査ステーションは、構成要素キャリアの反りの測定、及び構成要素キャリアの厚みの測定のうちの少なくとも1つを行うようにさらに構成される。 In one embodiment, the component carrier inspection station is further configured to perform at least one of measuring the warpage of the component carrier and measuring the thickness of the component carrier.

一実施形態では、構成要素キャリア検査ステーションは、構成要素キャリア検査ステーションに別のステーションからの構成要素キャリアを装填するように構成された装填装置と、IDマークを走査するように構成された検出ユニットと、複数の容器であって、複数の容器のうちの少なくとも1つの第1容器が、第1検査及び第2検査のうちの少なくとも1つによって不良であると決定された構成要素キャリアを受け取るように構成されている複数の容器とを備え、複数の容器のうちの少なくとも1つの第2容器が、第1検査及び第2検査によって不良でないと決定された構成要素キャリアを受け取るように構成され、さらに、不良であると決定された構成要素キャリアを、少なくとも1つの第1容器に除去し、不良でないと決定された構成要素キャリアを第2容器に除去するように構成された除去装置とを備えている。検出ユニットは、IDマークを走査するためのスキャナユニット、例えば、一次元又は二次元スキャナユニットであってよい。 In one embodiment, a component carrier inspection station is a loading device configured to load a component carrier from another station into the component carrier inspection station and a detection unit configured to scan an ID mark. And so that a plurality of containers, at least one first container of the plurality of containers, receives a component carrier determined to be defective by at least one of the first inspection and the second inspection. At least one second container of the plurality of containers is configured to receive component carriers determined by the first and second inspections to be non-defective. Further, it is provided with a removing device configured to remove the component carriers determined to be defective to at least one first container and to remove the component carriers determined to be non-defective to the second container. ing. The detection unit may be a scanner unit for scanning the ID mark, for example, a one-dimensional or two-dimensional scanner unit.

一実施形態では、構成要素キャリア検査ステーションは、構成要素キャリアの反りを測定するように構成された三次元レーザ測定ツールと、構成要素キャリアの厚みを測定するように構成されたタッチセンサと、構成要素キャリアを装填装置から受け取るように構成された第1テーブルと、第1テーブルから構成要素キャリアを受け取るように構成された第2テーブルとのうちの少なくとも1つをさらに備え、フリッパーユニットは、構成要素キャリアを回しながら、構成要素キャリアを第1テーブルから第2テーブルに搬送するように構成され、その結果、検出ユニットは、構成要素キャリアの主要底面に設けられた第1IDマークを走査し、構成要素キャリアの主要上面に設けられた第2IDマークを走査するように構成されている。また、第2テーブルなしでフリッパーユニットを設けることも可能である。 In one embodiment, the component carrier inspection station comprises a three-dimensional laser measuring tool configured to measure the warpage of the component carrier and a touch sensor configured to measure the thickness of the component carrier. The flipper unit further comprises at least one of a first table configured to receive element carriers from the loading device and a second table configured to receive component carriers from the first table. The component carriers are configured to be transported from the first table to the second table while rotating the element carriers, and as a result, the detection unit scans the first ID mark provided on the main bottom surface of the component carriers and is configured. It is configured to scan the second ID mark provided on the main upper surface of the element carrier. It is also possible to provide a flipper unit without a second table.

製造ラインの一実施形態では、構成要素キャリアは、複数のカードを含むアレイであり、構成要素キャリア上の不良品マーキングは、アレイのカード上の不良品マーキングステーションによってマークされ、これは、ソルダーマスク検査ステーション、機能検査ステーション、光学検査ステーション及び目視検査ステーションのうちの少なくとも1つの検査で不合格であったものである。不良品マーキングステーションは、ファイルをファイルサーバにアップロードし、ファイルには、マークされたカードに関する情報が含まれる。構成要素キャリア検査ステーションは、アップロードされたファイルをファイルサーバからダウンロードし、不良品マーキングを走査し、走査された結果をダウンロードされたファイルに含まれる情報と比較するように構成される。構成要素キャリア検査ステーションは、比較結果を製造実行システムに与えるように構成されるか、又は、走査された結果とダウンロードされたファイルに含まれる情報との間に不一致がある場合に、アラートを与えるように構成される。 In one embodiment of the production line, the component carrier is an array containing a plurality of cards, and defective markings on the component carriers are marked by a defective marking station on the cards of the array, which is a solder mask. At least one of the inspection station, the functional inspection station, the optical inspection station, and the visual inspection station failed the inspection. The defective marking station uploads the file to a file server, which contains information about the marked card. The component carrier inspection station is configured to download the uploaded file from the file server, scan the defective markings, and compare the scanned result with the information contained in the downloaded file. The component carrier inspection station is configured to give the comparison results to the manufacturing execution system, or alerts if there is a discrepancy between the scanned results and the information contained in the downloaded file. It is configured as follows.

一実施形態では、本方法は、上述の構成要素キャリア検査ステーションを使用して実行される。 In one embodiment, the method is performed using the component carrier inspection station described above.

一実施形態では、本方法はさらに、構成要素キャリアの反りの測定及び構成要素キャリアの厚みの測定のうちの少なくとも1つを行う。 In one embodiment, the method further performs at least one of a component carrier warpage measurement and a component carrier thickness measurement.

一実施形態では、本方法は、構成要素キャリア検査ステーションに別のステーションからの構成要素キャリアを装填するステップと、IDマークを走査するステップと、不良であると決定された構成要素キャリアを少なくとも1つの第1容器に除去するステップと、不良でないと決定された構成要素キャリアを第2容器に除去するステップとを含む。少なくとも1つの第1容器は、第1検査ステップ及び第2検査ステップのうちの少なくとも1つによって不良であると決定された構成要素キャリアを受け取るように構成され、第2容器は、第1検査ステップ及び第2検査ステップによって不良でないと決定された構成要素キャリアを受け取るように構成される。 In one embodiment, the method comprises loading a component carrier from another station into a component carrier inspection station, scanning an ID mark, and at least one component carrier determined to be defective. It includes a step of removing into one first container and a step of removing component carriers determined to be non-defective in a second container. At least one first container is configured to receive component carriers determined to be defective by at least one of the first and second inspection steps, and the second container is configured to receive the first inspection step. And to receive the component carriers determined by the second inspection step to be non-defective.

一実施形態では、本方法はさらに、以下のステップのうちの少なくとも1つを含む。即ち、第1テーブルによって、装填装置から構成要素キャリアを受け取り、構成要素キャリアの主要底面及び主要上面の1つに設けられた第1IDマークを走査するステップと、構成要素キャリアを回しながら第1テーブルから第2テーブルに構成要素キャリアを搬送し、第2テーブルによって構成要素キャリアを受け取るステップと、構成要素キャリアの主要底面及び主要上面の他方に設けられた第2IDマークを走査するステップと、第1IDマークが、構成要素キャリアの主要底面及び主要上面の1つに設けられている間に、例えばフリッパーユニットによって構成要素キャリアを回すステップと、構成要素キャリアの主要底面及び主要上面の他方に検査を行うステップ、特に、構成要素キャリアの主要底面及び主要上面の他方に設けられた第2IDマークを走査するステップとのうちの少なくとも1つをさらに含む。 In one embodiment, the method further comprises at least one of the following steps: That is, the first table receives the component carrier from the loading device and scans the first ID mark provided on one of the main bottom surface and the main upper surface of the component carrier, and the first table while rotating the component carrier. The step of transporting the component carrier from the second table to the second table and receiving the component carrier by the second table, the step of scanning the second ID mark provided on the other of the main bottom surface and the main upper surface of the component carrier, and the first ID. While the mark is provided on one of the main bottom surface and the main top surface of the component carrier, the step of turning the component carrier by, for example, a flipper unit and the inspection of the other of the main bottom surface and the main top surface of the component carrier are performed. It further comprises at least one of a step, particularly a step of scanning a second ID mark provided on the other of the main bottom surface and the main top surface of the component carrier.

本出願の文脈で、用語「構成要素キャリア」は、機械的支持及び/又は電気的接続性を与えるために、その上及び/又は中に1つ以上の構成要素を収容することができる任意の支持構造を特に表してよい。換言すれば、構成要素キャリアは、構成要素のための機械的及び/又は電子的キャリアとして構成してよい。特に構成要素キャリアは、プリント回路基板、有機インターポーザ、及びIC(集積回路)基板のうちの1つであってよい。さらに構成要素キャリアは、上述のタイプの構成要素キャリアの異なるものを組み合わせたハイブリッドボードであってよい。 In the context of this application, the term "component carrier" can accommodate one or more components on and / or in order to provide mechanical support and / or electrical connectivity. The support structure may be specifically represented. In other words, the component carriers may be configured as mechanical and / or electronic carriers for the components. In particular, the component carrier may be one of a printed circuit board, an organic interposer, and an IC (integrated circuit) board. Further, the component carrier may be a hybrid board in which different components carriers of the above types are combined.

一実施形態では、構成要素キャリアは、少なくとも1つの電気絶縁性の層構造と、少なくとも1つの導電性の層構造とのスタックを備えている。例えば、構成要素キャリアは、特に機械的圧力及び/又は熱エネルギーを加えることによって形成される、上述の電気的絶縁性の層構造と導電性の層構造との積層体であってよい。このスタックは、追加の構成要素のための大きな取付面を提供することができるのみならず、非常に薄く且つコンパクトである板の形状の構成要素キャリアを提供することができる。用語「層構造」は、特に、連続層、パターニングされた層、又は共通平面内にある複数の非連続の島を表してよい。 In one embodiment, the component carrier comprises a stack of at least one electrically insulating layered structure and at least one conductive layered structure. For example, the component carrier may be a laminate of the above-mentioned electrically insulating layer structure and the conductive layer structure, which is formed particularly by applying mechanical pressure and / or thermal energy. Not only can this stack provide a large mounting surface for additional components, but it can also provide a plate-shaped component carrier that is very thin and compact. The term "layer structure" may specifically refer to continuous layers, patterned layers, or multiple discontinuous islands in a common plane.

一実施形態によると、構成要素キャリアは板の形状とされる。これは、コンパクトな構成に貢献し、構成要素キャリアは、それにもかかわらず、構成要素を実装するために広い基盤を提供する。さらに、特に、埋め込み電子構成要素の例としてのベアダイは、その薄い厚みのために、プリント回路基板のような薄い板内に都合よく埋め込まれてよい。 According to one embodiment, the component carrier is in the shape of a plate. This contributes to a compact configuration and the component carrier nevertheless provides a broad foundation for implementing the components. Further, in particular, the bare die, as an example of an embedded electronic component, may be conveniently embedded in a thin plate such as a printed circuit board due to its thin thickness.

一実施形態では、構成要素キャリアは、プリント回路基板、基板(特にIC基板)、及びインターポーザを含んだ群のうちの1つとして構成される。 In one embodiment, the component carrier is configured as one of a group including a printed circuit board, a board (particularly an IC board), and an interposer.

本出願の文脈で、「プリント回路基板」(PCB)という用語は、例えば圧力を加えること及び/又は熱エネルギーを供給することにより、いくつかの導電性の層構造をいくつかの電気絶縁性の層構造に積層することにより形成される板の形状の構成要素キャリアを特に表してよい。PCB技術のための好ましい材料として、導電性の層構造は、銅で作られているが、電気絶縁性の層構造は、樹脂及び/又はガラス繊維、いわゆるプリプレグ又はFR4材料を含んでよい。さまざまな導電性の層構造は、積層体を貫通するスルーホールを、例えば、レーザドリル又は機械的ドリルによって形成し、導電性材料(特に、銅)で充填することによって、所望の方法で互いに接続されてよく、それによって、スルーホール接続としてビアを形成する。プリント回路基板に埋め込まれ得る1つ以上の構成要素は別にして、プリント回路基板は、通常、板状プリント回路基板の一方又は両方の互いに反対側の表面上に1つ以上の構成要素を収容するように構成される。はんだ付けにより、それぞれの主要面に接続してよい。PCBの誘電体部分は、強化繊維(例えばガラス繊維)を有する樹脂から構成されてよい。 In the context of this application, the term "printed circuit board" (PCB) refers to some conductive layered structures and some electrically insulating ones, for example by applying pressure and / or supplying thermal energy. A component carrier in the shape of a plate formed by laminating in a layered structure may be particularly represented. As a preferred material for PCB technology, the conductive layer structure is made of copper, while the electrically insulating layer structure may include resin and / or glass fiber, the so-called prepreg or FR4 material. The various conductive layered structures connect to each other in the desired manner by forming through holes through the laminate, for example with a laser drill or mechanical drill and filling with a conductive material (particularly copper). It may be, thereby forming a via as a through-hole connection. Aside from one or more components that can be embedded in a printed circuit board, a printed circuit board typically houses one or more components on one or both opposite surfaces of a printed circuit board. It is configured to do. It may be connected to each main surface by soldering. The dielectric portion of the PCB may be composed of a resin having reinforcing fibers (for example, glass fibers).

本出願の文脈で、用語「基板」は、特に、小さな構成要素キャリアを表してよい。基板は、PCBに関して比較的小さな構成要素キャリアであってよく、その上に1つ以上の構成要素が実装されてよく、1つ以上のチップと別のPCBとの間の接続媒体として作用してよい。例えば、基板は、(例えばチップスケールパッケージ(CSP)の場合に)その上に実装される構成要素(特に、電子構成要素)と実質的に同じサイズを有してよい。より具体的には、プリント回路基板に匹敵するが、横方向及び/又は垂直方向に配置された接続の密度がかなり高い構成要素キャリアと同様に、基板は、電気接続又は電気ネットワークのためのキャリアとして理解してよい。横方向接続部は、例えば、導電路であり、一方、垂直方向接続部は、例えば、ドリル孔であってよい。これらの横方向及び/又は垂直方向の接続部は、基板内に配置される。特にICチップの、収容部材又は(ベアダイのような)非収容部材の電気的、熱的及び/又は機械的接続部を、プリント回路基板又は中間プリント回路基板に設けるために使用してよい。従って、「基板」という用語は、「IC基板」も含む。基板の誘電体部分は、強化粒子(例えば強化球、特にガラス球)を有する樹脂から構成してよい。 In the context of this application, the term "board" may particularly represent a small component carrier. The substrate may be a relatively small component carrier with respect to the PCB, on which one or more components may be mounted, acting as a connecting medium between one or more chips and another PCB. Good. For example, the substrate may have substantially the same size as the components (particularly electronic components) mounted on it (eg, in the case of a chip scale package (CSP)). More specifically, the board is a carrier for electrical connections or networks, as well as component carriers that are comparable to printed circuit boards but have a fairly high density of connections arranged laterally and / or vertically. May be understood as. The lateral connection may be, for example, a conductive path, while the vertical connection may be, for example, a drill hole. These lateral and / or vertical connections are arranged within the substrate. In particular, electrical, thermal and / or mechanical connections of accommodating or non-accommodating members (such as bare dies) of IC chips may be used to provide printed circuit boards or intermediate printed circuit boards. Therefore, the term "board" also includes "IC board". The dielectric portion of the substrate may be composed of a resin having reinforcing particles (for example, reinforcing spheres, particularly glass spheres).

基板又はインターポーザは、少なくともガラス層、シリコン層(Si)、又はエポキシベースのビルドアップ材料(例えばエポキシベースのビルドアップフィルム)のような光画像形成性又はドライエッチング可能な有機材料の層、又はポリイミド、ポリベンゾオキサゾール又はベンゾシクロブテンのようなポリマー化合物の層を少なくとも含んでよく、又はそれらから構成されてよい。 The substrate or interposer is at least a glass layer, a silicon layer (Si), or a layer of photoimage-forming or dry-etchable organic material such as an epoxy-based build-up material (eg, an epoxy-based build-up film), or polyimide. , Polybenzoxazole or benzocyclobutene, may include or consist of at least a layer of a polymeric compound.

一実施形態では、少なくとも1つの電気絶縁性の層構造は、樹脂(例えば、強化又は非強化樹脂、例えば、エポキシ樹脂又はビスマレイミド・トリアジン樹脂)、シアネートエステル、ポリフェニレン誘導体、ガラス(特に、ガラス繊維、多層ガラス、ガラス様材料)、プリプレグ材料(例えばFR−4又はFR−5)、ポリイミド、ポリアミド、液晶ポリマー(LCP)、エポキシベースのビルドアップフィルム、ポリテトラフルオロエチレン(テフロン(登録商標))、セラミック及び金属酸化物を含んだ群のうちの少なくとも1つを含む。例えば、ガラス(多層ガラス)で作られたウェブ、繊維又は球体のような強化材料も同様に使用することができる。プリプレグ、特にFR4は、通常、硬質PCBに好ましいが、他の材料、特にエポキシベースのビルドアップフィルム又は光画像形成可能な誘電体材料も同様に使用することができる。高周波用途では、ポリテトラフルオロエチレン、液晶ポリマー及び/又はシアネートエステル樹脂、低温同時焼成セラミック(LTCC)、又は他の低、超低、又は極超低DK材料のような高周波材料を、電気絶縁性の層構造として構成要素キャリア内に実装することができる。 In one embodiment, the at least one electrically insulating layered structure is a resin (eg, a reinforced or non-reinforced resin, such as an epoxy resin or a bismaleimide triazine resin), a cyanate ester, a polyphenylene derivative, a glass (particularly glass fiber). , Multilayer glass, glass-like material), prepreg material (eg FR-4 or FR-5), polyimide, polyamide, liquid crystal polymer (LCP), epoxy-based build-up film, polytetrafluoroethylene (Teflon®) , Includes at least one of the groups comprising ceramics and metal oxides. For example, reinforcing materials such as webs, fibers or spheres made of glass (multilayer glass) can be used as well. Prepregs, especially FR4, are usually preferred for hard PCBs, but other materials, especially epoxy-based build-up films or photoimaging dielectric materials, can be used as well. For high frequency applications, electrical insulation of high frequency materials such as polytetrafluoroethylene, liquid crystal polymers and / or cyanate ester resins, low temperature co-fired ceramics (LTCC), or other low, ultra low, or ultra low DK materials. It can be implemented in the component carrier as a layered structure of.

一実施形態では、少なくとも1つの導電性の層構造は、銅、アルミニウム、ニッケル、銀、金、パラジウム及びタングステンを含んだ群のうちの少なくとも1つを含む。銅が通常好ましいが、他の材料又はその被覆された形態も同様に可能であり、特にグラフェンのような超伝導材料で被覆されている。 In one embodiment, the at least one conductive layered structure comprises at least one of a group comprising copper, aluminum, nickel, silver, gold, palladium and tungsten. Copper is usually preferred, but other materials or coated forms thereof are also possible, especially coated with a superconducting material such as graphene.

少なくとも1つの構成要素は、非導電性インレイ、導電性インレイ(好ましくは、銅又はアルミニウムを含む金属インレイなど)、熱伝達ユニット(例えばヒートパイプ)、導光素子(例えば光導波路又は導光器の接続)、光学素子(例えばレンズ)、電子構成要素、又はこれらの組み合わせを含んだ群から選択され得る。例えば構成要素は、能動電子構成要素、受動電子構成要素、電子チップ、記憶装置(例えばDRAM又は他のデータメモリ)、フィルタ、集積回路、信号処理構成要素、電力管理構成要素、光電子インターフェース素子、発光ダイオード、フォトカプラ、電圧コンバータ(例えばDC/DCコンバータ又はAC/DCコンバータ)、暗号構成要素、送信機及び/又は受信機、電気機械トランスデューサ、センサ、アクチュエータ、マイクロ電気機械システム(MEMS)、マイクロプロセッサ、コンデンサ、抵抗器、インダクタンス(インダクタ)、バッテリ、スイッチ、カメラ、アンテナ、論理チップ、及びエネルギー収穫ユニットであってよい。しかしながら、他の構成要素が構成要素キャリア内に埋め込まれてよい。例えば、磁性要素を構成要素として使用してよい。このような磁性要素は、永久磁性要素(例えば強磁性要素、反強磁性要素、マルチフェロイック要素、又はフェライトコアのようなフェリ磁性要素)であってよく、又は常磁性要素であってよい。しかしながら、構成要素はさらに、基板、インターポーザ、又は例えば、基板内構成の追加の構成要素キャリアであってよい。構成要素は、構成要素キャリア上に表面実装されてよく、及び/又はその内部に埋め込まれてよい。さらに、他の構成要素、特に、電磁放射線を発生及び放出する構成要素、及び/又は環境から伝搬する電磁放射線に関して感受性を有する構成要素も、構成要素として使用してよい。 At least one component is a non-conductive inlay, a conductive inlay (preferably a metal inlay containing copper or aluminum), a heat transfer unit (eg, a heat pipe), a light guide element (eg, an optical waveguide or a light guide). It can be selected from a group that includes a connection), an optical element (eg, a lens), an electronic component, or a combination thereof. For example, the components are active electronic components, passive electronic components, electronic chips, storage devices (eg DRAM or other data memory), filters, integrated circuits, signal processing components, power management components, optoelectronic interface elements, light emission. Diodes, photocouplers, voltage converters (eg DC / DC converters or AC / DC converters), cryptographic components, transmitters and / or receivers, electromechanical transducers, sensors, actuators, microelectromechanical systems (MEMS), microprocessors , Capacitors, resistors, inductances (inductors), batteries, switches, cameras, antennas, logic chips, and energy harvesting units. However, other components may be embedded within the component carrier. For example, a magnetic element may be used as a component. Such a magnetic element may be a permanent magnetic element (eg, a ferromagnetic element, an antiferromagnetic element, a multiferromagnetic element, or a ferrimagnetic element such as a ferrite core), or may be a paramagnetic element. However, the component may further be a substrate, an interposer, or, for example, an additional component carrier of the in-board configuration. The components may be surface mounted on the component carriers and / or embedded therein. In addition, other components, in particular components that generate and emit electromagnetic radiation, and / or components that are sensitive to electromagnetic radiation propagating from the environment, may also be used as components.

一実施形態では、構成要素キャリアは積層型の構成要素キャリアである。このような実施形態では、構成要素キャリアは、押圧力及び/又は熱を印加することによって、積層されて互いに接続された複数の層構造の組み合わせである。 In one embodiment, the component carrier is a laminated component carrier. In such an embodiment, the component carrier is a combination of a plurality of layered structures stacked and connected to each other by applying pressing force and / or heat.

構成要素キャリアの内部層構造を処理した後、処理された層構造の一方又は両方の互いに反対側の主要表面を、1つ又は複数のさらなる電気的絶縁性の層構造及び/又は導電性の層構造で対称又は非対称に(特に積層によって)覆うことが可能である。換言すれば、所望の数の層が得られるまでビルドアップを継続することができる。 After processing the internal layer structure of the component carrier, one or more of the main surfaces on one or both opposite sides of the treated layer structure are covered with one or more additional electrically insulating layer structures and / or conductive layers. The structure can be covered symmetrically or asymmetrically (especially by stacking). In other words, the buildup can continue until the desired number of layers is obtained.

電気絶縁性の層構造と導電性の層構造とのスタックの形成が完了した後、得られた層構造又は構成要素キャリアの表面処理を進めることが可能である。 After the formation of the stack of the electrically insulating layer structure and the conductive layer structure is completed, it is possible to proceed with the surface treatment of the obtained layer structure or the component carrier.

特に、電気絶縁性ソルダーレジストは、表面処理の観点から、層のスタック又は構成要素キャリアの一方又は両方の互いに反対側の主要表面に塗布されてよい。例えば、構成要素キャリアを電子周囲機器に電気的に結合するために使用される1つ以上の導電性の表面部分を露出するように、主要面の全体にソルダーレジストなどを形成し、続いてソルダーレジスト層をパターン化することが可能である。構成要素キャリアの表面部分、特に、銅を含む表面部分は、ソルダーレジストで被覆されたままであるが、酸化又は腐食に対して効果的に保護されてよい。 In particular, the electrically insulating solder resist may be applied to the main surfaces of the stack of layers or one or both of the component carriers on opposite sides of each other from the viewpoint of surface treatment. For example, a solder resist or the like is formed over the entire main surface so as to expose one or more conductive surface portions used to electrically bond component carriers to electronic peripherals, followed by solder. It is possible to pattern the resist layer. The surface portion of the component carrier, in particular the surface portion containing copper, remains coated with the solder resist, but may be effectively protected against oxidation or corrosion.

また表面処理に関して、構成要素キャリアの露出した導電性の表面部分に表面仕上げを選択的に適用することも可能である。このような表面仕上げは、構成要素キャリアの表面上の露出した導電性の層構造(特に、銅を含むか、又は銅で構成される、パッド、導電性トラックなど)上の導電性のカバー材料であってよい。このような露出した導電性の層構造が保護されないままにされると、露出した導電性の構成要素キャリア材料(特に銅)が酸化し、構成要素キャリアの信頼性を低下させる可能性がある。次に、表面仕上げを、例えば、表面実装された構成要素と構成要素キャリアとの間の界面として形成することができる。表面仕上げは、露出した導電性の層構造(特に銅回路)を保護し、例えばはんだ付けによって、1つ以上の構成要素との接合プロセスを可能にする機能を有する。表面仕上げのための適切な材料の例は、有機はんだ付け性保存剤(OSP)、無電解ニッケル浸漬金(ENIG)、金(特に硬質金)、化学スズ、ニッケル−金、ニッケル−パラジウムなどである。 With respect to surface treatment, it is also possible to selectively apply a surface finish to the exposed conductive surface portion of the component carrier. Such a surface finish is a conductive cover material on an exposed conductive layered structure on the surface of the component carrier (particularly, a pad, a conductive track, etc., containing or composed of copper). It may be. If such an exposed conductive layer structure is left unprotected, the exposed conductive component carrier material (particularly copper) may oxidize, reducing the reliability of the component carriers. The surface finish can then be formed, for example, as an interface between the surface mount components and the component carriers. The surface finish has the function of protecting the exposed conductive layered structure (particularly copper circuits) and allowing the joining process with one or more components, for example by soldering. Examples of suitable materials for surface finishing are organic solderable preservatives (OSP), electroless nickel dip (ENIG), gold (especially hard gold), chemical tin, nickel-gold, nickel-palladium, etc. is there.

上に定義した態様及び本考案のさらなる態様は、以下に説明する実施形態の例から明らかであり、これらの実施形態の例を参照して説明する。 The embodiments defined above and further embodiments of the present invention will be apparent from the examples of embodiments described below and will be described with reference to the examples of these embodiments.

本考案の例示的な実施形態による構成要素キャリア検査ステーションの概略図を示す。A schematic diagram of a component carrier inspection station according to an exemplary embodiment of the present invention is shown. 本考案の例示的な実施形態による構成要素キャリアの平面図を示す。A plan view of a component carrier according to an exemplary embodiment of the present invention is shown. 本考案の例示的な実施形態による製造ラインの概念の概略図を示す。A schematic diagram of the concept of a production line according to an exemplary embodiment of the present invention is shown. 本考案の例示的な実施形態による構成要素キャリアの検査方法の一部を示す図である。It is a figure which shows a part of the inspection method of a component carrier by an exemplary embodiment of this invention.

図面の例示は概略的である。異なる図面で、類似又は同一の要素は、同一の参照符号を伴って提供される。 The illustrations in the drawings are schematic. In different drawings, similar or identical elements are provided with the same reference numerals.

図1は、本考案の例示的な実施形態による構成要素キャリア検査ステーション1の概略平面図を示す。図2は、本考案の例示的な実施形態による構成要素キャリア100の平面図を示す。図3は、構成要素キャリア検査ステーション1を備える本考案の例示的な実施形態による製造ラインの概念の概略図を示す。 FIG. 1 shows a schematic plan view of a component carrier inspection station 1 according to an exemplary embodiment of the present invention. FIG. 2 shows a plan view of the component carrier 100 according to an exemplary embodiment of the present invention. FIG. 3 shows a schematic diagram of the concept of a production line according to an exemplary embodiment of the present invention comprising the component carrier inspection station 1.

図3に示すように、構成要素キャリア100の製造中に、構成要素キャリア検査ステーション(検査装置、検査機器)1は、製造ラインを制御する製造実行システム(MES)2を使用して構成要素キャリア100を検査する。製造実行システム2は、EMAPファイル600とも称する製造履歴ファイル600が格納されているファイルサーバ4にアクセスする。製造履歴ファイル600は、構成要素キャリア100の製造履歴に関する情報を含む。構成要素キャリア検査ステーション1は、少なくとも製造履歴ファイル600を製造実行システム2から取得するために、製造実行システム2と通信するためにインターフェース5に接続されている。さらにインターフェース5は、ファイルサーバ4に接続されている。これに加えて、構成要素キャリア検査ステーション1は、EMAPファイル400とも称する別の製造履歴ファイル400を、製造実行システム2にインターフェース5を介してダウンロードするように構成される。EMAPファイル400は、必要な場合に、顧客要求フォーマットで製造実行システム2から呼び出すことができる。 As shown in FIG. 3, during the manufacture of the component carrier 100, the component carrier inspection station (inspection device, inspection device) 1 uses the manufacturing execution system (MES) 2 that controls the production line to control the component carrier. Inspect 100. The manufacturing execution system 2 accesses the file server 4 in which the manufacturing history file 600, which is also called the EMAP file 600, is stored. The manufacturing history file 600 contains information regarding the manufacturing history of the component carrier 100. The component carrier inspection station 1 is connected to the interface 5 to communicate with the manufacturing execution system 2 in order to acquire at least the manufacturing history file 600 from the manufacturing execution system 2. Further, the interface 5 is connected to the file server 4. In addition to this, the component carrier inspection station 1 is configured to download another manufacturing history file 400, also referred to as the EMAP file 400, to the manufacturing execution system 2 via the interface 5. The EMAP file 400 can be called from the manufacturing execution system 2 in the customer request format when necessary.

図2に示すように、構成要素キャリア100は、複数のカードを備えている、いわゆるアレイ(「ストリップ」とも称する)である。これらのカードは、通常は同じアーキテクチャを有し、後のステップでアレイから個片化される。構成要素キャリア100は、図2の左側に示される第1IDマーク3と、図2の右側に示される第2IDマーク3とを有する。IDマーク3は、バーコード、QRコード、ECC200コード、英数字コード、又は他の任意の構造であってよい。IDマーク3は、特にフォトリソグラフィ及びエッチング方法又は不良品マーキングによって、電気絶縁性の層構造の上に配置された導電性の層構造のパターンによって形成してよい。またIDマーク3は、誘電体材料から形成されてよく、UV光のような特定の波長の光によって可視化してよい。 As shown in FIG. 2, the component carrier 100 is a so-called array (also referred to as a "strip") including a plurality of cards. These cards usually have the same architecture and will be fragmented from the array in a later step. The component carrier 100 has a first ID mark 3 shown on the left side of FIG. 2 and a second ID mark 3 shown on the right side of FIG. The ID mark 3 may have a barcode, a QR code, an ECC200 code, an alphanumeric code, or any other structure. The ID mark 3 may be formed by a pattern of conductive layered structures arranged on top of an electrically insulating layered structure, especially by photolithography and etching methods or defective marking. Further, the ID mark 3 may be formed of a dielectric material and may be visualized by light having a specific wavelength such as UV light.

構成要素キャリア100は、構成要素キャリア100の主要底面及び主要上面の一方に設けられた第1IDマーク3と、構成要素キャリア100の主要底面及び主要上面の他方に設けられた第2IDマーク3とを備えることが可能である。 The component carrier 100 has a first ID mark 3 provided on one of the main bottom surface and the main upper surface of the component carrier 100, and a second ID mark 3 provided on the other of the main bottom surface and the main upper surface of the component carrier 100. It is possible to prepare.

構成要素キャリア検査ステーション1は、IDマーク3の存在及びグレードの第1検査を行い、製造履歴ファイルの存在及び内容の第2検査を行い、第1検査及び第2検査のうちの少なくとも1つで構成要素キャリア100が不良であると決定した場合に、構成要素キャリア100をソートするように構成されている。 The component carrier inspection station 1 performs the first inspection of the existence and grade of the ID mark 3, the second inspection of the existence and contents of the manufacturing history file, and at least one of the first inspection and the second inspection. It is configured to sort the component carrier 100 when it is determined that the component carrier 100 is defective.

「不良である」という用語は、構成要素キャリア100のIDマーク3が存在しない、誤ったフォーマットである、又は損傷している、又はIDマーク3のグレードが劣等である状況を含んでよい。例えば、IDマーク3のグレードは、ISO/IEC15415に従って決定してよい。特に、A(非常に良い)ないしF(非常に悪い)、又は4(非常に良い)ないし0(非常に悪い)のようなグレードの尺度を定義してよい。例えば、下記の表1の尺度を設定してよい。

Figure 0003232133
The term "bad" may include situations where the ID mark 3 of the component carrier 100 is absent, in the wrong format, or damaged, or the grade of the ID mark 3 is inferior. For example, the grade of ID mark 3 may be determined according to ISO / IEC15415. In particular, grade measures such as A (very good) to F (very bad), or 4 (very good) to 0 (very bad) may be defined. For example, the scales in Table 1 below may be set.

Figure 0003232133

グレードA、B又はグレード4、グレード3.5、グレード3は不良でないと決定されることができ、グレードC、D、E又はグレード2.5、グレード2、グレード1.5、グレード1、グレード0.5、グレード0は不良であると決定されることができる。しかしながら、上述の尺度及び上述の分類は、単なる例示であって、本考案を限定するものではない。 Grade A, B or Grade 4, Grade 3.5, Grade 3 can be determined to be non-defective and Grade C, D, E or Grade 2.5, Grade 2, Grade 1.5, Grade 1, Grade 1. 0.5, grade 0 can be determined to be defective. However, the above-mentioned scales and the above-mentioned classifications are merely examples and do not limit the present invention.

さらに「不良である」という用語は、製造履歴ファイル600が完全でない(not complete)、又は存在しない状況、又は参照製造履歴ファイルと比較した場合に製造履歴ファイル600の内容が妥当でない状況を含んでよい。例えば、製造ライン内の検査ステーションの検査結果が製造履歴ファイル600に含まれない場合、製造履歴ファイル600は完全ではない。後述するように、製造ラインは、複数の異なる検査ステーション14、15、16、17を備えることができ、各検査ステーション14、15、16、17は、特定の品質問題を検査する。各検査ステーション14、15、16、17は、レポート、ファイル、又は検査結果をファイルサーバにアップロードしてよい。全てのレポート、ファイル又は検査結果が、製造履歴ファイル600にマージされる。例えば、製造ライン内の少なくとも1つの検査ステーション14、15、16、17のファイル又は検査結果が製造履歴ファイル600に含まれない場合、製造履歴ファイル600は完全ではないと決定してよい。製造履歴ファイル600が完全であるか否かの検査は、製造履歴ファイルを、ファイルサーバ4に予め記憶され得る参照製造履歴ファイルと比較することによって行ってよい。 Further, the term "defective" includes a situation in which the manufacturing history file 600 is not complete or does not exist, or a situation in which the contents of the manufacturing history file 600 are not valid when compared with the reference manufacturing history file. Good. For example, if the inspection result of the inspection station in the production line is not included in the production history file 600, the production history file 600 is not perfect. As will be described later, the production line can include a plurality of different inspection stations 14, 15, 16, 17 and each inspection station 14, 15, 16, 17 inspects a particular quality problem. Each inspection station 14, 15, 16, 17 may upload a report, file, or inspection result to a file server. All reports, files or inspection results are merged into the manufacturing history file 600. For example, if the files or inspection results of at least one inspection station 14, 15, 16, 17 in the production line are not included in the production history file 600, it may be determined that the production history file 600 is not complete. The check for completeness of the manufacturing history file 600 may be performed by comparing the manufacturing history file with a reference manufacturing history file that can be stored in advance in the file server 4.

さらに構成要素キャリア検査ステーション1は、構成要素キャリア100の反りの測定、及び構成要素キャリア100の厚みの測定のうちの少なくとも1つを行うように、構成される。これらの目的のために、構成要素キャリア検査ステーション1は、図1を参照すれば、好ましくは構成要素キャリア100の主要上面及び主要底面で、構成要素キャリア100の反り(表面反り)を測定するように構成された三次元レーザ測定ツール10と、基準テーブル32に対する構成要素キャリア100の厚みを測定するように構成されたタッチセンサ11とを、さらに備えている。構成要素キャリア100の厚みは、片側で測定でき、これは、構成要素キャリア100を基準テーブル32上で、反転や回転をさせる必要がないことを意味する。 Further, the component carrier inspection station 1 is configured to perform at least one of the measurement of the warp of the component carrier 100 and the measurement of the thickness of the component carrier 100. For these purposes, the component carrier inspection station 1 is such that, with reference to FIG. 1, the component carrier 100 is preferably measured for warpage (surface warpage) of the component carrier 100 at the main upper surface and the main bottom surface of the component carrier 100. The three-dimensional laser measuring tool 10 configured in the above and the touch sensor 11 configured to measure the thickness of the component carrier 100 with respect to the reference table 32 are further provided. The thickness of the component carrier 100 can be measured on one side, which means that the component carrier 100 does not need to be flipped or rotated on the reference table 32.

図1によれば、構成要素キャリア検査ステーション1はさらに、別のステーションから構成要素キャリア検査ステーション1に構成要素キャリア100を装填するように構成された無接触の装填装置6と、IDマーク3を走査するように構成された検出ユニット7、8と、複数の容器(bin)21、22、23、24とを備えている。複数の容器のうちの少なくとも1つの第1容器は、第1検査及び第2検査のうちの少なくとも1つにより不良であると決定された構成要素キャリア100を受け取るように構成され、複数の容器のうち第2容器は、第1検査及び第2検査により不良でないと決定された構成要素キャリア100を受け取るように構成される。構成要素キャリア検査ステーション1は、不良であると決定された構成要素キャリア100を少なくとも1つの第1容器へ除去し、不良でないと決定された構成要素キャリア100を第2容器へ除去するように構成された無接触の除去装置9を備えている。容器21、22、23、24を少なくとも1つの第1容器又は第2容器のいずれかに関連付けることは、当業者が必要に応じて行うことができる。 According to FIG. 1, the component carrier inspection station 1 further includes a non-contact loading device 6 configured to load the component carrier 100 from another station into the component carrier inspection station 1 and an ID mark 3. It includes detection units 7, 8 configured to scan and a plurality of bins 21, 22, 23, 24. At least one first container of the plurality of containers is configured to receive the component carrier 100 determined to be defective by at least one of the first inspection and the second inspection, and of the plurality of containers. The second container is configured to receive the component carrier 100 determined by the first inspection and the second inspection to be not defective. The component carrier inspection station 1 is configured to remove the component carrier 100 determined to be defective to at least one first container and the component carrier 100 determined to be non-defective to the second container. The non-contact removing device 9 is provided. Association of containers 21, 22, 23, 24 to either at least one first container or second container can be performed by those skilled in the art as needed.

複数の容器のうち少なくとも1つの第2容器は、第1検査及び第2検査によって不良でないと決定された構成要素キャリア100を受け入れるように構成される。さらに、複数の第2容器を設けてよく、この場合、不良でない構成要素キャリア100をその品質に従ってソートすることができる(例えば、グレードAに対し1つの第2容器、グレードBに対し1つの第2容器、又はグレード4.0に対し1つの第2容器、グレード3.5に対し1つの第2容器、グレード3.0に対し1つの第2容器)。 At least one second container of the plurality of containers is configured to accept the component carrier 100 determined by the first and second inspections to be non-defective. Further, a plurality of second containers may be provided, in which case the non-defective component carriers 100 can be sorted according to their quality (eg, one second container for grade A and one first for grade B). 2 containers, or 1 second container for grade 4.0, 1 second container for grade 3.5, 1 second container for grade 3.0).

好ましくは装填装置6及び除去装置9は、インターリーフ(差込紙)で構成要素キャリア100をハンドリングすることができる。これは、分離された構成要素キャリア100が互いに接触しないように、インターリーフシートによって互いに分離された構成要素キャリア100の積層を意味する。好ましくは、装填装置6及び除去装置9は、間隔をおいたインターリーフのために、同様に構成要素キャリア100に接触しない。従って、構成要素キャリア100の傷又は他の損傷は、低減される。装填装置6及び除去装置9は、手動操作を必要とすることなく、自動的なハンドリングを可能にする。装填装置6及び除去装置9によるハンドリングは、自動的かつ高速である。 Preferably, the loading device 6 and the removing device 9 can handle the component carrier 100 with an interleaf (insertion paper). This means stacking the component carriers 100 separated from each other by an interleaf sheet so that the separated component carriers 100 do not come into contact with each other. Preferably, the loading device 6 and the removing device 9 also do not come into contact with the component carrier 100 due to the spaced interleaves. Therefore, scratches or other damage to the component carrier 100 is reduced. The loading device 6 and the removing device 9 allow automatic handling without the need for manual operation. The handling by the loading device 6 and the removing device 9 is automatic and fast.

本考案は、アレイ内の不良なカードの位置に応じて、及び/又はアレイの多数の不良なカードに応じて、アレイをソートする能力を与えることができる。同じ位置を有するか、又は同じ数の不良なカードを有するアレイは、同じ容器内でソートされてよい。例えば、図2の構成要素キャリア100の右上隅に不良なカードを有する全てのアレイは、容器21でソートされてよく、図2の構成要素キャリア100の左側の中央に不良なカードを有する全てのアレイは、容器22でソートされてよい、などである。また複数の第1容器を設け、即ちこれは、不良な構成要素キャリア100がソートされる容器を設け、第1容器が、修理可能な不良な構成要素キャリア100のための少なくとも1つの第1容器と、修理不可能な(廃物である)不良な構成要素キャリア100のための少なくとも1つの第1容器とを含むことも考えられる。また、複数の第1容器を設け、即ちこれは、不良な構成要素キャリア100がソートされる容器を設け、各第1容器が特定のエラーコードに関連付けられることも考えられる。構成要素キャリア検査ステーション1は、基本的に、例えば、最大20の容器を含んでよい。 The present invention can provide the ability to sort the array according to the location of the bad cards in the array and / or the large number of bad cards in the array. Arrays with the same position or with the same number of bad cards may be sorted in the same container. For example, all arrays with bad cards in the upper right corner of component carrier 100 of FIG. 2 may be sorted by container 21 and all arrays with bad cards in the center left of component carrier 100 of FIG. The array may be sorted by container 22, and so on. Also provided are a plurality of first containers, i.e., a container in which the defective component carrier 100 is sorted, the first container being at least one first container for the defective component carrier 100 that can be repaired. And at least one first container for a defective (waste) component carrier 100 that cannot be repaired. It is also conceivable to provide a plurality of first containers, i.e., to provide containers in which the defective component carriers 100 are sorted, and each first container may be associated with a particular error code. The component carrier inspection station 1 may basically include, for example, up to 20 containers.

監視ユニット31は、不良な構成要素キャリア100に関する詳細情報、例えば、アレイ(構成要素キャリア100)内の不良なカードの位置及び/又は数を表示してよい。 The monitoring unit 31 may display detailed information about the defective component carrier 100, for example, the position and / or number of defective cards in the array (component carrier 100).

複数のロットからの構成要素キャリア100が検査される場合、特定ロットの構成要素キャリア100がそのIDマーク3の走査によって識別されるならば、構成要素キャリア検査ステーション1は、特定ロットからのこれらの構成要素キャリア100のみのソートができてよい。それにより、異なる構成要素キャリア100の分離は、追加の費用をかけずに容易に行うことができる。 If component carriers 100 from a plurality of lots are inspected and the component carrier 100 of a particular lot is identified by scanning its ID mark 3, component carrier inspection station 1 will inspect these from a particular lot. Only the component carriers 100 may be sorted. Thereby, the separation of the different component carriers 100 can be easily performed at no additional cost.

また構成要素キャリア検査ステーション1は、そのIDマーク3を容易に走査することによって、製造履歴ファイル600に基づいて、寸法、不良なコードなどの異なるソートシナリオに基づいて構成要素キャリア100のソートができてよい。 Further, the component carrier inspection station 1 can sort the component carrier 100 based on different sorting scenarios such as dimensions and defective codes based on the manufacturing history file 600 by easily scanning the ID mark 3. You can do it.

図1によれば、構成要素キャリア検査ステーション1は、装填装置6から構成要素キャリア100を受け取るように構成された第1テーブル12と、第1テーブル12から構成要素キャリア100を受け取るように構成された第2テーブル13とを備えている。フリッパーユニット34は、構成要素キャリア100を回しながら(反転させながら)、構成要素キャリア100を第1テーブル12から第2テーブル13へ搬送するように構成されている。また検出ユニット7、8は、構成要素キャリア100の主要底面に設けられた第1IDマーク3を走査し、構成要素キャリア100の主要上面に設けられた第2IDマーク3を走査するように構成されている。各検出ユニット7、9は、各IDマーク3のグレードを評価するグレード評価器27、28を備える。フリッパーユニット34又は他のユニットは、構成要素キャリア100を第2テーブル12から基準テーブル32に移送してよい。除去装置9は、構成要素キャリア100を基準テーブル32からそれぞれの容器21、22、23、24に移動させてよい。 According to FIG. 1, the component carrier inspection station 1 is configured to receive a first table 12 configured to receive the component carrier 100 from the loading device 6 and a component carrier 100 from the first table 12. It also has a second table 13. The flipper unit 34 is configured to convey the component carrier 100 from the first table 12 to the second table 13 while rotating (reversing) the component carrier 100. Further, the detection units 7 and 8 are configured to scan the first ID mark 3 provided on the main bottom surface of the component carrier 100 and the second ID mark 3 provided on the main upper surface of the component carrier 100. There is. Each of the detection units 7 and 9 includes grade evaluators 27 and 28 for evaluating the grade of each ID mark 3. The flipper unit 34 or other unit may transfer the component carrier 100 from the second table 12 to the reference table 32. The removal device 9 may move the component carrier 100 from the reference table 32 to the respective containers 21, 22, 23, 24.

フリッパーユニット34は任意のものである。構成要素キャリア100の同じ側に1つ以上のIDマークが配置されている場合、フリップする必要はない。(2次元)IDマーク3を検査及び/又は走査する以外に、検査ステーション1が構成要素キャリア100の両側又は複数側に検査機能を有する場合、検査ステーション1の全機能の総体は、フリッパーユニット34を使用することによって、構成要素キャリア100の両側又はより多くの側で実行することができる。 The flipper unit 34 is arbitrary. If one or more ID marks are placed on the same side of the component carrier 100, there is no need to flip. If the inspection station 1 has inspection functions on both sides or a plurality of sides of the component carrier 100 other than inspecting and / or scanning the (two-dimensional) ID mark 3, the total function of the inspection station 1 is the flipper unit 34. Can be performed on both sides or more sides of the component carrier 100 by using.

上述の三次元レーザ測定ツール10は、構成要素キャリア100の上面及び底面の両方での反りを測定するために、第1及び第2テーブル12、13にアクセスすることができ、一方、上述のタッチセンサ11は、構成要素キャリア100の厚みを測定するために基準テーブル32にのみアクセスすることができる。 The 3D laser measuring tool 10 described above can access the first and second tables 12 and 13 to measure the warpage on both the top and bottom surfaces of the component carrier 100, while the touch described above. The sensor 11 can only access the reference table 32 to measure the thickness of the component carrier 100.

図1で参照符号30は、接続部及びユーティリティを表す。参照符号31はユーザのための監視ユニットを表す。監視ユニット31は、ユーザと構成要素キャリア検査ステーション1との間のユーザインターフェースとして機能する。監視ユニット31は、検査された構成要素キャリア100に関する情報を、特に、それが不良である場合に、表示してよい。 Reference numeral 30 in FIG. 1 represents a connection portion and a utility. Reference numeral 31 represents a monitoring unit for the user. The monitoring unit 31 functions as a user interface between the user and the component carrier inspection station 1. The monitoring unit 31 may display information about the inspected component carrier 100, especially if it is defective.

図3によれば、製造ラインは、構成要素キャリア100のソルダーマスクを検査するように構成されたソルダーマスク検査ステーション14と、構成要素キャリア100の電気的機能を検査するように構成された機能検査ステーション15と、光学装置によって構成要素キャリア100を検査するように構成された光学検査ステーション16と、構成要素キャリア100の目視検査を可能にするように構成された目視検査ステーション17とをさらに備える。特に、目視検査ステーション17は、エラーが発生する可能性のある人間の相互作用に伴うものである。 According to FIG. 3, the production line includes a solder mask inspection station 14 configured to inspect the solder mask of the component carrier 100 and a functional inspection configured to inspect the electrical function of the component carrier 100. It further includes a station 15, an optical inspection station 16 configured to inspect the component carrier 100 by an optical device, and a visual inspection station 17 configured to allow visual inspection of the component carrier 100. In particular, the visual inspection station 17 is associated with human interactions that can lead to errors.

製造ラインは、構成要素キャリア100上に不良品マーキングを形成するように構成された不良品マーキングステーション18をさらに備える。不良品マーキングステーション18は、レーザマーキングを施すレーザマーキングステーションとして実現されてよい。不良品マーキングの他の実施形態は、機械的ドリル又はプリントによって形成される。不良品マーキングステーション18は、ファイルサーバ4からEMAPファイル600をダウンロードし、従って、ソルダーマスク検査ステーション14、機能性検査ステーション15、光学検査ステーション16及び目視検査ステーション17で行われたテストに関する情報を得る。不良品マーキングステーション18は、先立つステーション14,15,16,17の検査結果の情報を含む不良品マーキングを構成要素キャリア100上に形成する。図2に示すように、不良品マーキングステーション18は、構成要素キャリア100のこれらのカードに不良品マーキングとして「X」記号を形成する。これは、ソルダーマスク検査ステーション14、機能検査ステーション15、光学検査ステーション16、及び/又は目視検査ステーション17で行われたテストに不合格であったものである。同じ情報がファイル400として、特にXMLフォーマットで、ファイルサーバ4にアップロードされる。このファイルは、EMAPファイル400と称してよい。これに加えて、EMAPファイル400は、不良品マーキングでマークされたこれらのカードに関する情報を含む。 The production line further comprises a defective marking station 18 configured to form defective markings on the component carrier 100. The defective product marking station 18 may be realized as a laser marking station for performing laser marking. Other embodiments of defective marking are formed by mechanical drilling or printing. The defective marking station 18 downloads the EMAP file 600 from the file server 4 and thus obtains information about the tests performed at the solder mask inspection station 14, the functional inspection station 15, the optical inspection station 16 and the visual inspection station 17. .. The defective product marking station 18 forms a defective product marking on the component carrier 100, which includes information on the inspection results of the preceding stations 14, 15, 16, and 17. As shown in FIG. 2, the defective product marking station 18 forms an “X” symbol on these cards of the component carrier 100 as defective product markings. This failed the tests performed at the solder mask inspection station 14, the functional inspection station 15, the optical inspection station 16, and / or the visual inspection station 17. The same information is uploaded to the file server 4 as a file 400, especially in XML format. This file may be referred to as the EMAP file 400. In addition to this, the EMAP file 400 contains information about these cards marked with defective markings.

上述のステーション14、15、16、17、18は、構成要素キャリア検査ステーション1の上流の側で、その直前に、製造ラインに配置される。製造ラインはさらに、構成要素キャリア100をパッケージングするように構成されたパッケージステーション19、例えば、真空パッケージング室を備え、パッケージステーション19は、構成要素キャリア検査ステーション1の下流の側で、その直後に、製造ライン内に配置される。それにより、製造履歴ファイルの存在及び内容に関する第2検査は、全ての先立つ検査ステーション14、15、16、17、18を考慮し、構成要素キャリア100をパッケージングして顧客に送る直前に検証される。 The above-mentioned stations 14, 15, 16, 17, and 18 are arranged on the production line on the upstream side of the component carrier inspection station 1 and immediately before the components carrier inspection station 1. The production line further comprises a packaging station 19, eg, a vacuum packaging chamber, configured to package the component carrier 100, which is on the downstream side of the component carrier inspection station 1 and immediately thereafter. Is placed in the production line. Thereby, the second inspection regarding the existence and contents of the manufacturing history file is verified immediately before the component carrier 100 is packaged and sent to the customer, taking into account all the preceding inspection stations 14, 15, 16, 17, and 18. File.

参照符号300は、ソルダーマスク検査ステーション14及び製造実行システム2に接続される中央サーバを表し、参照符号500は、SAP(登録商標)システムを表す。 Reference numeral 300 represents a central server connected to the solder mask inspection station 14 and the manufacturing execution system 2, and reference numeral 500 represents a SAP® system.

各ステーション16、17、18は、ファイルサーバ4からデータをダウンロードするためにファイルサーバ4に接続されている。さらに各ステーション15、16、17、18は、構成要素キャリア100の製造履歴の一部を示す各ファイルをアップロードするために、ファイルサーバ4に接続される。このようなファイルは、XMLファイルとしてフォーマットでき、EMAPファイルと称してよい。例えば、各ステーション15、16、17、18は、関連ステーション15、16、17、18のそれぞれのレポート又は検査結果を示すそれぞれのファイルを、構成要素キャリア100の製造履歴の一部としてアップロードしてよい。 Each of the stations 16, 17, and 18 is connected to the file server 4 in order to download data from the file server 4. Further, the stations 15, 16, 17, and 18 are connected to the file server 4 in order to upload each file showing a part of the manufacturing history of the component carrier 100. Such a file can be formatted as an XML file and may be referred to as an EMAP file. For example, each station 15, 16, 17, 18 uploads a file showing each report or inspection result of the related stations 15, 16, 17, 18 as a part of the manufacturing history of the component carrier 100. Good.

ソルダーマスク検査ステーション14は、中央サーバ300を介して製造実行システム2に接続され、ソルダーマスク検査ステーション14のレポート又は検査結果を出す。 The solder mask inspection station 14 is connected to the manufacturing execution system 2 via the central server 300, and outputs a report or an inspection result of the solder mask inspection station 14.

製造ラインのステーション14、15、16、17、18、1からの全ての関連するEMAPファイルは、構成要素キャリア検査ステーション1を離れる構成要素キャリア100の全製造履歴を含む、上述の最終の製造履歴ファイル400にマージされる。このような最終ファイルは、ファイルサーバ4に格納され、製造実行システム2を介して顧客が要求するフォーマットで出力されるものであり、EMAPファイル400と称してよい。各EMAPファイル400は、構成要素キャリア100上に設けられたIDマーク3(又は複数のIDマーク3)に一意にリンクされる。例えば、製造ライン内の少なくとも1つの検査ステーション14、15、16、17のファイル又は検査結果が、最終の製造履歴ファイル400に含まれない場合、製造履歴ファイル400は完全ではないと決定してよい。最終の製造履歴ファイル400が完全であるか否かの検査は、製造履歴ファイル400を、ファイルサーバ4に予め記憶され得る参照製造履歴ファイルと比較することによって行ってよい。 All relevant EMAP files from stations 14, 15, 16, 17, 18, 1 on the production line include the entire production history of the component carrier 100 leaving the component carrier inspection station 1, the final production history described above. Merged into file 400. Such a final file is stored in the file server 4 and output in a format requested by the customer via the manufacturing execution system 2, and may be referred to as an EMAP file 400. Each EMAP file 400 is uniquely linked to an ID mark 3 (or a plurality of ID marks 3) provided on the component carrier 100. For example, if the files or inspection results of at least one inspection station 14, 15, 16, 17 in the production line are not included in the final production history file 400, it may be determined that the production history file 400 is not complete. .. The check for completeness of the final manufacturing history file 400 may be performed by comparing the manufacturing history file 400 with a reference manufacturing history file that may be stored in advance in the file server 4.

図4は、本考案の例示的な実施形態による、構成要素キャリア100を検査する方法の一部を示す。 FIG. 4 shows a portion of a method of inspecting component carrier 100 according to an exemplary embodiment of the present invention.

ステップS1では、構成要素キャリア100の主要底面及び主要上面の両方に、検査すべきIDマーク3が設けられているか否かが決定される。 In step S1, it is determined whether or not the ID mark 3 to be inspected is provided on both the main bottom surface and the main top surface of the component carrier 100.

ステップS1の応答が肯定(Y)の場合、この方法はステップS2に進み、ここで、両方のIDマーク3が、それぞれの検出ユニット7、8によって走査される。任意に、検出ユニット7、8は、メーカー社内IDなどの、検査されないようにされた、少なくとも1つの他のIDマークを走査することもできる。なおメーカー社内IDとは対照的に、IDマーク3は、顧客IDと称するものでもよい。 If the response in step S1 is affirmative (Y), the method proceeds to step S2, where both ID marks 3 are scanned by the respective detection units 7 and 8, respectively. Optionally, the detection units 7 and 8 can also scan at least one other ID mark that has been prevented from being inspected, such as the manufacturer's internal ID. In contrast to the manufacturer's in-house ID, the ID mark 3 may be referred to as a customer ID.

ステップS3では、構成要素キャリア100の主要底面及び主要上面の上のIDマーク3の両方が互いに一致するか否かが決定される。ステップS3の応答が否定(N)の場合は、ステップS10に移行し、方法のこの一部を終了する。ステップS3の応答が肯定(Y)の場合は、方法は後述するステップS5に進む。 In step S3, it is determined whether or not both the main bottom surface of the component carrier 100 and the ID mark 3 on the main top surface match each other. If the response in step S3 is negative (N), the process proceeds to step S10 and ends this part of the method. If the response in step S3 is affirmative (Y), the method proceeds to step S5, which will be described later.

ステップS1の応答が否定(N)の場合には、方法はステップS4に進み、構成要素キャリア100の主要底面又は主要上面のいずれかに設けられたIDマーク3のみが、それぞれの検出部7、8によって走査される。 If the response in step S1 is negative (N), the method proceeds to step S4, and only the ID mark 3 provided on either the main bottom surface or the main top surface of the component carrier 100 is the respective detection unit 7, respectively. Scanned by 8.

なお、構成要素キャリア検査ステーション1から見てインターフェース5の前面1000で、ステップS1〜S4は実行可能である。 It should be noted that steps S1 to S4 can be executed on the front surface 1000 of the interface 5 when viewed from the component carrier inspection station 1.

これに加えて、構成要素キャリア検査ステーション1は、構成要素キャリア100の反りの測定、及びインターフェース5の前面1000での構成要素キャリア100の厚みの測定のうち、少なくとも1つを行ってよい。構成要素キャリア検査ステーション1はさらに、インターフェース5の前面1000で、不良であると決定されたこれらの構成要素キャリア100をソートしてよい。 In addition to this, the component carrier inspection station 1 may perform at least one of the measurement of the warp of the component carrier 100 and the measurement of the thickness of the component carrier 100 on the front surface 1000 of the interface 5. The component carrier inspection station 1 may further sort these component carriers 100 determined to be defective at the front surface 1000 of the interface 5.

ステップS5で、IDマーク3のフォーマットが正確であるか否かが決定される。もしフォーマットが正しければ、IDマーク3が存在すると結論してよい。 In step S5, it is determined whether or not the format of the ID mark 3 is accurate. If the format is correct, you may conclude that ID mark 3 is present.

ステップS6では、構成要素キャリア検査ステーション1は、構成要素キャリア100上の不良品マーキングステーションによって作成された不良品マーキングを走査する。ステップS7では、構成要素キャリア検査ステーション1は、不良品マーキングステーション18によって予めアップロードされているEMAPファイル600を、ファイルサーバ4からダウンロードする。 In step S6, the component carrier inspection station 1 scans the defective markings created by the defective marking station on the component carrier 100. In step S7, the component carrier inspection station 1 downloads the EMAP file 600 previously uploaded by the defective marking station 18 from the file server 4.

ステップS8で、走査された結果がEMAPファイル600と比較される。不一致がある場合、比較結果は製造実行システム2、特にパッケージステーション19に提供される。これに加えて、又はこれに代えて、必要な操作についてユーザに通知されるように、アラートを与えてよい。 In step S8, the scanned result is compared with the EMAP file 600. If there is a discrepancy, the comparison result is provided to the manufacturing execution system 2, especially the package station 19. In addition to or instead, alerts may be given to notify the user of the required operation.

ステップS8で不一致がない場合、方法はステップS9に進み、走査された結果がファイルサーバ4に格納され、パッケージステーション19に提供されるEMAPファイル、例えばEMAPファイル400が作成される。方法のこの部分は、最終的に終了する。 If there is no discrepancy in step S8, the method proceeds to step S9, where the scanned result is stored in the file server 4 and an EMAP file provided to the package station 19, such as the EMAP file 400, is created. This part of the method finally ends.

なお、構成要素キャリア検査ステーション1から見てインターフェース5の背面2000で、ステップS5〜S10は実行されてよい。これに代えて、構成要素キャリア検査ステーション1は、インターフェース5を備え、全てのステップS1〜S9を実行してよい。 It should be noted that steps S5 to S10 may be executed on the back surface 2000 of the interface 5 when viewed from the component carrier inspection station 1. Instead, the component carrier inspection station 1 may include an interface 5 and perform all steps S1 to S9.

さらに別の態様として、構成要素キャリア検査ステーション1は、製造実行システム2全体を含んでよいし、又は本考案の実施形態に係る構成要素キャリア検査ステーション1の機能に関連する、コントローラ及びその制御アルゴリズムなど製造実行システム2の部分を含んでよい。製造実行システム2のこのような部分は、構成要素キャリア検査ステーション1に関連付けられてよい。 In yet another embodiment, the component carrier inspection station 1 may include the entire manufacturing execution system 2, or the controller and its control algorithm related to the function of the component carrier inspection station 1 according to the embodiment of the present invention. The part of the manufacturing execution system 2 may be included. Such a portion of the manufacturing execution system 2 may be associated with a component carrier inspection station 1.

用語「備える」は、他の要素又はステップを除外せず、「a」又は「an」は、複数を除外しないことに留意するものとする。また、異なる実施形態に関連して記載された要素を組み合わせてよい。 It should be noted that the term "provide" does not exclude other elements or steps, and "a" or "an" does not exclude more than one. Also, the elements described in relation to different embodiments may be combined.

また、請求項の参照符号は、請求項を限定するものと解釈してはならないことに留意するものとする。 It should also be noted that the reference code of the claims should not be construed as limiting the claims.

本考案の実施は、図面に示して上述した好ましい実施形態に限定されない。その代わりに、基本的に異なる実施形態の場合であっても、図示した解決法及び本考案による原理を使用するさまざまな変形が可能である。 Implementation of the present invention is not limited to the preferred embodiments shown in the drawings and described above. Instead, various modifications are possible using the illustrated solutions and the principles of the present invention, even in the case of essentially different embodiments.

Claims (7)

製造実行システムを使用して構成要素キャリアを製造する間に前記構成要素キャリアを検査する構成要素キャリア検査ステーションであって
前記構成要素キャリアはIDマークを含み、前記製造実行システムは、製造履歴ファイルが格納されたファイルサーバへアクセスし、前記製造履歴ファイルは、前記構成要素キャリアの製造履歴に関する情報を含み、
構成要素キャリア検査ステーションは、少なくとも前記製造実行システムから前記製造履歴ファイルを取得するように、インターフェースを介して前記製造実行システムと通信し、
構成要素キャリア検査ステーションは、前記IDマークの存在及びグレードの第1検査を行い、前記製造履歴ファイルの存在及び内容の第2検査を行うように構成され、前記第1検査及び前記第2検査の少なくとも1つで前記構成要素キャリアが不良であると決定した場合、前記構成要素キャリアをソートする、構成要素キャリア検査ステーション。
A component carrier inspection station that inspects the component carrier while manufacturing the component carrier using the manufacturing execution system. The component carrier includes an ID mark, and the manufacturing execution system has a manufacturing history file. Accessing the stored file server, the manufacturing history file contains information about the manufacturing history of the component carrier.
The component carrier inspection station communicates with the manufacturing execution system via an interface so as to acquire the manufacturing history file from at least the manufacturing execution system.
The component carrier inspection station is configured to perform the first inspection of the presence and grade of the ID mark and the second inspection of the existence and contents of the manufacturing history file, and the first inspection and the second inspection of the first inspection and the second inspection. A component carrier inspection station that sorts the component carriers if at least one determines that the component carriers are defective.
構成要素キャリア検査ステーションはさらに、前記構成要素キャリアの反りの測定、及び前記構成要素キャリアの厚みの測定のうちの少なくとも1つを行うように構成される、請求項1記載の構成要素キャリア検査ステーション。 The component carrier inspection station according to claim 1, wherein the component carrier inspection station is further configured to perform at least one of the measurement of the warp of the component carrier and the measurement of the thickness of the component carrier. .. 構成要素キャリア検査ステーションは、
構成要素キャリア検査ステーションに別のステーションからの前記構成要素キャリアを装填するように構成された装填装置と、
前記IDマークを走査するように構成された検出ユニットと、
複数の容器であって、複数の容器のうちの少なくとも1つの第1容器が、前記第1検査及び前記第2検査のうちの少なくとも1つによって不良であると決定された前記構成要素キャリアを受け取るように構成され、複数の容器のうちの少なくとも1つの第2容器が、前記第1検査及び前記第2検査によって不良でないと決定された前記構成要素キャリアを受け取るように構成されている複数の容器とを備え、
不良であると決定された前記構成要素キャリアを、少なくとも1つの前記第1容器に除去し、不良でないと決定された前記構成要素キャリアを前記第2容器に除去するように構成された除去装置を備えている、請求項1又は2記載の構成要素キャリア検査ステーション。
Component carrier inspection station
A loading device configured to load the component carrier from another station into the component carrier inspection station.
A detection unit configured to scan the ID mark and
A plurality of containers, at least one first container of the plurality of containers receives the component carrier determined to be defective by at least one of the first inspection and the second inspection. A plurality of containers configured such that at least one second container of the plurality of containers receives the component carrier determined by the first inspection and the second inspection to be not defective. With and
A removal device configured to remove the component carriers determined to be defective in at least one of the first containers and remove the component carriers determined to be non-defective in the second container. The component carrier inspection station according to claim 1 or 2.
構成要素キャリア検査ステーションは、
前記構成要素キャリアの反りを測定するように構成された三次元レーザ測定ツールと、
前記構成要素キャリアの厚みを測定するように構成されたタッチセンサと、
前記構成要素キャリアを前記装填装置から受け取るように構成された第1テーブルと、
前記第1テーブルから前記構成要素キャリアを受け取るように構成された第2テーブルとのうちの少なくとも1つをさらに備え、
フリッパーユニットが、前記構成要素キャリアを回しながら、前記構成要素キャリアを前記第1テーブルから前記第2テーブルに搬送するように構成され、前記検出ユニットが、前記構成要素キャリアの主要底面に設けられた第1IDマークを走査し、前記構成要素キャリアの主要上面に設けられた第2IDマークを走査するように構成されている、請求項3記載の構成要素キャリア検査ステーション。
Component carrier inspection station
A three-dimensional laser measurement tool configured to measure the warpage of the component carrier,
A touch sensor configured to measure the thickness of the component carrier,
A first table configured to receive the component carrier from the loading device, and
Further comprising at least one of a second table configured to receive the component carriers from the first table.
The flipper unit is configured to transport the component carrier from the first table to the second table while rotating the component carrier, and the detection unit is provided on the main bottom surface of the component carrier. The component carrier inspection station according to claim 3, which is configured to scan the first ID mark and scan the second ID mark provided on the main upper surface of the component carrier.
請求項1ないし4のいずれか1項に記載の構成要素キャリア検査ステーションを備えている製造ラインであって、
構成要素キャリア検査ステーションの上流の側で製造ラインに配置され、構成要素キャリアのソルダーマスクを検査するように構成されているソルダーマスク検査ステーションと、
構成要素キャリア検査ステーションの上流の側で製造ラインに配置され、構成要素キャリアの電気的機能を検査するように構成されている機能検査ステーションと、
構成要素キャリア検査ステーションの上流の側で製造ラインに配置され、光学装置によって構成要素キャリアを検査するように構成されている光学検査ステーションと、
構成要素キャリア検査ステーションの上流の側で製造ラインに配置され、構成要素キャリアの目視検査を可能にするように構成されている目視検査ステーションと、
構成要素キャリア検査ステーションの上流の側で製造ラインに配置され、構成要素キャリア上に不良品マーキングを形成するように構成されている不良品マーキングステーションと、
構成要素キャリア検査ステーションの下流の側で製造ラインに配置され、構成要素キャリアをパッケージングするように構成されているパッケージステーションとのステーションのうちの少なくとも1つをさらに備えている、製造ライン。
A production line including the component carrier inspection station according to any one of claims 1 to 4.
A solder mask inspection station located on the production line upstream of the component carrier inspection station and configured to inspect the solder masks of the component carriers.
A functional inspection station located on the production line upstream of the component carrier inspection station and configured to inspect the electrical function of the component carrier,
An optical inspection station located on the production line upstream of the component carrier inspection station and configured to inspect the component carriers by optics.
A visual inspection station located on the production line on the upstream side of the component carrier inspection station and configured to allow visual inspection of the component carriers.
A defective marking station located on the production line on the upstream side of the component carrier inspection station and configured to form defective markings on the component carrier.
A production line further comprising at least one of a station with a package station located on the downstream side of the component carrier inspection station and configured to package the component carriers.
構成要素キャリアは、複数のカードを含むアレイであり、
構成要素キャリア上の不良品マーキングは、アレイのカード上の不良品マーキングステーションによってマークされ、マークされるカードは、ソルダーマスク検査ステーション、機能検査ステーション、光学検査ステーション及び目視検査ステーションのうちの少なくとも1つの検査で不合格であったものであり、
不良品マーキングステーションは、ファイルをファイルサーバにアップロードし、ファイルには、アレイのマークされたカードに関する情報が含まれ、
構成要素キャリア検査ステーションは、アップロードされたファイルをファイルサーバからダウンロードし、不良品マーキングを走査し、走査された結果をダウンロードされたファイルに含まれる情報と比較するように構成され、
構成要素キャリア検査ステーションは、比較結果を製造実行システムに与えるように構成されるか、又は、走査された結果とダウンロードされたファイルに含まれる情報との間に不一致がある場合に、アラートを与えるように構成される、請求項5記載の製造ライン。
A component carrier is an array containing multiple cards.
The defective marking on the component carrier is marked by the defective marking station on the card of the array, and the marked card is at least one of a solder mask inspection station, a functional inspection station, an optical inspection station and a visual inspection station. It failed one test and
The defective marking station uploads the file to a file server, which contains information about the marked cards in the array.
The component carrier inspection station is configured to download the uploaded file from the file server, scan the defective markings, and compare the scanned result with the information contained in the downloaded file.
The component carrier inspection station is configured to give the comparison results to the manufacturing execution system, or alerts if there is a discrepancy between the scanned results and the information contained in the downloaded file. 5. The production line according to claim 5.
請求項1ないし4のいずれか1項に記載の構成要素キャリア検査ステーションによって検査される構成要素キャリアであって、
(A)構成要素キャリアは、構成要素キャリアに表面実装されている、及び/又は埋め込まれている少なくとも1つの構成要素を含み、少なくとも1つの構成要素は、電子構成要素、非導電性及び/又は導電性インレイ、熱伝達ユニット、光導波素子、光学素子、ブリッジ、エネルギー収穫ユニット、能動電子構成要素、受動電子構成要素、電子チップ、記憶装置、フィルタ、集積回路、信号処理構成要素、電力管理構成要素、光電子インターフェース素子、電圧変換器、暗号構成要素、送信機及び/又は受信機、電気機械トランスデューサ、アクチュエータ、マイクロ電気機械システム、マイクロプロセッサ、コンデンサ、抵抗器、インダクタ、アキュムレータ、スイッチ、カメラ、アンテナ、磁気構成要素、追加の構成要素キャリア、及び論理チップを含んだ群から、選択され、
(B)構成要素キャリアの導電性の層構造の少なくとも1つは、銅、アルミニウム、ニッケル、銀、金、パラジウム及びタングステンを含んだ群のうちの少なくとも1つを含み、グラフェンの超導電性材料で被覆され、
(C)電気絶縁性の層構造は、樹脂、強化樹脂又は非強化樹脂、エポキシ樹脂又はビスマレイミド−トリアジン樹脂、FR−4、FR−5、シアネートエステル、ポリフェニレン誘導体、ガラス、プリプレグ材料、ポリイミド、ポリアミド、液晶ポリマー、エポキシベースのビルドアップフィルム、ポリテトラフルオロエチレン、セラミック、及び金属酸化物を含んだ群のうちの少なくとも1つを含み、
(D)構成要素キャリアは、板の形状とされ、
(E)構成要素キャリアは、プリント回路基板、基板、及びインターポーザを含んだ群のうちの1つとして構成され、
(F)構成要素キャリアは、積層型構成要素キャリアとして構成され、
上記(A)ないし(F)の特徴のうちの少なくとも1つを含む、構成要素キャリア。
A component carrier inspected by the component carrier inspection station according to any one of claims 1 to 4.
(A) The component carrier comprises at least one component surface-mounted and / or embedded in the component carrier, the at least one component being an electronic component, non-conductive and / or. Conductive inlays, heat transfer units, optical waveguide elements, optical elements, bridges, energy harvesting units, active electronic components, passive electronic components, electronic chips, storage devices, filters, integrated circuits, signal processing components, power management configurations Elements, optoelectronic interface elements, voltage converters, cryptographic components, transmitters and / or receivers, electromechanical transducers, actuators, microelectromechanical systems, microprocessors, capacitors, resistors, inductors, accumulators, switches, cameras, antennas , Magnetic components, additional component carriers, and selection from the group containing logic chips,
(B) At least one of the conductive layered structures of the component carriers comprises at least one of the group containing copper, aluminum, nickel, silver, gold, palladium and tungsten and is a superconducting material of graphene. Covered with
(C) The electrically insulating layer structure includes resin, reinforced resin or non-reinforced resin, epoxy resin or bismaleimide-triazine resin, FR-4, FR-5, cyanate ester, polyphenylene derivative, glass, prepreg material, polyimide, etc. Includes at least one of the groups comprising polyamides, liquid crystal polymers, epoxy-based build-up films, polytetrafluoroethylene, ceramics, and metal oxides.
(D) The component carrier has a plate shape and is in the shape of a plate.
(E) The component carrier is configured as one of a group including a printed circuit board, a board, and an interposer.
(F) The component carrier is configured as a laminated component carrier.
A component carrier comprising at least one of the above features (A) to (F).
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