JP3231214B2 - 光電圧センサーの組立方法 - Google Patents

光電圧センサーの組立方法

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JP3231214B2 JP07803995A JP7803995A JP3231214B2 JP 3231214 B2 JP3231214 B2 JP 3231214B2 JP 07803995 A JP07803995 A JP 07803995A JP 7803995 A JP7803995 A JP 7803995A JP 3231214 B2 JP3231214 B2 JP 3231214B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、送電線、配電線の電圧
あるいはモータ等の駆動電源電圧を検知するのに用いら
れる光電圧センサの組立方法に関する。
【0002】
【従来の技術】光電圧センサは、たとえば図9に示すよ
うに、センサ部55、入力側光学系53、出力側光学系
54、光信号処理部(図示せず)より構成され、センサ
部分55は光の入射側から光軸上に直角PBS(偏光
子)1、1/4波長板2、ポッケルス素子3、直角PB
S(検光子)1を配置し、前記各光学部品は互いに接す
る光軸面を全て接着剤で接着して構成されている。前記
ポッケルス素子3には電圧印加用に電極端子4、リード
線6、電極5が電気的に接続されていて、印加電圧(被
測定電圧)24を前記電極端子4に印加するようになっ
ている。
【0003】光信号処理部と前記センサ部55とは、入
力側光学系53と出力側光学系54によって接続さてお
り、前記センサ部55の入力側光軸面と出力側光軸面
は、それぞれ前記入力側光学系53のセンサ部側光軸面
および出力側光学系54のセンサ部側光軸面に接着剤に
より接着固定している。また、前記入力側光学系53
は、光軸上に(入力側)光ファイバー7、フェルール
8、GRINレンズ9で構成され、各光学部品の相互の
光軸面は接着剤により接着され、前記出力側光学系54
も前記入力側光学系53と同様の構成を有する。
【0004】ただし、光軸面とは光軸に垂直な面のこと
で、光の入射面と出射面の2つある。そして、接着固定
された前記センサ部55、前記入力側光学系53、前記
出力側光学系54は、下ケース52に機構的に固定され
る。
【0005】ただし、上記光学部品用接着剤としては、
エポキシ系あるいはウレタン系等の樹脂を使用する。ま
た、ポッケルス素子3としては、Bi12SiO20(BS
O),KDPや自然複屈折を有するLiNbO3 ,Li
TaO3 等を使用する。図中の51はホルダである。
【0006】次に、公知ではあるが、光電圧センサの原
理を述べる。入力側の光ファイバー7の光源として、た
とえば中心波長0.88μmのLEDを使用し、LED
の無偏光はセンサ部55の直角PBS(偏光子)1を通
過後、直線偏光となる。この直線偏光は1/4波長板
(λ/4板)2を通過すると円偏光になり、この円偏光
はポッケルス素子3通過後は、前記ポッケルス素子3の
印加電圧24に応じて楕円化する。この楕円偏光の直角
PBS(検光子)1通過後の出力強度変化は、前記印加
電圧24により変化するポッケルス素子3の通過光の偏
光状態に対応するため、出力側の光ファイバ7を介し
て、受光器(図示せず)において直角PBS(検光子)
1の出力強度変化をモニターし、光量(強度)の変調度
を計算することで印加電圧24を測定することができ
る。ここで、前記光量の変調度とは、光量のAC成分と
光量のDC成分の比のことである。
【0007】ところで、前記光電圧センサは、屋外の厳
しい環境下で使用されることが多く、温度特性には厳し
い性能が要求され、−20〜80℃において変調度変化
が±1%以下が望まれる。この温度特性については、1
/4波長板2やポッケルス素子3は、その接着部の応力
により自然複屈折やポッケルス効果が変化したり、Li
NbO3 などのZ軸を光軸としても入射光の軸ずれによ
り自然複屈折の温度特性が現れる等、さまざまな報告が
ある。
【0008】応力あるいは、光線の軸ズレによるによる
1/4波長板2の複屈折の変化は、1/4波長板2とし
て0次単板を使用することにより応力緩和に成功してい
る。しかし、0次の単板は高価で、低価格の多層膜0次
1/4波長板2での特性改善が望まれる。
【0009】また、軸ずれによる自然複屈折の発生は、
光学部品の光軸面の面だし精度を30分以下にすること
により、軸ずれ角を0.2°以下に押さえたので軸ずれ
による温度特性も克服している。
【0010】しかし、ポッケルス素子3に加わる応力の
緩和には現在のところ適当な方法がなく、従来の光電圧
センサの温度特性は図10に示すように、最大10%程
度の温度特性がある。しかも、応力は光電圧センサ製造
時の環境で変化するので温度特性にも再現性がなく、温
度特性の管理は困難であった。
【0011】また、特開平4−291165号公報に
は、光応用センサーの製造方法が開示されている。この
製造方法は、前記光応用センサーを構成する複数の光学
部品を光軸調整用基盤を用いて光軸調整後、各光学部品
の相互間をエポキシ系またはウレタン系等合成樹脂で隙
間無く密着させるとともに、前記密着させられた光学部
品と光ファイバー等の周囲を同一の合成樹脂で隙間無く
モールドする方法である。
【0012】この製造方法は光電流センサーには有効で
あるが、応力あるいは軸ズレによる複屈折による特性変
化の起こる光電圧センサーの場合には、温度変化による
前記合成樹脂の変形による軸ズレ発生と、前記合成樹脂
とポッケルス素子の熱膨張係数の相違による応力発生に
より、好ましくない温度特性を引き起こす。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の組立方法に
よる光電圧センサでは、接着によりポッケルス素子3と
0次多層膜の1/4波長板に加わる応力が制御不可能な
ため、温度特性が不良な上、各光電圧センサ間で温度特
性が不揃となるため、正確な電圧測定ができない上、温
度特性の管理上全数評価する必要がありコストアップに
つながる。
【0014】本発明は、上記のような課題を解決し、感
度と光量の温度特性の良好な光電圧センサーを提供する
ことと、簡単かつ低コストで量産できる組立方法を提供
することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明は、少なくとも光ファイバー、フェルール、GR
INレンズ、ホルダー等の光学部品の各接合面の接着固
定で構成される入力側光学系と出力側光学系のそれぞれ
に直角PBSを接着した第三の光学部品および第四の光
学部品と、センサ部を構成する光学部品の集合体の内、
外部応力により特性変動を起こす多層膜0次1/4波長
板よりなる第一の光学部品と、同様に外部応力により特
性変動を起こすポッケルス素子よりなる第二の光学部品
の光軸上の接合面を接着剤で接着せずに光軸上に固定す
ることを特徴とする光電圧センサーの組立方法であっ
て、前記多層膜0次1/4波長板の第一の光学部品およ
びポッケルス素子の第二の光学部品と同一光軸上にあっ
て、前記第三の光学部品の直角PBSと前記第四の光学
部品の直角PBSのそれぞれに光軸と平行方向に相対す
る適当な弾性を有する第一の外力を加え、前記第三の光
学部品の出射側面と前記多層膜0次1/4波長板よりな
る第一の光学部品の入射側面、前記第一の光学部品の出
射側面と前記ポッケルス素子よりなる第二の光学部品の
入射面、前記第二の光学部品の出射面と前記第四の光学
部品の入射面の3個の接合面を無接着で密着させ、前記
3個の無接着接合面に発生する摩擦力で前記多層膜0次
1/4波長板よりなる第一の光学部品および前記ポッケ
ルス素子よりなる第二の光学部品を前記第三の光学部品
と前記第四の光学部品間に固定した状態で、前記第三の
光学部品と前記第四の光学部品をそれぞれ適当な粘性と
適当な弾性を有する物質で前記ケースに固定することを
特徴とするものである。
【0016】また、本発明は、前記第一の光学部品〜第
四の光学部品の少なくとも一つには、光軸方向と垂直な
少なくとも一つの方向に前記光軸と平行方向の適当な弾
性のある第一の外力よりも弱い適当な弾性のある第二の
外力を加えることを特徴とするものである。
【0017】以後、この第二の外力の方向を平面とし、
前記第一の外力と第二の外力の発生装置にはバネを使用
する。また、本発明で使用する光学部品の光軸面の面精
度が30分以下のものを使用する。
【0018】また、本発明は、前記第三の光学部品の直
角PBS、前記多層膜0次1/4波長板よりなる第一の
光学部品、前記ポッケルス素子よりなる第二の光学部
品、前記第四の光学部品の直角PBSを数%の精度で光
軸調整可能かつ温度変化による変形で前記第三の光学部
品の直角PBS、前記第一の光学部品、前記第二の光学
部品、前記第四の光学部品の直角PBSとの相互作用が
最小となるように、平面方向で光軸に平行方向の幅がそ
れぞれ前記第三の光学部品の直角PBS、前記第一の光
学部品、前記第二の光学部品、前記第四の光学部品の直
角PBSの幅よりも数%程度広い溝状のガイドIを有
し、前記第三の光学部品と前記第四の光学部品のGRI
Nレンズの光軸に平行な方向には、前記直角PBSの前
記GRINレンズの光軸に平行かつ平面の幅よりも狭
く、前記第三の光学部品及び第四の光学部品のホルダー
の外径よりも広い溝状のガイドIIと前記第三の光学部品
と前記第四の光学部品の光ファイバー部分には前記光フ
ァイバーの直径よりも大きい幅と深さを有する光ファイ
バーガイドを有し、前記ガイドIとガイドIIの深さは第
一の光学部品〜第四の光学部品の平面方向の高さが等し
くなるように適当な凹凸を有する下ケースを使用して、
前記第一の光学部品〜第四の光学部品を前記ガイドI、
II、光ファイバーガイドに並べる作業と、前記第一の光
学部品〜第四の光学部品の接合面の少なくとも一つに光
学上透明かつ粘性を有し前記第一の外力によりほぼ0の
膜厚になる物質を充填する作業と、ゴムなどの弾性を有
する物質を用いて前記光ファイバーを前記光ファイバー
ガイドに固定する作業を適当な順番に行い、少なくとも
2種類のバネを使用し前記第一の外力と前記第二の外力
を印加した後、前記バネを固定するために前記下ケース
をケース枠に挿入する。
【0019】また、本発明は、第三の光学部品と第四の
光学部品の組立方法として、まず直角PBS用V溝をG
RINレンズ用V溝を一体した光軸合わせ治具を用いて
PBSの中心にGRINレンズを面精度で面接着させ、
前記GRINレンズと同心で、前記GRINレンズの外
径とほぼ同程度の内径を有するホルダーをPBSに面接
着させた後、光ファイバー加工済みフェルールの先端面
とGRINレンズの面を面接着させる。
【0020】
【作用】上記のような光電圧センサーの組立方法を使用
すると、多層膜0次1/4波長板よりなる第一の光学部
品とポッケルス素子よりなる第二の光学部品は接着剤を
使用した接着面がなくなり、接着剤との熱膨張係数との
相違で発生する応力から解放されるため、光電圧センサ
は温度の影響を受けずに被測定電圧を正確に測定できる
とともに、低価格の光学部品の使用と組立作業者の個人
差のでない簡単な組立方法の採用により特性の管理が容
易になるとともにコストダウンが図れる。
【0021】
【実施例】以下、実施例について詳細に述べる。図1に
本光電圧センサーの組立方法の第一実施例の平面図、図
2に正面図、図3に組立方法の概要図、図4に正面断面
図を示す。
【0022】図1で示す光ファイバー7、フェルール
8、GRINレンズ9、ホルダー10の光学部品の各接
合面の接着固定で構成される入力側光学系21と出力側
光学系22のそれぞれに直角PBS1を接着した第三の
光学部品27と第四の光学部品28と、センサ部20を
構成する光学部品の集合体の内、外部応力により特性変
動を起こす多層膜0次1/4波長板2よりなる第一の光
学部品25と、同様に外部応力により特性変動を起こす
ポッケルス素子3よりなる第二の光学部品26を、図3
に示すように前記各光学部品が収容されるそれぞれの部
分に溝状部品ガイドと底辺部の適当な凹凸を有する下ケ
ース13に光の入射側から第三の光学部品27、第一の
光学部品25、第二の光学部品26、第四の光学部品2
8の順になるように適当に配置する。図1に戻って前記
第一の光学部品である多層膜0次1/4波長板2および
第二の光学部品であるポッケルス素子3と同一の光軸2
3上にあって、前記第三の光学部品27の直角PBS1
の第一の光学部品25(多層膜0次1/4波長板2)と
の接合面と反対側の面と、前記第四の光学部品28の直
角PBS1の第二の光学部品26(ポッケルス素子3)
との接合面と反対側の面のそれぞれに、前記ポッケルス
素子3部分の光軸23と平行方向に第一のバネ(横側バ
ネ11)を配置し、これにより相対する適当な弾性を有
する第一の外力を加え、前記第三の光学部品27の出射
側面と前記多層膜0次1/4波長板よりなる第一の光学
部品25の入射側面、前記第一の光学部品25の出射面
とポッケルス素子3よりなる第二の光学部品26の入射
面、前記第二の光学部品26の出射面と前記第四の光学
部品28の入射面の3個の接合面を無接着で密着させ、
前記3個の無接着接合面に発生する摩擦力で前記第一の
光学部品25、第二の光学部品26を前記第三の光学部
品27と前記第四の光学部品28間に固定した状態で、
前記第三の光学部品27と前記第四の光学部品28の光
ファイバー7を図3に示すように光ファイバーガイド部
においてそれぞれ適当な粘性と適当な弾性を有する物
質、たとえば、ブチルゴムあるいは、シリコン系・気密
剤等の光ファイバ充填剤17で前記下ケース13に固定
する。
【0023】ただし、前記光軸23は両端に互いに平行
な入力側光学系21の光軸23′と出力側光学系22の
光軸23′をもち前記光軸23と2つの光軸23’を合
わせてなるコの字型光軸を含む平面を平面方向とし、前
記光軸23’の垂直面を正面方向、前記光軸23の垂直
面を側面方向とする。
【0024】なお、図1において、4は電圧端子、5は
電極、6はリード線、24は印加電圧であり、これらは
従来のものと同様に構成されている。ただし直角PBS
1と下ケース13の第一の部品ガイド14部には第一の
間隙18が存在し、ホルダー10と下ケース13の第二
の部品ガイド15間には第二の間隙19が存在してい
る。
【0025】また、前記下ケース13の溝状ガイドに
は、前記第三の光学部品27の直角PBS1、前記第一
の光学部品である多層膜0次1/4波長板2、前記第二
の光学部品であるポッケルス素子3、前記第四の光学部
品28の直角PBS1を数%の精度で光軸調整可能、か
つ、温度変化による変形で前記第三の光学部品27の直
角PBS1、前記第一の光学部品である多層膜0次1/
4波長板2、前記第二の光学部品であるポッケルス素子
3、前記第四の光学部品28の直角PBS1との相互作
用が最小となるように、平面方向で光軸に平行方向の幅
がそれぞれ前記第三の光学部品27の直角PBS1、前
記第一の光学部品である多層膜0次1/4波長板2、前
記第二の光学部品であるポッケルス素子3、前記第四の
光学部品28の直角PBS1の幅よりも数%程度広い溝
状の第一の部品ガイド14と、前記第三の光学部品27
と前記第四の光学部品28のGRINレンズ9の光軸に
平行な方向には、前記直角PBS1のGRINレンズ9
が密着する面の幅よりも狭く、前記第三の光学部品27
および第四の光学部品28のホルダー10の直径よりも
広い溝状の第二の部品ガイド15と、前記第三の光学部
品27と前記第四の光学部品28の光ファイバー7部分
の前記光ファイバー7の直径よりも大きい幅と深さを有
する光ファイバーガイド16がある(図3参照)。具体
的な寸法は、本実施例では、幅5[mm]の光学部品に
対して第一の部品ガイド14の幅を5.2[mm]と
し、5.1[mm]では前記光学部品の公差と温度変化
による前記ケースの変形による前記光学部品と前記第一
の部品ガイド14の相互作用による位置ズレ等の特性悪
化をもたらす。一方、5.5[mm]であると光軸と前
記光学部品の中心のズレが累積的に大きくなり、低価格
光学部品の場合には面上での特性ばらつきがあるため特
性悪化をもたらす可能性がある。また、前記第二の部品
ガイド15は、前記ホルダー10が余裕で納まり、かつ
前記入力側光学系21と前記出力側光学系22が前記光
軸23’方向に抜けないことと、前記横側バネ11によ
る加圧時に、前記入力光学系21と出力側光学系22が
前記第二の部品ガイド15に接触して相互作用を起こさ
ないような構成を提供するものである。前記光ファイバ
ーガイド16は、光ファイバー7の直径と前記ブチルゴ
ムが作業良く充填できる程度の幅が望まれるので、前記
光ファイバー7の直径の2倍程度を使用する。
【0026】なお、前記第一の部品ガイド14、第二の
部品ガイド15、光ファイバーガイド16の形状はほぼ
四角形であるが、前記光学部品との前記相互作用の低減
を考慮したものならば形状は任意でよい。
【0027】また、前記下ケース13の底辺部の凹凸
は、前記直角PBS1、第一の光学部品である多層膜0
次1/4波長板2、第二の光学部品であるポッケルス素
子3の平面方向の高さが等しい場合には均一であるが、
前記直角PBS1、多層膜0次1/4波長板2、ポッケ
ルス素子3の平面方向の高さが異なる場合には、図4に
示すように下ケース13の底辺部に高さ調節段差34を
つけて平面方向の高さがが等しくなるようする。この場
合には、光学部品の中心、たとえば図4中の1/4波長
板・ポッケルス素子中心線35と光軸23にズレが生じ
るが、前記ズレは光学部品の面上で特性が均一の範囲内
であれば問題ない。
【0028】また、前記第一の光学部品〜第四の光学部
品の平面方向には、上側バネ12の位置決めする上側バ
ネガイドを有する上ケース29に応じて第二のバネとす
る上側バネ12を配置し、前記第一の外力よりも弱い適
当な弾性のある第二の外力を加える構成を有する。
【0029】また、縮んだ状態での上側バネ12の弾性
力は、縮んだ状態の横側バネ11の弾性力よりも小さく
なるようにバネ定数とケース寸法を考慮する。たとえ
ば、本第一実施例の光電圧センサでは、横側バネ11の
弾性力は約360gで上側バネ12の弾性力は約100
gである。上側バネ12の役割は、横側バネ11だけで
あると上下方向に自由度ができるための振動防止で、も
し上側バネ12の弾性力が大きいと光学部品は下ケース
13の下側に押さえつけられ、温度変化によるケース変
形により光学部品にケースからの力が加わり光軸がずれ
る恐れがある。このように、横側バネ11の力を強くし
ておくと光学部品のケースとの相互作用が最小に抑えら
れ、光軸を固定している横側バネ11により特性を律則
させることができる。
【0030】なお、横側バネ11の個数については、第
三の光学部品27と第四の光学部品28のいずれか一方
の直角PBS1の接合面と反対の面をケース内側面に接
触させ、もう一方の直角PBS1のみを1個の第一のバ
ネで押さえしても良いが、この場合は、ケースとの相互
作用が強いので、ケース材料としてセラミック製を薦め
る。また、上側バネ12の個数については、横側バネ1
1の力よりも弱いのであればその個数は問題ではない。
また、第一実施例では弾性のある第一の外力および第二
の外力の発生装置としてバネ(スプリング)を使用した
が、弾性力を発生するものであれば何でも良く、ゴムや
板バネ等でも良い。
【0031】なお、図2〜図4中の30はバネ押えケー
ス枠であり、31はオプテイカル・グリース、32は光
軸23における入射側、33は同出射側、43は短絡線
を示している。
【0032】第二の光学部品であるポッケルス素子3と
しては、従来例と同様に、Bi12SiO20(BSO),
KDPや自然複屈折を有するLiNbO3 ,LiTaO
3 等を使用し、ポッケルス素子3には電圧印加用に電極
端子4、リード線6、電極5が電気的に接続されてい
て、被測定電圧24を前記電極端子6に印加する構成に
なっている。
【0033】第一の光学部品である1/4波長板2は、
多層膜0次以外でも同等の特性を有するものであれば問
題ない。また、直角PBS(偏光子や検光子)1等の光
学部品の光軸面の面だし精度は、30分以下のものを使
用し、軸ずれ角を0.2°以下に押さえ、軸ずれによる
温度特性は抑えている。
【0034】ケース材料としては、温度変化によるケー
ス変形の小さい無機材料、たとえばセラミック製がベス
トであるが、コスト面を考えて有機材料、たとえばAB
S樹脂等でも特性上問題がない。
【0035】組立手順としては、前記第一の光学部品〜
第四の光学部品を下ケース13の前記第一の部品ガイド
14、第二の部品ガイド15、光ファイバーガイド16
に並べる作業と、前記第三の光学部品27、第一の光学
部品25、第二の光学部品26、第四の光学部品28の
接合面に光学上透明かつ粘性を有し、前記第一の外力に
よりほぼ0の膜厚になる物質、たとえばグリース状シリ
コーンコンパウンド(以後オプティカル・グリース31
と呼ぶ)を充填する作業と、ブチルゴムなどの弾性を有
する物質を用いて前記光ファイバー7を前記光ファイバ
ーガイド16に固定する作業を適当な順番に行い、前記
横側バネ11による前記第一の外力と前記上側バネ12
による前記第二の外力を印加した後、前記横側バネ11
と上側バネ12を固定するために前記下ケース13をケ
ース枠30に挿入する。なお、前記オプティカル・グリ
ース31を使用する目的は、衝撃時の前記無接着面を介
して密着している光学部品間の位置ズレを低減すること
である。
【0036】次に、第一の光学部品1、第二の光学部品
2、第三の光学部品27と第四の光学部品28を前記下
ケース13にケーシングした後、センサー光量(ロス)
を観測しながら前記センサーロスの変動がほぼ±0.0
5[dB]以下となるまで、前記第一の外力に平行な方
向と前記第二の外力に平行な方向に対して順次適当な衝
撃を加え、センサーロスの安定後は、光電圧センサーに
少なくと1回の低温側−10℃以下かつ高温側60℃以
上の熱サイクルを経験させる。
【0037】次に、第三の光学部品27と第四の光学部
品28の組立方法を図5(a)〜(d)に示す。まず、
図6に示すように直角PBS用V溝36とGRINレン
ズ用V溝37をもつ光軸合わせ治具38を用いて、図5
(a)に示すように接着時にGRINレンズの直径から
はみでない程度の微量の接着剤を前記GRINレンズ9
あるいは前記直角PBS1に塗布し、前記直角PBS1
とGRINレンズ9を加圧40して直角PBS1の中心
に前記GRINレンズ9を面精度で面接着させ、次に図
5(b)に示すように前記直角PBS1と前記GRIN
レンズ9の接着部近傍に接着時にホルダー10の直径と
同程度か少しはみでる程度の多量の接着剤を塗布し前記
GRINレンズ9と同心のホルダー10を直角PBS1
に加圧して面接着させた後、図5(c)に示すように光
ファイバー加工済みフェルール8の先端面あるいはGR
INレンズ9に微量の接着剤を塗布しホルダー10を通
してGRINレンズ9の端面とフェルール8の面を加圧
して面接着させ、図5(d)のように完成する。ただ
し、前記接着剤は、光学上透明、たとえばエポキシ系あ
るいはウレタン系光学接着剤を使用する。
【0038】なお図6中の39は接着剤逃げ溝である。
図7は、本発明の組立方法を用いた第一実施例の光電圧
センサの感度の温度特性で、−20〜80[゜C]にわ
たって、±1%以下の良好な特性を示す。
【0039】次に、本発明の第二実施例を図8を用いて
説明する。この第二実施例は、前記第一実施例の第一の
光学部品である1/4波長板2を変調用ポッケルス素子
41に置き換えた光電圧センサーであり、たとえば、特
願平5−222515、特願平6−190281本発
明の組立方法を応用した例で、下ケース13から変調信
号用リード線42を出す以外には第一実施例との相違は
ない。
【0040】
【発明の効果】以上の実施例の説明より明らかなよう
に、本発明によれば、多層膜0次1/4波長板とポッケ
ルス素子は応力から解放されるため、組み立てられた光
電圧センサは温度の影響を受けずに被測定電圧を正確に
測定できるとともに、温度特性管理が容易となるためコ
ストダウンにつながるという効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一実施例の光電圧センサ平面図
【図2】同光電圧センサの正面図
【図3】同光電圧センサの組立概略を示す分解斜視図
【図4】同光電圧センサの正面断面図
【図5】(a)〜(d)は同光電圧センサにおける第三
光学部品および第四光学部品の組立説明図
【図6】同光学電圧センサにおける直角PBSとGRI
Nレンズの光軸合わせ方法を示す斜視図
【図7】同光電圧センサの温度特性図
【図8】本発明の第二実施例の光電圧センサーの平面図
【図9】従来の光電圧センサの平面図
【図10】従来の光電圧センサの温度特性図
【符号の説明】
1 直角PBS 2 多層膜0次1/4波長板 3 ポッケルス素子 4 電圧端子 5 電極 6 リード線 7 光ファイバー 8 フェルール 9 GRINレンズ 10 ホルダー 11 横側バネ 12 上側バネ 13 下ケース 14 第一の部品ガイド 15 第二の部品ガイド 16 光ファイバーガイド 17 光ファイバーガイド充填剤(ブチルゴム) 18 第一の間隙 19 第二の間隙 20 センサ部 21 入力側光学系 22 出力側光学系 23 光軸(1/4波長板、ポッケルス素子) 23’光軸(入力側光学系、出力側光学系) 24 印加電圧(被測定電圧) 25 第一の光学部品(直角PBS) 26 第二の光学部品(1/4波長板) 27 第三の光学部品(入力側光学系+直角PBS) 28 第四の光学部品(出力側光学系+直角PBS) 29 上ケース(上側バネガイド板) 30 (バネ押さえ)ケース枠 31 グリース状シリコーンコンパウンド(オプティカ
ル・グリース) 32 入射側(第三の光学部品の直角PBS) 33 出射側(第四の光学部品の直角PBS) 34 高さ調節段差 35 1/4波長板とポッケルス素子の中心線 36 直角PBS用V溝 37 GRINレンズ用V溝 38 V溝一体治具 39 接着剤逃げ溝 40 加圧 41 変調用ポッケルス素子 42 変調信号用リード線 43 短絡線

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 応力により光学特性が変動する第一の光
    学部品および第二の光学部品と同一光軸上にあって、前
    記第一の光学部品の光の入射側と前記第二の光学部品の
    光の出射側のそれぞれに配置する第三の光学部品と第四
    の光学部品のそれぞれに前記光軸と平行方向に適当な弾
    性を有する第一の外力をそれぞれ反平行方向に加え、第
    三の光学部品の出射面と前記第一の光学部品の入射面、
    前記第一の光学部品の出射面と前記第二の光学部品の入
    射面、前記第二の光学部品の出射面と前記第四の光学部
    品の入射面の3カ所の接合面を無接着状態で面接触させ
    るときに発生する摩擦力で前記第一の光学部品と前記第
    二の光学部品を固定することを特徴とする光電圧センサ
    ーの組立方法。
  2. 【請求項2】 第一の光学部品、第二の光学部品、第三
    の光学部品、第四の光学部品の少なくとも一つに、光軸
    方向と垂直な少なくとも一つの方向に第一の外力よりも
    弱い適当な弾性のある第二の外力を加える手段と前記第
    二の外力を加える手段の反対側に前記第一から第四の光
    学部品を支持する面を有するケースで構成されているこ
    とを特徴とする請求項1に記載の光電圧センサーの組立
    方法。
  3. 【請求項3】 第一の光学部品、第二の光学部品、第三
    の光学部品、第四の光学部品をそれぞれ数%以下の精度
    で光軸位置合わせが可能な溝状の第1,第2のガイド
    有し、第一の外力方向に垂直な方向の前記第1のガイド
    および第二の外力方向に垂直な方向の前記第2のガイド
    と前記4種類の光学部品の間には外部温度変化による前
    記ガイドの変形によるガイドと前記四種類の光学部品と
    の相互作用の低減可能な適当な間隙を有するケースを使
    用することを特徴とする請求項2に記載の光電圧センサ
    ーの組立方法。
  4. 【請求項4】 ケースのガイド部の底面に対向する上面
    を有する形状である4種類の光学部品の、前記上面が均
    一になるようにケースのガイド部の底に凹凸を設けるこ
    とを特徴とする請求項3に記載の光電圧センサーの組立
    方法。
  5. 【請求項5】 第三の光学部品の出射面と第一の光学部
    品の入射面、前記第一の光学部品の出射面と第二の光学
    部品の入射面、前記第二の光学部品の出射面と前記第四
    の光学部品の入射面の3カ所の無接着接合面間の少なく
    とも一つに光学上透明で適当な粘性を有し、第一の外力
    強度で均一に広がり、膜厚がほぼ0になる物質を充填す
    ることを特徴とする請求項1に記載の光電圧センサーの
    組立方法。
  6. 【請求項6】 第三の光学部品と第四の光学部品は、光
    ファイバー、フェルール、GRINレンズ、ホルダー、
    直角PBSにより構成され、ケースに溝状の光ファイバ
    ーガイドを設け、前記光ファイバーガイドに前記光ファ
    イバーの一部を適当な粘性と適当な弾性を有する物質で
    固定することを特徴とする請求項3に記載の光電圧セン
    サーの組立方法。
  7. 【請求項7】 第三の光学部品と第四の光学部品は、光
    ファイバー、フェルール、GRINレンズ、ホルダー、
    直角PBSにより構成され、前記ホルダーの外径は前記
    直角PBSの最短辺寸法よりも小さく、第一の光学部品
    と第二の光学部品の光軸に垂直な光軸を有する前記第三
    の光学部品と第四の光学部品の前記フェルール、GRI
    Nレンズ、ホルダー部分に対応するケースの溝状ガイド
    幅が前記ホルダー直径よりも大きく、かつ前記直角PB
    Sの最短辺寸法より少し小さいことを特徴とする請求項
    3に記載の光電圧センサーの組立方法。
  8. 【請求項8】 第三の光学部品と第四の光学部品の組立
    方法が、まず直角PBSの光軸が通る面の中心にGRI
    Nレンズを前記光軸が通る面に隙間なく面接着させ、前
    記GRINレンズと同心で前記GRINレンズの外径と
    ほぼ同程度の内径を有するホルダーを直角PBSに面接
    着させた後、光ファイバー加工済みフェルールの先端面
    とGRINレンズの面を面接着させることを特徴とする
    請求項1に記載の光電圧センサーの組立方法。
  9. 【請求項9】 第一の光学部品、第二の光学部品、第三
    の光学部品と第四の光学部品をケースにケーシングした
    後、センサー光量(ロス)を観測しながら前記センサー
    光量の変動がほぼ±0.05[dB]以下となるまで、
    第一の外力に平行な方向と第二の外力に平行な方向に対
    して順次適当な衝撃を加えることを特徴とする請求項2
    に記載の光電圧センサーの組立方法。
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