JP3228995B2 - Planar magnetic element - Google Patents
Planar magnetic elementInfo
- Publication number
- JP3228995B2 JP3228995B2 JP07199192A JP7199192A JP3228995B2 JP 3228995 B2 JP3228995 B2 JP 3228995B2 JP 07199192 A JP07199192 A JP 07199192A JP 7199192 A JP7199192 A JP 7199192A JP 3228995 B2 JP3228995 B2 JP 3228995B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- planar
- magnetic field
- coil
- view
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は平面インダクタや平面ト
ランスなどの平面型磁気素子に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a planar magnetic element such as a planar inductor and a planar transformer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、各種電子機器の小形化が盛んに進
められ、これに伴って機器全体に占める電源部の容積比
率が増大する傾向にある。これは、各種の回路がＬＳＩ
化される一方で、電源部に必須の回路要素であるインダ
クタやトランスなどの磁気部品の小型・集積化が遅れて
いるためである。2. Description of the Related Art In recent years, the miniaturization of various electronic devices has been actively promoted, and the volume ratio of the power supply unit to the entire devices has tended to increase accordingly. This is because various circuits are LSI
On the other hand, the miniaturization and integration of magnetic components such as inductors and transformers, which are essential circuit components in the power supply unit, have been delayed.
【０００３】インダクタンスやトランスなどの磁気素子
を小型化するために、これらの磁気素子を平面型にする
ことが試みられている。従来、平面インダクタとして
は、スパイラル平面コイルの両面を絶縁層で挟み、さら
にこれらの両面を磁性体で挟んだ構造のものが知られて
いる。同様に、平面トランスとしては、絶縁層を介して
１次側のスパイラル平面コイルと２次側のスパイラル平
面コイルとを形成し、これらの両面を絶縁層で挟み、さ
らにこれらの両面を磁性体で挟んだ構造のものが知られ
ている。なお、スパイラル平面コイルは、１層のスパイ
ラル状コイル導体からなるものでもよいし、絶縁層の両
面に２層のスパイラル状コイル導体を形成して発生磁界
が同一方向となるように接続したものでもよい。これら
の平面型磁気素子については、例えば、“Ｈｉｇｈ−Ｆ
ｒｅｑｕｅｎｃｙ ｏｆ ａ Ｐｌａｎａｒ−Ｔｙｐｅ
Ｍｉｃｒｏｔｒａｎｓｆｏｒｍｅｒ ａｎｄ Ｉｔｓ
Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ ｔｏ Ｍｕｌｔｉｌａｙｅ
ｒｅｄ ＳｗｉｔｃｈｉｎｇＲｅｇｕｒａｔｏｒｓ”；
Ｋ．Ｙａｍａｓａｗａ ｅｔ ａｌ．，ＩＥＥＥＴｒａ
ｎｓ．Ｍａｇ．Ｖｏｌ．２６，Ｎｏ．３，Ｍａｙ １９
９０，ｐｐ．１２０４−１２０９で報告されている。し
かし、従来の平面型磁気素子は、動作に対する損失が大
きいという欠点がある。[0003] In order to reduce the size of magnetic elements such as inductances and transformers, attempts have been made to make these magnetic elements planar. 2. Description of the Related Art Conventionally, a planar inductor having a structure in which both surfaces of a spiral planar coil are sandwiched between insulating layers and both surfaces are sandwiched between magnetic materials is known. Similarly, as a planar transformer, a primary spiral planar coil and a secondary spiral planar coil are formed via an insulating layer, both surfaces of which are sandwiched by an insulating layer, and both surfaces are formed of a magnetic material. A structure having a sandwiched structure is known. The spiral planar coil may be composed of one layer of spiral coil conductor, or may be formed by forming two layers of spiral coil conductor on both surfaces of an insulating layer and connecting them so that the generated magnetic fields are in the same direction. Good. For these planar magnetic elements, for example, “High-F
frequency of a Planar-Type
Microtransformer and Its
Application to Multilaye
red Switching Regulators ";
K. Yamazawa et al. , IEEEtra
ns. Mag. Vol. 26, no. 3, May 19
90, pp. 1204-1209. However, the conventional planar magnetic element has a disadvantage that a loss for operation is large.
【０００４】また、平面型磁気素子を小形化するため
に、薄膜プロセスを利用して製造することが検討されて
いる。しかし、従来の薄膜プロセスにより製造された平
面型磁気素子は、平面コイルを構成するコイル導体の断
面積を大きくできないため、コイル抵抗が非常に大き
く、インダクタンスが小さく、漏れ磁束量が大きかっ
た。この結果、インダクタンスではＱが低く、トランス
ではゲインＧが低く電圧変動率が大きいため、実用化の
大きな障害となっていた。In order to reduce the size of the planar magnetic element, it has been studied to manufacture the planar magnetic element using a thin film process. However, the planar magnetic element manufactured by the conventional thin-film process cannot increase the cross-sectional area of the coil conductor constituting the planar coil, so that the coil resistance is very large, the inductance is small, and the leakage magnetic flux is large. As a result, the Q is low in the inductance, and the gain G is low in the transformer and the voltage fluctuation rate is large.
【０００５】このような状況から、平面型磁気素子につ
いては、小型集積化、インダクタンスの向上、磁束の外
部漏洩の低減、高周波特性および直流重畳電流特性の改
善、電流容量の向上、端子の引出しの改良、外部から電
気的特性を調整できるトリミング機能の付与などに関す
る種々の提案がなされている。[0005] Under such circumstances, as for the planar type magnetic element, miniaturization, improvement of inductance, reduction of external leakage of magnetic flux, improvement of high-frequency characteristics and DC superimposed current characteristics, improvement of current capacity, and extension of terminals are required. Various proposals have been made regarding improvement, provision of a trimming function capable of adjusting electric characteristics from the outside, and the like.
【０００６】ところで、電源などのように大きな電力を
取り扱う場合に用いられる平面型磁気素子においては、
直流重畳特性が重要になってくる。平面型磁気素子の直
流重畳特性は、磁気素子の構造、平面コイルの抵抗、磁
性体の透磁率、磁性体の飽和磁束密度などに依存する
が、高出力を取り扱うためには、特に磁性体の透磁率が
平面コイルに流れる電流の範囲において一定で高い値を
示す必要がある。[0006] By the way, in a planar magnetic element used for handling large electric power such as a power supply,
DC superimposition characteristics become important. The DC superposition characteristics of a planar magnetic element depend on the structure of the magnetic element, the resistance of the planar coil, the magnetic permeability of the magnetic substance, the saturation magnetic flux density of the magnetic substance, and the like. It is necessary that the magnetic permeability shows a constant high value in the range of the current flowing through the planar coil.
【０００７】一般の磁性体における磁化反転は、磁化容
易軸方向では磁壁移動のモードにより、磁化困難軸方向
では磁化回転のモードによる。磁壁移動のモードの場
合、数ＭＨz 以上の高周波数帯では、磁壁の慣性質量の
ために磁壁は追従できなくなり、磁性体の特性は大きく
劣化する。このため、磁性体を高周波数帯で使用する場
合には、主に磁化回転モードを利用して磁化させる。磁
化回転モードを利用する場合に磁性体に必要な特性とし
て、（１）高飽和磁束密度Ｂｓ、（２）高透磁率μ、
（３）低Ｈｃ、および（４）高Ｈｋが挙げられる。The magnetization reversal in a general magnetic material depends on the domain wall motion mode in the easy axis direction and the magnetization rotation mode in the hard axis direction. In the domain wall motion mode, in a high frequency band of several MHz or more, the domain wall cannot follow the domain wall due to its inertial mass, and the characteristics of the magnetic material are greatly deteriorated. For this reason, when the magnetic material is used in a high frequency band, it is mainly magnetized using the magnetization rotation mode. When the magnetization rotation mode is used, the characteristics required for the magnetic material include (1) high saturation magnetic flux density Bs, (2) high magnetic permeability μ,
(3) low Hc and (4) high Hk.
【０００８】高い品質係数Ｑを得るためには（１）、
（２）、（４）が、高いインダクタンスＬを得るために
は（１）、（２）が、良好な直流重畳特性を得るために
は（２）が、大振幅の交流励磁を可能にする観点からは
（４）が要求される。ただし、 μ＝Ｂｓ／Ｈｋ という関係があるので、（２）と（４）とは相反する要
求となる。To obtain a high quality factor Q, (1)
(2) and (4) enable (1) and (2) to obtain high inductance L, and (2) enable to obtain good DC superposition characteristics, and enable large-amplitude AC excitation. From the viewpoint, (4) is required. However, since there is a relationship of μ = Bs / Hk, (2) and (4) are conflicting requirements.
【０００９】図３８に、磁性体の磁化困難軸方向の磁化
履歴曲線を示す。平面コイルに直流電流ＩDCおよびこれ
に重畳して交流電流ＩACが流される場合、磁性体には常
に直流磁界ＨDCが印加され、そこに交流磁界ＨACが印加
されるので、図３８に示される２点鎖線で挟まれた範囲
内の磁化曲線上で磁化が進行する。このとき、磁性体の
ＨｋがＨDCに比べあまり大きくないときは、磁性体が飽
和する。図３８をもとにして、ＨACとＢとの関係を図３
９に示す。また、図３８をもとにして、ＨACとμとの関
係を図４０に示す。図４０に示されるように、磁性体が
飽和することにより、μは急激に減少するため、飽和磁
界以上の交流磁界で励起することは損失を増加させるこ
とになる。このため、通常の磁性体をそのまま用いる場
合、μおよびＨｋのそれぞれについて中庸な特性を有す
る磁性体を用いるか、交流励磁により磁性体に印加され
る磁界がＨｋより小さいなるような電流の範囲で使用す
る必要がある。FIG. 38 shows a magnetization hysteresis curve of the magnetic material in the hard axis direction. When a DC current I DC and an AC current I AC superimposed on the DC current I DC are applied to the planar coil, a DC magnetic field H DC is always applied to the magnetic material, and the AC magnetic field H AC is applied thereto. The magnetization proceeds on the magnetization curve within the range between the two-dot chain lines shown. In this case, Hk of the magnetic body when not too large compared to H DC, magnetic material saturates. FIG. 3 shows the relationship between H AC and B based on FIG.
It is shown in FIG. FIG. 40 shows the relationship between H AC and μ based on FIG. As shown in FIG. 40, μ decreases rapidly due to the saturation of the magnetic material, so that exciting with an AC magnetic field equal to or higher than the saturation magnetic field increases the loss. For this reason, when a normal magnetic material is used as it is, a magnetic material having moderate characteristics for each of μ and Hk is used, or in a current range where the magnetic field applied to the magnetic material by AC excitation is smaller than Hk. Must be used.
【００１０】以上のように、特に直流重畳したときに
は、直流重畳した交流成分により発生する磁界により磁
性体が磁気飽和することにより諸特性が大きく劣化す
る。したがって、従来の平面型磁気素子は、電源のよう
に大電流を流す用途では、効率を保持することが困難で
あるという問題があった。As described above, especially when DC is superimposed, various characteristics are greatly deteriorated due to magnetic saturation of the magnetic material due to the magnetic field generated by the AC component superimposed with DC. Therefore, the conventional planar magnetic element has a problem that it is difficult to maintain the efficiency in an application where a large current flows, such as a power supply.
【００１１】[0011]
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、コイ
ルに大電流を流して使用した場合にも、磁性体の特性が
劣化することがなく、高効率の平面型磁気素子を提供す
ることにある。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a high-efficiency planar magnetic element which does not deteriorate the characteristics of a magnetic material even when a large current is applied to a coil. It is in.
【００１２】本発明に係る平面型磁気素子は、平面コイ
ルと、この平面コイルの両面に設けられた絶縁層と、こ
れらの両面に設けられた磁性体とを具備した平面型磁気
素子において、前記磁性体は一方向を磁化容易軸としこ
れに垂直な方向を磁化困難軸とする一軸磁気異方性が付
与されており、前記平面コイルは、これに通電される直
流成分により、前記磁性体に対して磁化困難軸に沿う磁
界を発生するように配置されており、さらに前記平面コ
イルに通電される直流成分により前記磁性体に作用する
磁化困難軸に沿う磁界の向きと反平行なバイアス磁界を
印加する手段が設けられていることを特徴とする。A planar magnetic element according to the present invention is a planar magnetic element comprising: a planar coil; insulating layers provided on both surfaces of the planar coil; and a magnetic material provided on both surfaces. The magnetic body is provided with uniaxial magnetic anisotropy in which one direction is an easy axis of magnetization and a direction perpendicular thereto is a hard axis of magnetization, and the planar coil is applied to the magnetic body by a DC component applied thereto. On the other hand, a bias magnetic field is arranged so as to generate a magnetic field along the hard axis, and a bias magnetic field which is anti-parallel to the direction of the magnetic field along the hard axis acting on the magnetic material due to a DC component applied to the planar coil. It is characterized in that means for applying is provided.
【００１３】本発明において、磁性体の困難軸方向かつ
平面コイルに通電される直流成分により発生し磁性体に
作用する磁界と反平行な方向にバイアス磁界を印加する
ためには、永久磁石を設ける、導体を設けて電流を流
す、またはコイルを設けて電流を流す、という手段が用
いられる。In the present invention, a permanent magnet is provided in order to apply a bias magnetic field in a hard axis direction of the magnetic body and in a direction antiparallel to a magnetic field generated by a DC component applied to the plane coil and acting on the magnetic body. Means are provided in which a conductor is provided and a current is supplied, or a coil is provided and a current is supplied.
【００１４】本発明の平面型磁気素子を構成する磁性体
は、平面コイルに通電される直流成分により発生し磁性
体に作用する磁界の方向が反転する位置で、不連続にな
っていてもよい。The magnetic material constituting the planar magnetic element of the present invention may be discontinuous at a position where the direction of the magnetic field generated by a DC component applied to the planar coil and acting on the magnetic material is reversed. .
【００１５】[0015]
【作用】以下、本発明の平面型磁気素子の作用を図面を
参照して説明する。図１は本発明の原理を示す模式図で
ある。磁性体２１にはＥ．Ａ方向を容易磁化軸とする一
軸磁気異方性が付与されている。コイル導体２２には、
直流電流ＩDCとこれに重畳される交流電流ＩACとが通電
される。この結果、磁性体２１には、直流電流により発
生する磁界ＨDCと交流電流により発生する磁界ＨACとが
印加される。そして、磁性体２１には、磁化困難軸方向
（Ｅ．Ａに対して垂直な方向）に、直流電流により発生
する磁界ＨDCと反平行となるようにバイアス磁界Ｈbias
が印加されている。The operation of the planar magnetic element of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic diagram showing the principle of the present invention. The magnetic body 21 has E.I. Uniaxial magnetic anisotropy with the easy magnetization axis in the A direction is provided. In the coil conductor 22,
The DC current I DC and the AC current I AC superimposed thereon are supplied. As a result, a magnetic field H DC generated by a direct current and a magnetic field H AC generated by an alternating current are applied to the magnetic body 21. A bias magnetic field H bias is applied to the magnetic body 21 so as to be antiparallel to a magnetic field H DC generated by a direct current in a hard axis direction (a direction perpendicular to EA).
Is applied.
【００１６】図２にコイル導体の通電される電流により
発生し磁性体に作用する磁界Ｈcoilと磁性体の磁束密度
Ｂとの関係を示す。図２中、実線は本発明の平面型磁気
素子に関する特性を示し、破線は従来の平面型磁気素子
に関する特性を示す。本発明の平面型磁気素子では、磁
性体に印加されるバイアス磁界Ｈbiasにより、磁束Ｂｒ
が発生している。このため、異方性磁界Ｈｋはみかけ上
大きくなるが、透磁率μは無バイアス時と同等である。
すなわち、その磁化曲線は、バイアス磁界が印加されて
いない場合の破線で示される磁化曲線を、図の右方向に
平行移動したのと等価な曲線となる。コイル導体に通電
される電流により、磁性体に直流磁界ＨDCおよび交流磁
界ＨACが印加される結果、図中の２点鎖線で挟まれた範
囲内の磁化曲線上で磁化が進行するが、本発明の平面型
磁気素子では磁性体が飽和しにくい。FIG. 2 shows the relationship between the magnetic field H coil generated by the current flowing through the coil conductor and acting on the magnetic material and the magnetic flux density B of the magnetic material. In FIG. 2, the solid line shows the characteristics of the planar magnetic element of the present invention, and the broken line shows the characteristics of the conventional planar magnetic element. In the planar magnetic element of the present invention, the magnetic flux Br is changed by the bias magnetic field H bias applied to the magnetic body.
Has occurred. Therefore, the anisotropic magnetic field Hk is apparently large, but the magnetic permeability μ is equal to that when no bias is applied.
That is, the magnetization curve is equivalent to a translation of the magnetization curve indicated by the broken line when the bias magnetic field is not applied to the right in the drawing. As a result of applying a DC magnetic field H DC and an AC magnetic field H AC to the magnetic material by a current flowing through the coil conductor, magnetization proceeds on a magnetization curve within a range between two-dot chain lines in the figure. In the planar magnetic element of the present invention, the magnetic material is not easily saturated.
【００１７】図３に、コイル導体に通電される交流成分
ＩACと平面インダクタのインダクタンスＬとの関係を示
す。バイアス磁界を印加した場合には、バイアス磁界を
印加しない場合に比べ、インダクタンスＬが高ＩACまで
一定に保たれる。したがって、本発明の平面型磁気素子
は、より大きな電流密度で使用することができ、高出力
の電源にも対応可能となる。FIG. 3 shows the relationship between the AC component I AC supplied to the coil conductor and the inductance L of the planar inductor. When the bias magnetic field is applied, the inductance L is kept constant up to the high I AC as compared with the case where no bias magnetic field is applied. Therefore, the planar magnetic element of the present invention can be used at a higher current density, and can be adapted to a high-output power supply.
【００１８】次に、図４は本発明の変形例の原理を示す
模式図である。磁性体２１ａ、２１ｂにはＥ．Ａ方向を
容易磁化軸とする一軸磁気異方性が付与されている。コ
イル導体２２ａ、２２ｂにはそれぞれ逆方向に、直流電
流ＩDCとこれに重畳される交流電流ＩACとが通電され
る。この結果、磁性体２１ａ、２１ｂにはそれぞれ、直
流電流により発生する磁界ＨDCと交流電流により発生す
る磁界ＨACとが印加される。このように、平面コイルが
スパイラルコイルである場合には、コイル導体２２ａ、
２２ｂにより発生する磁界の方向がコイルの中央を境に
して反転する。すなわち、磁性体２１ａ、２１ｂは、コ
イル導体２２ａ、２２ｂに通電される直流成分により発
生し各磁性体２１ａ、２１ｂに作用する磁界の方向が反
転する位置で不連続になっている。そして、磁性体２１
ａ、２１ｂにはそれぞれ、磁化困難軸方向（Ｅ．Ａに対
して垂直な方向）に、直流電流により発生する磁界ＨDC
と反平行となるようにバイアス磁界Ｈbiasが印加されて
いる。Next, FIG. 4 is a schematic view showing the principle of a modification of the present invention. The magnetic members 21a and 21b have E. coli. Uniaxial magnetic anisotropy with the easy magnetization axis in the A direction is provided. A direct current I DC and an alternating current I AC superimposed thereon are supplied to the coil conductors 22a and 22b in opposite directions. As a result, a magnetic field H DC generated by a direct current and a magnetic field H AC generated by an alternating current are applied to the magnetic bodies 21a and 21b, respectively. Thus, when the planar coil is a spiral coil, the coil conductor 22a,
The direction of the magnetic field generated by 22b is reversed around the center of the coil. That is, the magnetic bodies 21a and 21b are discontinuous at the positions where the directions of the magnetic fields generated by the DC components applied to the coil conductors 22a and 22b and acting on the magnetic bodies 21a and 21b are reversed. And the magnetic substance 21
a and 21b respectively have a magnetic field H DC generated by a direct current in a hard axis direction (a direction perpendicular to EA).
And a bias magnetic field H bias is applied so as to be antiparallel to
【００１９】このような平面型磁気素子でも、図２、３
に示したのと同様な効果が得られる。また、前述したよ
うに平面コイルがスパイラルコイルである場合には、平
面コイルから磁性体に印加される磁界の方向がコイルの
中央を境にして反転するので、バイアス磁界もコイルの
中央近傍を境にして反転させる必要がある。この場合、
磁性体が連続していると、バイアス磁界をコイルの中央
近傍を境にして反転させて効率的に印加することが困難
となる。これに対して、図４に示すように磁性体２１
ａ、２１ｂが不連続であると、それぞれの磁性体２１
ａ、２１ｂにバイアス磁界を効率的に印加できる。Even with such a planar magnetic element, FIGS.
The same effects as those described above can be obtained. Also, as described above, when the planar coil is a spiral coil, the direction of the magnetic field applied from the planar coil to the magnetic body is reversed around the center of the coil, so that the bias magnetic field is also located near the center of the coil. Need to be inverted. in this case,
If the magnetic material is continuous, it is difficult to invert the bias magnetic field around the center of the coil and apply it efficiently. On the other hand, as shown in FIG.
If a and 21b are discontinuous, each magnetic body 21
A bias magnetic field can be efficiently applied to a and 21b.
【００２０】[0020]
実施例１ Example 1
【００２１】図５、６、７はそれぞれ本実施例の平面イ
ンダクタを示す斜視図、縦断面図、平面図である。図５
〜７において、スパイラル平面コイル１の両面には絶縁
層２、３が設けられ、これらの両面には磁性体４、５が
設けられている。これらの磁性体４、５には、Ｅ．Ａ方
向を磁化容易軸とする一軸磁気異方性が付与されてい
る。スパイラル平面コイル１には、図７の破線矢印で示
す方向に直流電流ＩDCが通電され、これに重畳して交流
電流ＩACが通電される。この結果、磁性体４、５には、
磁化容易軸に垂直な方向に、直流電流ＩDCにより発生す
る磁界ＨDCと、交流電流ＩACにより発生する磁界ＨACと
が作用する。直流電流ＩDCにより発生する磁界ＨDCは、
磁性体４に対しては端部から中央部へ向かって内向き、
磁性体５に対しては中央部から端部へ向かって外向きと
なる。磁性体４、５の外側（磁性体４の上部および磁性
体５の下部）には、各磁性体の容易軸と平行になるよう
に端部の近傍に永久磁石６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂが設け
られている。図５の端面に永久磁石６ａ、６ｂ、７ａ、
７ｂの磁化の方向を示す。すなわち、永久磁石の磁化方
向に関しては、６ａと７ｂとが平行、６ｂと７ａとが平
行、６ａおよび７ｂと６ｂおよび７ａとが反平行に設定
されている。この結果、磁性体４、５には平面コイル１
に通電される直流成分により発生する磁界と反平行にバ
イアス磁界が印加される。FIGS. 5, 6, and 7 are a perspective view, a longitudinal sectional view, and a plan view, respectively, showing the planar inductor of this embodiment. FIG.
7, the insulating layers 2 and 3 are provided on both surfaces of the spiral planar coil 1, and the magnetic bodies 4 and 5 are provided on both surfaces. These magnetic materials 4 and 5 include E. coli. Uniaxial magnetic anisotropy in which the direction A is an easy axis of magnetization is provided. A direct current I DC is supplied to the spiral planar coil 1 in a direction indicated by a dashed arrow in FIG. 7, and an alternating current I AC is supplied superimposed thereon. As a result, the magnetic bodies 4 and 5 have
In a direction perpendicular to the easy axis, and a magnetic field H DC generated by the direct current I DC, and the magnetic field H AC generated by the AC current I AC is applied. The magnetic field H DC generated by the direct current I DC is
With respect to the magnetic body 4, inward from the end to the center,
The magnetic material 5 faces outward from the center toward the end. Permanent magnets 6a, 6b, 7a, and 7b are provided outside the magnetic members 4 and 5 (upper portions of the magnetic members 4 and lower portions of the magnetic members 5) near the ends so as to be parallel to the easy axes of the respective magnetic members. Is provided. The permanent magnets 6a, 6b, 7a,
7B shows the direction of magnetization of FIG. That is, regarding the magnetization direction of the permanent magnet, 6a and 7b are set to be parallel, 6b and 7a are set to be parallel, and 6a and 7b are set to be antiparallel to 6b and 7a. As a result, the planar coils 1 are
A bias magnetic field is applied in an anti-parallel to a magnetic field generated by a DC component that is supplied with current.
【００２２】このようにバイアス磁界を印加することに
より、異方性磁界Ｈｋはみかけ上大きくなるが、透磁率
μは無バイアス時と同等である。この場合、平面インダ
クタのインダクタンスＬは、平面コイル１に通電される
交流成分ＩACがより高い領域まで一定に保たれる。つま
り、より大きな電流密度で使用することができ、高出力
の電源などに対応できる。また、磁性体の透磁率μを高
く維持できるので、インダクタンスの絶対値を大きくす
ることができ、高効率を実現できる。したがって、大電
流で使用しても高効率の平面型磁気素子を提供できる。 実施例２By applying the bias magnetic field in this manner, the anisotropic magnetic field Hk apparently increases, but the magnetic permeability μ is equal to that when no bias is applied. In this case, the inductance L of the planar inductor is kept constant up to a region where the AC component I AC supplied to the planar coil 1 is higher. That is, it can be used with a higher current density, and can cope with a high-output power supply or the like. Further, since the magnetic permeability μ of the magnetic material can be maintained high, the absolute value of the inductance can be increased, and high efficiency can be realized. Therefore, a highly efficient planar magnetic element can be provided even when used with a large current. Example 2
【００２３】図８、図９はそれぞれ本実施例の平面イン
ダクタを示す斜視図、平面図である。本実施例の平面イ
ンダクタでは、実施例１の構成に加えて、磁性体４、５
の外側（磁性体４の上部および磁性体５の下部）におい
て、各磁性体の容易軸と平行になるように中央部（平面
コイルから磁性体に印加される磁界の方向が反転する位
置）の近傍に永久磁石６ｃ、６ｄ、７ｃ、７ｄが設けら
れている。永久磁石６ａ〜６ｄ、７ａ〜７ｄの磁化の方
向は図８の端面に示すように設定されており、磁性体
４、５には平面コイル１に通電される直流成分により発
生する磁界と反平行にバイアス磁界が印加される。この
ような構成でも、実施例１と同様な効果が得られる。 実施例３FIGS. 8 and 9 are a perspective view and a plan view, respectively, showing the planar inductor of this embodiment. In the planar inductor of the present embodiment, in addition to the configuration of the first embodiment,
Outside (the upper part of the magnetic body 4 and the lower part of the magnetic body 5), the central part (the position where the direction of the magnetic field applied from the planar coil to the magnetic body is reversed) so as to be parallel to the easy axis of each magnetic body. Permanent magnets 6c, 6d, 7c, 7d are provided in the vicinity. The direction of magnetization of the permanent magnets 6a to 6d and 7a to 7d is set as shown in the end face of FIG. 8, and the magnetic members 4 and 5 are antiparallel to a magnetic field generated by a DC component applied to the planar coil 1. Is applied with a bias magnetic field. Even with such a configuration, the same effect as in the first embodiment can be obtained. Example 3
【００２４】図１０は本実施例の平面インダクタを示す
斜視図である。本実施例の平面インダクタでは、磁性体
４の上部において容易軸と平行になるように中央部の近
傍に永久磁石６ｃ、６ｄが、磁性体５の下部において容
易軸と平行になるように端部の近傍に永久磁石７ａ、７
ｂがそれぞれ設けられている。永久磁石６ｃ、６ｄ、７
ａ、７ｂの磁化の方向は図１０の端面に示すように設定
されており、磁性体４、５には平面コイル１に通電され
る直流成分により発生する磁界と反平行にバイアス磁界
が印加される。このような構成でも、実施例１と同様な
効果が得られる。 実施例４FIG. 10 is a perspective view showing the planar inductor of this embodiment. In the planar inductor according to the present embodiment, the permanent magnets 6c and 6d are provided near the center so that the upper part of the magnetic body 4 is parallel to the easy axis, and the end parts of the planar inductor are parallel to the easy axis below the magnetic body 5. Near the permanent magnets 7a, 7
b are provided respectively. Permanent magnets 6c, 6d, 7
The directions of magnetization of a and 7b are set as shown in the end face of FIG. 10, and a bias magnetic field is applied to the magnetic bodies 4 and 5 in an antiparallel to a magnetic field generated by a DC component applied to the planar coil 1. You. Even with such a configuration, the same effect as in the first embodiment can be obtained. Example 4
【００２５】図１１は本実施例の平面インダクタを示す
斜視図である。本実施例の平面インダクタでは、磁性体
４の上部において容易軸と平行になるように中央部の近
傍に永久磁石６ｃ、６ｄが、磁性体５の下部において容
易軸と平行になるように中央部の近傍に永久磁石７ｃ、
７ｄがそれぞれ設けられている。永久磁石６ｃ、６ｄ、
７ｃ、７ｄの磁化の方向は図１１の端面に示すように設
定されており、磁性体４、５には平面コイル１に通電さ
れる直流成分により発生する磁界と反平行にバイアス磁
界が印加される。このような構成でも、実施例１と同様
な効果が得られる。 実施例５FIG. 11 is a perspective view showing the planar inductor of this embodiment. In the planar inductor of the present embodiment, the permanent magnets 6c and 6d are provided near the central portion of the upper portion of the magnetic body 4 so as to be parallel to the easy axis, and the central portions of the lower portion of the magnetic material 5 are parallel to the easy axis. Near the permanent magnet 7c,
7d are provided. Permanent magnets 6c, 6d,
The directions of magnetization of 7c and 7d are set as shown in the end face of FIG. 11, and a bias magnetic field is applied to the magnetic members 4 and 5 in an anti-parallel to a magnetic field generated by a DC component applied to the planar coil 1. You. Even with such a configuration, the same effect as in the first embodiment can be obtained. Example 5
【００２６】図１２、図１３はそれぞれ本実施例の平面
インダクタを示す斜視図、平面図である。本実施例の平
面インダクタでは、各磁性体の容易軸と平行になるよう
に磁性体４と磁性体５との端部の間に永久磁石８ａ、８
ｂが設けられている。永久磁石８ａ、８ｂの磁化の方向
は図１２に示すようにいずれも下向きに設定されてお
り、磁性体４、５には平面コイル１に通電される直流成
分により発生する磁界と反平行にバイアス磁界が印加さ
れる。ここで、本実施例では磁性体間に永久磁石を設け
た関係上、実施例１〜４とは平面コイルの端子を取り出
す位置が異なっているが、平面コイルに通電される直流
電流により発生し磁性体に印加される磁界の方向はこれ
らの実施例と同一である。このような構成でも、実施例
１と同様な効果が得られる。 実施例６FIGS. 12 and 13 are a perspective view and a plan view, respectively, showing the planar inductor of this embodiment. In the planar inductor according to the present embodiment, the permanent magnets 8a, 8 are located between the ends of the magnetic body 4 and the magnetic body 5 so as to be parallel to the easy axis of each magnetic body.
b is provided. The direction of magnetization of each of the permanent magnets 8a and 8b is set to be downward as shown in FIG. 12, and the magnetic members 4 and 5 are biased in antiparallel to a magnetic field generated by a DC component applied to the planar coil 1. A magnetic field is applied. Here, in the present embodiment, the positions where the terminals of the planar coil are taken out are different from those of the first to fourth embodiments due to the provision of the permanent magnet between the magnetic materials. The direction of the magnetic field applied to the magnetic body is the same as in these embodiments. Even with such a configuration, the same effect as in the first embodiment can be obtained. Example 6
【００２７】図１４は本実施例の平面インダクタを示す
斜視図である。本実施例の平面インダクタでは、磁性体
４と磁性体５との端部の間に永久磁石８ａ、８ｂが設け
られ、かつ磁性体４の上部および磁性体５の下部におい
て各磁性体の容易軸と平行になるように中央部の近傍に
永久磁石６ｃおよび７ｄが設けられている。永久磁石８
ａ、８ｂ、６ｃ、７ｄの磁化の方向は図１４に示すよう
に設定されており、磁性体４、５には平面コイル１に通
電される直流成分により発生する磁界と反平行にバイア
ス磁界が印加される。このような構成でも、実施例１と
同様な効果が得られる。 実施例７FIG. 14 is a perspective view showing the planar inductor of this embodiment. In the planar inductor of this embodiment, permanent magnets 8a and 8b are provided between the ends of the magnetic body 4 and the magnetic body 5, and the easy axis of each magnetic body is provided above the magnetic body 4 and below the magnetic body 5. Permanent magnets 6c and 7d are provided near the central portion so as to be parallel to. Permanent magnet 8
The directions of magnetization of a, 8b, 6c, and 7d are set as shown in FIG. 14, and a bias magnetic field is applied to the magnetic members 4 and 5 in an anti-parallel to a magnetic field generated by a DC component applied to the planar coil 1. Applied. Even with such a configuration, the same effect as in the first embodiment can be obtained. Example 7
【００２８】図１５は本実施例の平面インダクタを示す
斜視図である。本実施例の平面インダクタでは、磁性体
４と磁性体５との端部の間に永久磁石８ａ、８ｂが設け
られ、かつ磁性体４の上部および磁性体５の下部に各磁
性体の容易軸と平行になるように中央部の近傍に永久磁
石６ｃ、６ｄ、７ｃ、７ｄが設けられている。永久磁石
８ａ、８ｂ、６ｃ、６ｄ、７ｃ、７ｄの磁化の方向は図
１５に示すように設定されており、磁性体４、５には平
面コイル１に通電される直流成分により発生する磁界と
反平行にバイアス磁界が印加される。このような構成で
も、実施例１と同様な効果が得られる。 実施例８FIG. 15 is a perspective view showing the planar inductor of this embodiment. In the planar inductor of this embodiment, permanent magnets 8a and 8b are provided between the ends of the magnetic body 4 and the magnetic body 5, and the easy axis of each magnetic body is provided above the magnetic body 4 and below the magnetic body 5. Permanent magnets 6c, 6d, 7c, 7d are provided near the center so as to be in parallel with. The magnetization directions of the permanent magnets 8a, 8b, 6c, 6d, 7c, 7d are set as shown in FIG. A bias magnetic field is applied antiparallel. Even with such a configuration, the same effect as in the first embodiment can be obtained. Example 8
【００２９】図１６および図１７はそれぞれ本実施例の
平面インダクタを示す斜視図および平面図である。本実
施例の平面インダクタでは、平面コイル１の両面に絶縁
層を介して設けられる磁性体が、磁性体４ａ、４ｂ、５
ａ、５ｂからなっていること以外は実施例１と同様の構
成を有する。すなわち、平面コイル１の両面の磁性体
は、平面コイル１に通電される直流成分により発生して
磁性体に作用する磁界の方向が反転する位置（平面コイ
ル１の中央部）で不連続になっている。このような構成
でも実施例１と同様な効果が得られる。さらに、永久磁
石６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂから、磁性体４ａ、４ｂ、５
ａ、５ｂへ効率的にバイアス磁界を印加できる。 実施例９FIGS. 16 and 17 are a perspective view and a plan view, respectively, showing the planar inductor of this embodiment. In the planar inductor of the present embodiment, the magnetic materials provided on both surfaces of the planar coil 1 via the insulating layers are the magnetic materials 4a, 4b, 5
It has the same configuration as that of the first embodiment except that it is composed of a and 5b. That is, the magnetic material on both sides of the planar coil 1 is discontinuous at a position (central portion of the planar coil 1) where the direction of the magnetic field generated by the DC component applied to the planar coil 1 and acting on the magnetic material is reversed. ing. With such a configuration, the same effect as in the first embodiment can be obtained. Further, from the permanent magnets 6a, 6b, 7a, 7b, the magnetic bodies 4a, 4b, 5
A bias magnetic field can be efficiently applied to a and 5b. Example 9
【００３０】図１８は本実施例の平面インダクタを示す
斜視図である。本実施例の平面インダクタは、平面コイ
ル１の両面に絶縁層を介して設けられる磁性体が磁性体
４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂからなり、平面コイル１に通電
される直流成分により発生して磁性体に作用する磁界の
方向が反転する位置（平面コイル１の中央部）で不連続
になっていること以外は実施例２（図８、図９）と同様
の構成を有する。このような構成でも実施例８と同様な
効果が得られる。 実施例１０FIG. 18 is a perspective view showing the planar inductor of this embodiment. In the planar inductor of the present embodiment, the magnetic material provided on both surfaces of the planar coil 1 via an insulating layer is composed of magnetic materials 4a, 4b, 5a, and 5b. It has the same configuration as that of the second embodiment (FIGS. 8 and 9) except that it is discontinuous at the position where the direction of the magnetic field acting on the body is reversed (the center of the planar coil 1). With such a configuration, the same effect as in the eighth embodiment can be obtained. Example 10
【００３１】図１９は本実施例の平面インダクタを示す
斜視図である。本実施例の平面インダクタは、平面コイ
ル１の両面に絶縁層を介して設けられる磁性体が磁性体
４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂからなり、平面コイル１に通電
される直流成分により発生して磁性体に作用する磁界の
方向が反転する位置（平面コイル１の中央部）で不連続
になっていること以外は実施例３（図１０）と同様の構
成を有する。このような構成でも実施例８と同様な効果
が得られる。 実施例１１FIG. 19 is a perspective view showing the planar inductor of this embodiment. In the planar inductor of the present embodiment, the magnetic material provided on both surfaces of the planar coil 1 via an insulating layer is composed of magnetic materials 4a, 4b, 5a, and 5b. It has the same configuration as that of the third embodiment (FIG. 10) except that it is discontinuous at the position where the direction of the magnetic field acting on the body is reversed (the center of the planar coil 1). With such a configuration, the same effect as in the eighth embodiment can be obtained. Example 11
【００３２】図２０は本実施例の平面インダクタを示す
斜視図である。本実施例の平面インダクタは、平面コイ
ル１の両面に絶縁層を介して設けられる磁性体が磁性体
４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂからなり、平面コイル１に通電
される直流成分により発生して磁性体に作用する磁界の
方向が反転する位置（平面コイル１の中央部）で不連続
になっていること以外は実施例４（図１１）と同様の構
成を有する。このような構成でも実施例８と同様な効果
が得られる。 実施例１２FIG. 20 is a perspective view showing the planar inductor of this embodiment. In the planar inductor of the present embodiment, the magnetic material provided on both surfaces of the planar coil 1 via an insulating layer is composed of magnetic materials 4a, 4b, 5a, and 5b. It has the same configuration as that of the fourth embodiment (FIG. 11) except that it is discontinuous at the position where the direction of the magnetic field acting on the body is reversed (the center of the planar coil 1). With such a configuration, the same effect as in the eighth embodiment can be obtained. Example 12
【００３３】図２１は本実施例の平面インダクタを示す
斜視図である。本実施例の平面インダクタは、平面コイ
ル１の両面に絶縁層を介して設けられる磁性体が磁性体
４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂからなり、平面コイル１に通電
される直流成分により発生して磁性体に作用する磁界の
方向が反転する位置（平面コイル１の中央部）で不連続
になっていること以外は実施例５（図１２、図１３）と
同様の構成を有する。このような構成でも実施例８と同
様な効果が得られる。 実施例１３FIG. 21 is a perspective view showing the planar inductor of this embodiment. In the planar inductor of the present embodiment, the magnetic material provided on both surfaces of the planar coil 1 via an insulating layer is composed of magnetic materials 4a, 4b, 5a, and 5b. It has the same configuration as that of the fifth embodiment (FIGS. 12 and 13) except that it is discontinuous at the position where the direction of the magnetic field acting on the body is reversed (the center of the planar coil 1). With such a configuration, the same effect as in the eighth embodiment can be obtained. Example 13
【００３４】図２２は本実施例の平面インダクタを示す
斜視図である。本実施例の平面インダクタは、平面コイ
ル１の両面に絶縁層を介して設けられる磁性体が磁性体
４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂからなり、平面コイル１に通電
される直流成分により発生して磁性体に作用する磁界の
方向が反転する位置（平面コイル１の中央部）で不連続
になっていること以外は実施例６（図１４）と同様の構
成を有する。このような構成でも実施例８と同様な効果
が得られる。 実施例１４FIG. 22 is a perspective view showing the planar inductor of this embodiment. In the planar inductor of the present embodiment, the magnetic material provided on both surfaces of the planar coil 1 via an insulating layer is composed of magnetic materials 4a, 4b, 5a, and 5b. It has the same configuration as that of the sixth embodiment (FIG. 14) except that it is discontinuous at the position where the direction of the magnetic field acting on the body is reversed (the center of the planar coil 1). With such a configuration, the same effect as in the eighth embodiment can be obtained. Example 14
【００３５】図２３は本実施例の平面インダクタを示す
斜視図である。本実施例の平面インダクタは、平面コイ
ル１の両面に絶縁層を介して設けられる磁性体が磁性体
４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂからなり、平面コイル１に通電
される直流成分により発生して磁性体に作用する磁界の
方向が反転する位置（平面コイル１の中央部）で不連続
になっていること以外は実施例７（図１５）と同様の構
成を有する。このような構成でも実施例８と同様な効果
が得られる。 実施例１５FIG. 23 is a perspective view showing the planar inductor of this embodiment. In the planar inductor of the present embodiment, the magnetic material provided on both surfaces of the planar coil 1 via an insulating layer is composed of magnetic materials 4a, 4b, 5a, and 5b. It has the same configuration as that of the seventh embodiment (FIG. 15) except that it is discontinuous at the position where the direction of the magnetic field acting on the body is reversed (the center of the planar coil 1). With such a configuration, the same effect as in the eighth embodiment can be obtained. Example 15
【００３６】図２４および図２５はそれぞれ本実施例の
平面インダクタを示す斜視図および平面図である。図２
４、２５において、スパイラル平面コイル１の両面には
絶縁層が設けられ、これらの両面には磁性体４、５が設
けられている。これらの磁性体４、５には、Ｅ．Ａ方向
を磁化容易軸とする一軸磁気異方性が付与されている。
スパイラル平面コイル１には、図２５の矢印で示す方向
に直流電流ＩDCが通電され、これに重畳して交流電流Ｉ
ACが通電される。この結果、磁性体４、５には、磁化容
易軸に垂直な方向に、直流電流ＩDCにより発生する磁界
ＨDCと、交流電流ＩACにより発生する磁界ＨACとが作用
する。直流電流ＩDCにより発生する磁界ＨDCは、磁性体
４に対しては端部から中央部へ向かって内向き、磁性体
５に対しては中央部から端部へ向かって外向きとなる。
本実施例でも、磁性体間に導体を設けた関係上、他の実
施例とは平面コイルの端子を取り出す位置が異なってい
るが、平面コイルに通電される直流電流により発生し磁
性体に印加される磁界の方向は他の実施例と同一であ
る。磁性体４、５の端部の間には、各磁性体の容易軸と
平行になるように導体９ａ、９ｂが設けられている。こ
れらの導体９ａ、９ｂにはそれぞれ図２５の矢印で示す
方向に電流が流され、磁性体４、５には図２４の端面に
矢印で示す方向にバイアス磁界が印加される。この結
果、磁性体４、５には平面コイル１に通電される直流成
分により発生する磁界と反平行にバイアス磁界が印加さ
れる。FIGS. 24 and 25 are a perspective view and a plan view, respectively, showing the planar inductor of this embodiment. FIG.
In 4 and 25, an insulating layer is provided on both surfaces of the spiral planar coil 1, and magnetic materials 4 and 5 are provided on both surfaces. These magnetic materials 4 and 5 include E. coli. Uniaxial magnetic anisotropy in which the direction A is an easy axis of magnetization is provided.
A direct current I DC is supplied to the spiral planar coil 1 in a direction indicated by an arrow in FIG.
AC is turned on. As a result, the magnetic body 4 and 5, in a direction perpendicular to the easy axis, and a magnetic field H DC generated by the direct current I DC, and the magnetic field H AC generated by the AC current I AC is applied. The magnetic field H DC generated by the DC current I DC is directed inward from the end toward the center with respect to the magnetic body 4 and directed outward from the center toward the end with respect to the magnetic body 5.
This embodiment also differs from the other embodiments in the position at which the terminals of the plane coil are taken out due to the provision of the conductor between the magnetic bodies, but is generated by a DC current applied to the plane coil and applied to the magnetic body. The direction of the applied magnetic field is the same as in the other embodiments. Conductors 9a and 9b are provided between the ends of the magnetic bodies 4 and 5 so as to be parallel to the easy axis of each magnetic body. A current flows through these conductors 9a and 9b in the directions shown by arrows in FIG. 25, and a bias magnetic field is applied to the end faces of FIG. As a result, a bias magnetic field is applied to the magnetic members 4 and 5 in an anti-parallel to a magnetic field generated by a DC component that is supplied to the planar coil 1.
【００３７】このようにバイアス磁界を印加することに
より、異方性磁界Ｈｋはみかけ上大きくなるが、透磁率
μは無バイアス時と同等である。この場合、平面インダ
クタのインダクタンスＬは、平面コイル１に通電される
交流成分ＩACがより高い領域まで一定に保たれる。つま
り、より大きな電流密度で使用することができ、高出力
の電源などに対応できる。また、磁性体の透磁率μを高
く維持できるので、インダクタンスの絶対値を大きくす
ることができ、高効率を実現できる。したがって、大電
流で使用しても高効率の平面型磁気素子を提供できる。By applying the bias magnetic field in this manner, the anisotropic magnetic field Hk apparently increases, but the magnetic permeability μ is equal to that when no bias is applied. In this case, the inductance L of the planar inductor is kept constant up to a region where the AC component I AC supplied to the planar coil 1 is higher. That is, it can be used with a higher current density, and can cope with a high-output power supply or the like. Further, since the magnetic permeability μ of the magnetic material can be maintained high, the absolute value of the inductance can be increased, and high efficiency can be realized. Therefore, a highly efficient planar magnetic element can be provided even when used with a large current.
【００３８】さらに、バイアス磁界の大きさは導体９
ａ、９ｂに通電される直流電流によって制御できるの
で、平面コイル１において直流電流に重畳される交流電
流の大きさに応じて、最適なバイアス磁界を印加でき
る。したがって、使用条件を広範囲に設定できる。 実施例１６Further, the magnitude of the bias magnetic field is
Since the control can be performed by the DC current supplied to the a and 9b, an optimum bias magnetic field can be applied according to the magnitude of the AC current superimposed on the DC current in the planar coil 1. Therefore, use conditions can be set in a wide range. Example 16
【００３９】図２６は本実施例の平面インダクタを示す
斜視図である。本実施例の平面インダクタでは、実施例
１５（図２４、図２５）の構成に加えて、磁性体４の上
部および磁性体５の下部において、各磁性体の容易軸と
平行になるように中央部の近傍にそれぞれ導体１０ｃ、
１０ｄ、１１ｃ、１１ｄが設けられている。これらの導
体１０ｃ、１０ｄ、１１ｃ、１１ｄには、磁性体に、平
面コイル１に通電される直流成分により発生し磁性体に
作用する磁界と反平行なバイアス磁界を印加できるよう
に電流が流される。このような構成でも、実施例１５と
同様な効果を得ることができる。 実施例１７FIG. 26 is a perspective view showing the planar inductor of this embodiment. In the planar inductor of this embodiment, in addition to the configuration of the fifteenth embodiment (FIGS. 24 and 25), the center of the upper part of the magnetic body 4 and the lower part of the magnetic body 5 are parallel to the easy axes of the magnetic bodies. Conductors 10c near the portion, respectively.
10d, 11c and 11d are provided. A current is applied to these conductors 10c, 10d, 11c, and 11d so that a bias magnetic field generated by a DC component applied to the planar coil 1 and acting on the magnetic body and antiparallel to the magnetic body can be applied to the magnetic body. . Even with such a configuration, the same effect as in the fifteenth embodiment can be obtained. Example 17
【００４０】図２７は本実施例の平面インダクタを示す
斜視図である。本実施例の平面インダクタでは、磁性体
４の上部および磁性体５の下部において、各磁性体の容
易軸と平行になるように端部の近傍および中央部の近傍
にそれぞれ導体１０ａ〜１０ｄ、１１ａ〜１１ｄが設け
られている。これらの導体１０ａ〜１０ｄ、１１ａ〜１
１ｄには、磁性体に、平面コイル１に通電される直流成
分により発生し磁性体に作用する磁界と反平行なバイア
ス磁界を印加できるように電流が流される。このような
構成でも、実施例１５と同様な効果を得ることができ
る。 実施例１８FIG. 27 is a perspective view showing the planar inductor of this embodiment. In the planar inductor of the present embodiment, conductors 10a to 10d and 11a are provided near the ends and near the center of the upper part of the magnetic body 4 and the lower part of the magnetic body 5 so as to be parallel to the easy axis of each magnetic body. To 11d are provided. These conductors 10a to 10d, 11a to 1
1d, a current is applied to the magnetic body so that a bias magnetic field generated by a DC component applied to the planar coil 1 and acting on the magnetic body can be applied in an anti-parallel manner. Even with such a configuration, the same effect as in the fifteenth embodiment can be obtained. Example 18
【００４１】図２８は本実施例の平面インダクタを示す
斜視図である。本実施例の平面インダクタは、平面コイ
ル１の両面に絶縁層を介して設けられる磁性体が、磁性
体４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂからなっていること以外は実
施例１５（図２４、図２５）と同様の構成を有する。す
なわち、平面コイル１の両面の磁性体は、平面コイル１
に通電される直流成分により発生して磁性体に作用する
磁界の方向が反転する位置（平面コイル１の中央部）で
不連続になっている。このような構成でも実施例１５と
同様な効果が得られる。さらに、導体９ａ、９ｂに電流
を流すことにより、磁性体４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂへ効
率的にバイアス磁界を印加できる。 実施例１９FIG. 28 is a perspective view showing the planar inductor of this embodiment. The planar inductor of the present embodiment is different from the planar inductor of Embodiment 15 (FIGS. 24 and 25) except that the magnetic material provided on both surfaces of the planar coil 1 via the insulating layer is composed of the magnetic materials 4a, 4b, 5a, and 5b. ). That is, the magnetic material on both sides of the planar coil 1
Are discontinuous at the position (the center of the planar coil 1) where the direction of the magnetic field generated by the DC component applied to the magnetic material and acting on the magnetic body is reversed. With such a configuration, the same effect as in the fifteenth embodiment can be obtained. Further, by applying a current to the conductors 9a and 9b, a bias magnetic field can be efficiently applied to the magnetic bodies 4a, 4b, 5a and 5b. Example 19
【００４２】図２９は本実施例の平面インダクタを示す
斜視図である。本実施例の平面インダクタは、平面コイ
ル１の両面に絶縁層を介して設けられる磁性体が、磁性
体４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂからなり、平面コイル１に通
電される直流成分により発生して磁性体に作用する磁界
の方向が反転する位置（平面コイル１の中央部）で不連
続になっていること以外は実施例１６（図２６）と同様
の構成を有する。このような構成でも実施例１８と同様
な効果が得られる。 実施例２０FIG. 29 is a perspective view showing the planar inductor of this embodiment. In the planar inductor of the present embodiment, the magnetic material provided on both surfaces of the planar coil 1 via the insulating layer is composed of the magnetic materials 4a, 4b, 5a, and 5b. It has the same configuration as that of the sixteenth embodiment (FIG. 26) except that it is discontinuous at the position where the direction of the magnetic field acting on the magnetic body is reversed (the center of the planar coil 1). With such a configuration, the same effect as that of the eighteenth embodiment can be obtained. Example 20
【００４３】図３０は本実施例の平面インダクタを示す
斜視図である。本実施例の平面インダクタは、平面コイ
ル１の両面に絶縁層を介して設けられる磁性体が、磁性
体４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂからなり、平面コイル１に通
電される直流成分により発生して磁性体に作用する磁界
の方向が反転する位置（平面コイル１の中央部）で不連
続になっているっていること以外は実施例１７（図２
７）と同様の構成を有する。このような構成でも実施例
１８と同様な効果が得られる。 実施例２１FIG. 30 is a perspective view showing the planar inductor of this embodiment. In the planar inductor of the present embodiment, the magnetic material provided on both surfaces of the planar coil 1 via the insulating layer is composed of the magnetic materials 4a, 4b, 5a, and 5b. Example 17 (FIG. 2) except that the magnetic field acting on the magnetic material is discontinuous at the position where the direction of the magnetic field is reversed (the center of the planar coil 1).
It has the same configuration as 7). With such a configuration, the same effect as that of the eighteenth embodiment can be obtained. Example 21
【００４４】図３１および図３２は本実施例の平面イン
ダクタの斜視図および縦断面図である。図３１および図
３２において、スパイラル平面コイル１上には絶縁層１
２を介して、スパイラル平面コイル１と同一のパターン
形状を有するスパイラル平面コイル１３が積層されてい
る。これらの両面には絶縁層２、３が設けられ、さらに
これらの両面には磁性体４、５が設けられている。これ
らの磁性体４、５には、Ｅ．Ａ方向を磁化容易軸とする
一軸磁気異方性が付与されている。スパイラル平面コイ
ル１には、例えば実施例１の場合と同じ方向に直流電流
ＩDCが通電され、これに重畳して交流電流ＩACが通電さ
れる。この結果、磁性体４、５には、磁化容易軸に垂直
な方向に、直流電流ＩDCにより発生する磁界ＨDCと、交
流電流ＩACにより発生する磁界ＨACとが作用する。直流
電流ＩDCにより発生する磁界ＨDCは、磁性体４に対して
は端部から中央部へ向かって内向き、磁性体５に対して
は中央部から端部へ向かって外向きとなる。一方、スパ
イラル平面コイル１３には、スパイラル平面コイル１に
通電される直流電流の方向と反対方向に直流電流が通電
される。この結果、磁性体４、５には平面コイル１に通
電される直流成分により発生する磁界と反平行にバイア
ス磁界が印加される。FIGS. 31 and 32 are a perspective view and a longitudinal sectional view of the planar inductor of this embodiment. 31 and 32, an insulating layer 1 is provided on the spiral planar coil 1.
2, a spiral planar coil 13 having the same pattern shape as the spiral planar coil 1 is laminated. Insulating layers 2 and 3 are provided on both surfaces thereof, and magnetic bodies 4 and 5 are provided on both surfaces thereof. These magnetic materials 4 and 5 include E. coli. Uniaxial magnetic anisotropy in which the direction A is an easy axis of magnetization is provided. For example, a direct current I DC is supplied to the spiral planar coil 1 in the same direction as that of the first embodiment, and an alternating current I AC is supplied to overlap with the direct current I DC . As a result, the magnetic body 4 and 5, in a direction perpendicular to the easy axis, and a magnetic field H DC generated by the direct current I DC, and the magnetic field H AC generated by the AC current I AC is applied. The magnetic field H DC generated by the DC current I DC is directed inward from the end toward the center with respect to the magnetic body 4 and directed outward from the center toward the end with respect to the magnetic body 5. On the other hand, a DC current is applied to the spiral planar coil 13 in a direction opposite to the direction of the DC current applied to the spiral planar coil 1. As a result, a bias magnetic field is applied to the magnetic members 4 and 5 in an anti-parallel to a magnetic field generated by a DC component that is supplied to the planar coil 1.
【００４５】このようにバイアス磁界を印加することに
より、異方性磁界Ｈｋはみかけ上大きくなるが、透磁率
μは無バイアス時と同等である。この場合、平面インダ
クタのインダクタンスＬは、平面コイル１に通電される
交流成分ＩACがより高い領域まで一定に保たれる。つま
り、より大きな電流密度で使用することができ、高出力
の電源などに対応できる。また、磁性体の透磁率μを高
く維持できるので、インダクタンスの絶対値を大きくす
ることができ、高効率を実現できる。したがって、大電
流で使用しても高効率の平面型磁気素子を提供できる。By applying the bias magnetic field in this manner, the anisotropic magnetic field Hk increases apparently, but the magnetic permeability μ is equal to that when no bias is applied. In this case, the inductance L of the planar inductor is kept constant up to a region where the AC component I AC supplied to the planar coil 1 is higher. That is, it can be used with a higher current density, and can cope with a high-output power supply or the like. Further, since the magnetic permeability μ of the magnetic material can be maintained high, the absolute value of the inductance can be increased, and high efficiency can be realized. Therefore, a highly efficient planar magnetic element can be provided even when used with a large current.
【００４６】さらに、バイアス磁界の大きさは平面コイ
ル１３に通電される直流電流によって制御できるので、
平面コイル１において直流電流に重畳される交流電流の
大きさに応じて、最適なバイアス磁界を印加できる。し
たがって、使用条件を広範囲に設定できる。 実施例２２Further, since the magnitude of the bias magnetic field can be controlled by the DC current supplied to the planar coil 13,
An optimum bias magnetic field can be applied according to the magnitude of the alternating current superimposed on the direct current in the planar coil 1. Therefore, use conditions can be set in a wide range. Example 22
【００４７】図３３は本実施例の平面インダクタを示す
斜視図である。本実施例の平面インダクタは、スパイラ
ル平面コイル１の両面に絶縁層を介して、スパイラル平
面コイル１と同一のパターン形状を有するスパイラル平
面コイル１３ａおよび１３ｂが設けられ、これらの両面
に絶縁層２、３が設けられ、さらにこれらの両面に磁性
体４、５が設けられた構成を有する。スパイラル平面コ
イル１３ａおよび１３ｂには、スパイラル平面コイル１
に通電される直流電流の方向と反対方向に直流電流が通
電され、磁性体４、５には平面コイル１に通電される直
流成分により発生する磁界と反平行にバイアス磁界が印
加される。このような構成でも、実施例２１と同様な効
果が得られる。 実施例２３FIG. 33 is a perspective view showing the planar inductor of this embodiment. In the planar inductor of this embodiment, spiral planar coils 13a and 13b having the same pattern shape as the spiral planar coil 1 are provided on both surfaces of the spiral planar coil 1 via insulating layers, and the insulating layers 2 and 3 are provided, and magnetic members 4 and 5 are further provided on both surfaces thereof. The spiral planar coils 13a and 13b include the spiral planar coil 1
A DC current is applied in a direction opposite to the direction of the DC current applied to the flat coil 1, and a bias magnetic field is applied to the magnetic bodies 4 and 5 in an anti-parallel to a magnetic field generated by a DC component applied to the planar coil 1. With such a configuration, the same effect as that of the twenty-first embodiment can be obtained. Example 23
【００４８】図３４は本実施例の平面インダクタを示す
斜視図である。本実施例の平面インダクタは、スパイラ
ル平面コイル１の両面に絶縁層が設けられ、これらの両
面に磁性体４、５が設けられた、さらにこれらの両面に
スパイラル平面コイル１と同一のパターン形状を有する
スパイラル平面コイル１３ａおよび１３ｂが設けられた
構成を有する。スパイラル平面コイル１３ａおよび１３
ｂには、スパイラル平面コイル１に通電される直流電流
の方向と反対方向に直流電流が通電され、磁性体４、５
には平面コイル１に通電される直流成分により発生する
磁界と反平行にバイアス磁界が印加される。このような
構成でも、実施例２１と同様な効果が得られる。 実施例２４FIG. 34 is a perspective view showing the planar inductor of this embodiment. The planar inductor of this embodiment has an insulating layer provided on both sides of the spiral planar coil 1, magnetic materials 4 and 5 provided on both sides thereof, and has the same pattern shape as the spiral planar coil 1 on both sides. The spiral planar coils 13a and 13b are provided. Spiral planar coils 13a and 13
b, a DC current is applied in a direction opposite to the direction of the DC current applied to the spiral planar coil 1,
A bias magnetic field is applied antiparallel to a magnetic field generated by a DC component supplied to the planar coil 1. With such a configuration, the same effect as that of the twenty-first embodiment can be obtained. Example 24
【００４９】図３５は本実施例の平面インダクタを示す
斜視図である。本実施例の平面インダクタにおいては、
平面コイル１の両面に絶縁層を介して設けられる磁性体
が、磁性体４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂからなっていること
以外は実施例２０（図３１、図３２）と同様の構成を有
する。すなわち、平面コイル１の両面の磁性体は、平面
コイル１に通電される直流成分により発生して磁性体に
作用する磁界の方向が反転する位置（平面コイル１の中
央部）で不連続になっている。このような構成でも実施
例２１と同様な効果が得られる。さらに、永久磁石６
ａ、６ｂ、７ａ、７ｂから、磁性体４ａ、４ｂ、５ａ、
５ｂへ効率的にバイアス磁界を印加できる。 実施例２５FIG. 35 is a perspective view showing the planar inductor of this embodiment. In the planar inductor of the present embodiment,
It has the same configuration as that of the twentieth embodiment (FIGS. 31 and 32) except that the magnetic material provided on both surfaces of the planar coil 1 via the insulating layer is composed of the magnetic materials 4a, 4b, 5a, and 5b. That is, the magnetic material on both sides of the planar coil 1 is discontinuous at a position (central portion of the planar coil 1) where the direction of the magnetic field generated by the DC component applied to the planar coil 1 and acting on the magnetic material is reversed. ing. With such a configuration, the same effect as that of the twenty-first embodiment can be obtained. Further, the permanent magnet 6
a, 6b, 7a, 7b, the magnetic bodies 4a, 4b, 5a,
5b can be efficiently applied with a bias magnetic field. Example 25
【００５０】図３６は本実施例の平面インダクタを示す
斜視図である。本実施例の平面インダクタにおいては、
平面コイル１の両面に絶縁層を介して設けられる磁性体
が磁性体４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂからなり、平面コイル
１に通電される直流成分により発生して磁性体に作用す
る磁界の方向が反転する位置（平面コイル１の中央部）
で不連続になっていること以外は実施例２２（図３３）
と同様の構成を有する。このような構成でも実施例２４
と同様な効果が得られる。 実施例２６FIG. 36 is a perspective view showing the planar inductor of this embodiment. In the planar inductor of the present embodiment,
The magnetic material provided on both surfaces of the planar coil 1 via an insulating layer is composed of magnetic materials 4a, 4b, 5a, and 5b, and the direction of the magnetic field generated by a DC component applied to the planar coil 1 and acting on the magnetic material is changed. Inversion position (the center of the planar coil 1)
Example 22 (FIG. 33) except that the data was discontinuous in FIG.
Has the same configuration as Even in such a configuration, Embodiment 24
The same effect can be obtained. Example 26
【００５１】図３７は本実施例の平面インダクタを示す
斜視図である。本実施例の平面インダクタにおいては、
平面コイル１の両面に絶縁層を介して設けられる磁性体
が磁性体４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂからなり、平面コイル
１に通電される直流成分により発生して磁性体に作用す
る磁界の方向が反転する位置（平面コイル１の中央部）
で不連続になっていること以外は実施例２３（図３４）
と同様の構成を有する。このような構成でも実施例２４
と同様な効果が得られる。FIG. 37 is a perspective view showing a planar inductor of this embodiment. In the planar inductor of the present embodiment,
The magnetic material provided on both surfaces of the planar coil 1 via an insulating layer is composed of magnetic materials 4a, 4b, 5a, and 5b, and the direction of the magnetic field generated by a DC component applied to the planar coil 1 and acting on the magnetic material is changed. Inversion position (the center of the planar coil 1)
Example 23 (FIG. 34) except that it is discontinuous at
Has the same configuration as Even in such a configuration, Embodiment 24
The same effect can be obtained.
【００５２】[0052]
【発明の効果】以上詳述したように本発明の平面型磁気
素子は、平面コイルに大電流を流して使用した場合に
も、磁性体の特性が劣化することがなく、高効率が得ら
れ、高出力の電源にも対応できる。As described in detail above, the planar magnetic element of the present invention can achieve high efficiency without deteriorating the characteristics of the magnetic body even when a large current is applied to the planar coil. It can also handle high output power supplies.
【図１】本発明の原理を説明する模式図。FIG. 1 is a schematic view illustrating the principle of the present invention.
【図２】本発明に係る平面インダクタを構成する磁性体
の磁化曲線図。FIG. 2 is a magnetization curve diagram of a magnetic material constituting the planar inductor according to the present invention.
【図３】平面インダクタを構成する磁性体にバイアス磁
界を印加した場合とバイアス磁界を印加しない場合とに
ついて、平面コイルに通電される交流成分とインダクタ
ンスとの関係を示す特性図。FIG. 3 is a characteristic diagram showing a relationship between an alternating current component applied to a planar coil and an inductance when a bias magnetic field is applied to a magnetic material constituting a planar inductor and when a bias magnetic field is not applied.
【図４】本発明の変形例の原理を説明する模式図。FIG. 4 is a schematic view illustrating the principle of a modification of the present invention.
【図５】本実施例の実施例１における平面インダクタを
示す斜視図。FIG. 5 is a perspective view showing a planar inductor according to the first embodiment of the present invention.
【図６】本実施例の実施例１における平面インダクタを
示す縦断面図。FIG. 6 is a longitudinal sectional view showing a planar inductor according to the first embodiment of the present invention.
【図７】本実施例の実施例１における平面インダクタを
示す平面図。FIG. 7 is a plan view showing the planar inductor according to the first embodiment of the present invention.
【図８】本実施例の実施例２における平面インダクタを
示す斜視図。FIG. 8 is a perspective view showing a planar inductor according to a second embodiment of the present invention.
【図９】本実施例の実施例２における平面インダクタを
示す縦断面図。FIG. 9 is a longitudinal sectional view showing a planar inductor according to a second embodiment of the present invention.
【図１０】本実施例の実施例３における平面インダクタ
を示す斜視図。FIG. 10 is a perspective view showing a planar inductor according to a third embodiment of the present invention.
【図１１】本実施例の実施例４における平面インダクタ
を示す斜視図。FIG. 11 is a perspective view showing a planar inductor according to a fourth embodiment of the present invention.
【図１２】本実施例の実施例５における平面インダクタ
を示す斜視図。FIG. 12 is a perspective view showing a planar inductor according to a fifth embodiment of the present invention.
【図１３】本実施例の実施例５における平面インダクタ
を示す平面図。FIG. 13 is a plan view showing a planar inductor according to a fifth embodiment of the present invention.
【図１４】本実施例の実施例６における平面インダクタ
を示す斜視図。FIG. 14 is a perspective view showing a planar inductor according to a sixth embodiment of the present invention.
【図１５】本実施例の実施例７における平面インダクタ
を示す斜視図。FIG. 15 is a perspective view showing a planar inductor according to a seventh embodiment of the present invention.
【図１６】本実施例の実施例８における平面インダクタ
を示す斜視図。FIG. 16 is a perspective view showing a planar inductor according to an eighth embodiment of the present invention.
【図１７】本実施例の実施例８における平面インダクタ
を示す平面図。FIG. 17 is a plan view showing a planar inductor according to an eighth embodiment of the present invention.
【図１８】本実施例の実施例９における平面インダクタ
を示す斜視図。FIG. 18 is a perspective view showing a planar inductor according to a ninth embodiment of the present embodiment.
【図１９】本実施例の実施例１０における平面インダク
タを示す斜視図。FIG. 19 is a perspective view showing a planar inductor according to a tenth embodiment of the present embodiment.
【図２０】本実施例の実施例１１における平面インダク
タを示す斜視図。FIG. 20 is a perspective view showing a planar inductor according to an eleventh embodiment of the present embodiment.
【図２１】本実施例の実施例１２における平面インダク
タを示す斜視図。FIG. 21 is a perspective view showing a planar inductor according to a twelfth embodiment of the present embodiment.
【図２２】本実施例の実施例１３における平面インダク
タを示す斜視図。FIG. 22 is a perspective view showing a planar inductor according to a thirteenth embodiment of the present embodiment.
【図２３】本実施例の実施例１４における平面インダク
タを示す斜視図。FIG. 23 is a perspective view showing a planar inductor according to Example 14 of the present example.
【図２４】本実施例の実施例１５における平面インダク
タを示す平面図。FIG. 24 is a plan view showing a planar inductor according to Example 15 of the present example.
【図２５】本実施例の実施例１５における平面インダク
タを示す斜視図。FIG. 25 is a perspective view showing a planar inductor according to Example 15 of the present example.
【図２６】本実施例の実施例１６における平面インダク
タを示す斜視図。FIG. 26 is a perspective view showing a planar inductor according to Example 16 of the present example.
【図２７】本実施例の実施例１７における平面インダク
タを示す斜視図。FIG. 27 is a perspective view showing a planar inductor according to Example 17 of the present example.
【図２８】本実施例の実施例１８における平面インダク
タを示す斜視図。FIG. 28 is a perspective view showing a planar inductor according to Example 18 of the present example.
【図２９】本実施例の実施例１９における平面インダク
タを示す斜視図。FIG. 29 is a perspective view showing a planar inductor according to a nineteenth embodiment of the present embodiment.
【図３０】本実施例の実施例２０における平面インダク
タを示す斜視図。FIG. 30 is a perspective view showing a planar inductor according to a twentieth embodiment of the present embodiment.
【図３１】本実施例の実施例２１における平面インダク
タを示す斜視図。FIG. 31 is a perspective view showing a planar inductor according to Example 21 of the present example.
【図３２】本実施例の実施例２１における平面インダク
タを示す縦断面図。FIG. 32 is a longitudinal sectional view showing a planar inductor according to Example 21 of the present example.
【図３３】本実施例の実施例２２における平面インダク
タを示す斜視図。FIG. 33 is a perspective view showing a planar inductor according to Example 22 of the present example.
【図３４】本実施例の実施例２３における平面インダク
タを示す斜視図。FIG. 34 is a perspective view showing a planar inductor according to Example 23 of the present example.
【図３５】本実施例の実施例２４における平面インダク
タを示す斜視図。FIG. 35 is a perspective view showing a planar inductor according to Example 24 of the present example.
【図３６】本実施例の実施例２５における平面インダク
タを示す斜視図。FIG. 36 is a perspective view showing a planar inductor according to a twenty-fifth embodiment of the present embodiment.
【図３７】本実施例の実施例２６における平面インダク
タを示す斜視図。FIG. 37 is a perspective view showing a planar inductor according to Example 26 of the present example.
【図３８】従来の平面インダクタを構成する磁性体の磁
化曲線図。FIG. 38 is a magnetization curve diagram of a magnetic material constituting a conventional planar inductor.
【図３９】従来の平面インダクタを構成する磁性体につ
いて、平面コイルに通電される直流成分によって印加さ
れる磁界ＨACと磁束との関係を示す特性図。FIG. 39 is a characteristic diagram showing a relationship between a magnetic field H AC applied by a DC component applied to a planar coil and a magnetic flux of a magnetic material constituting a conventional planar inductor.
【図４０】従来の平面インダクタを構成する磁性体につ
いて、平面コイルに通電される直流成分によって印加さ
れる磁界ＨACと透磁率との関係を示す特性図。FIG. 40 is a characteristic diagram showing a relationship between a magnetic field H AC applied by a DC component applied to a planar coil and a magnetic permeability of a magnetic material forming a conventional planar inductor.
１…スパイラル平面コイル、２、３、１２…絶縁層、
４、４ａ、４ｂ、５、５ａ、５ｂ…磁性体、６ａ〜６
ｄ、７ａ〜７ｄ、８ａ、８ｂ…永久磁石、９ａ、９ｂ、
１０ａ〜１０ｄ、１１ａ〜１１ｄ…導体、１３、１３
ａ、１３ｂ…スパイラル平面コイル。1 ... spiral planar coil, 2, 3, 12 ... insulating layer,
4, 4a, 4b, 5, 5a, 5b ... magnetic material, 6a to 6
d, 7a to 7d, 8a, 8b ... permanent magnets, 9a, 9b,
10a to 10d, 11a to 11d ... conductors, 13, 13
a, 13b: spiral planar coil.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 富田 宏 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地 株式会社東芝総合研究所内 (72)発明者 溝口 徹彦 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地 株式会社東芝総合研究所内 (56)参考文献 特開 平３−276604（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01F 17/04,30/00,37/00 ──────────────────────────────────────────────────の Continuing on the front page (72) Inventor Hiroshi Tomita 1 Toshiba-cho, Komukai-shi, Kawasaki-shi, Kanagawa Prefecture Inside Toshiba Research Institute, Inc. (72) Tetsuhiko Mizoguchi Toshiba-cho, Koyuki-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 1 Toshiba Research Institute, Inc. (56) References JP-A-3-276604 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H01F 17 / 04,30 / 00,37 / 00
Claims (2)
設けられた絶縁層と、これらの両面に設けられた磁性体
とを具備した平面型磁気素子において、 前記磁性体は一方向を磁化容易軸としこれに垂直な方向
を磁化困難軸とする一軸磁気異方性が付与されており、 前記平面コイルは、これに通電される直流成分により、
前記磁性体に対して磁化困難軸に沿う磁界を発生するよ
うに配置されており、 さらに前記平面コイルに通電される直流成分により前記
磁性体に作用する磁化困難軸に沿う磁界の向きと反平行
なバイアス磁界を印加する手段が設けられていることを
特徴とする平面型磁気素子。1. A planar magnetic element comprising: a planar coil; insulating layers provided on both surfaces of the planar coil; and magnetic materials provided on both surfaces of the planar coil. Uniaxial magnetic anisotropy with a hard axis in a direction perpendicular to the axis and the direction perpendicular to the axis is provided.
The magnetic body is arranged so as to generate a magnetic field along the hard axis with respect to the magnetic body, and is further antiparallel to the direction of the magnetic field along the hard axis with respect to the magnetic body acting on the magnetic body due to a DC component applied to the planar coil. A flat magnetic element, comprising: means for applying a bias magnetic field.
久磁石、電流が流される導体、または電流が流されるコ
イルであることを特徴とする請求項１記載の平面型磁気
素子。2. The planar magnetic element according to claim 1, wherein the means for applying the bias magnetic field is a permanent magnet, a conductor through which a current flows, or a coil through which a current flows.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07199192A JP3228995B2 (en) | 1992-03-30 | 1992-03-30 | Planar magnetic element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07199192A JP3228995B2 (en) | 1992-03-30 | 1992-03-30 | Planar magnetic element |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05275254A JPH05275254A (en) | 1993-10-22 |
| JP3228995B2 true JP3228995B2 (en) | 2001-11-12 |
Family
ID=13476443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07199192A Expired - Fee Related JP3228995B2 (en) | 1992-03-30 | 1992-03-30 | Planar magnetic element |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3228995B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10509284A (en) * | 1995-09-14 | 1998-09-08 | フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ | Inductive device |
| US20170354344A1 (en) * | 2014-12-29 | 2017-12-14 | Koninklijke Philips N.V. | Cabling arrangment, coil apparatus and apparatus for influencing and/or detecting magnetic particles |
-
1992
- 1992-03-30 JP JP07199192A patent/JP3228995B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05275254A (en) | 1993-10-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9679958B2 (en) | Methods for manufacturing integrated multi-layer magnetic films | |
| US5583474A (en) | Planar magnetic element | |
| US7026905B2 (en) | Magnetically controlled inductive device | |
| JPH09134820A (en) | Planar magnetic device | |
| JP3441082B2 (en) | Planar magnetic element | |
| JPH0799727B2 (en) | Electromagnetic device and electromagnetic core structure | |
| JPS6015908A (en) | Magnetic core | |
| WO2022181069A1 (en) | Thin film inductor element and thin film variable inductor element | |
| JP2001267155A (en) | Planar magnetic element | |
| JP3540733B2 (en) | Planar magnetic element and semiconductor device using the same | |
| JP3228995B2 (en) | Planar magnetic element | |
| JP2007081239A (en) | Magnetic device and switching power source using it | |
| JPH0547572A (en) | Common mode choke coil and switching power supply device | |
| KR101082576B1 (en) | Controllable inductive device | |
| JP2002222707A (en) | Inductance component | |
| JP2000269035A (en) | Planar magnetic element | |
| JPH03241719A (en) | Ac reactor | |
| JP3789333B2 (en) | Electromagnetic equipment | |
| JPS6010606A (en) | Magnetic core for power source line filter | |
| JP2003197436A (en) | Core for magnetic element, magnetic element using the same, manufacturing method of the magnetic element and switching power supply using the magnetic element | |
| JPH0529146A (en) | Thin film inductance element utilizing rectangular magnetic core | |
| JPH02262308A (en) | Plane inductor | |
| WO2024105907A1 (en) | Thin-film inductor element, thin-film variable inductor element, and method of using stacked thin-film element | |
| JP2001319817A (en) | Choke coil | |
| JPH05258980A (en) | Flat type magnetic element |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070907 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080907 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080907 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090907 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |