JP3228261B2 - Ｌｄモジュールの光出力特性測定方法及び装置 - Google Patents
Ｌｄモジュールの光出力特性測定方法及び装置Info
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- JP3228261B2 JP3228261B2 JP04183099A JP4183099A JP3228261B2 JP 3228261 B2 JP3228261 B2 JP 3228261B2 JP 04183099 A JP04183099 A JP 04183099A JP 4183099 A JP4183099 A JP 4183099A JP 3228261 B2 JP3228261 B2 JP 3228261B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザダイオード
（ＬＤ）モジュールの駆動電流に対する光出力特性、及
び光出力の微分特性を測定するＬＤモジュールの光出力
特性測定方法及び装置に関するものである。
（ＬＤ）モジュールの駆動電流に対する光出力特性、及
び光出力の微分特性を測定するＬＤモジュールの光出力
特性測定方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＬＤモジュールの駆動電流に対する光出
力特性、及び光出力の微分特性を測定するＬＤモジュー
ルの光出力特性測定方法及び装置が開発されている。従
来例に係るＬＤモジュールの光出力特性測定方法を図４
を参照して説明する。
力特性、及び光出力の微分特性を測定するＬＤモジュー
ルの光出力特性測定方法及び装置が開発されている。従
来例に係るＬＤモジュールの光出力特性測定方法を図４
を参照して説明する。
【０００３】図４において、ＬＤモジュール１には、小
径のコアをもつシングルモード光ファイバ（以下、ＳＭ
Ｆという）２が付属している。
径のコアをもつシングルモード光ファイバ（以下、ＳＭ
Ｆという）２が付属している。
【０００４】ＳＭＦ２の先端は光コネクタ加工されてお
り、球面研磨されたフェルール３が設けられている。
り、球面研磨されたフェルール３が設けられている。
【０００５】またフェルール３は、直接光パワーメータ
７のパワーセンサ７ａに向けて配置されている。
７のパワーセンサ７ａに向けて配置されている。
【０００６】光パワーメータ７は、フェルール３から放
出されるレーザ光を、空間を介してパワーセンサ７ａで
受け、本体７ｂでＬＤモジュール１の光出力を測定する
ようになっている。
出されるレーザ光を、空間を介してパワーセンサ７ａで
受け、本体７ｂでＬＤモジュール１の光出力を測定する
ようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来例に係るＬＤモジュールの光出力特性測定方法に
おいては、次のような問題がある。
た従来例に係るＬＤモジュールの光出力特性測定方法に
おいては、次のような問題がある。
【０００８】コントローラ１０の出力に基づいてＬＤド
ライバ９によりＬＤモジュール１を駆動すると、フェル
ール３の端面からレーザ光が空間に放出される際に、フ
ァイバと空気の屈折率の違いにより、−１４ｄＢ程度反
射し、戻り光を生ずる。
ライバ９によりＬＤモジュール１を駆動すると、フェル
ール３の端面からレーザ光が空間に放出される際に、フ
ァイバと空気の屈折率の違いにより、−１４ｄＢ程度反
射し、戻り光を生ずる。
【０００９】戻り光がＬＤチップの活性層に到達する
と、レーザの発光状態が乱され、特に、光出力の微分特
性にふらつきが生じ、再現性のよい測定結果が得られな
い。したがって、ＬＤモジュールの良否が正しく判定で
きないという問題がある。
と、レーザの発光状態が乱され、特に、光出力の微分特
性にふらつきが生じ、再現性のよい測定結果が得られな
い。したがって、ＬＤモジュールの良否が正しく判定で
きないという問題がある。
【００１０】ＬＤモジュール自身にアイソレータを内蔵
させることにより、戻り光を防止することが可能ではあ
るが、コストアップとなるため、得策ではない。
させることにより、戻り光を防止することが可能ではあ
るが、コストアップとなるため、得策ではない。
【００１１】この問題を回避するため、別の第２の方法
が用いられている。第２の方法について、図５を参照し
て説明する。
が用いられている。第２の方法について、図５を参照し
て説明する。
【００１２】図５において、ＬＤモジュール１のＳＭＦ
２には、小径のコアをもつ測定用光ファイバ１３が光コ
ネクタ結合部６を介して結合されている。光コネクタ結
合部６には、フェルール３，５及び割スリーブ８が含ま
れている。
２には、小径のコアをもつ測定用光ファイバ１３が光コ
ネクタ結合部６を介して結合されている。光コネクタ結
合部６には、フェルール３，５及び割スリーブ８が含ま
れている。
【００１３】この場合、ＬＤモジュール１のレーザ光が
シングルモード光ファイバ２で出力されるため、測定用
光ファイバ１３として小径のコアをもつシングルモード
ファイバを用いることが普通である。
シングルモード光ファイバ２で出力されるため、測定用
光ファイバ１３として小径のコアをもつシングルモード
ファイバを用いることが普通である。
【００１４】光コネクタ結合部６は、対向する光ファイ
バのフェルール３，５を接触させ、間隙に空気層を挟ま
ない構造であるため、光コネクタ結合部６での戻り光を
防ぐことが可能となる。
バのフェルール３，５を接触させ、間隙に空気層を挟ま
ない構造であるため、光コネクタ結合部６での戻り光を
防ぐことが可能となる。
【００１５】光コネクタ結合部６から光パワーメータ７
の間で戻り光の発生を抑えれば（例えば、アイソレータ
１４の挿入、光パワーメータ７への出射端を斜めカット
する等）、戻り光の問題点が解決する。
の間で戻り光の発生を抑えれば（例えば、アイソレータ
１４の挿入、光パワーメータ７への出射端を斜めカット
する等）、戻り光の問題点が解決する。
【００１６】しかしながら、第２の方法によるシングル
モードファイバ同士の光コネクタ接続は、結合ロスが大
きく、測定値は、結合ロスを含んだ値となる。
モードファイバ同士の光コネクタ接続は、結合ロスが大
きく、測定値は、結合ロスを含んだ値となる。
【００１７】結合ロスがある一定の値であれば、測定値
を補正することにより、接続ロスの影響を回避すること
ができるが、接続ロスの原因がフェルール３，５の中心
部に位置するファイバのコアの偏心であるため、フェル
ール３，５の組み合わせにより、接続ロス値が異なり、
補正は不可能である。
を補正することにより、接続ロスの影響を回避すること
ができるが、接続ロスの原因がフェルール３，５の中心
部に位置するファイバのコアの偏心であるため、フェル
ール３，５の組み合わせにより、接続ロス値が異なり、
補正は不可能である。
【００１８】したがって、高精度に光出力特性を測定す
る場合は、上記の２手法を組み合わせて測定を行ってい
る。
る場合は、上記の２手法を組み合わせて測定を行ってい
る。
【００１９】具体的には、第１の方法により測定したパ
ワー値を第２の測定をする際の基準値として用い、第２
の方法でＬＤモジュールの光出力特性と微分特性を測定
するという方法で対応している。
ワー値を第２の測定をする際の基準値として用い、第２
の方法でＬＤモジュールの光出力特性と微分特性を測定
するという方法で対応している。
【００２０】以上説明したように、第１の方法と第２の
方法を組み合わせることにより、高精度の測定が可能に
なるが、この方法では、測定を２回必要とするため、作
業の能率が悪いという問題がある。
方法を組み合わせることにより、高精度の測定が可能に
なるが、この方法では、測定を２回必要とするため、作
業の能率が悪いという問題がある。
【００２１】本発明の目的は、ＬＤモジュールへの戻り
光を抑えつつ、ＬＤモジュールの光出力を結合ロスなく
測定できるようにしたＬＤモジュールの特性測定方法及
び装置を提供することにある。
光を抑えつつ、ＬＤモジュールの光出力を結合ロスなく
測定できるようにしたＬＤモジュールの特性測定方法及
び装置を提供することにある。
【００２２】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係るＬＤモジュールの特性測定方法は、レ
ーザダイオードモジュールからシングルモード光ファイ
バに出力されるレーザ光の、レーザダイオードモジュー
ルの駆動電流に対する光出力特性及び光出力の微分特性
を測定するＬＤモジュールの光出力特性測定方法であっ
て、前記シングルモード光ファイバからのレーザ光を、
前記シングルモード光ファイバのコアより大径のコアを
もつ測定用光ファイバに受け、かつ前記測定用光ファイ
バ側から前記レーザダイオードモジュール側への戻り光
を消失させ、前記測定用光ファイバを通して出力するレ
ーザ光に基づいて、前記レーザダイオードモジュールの
駆動電流に対する光出力特性及び光出力微分特性を測定
するものである。
め、本発明に係るＬＤモジュールの特性測定方法は、レ
ーザダイオードモジュールからシングルモード光ファイ
バに出力されるレーザ光の、レーザダイオードモジュー
ルの駆動電流に対する光出力特性及び光出力の微分特性
を測定するＬＤモジュールの光出力特性測定方法であっ
て、前記シングルモード光ファイバからのレーザ光を、
前記シングルモード光ファイバのコアより大径のコアを
もつ測定用光ファイバに受け、かつ前記測定用光ファイ
バ側から前記レーザダイオードモジュール側への戻り光
を消失させ、前記測定用光ファイバを通して出力するレ
ーザ光に基づいて、前記レーザダイオードモジュールの
駆動電流に対する光出力特性及び光出力微分特性を測定
するものである。
【００２３】また、本発明に係るＬＤモジュールの光出
力特性測定装置は、測定用光ファイバと、戻り光消失部
とを有し、レーザダイオードモジュールからシングルモ
ード光ファイバに出力されるレーザ光の、レーザダイオ
ードモジュールの駆動電流に対する光出力特性及び光出
力の微分特性を測定するＬＤモジュールの光出力特性測
定装置であって、前記測定用光ファイバは、前記シング
ルモード光ファイバのコアより大径のコアをもつファイ
バであり、前記シングルモード光ファイバからのレーザ
光を受光して出力するものであり、前記戻り光消失部
は、前記測定用光ファイバ側から前記レーザダイオード
モジュール側への戻り光を消失させるものである。
力特性測定装置は、測定用光ファイバと、戻り光消失部
とを有し、レーザダイオードモジュールからシングルモ
ード光ファイバに出力されるレーザ光の、レーザダイオ
ードモジュールの駆動電流に対する光出力特性及び光出
力の微分特性を測定するＬＤモジュールの光出力特性測
定装置であって、前記測定用光ファイバは、前記シング
ルモード光ファイバのコアより大径のコアをもつファイ
バであり、前記シングルモード光ファイバからのレーザ
光を受光して出力するものであり、前記戻り光消失部
は、前記測定用光ファイバ側から前記レーザダイオード
モジュール側への戻り光を消失させるものである。
【００２４】また前記シングルモード光ファイバと測定
用光ファイバに取付けたフェルールの先端を球面研磨し
て、光コネクタ結合部内で密着させたものである。
用光ファイバに取付けたフェルールの先端を球面研磨し
て、光コネクタ結合部内で密着させたものである。
【００２５】また前記測定用光ファイバの出力側の端面
を光軸に対して斜めにカットして、前記測定用光ファイ
バ側から前記レーザダイオードモジュール側への戻り光
を消失させたものである。
を光軸に対して斜めにカットして、前記測定用光ファイ
バ側から前記レーザダイオードモジュール側への戻り光
を消失させたものである。
【００２６】また前記測定用光ファイバ内に光アイソレ
ータを挿入することにより、前記測定用光ファイバ側か
ら前記レーザダイオードモジュール側への戻り光を消失
させたものである。
ータを挿入することにより、前記測定用光ファイバ側か
ら前記レーザダイオードモジュール側への戻り光を消失
させたものである。
【００２７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図に
より説明する。
より説明する。
【００２８】図１は、本発明に一実施形態に係るＬＤモ
ジュールの特性測定装置を示す構成図である。
ジュールの特性測定装置を示す構成図である。
【００２９】図１に示す本発明の一実施形態に係るＬＤ
モジュールの特性測定装置においては、被測定対象のＬ
Ｄモジュール１に取付けた小径のコア１１をもつシング
ルモード光ファイバ（以下、ＳＭＦという）２には、測
定用光ファイバ４を光ファイバ結合部６で光結合させて
いる。
モジュールの特性測定装置においては、被測定対象のＬ
Ｄモジュール１に取付けた小径のコア１１をもつシング
ルモード光ファイバ（以下、ＳＭＦという）２には、測
定用光ファイバ４を光ファイバ結合部６で光結合させて
いる。
【００３０】ここで、測定用光ファイバ４は、シングル
モード光ファイバ２より大径のコア１２をもつマルチモ
ードファイバ（以下、ＭＭＦという）を用いている。
モード光ファイバ２より大径のコア１２をもつマルチモ
ードファイバ（以下、ＭＭＦという）を用いている。
【００３１】ＭＭＦ４は、ＳＭＦ２が接続された端部と
反対側の端部を光パワーメータ７のパワーセンサ７ａに
向けて配置している。
反対側の端部を光パワーメータ７のパワーセンサ７ａに
向けて配置している。
【００３２】またＳＭＦ２の出力端に取付けたフェルー
ル３と、ＭＭＦ４の入力端に取付けたフェルール５と
は、共に球面研磨されており、光コネクタ結合部６の割
スリーブ８内に対向端側から挿入され、両フェルール
３，５の球面研磨された先端が割スリーブ８内で密着し
ている。両フェルール３，５の球面研磨された先端は割
スリーブ８内で密着しており、レーザ光が空間に放射さ
れず、光結合ロスがほとんどなくなる。
ル３と、ＭＭＦ４の入力端に取付けたフェルール５と
は、共に球面研磨されており、光コネクタ結合部６の割
スリーブ８内に対向端側から挿入され、両フェルール
３，５の球面研磨された先端が割スリーブ８内で密着し
ている。両フェルール３，５の球面研磨された先端は割
スリーブ８内で密着しており、レーザ光が空間に放射さ
れず、光結合ロスがほとんどなくなる。
【００３３】また、ＭＭＦ４の光パワーメータ７のパワ
ーセンサ７ａに向けた出力端は、その端面が光軸に対し
て斜めにカットすることにより、ファイバ内を逆行する
ような反射が生じない構造になっている。
ーセンサ７ａに向けた出力端は、その端面が光軸に対し
て斜めにカットすることにより、ファイバ内を逆行する
ような反射が生じない構造になっている。
【００３４】図１に示す本発明の一実施形態に係るＬＤ
モジュールの特性測定装置において、コントローラ１０
の出力に基づいてＬＤドライバ９によりＬＤモジュール
１を駆動すると、レーザ光は光コネクタ結合部６を介し
てＭＭＦ４に導入され、光パワーメータ７のパワーセン
サ７ａに照射され、本体７ｂにより光強度が測定され
る。
モジュールの特性測定装置において、コントローラ１０
の出力に基づいてＬＤドライバ９によりＬＤモジュール
１を駆動すると、レーザ光は光コネクタ結合部６を介し
てＭＭＦ４に導入され、光パワーメータ７のパワーセン
サ７ａに照射され、本体７ｂにより光強度が測定され
る。
【００３５】コントローラ１０は、ＬＤドライバ９と光
パワーメータ７とを自動制御し、ＬＤドライバ９の駆動
電流を掃引して、図２（ａ），（ｂ）に示すような光出
力特性及び光出力微分特性を得るようになっている。
パワーメータ７とを自動制御し、ＬＤドライバ９の駆動
電流を掃引して、図２（ａ），（ｂ）に示すような光出
力特性及び光出力微分特性を得るようになっている。
【００３６】光出力微分特性の測定方法は、駆動電流の
掃引ステップに対する光出力の増加分の比で求める方法
（差分法）と、駆動電流に微少なＡＣ信号を重畳し、そ
のときに光出力に現れたＡＣ成分を検出して測定し、そ
の比を求める方法（ＡＣ重畳法）とがあり、これらの方
法を使用して測定する。
掃引ステップに対する光出力の増加分の比で求める方法
（差分法）と、駆動電流に微少なＡＣ信号を重畳し、そ
のときに光出力に現れたＡＣ成分を検出して測定し、そ
の比を求める方法（ＡＣ重畳法）とがあり、これらの方
法を使用して測定する。
【００３７】図３は、図１に示す光コネクタ結合部の詳
細を示す断面図である。図において、フェルール３とフ
ェルール５は、割スリーブ８内に対向して挿入され、割
スリーブ８内の中央付近で先端が接触し、ＳＭＦ２のコ
ア１１とＭＭＦ４のコア１２が結合するようになってい
る。
細を示す断面図である。図において、フェルール３とフ
ェルール５は、割スリーブ８内に対向して挿入され、割
スリーブ８内の中央付近で先端が接触し、ＳＭＦ２のコ
ア１１とＭＭＦ４のコア１２が結合するようになってい
る。
【００３８】コア１１とコア１２は割スリーブ８内で密
着し、且つ屈折率がほぼ等しいため、コア１１を通って
入光したレーザ光は、コア１１とコア１２の接触界面で
殆ど反射せず、コア１２に入射する。
着し、且つ屈折率がほぼ等しいため、コア１１を通って
入光したレーザ光は、コア１１とコア１２の接触界面で
殆ど反射せず、コア１２に入射する。
【００３９】反射量は双方の接触面の研磨状態による
が、ＳＰＣ研磨と呼ばれている研磨状態であれば、反射
量は−４０ｄＢ以下に抑えられている。ＳＰＣ研磨につ
いては、セイコーインスツルメンツ社等のカタログで紹
介されている。
が、ＳＰＣ研磨と呼ばれている研磨状態であれば、反射
量は−４０ｄＢ以下に抑えられている。ＳＰＣ研磨につ
いては、セイコーインスツルメンツ社等のカタログで紹
介されている。
【００４０】ＳＭＦ２のコア１１は約９μｍのコア径で
あり、ＭＭＦ４のコア１２のコア径は５０μｍであり、
双方のコア１１，１２が偏心していても、偏心量が規格
内であれば、結合ロスは、０．０１ｄＢ程度で問題にな
らない。
あり、ＭＭＦ４のコア１２のコア径は５０μｍであり、
双方のコア１１，１２が偏心していても、偏心量が規格
内であれば、結合ロスは、０．０１ｄＢ程度で問題にな
らない。
【００４１】なお、上記実施形態では、測定用光ファイ
バとしてＭＭＦを用いたが、ＭＭＦより大径のコアをも
つステップインデックス型（コア径２００μｍ等）のフ
ァイバを用いてもよい。
バとしてＭＭＦを用いたが、ＭＭＦより大径のコアをも
つステップインデックス型（コア径２００μｍ等）のフ
ァイバを用いてもよい。
【００４２】また、測定装置からの反射防止について
は、測定用光ファイバの端面を斜めカットするだけでな
く、測定用光ファイバ中に光アイソレータを挿入するこ
とによっても防止することができる。
は、測定用光ファイバの端面を斜めカットするだけでな
く、測定用光ファイバ中に光アイソレータを挿入するこ
とによっても防止することができる。
【００４３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、Ｌ
Ｄモジュールの光出力をコア径の太い測定用光ファイバ
に導入することで、レーザ光を空間に放射せず、かつ、
ＬＤモジュールのシングルモード光ファイバと測定用光
ファイバとの屈折率に差がないため、ＬＤモジュールの
ファイバ端面で発生する戻り光を防止することができる
とともに、結合ロスを殆ど生じさせず、光出力を高精度
に測定し、光出力の微分特性も安定に測定することがで
きる。
Ｄモジュールの光出力をコア径の太い測定用光ファイバ
に導入することで、レーザ光を空間に放射せず、かつ、
ＬＤモジュールのシングルモード光ファイバと測定用光
ファイバとの屈折率に差がないため、ＬＤモジュールの
ファイバ端面で発生する戻り光を防止することができる
とともに、結合ロスを殆ど生じさせず、光出力を高精度
に測定し、光出力の微分特性も安定に測定することがで
きる。
【００４４】さらに光出力と微分特性を同一の過程で測
定することができるため、作業能率を向上することがで
き、自動化することができる。
定することができるため、作業能率を向上することがで
き、自動化することができる。
【図１】本発明の一実施形態に係るＬＤモジュールの特
性測定装置を示す構成図である。
性測定装置を示す構成図である。
【図２】光出力特性及び光出力微分特性を示す特性図で
ある。
ある。
【図３】図１に示す光コネクタ結合部の詳細を示す断面
図である。
図である。
【図４】従来例に係るＬＤモジュールの特性測定装置を
示す構成図である。
示す構成図である。
【図５】従来例に係るＬＤモジュールの特性測定装置を
示す構成図である。
示す構成図である。
１ ＬＤモジュール ２ シングルモード光ファイバ ４ 測定用光ファイバ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01M 11/00 - 11/02 H01S 5/00 - 5/50 G02B 6/24 - 6/26 G02B 6/30 - 6/42
Claims (5)
- 【請求項１】 レーザダイオードモジュールからシング
ルモード光ファイバに出力されるレーザ光の、レーザダ
イオードモジュールの駆動電流に対する光出力特性及び
光出力の微分特性を測定するＬＤモジュールの光出力特
性測定方法であって、 前記シングルモード光ファイバからのレーザ光を、前記
シングルモード光ファイバのコアより大径のコアをもつ
測定用光ファイバに受け、かつ前記測定用光ファイバ側
から前記レーザダイオードモジュール側への戻り光を消
失させ、前記測定用光ファイバを通して出力するレーザ
光に基づいて、前記レーザダイオードモジュールの駆動
電流に対する光出力特性及び光出力微分特性を測定する
ことを特徴とするＬＤモジュールの光出力特性測定方
法。 - 【請求項２】 測定用光ファイバと、戻り光消失部とを
有し、レーザダイオードモジュールからシングルモード
光ファイバに出力されるレーザ光の、レーザダイオード
モジュールの駆動電流に対する光出力特性及び光出力の
微分特性を測定するＬＤモジュールの光出力特性測定装
置であって、 前記測定用光ファイバは、前記シングルモード光ファイ
バのコアより大径のコアをもつファイバであり、前記シ
ングルモード光ファイバからのレーザ光を受光して出力
するものであり、 前記戻り光消失部は、前記測定用光ファイバ側から前記
レーザダイオードモジュール側への戻り光を消失させる
ものであることを特徴とするＬＤモジュールの光出力特
性測定装置。 - 【請求項３】 前記シングルモード光ファイバと測定用
光ファイバに取付けたフェルールの先端を球面研磨し
て、光コネクタ結合部内で密着させたものであることを
特徴とする請求項２に記載のＬＤモジュールの光出力特
性測定装置。 - 【請求項４】 前記測定用光ファイバの出力側の端面を
光軸に対して斜めにカットして、前記測定用光ファイバ
側から前記レーザダイオードモジュール側への戻り光を
消失させたものであることを特徴とする請求項２に記載
のＬＤモジュールの光出力特性測定装置。 - 【請求項５】 前記測定用光ファイバ内に光アイソレー
タを挿入することにより、前記測定用光ファイバ側から
前記レーザダイオードモジュール側への戻り光を消失さ
せたものであることを特徴とする請求項２に記載のＬＤ
モジュールの光出力特性測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04183099A JP3228261B2 (ja) | 1999-02-19 | 1999-02-19 | Ｌｄモジュールの光出力特性測定方法及び装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04183099A JP3228261B2 (ja) | 1999-02-19 | 1999-02-19 | Ｌｄモジュールの光出力特性測定方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000241294A JP2000241294A (ja) | 2000-09-08 |
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ID=12619198
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04183099A Expired - Fee Related JP3228261B2 (ja) | 1999-02-19 | 1999-02-19 | Ｌｄモジュールの光出力特性測定方法及び装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
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|---|---|---|---|---|
| JP2002139405A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-17 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体レーザモジュールの測定方法 |
| CN105043726B (zh) * | 2015-09-15 | 2016-07-27 | 深圳市创鑫激光股份有限公司 | 一种用于检测自身回光对激光器影响的方法及检测设备 |
| CN105300667B (zh) * | 2015-11-13 | 2018-01-23 | 浙江工业大学 | 一种硬膜压贴三棱镜镜片棱镜度检测方法 |
| CN116858503B (zh) * | 2023-09-01 | 2023-12-12 | 武汉普赛斯仪表有限公司 | 一种窄脉冲光功率测量系统及方法 |
-
1999
- 1999-02-19 JP JP04183099A patent/JP3228261B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JP2000241294A (ja) | 2000-09-08 |
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