JP3226780U - 同等ダミー層反射防止コーティングフィルム - Google Patents
同等ダミー層反射防止コーティングフィルム Download PDFInfo
- Publication number
- JP3226780U JP3226780U JP2020000535U JP2020000535U JP3226780U JP 3226780 U JP3226780 U JP 3226780U JP 2020000535 U JP2020000535 U JP 2020000535U JP 2020000535 U JP2020000535 U JP 2020000535U JP 3226780 U JP3226780 U JP 3226780U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- refractive index
- equivalent
- dummy
- coating film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 31
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 176
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 18
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 10
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 10
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 7
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 18
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 7
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
【課題】高い硬度を有する同等ダミー層反射防止コーティングフィルムの構造を提供する。【解決手段】一つの内層10、一つの外層30及び内層、外層の間に設ける一つの同等ダミー層20を含む同等ダミー層反射防止コーティングフィルムの構造であって、内層及び外層はそれぞれ複数の高屈折率層11、31及び複数の低屈折率層12、32を積み重ねて完成する。同等ダミー層は下から上へ順に相互に積み重ねる複数同等高屈折率ダミー層21及び複数の同等低屈折率ダミー層22を含み、同等高屈折率ダミー層の屈折率は1.9〜3であり、且つ硬度は15Gpaより大きい材料とし、同等低屈折率ダミー層の屈折率は1.6より小さく、且つ硬度は10Gpaより大きい材料とする。【選択図】図3
Description
本考案は一種の反射防止コーティングフィルムの技術分野に関し、特に硬度を大幅に上げる同等ダミー層反射防止コーティングフィルムの構造に関する。
従来技術の反射防止コーティングフィルム(Anti Reflection coating、ARC)は、図1に示すように、主に一つのガラス基板にコーティングし、多層の高屈折率及び低屈折率の透明金属(例えばNb2OX或いはTiOX及び酸化物(SiOX)の薄膜状を互いに積み重ねて完成する。反射防止コーティングフィルムの光学効果を保つために、通常外層はSiOXの薄膜にする。光線は屈折率が異なる媒質を通過する際に異なる現象が生じるため、異なる薄膜層の反射光が互いに破壊性干渉がある場合、反射光は相殺される。よって反射防止の効果に達することができる。目下反射防止コーティングフィルムは携帯電話のパネル、ヘッドアップディスプレイ、ソーラーパネル、携帯電話のレンズ、車用パネル、軍用及び工業パネルなど、広く応用されている。
しかしながら、該従来の反射防止コーティングフィルムは(Nb2OX或いはTiOX)及び酸化物(SiOX)の薄膜が相互に積み重ねた設計により、可視光の平均反射率を1%より小さくすることはできたが、Nb2OX、TiOX及びSiOXなどの材質の硬度が全て比較的低いため、積み重ねて形成する反射防止コーティングフィルムには、硬度が低い(約8Gpa)問題(図2の従来の反射防止コーティングフィルムの浸食試験のヘイズ値に示す通り)が存在することを鑑みて、更なる改善が必要であった。
そこで、本考案は、上記課題に鑑みて成されたもので、従来の反射防止コーティングフィルムに存在する硬度が低い問題を解決することを主な目的とする。
前記課題を解決するために、本考案は、同等ダミー層反射防止コーティングフィルムの構造を提供するものであり、それに含まれるのは一つの内層、一つの同等ダミー層及び一つの外層である。その中、該内層は一つのガラス基板の上側面に設け、下から上へ順に相互に積み重ねる複数の高屈折率層及び複数の低屈折率層を含み、該内層の複数の高屈折率層は屈折率1.9〜3の材料とし、該内層の複数の低屈折率層は屈折率が1.6より小さい材料とする。該外層は最も上側に設け、下から上へ順に相互に積み重ねる複数の高屈折率層及び複数の低屈折率層を含む。該外層の高屈折率層、低屈折率層の材料は、該内層の高屈折率層、低屈折率層の材料と同じである。該同等ダミー層は該内層と該外層の間に設け、下から上へ順に相互に積み重ねる複数の同等高屈折率ダミー層及び複数の同等低屈折率ダミー層を含む。該同等高屈折率ダミー層は屈折率1.9〜3、且つ硬度が15Gpaより大きい材料とし、該同等低屈折率ダミー層は屈折率が1.6より小さく、且つ硬度が10Gpaより大きい材料とする。
本考案の同等ダミー層反射防止コーティングフィルムにより、該同等ダミー層の構造設計を介し、反射率をやや犠牲にしても尚、許容範囲内でありながら、硬度を大幅に上げることができる。
以下、本考案の構造と特徴および効果を、最良実施例と図面を参照しながら詳細に説明する。
図3に示すのは、本考案の同等ダミー層反射防止コーティングフィルムAであり、それに含まれるのは、一つの内層10、一つの同等ダミー層20、一つの外層30及び一つの保護層40である。
該内層10は一つのガラス基板Bの上側面に設け、下から上へ順に相互に積み重ねる複数の高屈折率層11及び複数の低屈折率層12を含む。該複数の高屈折率層11は屈折率1.9〜3の材料(例えばAlN、SiN、Nb2O5或いはTiO2のうちの如何なる一つ)とすることができ、該複数の低屈折率層12は屈折率が1.6より小さい材料 (例えばSiO2或いはAl2O3のうちの如何なる一つ)とする。
該同等ダミー層20は該内層10の上側面に設け、下から上へ順に相互に積み重ねる複数の同等高屈折率ダミー層21及び複数の同等低屈折率ダミー層22を含む。該同等高屈折率ダミー層21は屈折率1.9〜3、且つ硬度が15Gpaより大きい材料 (例えばAlN或いはSiNのうちの如何なる一つ)とする。該同等低屈折率ダミー層22は屈折率が1.6より小さく、且つ硬度が10Gpaより大きい材料(例えばSiO2或いはAl2O3のうちの如何なる一つ)とする。また、該同等高屈折率ダミー層21は該同等低屈折率ダミー層22との厚みの比例は約10:1である。
該外層30は該同等ダミー層20の上側面に設け、下から上へ順に相互に積み重ねる複数の高屈折率層31及び複数の低屈折率層32を含む。該外層30の高屈折率層31、低屈折率層32の材料は、該内層10の高屈折率層11、低屈折率層12の材料と同じである。
それにより、該内層10、該同等ダミー層20及び該外層30によって組成する該同等ダミー層反射防止コーティングフィルムAの厚みは500〜5000nmであり、硬度は13Gpaより大きく、波領域は400〜700nmの間にあり、可視光の平均反射率は8%より小さい。その中でも、該同等ダミー層20の層数が4〜20層の場合、該同等ダミー層反射防止コーティングフィルムAの厚みは1.5um、硬度は16Gpa、波領域は400〜700nmの間にあり、可視光の平均反射率は1〜2%以内がベストである。そうすれば、反射率をやや犠牲にしても尚、許容範囲内でありながら、硬度を大幅に上げることができる。
図4〜図7に示すのは、本考案の同等ダミー層反射防止コーティングフィルムAの一つの最良実施例である。それにより同等ダミー層反射防止コーティングフィルムAに含まれるのは一つの内層10、一つの同等ダミー層20、一つの外層30及び一つの保護層40である。
該内層10は一つの高屈折率層11及び一つの低屈折率層12を含む。該高屈折率層11は型番号B270の一つのガラス基板(Glass Substrate)Bの上側面の窒化アルミニウム(ALN)層にコーティングし、該低屈折層12は該窒化アルミニウム層の上側面の二酸化ケイ素(SiO2)層にコーティングする。該内層10の窒化アルミニウム層の屈折率は2.077、厚みは17.1nmである。該内層10の二酸化ケイ素層の屈折率は1.461、厚みは32.7nmである。
該同等ダミー層20は該内層10の上側面に設け、下から上へ順に相互に積み重ねる複数の同等高屈折率ダミー層21及び複数の同等低屈折率ダミー層22を含む。該同等高屈折率ダミー層21は窒化アルミニウム層であり、且つ屈折率は2.077である。該同等低屈折率ダミー層22は二酸化ケイ素層であり、屈折率は1.461である。本実施例において、該同等ダミー層20は八層を有し、その中、第(1)層は窒化アルミニウム層、厚みは155.9nm、第(2)層は二酸化ケイ素層であり、厚み14.4nm、第(3)層は窒化アルミニウム層、厚みは170.9nm、第(4)層は二酸化ケイ素層、厚みは14.3nm、第(5)層は窒化アルミニウム層、厚みは172.1nm、第(6)層は二酸化ケイ素層、厚みは14.5nm、第 (7)層は窒化アルミニウム層、厚みは166.7nm、第 (8)層は二酸化ケイ素層、厚みは17.1nmである。
該外層30は該同等ダミー層20の上側面にある一つの高屈折率層31及び一つの低屈折率層32を含む。該高屈折率層31は窒化アルミニウム (ALN)層、且つ屈折率は2.077、厚みは147.7nmである。該低屈折率層は該高屈折率層の上側面に位置し、二酸化ケイ素(SiO2)層32であり、屈折率は1.461、厚みは69.5nmである。
該保護層40は、該外層30の低屈折率層32の上側面に設け、材質は硬度が比較的高く、且つ屈折率が1.671の酸窒化アルミニウム(AlON)であり、該保護層40の厚みは14.7nmである。該硬度は二酸化ケイ素よりやや高い酸窒化アルミニウムを該保護層40にすることで、該外層30の低屈折率層32を守ることができ、更に耐磨耗効果を高めることができる。
A 同等ダミー層反射防止コーティングフィルム
B ガラス基板
10 内層
11 高屈折率層
12 低屈折率層
20 同等ダミー層
21 同等高屈折率ダミー層
22 同等低屈折率ダミー層
30 外層
31 高屈折率層
32 低屈折率層
40 保護層
B ガラス基板
10 内層
11 高屈折率層
12 低屈折率層
20 同等ダミー層
21 同等高屈折率ダミー層
22 同等低屈折率ダミー層
30 外層
31 高屈折率層
32 低屈折率層
40 保護層
Claims (7)
- 一つの内層、一つの同等ダミー層、一つの外層を含み、
内層は一つのガラス基板の上側面に設け、下から上へ順に相互に積み重ねる複数の高屈折率層及び複数の低屈折率層を含み、該内層の複数の高屈折率層は屈折率1.9〜3の材料とし、該内層の複数の低屈折率層は屈折率が1.6より小さい材料とし、
外層は最も上側に設け、下から上へ順に相互に積み重ねる複数の高屈折率層及び複数の低屈折率層を含み、該外層の高屈折率層、低屈折率層の材料は、該内層の高屈折率層、低屈折率層の材料と同じであり、及び、
同等ダミー層は該内層と該外層の間に設け、下から上へ順に相互に積み重ねる複数の同等高屈折率ダミー層及び複数の同等低屈折率ダミー層を含み、同等高屈折率ダミー層は屈折率1.9〜3、且つ硬度が15Gpaより大きい材料とし、該同等低屈折率ダミー層は屈折率が1.6より小さく、且つ硬度が10Gpaより大きい材料とすることを特徴とする同等ダミー層反射防止コーティングフィルムの構造。 - 更に一つの保護層を含み、該保護層は該外層の二酸化ケイ素層の上側面に設け、材質は硬度が比較的高い酸窒化アルミニウムとすることを特徴とする請求項1記載の同等ダミー層反射防止コーティングフィルムの構造。
- 前記該同等高屈折率層はAlN或いはSiNのうちの如何なる一つとすることができ、該同等低屈折率層はSiO2或いはAl2O3のうちの如何なる一つとすることを特徴とする請求項1或いは請求項2記載の同等ダミー層反射防止コーティングフィルムの構造。
- 前記該内層及び外層の高屈折率はAlN、SiN、Nb2O5或いはTiO2のうちの如何なる一つとすることができ、低屈折率層はSiO2或いはAl2O3のうちの如何なる一つとすることを特徴とする請求項1或いは請求項2記載の同等ダミー層反射防止コーティングフィルムの構造。
- 前記該同等高屈折率ダミー層と該同等低屈折率ダミー層の厚みの比例は約10:1することを特徴とする請求項1或いは請求項2記載の同等ダミー層反射防止コーティングフィルムの構造。
- 前記該同等ダミー層反射防止コーティングフィルムの厚みは500〜5000nmとし、硬度は13Gpaより大きく、波領域は400〜700nmの間にあり、可視光の平均反射率は8%より小さいことを特徴とする請求項1或いは請求項2記載の同等ダミー層反射防止コーティングフィルムの構造。
- 前記該同等ダミー層の層数は4〜20層とし、該同等ダミー層反射防止コーティングフィルムの厚みは1.5umとし、硬度は16Gpa、波領域は400〜700nmの間にあり、可視光の平均反射率は1〜2%以内であることを特徴とする請求項1或いは請求項2記載の同等ダミー層反射防止コーティングフィルムの構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020000535U JP3226780U (ja) | 2020-02-19 | 2020-02-19 | 同等ダミー層反射防止コーティングフィルム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020000535U JP3226780U (ja) | 2020-02-19 | 2020-02-19 | 同等ダミー層反射防止コーティングフィルム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3226780U true JP3226780U (ja) | 2020-07-16 |
Family
ID=71523773
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020000535U Expired - Fee Related JP3226780U (ja) | 2020-02-19 | 2020-02-19 | 同等ダミー層反射防止コーティングフィルム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3226780U (ja) |
-
2020
- 2020-02-19 JP JP2020000535U patent/JP3226780U/ja not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102179361B1 (ko) | 내스크래치성 반사 방지 코팅 | |
TWI600918B (zh) | 光學膜元件 | |
KR102392445B1 (ko) | 내스크래치성 화학 강화 유리 기재 및 이의 용도 | |
US10527760B2 (en) | Ophthalmic lens comprising a thin antireflective coating with a very low reflection in the visible region | |
KR102439066B1 (ko) | 광학 적층체 및 물품 | |
WO2002086559B1 (fr) | Film antireflet et substrat plastique a couche antireflet apposee | |
JP2009128820A (ja) | 多層反射防止膜を有するプラスチックレンズおよびその製造方法 | |
JP2016139138A (ja) | 反射低減層系の製造方法及び反射低減層系 | |
CN105163939A (zh) | 抗反射涂层 | |
US10816707B2 (en) | Gold color tone multilayer coat and reflector including the same | |
KR20160108321A (ko) | 안경 렌즈 | |
TWI468722B (zh) | 顯示裝置及其複合光學膜及複合光學膜的製造方法 | |
JP2024061739A (ja) | 反射防止フィルムおよび画像表示装置 | |
JP3226780U (ja) | 同等ダミー層反射防止コーティングフィルム | |
TWM594536U (zh) | 等效虛設層抗反射鍍膜 | |
KR102168964B1 (ko) | 눈부심 방지 기능을 갖는 고투명 배리어 필름 및 그 제조방법 | |
JPS6051081B2 (ja) | 非球面反射防止膜 | |
CN211263829U (zh) | 等效虚设层抗反射镀膜 | |
JP2001100002A (ja) | 反射防止膜及びそれを用いた光学部材 | |
KR20230043212A (ko) | 광학 적층체 및 물품 | |
JP7276800B2 (ja) | 反射防止膜及びこれを有する光学部品 | |
CN1749782A (zh) | 镀膜玻璃镜片 | |
CN210005721U (zh) | 用于基板的抗反射涂层 | |
CN205653344U (zh) | 双面减反膜玻璃 | |
WO2024066880A1 (zh) | S偏振光透反膜、挡风窗、显示装置和交通设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200330 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3226780 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |