JP3224280U - Solar cell substrate and solar cell - Google Patents

Solar cell substrate and solar cell Download PDF

Info

Publication number
JP3224280U
JP3224280U JP2018600028U JP2018600028U JP3224280U JP 3224280 U JP3224280 U JP 3224280U JP 2018600028 U JP2018600028 U JP 2018600028U JP 2018600028 U JP2018600028 U JP 2018600028U JP 3224280 U JP3224280 U JP 3224280U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
copper foil
substrate
etching
line
solar cell
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2018600028U
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
ヨン イェン
ヨン イェン
シァォジュン ガオ
シァォジュン ガオ
Original Assignee
スーヂョウ チォンバンダーリー マテリアル テクノロジー カンパニー リミテッド
スーヂョウ チォンバンダーリー マテリアル テクノロジー カンパニー リミテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by スーヂョウ チォンバンダーリー マテリアル テクノロジー カンパニー リミテッド, スーヂョウ チォンバンダーリー マテリアル テクノロジー カンパニー リミテッド filed Critical スーヂョウ チォンバンダーリー マテリアル テクノロジー カンパニー リミテッド
Application granted granted Critical
Publication of JP3224280U publication Critical patent/JP3224280U/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/48Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
    • H01L21/4814Conductive parts
    • H01L21/4846Leads on or in insulating or insulated substrates, e.g. metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L24/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/02016Circuit arrangements of general character for the devices
    • H01L31/02019Circuit arrangements of general character for the devices for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
    • H01L31/02021Circuit arrangements of general character for the devices for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/838Bonding techniques
    • H01L2224/83801Soldering or alloying
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Sustainable Energy (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Abstract

【課題】太陽電池用基板及び太陽電池を提供する。【解決手段】太陽電池セル8と樹脂基材2とを備え、前記樹脂基材2の上に接着剤層が塗布され、前記接着剤層の上に銅箔が複合され、前記銅箔にエッチングで回線3が形成され、前記回線3の表面にメッキで酸化防止メッキ層が形成され、前記回線3と前記太陽電池セル8とが低温半田で接合される。【選択図】図1A solar cell substrate and a solar cell are provided. The solar cell includes a solar cell (8) and a resin substrate (2), an adhesive layer is applied on the resin substrate (2), a copper foil is composited on the adhesive layer, and the copper foil is etched. Then, a line 3 is formed, an antioxidant plating layer is formed on the surface of the line 3 by plating, and the line 3 and the solar cell 8 are joined by low-temperature solder. [Selection diagram] Fig. 1

Description

本発明は、2016年12月13日に中国専利局に提出され、出願番号が201611146604.2であり、名称が「太陽電池用基板及びその製造方法」である中国特許出願の優先権を主張し、引用によりその全ての内容を本願に組み込む。 The present invention is filed with the Chinese Patent Office on December 13, 2016 and claims the priority of a Chinese patent application having an application number of 2016111466044.2 and the name of “substrate for solar cell and manufacturing method thereof”. The entire contents of which are incorporated herein by reference.

本発明は、太陽電池技術分野に関し、特に太陽電池用基板及びその製造方法に関する。 The present invention relates to the technical field of solar cells, and more particularly to a substrate for solar cells and a method for manufacturing the same.

太陽エネルギは、再生可能及び持続利用可能な新エコエネルギであるので、太陽エネルギの開発及び利用は、世界各国が持続可能な発展戦略を立てるときの重要内容になった。また、太陽エネルギをよりよく利用することは研究内容になり、太陽エネルギによる発電効率を如何に向上させるかも重要な研究課題になった。 Since solar energy is a renewable and sustainable new eco-energy, the development and use of solar energy has become an important content when countries around the world have a sustainable development strategy. In addition, making better use of solar energy has become a research topic, and how to improve the power generation efficiency by solar energy has become an important research subject.

本発明は、厳しい環境においても優れた耐酸化性及び溶接性を有する太陽電池用基板及びその製造方法を提供することを目的とする。 An object of this invention is to provide the board | substrate for solar cells which has the outstanding oxidation resistance and weldability also in the severe environment, and its manufacturing method.

上記の目的を達成させるために、本発明は、以下の技術案を採用する。 In order to achieve the above object, the present invention employs the following technical solution.

太陽電池用基板は、太陽電池セルと樹脂基材とを備え、前記樹脂基材の上に接着剤層が塗布され、前記接着剤層の上に銅箔が複合され、前記銅箔にエッチングで回線が形成され、前記回線の表面にメッキで酸化防止メッキ層が形成され、前記回線と前記太陽電池セルとが低温半田で接合されるように構成されている。 The substrate for solar cells includes a solar battery cell and a resin base material, an adhesive layer is applied on the resin base material, a copper foil is combined on the adhesive layer, and the copper foil is etched. A line is formed, an anti-oxidation plating layer is formed by plating on the surface of the line, and the line and the solar battery cell are joined by low-temperature solder.

低温半田は、ビスマス又はインジウム類の半田であり、融点温度は95℃〜135℃である。 The low temperature solder is bismuth or indium solder, and the melting point temperature is 95 ° C to 135 ° C.

好ましくは、前記酸化防止メッキ層において、亜鉛の含有量が0.5〜25mg/mであり、ニッケルの含有量が 0.5〜10mg/mであり、クロムの含有量が0.5〜8mg/mである。 Preferably, in the antioxidant plating layer, the zinc content is 0.5 to 25 mg / m 2 , the nickel content is 0.5 to 10 mg / m 2 , and the chromium content is 0.5. it is a ~8mg / m 2.

好ましくは、前記接着剤層は、樹脂20〜100重量部、硬化剤1〜5重量部、助剤0.1〜0.5重量部、フィラー0.1〜0.5重量部及び溶剤5〜10重量部を含有する。 Preferably, the adhesive layer comprises 20 to 100 parts by weight of resin, 1 to 5 parts by weight of curing agent, 0.1 to 0.5 parts by weight of auxiliary agent, 0.1 to 0.5 parts by weight of filler, and 5 to 5 parts of solvent. Contains 10 parts by weight.

前記接着剤層の厚みは、8〜20μmであり、好ましくは8〜16μmであり、さらに好ましくは8〜13μmである。溶剤は、水又はアルコール類である。 The thickness of the adhesive layer is 8 to 20 μm, preferably 8 to 16 μm, and more preferably 8 to 13 μm. The solvent is water or alcohols.

好ましくは、前記樹脂は、ポリエステル、エポキシ樹脂及びアクリル樹脂の内の一種又は数種の混合である。 Preferably, the resin is one or a mixture of several of polyester, epoxy resin, and acrylic resin.

好ましくは、前記樹脂基材は、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエチレンテレフタレート(PET)及びポリイミド(PI)の内の一種又は数種の混合である。前記樹脂基材の厚みは、45〜125μmであり、好ましくは50〜100μmであり、さらに好ましくは50〜80μmである。 Preferably, the resin base material is one or a mixture of polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene terephthalate (PET), and polyimide (PI). The resin base material has a thickness of 45 to 125 μm, preferably 50 to 100 μm, and more preferably 50 to 80 μm.

好ましくは、前記銅箔の厚みは、10〜45μmであり、好ましくは15〜42μmであり 、さらに好ましくは18〜40μmである。 Preferably, the copper foil has a thickness of 10 to 45 μm, preferably 15 to 42 μm, and more preferably 18 to 40 μm.

好ましくは、前記銅箔に対して、エッチングで前記回線を形成する前にマイクロエッチング処理を実施する。 Preferably, a micro-etching process is performed on the copper foil before forming the line by etching.

上記太陽電池用基板の製造方法は、
前記樹脂基材(2)と前記接着剤層(6)を介して前記樹脂基材(2)の上に複合された前記銅箔(4)とを備えるフレキシブル銅張板の銅箔(4)に、エッチングで回線(3)を形成する工程と、
前記回線(3)の上に電気メッキで前記酸化防止メッキ層(7)を形成する工程と、
電気メッキで前記酸化防止メッキ層(7)が形成された回線(3)と前記太陽電池セル(8)とを低温半田で接合させる工程と、を含む。
The method for producing the solar cell substrate is as follows:
Copper foil (4) of a flexible copper-clad board provided with the said copper foil (4) compounded on the said resin base material (2) through the said resin base material (2) and the said adhesive bond layer (6). And the step of forming the line (3) by etching;
Forming the antioxidant plating layer (7) by electroplating on the line (3);
Joining the line (3) on which the antioxidation plating layer (7) is formed by electroplating and the solar battery cell (8) with low-temperature solder.

好ましくは、前記樹脂基材(2)の上に均一に接着剤を塗布して前記接着剤層(6)を形成してから前記銅箔(4)を複合し熟成させることによって、前記フレキシブル銅張板を形成する。 Preferably, the flexible copper is formed by applying an adhesive uniformly on the resin base material (2) to form the adhesive layer (6), and then compounding and aging the copper foil (4). A tension plate is formed.

好ましくは、前記銅箔(4)にエッチングで前記回線(3)を形成する前に、前記銅箔(4)の上面に対してマイクロエッチング処理を行う。 Preferably, before the line (3) is formed by etching on the copper foil (4), a micro-etching process is performed on the upper surface of the copper foil (4).

好ましくは、マイクロエッチング処理は、前記銅箔(4)を硫酸-過酸化水素マイクロエッチング液に入れ、30s〜60s、好ましくは40〜55s、さらに好ましくは40〜50sでエッチングすることである。 Preferably, the micro-etching treatment is to put the copper foil (4) in a sulfuric acid-hydrogen peroxide micro-etching solution and perform etching for 30 to 60 seconds, preferably 40 to 55 seconds, more preferably 40 to 50 seconds.

好ましくは、前記回線(3)の上に電気メッキで前記酸化防止メッキ層(7)を形成する前に、前記回線(3)に対して洗浄及び乾燥を行う。洗浄及び乾燥により、電気メッキで酸化防止メッキ層(7)を形成するときその表面に良好に付着でき、電気メッキの効果がよりよい。 Preferably, the line (3) is washed and dried before the oxidation plating layer (7) is formed on the line (3) by electroplating. When the antioxidant plating layer (7) is formed by electroplating by washing and drying, it can adhere well to the surface, and the electroplating effect is better.

好ましくは、前記銅箔(4)にエッチングで回線(3)を形成する工程は、前記銅箔(4)にドライフィルム(5)を貼り付けてから露光、現像を行い、塩化第二鉄のエッチング液によるエッチングを行う。 Preferably, in the step of forming the line (3) by etching on the copper foil (4), a dry film (5) is attached to the copper foil (4), and then exposure and development are performed. Etching with an etchant is performed.

好ましくは、前記塩化第二鉄のエッチング液の濃度は、200〜300g/Lである。 Preferably, the concentration of the ferric chloride etchant is 200 to 300 g / L.

好ましくは、エッチングの温度は40〜60℃であり、圧力は1.5〜3kg/cmである。当該温度及び圧力の範囲内であれば、よいエッチング効果が得られる。 Preferably, the etching temperature is 40 to 60 ° C. and the pressure is 1.5 to 3 kg / cm 2 . If it is in the range of the said temperature and pressure, a good etching effect will be acquired.

好ましくは、エッチングの時間は2〜4minである。 Preferably, the etching time is 2 to 4 minutes.

上記の太陽電池用基板の製造方法は、
接着剤を製造し、樹脂基材の上に均一に接着剤を塗布して接着剤層を形成してから銅箔を複合し熟成させて、フレキシブル銅張板を形成する工程Aと、
前記工程Aにおける銅箔の光滑面(S面)に対してマイクロエッチング処理を行い、銅箔の銅箔カバー層を除去し、銅箔基層を露出させる工程Bと、
前記工程Bで処理した後の銅箔にエッチングで回線を形成し、洗浄及び乾燥を行う工程Cと、
前記工程Cにおける回線の上に電気メッキで酸化防止メッキ層を形成する工程Dと、
前記工程Dで処理した後の回線と太陽電池セルとを低温半田で接合させる工程Eと、を含む。
The method for producing the solar cell substrate is as follows.
A process for producing an adhesive, forming an adhesive layer by uniformly applying an adhesive on a resin base material, and then aging the composite with copper foil to form a flexible copper-clad plate; and
A micro-etching process is performed on the light smooth surface (S surface) of the copper foil in the step A, the copper foil cover layer of the copper foil is removed, and the copper foil base layer is exposed,
Forming a line by etching on the copper foil after the process B, washing and drying;
Forming an antioxidation plating layer by electroplating on the line in the step C; and
And a step E of joining the line after processing in the step D and the solar battery cell with a low-temperature solder.

好ましくは、前記工程Bにおける銅箔を、硫酸-過酸化水素マイクロエッチング液に入れ、30s〜60sでエッチングする 。 Preferably, the copper foil in the step B is put in a sulfuric acid-hydrogen peroxide microetching solution and etched for 30 to 60 s.

好ましくは、前記工程Cにおける銅箔にドライフィルムを貼り付けてから、露光、現像を行い、濃度が 200〜300g/Lである塩化第二鉄のエッチング液にエッチングを行う。エッチングのプロセスパラメータは、温度が40〜60℃であり、圧力が1.5〜3kg/cmであり、エッチングの時間が2〜4minである。 Preferably, after a dry film is attached to the copper foil in the step C, exposure and development are performed, and etching is performed on a ferric chloride etchant having a concentration of 200 to 300 g / L. The etching process parameters are a temperature of 40 to 60 ° C., a pressure of 1.5 to 3 kg / cm 2 , and an etching time of 2 to 4 min.

本発明は、上記の太陽電池用基板を備える太陽電池を提供する。 This invention provides a solar cell provided with said board | substrate for solar cells.

本発明は、太陽電池用基板及びその製造方法を提供し、製造が簡単であり、厳しい環境においても優れる耐酸化性と溶接性を有する。 The present invention provides a substrate for a solar cell and a method for manufacturing the same, which is easy to manufacture and has excellent oxidation resistance and weldability even in a harsh environment.

以下、本発明の具体的な実施形態又は従来技術の技術案をより明瞭に説明するために、具体的な実施形態又は従来技術の技術案の説明に必要な図面を簡単に説明する。以下の図面は、本発明の一部の実施形態を示したものに過ぎず、当業者は、創造的な労働をしなくても、これらの図面からその他の図面を得られると理解すべきである。 Hereinafter, in order to explain a specific embodiment of the present invention or a technical solution of the prior art more clearly, drawings necessary for describing the specific embodiment or the technical solution of the prior art will be briefly described. The following drawings are only some of the embodiments of the present invention, and those skilled in the art should understand that other drawings can be obtained from these drawings without creative labor. is there.

本発明が提供した太陽電池用基板に太陽電池セルが接続されている状態の構成模式図である。It is a structure schematic diagram of the state by which the photovoltaic cell is connected to the board | substrate for solar cells provided by this invention. 本発明が提供した太陽電池用基板の構成模式図である。It is a structure schematic diagram of the substrate for solar cells provided by the present invention. 図2aにおけるA-A断面図である。It is AA sectional drawing in FIG. 2a. 図2aにおける太陽電池用基板がエッチングされる前の構成模式図である。It is the structure schematic before the board | substrate for solar cells in FIG. 2a is etched. 図2cにおける太陽電池用基板がマイクロエッチングされた後の構成模式図である。It is the structure schematic diagram after the board | substrate for solar cells in FIG. 2c was micro-etched. 図2dにおける太陽電池用基板にドライフィルムが貼り付けられた後の構成模式図である。It is a structure schematic diagram after a dry film was affixed on the board | substrate for solar cells in FIG. 2d. 図2eにおける太陽電池用基板にエッチングで回線が形成された後の構成模式図である。It is a structure schematic diagram after the circuit | line was formed in the board | substrate for solar cells in FIG. 2e by an etching. 図2fにおける太陽電池用基板からドライフィルムを剥離した後の構成模式図である。It is a structure schematic diagram after peeling a dry film from the board | substrate for solar cells in FIG. 2f. 図2gにおける太陽電池用基板の銅箔に酸化防止メッキ層がメッキされた後の構成模式図である。It is a structure schematic diagram after the antioxidant plating layer was plated on the copper foil of the board | substrate for solar cells in FIG. 2g.

以下、図面を参照して、本発明の技術案を明瞭且つ完全に説明する。説明する実施例は、本発明の一部の実施例に過ぎず、全ての実施例ではないと理解すべきである。当業者が本発明における実施例に基づいて創造的な労働をしなくて得られる全てのその他の実施例は、本発明の保護範囲に該当する。 The technical solution of the present invention will be described below clearly and completely with reference to the drawings. It should be understood that the described embodiments are only some embodiments of the present invention and not all embodiments. All other embodiments obtained by a person skilled in the art without creative labor based on the embodiments of the present invention fall within the protection scope of the present invention.

図1、図2a及び図2bに示すように、本発明が提供した太陽電池用基板1は、太陽電池セル8と樹脂基材2とを備え、樹脂基材2の上に接着剤層6が塗布され、接着剤層6の上に銅箔4が複合され、銅箔4にエッチングで回線3が形成され、回線3の表面にメッキで酸化防止メッキ層7が形成され、回線3と太陽電池セル8とが低温半田で接合されるように構成されている。半田で太陽電池セル8と回線3とを接合することによって、放熱性能を向上させ、内部抵抗を低減させるとともに、耐酸化性及び加工性が良好になったので、厳しい環境においても優れる耐酸化性及び溶接性を有する太陽電池用基板1が形成された。 As shown in FIGS. 1, 2 a, and 2 b, a solar cell substrate 1 provided by the present invention includes solar cells 8 and a resin base material 2, and an adhesive layer 6 is formed on the resin base material 2. The copper foil 4 is composited on the adhesive layer 6, the line 3 is formed by etching on the copper foil 4, and the antioxidant plating layer 7 is formed by plating on the surface of the line 3. The cell 8 is configured to be joined with low-temperature solder. By joining the solar cell 8 and the line 3 with solder, the heat dissipation performance is improved, the internal resistance is reduced, and the oxidation resistance and workability are improved, so that the oxidation resistance is excellent even in harsh environments. And the board | substrate 1 for solar cells which has weldability was formed.

実施例1
本実施例において、樹脂基材2は、ポリエチレンテレフタレート(PET)からなる。厚みが50μmであるポリエチレンテレフタレート(PET)に8μmの接着剤を塗布して接着剤層6を形成してから、接着剤層6の上に20μmの銅箔4を複合し熟成を経て、フレキシブル銅張板を形成させる。図2cに示すように、銅箔4は、銅箔基層41と、銅箔基層41の酸化を防止するための銅箔カバー層42とを備える。銅箔カバー層42において、亜鉛の含有量が33.68mg/mであり、ニッケルの含有量が11.79mg/mであり、クロムの含有量が7.2mg/mである。フレキシブル銅張板の厚みは78μmであり、TD=340mm、MD=340mmである。
Example 1
In this embodiment, the resin substrate 2 is made of polyethylene terephthalate (PET). An adhesive layer 6 is formed by applying an adhesive of 8 μm to polyethylene terephthalate (PET) having a thickness of 50 μm, and then a copper foil 4 of 20 μm is combined on the adhesive layer 6 and aging. A tension plate is formed. As shown in FIG. 2 c, the copper foil 4 includes a copper foil base layer 41 and a copper foil cover layer 42 for preventing the copper foil base layer 41 from being oxidized. In the copper foil cover layer 42 is 33.68mg / m 2 content of zinc, the nickel content is 11.79mg / m 2, the content of chromium is 7.2 mg / m 2. The thickness of the flexible copper-clad plate is 78 μm, TD = 340 mm, MD = 340 mm.

接着剤層6は、ポリエステルである樹脂50重量部、硬化剤3重量部、助剤0.3重量部、フィラー0.3重量部及び溶剤7重量部を含有する。 The adhesive layer 6 contains 50 parts by weight of a resin that is polyester, 3 parts by weight of a curing agent, 0.3 part by weight of an auxiliary agent, 0.3 part by weight of a filler, and 7 parts by weight of a solvent.

上記フレキシブル銅張板は、4つの170mm×170mmのサンプルに切断される。これらのサンプルは、それぞれサンプル1、サンプル2、サンプル3及びサンプル4で示される。サンプル1、サンプル2及びサンプル3の3つのサンプルを硫酸−過酸化水素マイクロエッチング液に入れ、45sのエッチングを実施してから取り出して、純水で清潔に洗浄する。これによって、図2dに示すように、銅箔4の銅箔カバー層42がエッチングで除去され、銅箔基層41が露出されるようになる。銅箔カバー層42がエッチングで完全に除去されたか否かを判断するために、EDS測定装置でサンプル1、サンプル2及びサンプル3の元素含有量を測定する。 The flexible copper-clad plate is cut into four 170 mm × 170 mm samples. These samples are shown as Sample 1, Sample 2, Sample 3 and Sample 4, respectively. Three samples, Sample 1, Sample 2 and Sample 3, are put into a sulfuric acid-hydrogen peroxide microetching solution, etched for 45 s, and then removed and cleaned cleanly with pure water. As a result, as shown in FIG. 2d, the copper foil cover layer 42 of the copper foil 4 is removed by etching, and the copper foil base layer 41 is exposed. In order to determine whether or not the copper foil cover layer 42 has been completely removed by etching, the element contents of Sample 1, Sample 2 and Sample 3 are measured with an EDS measuring apparatus.

上記4つのサンプルに40μmのドライフィルム5を貼り付けた後、露光、現像を行い、さらに50℃の温度、2KG/cmの圧力で、濃度が250mol/Lである塩化第二鉄のエッチング液によるエッチングを3min行ってから取り出し、これによってエッチングで回線3を形成させる。その後、純水で清潔に洗浄し乾燥させて、4つの170mm×170mmのサンプルを形成させる。サンプル1、サンプル2及びサンプル3の構成は、図2eに示される。 After the 40 μm dry film 5 is attached to the above four samples, exposure and development are performed, and further, a ferric chloride etching solution having a concentration of 250 mol / L at a temperature of 50 ° C. and a pressure of 2 KG / cm 2. Etching is performed for 3 minutes, and then the line 3 is formed by etching. Thereafter, the sample is cleanly washed with pure water and dried to form four 170 mm × 170 mm samples. The configuration of sample 1, sample 2 and sample 3 is shown in FIG. 2e.

上記4つのサンプルに対して、ドライフィルム5を剥離する工程を行う。サンプル4は、エッチング及びドライフィルム5の剥離のプロセスにおいて、その銅箔カバー層42における元素含有量の損失が発生し、亜鉛の含有量が26.35mg/m、ニッケルの含有量が10.41mg/m、クロムの含有量 が5.01mg/mに減少する。上記のエッチング処理が行われたサンプル1、サンプル2及びサンプル3に、酸化防止処理溝による電気メッキを行うことによって、酸化防止メッキ層7を形成する。サンプル1、サンプル2及びサンプル3の酸化防止メッキ層7における各元素の量について、亜鉛メッキ量がそれぞれ0mg/m、2mg/m、15mg/mであり、ニッケルメッキ量がそれぞれ0mg/m、1mg/m、8mg/mであり、クロムメッキ量がそれぞれ0mg/m、2mg/m、4mg/mである。EDS測定で酸化防止メッキ層7の元素含有量を測定する。上記プロセスにおいて、サンプル1、サンプル2及びサンプル3の構成は、図2f〜図2hに示される。 A process of peeling the dry film 5 is performed on the four samples. In the sample 4, in the process of etching and peeling of the dry film 5, the element content in the copper foil cover layer 42 is lost, the zinc content is 26.35 mg / m 2 , and the nickel content is 10. 41 mg / m 2 , chromium content is reduced to 5.01 mg / m 2 . The anti-oxidation plating layer 7 is formed by performing electroplating with the anti-oxidation treatment groove on the sample 1, the sample 2, and the sample 3 subjected to the above etching treatment. Regarding the amount of each element in the antioxidant plating layer 7 of Sample 1, Sample 2 and Sample 3, the zinc plating amount is 0 mg / m 2 , 2 mg / m 2 and 15 mg / m 2 respectively, and the nickel plating amount is 0 mg / m 2 respectively. m 2 , 1 mg / m 2 , and 8 mg / m 2 , and the chrome plating amounts are 0 mg / m 2 , 2 mg / m 2 , and 4 mg / m 2 , respectively. The element content of the antioxidant plating layer 7 is measured by EDS measurement. In the above process, the configurations of Sample 1, Sample 2 and Sample 3 are shown in FIGS. 2f to 2h.

実施例2
本実施例において、樹脂基材2は、ポリエチレンナフタレート(PEN)からなる。厚みが45μmであるポリエチレンナフタレート(PEN)に20μmの接着剤を塗布して接着剤層6を形成してから、接着剤層6の上に10μmの銅箔4を複合し熟成を経て、フレキシブル銅張板を形成させる。銅箔4は、銅箔基層41と、銅箔基層41の酸化を防止するための銅箔カバー層42とを備える。銅箔カバー層42において、亜鉛の含有量が33.68mg/mであり、ニッケルの含有量が11.79mg/mであり、クロムの含有量が7.2mg/mである。フレキシブル銅張板の厚みは75μmであり、TD=340mm、MD=340mmである。
Example 2
In this embodiment, the resin base material 2 is made of polyethylene naphthalate (PEN). An adhesive layer 6 is formed by applying a 20 μm adhesive to polyethylene naphthalate (PEN) having a thickness of 45 μm, then a 10 μm copper foil 4 is combined on the adhesive layer 6 and aging, and then flexible. A copper-clad plate is formed. The copper foil 4 includes a copper foil base layer 41 and a copper foil cover layer 42 for preventing the copper foil base layer 41 from being oxidized. In the copper foil cover layer 42 is 33.68mg / m 2 content of zinc, the nickel content is 11.79mg / m 2, the content of chromium is 7.2 mg / m 2. The thickness of the flexible copper-clad plate is 75 μm, and TD = 340 mm and MD = 340 mm.

接着剤層6は、エポキシ樹脂である樹脂20重量部、硬化剤1重量部、助剤0.1重量部、フィラー0.1重量部及び溶剤5重量部を含有する。 The adhesive layer 6 contains 20 parts by weight of an epoxy resin, 1 part by weight of a curing agent, 0.1 part by weight of an auxiliary agent, 0.1 part by weight of a filler, and 5 parts by weight of a solvent.

上記フレキシブル銅張板は、4つの170mm×170mmのサンプルに切断される。これらのサンプルを、硫酸−過酸化水素マイクロエッチング液に入れ、30sのエッチングを実施してから取り出して、純水で清潔に洗浄する。これによって、銅箔4の銅箔カバー層42がエッチングで除去され、銅箔基層41が露出されるようになる。銅箔カバー層42がエッチングで完全に除去されたか否かを判断するために、EDS測定装置で4つのサンプルの元素含有量を測定する。 The flexible copper-clad plate is cut into four 170 mm × 170 mm samples. These samples are put into a sulfuric acid-hydrogen peroxide microetching solution, etched for 30 s and then taken out and cleaned cleanly with pure water. As a result, the copper foil cover layer 42 of the copper foil 4 is removed by etching, and the copper foil base layer 41 is exposed. In order to determine whether or not the copper foil cover layer 42 has been completely removed by etching, the element contents of the four samples are measured with an EDS measuring apparatus.

上記4つのサンプルに40μmのドライフィルム5を貼り付けた後、露光、現像を行い、さらに40℃の温度、1.5KG/cmの圧力で、濃度が200mol/Lである塩化第二鉄のエッチング液によるエッチングを2minで行ってから取り出し、これによってエッチングで回線3を形成させる。その後、純水で清潔に洗浄して、4つの170mm×170mmのサンプルを形成させる。 After the 40 μm dry film 5 was attached to the above four samples, exposure and development were performed, and further, ferric chloride having a concentration of 200 mol / L at a temperature of 40 ° C. and a pressure of 1.5 KG / cm 2 . Etching with an etchant is performed after 2 minutes, and then the line 3 is formed by etching. Thereafter, the sample is cleaned cleanly with pure water to form four 170 mm × 170 mm samples.

上記4つのサンプルに対して、ドライフィルム5を剥離する工程を行う。エッチング処理が行われた上記4つのサンプルに、酸化防止処理溝による電気メッキを行うことによって、酸化防止メッキ層7を形成する。酸化防止メッキ層7における各元素の量について、亜鉛メッキ量がそれぞれ0mg/m、0.5mg/m、10mg/m、20mg/mであり、ニッケルメッキ量がそれぞれ0mg/m、0.5mg/m、5mg/m、10mg/mであり、クロムメッキ量がそれぞれ0mg/m、0.5mg/m、3mg/m、5mg/mである。EDS測定で酸化防止メッキ層7の元素含有量を測定する。 A process of peeling the dry film 5 is performed on the four samples. Antioxidation plating layer 7 is formed by performing electroplating with the antioxidation treatment groove on the above four samples subjected to the etching treatment. Regarding the amount of each element in the antioxidant plating layer 7, the zinc plating amount is 0 mg / m 2 , 0.5 mg / m 2 , 10 mg / m 2 , 20 mg / m 2 , and the nickel plating amount is 0 mg / m 2, respectively. 0.5 mg / m 2 , 5 mg / m 2 , and 10 mg / m 2 , and the chrome plating amounts are 0 mg / m 2 , 0.5 mg / m 2 , 3 mg / m 2 , and 5 mg / m 2 , respectively. The element content of the antioxidant plating layer 7 is measured by EDS measurement.

実施例3
本実施例において、樹脂基材2は、ポリイミド(PI)からなる。厚みが45μmであるポリイミド(PI)に12μmの接着剤を塗布して接着剤層6を形成してから、接着剤層6の上に45μmの銅箔4を複合し熟成を経て、フレキシブル銅張板を形成させる。銅箔4は、銅箔基層41と、銅箔基層41の酸化を防止するための銅箔カバー層42とを備える。銅箔カバー層42において、亜鉛の含有量が33.68mg/mであり、ニッケルの含有量が11.79mg/mであり、クロムの含有量が7.2mg/mである。フレキシブル銅張板の厚みは102μmであり、TD=340mm、MD=340mmである。
接着剤層6は、アクリル樹脂である樹脂100重量部、硬化剤5重量部、助剤0.5重量部、フィラー0.5重量部及び溶剤10重量部を含有する。
Example 3
In this embodiment, the resin base material 2 is made of polyimide (PI). A 12 μm adhesive is applied to polyimide (PI) having a thickness of 45 μm to form an adhesive layer 6, and then a 45 μm copper foil 4 is combined on the adhesive layer 6 and aged, and then flexible copper-clad A board is formed. The copper foil 4 includes a copper foil base layer 41 and a copper foil cover layer 42 for preventing the copper foil base layer 41 from being oxidized. In the copper foil cover layer 42 is 33.68mg / m 2 content of zinc, the nickel content is 11.79mg / m 2, the content of chromium is 7.2 mg / m 2. The thickness of the flexible copper-clad plate is 102 μm, TD = 340 mm, MD = 340 mm.
The adhesive layer 6 contains 100 parts by weight of an acrylic resin, 5 parts by weight of a curing agent, 0.5 parts by weight of an auxiliary agent, 0.5 parts by weight of a filler, and 10 parts by weight of a solvent.

上記フレキシブル銅張板は、4つの170mm×170mmのサンプルに切断される。これらのサンプルを、硫酸-過酸化水素マイクロエッチング液に入れ、60sのエッチングを実施してから取り出して、純水で清潔に洗浄する。これによって、銅箔4の銅箔カバー層42がエッチングで除去され、銅箔基層41が露出されるようになる。銅箔カバー層42がエッチングで完全に除去されたか否かを判断するために、EDS測定装置で4つのサンプルの元素含有量を測定する。 The flexible copper-clad plate is cut into four 170 mm × 170 mm samples. These samples are put in a sulfuric acid-hydrogen peroxide microetching solution, etched for 60 s, taken out, and cleaned cleanly with pure water. As a result, the copper foil cover layer 42 of the copper foil 4 is removed by etching, and the copper foil base layer 41 is exposed. In order to determine whether or not the copper foil cover layer 42 has been completely removed by etching, the element contents of the four samples are measured with an EDS measuring apparatus.

上記4つのサンプルに40μmのドライフィルム5を貼り付けた後、露光、現像を行い、さらに60℃の温度、1.5KG/cmの圧力で、濃度が200mol/Lである塩化第二鉄のエッチング液によるエッチングを4min行ってから取り出し、これによってエッチングで回線3を形成させる。その後、純水で清潔に洗浄して、4つの170mm×170mmのサンプルを形成させる。 After the 40 μm dry film 5 was attached to the above four samples, exposure and development were performed, and further, ferric chloride having a concentration of 200 mol / L at a temperature of 60 ° C. and a pressure of 1.5 KG / cm 2 . Etching with an etching solution is performed for 4 minutes, and then the line 3 is formed by etching. Thereafter, the sample is cleaned cleanly with pure water to form four 170 mm × 170 mm samples.

上記4つのサンプルに対して、ドライフィルム5を剥離する工程を行う。エッチング処理が行われた上記4つのサンプルに、酸化防止処理溝による電気メッキを行うことによって、酸化防止メッキ層7を形成する。酸化防止メッキ層7における各元素の量について、亜鉛メッキ量がそれぞれ0.6mg/m、0.9mg/m、8mg/m、15mg/mであり、ニッケルメッキ量がそれぞれ0.6mg/m、0.9mg/m、2mg/m、8mg/mであり、クロムメッキ量がそれぞれ0.9mg/m、1mg/m、2mg/m、4mg/mである。EDS測定で酸化防止メッキ層7の元素含有量を測定する。 A process of peeling the dry film 5 is performed on the four samples. Antioxidation plating layer 7 is formed by performing electroplating with the antioxidation treatment groove on the above four samples subjected to the etching treatment. Regarding the amount of each element in the antioxidant plating layer 7, the zinc plating amount is 0.6 mg / m 2 , 0.9 mg / m 2 , 8 mg / m 2 , 15 mg / m 2 , respectively, and the nickel plating amount is 0. 6 mg / m 2 , 0.9 mg / m 2 , 2 mg / m 2 and 8 mg / m 2 , and the chrome plating amounts are 0.9 mg / m 2 , 1 mg / m 2 , 2 mg / m 2 and 4 mg / m 2, respectively. It is. The element content of the antioxidant plating layer 7 is measured by EDS measurement.

実施例4
本実施例において、樹脂基材2は、ポリイミド(PI)からなる。厚みが100μmであるポリイミド(PI)に15μmの接着剤を塗布して接着剤層6を形成してから、接着剤層6の上に18μmの銅箔4を複合し熟成を経て、フレキシブル銅張板を形成させる。銅箔4は、銅箔基層41と、銅箔基層41の酸化を防止するための銅箔カバー層42とを備える。銅箔カバー層42において、亜鉛の含有量が33.68mg/mであり、ニッケルの含有量が11.79mg/mであり、クロムの含有量が7.2mg/mである。フレキシブル銅張板の厚みは133μmであり、TD=340mm、MD=340mmである。
接着剤層6は、アクリル樹脂である樹脂65重量部、硬化剤4重量部、助剤0.4重量部、フィラー0.4重量部及び溶剤8重量部を含有する。
Example 4
In this embodiment, the resin base material 2 is made of polyimide (PI). An adhesive layer 6 is formed by applying an adhesive of 15 μm to polyimide (PI) having a thickness of 100 μm, and then a copper foil 4 of 18 μm is combined on the adhesive layer 6 and aged, and then flexible copper-clad A board is formed. The copper foil 4 includes a copper foil base layer 41 and a copper foil cover layer 42 for preventing the copper foil base layer 41 from being oxidized. In the copper foil cover layer 42 is 33.68mg / m 2 content of zinc, the nickel content is 11.79mg / m 2, the content of chromium is 7.2 mg / m 2. The thickness of the flexible copper-clad plate is 133 μm, TD = 340 mm, MD = 340 mm.
The adhesive layer 6 contains 65 parts by weight of an acrylic resin, 4 parts by weight of a curing agent, 0.4 parts by weight of an auxiliary agent, 0.4 parts by weight of a filler, and 8 parts by weight of a solvent.

上記フレキシブル銅張板は、4つの170mm×170mmのサンプルに切断される。これらのサンプルを、硫酸-過酸化水素マイクロエッチング液に入れ、50sのエッチングを実施してから取り出して、純水で清潔に洗浄する。これによって、銅箔4の銅箔カバー層42がエッチングで除去され、銅箔基層41が露出されるようになる。銅箔カバー層42がエッチングで完全に除去されたか否かを判断するために、EDS測定装置で4つのサンプルの元素含有量を測定する。 The flexible copper-clad plate is cut into four 170 mm × 170 mm samples. These samples are put into a sulfuric acid-hydrogen peroxide microetching solution, etched for 50 s and then taken out and cleaned cleanly with pure water. As a result, the copper foil cover layer 42 of the copper foil 4 is removed by etching, and the copper foil base layer 41 is exposed. In order to determine whether or not the copper foil cover layer 42 has been completely removed by etching, the element contents of the four samples are measured with an EDS measuring apparatus.

上記4つのサンプルに40μmのドライフィルム5を貼り付けた後、露光、現像を行い、さらに45℃の温度、2.5KG/cmの圧力で、濃度が275mol/Lである塩化第二鉄のエッチング液によるエッチングを2.5min行ってから取り出し、これによってエッチングで回線3を形成させる。その後、純水で清潔に洗浄して、4つの170mm×170mmのサンプルを形成させる。 After the 40 μm dry film 5 was attached to the above four samples, exposure and development were performed, and further ferric chloride having a concentration of 275 mol / L at a temperature of 45 ° C. and a pressure of 2.5 KG / cm 2 . Etching with an etching solution is performed for 2.5 minutes, and then the line 3 is formed by etching. Thereafter, the sample is cleaned cleanly with pure water to form four 170 mm × 170 mm samples.

上記4つのサンプルに対して、ドライフィルム5を剥離する工程を行う。エッチング処理が行われた上記4つのサンプルに、酸化防止処理溝による電気メッキを行うことによって、酸化防止メッキ層7を形成する。酸化防止メッキ層7における各元素の量について、亜鉛メッキ量がそれぞれ0.6mg/m、0.9mg/m、8mg/m、15mg/mであり、ニッケルメッキ量がそれぞれ0.6mg/m、0.9mg/m、2mg/m、8mg/mであり、クロムメッキ量がそれぞれ0.9mg/m、1mg/m、2mg/m、4mg/mである。EDS測定で酸化防止メッキ層7の元素含有量を測定する。 A process of peeling the dry film 5 is performed on the four samples. Antioxidation plating layer 7 is formed by performing electroplating with the antioxidation treatment groove on the above four samples subjected to the etching treatment. Regarding the amount of each element in the antioxidant plating layer 7, the zinc plating amount is 0.6 mg / m 2 , 0.9 mg / m 2 , 8 mg / m 2 , 15 mg / m 2 , respectively, and the nickel plating amount is 0. 6 mg / m 2 , 0.9 mg / m 2 , 2 mg / m 2 and 8 mg / m 2 , and the chrome plating amounts are 0.9 mg / m 2 , 1 mg / m 2 , 2 mg / m 2 and 4 mg / m 2, respectively. It is. The element content of the antioxidant plating layer 7 is measured by EDS measurement.

実施例5
本実施例において、樹脂基材2は、ポリエチレンテレフタレート(PET)からなる。厚みが80μmであるポリエチレンテレフタレート(PET)に16μmの接着剤を塗布して接着剤層6を形成してから、接着剤層6の上に35μmの銅箔4を複合し熟成を経て、フレキシブル銅張板を形成させる。銅箔4は、銅箔基層41と、銅箔基層41の酸化を防止するための銅箔カバー層42とを備える。銅箔カバー層42において、亜鉛の含有量が33.68mg/mであり、ニッケルの含有量が11.79mg/mであり、クロムの含有量が7.2mg/mである。フレキシブル銅張板の厚みは121μmであり、TD=340mm、MD=340mmである。
Example 5
In this embodiment, the resin substrate 2 is made of polyethylene terephthalate (PET). A 16 μm adhesive is applied to polyethylene terephthalate (PET) having a thickness of 80 μm to form an adhesive layer 6, a 35 μm copper foil 4 is combined on the adhesive layer 6, and after aging, flexible copper A tension plate is formed. The copper foil 4 includes a copper foil base layer 41 and a copper foil cover layer 42 for preventing the copper foil base layer 41 from being oxidized. In the copper foil cover layer 42 is 33.68mg / m 2 content of zinc, the nickel content is 11.79mg / m 2, the content of chromium is 7.2 mg / m 2. The thickness of the flexible copper-clad plate is 121 μm, and TD = 340 mm and MD = 340 mm.

接着剤層6は、ポリエステルである樹脂82重量部、硬化剤3.5重量部、助剤0.35重量部、フィラー0.35重量部及び溶剤6.5重量部を含有する。 The adhesive layer 6 contains 82 parts by weight of a polyester resin, 3.5 parts by weight of a curing agent, 0.35 parts by weight of an auxiliary agent, 0.35 parts by weight of a filler, and 6.5 parts by weight of a solvent.

上記フレキシブル銅張板は、4つの170mm×170mmのサンプルに切断される。これらのサンプルを、硫酸-過酸化水素マイクロエッチング液に入れ、35sのエッチングを実施してから取り出して、純水で清潔に洗浄する。これによって、銅箔4の銅箔カバー層42がエッチングで除去され、銅箔基層41が露出されるようになる。銅箔カバー層42がエッチングで完全に除去されたか否かを判断するために、EDS測定装置で4つのサンプルの元素含有量を測定する。 The flexible copper-clad plate is cut into four 170 mm × 170 mm samples. These samples are put in a sulfuric acid-hydrogen peroxide microetching solution, etched for 35 s, taken out, and cleaned cleanly with pure water. As a result, the copper foil cover layer 42 of the copper foil 4 is removed by etching, and the copper foil base layer 41 is exposed. In order to determine whether or not the copper foil cover layer 42 has been completely removed by etching, the element contents of the four samples are measured with an EDS measuring apparatus.

上記4つのサンプルに40μmのドライフィルム5を貼り付けた後、露光、現像を行い、さらに50℃の温度、3KG/cmの圧力で、濃度が250mol/Lである塩化第二鉄のエッチング液によるエッチングを3minで行ってから取り出し、これによってエッチングで回線3を形成させる。その後、純水で清潔に洗浄して、4つの170mm×170mmサンプルを形成させる。 After the 40 μm dry film 5 is attached to the above four samples, exposure and development are performed, and further, a ferric chloride etching solution having a concentration of 250 mol / L at a temperature of 50 ° C. and a pressure of 3 KG / cm 2. Etching is performed for 3 minutes and then taken out, whereby the line 3 is formed by etching. Thereafter, the sample is cleaned cleanly with pure water to form four 170 mm × 170 mm samples.

上記4つのサンプルに対して、ドライフィルム5を剥離する工程を行う。エッチング処理が行われた上記4つのサンプルに、酸化防止処理溝による電気メッキを行うことによって、酸化防止メッキ層7を形成する。酸化防止メッキ層7における各元素の量について、亜鉛メッキ量がそれぞれ0.6mg/m、0.9mg/m、8mg/m、15mg/mであり、ニッケルメッキ量がそれぞれ0.6mg/m、0.9mg/m、2mg/m、8mg/mであり、クロムメッキ量がそれぞれ0.9mg/m、1mg/m、2mg/m、4mg/mである。EDS測定で酸化防止メッキ層7の元素含有量を測定する。 A process of peeling the dry film 5 is performed on the four samples. Antioxidation plating layer 7 is formed by performing electroplating with the antioxidation treatment groove on the above four samples subjected to the etching treatment. Regarding the amount of each element in the antioxidant plating layer 7, the zinc plating amount is 0.6 mg / m 2 , 0.9 mg / m 2 , 8 mg / m 2 , 15 mg / m 2 , respectively, and the nickel plating amount is 0. 6 mg / m 2 , 0.9 mg / m 2 , 2 mg / m 2 and 8 mg / m 2 , and the chrome plating amounts are 0.9 mg / m 2 , 1 mg / m 2 , 2 mg / m 2 and 4 mg / m 2, respectively. It is. The element content of the antioxidant plating layer 7 is measured by EDS measurement.

実施例6
本実施例において、樹脂基材2は、ポリエチレンナフタレート(PEN)からなる。厚みが80μmであるポリエチレンナフタレート(PEN)に16μmの接着剤を塗布して接着剤層6を形成してから、接着剤層6の上に35μmの銅箔4を複合し熟成を経て、フレキシブル銅張板を形成させる。銅箔4は、銅箔基層41と、銅箔基層41の酸化を防止するための銅箔カバー層42とを備える。銅箔カバー層42において、亜鉛の含有量が33.68mg/mであり、ニッケルの含有量が11.79mg/mであり、クロムの含有量が7.2mg/mである。フレキシブル銅張板の厚みは121μmであり、TD=340mm、MD=340mmである。
Example 6
In this embodiment, the resin base material 2 is made of polyethylene naphthalate (PEN). A 16 μm adhesive is applied to polyethylene naphthalate (PEN) with a thickness of 80 μm to form an adhesive layer 6, and then a 35 μm copper foil 4 is combined on the adhesive layer 6 and aged to be flexible. A copper-clad plate is formed. The copper foil 4 includes a copper foil base layer 41 and a copper foil cover layer 42 for preventing the copper foil base layer 41 from being oxidized. In the copper foil cover layer 42 is 33.68mg / m 2 content of zinc, the nickel content is 11.79mg / m 2, the content of chromium is 7.2 mg / m 2. The thickness of the flexible copper-clad plate is 121 μm, and TD = 340 mm and MD = 340 mm.

接着剤層6は、ポリエステルである樹脂82重量部、硬化剤3.5重量部、助剤0.35重量部、フィラー0.35重量部及び溶剤6.5重量部を含有する。 The adhesive layer 6 contains 82 parts by weight of a polyester resin, 3.5 parts by weight of a curing agent, 0.35 parts by weight of an auxiliary agent, 0.35 parts by weight of a filler, and 6.5 parts by weight of a solvent.

上記フレキシブル銅張板は、4つの170mm×170mmのサンプルに切断される。これらのサンプルを、硫酸-過酸化水素マイクロエッチング液に入れ、35sのエッチングを実施してから取り出して、純水で清潔に洗浄する。これによって、銅箔4の銅箔カバー層42がエッチングで除去され、銅箔基層41が露出されるようになる。銅箔カバー層42がエッチングで完全に除去されたか否かを判断するために、EDS測定装置で4つのサンプルの元素含有量を測定する。 The flexible copper-clad plate is cut into four 170 mm × 170 mm samples. These samples are put in a sulfuric acid-hydrogen peroxide microetching solution, etched for 35 s, taken out, and cleaned cleanly with pure water. As a result, the copper foil cover layer 42 of the copper foil 4 is removed by etching, and the copper foil base layer 41 is exposed. In order to determine whether or not the copper foil cover layer 42 has been completely removed by etching, the element contents of the four samples are measured with an EDS measuring apparatus.

上記4つのサンプルに40μmのドライフィルム5を貼り付けた後、露光、現像を行い、さらに50℃の温度、3KG/cmの圧力で、濃度が250mol/Lである塩化第二鉄のエッチング液によるエッチングを3minで行ってから取り出し、これによってエッチングで回線3を形成させる。その後、純水で清潔に洗浄して、4つの170mm×170mmのサンプルを形成させる。 After the 40 μm dry film 5 is attached to the above four samples, exposure and development are performed, and further, a ferric chloride etching solution having a concentration of 250 mol / L at a temperature of 50 ° C. and a pressure of 3 KG / cm 2. Etching is performed for 3 minutes and then taken out, whereby the line 3 is formed by etching. Thereafter, the sample is cleaned cleanly with pure water to form four 170 mm × 170 mm samples.

上記4つのサンプルに対して、ドライフィルム5を剥離する工程を行う。エッチング処理が行われた上記4つのサンプルに、酸化防止処理溝による電気メッキを行うことによって、酸化防止メッキ層7を形成する。酸化防止メッキ層7における各元素の量について、亜鉛メッキ量がそれぞれ0.6mg/m、0.9mg/m、8mg/m、15mg/mであり、ニッケルメッキ量がそれぞれ0.6mg/m、0.9mg/m、2mg/m、8mg/mであり、クロムメッキ量がそれぞれ0.9mg/m、1mg/m、2mg/m、4mg/mである。EDS測定で酸化防止メッキ層7の元素含有量を測定する。 A process of peeling the dry film 5 is performed on the four samples. Antioxidation plating layer 7 is formed by performing electroplating with the antioxidation treatment groove on the above four samples subjected to the etching treatment. Regarding the amount of each element in the antioxidant plating layer 7, the zinc plating amount is 0.6 mg / m 2 , 0.9 mg / m 2 , 8 mg / m 2 , 15 mg / m 2 , respectively, and the nickel plating amount is 0. 6 mg / m 2 , 0.9 mg / m 2 , 2 mg / m 2 and 8 mg / m 2 , and the chrome plating amounts are 0.9 mg / m 2 , 1 mg / m 2 , 2 mg / m 2 and 4 mg / m 2, respectively. It is. The element content of the antioxidant plating layer 7 is measured by EDS measurement.

実験例
実施例1における4つのサンプル及びオリジナルサンプルを5cm×5cmのサイズに切断し、錫の含有量が42%であり、ビスマスの含有量が57%であり、銀の含有量が1%である低温半田ペーストを塗布して160℃〜180℃で加熱して溶融させ、目視で4つのサンプルの溶接性を観察する。さらに、上記4つのサンプル及びオリジナルサンプルに対して、85℃−85%RH、24hで老化性の測定を行い、目視で耐酸化性及び半田密着性を観察する。そのうち、オリジナルサンプルは、フレキシブル銅張板である。
Experimental Example Four samples in Example 1 and the original sample were cut to a size of 5 cm × 5 cm, the tin content was 42%, the bismuth content was 57%, and the silver content was 1%. A low-temperature solder paste is applied, heated and melted at 160 to 180 ° C., and the weldability of the four samples is visually observed. Furthermore, aging resistance is measured at 85 ° C.-85% RH, 24 h for the above four samples and the original sample, and the oxidation resistance and solder adhesion are visually observed. Among them, the original sample is a flexible copper-clad plate.

上記オリジナルサンプル及びサンプル1〜4の溶接性、耐酸化性及び半田密着性の測定結果は、以下の表に示されている。 The measurement results of weldability, oxidation resistance and solder adhesion of the original sample and samples 1 to 4 are shown in the following table.

以上から分かるように、本発明による太陽電池用基板は、製造が簡単で、厳しい環境においても優れる耐酸化性及び溶接性を有する。また、当該フレキシブル回線板は、半田で太陽電池セル8と回線3とを接合させるので、放熱性能を向上させ、内部抵抗を低減させるとともに、優れる耐酸化性及び加工性を有する。 As can be seen from the above, the solar cell substrate according to the present invention is easy to manufacture and has excellent oxidation resistance and weldability even in harsh environments. Moreover, since the said flexible circuit board joins the photovoltaic cell 8 and the circuit | line 3 with a solder, while improving heat dissipation performance and reducing internal resistance, it has the outstanding oxidation resistance and workability.

以上、具体的な実施例を参照しながら本発明の技術原理を説明した。これらの説明は、本発明の原理を解釈するためのものに過ぎず、本発明の保護範囲に対する制限ではないと理解すべきである。当業者は、上記の記載に基づいて、創造的な労働をしなくても、本発明のその他の具体的な実施形態を想到できる。これらの実施形態も本発明の保護範囲に該当する。 The technical principle of the present invention has been described above with reference to specific embodiments. It should be understood that these descriptions are merely for the purpose of interpreting the principles of the present invention and are not a limitation on the protection scope of the present invention. Based on the above description, those skilled in the art can devise other specific embodiments of the present invention without creative labor. These embodiments also fall within the protection scope of the present invention.

このため、本発明による太陽電池用基板及びその製造方法は、製造が簡単で、厳しい環境においても優れる耐酸化性及び溶接性を有する。当該太陽電池用基板は、太陽電池の製造に適用し、これによって当該太陽電池を厳しい環境においても使用できる。当該太陽電池用基板及びその製造方法は、太陽電池の技術分野において幅広く応用でき、膨大な経済価値を有する。 For this reason, the board | substrate for solar cells and its manufacturing method by this invention are easy to manufacture, and have the oxidation resistance and weldability which are excellent also in a severe environment. The solar cell substrate can be applied to the manufacture of solar cells, whereby the solar cells can be used in harsh environments. The solar cell substrate and the manufacturing method thereof can be widely applied in the technical field of solar cells and have enormous economic value.

1 太陽電池用基板、2 樹脂基材、3 回線、41 銅箔基層、42 銅箔カバー層、4 銅箔、5 ドライフィルム、6 接着剤層、7 酸化防止メッキ層、8 太陽電池セル。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate for solar cells, 2 Resin base material, 3 Lines, 41 Copper foil base layer, 42 Copper foil cover layer, 4 Copper foil, 5 Dry film, 6 Adhesive layer, 7 Antioxidation plating layer, 8 Solar cell.

Claims (20)

太陽電池セル(8)と樹脂基材(2)とを備え、
前記樹脂基材(2)の上に接着剤層(6)が塗布され、前記接着剤層(6)の上に銅箔(4)が複合され、前記銅箔(4)にエッチングで回線(3)が形成され、前記回線(3)の表面にメッキで酸化防止メッキ層(7)が形成され、前記回線(3)と前記太陽電池セル(8)とが低温半田で接合される
ことを特徴とする太陽電池用基板。
A solar battery cell (8) and a resin substrate (2);
An adhesive layer (6) is applied on the resin base material (2), a copper foil (4) is combined on the adhesive layer (6), and a line ( 3) is formed, an anti-oxidation plating layer (7) is formed on the surface of the line (3) by plating, and the line (3) and the solar battery cell (8) are joined by low-temperature solder. A solar cell substrate characterized.
前記酸化防止メッキ層(7)において、亜鉛の含有量が 0.5〜25mg/mであり、ニッケルの含有量が0.5〜10mg/mであり、クロムの含有量が0.5〜8mg/mであることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池用基板。 In the antioxidant plating layer (7), the zinc content is 0.5 to 25 mg / m 2 , the nickel content is 0.5 to 10 mg / m 2 , and the chromium content is 0.5. The solar cell substrate according to claim 1, wherein the substrate is ˜8 mg / m 2 . 前記接着剤層(6)は、樹脂20〜100重量部、硬化剤1〜5重量部、助剤0.1〜0.5重量部、フィラー0.1〜0.5重量部及び溶剤5〜10重量部を含有することを特徴とする請求項1に記載の太陽電池用基板。 The adhesive layer (6) comprises 20 to 100 parts by weight of resin, 1 to 5 parts by weight of curing agent, 0.1 to 0.5 parts by weight of auxiliary agent, 0.1 to 0.5 parts by weight of filler, and 5 to 5 parts of solvent. It contains 10 weight part, The board | substrate for solar cells of Claim 1 characterized by the above-mentioned. 前記樹脂は、ポリエステル、エポキシ樹脂及びアクリル樹脂の内の一種又は数種の混合であることを特徴とする請求項3に記載の太陽電池用基板。 4. The solar cell substrate according to claim 3, wherein the resin is one or a mixture of polyester, epoxy resin, and acrylic resin. 前記接着剤層(6)の厚みは、8〜20μmであり、好ましくは8〜16μmであり、さらに好ましくは8〜13μmであることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池用基板。 The thickness of the said adhesive bond layer (6) is 8-20 micrometers, Preferably it is 8-16 micrometers, More preferably, it is 8-13 micrometers, The board | substrate for solar cells of Claim 1 characterized by the above-mentioned. 前記樹脂基材(2)は、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエチレンテレフタレート(PET)及びポリイミド(PI)の内の一種又は数種の混合であることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池用基板。 The solar cell according to claim 1, wherein the resin substrate (2) is one or a mixture of polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene terephthalate (PET), and polyimide (PI). Substrate. 前記樹脂基材(2)の厚みは、45〜125μmであり、好ましくは50〜100μmであり、さらに好ましくは50〜80μmであることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池用基板。 The thickness of the said resin base material (2) is 45-125 micrometers, Preferably it is 50-100 micrometers, More preferably, it is 50-80 micrometers, The board | substrate for solar cells of Claim 1 characterized by the above-mentioned. 前記銅箔(4)の厚みは、10〜45μmであり、好ましくは15〜42μmであり 、さらに好ましくは18〜40μmであることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池用基板。 The thickness of the said copper foil (4) is 10-45 micrometers, Preferably it is 15-42 micrometers, More preferably, it is 18-40 micrometers, The board | substrate for solar cells of Claim 1 characterized by the above-mentioned. 前記銅箔(4)に対して、エッチングで前記回線(3)を形成する前にマイクロエッチング処理を実施することを特徴とする請求項1〜8のいずれか1つに記載の太陽電池用基板。 The solar cell substrate according to any one of claims 1 to 8, wherein the copper foil (4) is subjected to a micro-etching process before the line (3) is formed by etching. . 請求項1〜9のいずれか1つに記載の太陽電池用基板に用いられる製造方法であって、
前記樹脂基材(6)と前記接着剤層(6)を介して前記樹脂基材(6)の上に複合された前記銅箔(4)とを備えるフレキシブル銅張板の銅箔(4)に、エッチングで前記回線(3)を形成する工程と、
前記回線(3)の上に電気メッキで前記酸化防止メッキ層(7)を形成する工程と、
電気メッキで前記酸化防止メッキ層(7)が形成された回線(3)と前記太陽電池セル(8)とを低温半田で接合させる工程と、
を含むことを特徴とする太陽電池用基板の製造方法。
It is a manufacturing method used for the substrate for solar cells according to any one of claims 1 to 9,
Copper foil (4) of a flexible copper-clad board provided with the said copper foil (4) compounded on the said resin base material (6) through the said resin base material (6) and the said adhesive bond layer (6). And forming the line (3) by etching;
Forming the antioxidant plating layer (7) by electroplating on the line (3);
Joining the line (3) on which the antioxidation plating layer (7) is formed by electroplating and the solar battery cell (8) with low-temperature solder;
The manufacturing method of the board | substrate for solar cells characterized by including.
前記樹脂基材(2)の上に均一に接着剤を塗布して前記接着剤層(6)を形成してから前記銅箔(4)を複合し熟成させることによって、前記フレキシブル銅張板を形成することを特徴とする請求項10に記載の太陽電池用基板の製造方法。 By applying an adhesive uniformly on the resin base material (2) and forming the adhesive layer (6), the copper foil (4) is combined and aged, thereby forming the flexible copper-clad plate. It forms, The manufacturing method of the board | substrate for solar cells of Claim 10 characterized by the above-mentioned. 前記銅箔(4)にエッチングで前記回線(3)を形成する前に、前記銅箔(4)の上面に対してマイクロエッチング処理を行うことを特徴とする請求項10に記載の太陽電池用基板の製造方法。 11. The solar cell according to claim 10, wherein a micro-etching process is performed on an upper surface of the copper foil (4) before forming the line (3) by etching on the copper foil (4). A method for manufacturing a substrate. マイクロエッチング処理は、前記銅箔(4)を硫酸-過酸化水素マイクロエッチング液に入れ、30s〜60s、好ましくは40〜55s、さらに好ましくは40〜50sでエッチングすることを特徴とする請求項12に記載の太陽電池用基板の製造方法。 The microetching treatment is characterized in that the copper foil (4) is put in a sulfuric acid-hydrogen peroxide microetching solution and etched for 30 s to 60 s, preferably 40 to 55 s, more preferably 40 to 50 s. The manufacturing method of the board | substrate for solar cells as described in any one of. 前記回線(3)の上に電気メッキで前記酸化防止メッキ層(7)を形成する前に、前記回線(3)に対して洗浄及び乾燥を行うことを特徴とする請求項10に記載の太陽電池用基板の製造方法。 11. The sun according to claim 10, wherein the line (3) is washed and dried before the oxidation plating layer (7) is formed by electroplating on the line (3). A method for manufacturing a battery substrate. 前記銅箔(4)にエッチングで回線(3)を形成する工程は、前記銅箔(4)にドライフィルム(5)を貼り付けてから露光、現像を行い、塩化第二鉄のエッチング液によるエッチングを行うことを特徴とする請求項10〜14のいずれか1つに記載の太陽電池用基板の製造方法。 The step of forming the line (3) by etching on the copper foil (4) is performed by applying a dry film (5) to the copper foil (4), exposing and developing, and using a ferric chloride etching solution. Etching is performed, The manufacturing method of the board | substrate for solar cells as described in any one of Claims 10-14 characterized by the above-mentioned. 前記塩化第二鉄のエッチング液の濃度は200〜300g/Lであることを特徴とする請求項15に記載の太陽電池用基板の製造方法。 The method for manufacturing a solar cell substrate according to claim 15, wherein the concentration of the ferric chloride etching solution is 200 to 300 g / L. 前記エッチングの温度は40〜60℃であり、圧力は1.5〜3kg/cmであることを特徴とする請求項15に記載の太陽電池用基板の製造方法。 The method for manufacturing a solar cell substrate according to claim 15, wherein the etching temperature is 40 to 60 ° C. and the pressure is 1.5 to 3 kg / cm 2 . 前記エッチングの時間は2〜4minであることを特徴とする請求項15に記載の太陽電池用基板の製造方法。 The method for manufacturing a solar cell substrate according to claim 15, wherein the etching time is 2 to 4 min. 請求項1〜9のいずれか1つに記載の太陽電池用基板に用いられる製造方法であって、
接着剤を製造し、樹脂基材(2)の上に均一に接着剤を塗布して接着剤層(6)を形成してから銅箔(4)を複合し熟成させて、フレキシブル銅張板を形成する工程Aと、
前記工程Aにおける銅箔(4)の上面に対してマイクロエッチング処理を行い、銅箔(4)の銅箔カバー層(42)を除去し、銅箔基層(41)を露出させる工程Bと、
前記工程Bで処理した後の銅箔(4)にエッチングで回線(3)を形成し、洗浄及び乾燥を行う工程Cと、
前記工程Cにおける回線(3)の上に電気メッキで酸化防止メッキ層(7)を形成する工程Dと、
前記工程Dで処理した後の回線(3)と太陽電池セル(8)とを低温半田で接合させる工程Eと、
を含むことを特徴とする太陽電池用基板の製造方法。
It is a manufacturing method used for the substrate for solar cells according to any one of claims 1 to 9,
A flexible copper-clad board is manufactured by manufacturing an adhesive, uniformly applying the adhesive on the resin base material (2) to form an adhesive layer (6), and then aging the copper foil (4). Forming step A;
Performing a micro-etching process on the upper surface of the copper foil (4) in the step A, removing the copper foil cover layer (42) of the copper foil (4), and exposing the copper foil base layer (41);
Forming a line (3) by etching in the copper foil (4) treated in the step B, washing and drying;
Forming an antioxidant plating layer (7) by electroplating on the line (3) in the step C;
A step E of joining the line (3) and the solar battery cell (8) after the treatment in the step D with a low-temperature solder;
The manufacturing method of the board | substrate for solar cells characterized by including.
請求項1〜9のいずれか1つに記載の前記太陽電池用基板を備えることを特徴とする太陽電池。 A solar cell comprising the solar cell substrate according to claim 1.
JP2018600028U 2016-12-13 2017-11-07 Solar cell substrate and solar cell Active JP3224280U (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611146604.2A CN106784026A (en) 2016-12-13 2016-12-13 A kind of solar cell wiring board and preparation method thereof
CN201611146604.2 2016-12-13
PCT/CN2017/109777 WO2018107922A1 (en) 2016-12-13 2017-11-07 Solar cell circuit board and preparation method therefor, and solar cell

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP3224280U true JP3224280U (en) 2019-12-12

Family

ID=58880684

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018600028U Active JP3224280U (en) 2016-12-13 2017-11-07 Solar cell substrate and solar cell

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP3224280U (en)
CN (1) CN106784026A (en)
WO (1) WO2018107922A1 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106784026A (en) * 2016-12-13 2017-05-31 苏州城邦达力材料科技有限公司 A kind of solar cell wiring board and preparation method thereof
CN106604538A (en) * 2016-12-13 2017-04-26 苏州城邦达力材料科技有限公司 Flexible circuit board and preparing method thereof
CN107325489B (en) * 2017-08-14 2019-07-16 通威太阳能(安徽)有限公司 A kind of anticorrosion epoxy-phenol glue and its application in battery dies etching technique

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101374388B (en) * 2008-03-28 2010-06-02 广州力加电子有限公司 Method for preparing fine line flexible circuit board with high peeling strength
JP4955105B2 (en) * 2008-12-26 2012-06-20 Jx日鉱日石金属株式会社 Rolled copper foil or electrolytic copper foil for electronic circuit and method for forming electronic circuit using these
CN201479455U (en) * 2009-04-16 2010-05-19 惠州国展电子有限公司 Metal base flexible circuit copper-clad plate and metal base flexible circuit board
CN204348742U (en) * 2015-01-05 2015-05-20 苏州中来光伏新材股份有限公司 Without main grid high efficiency back contact solar cell and assembly thereof
CN105350046A (en) * 2015-10-23 2016-02-24 衢州顺络电路板有限公司 Circuit board for replacing golden metal strips and manufacturing method of circuit board
CN106784026A (en) * 2016-12-13 2017-05-31 苏州城邦达力材料科技有限公司 A kind of solar cell wiring board and preparation method thereof
CN106604538A (en) * 2016-12-13 2017-04-26 苏州城邦达力材料科技有限公司 Flexible circuit board and preparing method thereof

Also Published As

Publication number Publication date
WO2018107922A1 (en) 2018-06-21
CN106784026A (en) 2017-05-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3224281U (en) Flexible printed circuit board
JP3224280U (en) Solar cell substrate and solar cell
CN101789468B (en) Method for preparing solar array electrode by electro-brush plating
JP7302046B2 (en) Ultra-thin copper foil and its fabrication method
CN103079365A (en) Method for once molding inner-layer line of multilayer flexible circuit board
KR830006477A (en) Process for providing a peelable copper layer on an aluminum carrier and the product thereby
CN103022204A (en) Novel back contacting photovoltaic assembly solder strip and manufacture method thereof
US9351345B2 (en) Method of manufacturing electrodes for flat heat generator
CN105462713A (en) Combined type degumming agent and preparation method and application thereof
JP2012094846A (en) Power collection sheet for solar cell and solar cell module using the same
CN203040024U (en) Auxiliary frame plate used for flexible circuit board
CN107148679B (en) Solar cell module and its manufacturing method
CN103361706B (en) Circuit board electroplating fixture
CN209144067U (en) A kind of high-performance conductive cloth double-sided adhesive
CN207183214U (en) A kind of solar double-glass assemblies insulate voltage-withstand test frock online
CN203734915U (en) Aluminium magnesium alloy embedded circuit board
CN105463539A (en) Plating method for iron-nickel alloy frame
CN210381451U (en) Prevent flexible line way board of static
JP2006100395A (en) Aluminum substrate for printed circuits and its manufacturing method
JP2004306412A (en) Metal pattern transfer sheet
CN203691748U (en) Colored metal-base printed board
CN220604700U (en) A electrically conductive backplate and IBC battery pack for IBC battery pack
CN104125709A (en) Flexible printed circuit board structure capable of being bonded
CN209890542U (en) Double-sided silica gel polyimide adhesive tape
CN202488871U (en) Flexible circuit board

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180404

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3224280

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250