JP3220721B2 - 真空ポンプ - Google Patents

真空ポンプ

Info

Publication number
JP3220721B2
JP3220721B2 JP22571892A JP22571892A JP3220721B2 JP 3220721 B2 JP3220721 B2 JP 3220721B2 JP 22571892 A JP22571892 A JP 22571892A JP 22571892 A JP22571892 A JP 22571892A JP 3220721 B2 JP3220721 B2 JP 3220721B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
motor
rotor
rotation speed
vacuum pump
input voltage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
JP22571892A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0674235A (ja
Inventor
厚 久保
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koyo Seiko Co Ltd
Original Assignee
Koyo Seiko Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=16833729&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JP3220721(B2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Koyo Seiko Co Ltd filed Critical Koyo Seiko Co Ltd
Priority to JP22571892A priority Critical patent/JP3220721B2/ja
Publication of JPH0674235A publication Critical patent/JPH0674235A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3220721B2 publication Critical patent/JP3220721B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、真空ポンプに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】真空ポンプとして、従来、ロータを非接
触支持する磁気軸受装置と、ロータを回転駆動する誘導
モータと、モータを制御するモータ制御回路とを備えた
ものが知られている。
【０００３】モータ制御回路は、図３のグラフに示すよ
うに、モータの起動時に、モータ入力電圧を徐々に上昇
させることによってロータの回転数を徐々に上昇させ、
ロータの回転数が定常回転数に達した後は、モータ入力
電圧を一定値Ｖ1 に保持するようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】誘導モータが回転する
と、モータからモータ入力電圧に比例するノイズが発生
する。このため、従来のようにロータの回転数が定常回
転数に達した時間ｔ1 以降もモータ入力電圧を高い値Ｖ
1 に保持していると、たとえばモータからのノイズが磁
気軸受装置の変位センサに混入し、回転状態が不安定に
なることがあった。
【０００５】この発明の目的は、上記の問題を解決し、
モータからのノイズの影響の小さい真空ポンプを提供す
ることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明による真空ポン
プは、ロータを非接触支持する磁気軸受装置と、ロータ
を回転駆動する電動モータと、電動モータを制御するモ
ータ制御回路とを備えた真空ポンプにおいて、モータ制
御回路が、ロータの回転数が定常回転数領域内にあると
きはモータ入力電圧を低下させるものであることを特徴
とするものである。
【０００７】
【作用】真空ポンプは、定常回転数まで立ち上がると、
風損、摩擦損がほとんどないので、回転を続けるのにあ
まり電力を必要としない。したがって、モータ入力電圧
を低下させても、ロータの回転を保持することができ
る。そして、モータ入力電圧を低下させることにより、
モータからのノイズの影響が小さくなり、回転状態が非
常に安定する。また、モータ入力電圧が低下する分、発
熱および振動も小さくなる。
【０００８】
【実施例】以下、図面を参照して、この発明の実施例に
ついて説明する。
【０００９】図１は、真空ポンプの構成を概略的に示し
ている。
【００１０】真空ポンプは、ロータ(1) を非接触支持す
る磁気軸受装置(2) と、ロータ(1)を回転駆動する電動
モータ（誘導モータ）(3) と、モータ(3) を駆動するイ
ンバータ(4) と、ロータ(1) の回転数を検出する回転セ
ンサ(5) と、回転センサ(5)の出力に基づいてインバー
タ(4) の出力電圧（モータ入力電圧）を制御するモータ
制御回路(6) とを備えている。
【００１１】磁気軸受装置(2) は、ロータ(1) をラジア
ル方向およびアキシアル方向に非接触支持する複数の電
磁石(7) と、ロータ(1) のラジアル方向およびアキシア
ル方向の変位を検出する変位センサ(8) と、変位センサ
(8) の出力に基づいて電磁石(7) を制御する電磁石制御
回路(9) とを備えている。電磁石(7) および変位センサ
(8) は複数設けられているが、図面にはこれらを１つず
つ示している。また、磁気軸受装置(2) は公知のもので
あるから、詳細な説明は省略する。
【００１２】モータ制御回路(6) は、図２のグラフに示
すように、回転センサ(5) の出力すなわちロータ(1) の
回転数に基づいてモータ入力電圧を制御する。すなわ
ち、モータ(3) の起動時に、ロータ(1) の回転数が定常
回転数に達するまでは、モータ入力電圧を徐々に上昇さ
せることによってロータ(1) の回転数を徐々に上昇させ
る。ロータ(1) の回転数が定常回転数に達したとき（時
間ｔ1 ）には、モータ入力電圧は前述のＶ1 の近傍の値
Ｖ2 になっている。そして、ロータ(1) の回転数が定常
回転数に達した後は、モータ入力電圧を低下させ、Ｖ2
より低い一定の値Ｖ3 に保持する。
【００１３】真空ポンプは、定常回転数まで立ち上がる
と、風損、摩擦損がほとんどないので、回転を続けるの
にあまり電力を必要としない。したがって、モータ入力
電圧をＶ2 からＶ3 まで低下させても、ロータ(1) の回
転を保持することができる。そして、モータ入力電圧を
低下させることにより、モータ(3) からのノイズの影響
が小さくなり、回転状態が非常に安定する。また、モー
タ入力電圧が低下する分、発熱および振動も小さくな
る。
【００１４】
【発明の効果】この発明の真空ポンプによれば、上述の
ように、モータからのノイズの影響を小さくして、回転
状態を非常に安定させることができ、また、発熱および
振動も小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例を示す真空ポンプの構成図で
ある。
【図２】実施例の場合の時間とモータ入力電圧との関係
を示すグラフである。
【図３】従来例の場合の時間とモータ入力電圧との関係
を示すグラフである。
【符号の説明】
(1) ロータ (2) 磁気軸受装置 (3) 電動モータ (4) インバータ (5) 回転センサ (6) モータ制御回路 (7) 電磁石 (8) 変位センサ (9) 電磁石制御回路

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ロータを非接触支持する磁気軸受装置と、
    ロータを回転駆動する電動モータと、電動モータを制御
    するモータ制御回路とを備えた真空ポンプにおいて、 モータ制御回路が、ロータの回転数が定常回転数領域内
    にあるときはモータ入力電圧を低下させるものであるこ
    とを特徴とする真空ポンプ。
JP22571892A 1992-08-25 1992-08-25 真空ポンプ Ceased JP3220721B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22571892A JP3220721B2 (ja) 1992-08-25 1992-08-25 真空ポンプ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22571892A JP3220721B2 (ja) 1992-08-25 1992-08-25 真空ポンプ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0674235A JPH0674235A (ja) 1994-03-15
JP3220721B2 true JP3220721B2 (ja) 2001-10-22

Family

ID=16833729

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22571892A Ceased JP3220721B2 (ja) 1992-08-25 1992-08-25 真空ポンプ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3220721B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2962677A3 (en) 2014-07-03 2016-01-20 Shofu Inc. Dental curable composition including chain transfer agent

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0674235A (ja) 1994-03-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3209547B2 (ja) リニア可変式冷却用ｄｃファン制御回路
US5223758A (en) Spindle motor
US5157295A (en) Under-the-hub disk drive spin motor
JP3243517B2 (ja) 情報記録装置の記録円盤駆動装置及び駆動方法
JP2002325412A (ja) アキシャルギャップ型電動機、発電機および電動発電機
JP2008236927A (ja) 電動機システムおよびその制御方法ならびに永久磁石同期電動機
JP3220721B2 (ja) 真空ポンプ
JP3463218B2 (ja) 磁気軸受装置
JP2000170766A (ja) 磁気軸受を利用した発電装置
US5751131A (en) Dynamic rate feedback PM motor starting technique
JP5079276B2 (ja) 電動機システムおよび電動機システムの制御方法
JPH0720079U (ja) 永久磁石形回転電機
JPH0648157Y2 (ja) 分子ポンプの駆動装置
JPH064988A (ja) スピンドルモータ
JPH0562244B2 (ja)
EP4112957A1 (en) Electric machine with an electromagnetic bearing
JPH06253523A (ja) Ｄｃブラシレスモータおよびこれを用いたターボ分子ポンプ
KR820002171B1 (ko) 직류 모우터의 제어방식
JP3470210B2 (ja) 電動機の制御装置
JP3268322B2 (ja) 磁気軸受スピンドル装置のインバータ制御装置
JP2000270588A (ja) 動圧軸受モータ制御装置
JPH05252691A (ja) 磁気軸受制御装置
JP2666468B2 (ja) モータ駆動装置
JPH0641853A (ja) ソックス、ストッキング等を製造する円形編機
SU1268813A1 (ru) Устройство пуска и останова турбонасосного агрегата дл перекачки высокотемпературной среды

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20010619

RVOP Cancellation by post-grant opposition