JPH0674235A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH0674235A JPH0674235A JP22571892A JP22571892A JPH0674235A JP H0674235 A JPH0674235 A JP H0674235A JP 22571892 A JP22571892 A JP 22571892A JP 22571892 A JP22571892 A JP 22571892A JP H0674235 A JPH0674235 A JP H0674235A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- motor
- rotor
- input voltage
- revolutions
- vacuum pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 電動モータからのノイズの影響を小さくす
る。 【構成】 ロータ1を非接触支持する磁気軸受装置2
と、ロータ1を回転駆動する電動モータ3と、電動モー
タ3を制御するモータ制御回路6とを備え、モータ制御
回路6が、ロータ1の回転数が定常回転数領域内にある
ときはモータ入力電圧を低下させる。
る。 【構成】 ロータ1を非接触支持する磁気軸受装置2
と、ロータ1を回転駆動する電動モータ3と、電動モー
タ3を制御するモータ制御回路6とを備え、モータ制御
回路6が、ロータ1の回転数が定常回転数領域内にある
ときはモータ入力電圧を低下させる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、真空ポンプに関す
る。
る。
【0002】
【従来の技術】真空ポンプとして、従来、ロータを非接
触支持する磁気軸受装置と、ロータを回転駆動する誘導
モータと、モータを制御するモータ制御回路とを備えた
ものが知られている。
触支持する磁気軸受装置と、ロータを回転駆動する誘導
モータと、モータを制御するモータ制御回路とを備えた
ものが知られている。
【0003】モータ制御回路は、図3のグラフに示すよ
うに、モータの起動時に、モータ入力電圧を徐々に上昇
させることによってロータの回転数を徐々に上昇させ、
ロータの回転数が定常回転数に達した後は、モータ入力
電圧を一定値V1 に保持するようになっている。
うに、モータの起動時に、モータ入力電圧を徐々に上昇
させることによってロータの回転数を徐々に上昇させ、
ロータの回転数が定常回転数に達した後は、モータ入力
電圧を一定値V1 に保持するようになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】誘導モータが回転する
と、モータからモータ入力電圧に比例するノイズが発生
する。このため、従来のようにロータの回転数が定常回
転数に達した時間t1 以降もモータ入力電圧を高い値V
1 に保持していると、たとえばモータからのノイズが磁
気軸受装置の変位センサに混入し、回転状態が不安定に
なることがあった。
と、モータからモータ入力電圧に比例するノイズが発生
する。このため、従来のようにロータの回転数が定常回
転数に達した時間t1 以降もモータ入力電圧を高い値V
1 に保持していると、たとえばモータからのノイズが磁
気軸受装置の変位センサに混入し、回転状態が不安定に
なることがあった。
【0005】この発明の目的は、上記の問題を解決し、
モータからのノイズの影響の小さい真空ポンプを提供す
ることにある。
モータからのノイズの影響の小さい真空ポンプを提供す
ることにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明による真空ポン
プは、ロータを非接触支持する磁気軸受装置と、ロータ
を回転駆動する電動モータと、電動モータを制御するモ
ータ制御回路とを備えた真空ポンプにおいて、モータ制
御回路が、ロータの回転数が定常回転数領域内にあると
きはモータ入力電圧を低下させるものであることを特徴
とするものである。
プは、ロータを非接触支持する磁気軸受装置と、ロータ
を回転駆動する電動モータと、電動モータを制御するモ
ータ制御回路とを備えた真空ポンプにおいて、モータ制
御回路が、ロータの回転数が定常回転数領域内にあると
きはモータ入力電圧を低下させるものであることを特徴
とするものである。
【0007】
【作用】真空ポンプは、定常回転数まで立ち上がると、
風損、摩擦損がほとんどないので、回転を続けるのにあ
まり電力を必要としない。したがって、モータ入力電圧
を低下させても、ロータの回転を保持することができ
る。そして、モータ入力電圧を低下させることにより、
モータからのノイズの影響が小さくなり、回転状態が非
常に安定する。また、モータ入力電圧が低下する分、発
熱および振動も小さくなる。
風損、摩擦損がほとんどないので、回転を続けるのにあ
まり電力を必要としない。したがって、モータ入力電圧
を低下させても、ロータの回転を保持することができ
る。そして、モータ入力電圧を低下させることにより、
モータからのノイズの影響が小さくなり、回転状態が非
常に安定する。また、モータ入力電圧が低下する分、発
熱および振動も小さくなる。
【0008】
【実施例】以下、図面を参照して、この発明の実施例に
ついて説明する。
ついて説明する。
【0009】図1は、真空ポンプの構成を概略的に示し
ている。
ている。
【0010】真空ポンプは、ロータ(1) を非接触支持す
る磁気軸受装置(2) と、ロータ(1)を回転駆動する電動
モータ(誘導モータ)(3) と、モータ(3) を駆動するイ
ンバータ(4) と、ロータ(1) の回転数を検出する回転セ
ンサ(5) と、回転センサ(5)の出力に基づいてインバー
タ(4) の出力電圧(モータ入力電圧)を制御するモータ
制御回路(6) とを備えている。
る磁気軸受装置(2) と、ロータ(1)を回転駆動する電動
モータ(誘導モータ)(3) と、モータ(3) を駆動するイ
ンバータ(4) と、ロータ(1) の回転数を検出する回転セ
ンサ(5) と、回転センサ(5)の出力に基づいてインバー
タ(4) の出力電圧(モータ入力電圧)を制御するモータ
制御回路(6) とを備えている。
【0011】磁気軸受装置(2) は、ロータ(1) をラジア
ル方向およびアキシアル方向に非接触支持する複数の電
磁石(7) と、ロータ(1) のラジアル方向およびアキシア
ル方向の変位を検出する変位センサ(8) と、変位センサ
(8) の出力に基づいて電磁石(7) を制御する電磁石制御
回路(9) とを備えている。電磁石(7) および変位センサ
(8) は複数設けられているが、図面にはこれらを1つず
つ示している。また、磁気軸受装置(2) は公知のもので
あるから、詳細な説明は省略する。
ル方向およびアキシアル方向に非接触支持する複数の電
磁石(7) と、ロータ(1) のラジアル方向およびアキシア
ル方向の変位を検出する変位センサ(8) と、変位センサ
(8) の出力に基づいて電磁石(7) を制御する電磁石制御
回路(9) とを備えている。電磁石(7) および変位センサ
(8) は複数設けられているが、図面にはこれらを1つず
つ示している。また、磁気軸受装置(2) は公知のもので
あるから、詳細な説明は省略する。
【0012】モータ制御回路(6) は、図2のグラフに示
すように、回転センサ(5) の出力すなわちロータ(1) の
回転数に基づいてモータ入力電圧を制御する。すなわ
ち、モータ(3) の起動時に、ロータ(1) の回転数が定常
回転数に達するまでは、モータ入力電圧を徐々に上昇さ
せることによってロータ(1) の回転数を徐々に上昇させ
る。ロータ(1) の回転数が定常回転数に達したとき(時
間t1 )には、モータ入力電圧は前述のV1 の近傍の値
V2 になっている。そして、ロータ(1) の回転数が定常
回転数に達した後は、モータ入力電圧を低下させ、V2
より低い一定の値V3 に保持する。
すように、回転センサ(5) の出力すなわちロータ(1) の
回転数に基づいてモータ入力電圧を制御する。すなわ
ち、モータ(3) の起動時に、ロータ(1) の回転数が定常
回転数に達するまでは、モータ入力電圧を徐々に上昇さ
せることによってロータ(1) の回転数を徐々に上昇させ
る。ロータ(1) の回転数が定常回転数に達したとき(時
間t1 )には、モータ入力電圧は前述のV1 の近傍の値
V2 になっている。そして、ロータ(1) の回転数が定常
回転数に達した後は、モータ入力電圧を低下させ、V2
より低い一定の値V3 に保持する。
【0013】真空ポンプは、定常回転数まで立ち上がる
と、風損、摩擦損がほとんどないので、回転を続けるの
にあまり電力を必要としない。したがって、モータ入力
電圧をV2 からV3 まで低下させても、ロータ(1) の回
転を保持することができる。そして、モータ入力電圧を
低下させることにより、モータ(3) からのノイズの影響
が小さくなり、回転状態が非常に安定する。また、モー
タ入力電圧が低下する分、発熱および振動も小さくな
る。
と、風損、摩擦損がほとんどないので、回転を続けるの
にあまり電力を必要としない。したがって、モータ入力
電圧をV2 からV3 まで低下させても、ロータ(1) の回
転を保持することができる。そして、モータ入力電圧を
低下させることにより、モータ(3) からのノイズの影響
が小さくなり、回転状態が非常に安定する。また、モー
タ入力電圧が低下する分、発熱および振動も小さくな
る。
【0014】
【発明の効果】この発明の真空ポンプによれば、上述の
ように、モータからのノイズの影響を小さくして、回転
状態を非常に安定させることができ、また、発熱および
振動も小さくすることができる。
ように、モータからのノイズの影響を小さくして、回転
状態を非常に安定させることができ、また、発熱および
振動も小さくすることができる。
【図1】この発明の実施例を示す真空ポンプの構成図で
ある。
ある。
【図2】実施例の場合の時間とモータ入力電圧との関係
を示すグラフである。
を示すグラフである。
【図3】従来例の場合の時間とモータ入力電圧との関係
を示すグラフである。
を示すグラフである。
(1) ロータ (2) 磁気軸受装置 (3) 電動モータ (4) インバータ (5) 回転センサ (6) モータ制御回路 (7) 電磁石 (8) 変位センサ (9) 電磁石制御回路
Claims (1)
- 【請求項1】ロータを非接触支持する磁気軸受装置と、
ロータを回転駆動する電動モータと、電動モータを制御
するモータ制御回路とを備えた真空ポンプにおいて、 モータ制御回路が、ロータの回転数が定常回転数領域内
にあるときはモータ入力電圧を低下させるものであるこ
とを特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22571892A JP3220721B2 (ja) | 1992-08-25 | 1992-08-25 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22571892A JP3220721B2 (ja) | 1992-08-25 | 1992-08-25 | 真空ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0674235A true JPH0674235A (ja) | 1994-03-15 |
JP3220721B2 JP3220721B2 (ja) | 2001-10-22 |
Family
ID=16833729
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22571892A Ceased JP3220721B2 (ja) | 1992-08-25 | 1992-08-25 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3220721B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10085923B2 (en) | 2014-07-03 | 2018-10-02 | Shofu Inc. | Dental curable composition including chain transfer agent |
-
1992
- 1992-08-25 JP JP22571892A patent/JP3220721B2/ja not_active Ceased
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10085923B2 (en) | 2014-07-03 | 2018-10-02 | Shofu Inc. | Dental curable composition including chain transfer agent |
US11737957B2 (en) | 2014-07-03 | 2023-08-29 | Shofu Inc. | Dental curable composition including chain transfer agent |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3220721B2 (ja) | 2001-10-22 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010619 |
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RVOP | Cancellation by post-grant opposition |