JP3217543B2 - ハードディスク用ヘッドの浮上量測定装置 - Google Patents
ハードディスク用ヘッドの浮上量測定装置Info
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- JP3217543B2 JP3217543B2 JP15075493A JP15075493A JP3217543B2 JP 3217543 B2 JP3217543 B2 JP 3217543B2 JP 15075493 A JP15075493 A JP 15075493A JP 15075493 A JP15075493 A JP 15075493A JP 3217543 B2 JP3217543 B2 JP 3217543B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、パソコン等のコンピュ
ータに使用されるハードディスクに対して情報を読み書
きするヘッドの浮上量を測定するためのハードディスク
用ヘッドの浮上量測定装置に関する。
ータに使用されるハードディスクに対して情報を読み書
きするヘッドの浮上量を測定するためのハードディスク
用ヘッドの浮上量測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４に示すようにパソコン等のコンピュ
ータに記憶装置として使用されるハードディスク５１に
対してはヘッド５２によって情報を読み書きする。この
場合、ハードディスク５１を高速回転することによ
り、．図４（ロ）（ハ）に示す如くヘッド５２は浮上
し、ハードディスク５１とヘッド５２との間に隙間（浮
上量）ができる。この浮上量を小さくするほどハードデ
ィスク５１の記憶容量は増加する。しかし、ハードディ
スク５１表面には微小な突起が存在するために、あまり
浮上量を小さくすると、ヘッド５２と突起が接触し、ヘ
ッド５２がクラシュしてしまう。従って、突起の少ない
ハードディスク５１を開発する必要がある。
ータに記憶装置として使用されるハードディスク５１に
対してはヘッド５２によって情報を読み書きする。この
場合、ハードディスク５１を高速回転することによ
り、．図４（ロ）（ハ）に示す如くヘッド５２は浮上
し、ハードディスク５１とヘッド５２との間に隙間（浮
上量）ができる。この浮上量を小さくするほどハードデ
ィスク５１の記憶容量は増加する。しかし、ハードディ
スク５１表面には微小な突起が存在するために、あまり
浮上量を小さくすると、ヘッド５２と突起が接触し、ヘ
ッド５２がクラシュしてしまう。従って、突起の少ない
ハードディスク５１を開発する必要がある。
【０００３】突起が少なく浮上量を小さくできるハード
ディスク５１を開発する（ハードディスクが一定回転の
場合、ハードディスクの位置によって浮上量が変化しな
いような、安定した表面を持ったハードディスクを開発
する）には、ハードディスク５１とヘッド５２との距離
（浮上量）を測定する必要がある。上記のようなヘッド
５２の浮上量を測定するための浮上量測定装置には、レ
ーザの干渉光を利用したものがある。
ディスク５１を開発する（ハードディスクが一定回転の
場合、ハードディスクの位置によって浮上量が変化しな
いような、安定した表面を持ったハードディスクを開発
する）には、ハードディスク５１とヘッド５２との距離
（浮上量）を測定する必要がある。上記のようなヘッド
５２の浮上量を測定するための浮上量測定装置には、レ
ーザの干渉光を利用したものがある。
【０００４】図５はこの種の従来のハードディスク用ヘ
ッドの浮上量測定装置を示し、レーザ５３は、ハードデ
ィスク５１及びヘッド５２に向けてレーザ光を照射す
る。ヘッド５２には１／４波長板５９が搭載されてお
り、更にその入射面にはハーフミラー膜がコーティング
されているのでレーザ光の半分はハーフミラー表面で反
射し、ヘッド５２からの反射光となり、残り半分はハー
フミラーと１／４波長板５９内を透過しディスク５１の
表面に到り反射する。このディスク５１からの反射光は
入射時と同じ経路で１／４波長板５９から出ていくが、
１／４波長板の作用により、その内部を往復する間に偏
光面が４５度ずつ２回、回転を受け入射する前の偏光面
に対し、９０度ずれた光となる。従ってディスク５１か
らの反射光は、ヘッド５２からの反射光はこの時点で重
なりを持っても互いに干渉せず、また偏光角度の違いを
利用して、光路の分離が容易に出来る。偏光ビームスプ
リッタ５４はハードディスク５１で反射したレーザ光を
ビームスプリッタ５６に向けて送出し、ビームスプリッ
タ５５はヘッド５２で反射したレーザ光を偏光ビームス
プリッタ５７に向けて送出する。偏光ビームスプリッタ
５４，５５で分かれたハードディスク５１からの反射光
とヘッド５２からの反射光とは、別々の光路で光軸の調
整を受け、ビームスプリッタ５７に導かれ、重ね合わさ
れる。ビームスプリッタ５７の後には１／４波長板６０
が配置されており、その光軸は、各々の反射光線束の偏
光角に対し４５度になるように設置されているので、こ
れ等２光線束は１／４波長板６０を通過した直後に互に
逆回転する円偏光に変換され、直ちに互いに干渉する。
フォトディテクタ５８でその干渉光の強度変化を計測し
て、ヘッド５２の浮上量を換算する。
ッドの浮上量測定装置を示し、レーザ５３は、ハードデ
ィスク５１及びヘッド５２に向けてレーザ光を照射す
る。ヘッド５２には１／４波長板５９が搭載されてお
り、更にその入射面にはハーフミラー膜がコーティング
されているのでレーザ光の半分はハーフミラー表面で反
射し、ヘッド５２からの反射光となり、残り半分はハー
フミラーと１／４波長板５９内を透過しディスク５１の
表面に到り反射する。このディスク５１からの反射光は
入射時と同じ経路で１／４波長板５９から出ていくが、
１／４波長板の作用により、その内部を往復する間に偏
光面が４５度ずつ２回、回転を受け入射する前の偏光面
に対し、９０度ずれた光となる。従ってディスク５１か
らの反射光は、ヘッド５２からの反射光はこの時点で重
なりを持っても互いに干渉せず、また偏光角度の違いを
利用して、光路の分離が容易に出来る。偏光ビームスプ
リッタ５４はハードディスク５１で反射したレーザ光を
ビームスプリッタ５６に向けて送出し、ビームスプリッ
タ５５はヘッド５２で反射したレーザ光を偏光ビームス
プリッタ５７に向けて送出する。偏光ビームスプリッタ
５４，５５で分かれたハードディスク５１からの反射光
とヘッド５２からの反射光とは、別々の光路で光軸の調
整を受け、ビームスプリッタ５７に導かれ、重ね合わさ
れる。ビームスプリッタ５７の後には１／４波長板６０
が配置されており、その光軸は、各々の反射光線束の偏
光角に対し４５度になるように設置されているので、こ
れ等２光線束は１／４波長板６０を通過した直後に互に
逆回転する円偏光に変換され、直ちに互いに干渉する。
フォトディテクタ５８でその干渉光の強度変化を計測し
て、ヘッド５２の浮上量を換算する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のハード
ディスク用ヘッドの浮上量測定装置では、図６に示す如
くハードディスク５１からの反射光Ａとヘッド５２から
の反射光Ｂとを、ハードディスク５１の制止状態で完璧
に一致させて干渉させても、図４（ロ）（ハ）に示すよ
うにハードディスク５１の回転によってヘッド５２が浮
上している状態になれば、図７に示す如く原理的にハー
ドディスク５１からの反射光Ａとヘッド５２からの反射
光Ｂとは干渉点で大きなずれが生じる。従って、ヘッド
５２の浮上量変化による光量変化と、干渉光のずれによ
る光量変化が混在し、ヘッド５２の浮上量の測定精度を
損ねてしまうという問題があった。
ディスク用ヘッドの浮上量測定装置では、図６に示す如
くハードディスク５１からの反射光Ａとヘッド５２から
の反射光Ｂとを、ハードディスク５１の制止状態で完璧
に一致させて干渉させても、図４（ロ）（ハ）に示すよ
うにハードディスク５１の回転によってヘッド５２が浮
上している状態になれば、図７に示す如く原理的にハー
ドディスク５１からの反射光Ａとヘッド５２からの反射
光Ｂとは干渉点で大きなずれが生じる。従って、ヘッド
５２の浮上量変化による光量変化と、干渉光のずれによ
る光量変化が混在し、ヘッド５２の浮上量の測定精度を
損ねてしまうという問題があった。
【０００６】本発明は、上記問題点に鑑み、干渉光のず
れによる光量変化なくなるようにしてヘッドの浮上量を
高精度にて測定できるようにしたものである。
れによる光量変化なくなるようにしてヘッドの浮上量を
高精度にて測定できるようにしたものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この技術的課題を解決す
るための本発明の技術的手段は、ハードディスク１から
の反射光とハードディスク１に対して情報を読み書きす
るヘッド２からの反射光とを、別々の光路で一点に導い
て干渉させ、その干渉光の強度変化を計測して、ヘッド
２のハードディスク１に対する浮上量を測定するように
したハードディスク用ヘッドの浮上量測定装置におい
て、ハードディスク１からの反射光Ａの光路とヘッド２
からの反射光Ｂの光路との少なくとも一方に、反射光
Ａ，Ｂの一方の光線束が他方の光線束内に収まるよう
に、反射光の光線束を拡収させる光学系が設けられてい
る点にある。
るための本発明の技術的手段は、ハードディスク１から
の反射光とハードディスク１に対して情報を読み書きす
るヘッド２からの反射光とを、別々の光路で一点に導い
て干渉させ、その干渉光の強度変化を計測して、ヘッド
２のハードディスク１に対する浮上量を測定するように
したハードディスク用ヘッドの浮上量測定装置におい
て、ハードディスク１からの反射光Ａの光路とヘッド２
からの反射光Ｂの光路との少なくとも一方に、反射光
Ａ，Ｂの一方の光線束が他方の光線束内に収まるよう
に、反射光の光線束を拡収させる光学系が設けられてい
る点にある。
【０００８】
【作用】ハードディスク１の回転によってヘッド２が浮
上しても、図２に示す如くハードディスク１からの反射
光Ａとヘッド２からの反射光Ｂとは一方の光線束内を他
方の光線束が移動するのみである。従って、ハードディ
スク１からの反射光Ａとヘッド２からの反射光Ｂとの重
なり部分の面積は一定であり、干渉光のずれによる光量
変化をキャンセルすることができる。
上しても、図２に示す如くハードディスク１からの反射
光Ａとヘッド２からの反射光Ｂとは一方の光線束内を他
方の光線束が移動するのみである。従って、ハードディ
スク１からの反射光Ａとヘッド２からの反射光Ｂとの重
なり部分の面積は一定であり、干渉光のずれによる光量
変化をキャンセルすることができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明を図示の実施例に従って説明す
る。図１において、１はハードディスク、２はハードデ
ィスク１に対して情報を読み書きするヘッドであり、浮
上量測定の為ハーフミラー膜を持つ１／４波長板が搭載
されている。３はレーザで、ハードディスク１及びヘッ
ド２に向けてレーザ光を照射する。ただし、このレーザ
光は光線束断面内の強度分布が予め均一になるような処
理がなされているか又は、実用上均一とみなせる光線束
である。
る。図１において、１はハードディスク、２はハードデ
ィスク１に対して情報を読み書きするヘッドであり、浮
上量測定の為ハーフミラー膜を持つ１／４波長板が搭載
されている。３はレーザで、ハードディスク１及びヘッ
ド２に向けてレーザ光を照射する。ただし、このレーザ
光は光線束断面内の強度分布が予め均一になるような処
理がなされているか又は、実用上均一とみなせる光線束
である。
【００１０】４，７は偏光ビームスプリッタ、６，５は
ビームスプリッタであり、偏光ビームスプリッタ４はハ
ードディスク１で反射したレーザ光をビームスプリッタ
６に向けて送出し、ビームスプリッタ５はヘッド２で反
射したレーザ光を偏光ビームスプリッタ７に向けて送出
するようになっている。また、偏光ビームスプリッタ及
びビームスプリッタ４，５で分かれたハードディスク２
からの反射光とヘッド２からの反射光とを、別々の光路
でビームスプリッタ７及び１／４波長板１０の干渉点に
導いて互いに干渉させるようになっている。
ビームスプリッタであり、偏光ビームスプリッタ４はハ
ードディスク１で反射したレーザ光をビームスプリッタ
６に向けて送出し、ビームスプリッタ５はヘッド２で反
射したレーザ光を偏光ビームスプリッタ７に向けて送出
するようになっている。また、偏光ビームスプリッタ及
びビームスプリッタ４，５で分かれたハードディスク２
からの反射光とヘッド２からの反射光とを、別々の光路
でビームスプリッタ７及び１／４波長板１０の干渉点に
導いて互いに干渉させるようになっている。
【００１１】８はフォトディテクタで、１／４波長板１
０から送出された干渉光の強度変化を計測して、ヘッド
２の浮上量を換算する。１１はビームエキスパンダー
で、偏光ビームスプリッタ４とビームスプリッタ６との
間のハードディスク１からの反射光Ａの光路に設けられ
ている。このビームエキスパンダー１１はハードディス
ク１からの反射光Ａを細い平行光線束から太い平行光線
束に変換して、図２に示す如くヘッド２からの反射光Ｂ
の細い平行光線束がハードディスク１からの反射光Ａの
太い平行光線束内に収まるようになっている。これによ
り、ハードディスク１の回転によってヘッド２が浮上し
ても、図２に示す如くとヘッド２からの反射光Ｂはハー
ドディスク１からの反射光Ａ内を移動するのみで、ヘッ
ド２からの反射光Ｂの細い平行光線束はハードディスク
１からの反射光Ａの太い平行光線束内に収まった状態を
維持するようになっている。
０から送出された干渉光の強度変化を計測して、ヘッド
２の浮上量を換算する。１１はビームエキスパンダー
で、偏光ビームスプリッタ４とビームスプリッタ６との
間のハードディスク１からの反射光Ａの光路に設けられ
ている。このビームエキスパンダー１１はハードディス
ク１からの反射光Ａを細い平行光線束から太い平行光線
束に変換して、図２に示す如くヘッド２からの反射光Ｂ
の細い平行光線束がハードディスク１からの反射光Ａの
太い平行光線束内に収まるようになっている。これによ
り、ハードディスク１の回転によってヘッド２が浮上し
ても、図２に示す如くとヘッド２からの反射光Ｂはハー
ドディスク１からの反射光Ａ内を移動するのみで、ヘッ
ド２からの反射光Ｂの細い平行光線束はハードディスク
１からの反射光Ａの太い平行光線束内に収まった状態を
維持するようになっている。
【００１２】図３は他の実施例を示し、前記実施例と同
様に偏光ビームスプリッタ４とビームスプリッタ６との
間のハードディスク１からの反射光Ａの光路にビームエ
キスパンダー１１が設けられると共に、ビームスプリッ
タ５と偏光ビームスプリッタ７との間のヘッド２からの
反射光Ｂの光路に集光レンズ１２が設けられている。こ
の場合、ビームエキスパンダー１１はハードディスク１
からの反射光Ａを細い平行光線束を太い平行光線束に変
換し、集光レンズ１２はヘッド２からの反射光Ｂをより
細い平行光線束に変換し、ヘッド２からの反射光Ｂの細
い平行光線束がハードディスク１からの反射光Ａの太い
平行光線束内に収まるようになっている。その他の点は
前記実施例と同様の構成である。
様に偏光ビームスプリッタ４とビームスプリッタ６との
間のハードディスク１からの反射光Ａの光路にビームエ
キスパンダー１１が設けられると共に、ビームスプリッ
タ５と偏光ビームスプリッタ７との間のヘッド２からの
反射光Ｂの光路に集光レンズ１２が設けられている。こ
の場合、ビームエキスパンダー１１はハードディスク１
からの反射光Ａを細い平行光線束を太い平行光線束に変
換し、集光レンズ１２はヘッド２からの反射光Ｂをより
細い平行光線束に変換し、ヘッド２からの反射光Ｂの細
い平行光線束がハードディスク１からの反射光Ａの太い
平行光線束内に収まるようになっている。その他の点は
前記実施例と同様の構成である。
【００１３】なお、前記実施例では、ハードディスク１
からの反射光Ａの光路にビームエキスパンダー１１が設
けられ、又はハードディスク１からの反射光Ａの光路に
ビームエキスパンダー１１が設けられと共に、ヘッド２
からの反射光Ｂの光路に集光レンズ１２が設けられてい
るが、これに代え、ヘッド２からの反射光Ｂの光路にビ
ームエキスパンダー１１のみを設けるようにしてもよい
し、またハードディスク１からの反射光Ａの光路に集光
レンズ１２を設けると共に、ヘッド２からの反射光Ｂの
光路にビームエキスパンダー１１を設けるようにしても
よく、このようにすれば、ハードディスク１からの反射
光Ａの光線束がヘッド２からの反射光Ｂの光線束内に収
まるようになる。
からの反射光Ａの光路にビームエキスパンダー１１が設
けられ、又はハードディスク１からの反射光Ａの光路に
ビームエキスパンダー１１が設けられと共に、ヘッド２
からの反射光Ｂの光路に集光レンズ１２が設けられてい
るが、これに代え、ヘッド２からの反射光Ｂの光路にビ
ームエキスパンダー１１のみを設けるようにしてもよい
し、またハードディスク１からの反射光Ａの光路に集光
レンズ１２を設けると共に、ヘッド２からの反射光Ｂの
光路にビームエキスパンダー１１を設けるようにしても
よく、このようにすれば、ハードディスク１からの反射
光Ａの光線束がヘッド２からの反射光Ｂの光線束内に収
まるようになる。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、ハードディスク１から
の反射光Ａの光路とヘッド２からの反射光Ｂの光路との
少なくとも一方に、反射光Ａ，Ｂとの一方の光線束が他
方の光線束内に収まるように、反射光の光線束を拡収さ
せる光学系が設けられているので、ハードディスク１の
回転によってヘッド２が浮上しても、ヘッド２からの反
射光Ｂとハードディスク１からの反射光Ａとは一方の光
線束内を他方の光線束が移動するのみで、一方の光線束
内に他方の光線束が収まった状態を維持するため、光線
束が移動によってハードディスク１からの反射光Ａとヘ
ッド２からの反射光Ｂとの重なり部分の面積は一定であ
り、従って、干渉光のずれによる光量変化なくなり、ヘ
ッド２の浮上量を高精度にて測定できる。
の反射光Ａの光路とヘッド２からの反射光Ｂの光路との
少なくとも一方に、反射光Ａ，Ｂとの一方の光線束が他
方の光線束内に収まるように、反射光の光線束を拡収さ
せる光学系が設けられているので、ハードディスク１の
回転によってヘッド２が浮上しても、ヘッド２からの反
射光Ｂとハードディスク１からの反射光Ａとは一方の光
線束内を他方の光線束が移動するのみで、一方の光線束
内に他方の光線束が収まった状態を維持するため、光線
束が移動によってハードディスク１からの反射光Ａとヘ
ッド２からの反射光Ｂとの重なり部分の面積は一定であ
り、従って、干渉光のずれによる光量変化なくなり、ヘ
ッド２の浮上量を高精度にて測定できる。
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】作用効果説明用の説明図である。
【図３】他の実施例を示す構成図である。
【図４】従来例説明用の断面図である。
【図５】従来例を示す構成図である。
【図６】従来の問題点説明用の説明図である。
【図７】従来の問題点説明用の説明図である。
１ ハードディスク ２ ヘッド ３ レーザ ４ 偏光ビームスプリッタ ５ ビームスプリッタ ６ ビームスプリッタ ７ 偏光ビームスプリッタ ８ フォトディテクタ １１ ビームエキスパンダ １２ 集光レンズ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (73)特許権者 500117842 993 Ｈｉｇｈｌａｎｄ Ｃｉｒｃｌｅ, Ｌｏｓ Ａｌｔｏｓ，ＣＡ 94024，Ｕ. Ｓ．Ａ. (72)発明者 大西 修一 大阪府大阪市浪速区敷津東一丁目２番47 号 株式会社クボタ内 (72)発明者 前田 誠 大阪府大阪市浪速区敷津東一丁目２番47 号 株式会社クボタ内 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 21/21
Claims (1)
- 【請求項１】 ハードディスク（１）からの反射光とハ
ードディスク（１）に対して情報を読み書きするヘッド
（２）からの反射光とを、別々の光路で一点に導いて干
渉させ、その干渉光の強度変化を計測して、ヘッド
（２）のハードディスク（１）に対する浮上量を測定す
るようにしたハードディスク用ヘッドの浮上量測定装置
において、 ハードディスク（１）からの反射光（Ａ）の光路とヘッ
ド（２）からの反射光（Ｂ）の光路との少なくとも一方
に、反射光（Ａ），（Ｂ）の一方の光線束が他方の光線
束内に収まるように、反射光の光線束を拡収させる光学
系が設けられていることを特徴とするハードディスク用
ヘッドの浮上量測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15075493A JP3217543B2 (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | ハードディスク用ヘッドの浮上量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15075493A JP3217543B2 (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | ハードディスク用ヘッドの浮上量測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0714334A JPH0714334A (ja) | 1995-01-17 |
| JP3217543B2 true JP3217543B2 (ja) | 2001-10-09 |
Family
ID=15503691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15075493A Expired - Fee Related JP3217543B2 (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | ハードディスク用ヘッドの浮上量測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3217543B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5775864B2 (ja) * | 2012-12-12 | 2015-09-09 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | スキャナー装置及び画像形成装置 |
-
1993
- 1993-06-22 JP JP15075493A patent/JP3217543B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0714334A (ja) | 1995-01-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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