JP3213402B2 - Coating device - Google Patents
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- Coating Apparatus (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板上にシリ
ンジ下部に設けたノズルを介してシリンジ内の塗布剤を
塗布する塗布装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a coating apparatus for applying a coating agent in a syringe on a printed circuit board through a nozzle provided below the syringe.
【0002】[0002]
【従来の技術】此種の従来技術としては、本出願人が先
に出願した特開平3−29391号公報に開示されたも
のがある。これは、ノズルを保持したノズルホルダ内に
ヒータを埋め込み、その熱伝導によりノズル内の塗布剤
を常に適温に設定している。2. Description of the Related Art An example of this kind of prior art is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-29391 filed earlier by the present applicant. In this method, a heater is embedded in a nozzle holder holding a nozzle, and the coating agent in the nozzle is always set at an appropriate temperature by heat conduction.
【0003】また、近年種々のチップ部品サイズに対応
して塗布量や1部品に対する塗布点数も多種にわたるよ
うになり、これに対応するため、多種のノズルを用意
し、吐出径や吐出部が異なるノズルと交換する必要が出
てきた。そこで、本出願人はノズルをノズルボディとノ
ズル先端部とに分け、塗布条件に応じて所望のノズル先
端部と交換可能とする方式を考え出した。In recent years, the amount of application and the number of application points for one component have also increased in accordance with various chip component sizes, and in order to cope with this, various types of nozzles have been prepared, and the ejection diameter and ejection section are different. It became necessary to replace it with a nozzle. Therefore, the present applicant has devised a method in which the nozzle is divided into a nozzle body and a nozzle tip, and the nozzle can be replaced with a desired nozzle tip according to application conditions.
【0004】しかし、この場合ノズルボディとノズル先
端部とが分離可能としているため一体物でないので、熱
伝導率が低下してしまい、ノズル先端部の塗布剤が十分
に温まらないという欠点が発生した。However, in this case, since the nozzle body and the nozzle tip are separable, they are not integrated, so that the thermal conductivity is reduced and the coating agent at the nozzle tip does not sufficiently warm. .
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明はノズ
ル先端部にも十分に熱を伝え先端部の塗布剤を適温に維
持することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to sufficiently transmit heat to the tip of a nozzle and to maintain the coating agent at the tip at an appropriate temperature.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】そこで、本発明はプリン
ト基板上にシリンジ下部に設けたノズルを介してシリン
ジ内の塗布剤を塗布する塗布装置に於いて、駆動源の駆
動によりガイドに案内されて上下動する上下機構と、該
上下機構に前記ノズルを固定するノズル保持具とから成
り、前記ノズルはノズルボディにノズル先端部が着脱交
換可能に取りつけられ、前記ノズル保持具はノズルボデ
ィを包む形で保持すると共にノズル先端部に延設されそ
の内部にはノズル内の塗布剤を適温で維持するためのヒ
ータが埋設されているものである。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention is directed to a coating apparatus for coating a coating agent in a syringe on a printed circuit board via a nozzle provided below the syringe. And a nozzle holder for fixing the nozzle to the vertical mechanism. The nozzle is detachably attached to a nozzle body at a tip end thereof, and the nozzle holder wraps the nozzle body. A heater for holding the coating agent in the nozzle at an appropriate temperature is buried inside the nozzle and is extended at the tip of the nozzle.
【0007】[0007]
【作用】以上の構成から、ノズル保持具がノズルボディ
を包む形で保持したノズルはその保持具を介して駆動源
の駆動によりガイドに案内されて上下動する上下機構に
固定されている。また、ノズル保持具は前記ノズルボデ
ィに着脱交換可能に取り付けられたノズル先端部に延設
されており、ノズルボディ内に埋設されたヒータにより
ノズル先端部内の塗布剤が温められる。With the above arrangement, the nozzle held by the nozzle holder in such a manner as to wrap the nozzle body is fixed to an up-and-down mechanism which moves up and down while being guided by a guide by driving of a driving source via the holder. Further, the nozzle holder is extended from a nozzle tip portion detachably attached to the nozzle body, and a coating agent in the nozzle tip portion is warmed by a heater embedded in the nozzle body.
【0008】[0008]
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明
する。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0009】図6の(1)は図示しないチップ部品が装
着されるために塗布剤としての接着剤が塗布されるプリ
ント基板で、X軸モータ(2)及びY軸モータ(3)で
XY移動されるXYテーブル(4)上に載置される。FIG. 6A shows a printed circuit board on which an adhesive as a coating agent is applied in order to mount a chip component (not shown). The XY movement is performed by an X-axis motor (2) and a Y-axis motor (3). Is placed on the XY table (4).
【0010】(5)は前記基板(1)に接着剤を塗布す
る接着剤塗布ユニットで、(6)は接着剤を吐出して基
板(1)上に接着剤を塗布するノズルで、(7)は該ノ
ズル(6)の上方に接続され、接着剤を貯蔵するシリン
ジで、図示しないエア供給源から供給される圧縮空気が
送り込まれて、ノズル(6)の吐出部(6A)より接着
剤が吐出される。(5) an adhesive application unit for applying an adhesive to the substrate (1); (6) a nozzle for discharging the adhesive to apply the adhesive on the substrate (1); ) Is a syringe that is connected above the nozzle (6) and stores the adhesive. Compressed air supplied from an air supply source (not shown) is fed into the syringe, and the adhesive is discharged from a discharge portion (6A) of the nozzle (6). Is discharged.
【0011】以下、前記塗布ユニット(5)について図
3に基づき詳述する。Hereinafter, the coating unit (5) will be described in detail with reference to FIG.
【0012】(8)、(9)はノズル(6)を保持する
第1の保持部としてのロータギア及び第2の保持部とし
てのノズルホルダで、夫々挿入孔(10)、(11)内
に挿入される。該ロータギア(8)とノズルホルダ
(9)は上下位置に対して所定間隔を存するようにロー
タギア(8)下部に設けられた一対の凹部(12)とノ
ズルホルダ(9)上部に設けられた一対の凹部(13)
に渡って緩衝機構の圧縮バネ(14)が介在され、該バ
ネ(14)を貫通する形でノズルホルダ(9)の凹部を
介して下方からボルト(15)が挿入され、該ボルト
(15)のネジ部がロータギア(8)に嵌まり込むこと
によりロータギア(8)とノズルホルダ(9)とが離反
するように付勢されるも規制された状態で取り付けられ
る。(16)は滑り軸受である。ロータギア(8)側で
はノズル(6)のフランジ部(17)が挿入孔(10)
の底面部に当接されるまで挿入されることによりノズル
(6)の下限位置が設定される。このとき、フランジ部
(17)の後述する位置決め面(74)が突部(8A)
に当接することにより位置決めされる。(8) and (9) are a rotor gear as a first holding portion for holding the nozzle (6) and a nozzle holder as a second holding portion, which are inserted in the insertion holes (10) and (11), respectively. Inserted. The rotor gear (8) and the nozzle holder (9) are spaced apart from each other at a predetermined distance from the vertical position by a pair of recesses (12) provided below the rotor gear (8) and a pair of recesses provided above the nozzle holder (9). Recess of the (13)
A bolt (15) is inserted from below through a concave portion of the nozzle holder (9) so as to penetrate the spring (14) through the compression spring (14). When the threaded portion is fitted into the rotor gear (8), the rotor gear (8) and the nozzle holder (9) are urged to separate from each other, but are attached in a regulated state. (16) is a slide bearing. On the rotor gear (8) side, the flange (17) of the nozzle (6) is inserted into the insertion hole (10).
The lower limit position of the nozzle (6) is set by inserting the nozzle (6) until it comes into contact with the bottom surface of the nozzle (6). At this time, the positioning surface (74) of the flange portion (17), which will be described later, is in contact with the protrusion (8A).
Is positioned by abutting on.
【0013】以下、前記ノズルホルダ(9)へのノズル
(6)の固定機構について、図1を基に説明する。The mechanism for fixing the nozzle (6) to the nozzle holder (9) will be described below with reference to FIG.
【0014】(19)は前記ノズル(6)の周側面の全
周に渡り形成された溝(18)に入り込むノズル固定ピ
ンである。A nozzle fixing pin (19) is inserted into a groove (18) formed over the entire circumference of the peripheral side surface of the nozzle (6).
【0015】(20)はノズルホルダ(9)と該ホルダ
(9)の側面に固定されたバネストッパ(21)間に渡
って形成された挿入孔で、ピン(19)の先端部のスト
ッパフランジ(22)が滑り軸受(23)の一端に当接
されるまで挿入される。Reference numeral (20) denotes an insertion hole formed between the nozzle holder (9) and a spring stopper (21) fixed to the side surface of the holder (9). 22) is inserted until it abuts against one end of the slide bearing (23).
【0016】(24)は前記バネストッパ(21)の一
端部とバネフランジ(22)とで前記ピン(19)が貫
通される形で係止される圧縮バネである。A compression spring (24) is engaged with one end of the spring stopper (21) and a spring flange (22) so that the pin (19) passes therethrough.
【0017】(25)はローレット付ツマミである。(25) is a knob with a knurl.
【0018】(30)はノズル(6)の吐出部(6A)
先端に吐出させた接着剤を基板(1)に塗布する際、基
板(1)に当接してノズル(6)と基板(1)との間に
所定の間隔を作るストッパピンである。(30) is a discharge portion (6A) of the nozzle (6)
When the adhesive discharged to the tip is applied to the substrate (1), the stopper pin contacts the substrate (1) to form a predetermined gap between the nozzle (6) and the substrate (1).
【0019】(34)は前記ノズル(6)を上下動させ
るノズル上下機構で、図2を基に説明すると、(35)
はスピード調整可能な上下モータ(36)の駆動により
回動されるボールネジ(37)を介して固定ベース(3
8)に固定された図示しないリニアガイドに案内されて
上下動される上下ブロックである。(39)はボールネ
ジナットである。Reference numeral (34) denotes a nozzle up-down mechanism for moving the nozzle (6) up and down. Referring to FIG.
Is a fixed base (3) via a ball screw (37) rotated by the drive of a speed-adjustable vertical motor (36).
The upper and lower blocks are guided by a linear guide (not shown) fixed to 8) and moved up and down. (39) is a ball screw nut.
【0020】(27)は前記上下ブロック(35)に形
成された溝(40)に夫々遊挿されるノズル上下アーム
(27)で、前記上下モータの駆動による上下ブロック
(35)の上下動により前記固定ベース(38)に取り
付けられたリニアガイド(61)(図3参照)に案内さ
れて上下動される。該アーム(27)はベアリング(2
8)を介して前記ロータギア(8)に固定されているた
め、アーム(27)の上下動によりノズル(6)は上下
動される。尚、該ノズル(6)の下降動作は各ノズル
(6)に対応した図示しない各センサにより夫々検出さ
れている。また、ロータギア(8)上部のギア部(2
9)に図示しない回動機構により回動される図示しない
ギアが噛合することによりノズル(6)は回動される。Numeral (27) is a nozzle upper and lower arm (27) which is loosely inserted into a groove (40) formed in the upper and lower blocks (35), respectively. The upper and lower blocks (35) are driven by the upper and lower motors to move up and down. The linear guide (61) (see FIG. 3) attached to the fixed base (38) moves up and down while being guided. The arm (27) has a bearing (2
The nozzle (6) is moved up and down by the up and down movement of the arm (27) because the nozzle (6) is fixed to the rotor gear (8) through (8). The downward movement of the nozzle (6) is detected by each sensor (not shown) corresponding to each nozzle (6). Further, the gear portion (2) on the upper part of the rotor gear (8)
The nozzle (6) is rotated by meshing a gear (not shown) rotated by a rotation mechanism (not shown) in (9).
【0021】(41)は前記上下ブロック(35)に立
設されたスライド爪受けである。Reference numeral (41) denotes a slide claw receiver standing upright on the upper and lower blocks (35).
【0022】(42)は前記ノズル上下アーム(27)
上部に前記スライド爪受け(41)方向にスライド可能
に取り付けられたH字形のスライド爪で、該スライド爪
(41)の一方の凹部(43)とアーム(27)に固定
されたバネストッパ(44)との間に介在した圧縮バネ
(45)によりスライド爪受け(41)方向に付勢され
ており、該スライド爪受け(41)のテーパ部(46)
とスライド爪(42)のテーパ部(47)とが係合され
る。また、この係合によりアーム(27)のフランジ部
(48)が上下ブロック(35)の溝(40)の上部に
形成された凸部(49)に当接されるため、アーム(2
7)は前述したテーパ部(46)、(47)を介したス
ライド爪(42)とスライド爪受け(41)との係合そ
してフランジ部(48)と凸部(49)の当接により上
下ブロック(35)に突張る形で所謂一体化し、上下ブ
ロック(35)の上下動と共に上下動する。これらで、
ロック機構を構成している。(42) The nozzle upper and lower arm (27)
A spring stopper (44) fixed to one concave portion (43) of the slide claw (41) and the arm (27) by an H-shaped slide claw attached to the upper portion so as to be slidable in the direction of the slide claw receiver (41). , And is biased in the direction of the slide claw receiver (41) by a compression spring (45) interposed therebetween, and the tapered portion (46) of the slide claw receiver (41) is urged.
And the tapered portion (47) of the slide claw (42) are engaged. In addition, the flange (48) of the arm (27) comes into contact with the projection (49) formed on the upper part of the groove (40) of the upper and lower blocks (35) by this engagement.
7) is raised and lowered by the engagement of the slide claw (42) and the slide claw receiver (41) via the above-described tapered portions (46) and (47) and the contact of the flange portion (48) and the protrusion (49). It is so-called integrated with the block (35), and moves up and down together with the up and down movement of the upper and lower blocks (35). With these,
It constitutes a lock mechanism.
【0023】前述したアーム(27)と上下ブロック
(35)の固定を解除する解除機構(52)について以
下説明する。The release mechanism (52) for releasing the fixing of the arm (27) and the upper and lower blocks (35) will be described below.
【0024】(53)は図示しない塗布装置の基台に固
定されたエアシリンダで、ロッド(54)の先端は爪戻
しブロック(55)が形成されている。該エアシリンダ
(53)の駆動により爪戻しブロック(55)が前進
し、該ブロック(55)の当接部(56)がスライド爪
(42)の当接部(57)に当接した状態でバネ(4
5)の付勢力に抗してスライド爪(42)を押し戻すこ
とによりテーパ部(46)、(47)を介したスライド
爪(42)とスライド爪受け(41)との係合そしてフ
ランジ部(48)と凸部(49)の当接が解除されるた
め、上下ブロック(35)が上下動されてもアーム(2
7)は上下ブロック(35)に対しフリーの状態なので
上下動しない。尚、エアシリンダ(53)の前進、後退
移動は図20に示す夫々センサ(58)、(59)で検
出され、各シリンダ(53)に対応した各タイマにより
その前進、後退動作タイムオーバーが計時される。An air cylinder (53) is fixed to a base of a coating apparatus (not shown). A rod (54) has a claw return block (55) formed at the tip thereof. The driving of the air cylinder (53) causes the claw return block (55) to move forward, and the contact portion (56) of the block (55) comes into contact with the contact portion (57) of the slide claw (42). Spring (4
By pushing back the slide claw (42) against the biasing force of 5), the engagement between the slide claw (42) and the slide claw receiver (41) via the tapered portions (46) and (47) and the flange portion (41) are performed. 48) and the projection (49) are released from contact, so that the arm (2) can be moved even if the upper and lower blocks (35) are moved up and down.
7) does not move up and down because it is in a free state with respect to the upper and lower blocks (35). The forward and backward movements of the air cylinder (53) are detected by sensors (58) and (59) shown in FIG. 20, respectively, and the timer corresponding to each cylinder (53) measures the time over of the forward and backward operation. You.
【0025】(32)は前記接着剤塗布ユニット(5)
の4本並設されたノズル(6)の中央に位置するように
上下ブロック(35)に固定されたCCDカメラで、基
板(1)に塗布された接着剤や基板(1)に付された図
示しない基板認識マークを認識する。(32) The adhesive application unit (5)
The CCD camera fixed to the upper and lower blocks (35) so as to be located at the center of the four nozzles (6) arranged in parallel with each other applies the adhesive applied to the substrate (1) and the adhesive applied to the substrate (1). A board recognition mark (not shown) is recognized.
【0026】以下、ノズル(6)の構成について図9乃
至図11を基に説明する。Hereinafter, the configuration of the nozzle (6) will be described with reference to FIGS.
【0027】(63)はノズルボディで、下部にノズル
先端部(64)の嵌合部(65)が嵌合される嵌合溝
(66)が形成されており、フランジ部(67)の平面
がノズルボディ(63)の下部に当接するまで挿入され
る。尚、該嵌合部(65)と嵌合溝(66)の嵌合時に
図11に示すフランジ部(67)に形成された位置決め
面(68)がノズルボディ(63)の下部から突設され
た突片(69)の内側に形成された位置決め面(70)
に合うようにして、角度位置決めを行っている。こうし
て、ノズルボディ(63)にノズル先端部(64)を嵌
合させた状態で、袋ナット(71)の挿入孔(72)を
介して該袋ナット(71)をノズル先端部(64)の下
部から通してノズルボディ(63)下部の側面に形成さ
れたネジ部(73)を介して図3に示すようにナット止
めする。また、ノズルボディ(363)のフランジ部
(17)にも図10に示すように前記嵌合時の角度位置
決め基準となる位置決め面(74)が形成されている。The nozzle body (63) has a fitting groove (66) formed in the lower part thereof for fitting the fitting part (65) of the nozzle tip (64), and the flat surface of the flange part (67). Until it contacts the lower part of the nozzle body (63). When the fitting portion (65) and the fitting groove (66) are fitted, a positioning surface (68) formed on the flange portion (67) shown in FIG. 11 is projected from the lower part of the nozzle body (63). Positioning surface (70) formed inside the protruding piece (69)
Angle positioning is performed in such a way as to match Thus, with the nozzle tip (64) fitted in the nozzle body (63), the cap nut (71) is inserted into the nozzle tip (64) through the insertion hole (72) of the cap nut (71). As shown in FIG. 3, nuts are screwed through lower portions of the nozzle body (63) through screw portions (73) formed on the lower side surface. As shown in FIG. 10, a positioning surface (74) is formed on the flange portion (17) of the nozzle body (363).
【0028】ここで、ノズル(6)はロータギア(8)
及びノズルホルダ(9)へ以下の要領で取付けられてお
り、図1、図7及び図8を基に説明する。Here, the nozzle (6) is connected to the rotor gear (8).
And attached to the nozzle holder (9) in the following manner, and will be described with reference to FIGS. 1, 7 and 8.
【0029】先ず、作業者はノズル(6)をノズルボデ
ィ(63)の上部を持って図7に示すようにロータギア
(8)及びノズルホルダ(9)に差し込む。そして、図
8に示すようにノズル固定ピン(19)の先端がノズル
ボディ(63)の側面を摺動して行き、図1に示すよう
にノズル固定ピン(19)が溝(18)に嵌まり込むま
で更に挿入される。このとき、ノズル(6)のフランジ
部(17)が挿入孔(10)の底面部に当接されるまで
挿入されることによりノズル(6)の下限位置が設定さ
れる。また、図3に示すようにフランジ部(17)の位
置決め面(74)が突部(8A)に当接することにより
位置決めされる。また、シリンジ(7)内の接着剤が無
くなった場合のシリンジ(7)交換も同様にして行われ
る。即ち、ノズル固定ピン(19)を引張りながらノズ
ル(6)を持ち上げ、ロータギア(8)及びノズルホル
ダ(9)から引き抜き、シリンジキャップ(80)を回
転させてシリンジ(7)とシリンジキャップ(80)と
を分離させた後、該シリンジキャップ(80)に接着剤
の入ったシリンジ(7)(ノズル(6)も固定されてい
る。)を取り付けて、前述したようにノズル(6)をロ
ータギア(8)及びノズルホルダ(9)に固定する。First, the operator inserts the nozzle (6) into the rotor gear (8) and the nozzle holder (9) with the upper part of the nozzle body (63) as shown in FIG. Then, as shown in FIG. 8, the tip of the nozzle fixing pin (19) slides on the side surface of the nozzle body (63), and the nozzle fixing pin (19) fits in the groove (18) as shown in FIG. It is inserted further until it gets stuck. At this time, the lower end position of the nozzle (6) is set by inserting the nozzle (6) until the flange portion (17) is brought into contact with the bottom portion of the insertion hole (10). Further, as shown in FIG. 3, the positioning is performed by abutting the positioning surface (74) of the flange portion (17) against the projection (8A). The replacement of the syringe (7) when the adhesive in the syringe (7) runs out is performed in the same manner. That is, the nozzle (6) is lifted while pulling the nozzle fixing pin (19), pulled out from the rotor gear (8) and the nozzle holder (9), and the syringe cap (80) is rotated so that the syringe (7) and the syringe cap (80) are rotated. Then, a syringe (7) containing an adhesive (the nozzle (6) is also fixed) is attached to the syringe cap (80), and the nozzle (6) is connected to the rotor gear ( 8) and fixed to the nozzle holder (9).
【0030】また、前記ノズルホルダ(9)はヒータブ
ロックの役目もあり、図1に示すようにヒータ(76)
が嵌め込まれており、熱伝導によりノズルホルダ(9)
を介して熱がノズル(6)に伝わり、ノズル(6)内の
接着剤が適温で維持される。そして、ノズルホルダ
(9)をノズル先端部(64)にかかるように延設して
挿入孔(9A)を介してノズル先端部(64)を挿入し
てあるため、ノズルボディ(63)だけでなくノズル先
端部(64)にも熱が伝わる。The nozzle holder (9) also functions as a heater block, and as shown in FIG.
The nozzle holder (9) is fitted by heat conduction.
The heat is transmitted to the nozzle (6) via the nozzle, and the adhesive in the nozzle (6) is maintained at an appropriate temperature. Since the nozzle holder (9) is extended so as to cover the nozzle tip (64) and the nozzle tip (64) is inserted through the insertion hole (9A), only the nozzle body (63) is used. The heat is also transmitted to the nozzle tip (64).
【0031】図12に示す(78)はエアチューブ(7
9)を介して供給されるエア圧によりシリンジ(7)内
の温度が上昇し、シリンジ(7)内の接着剤が硬化する
ことを防止するための放熱用銅管で、シリンジキャップ
(80)とエアチューブ(79)の間に介在している。(78) shown in FIG. 12 is an air tube (7).
A heat-radiating copper tube for preventing the temperature inside the syringe (7) from rising due to the air pressure supplied via 9) and curing the adhesive inside the syringe (7), and the syringe cap (80). And an air tube (79).
【0032】(81)はシリンジ(7)内に供給したエ
アが漏れないように前記シリンジキャップ(80)とシ
リンジ(7)との嵌合部を塞ぐゴムシールリングであ
る。Reference numeral (81) denotes a rubber seal ring that closes a fitting portion between the syringe cap (80) and the syringe (7) so that air supplied into the syringe (7) does not leak.
【0033】(84)は図示しない上流側装置から搬送
されて来る基板(1)を受取り前記XYテーブル(4)
に基板(1)を供給する供給コンベアで、(85)は該
テーブル(4)上で接着剤の塗布作業が終了した基板
(1)を下流側装置へ排出する排出コンベアである。(84) receives the substrate (1) conveyed from an upstream device (not shown) and receives the XY table (4).
A supply conveyor (85) is a supply conveyor for supplying the substrate (1) to the table (4), and discharging the substrate (1) on the table (4) after the application of the adhesive is completed to a downstream device.
【0034】以下、XYテーブル(4)の構成の一部で
ある基板位置決め機構について図13乃至図19を基に
説明する。The substrate positioning mechanism which is a part of the structure of the XY table (4) will be described below with reference to FIGS.
【0035】(87A)(87B)は供給コンベア(8
4)から図示しないコンベアに乗り移って搬送されて来
る基板(1)の両側端部を支持しながら案内するXYテ
ーブル(4)の基板搬送部を構成する一対の固定ブロッ
クで、図14に示すように一方の固定ブロック(87
A)は断面コ字形の固定プレート(88)上部に、他方
の固定ブロック(87B)は該固定プレート(88)の
底面部に後述する移動機構によりリニアガイド(86)
を介して移動される可動プレート(89)上部に設けら
れている。また、可動プレート(89)側の固定ブロッ
ク(87)の一部はスライドブロック(90)で構成さ
れている。該スライドブロック(90)は、図15に示
すようにスライドブロック(90)に穿設された長孔
(91)に可動プレート(89)に立設させたピン(9
2)を挿入した状態で、側面から一端が該スライドブロ
ック(90)に他端が可動プレート(89)の側面に設
けられた逆L字形の取付片(93)に当接させた圧縮バ
ネ(94)により固定プレート(88)側に押し付ける
ことにより可動プレート(89)に移動可能に取り付け
られている。尚、図示しない抜止具によりスライドブロ
ック(90)がピン(92)から抜けないようにしてあ
る。(87A) and (87B) correspond to the supply conveyor (8).
A pair of fixed blocks constituting a board transfer section of an XY table (4) that guides while supporting both side ends of the board (1) that is transferred from 4) to a conveyor (not shown) as shown in FIG. To one fixed block (87
A) is located above the fixing plate (88) having a U-shaped cross section, and the other fixing block (87B) is located on the bottom surface of the fixing plate (88) by a moving mechanism (described later).
Is provided above the movable plate (89) which is moved via the. A part of the fixed block (87) on the movable plate (89) side is constituted by a slide block (90). As shown in FIG. 15, the slide block (90) is provided with a pin (9) set up on a movable plate (89) in an elongated hole (91) formed in the slide block (90).
With the 2) inserted, a compression spring (one end of which is in contact with the slide block (90) from the side and the other end is in contact with an inverted L-shaped mounting piece (93) provided on the side of the movable plate (89). It is movably attached to the movable plate (89) by pressing against the fixed plate (88) side by 94). The slide block (90) is prevented from falling out of the pin (92) by a stopper (not shown).
【0036】また、スライドブロック(90)の側面に
は可動プレート(89)の側面から突設された支点軸受
(95)に立設された遮光板揺動支点(96)を支点に
して揺動可能に遮光板(97)が当接されている。そし
て、該遮光板(97)は当接部(98)が常にスライド
ブロック(90)に当接しているようにその一端側に設
けられた圧縮バネ受け(102)が固定ブロック(8
7)の側面に穿設された挿入孔(99)に挿入された圧
縮バネ(100)により付勢されている。The side of the slide block (90) swings around a light-shielding plate swinging fulcrum (96) erected on a fulcrum bearing (95) projecting from the side of the movable plate (89). A light blocking plate (97) is abutted as much as possible. The light shielding plate (97) is provided with a compression spring receiver (102) provided at one end thereof so that the contact portion (98) is always in contact with the slide block (90).
It is urged by a compression spring (100) inserted into an insertion hole (99) formed in the side surface of (7).
【0037】(101)は透過型フォトセンサから成る
基板位置決めセンサで、XYテーブル(4)上に基板
(1)が無い状態で投光部から投光された光が前記遮光
板(97)により遮光されて受光部に受光されないよう
になっている。Reference numeral (101) denotes a substrate positioning sensor composed of a transmission type photosensor, and the light projected from the light projecting portion without the substrate (1) on the XY table (4) is transmitted by the light shielding plate (97). The light is shielded from being received by the light receiving unit.
【0038】(103)は前記可動プレート(89)を
移動させる移動機構のパルスモータで、該モータ(10
3)の駆動によりベアリング(104)を介して固定プ
レート(88)に支持されたボールネジ(105)が回
動し、スライダ部(106)が固定された可動プレート
(88)がリニアガイド(86)に案内されて基板幅方
向に水平移動される。(103) is a pulse motor of a moving mechanism for moving the movable plate (89).
By the driving of 3), the ball screw (105) supported by the fixed plate (88) rotates via the bearing (104), and the movable plate (88) to which the slider portion (106) is fixed is moved by the linear guide (86). And horizontally moved in the substrate width direction.
【0039】(107)は前記固定ブロック(87)に
支持された基板(1)の裏面に多数立設されたバックア
ップピン(108)を押し当てて、例えば基板(1)が
下反りしていても水平に支持されるようにするバックア
ップベースで、固定プレート(88)の底面部に設けら
れた図示しない上下機構により上下動される。また、該
ベース(107)には基板(1)に穿設された図示しな
い位置決め孔に入り込む仮位置決め用の図示しない位置
決めピンも立設されている。In the step (107), a large number of backup pins (108) are pressed against the back surface of the substrate (1) supported by the fixing block (87), for example, the substrate (1) is warped downward. The backup base is also supported horizontally, and is moved up and down by a vertical mechanism (not shown) provided on the bottom surface of the fixed plate (88). In addition, a positioning pin (not shown) for temporary positioning that enters a positioning hole (not shown) formed in the substrate (1) is also provided upright on the base (107).
【0040】(110)は基板(1)が通過したことを
検出する基板検出センサで、基板搬送レベル上方に位置
され投光部から投光された光が基板(1)に反射されて
その反射光が受光部に受光されることにより検出する。Reference numeral (110) denotes a substrate detection sensor for detecting that the substrate (1) has passed, and the light projected from the light projecting portion, which is located above the substrate transport level, is reflected by the substrate (1) and reflected therefrom. The light is detected by being received by the light receiving unit.
【0041】(111)は基板(1)の後端に当接して
基板(1)の戻り動作を規制する基板ストッパで、図示
しない上下機構により上下動される。Reference numeral (111) denotes a substrate stopper which contacts the rear end of the substrate (1) and regulates the return operation of the substrate (1), and is moved up and down by a vertical mechanism (not shown).
【0042】図20の(115)は各ノズル(6)に対
応して設けられ各ノズル(6)の不使用時間を計時する
捨打ちタイマで、(116)は各ノズル(6)に対応し
て設けられノズル(6)の使用時間を計時する使用タイ
マである。In FIG. 20, (115) is a discard timer provided to correspond to each nozzle (6) and measures the non-use time of each nozzle (6). (116) corresponds to each nozzle (6). Is a use timer for measuring the use time of the nozzle (6).
【0043】尚、捨打ちとはノズル(6)のクリーニン
グのために本塗布とは関係なく行う塗布動作のことであ
る。The discarding is a coating operation performed for cleaning the nozzle (6) irrespective of the main coating.
【0044】(117)は各ノズル(6)に対応して設
けられ各ノズル(6)により試し打ちされた接着剤のC
CDカメラ(32)により認識された塗布径が後述のR
AM(131)に記憶された設定塗布範囲内に入る毎に
1減算される合格カウンタである。(118)は各ノズ
ル(6)に対応して設けられ各ノズル(6)により試し
打ちされた接着剤の塗布径が前記設定塗布範囲外となる
度に1減算される不合格カウンタである。(117) is the C of the adhesive which is provided in correspondence with each nozzle (6) and is test-punched by each nozzle (6).
The application diameter recognized by the CD camera (32) is R
This is a pass counter which is decremented by 1 every time the value falls within the set application range stored in the AM (131). Reference numeral (118) denotes a rejection counter provided corresponding to each nozzle (6) and decremented by one each time the application diameter of the adhesive test-trimmed by each nozzle (6) falls outside the set application range.
【0045】尚、試し打ちとは塗布径の認識を行うため
に本塗布動作とは関係なく行う塗布動作のことである。Note that the trial hitting is a coating operation performed to recognize the coating diameter irrespective of the main coating operation.
【0046】図20の(120)は各キー操作により各
種データを生ずる操作部で、各種データ設定用のキーボ
ード(121)、カーソル指示キー(122)、テンキ
ー(123)、CRT(124)の画面選択キー(12
5)、塗布装置を自動運転モードにするための自動キー
(126)、手動モードにするための手動キー(12
7)、始動キー(128)、作動キー(129)、停止
キー(130)とから成る。An operation section 120 of FIG. 20 generates various data by operating each key. Screens of a keyboard (121) for setting various data, a cursor instruction key (122), a numeric keypad (123), and a CRT (124). Select key (12
5), an automatic key (126) for setting the coating apparatus to the automatic operation mode, and a manual key (12) for setting the coating apparatus to the manual mode.
7) A start key (128), an operation key (129), and a stop key (130).
【0047】(131)は塗布動作に関するNCデータ
(図21参照)や塗布条件データ(図22参照)を記憶
する記憶装置としてのRAMである。Reference numeral 131 denotes a RAM as a storage device for storing NC data (see FIG. 21) and coating condition data (see FIG. 22) relating to the coating operation.
【0048】(132)は塗布動作に関するプログラム
を記憶する記憶装置としてのROMである。(132) is a ROM as a storage device for storing a program relating to the coating operation.
【0049】(133)は塗布装置の総括的制御を行う
制御装置としてのCPUである。(133) is a CPU as a control device for performing general control of the coating device.
【0050】(134)はインターフェースである。(134) is an interface.
【0051】(135)は駆動回路で、X軸モータ
(2)、Y軸モータ(3)、CCDカメラ(32)、上
下モータ(36)、エアシリンダ(53)、センサ(5
8)、(59)、ヒータ(76)、基板位置決めセンサ
(101)、パルスモータ(103)、基板検出センサ
(110)、捨打ちタイマ(115)、使用タイマ(1
16)、合格カウンタ(117)、不合格カウンタ(1
18)等が接続されている。A drive circuit (135) is an X-axis motor (2), a Y-axis motor (3), a CCD camera (32), a vertical motor (36), an air cylinder (53), and a sensor (5).
8), (59), heater (76), substrate positioning sensor (101), pulse motor (103), substrate detection sensor (110), discard timer (115), use timer (1)
16), pass counter (117), reject counter (1
18) are connected.
【0052】以下、動作について説明する。The operation will be described below.
【0053】先ず、塗布装置の運転が開始されると、図
25に示すようにXYテーブル(4)が基板(1)搬送
レベル(図示しないセンサにより検出される高さ原点位
置)に上昇される。このとき、位置決め機構は開放(搬
送されて来る基板(1)が入り込めるように基板搬送部
を基板幅より広くした。)状態である。First, when the operation of the coating apparatus is started, the XY table (4) is raised to the substrate (1) transfer level (the height origin position detected by a sensor (not shown)) as shown in FIG. . At this time, the positioning mechanism is in an open state (the substrate transport section is wider than the substrate width so that the transported substrate (1) can enter).
【0054】次に、供給コンベア(84)からコンベア
を介してXYテーブル(4)上に基板(1)が搬送され
て来て、基板検出センサ(110)により基板(1)の
通過が検出されると、コンベアの供給コンベア(84)
及びコンベアの駆動が停止され基板の後端部基準の位置
決めを行うためコンベアの所定位置に基板ストッパ(1
11)が上下機構により下降される。該ストッパ(11
1)が下降した後、前記コンベアが逆転駆動されて基板
(1)後端がストッパ(111)に規制され、その移動
が停止する。このとき、基板(1)がストッパ(11
1)に当接されるに十分な時間を図示しないタイマに設
定しておき、該タイマがタイムアップした後コンベアの
逆転駆動を停止させている。また、前記基板検出センサ
(110)で基板(1)の存在が検出される。Next, the substrate (1) is transported from the supply conveyor (84) onto the XY table (4) via the conveyor, and the passage of the substrate (1) is detected by the substrate detection sensor (110). Then, the conveyor supply conveyor (84)
In addition, the drive of the conveyer is stopped, and the substrate stopper (1
11) is lowered by the vertical mechanism. The stopper (11
After lowering 1), the conveyor is driven to rotate in the reverse direction, the rear end of the substrate (1) is regulated by the stopper (111), and its movement stops. At this time, the substrate (1) is
A timer (not shown) is set to have a sufficient time for contact with 1), and after the timer expires, the reverse rotation drive of the conveyor is stopped. The presence of the substrate (1) is detected by the substrate detection sensor (110).
【0055】基板ストッパ(111)を上昇させ、XY
テーブル(4)の基板搬送部を上下機構により下降させ
る。このとき、バックアップベース(107)上のバッ
クアップピン(108)により基板(1)がバックアッ
プされると共に位置決めピンが位置決め孔に入り込んで
基板(1)の仮位置決めを行う。該テーブル(4)が所
定の下限位置まで下降された後、基板位置決め処理(本
位置決め)が行われる。即ち、パルスモータ(103)
が指定パルス数駆動され、この駆動によりボールネジ
(105)が回動されリニアガイド(86)に案内され
て可動プレート(89)が固定ブロック(87)間を狭
める方向に移動される。この際、可動プレート(89)
の移動により可動プレート(89)上の固定ブロック
(87)及びスライドブロック(90)も共に移動され
るが、図15に示すように基板(1)を支持するスライ
ドブロック(90)は基板(1)によりその移動が規制
されるため、ある位置から固定ブロック(87)のみ移
動される。そして、図15から図17、更に図17から
図19に示すようにある位置で移動が規制されたスライ
ドブロック(90)に対し固定ブロック(87)は移動
を続け、この間にスライドブロック(90)の側面に当
接されている遮光板(97)は遮光板揺動支点(96)
を支点にして時計方向に回動されて、図19に示すよう
に遮光板(97)により光が遮光されていた基板位置決
めセンサ(101)の光が通光されることにより、CP
U(133)は基板(1)の位置決めが完了したと判断
し、CPU(133)はCCDカメラ(32)により基
板(1)に付された基板位置決めマークを認識させた
後、塗布動作を開始する。The substrate stopper (111) is raised, and XY
The substrate transport section of the table (4) is lowered by the vertical mechanism. At this time, the substrate (1) is backed up by the backup pins (108) on the backup base (107), and the positioning pins enter the positioning holes to perform temporary positioning of the substrate (1). After the table (4) is lowered to a predetermined lower limit position, a substrate positioning process (final positioning) is performed. That is, the pulse motor (103)
Is driven by a designated number of pulses, and the ball screw (105) is rotated by this drive, guided by the linear guide (86), and the movable plate (89) is moved in a direction to narrow the space between the fixed blocks (87). At this time, the movable plate (89)
As a result, the fixed block (87) and the slide block (90) on the movable plate (89) are moved together, but as shown in FIG. 15, the slide block (90) supporting the substrate (1) is ) Restricts the movement, so that only the fixed block (87) is moved from a certain position. The fixed block (87) continues to move with respect to the slide block (90) whose movement is restricted at a certain position as shown in FIGS. 15 to 17 and further, FIGS. The light shielding plate (97) in contact with the side surface of the light shielding plate swinging fulcrum (96)
Is rotated clockwise with the fulcrum as a fulcrum, and as shown in FIG. 19, the light of the substrate positioning sensor (101) whose light is shielded by the light shielding plate (97) is transmitted therethrough.
U (133) judges that the positioning of the substrate (1) has been completed, and the CPU (133) starts the coating operation after recognizing the substrate positioning mark attached to the substrate (1) by the CCD camera (32). I do.
【0056】また、前記センサ(101)により位置決
めできないと検出された(基板有りと検出されない)場
合、図26に示すようにCPU(133)は位置決め異
常と判断して、モータ(103)を逆転駆動させて位置
決め機構を開放する。If it is detected by the sensor (101) that positioning cannot be performed (the presence of a substrate is not detected), the CPU (133) determines that the positioning is abnormal as shown in FIG. Drive to open the positioning mechanism.
【0057】運転開始時には、通常各ノズル(6)の捨
打ちタイマ(115)に設定された図23に示す捨打ち
データ(WASTE DISPENSE DATA)の
時間(TIME)に示した不使用時間がタイムアップさ
れていないため、そのまま塗布作業を開始する。At the start of operation, the non-use time indicated by the time (TIME) of the discard data (WASTE DISPENSE DATA) shown in FIG. 23 which is normally set in the discard timer (115) of each nozzle (6) is increased. Since it has not been performed, the application operation is started as it is.
【0058】塗布作業は、図21に示す塗布動作に関す
るNCデータに基づいて行われる。即ち、ステップ00
01ではX座標データやY座標データで示す基板(1)
上の座標位置(X1,Y1)に接着剤を図22に示す塗
布条件データで示される塗布条件で塗布する。即ち、図
21のNCデータのD(塗布条件データ番号)が001
と設定されており、図22の塗布条件データの対応する
001に設定されたノズル番号(NOZZLE)2、ゲ
ージ(GAUGE)1、吐出時間(TIME)T1を基
にノズル番号2のノズル(6)にゲージ1の圧力で接着
剤を吐出時間T1だけシリンジ(7)にエアチューブ
(79)を介して供給源からの圧縮空気を送り込んでノ
ズル(6)から所定量の接着剤を吐出させて、基板
(1)上に塗布する。そのため、図22に示す塗布条件
データに基づきノズル番号2のノズル(6)(図2の左
から2番目のノズル(6))が指定されたため、該ノズ
ル(6)を介して塗布動作を開始する。図2を基に該塗
布動作について説明する。尚、図2は使用するノズル
(6)(左から2番目)のみ上下動可能で、他のノズル
(6)(最も左のノズルのみ図示してある。)は上下動
させないようにした状態を示している。即ち、スライド
爪(42)が圧縮バネ(45)の付勢力によりスライド
爪受け(41)側に移動されてスライド爪受け(41)
のテーパ部(46)とスライド爪(42)のテーパ部
(47)を介してスライド爪(42)とスライド爪受け
(41)とが係合される。これにより、ノズル上下アー
ム(27)のフランジ部(48)が上下ブロック(3
5)の溝(40)の上部に形成された凸部(49)に当
接されるため、アーム(27)は前述したテーパ部(4
6)、(47)を介したスライド爪(42)とスライド
爪受け(41)との係合そしてフランジ部(48)と凸
部(49)の当接により上下ブロック(35)に突張る
形で所謂一体化する。従って、上下モータ(36)の駆
動によるボールネジ(37)の回動により上下ブロック
(35)が下動されるに伴って、図3に示すリニアガイ
ド(61)に案内されて下動する。そして、図4に示す
ようにノズル先端部(64)のストッパピン(30)が
基板(1)に当接し、図5に示すように更に押し込まれ
ながら基板(1)に接着剤を塗布する。尚、前述の押し
込み動作中は圧縮バネ(14)により接着剤を塗布する
に十分な力を有し、それでいて過負荷(ストッパピン
(30)先端が折り曲がるとか、基板(1)が割れる
等)がかからないようにノズル(6)がロータギア
(8)の内面を摺動しながら浮き上がるようにしてあ
る。尚、該ノズル(6)の下降はセンサにより検出され
ており、該センサによりノズル(6)の下降が検出され
ない場合、CPU(133)は塗布装置を停止する。ま
た、装置を停止すると共にその旨作業者に図示しない報
知装置により報知させても良い。The coating operation is performed based on the NC data related to the coating operation shown in FIG. That is, step 00
01 indicates a substrate (1) indicated by X coordinate data or Y coordinate data
The adhesive is applied to the upper coordinate position (X1, Y1) under the application condition indicated by the application condition data shown in FIG. That is, D (application condition data number) of the NC data in FIG.
The nozzle (6) having the nozzle number 2 based on the nozzle number (NOZZLE) 2, the gauge (GAUGE) 1, and the ejection time (TIME) T1 set to 001 corresponding to the application condition data in FIG. The compressed air is supplied from the supply source to the syringe (7) via the air tube (79) through the air tube (79) for the discharge time T1 to discharge a predetermined amount of the adhesive from the nozzle (6). Coating on substrate (1). Therefore, since the nozzle (6) of the nozzle number 2 (the second nozzle (6) from the left in FIG. 2) is designated based on the application condition data shown in FIG. 22, the application operation is started via the nozzle (6). I do. The coating operation will be described with reference to FIG. FIG. 2 shows a state in which only the used nozzle (6) (second from left) can be moved up and down, and other nozzles (6) (only the leftmost nozzle is shown) are not moved up and down. Is shown. That is, the slide claw (42) is moved toward the slide claw receiver (41) by the urging force of the compression spring (45), and the slide claw receiver (41) is moved.
The slide claw (42) and the slide claw receiver (41) are engaged with each other via the tapered portion (46) and the tapered portion (47) of the slide claw (42). As a result, the flange portion (48) of the nozzle upper / lower arm (27) is connected to the upper and lower blocks (3
Since the arm (27) comes into contact with the convex portion (49) formed on the upper portion of the groove (40) of (5), the arm (27) has the above-mentioned tapered portion (4).
6) A form in which the slide pawl (42) and the slide pawl receiver (41) are engaged via the (47), and the flange (48) and the convex part (49) abut on the upper and lower blocks (35). So-called integration. Accordingly, as the upper and lower blocks (35) are moved downward by the rotation of the ball screw (37) driven by the vertical motor (36), they are guided by the linear guide (61) shown in FIG. Then, as shown in FIG. 4, the stopper pin (30) of the nozzle tip (64) comes into contact with the substrate (1), and as shown in FIG. 5, the adhesive is applied to the substrate (1) while being pushed further. During the above-mentioned pushing operation, the compression spring (14) has a sufficient force to apply the adhesive, and is overloaded (for example, the tip of the stopper pin (30) is bent or the substrate (1) is broken). The nozzle (6) is lifted while sliding on the inner surface of the rotor gear (8) so as not to cover. The lowering of the nozzle (6) is detected by a sensor, and when the lowering of the nozzle (6) is not detected by the sensor, the CPU (133) stops the application device. Further, the device may be stopped and the operator may be notified by a notifying device (not shown).
【0059】また、使用しない他のノズル(6)はロッ
ク機構によるノズル(6)と上下ブロック(35)との
固定が解除機構(52)により解除されている。左から
1番目のノズル(6)を基に説明する。左から1番目の
エアシリンダ(53)が押し出し作動され(同時にタイ
マが計時される。)ロッド(54)を介して爪戻しブロ
ック(55)が前進し、該ブロック(55)の当接部
(56)とスライド爪(42)の当接部(57)とが当
接され更なる押し出し作動によりスライド爪(42)は
圧縮バネ(45)の付勢力に抗してスライド爪受け(4
1)から離れる方向に移動されてスライド爪受け(4
1)との係合が解除される(エアシリンダ(53)によ
る押し出し作動は、センサ(58)により検出され、C
PU(133)はその検出信号を受け取った後前記タイ
マを停止する。)。これにより、前記ノズル上下アーム
(27)のフランジ部(48)と上下ブロック(35)
の溝(40)の上部に形成された凸部(49)との当接
が解除されるため、アーム(27)と上下ブロック(3
5)との一体化も解除される。従って、上下モータ(3
6)の駆動によるボールネジ(37)の回動により上下
ブロック(35)が下降されても、ノズル上下アーム
(27)は下降されずノズル(6)も下降されない。
尚、前記タイマによる所定時間内にエアシリンダ(5
3)の押し出し作動が完了しない場合、またセンサによ
り使用しないノズル(6)の下降が検出された場合には
塗布装置を停止する。また、装置を停止させると共にそ
の旨作業者に図示しない報知装置により報知させても良
い。The other nozzles (6) which are not used have the lock mechanism releasing the nozzle (6) and the upper and lower blocks (35) from being released by the release mechanism (52). The description will be made based on the first nozzle (6) from the left. The first air cylinder (53) from the left is pushed out (at the same time, a timer is counted). The claw return block (55) advances through the rod (54), and the contact portion ( 56) and the contact portion (57) of the slide claw (42) are brought into contact with each other, and the slide claw (42) is pressed against the urging force of the compression spring (45) by a further pushing operation, so that the slide claw receiver (4) is pressed.
Slide claw receiver (4) moved away from 1)
1) is disengaged (the pushing operation by the air cylinder (53) is detected by the sensor (58), and C
The PU (133) stops the timer after receiving the detection signal. ). Thereby, the flange portion (48) of the nozzle upper and lower arms (27) and the upper and lower blocks (35)
Since the contact with the convex portion (49) formed on the upper part of the groove (40) is released, the arm (27) and the upper and lower blocks (3) are released.
Integration with 5) is also released. Therefore, the vertical motor (3
Even if the upper and lower blocks (35) are lowered by the rotation of the ball screw (37) driven by 6), the nozzle upper and lower arms (27) are not lowered and the nozzle (6) is not lowered.
Note that the air cylinder (5
When the push-out operation of 3) is not completed, or when the lowering of the unused nozzle (6) is detected by the sensor, the application device is stopped. In addition, the device may be stopped, and the operator may be notified by a notifying device (not shown).
【0060】次に、ステップ0002では同じく基板
(1)上の座標位置(X2,Y2)にノズル番号1のノ
ズル(6)にゲージ2の圧力で吐出時間T2だけシリン
ジ(7)内を加圧して、吐出された接着剤を塗布する。
このとき、最も左のノズル(6)と上下ブロック(3
5)とをロック機構により固定し、前述のステップ00
01で使用したノズル(6)と上下ブロック(35)と
の固定を解除する。即ち、図28に示すように上下ブロ
ック(35)がセンサにより検出される高さ原点位置に
あるとき、最も左のエアシリンダ(53)が引込み作動
され(同時にタイマが計時される。)ロッド(54)を
介して爪戻しブロック(55)が後退し、該ブロック
(55)の当接部(56)とスライド爪(42)の当接
部(57)との当接が解除されるため、スライド爪(4
2)は圧縮バネ(45)の付勢力によりスライド爪受け
(41)側に移動されてスライド爪受け(41)のテー
パ部(46)とスライド爪(42)のテーパ部(47)
を介してスライド爪(42)とスライド爪受け(41)
とが係合される(エアシリンダ(53)による引込み作
動は、センサ(59)により検出され、CPU(13
3)はその検出信号を受け取った後前記タイマを停止す
る。)。これにより、ノズル上下アーム(27)のフラ
ンジ部(48)が上下ブロック(35)の溝(40)の
上部に形成された凸部(49)に当接されるため、アー
ム(27)は前述したテーパ部(46)、(47)を介
したスライド爪(42)とスライド爪受け(41)との
係合そしてフランジ部(48)と凸部(49)の当接に
より上下ブロック(35)に突張る形での一体化によ
り、上下モータ(36)の駆動によるボールネジ(3
7)の回動により上下ブロック(35)が下動されるに
伴って、前記アーム(27)を介してノズル(6)は下
降されて基板(1)上に接着剤を塗布する(この下降動
作はセンサにより検出されている。)。尚、前記タイマ
による所定時間内にエアシリンダ(53)の引込み作動
が完了しない場合、またセンサによるノズル(6)の下
降が検出されない場合には装置を停止する。また、装置
を停止させると共にその旨作業者に図示しない報知装置
により報知させても良い。そして、前述のステップ00
01で使用したノズル(6)と上下ブロック(35)と
のロック機構による固定は前述のステップ0001で説
明した要領で左から2番目のエアシリンダ(53)が押
し出し作動され(同時にタイマが計時される。)ロッド
(54)を介して爪戻しブロック(55)が前進し、該
ブロック(55)の当接部(56)とスライド爪(4
2)の当接部(57)とが当接され更なる押し出し作動
によりスライド爪(42)は圧縮バネ(45)の付勢力
に抗してスライド爪受け(41)から離れる方向に移動
されてスライド爪受け(41)との係合が解除され(エ
アシリンダ(53)による押し出し作動は、センサ(5
8)により検出され、CPU(133)はその検出信号
を受け取った後前記タイマを停止する。)、前記ノズル
上下アーム(27)のフランジ部(48)と上下ブロッ
ク(35)の溝(40)の上部に形成された凸部(4
9)との当接も解除されるため、アーム(27)と上下
ブロック(35)との一体化が解除され、ノズル(6)
は下降しない。尚、前記タイマによる所定時間内にエア
シリンダ(53)の押し出し作動が完了しない場合、ま
たセンサにより使用しないノズル(6)の下降が検出さ
れた場合には装置を停止する。また、装置を停止させる
と共にその旨作業者に図示しない報知装置により報知さ
せても良い。Next, in step 0002, the inside of the syringe (7) is pressurized at the coordinate position (X2, Y2) on the substrate (1) by the pressure of the gauge 2 to the nozzle (6) of the nozzle number 1 for the discharge time T2. Then, the discharged adhesive is applied.
At this time, the leftmost nozzle (6) and the upper and lower blocks (3
5) is fixed by a lock mechanism, and the above-mentioned step 00 is fixed.
The fixing between the nozzle (6) used in step 01 and the upper and lower blocks (35) is released. That is, as shown in FIG. 28, when the upper and lower blocks (35) are at the height origin position detected by the sensor, the leftmost air cylinder (53) is retracted (at the same time, a timer is counted). 54), the claw return block (55) is retracted, and the contact between the contact portion (56) of the block (55) and the contact portion (57) of the slide claw (42) is released. Slide claws (4
2) is moved toward the slide claw receiver (41) by the urging force of the compression spring (45), and the tapered portion (46) of the slide claw receiver (41) and the tapered portion (47) of the slide claw (42).
Slide claw (42) and slide claw receiver (41)
(The retraction operation by the air cylinder (53) is detected by the sensor (59) and the CPU (13
3) Stops the timer after receiving the detection signal. ). As a result, the flange portion (48) of the nozzle upper and lower arm (27) comes into contact with the convex portion (49) formed above the groove (40) of the upper and lower block (35). The upper and lower blocks (35) are engaged by the engagement of the slide claw (42) and the slide claw receiver (41) via the tapered portions (46) and (47) and the abutment of the flange (48) and the protrusion (49). The ball screw (3) driven by the vertical motor (36)
As the upper and lower blocks (35) are moved down by the rotation of (7), the nozzle (6) is lowered via the arm (27) to apply the adhesive onto the substrate (1) (this descent). The movement is detected by the sensor.) If the retracting operation of the air cylinder (53) is not completed within a predetermined time by the timer, or if the lowering of the nozzle (6) is not detected by the sensor, the apparatus is stopped. In addition, the device may be stopped, and the operator may be notified by a notifying device (not shown). Then, the aforementioned step 00
In order to fix the nozzle (6) and the upper and lower blocks (35) used in step 01 by the lock mechanism, the second air cylinder (53) from the left is pushed out in the same manner as described in step 0001 (the timer is simultaneously measured). The claw return block (55) moves forward through the rod (54), and the contact portion (56) of the block (55) and the slide claw (4) are moved forward.
The slide claw (42) is moved in a direction away from the slide claw receiver (41) against the urging force of the compression spring (45) by the further pushing operation by the contact portion (57) of (2) being abutted. The engagement with the slide claw receiver (41) is released (the pushing operation by the air cylinder (53) is performed by the sensor (5)
8), the CPU (133) stops the timer after receiving the detection signal. ), A convex portion (4) formed on the flange portion (48) of the nozzle upper and lower arm (27) and the groove (40) of the upper and lower block (35).
The contact with the arm (27) and the upper and lower blocks (35) is released because the contact with the nozzle (6) is released.
Does not descend. If the pushing operation of the air cylinder (53) is not completed within a predetermined time by the timer, or if the lowering of the unused nozzle (6) is detected by the sensor, the apparatus is stopped. In addition, the device may be stopped, and the operator may be notified by a notifying device (not shown).
【0061】また、自動運転中何らかの原因(基板
(1)の割れとか、振動等)により基板(1)が落下し
た際は、前記基板位置決めセンサ(101)により検出
される。即ち、図19の状態であった遮光板(97)が
基板(1)が落下することでそれまで基板(1)により
その前進移動が規制されていたスライドブロック(9
0)が圧縮バネ(94)に付勢されながら前進するた
め、遮光板(97)は図17更に図15に示すように反
時計方向に回転される。従って、図15に示すように遮
光板(97)は基板位置決めセンサ(101)の投光部
からの投光を遮光するのでCPU(133)は基板
(1)が落下したと判断し、装置を停止する。また、装
置を停止すると共にその旨作業者に図示しない報知装置
により報知させても良い。Further, when the substrate (1) falls due to some cause during the automatic operation (for example, a crack or vibration of the substrate (1)), it is detected by the substrate positioning sensor (101). That is, the light blocking plate (97) in the state of FIG. 19 falls on the slide block (9) whose forward movement is restricted by the substrate (1).
0) moves forward while being urged by the compression spring (94), so that the light shielding plate (97) is rotated counterclockwise as shown in FIG. 17 and FIG. Therefore, as shown in FIG. 15, the light shielding plate (97) shields the light emitted from the light emitting portion of the substrate positioning sensor (101), so that the CPU (133) determines that the substrate (1) has fallen, Stop. Further, the device may be stopped and the operator may be notified by a notifying device (not shown).
【0062】次に、ノズル(6)の交換動作について図
3及び図9乃至図12を基に説明する。このノズル交換
は、例えば該装置は吐出径の異なる、また吐出部(6
A)の数の異なるノズル(6)を併せて4本備えている
が、基板(1)の機種切替え等により別のノズル(6)
と交換する場合や接着剤の詰まりが発生したノズル
(6)を詰まっていないノズル(6)と交換する場合で
ある。Next, the replacement operation of the nozzle (6) will be described with reference to FIGS. 3 and 9 to 12. This nozzle replacement is performed, for example, because the device has a different discharge diameter and the discharge unit (6
Although four nozzles (6) having different numbers of A) are provided, another nozzle (6) may be provided by switching the type of the substrate (1).
Or when the nozzle (6) in which the adhesive is clogged is replaced with a non-clogged nozzle (6).
【0063】先ず、作業者が前述のノズル(6)をロー
タギア(8)及びノズルホルダ(9)から抜き取った状
態で、図9に示すように袋ナット(71)を回転させて
ノズル先端部(64)から抜き取ることにより、ノズル
先端部(64)の嵌合部(65)とノズルボディ(6
3)の嵌合溝(66)との嵌合が解除される。そして、
所望のノズル先端部(64)を前記嵌合溝(66)にフ
ランジ部(67)の平面がノズルボディ(63)の下部
に当接するまで該嵌合部(65)と嵌合溝(66)の嵌
合時に図11に示すフランジ部(67)に形成された位
置決め面(68)がノズルボディ(63)の下部から突
設された突片(69)の内側に形成された位置決め面
(70)に合うように角度位置決めを行いながら挿入す
る。こうして、ノズルボディ(63)にノズル先端部
(64)を嵌合させた状態で、袋ナット(71)の挿入
孔(72)を介して該袋ナット(71)をノズル先端部
(64)の下部から通してノズルボディ(63)下部の
側面に形成されたネジ部(73)を介して図3に示すよ
うにナット止めする。First, with the worker pulling out the nozzle (6) from the rotor gear (8) and the nozzle holder (9), the cap nut (71) is rotated as shown in FIG. 64), the fitting portion (65) of the nozzle tip (64) and the nozzle body (6) are removed.
3) The fitting with the fitting groove (66) is released. And
A desired nozzle tip portion (64) is fitted to the fitting groove (66) until the flat surface of the flange portion (67) comes into contact with the lower portion of the nozzle body (63). The positioning surface (68) formed on the flange portion (67) shown in FIG. 11 at the time of fitting of the positioning surface (70) formed on the inside of a protruding piece (69) protruding from the lower part of the nozzle body (63). Insert while performing angular positioning to match Thus, with the nozzle tip (64) fitted in the nozzle body (63), the cap nut (71) is inserted into the nozzle tip (64) through the insertion hole (72) of the cap nut (71). As shown in FIG. 3, nuts are screwed through lower portions of the nozzle body (63) through screw portions (73) formed on the lower side surface.
【0064】また、前記ノズルホルダ(9)には図1に
示すようにヒータ(76)が嵌め込まれており、熱伝導
によりノズルホルダ(9)を介して熱がノズル(6)に
伝わり、該ヒータ(76)を図示しない温度調節装置に
よりノズル(6)内の接着剤が適温で維持される。そし
て、ノズルホルダ(9)をノズル先端部(64)にかか
るようにしてあるため、ノズルボディ(63)だけでな
くノズル先端部(64)にも熱が伝わる。A heater (76) is fitted into the nozzle holder (9) as shown in FIG. 1, and heat is transmitted to the nozzle (6) through the nozzle holder (9) by heat conduction. The adhesive in the nozzle (6) is maintained at an appropriate temperature by a temperature control device (not shown) for the heater (76). Further, since the nozzle holder (9) is set to cover the nozzle tip (64), heat is transmitted not only to the nozzle body (63) but also to the nozzle tip (64).
【0065】更に、塗布作業が続けられるうちにシリン
ジ(7)内にかけられるエアチューブ(79)を介して
供給されるエア圧によりシリンジ(7)内の温度が上昇
しても、その熱を放熱用銅管(78)で放熱するため、
シリンジ(7)内の接着剤が硬化するということが防止
される。Further, even if the temperature in the syringe (7) rises due to the air pressure supplied through the air tube (79) applied to the syringe (7) while the coating operation is continued, the heat is radiated. To dissipate heat with the copper tube (78)
The adhesive in the syringe (7) is prevented from hardening.
【0066】以下、捨打ち動作について説明する。Hereinafter, the discard operation will be described.
【0067】今度使用するノズル(6)が例えばノズル
番号2のノズル(6)である場合、図23に示すように
その不使用時間が設定された不使用時間(TIME)の
30[SEC](秒)に達したら、本塗布動作前に捨打
ち回数(WASTE)の2回に基づき捨打ちが2回行わ
れる。このとき、X軸モータ(2)及びY軸モータ
(3)の駆動によりXYテーブル(4)を移動させて、
ノズル(6)の下方位置に基板(1)上の余白部を位置
させ、エア用チューブ(79)を介して供給されるエア
によりシリンジ(7)内の接着剤がノズル(6)先端に
吐出された状態で、ノズル(6)を下降させて基板
(1)上の余白部に接着剤を捨打ちする。If the nozzle (6) to be used this time is, for example, the nozzle (6) of the nozzle number 2, as shown in FIG. 23, the non-use time (TIME) 30 [SEC] ( (Seconds), the discarding is performed twice based on the number of discards (WASTE) twice before the main coating operation. At this time, the XY table (4) is moved by driving the X-axis motor (2) and the Y-axis motor (3),
The margin on the substrate (1) is positioned below the nozzle (6), and the adhesive in the syringe (7) is discharged to the tip of the nozzle (6) by the air supplied through the air tube (79). In this state, the nozzle (6) is moved down to scrape the adhesive into the margin on the substrate (1).
【0068】他のノズル番号のノズル(6)も同様に捨
打ちが行われる。The nozzle (6) of another nozzle number is similarly discarded.
【0069】次に、順次塗布動作が行われて、以下、ノ
ズル(6)の塗布径の認識動作について説明する。Next, the application operation is performed sequentially, and the operation of recognizing the application diameter of the nozzle (6) will be described below.
【0070】各ステップに基づき本塗布動作が行われ
て、今度使用するノズル(6)が例えばノズル番号2の
ノズル(6)である場合、図24に示すようにその使用
時間が設定された使用時間(TIME)の1000[S
EC](秒)に達したら、本塗布動作前に試し打ちが行
われる。このとき、X軸モータ(2)及びY軸モータ
(3)の駆動によりXYテーブル(4)を移動させて、
ノズル(6)の下方位置に基板(1)上の余白部を位置
させ、エア用チューブ(79)を介して供給されるエア
によりシリンジ(7)内の接着剤がノズル(6)先端に
吐出された状態で、ノズル(6)を下降させて接着剤を
試し打ちする。When the main coating operation is performed based on each step, and the nozzle (6) to be used next is, for example, the nozzle (6) of the nozzle number 2, the usage time is set as shown in FIG. 1000 [S] of time (TIME)
EC] (seconds), a trial shot is performed before the main coating operation. At this time, the XY table (4) is moved by driving the X-axis motor (2) and the Y-axis motor (3),
The margin on the substrate (1) is positioned below the nozzle (6), and the adhesive in the syringe (7) is discharged to the tip of the nozzle (6) by the air supplied through the air tube (79). In this state, the nozzle (6) is lowered and the adhesive is tested.
【0071】この接着剤が試し打ちされた基板(1)の
余白部上方にCCDカメラ(32)が位置されるように
XYテーブル(4)を移動させる。The XY table (4) is moved so that the CCD camera (32) is located above the margin of the substrate (1) on which the adhesive has been tested.
【0072】そして、この試し打ちされた接着剤をCC
Dカメラ(32)で認識する。この撮像結果を基にCP
U(133)内の図示しない計算装置が接着剤の直径を
求める。CPU(133)は、この直径を図示しない比
較装置によりRAM(131)内に記憶されている設定
データ(許容範囲を含む。)と比較して、判断装置によ
り前記直径が許容範囲内に入っているか否か判断する。
ここで、判断装置により合格と判断されれば合格回数カ
ウンタ(117)の内容が1減算され、不合格と判断さ
れれば不合格回数カウンタ(118)の内容が1減算さ
れる。Then, this test-struck adhesive is applied to CC
It is recognized by the D camera (32). CP based on this imaging result
A calculator (not shown) in U (133) determines the diameter of the adhesive. The CPU (133) compares the diameter with the setting data (including the allowable range) stored in the RAM (131) by a comparing device (not shown) and compares the diameter with the setting data (including the allowable range). It is determined whether or not.
Here, the content of the pass counter (117) is decremented by 1 if the pass is judged by the judging device, and the content of the reject counter (118) is decremented by 1 if judged as reject.
【0073】以下、前述の判断結果が合格であった場合
について説明する。該ノズル番号2のノズル(6)は図
24に示す合格(OK)に2回と設定されているため、
再び試し打ちが行われる。そして、前述の作業が繰り返
されて合格となれば、合格回数カウンタ(117)の内
容が「0」となり本塗布動作が開始される。また、2回
目が不合格と判断されれば、合格回数カウンタ(11
7)の内容をクリアすると共に不合格回数カウンタ(1
18)の内容を1減算した後、塗布量を調整して再び試
し打ちを行い、連続して2回合格となるまで、このよう
な動作を繰り返す。Hereinafter, a case where the above-mentioned judgment result is a pass will be described. The nozzle (6) of the nozzle number 2 is set to pass (OK) twice as shown in FIG.
A trial shot is performed again. Then, if the above operation is repeated and the test is passed, the content of the pass counter (117) becomes "0", and the main application operation is started. If the second pass is determined to be rejected, the pass counter (11
7) is cleared and the rejection counter (1
After subtracting 1 from the content of 18), the application amount is adjusted, the test is performed again, and such an operation is repeated twice consecutively until the test is successful.
【0074】尚、不合格と判断された後の再認識動作
は、前記不合格回数カウンタ(118)の内容が図24
に示す再認識(RETRY)に設定された回数(ノズル
番号2のノズル(6)は2回)が減算されて「0」とな
るまで続けて行うことができる。また、前記不合格回数
カウンタ(118)の内容が「0」となっても塗布径が
設定範囲内に入らなかった場合には、装置を停止する。
また、装置を停止すると共にその旨作業者に図示しない
報知装置により報知させても良い。In the re-recognition operation after the rejection is judged, the content of the rejection number counter (118) is set as shown in FIG.
Can be continuously performed until the number of times set for re-recognition (RETRY) shown in (2) (nozzle (6) of nozzle number 2 is twice) is reduced to “0”. If the application diameter does not fall within the set range even if the content of the rejection counter (118) becomes "0", the apparatus is stopped.
Further, the device may be stopped and the operator may be notified by a notifying device (not shown).
【0075】他のノズル番号のノズル(6)も同様に試
し打ちが行われる。The nozzles (6) of the other nozzle numbers are similarly subjected to the test firing.
【0076】尚、捨打ち及び試し打ちは、基板(1)の
余白部上だけに限らず専用の捨打ち基板を設けてそこに
行ってもよい。It is to be noted that the discarding and the trial hitting may be performed not only on the blank portion of the substrate (1) but also by providing a dedicated discarded substrate.
【0077】また、捨打ちを行う条件として、本実施例
の不使用時間の他、例えば使用時間、使用回数、不使用
回数、1基板あるいは複数基板毎等が考えられる。尚、
運転開始時は必ず捨打ちを行うようにしてもよく、試し
打ちを行ってもよい。In addition to the non-use time of the present embodiment, the conditions for performing the discarding may include, for example, the use time, the number of times of use, the number of times of non-use, one substrate, or a plurality of substrates. still,
At the start of the operation, it is possible to always perform the discarding or to perform the trial driving.
【0078】更に、試し打ちを行う条件として、本実施
例の使用時間の他、例えば不使用時間、使用回数、不使
用回数、1基板あるいは複数基板毎等が考えられる。Further, as conditions for performing the test hitting, in addition to the use time of the present embodiment, for example, the non-use time, the number of times of use, the number of times of non-use, one substrate or every plural substrates can be considered.
【0079】このとき、CCDカメラ(32)を4本設
けられたノズル(6)の中央に配置したため、ノズル
(6)で塗布作業を行った後塗布径認識を行うためカメ
ラ(32)下方にXYテーブル(4)を移動させて基板
(1)上に塗布された接着剤を位置させる際のテーブル
(4)の移動距離に無駄が無く移動時間も節約できるの
で、基板1枚への塗布作業時間も短くなる。At this time, since the CCD camera (32) is arranged at the center of the four nozzles (6) provided, the coating operation is performed by the nozzles (6) and then the camera (32) is positioned below the camera (32) to recognize the coating diameter. When the XY table (4) is moved to position the adhesive applied on the substrate (1), the moving distance of the table (4) can be reduced and the moving time can be saved. Time is also shorter.
【0080】以下、機種切替え(基板(1)サイズの変
更等)時のXYテーブル(4)の基板搬送部の手動段取
替えについて図27を基に説明する。作業者は今度扱う
基板(1)を基板搬送部の基板位置決め機構位置に位置
させた状態で、作動キー(129)を押圧する。する
と、CPU(133)からの指令によりパルスモータ
(103)が駆動され、可動シュート(89)が所望方
向に移動される。例えば、今度扱う基板(1)が前の基
板(1)より幅狭の場合、可動シュート(89)を固定
ブロック(87)とスライドブロック(90)間が狭ま
る方向に移動させる。そして、前述したように基板位置
決めセンサ(101)が通光したという信号を受けたC
PU(133)は一定の距離移動させて圧縮バネ(10
0)によりスライドブロック(90)が適切な押圧力で
基板位置決めするようにパルスモータ(103)に指令
を出しパルスモータ(103)を駆動しその後パルスモ
ータ(103)の駆動を停止する。これにより、基板搬
送部の段取替えが終了する。尚、センサ(101)の信
号を受けたCPU(133)がパルスモータ(103)
を停止させるため、作業者が作動キー(129)を押し
続けてもモータ(103)は駆動されず固定ブロック
(87)とスライドブロック(90)間は所望間隔に設
定されるので使い勝手が良い。また、センサ(101)
はスライドブロック(90)が所望間隔に至る地点より
も一定の距離手前で検出するように設定されているた
め、パルスモータ(103)が停止した地点においては
検出臨界点ではないのでXYテーブルの移動による振動
等により検出が不安定になる影響を排除できる。また、
パルスモータ(103)の駆動は高速、低速どちらでも
設定でき、例えば幅調整距離が長い場合は高速で、微調
整が必要な場合は低速に設定することもできる。Hereinafter, the manual setup change of the board transfer section of the XY table (4) when the model is changed (for example, the size of the board (1) is changed) will be described with reference to FIG. The operator presses the operation key (129) in a state where the substrate (1) to be processed is located at the position of the substrate positioning mechanism of the substrate transport unit. Then, the pulse motor (103) is driven by a command from the CPU (133), and the movable chute (89) is moved in a desired direction. For example, when the substrate (1) to be handled this time is narrower than the preceding substrate (1), the movable chute (89) is moved in a direction in which the distance between the fixed block (87) and the slide block (90) is reduced. Then, as described above, C that receives a signal indicating that the substrate positioning sensor (101) has passed light is received.
The PU (133) is moved by a fixed distance to move the compression spring (10).
In step (0), a command is issued to the pulse motor (103) so that the slide block (90) positions the substrate with an appropriate pressing force, and the pulse motor (103) is driven. Then, the drive of the pulse motor (103) is stopped. Thus, the setup change of the substrate transport unit is completed. The CPU (133) receiving the signal of the sensor (101) changes the pulse motor (103).
Therefore, even if the operator keeps pushing the operation key (129), the motor (103) is not driven and the desired interval is set between the fixed block (87) and the slide block (90). Also, the sensor (101)
Is set to detect a predetermined distance before the point where the slide block (90) reaches the desired interval, and is not a detection critical point at the point where the pulse motor (103) stops. The effect of making the detection unstable due to vibration or the like can be eliminated. Also,
The drive of the pulse motor (103) can be set at either high speed or low speed. For example, if the width adjustment distance is long, high speed can be set, and if fine adjustment is required, low speed can be set.
【0081】[0081]
【発明の効果】以上、本発明によればノズルがノズルボ
ディとノズル先端部とに分離できる構造であってもノズ
ル先端部にも十分に熱が伝わり先端部の塗布剤を適温で
維持することができる。As described above, according to the present invention, even if the nozzle can be separated into the nozzle body and the nozzle tip, heat is sufficiently transmitted to the nozzle tip and the coating agent at the tip is maintained at an appropriate temperature. Can be.
【図1】ノズルの固定機構を示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating a nozzle fixing mechanism.
【図2】ノズルの上下機構を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a vertical mechanism of a nozzle.
【図3】ノズルの緩衝機構を示す図である。FIG. 3 is a view showing a buffer mechanism of a nozzle.
【図4】ノズルの緩衝機構を示す図である。FIG. 4 is a view showing a buffer mechanism of a nozzle.
【図5】ノズルの緩衝機構を示す図である。FIG. 5 is a view showing a buffer mechanism of a nozzle.
【図6】塗布装置の正面図である。FIG. 6 is a front view of a coating apparatus.
【図7】ノズルの固定機構を示す図である。FIG. 7 is a view showing a nozzle fixing mechanism.
【図8】ノズルの固定機構を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a nozzle fixing mechanism.
【図9】ノズルの分解図である。FIG. 9 is an exploded view of a nozzle.
【図10】図9のA矢視図である。FIG. 10 is a view as viewed in the direction of the arrow A in FIG.
【図11】図9のB矢視図である。FIG. 11 is a view as viewed in the direction of the arrow B in FIG. 9;
【図12】放熱用銅管を示す図である。FIG. 12 is a view showing a copper tube for heat radiation.
【図13】基板搬送部の正面図である。FIG. 13 is a front view of the substrate transport unit.
【図14】基板搬送部の側面図である。FIG. 14 is a side view of the substrate transport unit.
【図15】基板搬送部の平面図である。FIG. 15 is a plan view of a substrate transport unit.
【図16】基板搬送部の側面図である。FIG. 16 is a side view of the substrate transport unit.
【図17】基板搬送部の平面図である。FIG. 17 is a plan view of a substrate transport unit.
【図18】基板搬送部の側面図である。FIG. 18 is a side view of the substrate transport unit.
【図19】基板搬送部の平面図である。FIG. 19 is a plan view of a substrate transport unit.
【図20】塗布装置の構成回路図である。FIG. 20 is a circuit diagram illustrating a configuration of a coating apparatus.
【図21】塗布動作に関するNCデータである。FIG. 21 shows NC data relating to a coating operation.
【図22】塗布動作に関するNCデータである。FIG. 22 shows NC data relating to a coating operation.
【図23】塗布動作に関するNCデータである。FIG. 23 shows NC data related to a coating operation.
【図24】塗布動作に関するNCデータである。FIG. 24 shows NC data relating to a coating operation.
【図25】基板位置決め動作に関するフローチャートで
ある。FIG. 25 is a flowchart related to a substrate positioning operation.
【図26】基板位置決め動作に関するフローチャートで
ある。FIG. 26 is a flowchart relating to a substrate positioning operation.
【図27】基板位置決め動作に関するフローチャートで
ある。FIG. 27 is a flowchart relating to a substrate positioning operation.
【図28】基板位置決め動作に関するフローチャートで
ある。FIG. 28 is a flowchart relating to a substrate positioning operation.
(1) プリント基板 (4) XYテーブル (6) ノズル (7) シリンジ (8) ロータギア (9) ノズルホルダ (14) 圧縮バネ (19) ノズル固定ピン (24) 圧縮バネ (27) ノズル上下アーム (32) CCDカメラ (35) 上下アーム (36) 上下モータ (41) スライド爪受け (42) スライド爪 (45) 圧縮バネ (46) テーパ部 (47) テーパ部 (52) エアシリンダ (55) 爪戻しブロック (56) 当接部 (57) 当接部 (63) ノズルボディ (64) ノズル先端部 (65) 嵌合部 (66) 嵌合溝 (71) 袋ナット (76) ヒータ (78) 放熱用銅管 (79) エアチューブ (80) シリンジキャップ (84) 供給コンベア (85) 排出コンベア (87) 固定ブロック (88) 固定シュート (89) 可動シュート (90) スライドブロック (94) 圧縮バネ (95) 支点軸受 (96) 遮光板揺動支点 (97) 遮光板 (100) 圧縮バネ (101) 基板位置決めセンサ (103) パルスモータ (133) CPU (1) Printed circuit board (4) XY table (6) Nozzle (7) Syringe (8) Rotor gear (9) Nozzle holder (14) Compression spring (19) Nozzle fixing pin (24) Compression spring (27) Nozzle vertical arm ( 32) CCD camera (35) Vertical arm (36) Vertical motor (41) Slide claw receiver (42) Slide claw (45) Compression spring (46) Taper section (47) Taper section (52) Air cylinder (55) Claw return Block (56) Contact part (57) Contact part (63) Nozzle body (64) Nozzle tip (65) Fitting part (66) Fitting groove (71) Cap nut (76) Heater (78) For heat dissipation Copper tube (79) Air tube (80) Syringe cap (84) Supply conveyor (85) Discharge conveyor (87) Fixing block (88) Fixing Mute (89) movable chute (90) slide block (94) compression spring (95) fulcrum bearing (96) shading plate fulcrum (97) shading plate (100) compression spring (101) board positioning sensor (103) pulse motor (133) CPU
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平1−56165(JP,A) 特開 平1−135561(JP,A) 特開 昭63−296863(JP,A) 特開 平4−171887(JP,A) 特開 平2−184366(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B05C 5/00 - 5/04 H05K 3/34 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (56) References JP-A-1-56165 (JP, A) JP-A-1-135561 (JP, A) JP-A-62-296863 (JP, A) JP-A-4- 171887 (JP, A) JP-A-2-184366 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) B05C 5/00-5/04 H05K 3/34
Claims (1)
ノズルを介してシリンジ内の塗布剤を塗布する塗布装置
に於いて、駆動源の駆動によりガイドに案内されて上下
動する上下機構と、該上下機構に前記ノズルを固定する
ノズル保持具とから成り、前記ノズルはノズルボディに
ノズル先端部が着脱交換可能に取りつけられ、前記ノズ
ル保持具はノズルボディを包む形で保持すると共にノズ
ル先端部に延設されその内部にはノズル内の塗布剤を適
温で維持するためのヒータが埋設されていることを特徴
とする塗布装置。An application device for applying an application agent in a syringe through a nozzle provided at a lower portion of the syringe on a printed circuit board. A nozzle holder for fixing the nozzle to an up-and-down mechanism, wherein the nozzle is detachably attached to a nozzle body at a nozzle tip, and the nozzle holder holds the nozzle body in a wrapping manner and is attached to the nozzle tip. A coating device, wherein a heater for maintaining a coating agent in a nozzle at an appropriate temperature is buried therein.
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| JP26035892A JP3213402B2 (en) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | Coating device |
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1992
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