JP3211258B2 - 可動磁石型リニアモータ - Google Patents
可動磁石型リニアモータInfo
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- JP3211258B2 JP3211258B2 JP09474791A JP9474791A JP3211258B2 JP 3211258 B2 JP3211258 B2 JP 3211258B2 JP 09474791 A JP09474791 A JP 09474791A JP 9474791 A JP9474791 A JP 9474791A JP 3211258 B2 JP3211258 B2 JP 3211258B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は可動磁石型リニアモータ
に係り、特に、推力リプルの発生を抑制しつつ磁極数を
少なくすることができる可動磁石型リニアモータに関す
る。
に係り、特に、推力リプルの発生を抑制しつつ磁極数を
少なくすることができる可動磁石型リニアモータに関す
る。
【従来の技術】一般に、直流リニアモータとしては、例
えば可動子にマグネットを含んだ可動マグネット型のも
のや、可動子にコイルを含んだ可動コイル型のものが知
られている。可動マグネット型のモータを例にとると、
例えば特開昭５９ー８６４７３号公報や、特開昭５９ー
１２２３５４号公報等に記載されたものが知られてい
る。上記公報においては、移動子が走行する固定子側の
基台に沿って多数の電機子コイルを相互に接して並設さ
れ、また、移動子側の裏面に複数の磁極の異なる磁石を
配置して構成されている。そして、上記磁石の磁極を検
出する例えば、ホール素子の如き位置検知素子は、上記
電機子コイルの上面あるいは、電機子コイルの推力に寄
与しない導体部と推力に寄与する導体部とがクロスする
位置に設けられている。そして、上記位置検知素子によ
り磁石のＮ、Ｓの磁極を検出し、これに基づいて電機子
コイルに所定方向の電流を流すことにより所定の方向に
磁石すなわち移動体を移動させるように構成されてい
る。また、他の従来例としては、位置検知素子を巻回さ
れた電機子コイルの中央空間部に設置した構造のリニア
モータも知られている。
えば可動子にマグネットを含んだ可動マグネット型のも
のや、可動子にコイルを含んだ可動コイル型のものが知
られている。可動マグネット型のモータを例にとると、
例えば特開昭５９ー８６４７３号公報や、特開昭５９ー
１２２３５４号公報等に記載されたものが知られてい
る。上記公報においては、移動子が走行する固定子側の
基台に沿って多数の電機子コイルを相互に接して並設さ
れ、また、移動子側の裏面に複数の磁極の異なる磁石を
配置して構成されている。そして、上記磁石の磁極を検
出する例えば、ホール素子の如き位置検知素子は、上記
電機子コイルの上面あるいは、電機子コイルの推力に寄
与しない導体部と推力に寄与する導体部とがクロスする
位置に設けられている。そして、上記位置検知素子によ
り磁石のＮ、Ｓの磁極を検出し、これに基づいて電機子
コイルに所定方向の電流を流すことにより所定の方向に
磁石すなわち移動体を移動させるように構成されてい
る。また、他の従来例としては、位置検知素子を巻回さ
れた電機子コイルの中央空間部に設置した構造のリニア
モータも知られている。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種のリ
ニアモータにおいては、移動体の円滑な移動を実現する
ためにはトルクの変動すなわち推力リプルをできるだけ
小さくした方がよく、そのため推力リプルが大きい場合
には、これを補償するような補償回路を別途設けてい
る。また、推力リプルを小さくするためには、移動体に
設ける磁石の磁極数を増加させればよいが、この場合に
は、Ｎ、Ｓ極の切り換えが多くなって磁界のフラット部
分が少なくなり、その結果、移動体の推力を大きくとる
ことができないという問題が発生する。更に、磁極数を
多くとって磁極ピッチを小さくすると、それに対応させ
て電極子コイルの設置ピッチも小さくしなければなら
ず、結果的に多数のコイルを設ける必要が生ずる。しか
も、推力リプルの発生は、磁極ピッチとコイルピッチと
の比及び他の諸要素と密接にからんでおり、各諸要素を
試行錯誤しながら組み合わせて決定するのが現状であ
る。
ニアモータにおいては、移動体の円滑な移動を実現する
ためにはトルクの変動すなわち推力リプルをできるだけ
小さくした方がよく、そのため推力リプルが大きい場合
には、これを補償するような補償回路を別途設けてい
る。また、推力リプルを小さくするためには、移動体に
設ける磁石の磁極数を増加させればよいが、この場合に
は、Ｎ、Ｓ極の切り換えが多くなって磁界のフラット部
分が少なくなり、その結果、移動体の推力を大きくとる
ことができないという問題が発生する。更に、磁極数を
多くとって磁極ピッチを小さくすると、それに対応させ
て電極子コイルの設置ピッチも小さくしなければなら
ず、結果的に多数のコイルを設ける必要が生ずる。しか
も、推力リプルの発生は、磁極ピッチとコイルピッチと
の比及び他の諸要素と密接にからんでおり、各諸要素を
試行錯誤しながら組み合わせて決定するのが現状であ
る。
【０００３】しかるに、上記従来構造におけるリニアモ
ータにおいては、磁極数を減少させても６極或いは５極
が限界であり、それ以上磁極数を減少させると、推力リ
プルが非常に大きくなり実用的でなくなる。例えば、図
２及び図３は上記文献の如く電機子コイル上に位置検出
素子を設置した場合において、磁極数Ｎｍを５と４に設
定し、コイルピッチと磁極ピッチの比Ｌｃを１．４５と
１．５に設定してシュミレーションを行なったときの推
力リプルを示し、磁極数Ｎｍを４に設定した場合には、
推力リプルが大きすぎて実用的でない。また、図４及び
図５は、位置検出素子を巻回されたコイルの中央に設置
した場合において、磁極数Ｎｍを６と５に設定し、コイ
ルピッチと磁極ピッチの比Ｌｃをそれぞれ１．５に設定
してシュミレーションを行なったときの推力リプルを示
し、磁極数Ｎｍを５に設定した場合には、推力リプルが
大きすぎて実用的でない。本発明は、以上のような問題
点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたもので
ある。本発明の目的は、推力リプルの増加を抑制しつつ
磁極数を減少させることができる可動磁石型リニアモー
タを提供するにある。
ータにおいては、磁極数を減少させても６極或いは５極
が限界であり、それ以上磁極数を減少させると、推力リ
プルが非常に大きくなり実用的でなくなる。例えば、図
２及び図３は上記文献の如く電機子コイル上に位置検出
素子を設置した場合において、磁極数Ｎｍを５と４に設
定し、コイルピッチと磁極ピッチの比Ｌｃを１．４５と
１．５に設定してシュミレーションを行なったときの推
力リプルを示し、磁極数Ｎｍを４に設定した場合には、
推力リプルが大きすぎて実用的でない。また、図４及び
図５は、位置検出素子を巻回されたコイルの中央に設置
した場合において、磁極数Ｎｍを６と５に設定し、コイ
ルピッチと磁極ピッチの比Ｌｃをそれぞれ１．５に設定
してシュミレーションを行なったときの推力リプルを示
し、磁極数Ｎｍを５に設定した場合には、推力リプルが
大きすぎて実用的でない。本発明は、以上のような問題
点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたもので
ある。本発明の目的は、推力リプルの増加を抑制しつつ
磁極数を減少させることができる可動磁石型リニアモー
タを提供するにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、磁極数を減少
させても、磁気センサをコイル間に設置してコイルピッ
チと磁極ピッチとの比を所定値に設定することにより、
推力リプルの増加を抑制しつつ推力を増加させることが
できることを、見いだすことによりなされたものであ
る。本発明は、上記問題点を解決するために、基台を有
して直線状に形成された案内手段と、並設された複数の
磁石を有し前記案内手段に沿って走行移動自在に設けら
れた移動体と、前記案内手段の前記基台に、その長手方
向に沿って前記磁石に対向して並設された複数の電機子
コイルと、前記案内手段の前記基台に設けられ、前記移
動体の磁石からの磁界を検出する複数の磁気センサとを
有し、該磁気センサの出力に基づいて前記移動体を移動
させるようになした可動磁石型リニアモータにおいて、
前記電機子コイルを相互に所定距離だけ離間させて配置
すると共に、前記磁気センサを前記並設された電機子コ
イルの相互間の前記基台上に設けるようにしたものであ
る。
させても、磁気センサをコイル間に設置してコイルピッ
チと磁極ピッチとの比を所定値に設定することにより、
推力リプルの増加を抑制しつつ推力を増加させることが
できることを、見いだすことによりなされたものであ
る。本発明は、上記問題点を解決するために、基台を有
して直線状に形成された案内手段と、並設された複数の
磁石を有し前記案内手段に沿って走行移動自在に設けら
れた移動体と、前記案内手段の前記基台に、その長手方
向に沿って前記磁石に対向して並設された複数の電機子
コイルと、前記案内手段の前記基台に設けられ、前記移
動体の磁石からの磁界を検出する複数の磁気センサとを
有し、該磁気センサの出力に基づいて前記移動体を移動
させるようになした可動磁石型リニアモータにおいて、
前記電機子コイルを相互に所定距離だけ離間させて配置
すると共に、前記磁気センサを前記並設された電機子コ
イルの相互間の前記基台上に設けるようにしたものであ
る。
【０００５】
【作用】本発明は、以上のように構成したので、電機子
コイルの相互間に設置した磁気センサの出力に基づいて
電機子コイルへ供給される電流が制御され、これにより
移動体は案内手段上に沿って大きな推力リプルを受ける
ことなく円滑に移動して行く。
コイルの相互間に設置した磁気センサの出力に基づいて
電機子コイルへ供給される電流が制御され、これにより
移動体は案内手段上に沿って大きな推力リプルを受ける
ことなく円滑に移動して行く。
【実施例】以下に、本発明に係る可動磁石型リニアモー
タの一実施例を添付図面に基づいて詳述する。図１、図
６及び図７に示すごとく、この可動磁石型リニアモータ
２は、直線状に形成された案内手段４と、この案内手段
４上に固定された複数の電機子コイル８と、この案内手
段４の上面に設けられた複数の磁気センサ１０とによ
り、主に構成されている。具体的には、上記案内手段４
は、長尺の基台１２を有しており、その上面両側に案内
路１４が形成されている。そして、この基台１２の上面
中央部には、全体の幅が、例えば２５ｍｍ位になるよう
に巻回された上記複数の電機子コイル８が相互に所定距
離、例えば５ｍｍだけ離間させて基台１２の長手方向に
順次並設されている。そして、上記磁気センサ１０は磁
界の強さと方向とを検出する例えばホール素子より成
り、上記相互に離間させて並設乃至隣設された電機子コ
イル８、８の間に設置されている。
タの一実施例を添付図面に基づいて詳述する。図１、図
６及び図７に示すごとく、この可動磁石型リニアモータ
２は、直線状に形成された案内手段４と、この案内手段
４上に固定された複数の電機子コイル８と、この案内手
段４の上面に設けられた複数の磁気センサ１０とによ
り、主に構成されている。具体的には、上記案内手段４
は、長尺の基台１２を有しており、その上面両側に案内
路１４が形成されている。そして、この基台１２の上面
中央部には、全体の幅が、例えば２５ｍｍ位になるよう
に巻回された上記複数の電機子コイル８が相互に所定距
離、例えば５ｍｍだけ離間させて基台１２の長手方向に
順次並設されている。そして、上記磁気センサ１０は磁
界の強さと方向とを検出する例えばホール素子より成
り、上記相互に離間させて並設乃至隣設された電機子コ
イル８、８の間に設置されている。
【０００６】一方、上記案内手段４上を移動する上記移
動体６は、左右一対の走行ローラ１６、１６を前後に２
対有しており、上記基台１２の案内路１４と係合して、
走行自在に構成されている。そして、この移動体６の裏
面には、上記基台１２上の電機子コイル８に対向させて
例えば、４つの磁石１８がＮ、Ｓ極交互に配置されてい
る。ここで、上述の如く、磁極Ｎｍが４つの場合には、
コイルピッチＬと磁極ピッチＭの比Ｌｃを１．４０±１
０％の範囲、望ましくは±５％の範囲に設定し、ベスト
モードとしては、１．４０に設定する。そして、電機子
コイル８の開角幅と磁石１８の磁極幅はほぼ等しく設定
されている。また、上記磁石１８からの磁界を検出する
前記磁気センサ１０は、図８に示す如く配線されてお
り、各電機子コイル８の両側に設けられた磁気センサ１
０、１０の出力の差を増幅器２０にてとり、それを増幅
して対応する電機子コイル８に駆動電流として供給する
ように構成されている。各電機子コイル８を駆動する配
線は、図８に示すものに限定されず、例えば図９に示す
如く各電機子コイル８をそれぞれ直列に接続しておき、
各磁気センサ１０の出力を増幅器２０にて増幅して、そ
の出力を対応する電機子コイル８、８の相互間の接続点
に直接入力するように構成してもよく、図８と図９は等
価な関係となる。
動体６は、左右一対の走行ローラ１６、１６を前後に２
対有しており、上記基台１２の案内路１４と係合して、
走行自在に構成されている。そして、この移動体６の裏
面には、上記基台１２上の電機子コイル８に対向させて
例えば、４つの磁石１８がＮ、Ｓ極交互に配置されてい
る。ここで、上述の如く、磁極Ｎｍが４つの場合には、
コイルピッチＬと磁極ピッチＭの比Ｌｃを１．４０±１
０％の範囲、望ましくは±５％の範囲に設定し、ベスト
モードとしては、１．４０に設定する。そして、電機子
コイル８の開角幅と磁石１８の磁極幅はほぼ等しく設定
されている。また、上記磁石１８からの磁界を検出する
前記磁気センサ１０は、図８に示す如く配線されてお
り、各電機子コイル８の両側に設けられた磁気センサ１
０、１０の出力の差を増幅器２０にてとり、それを増幅
して対応する電機子コイル８に駆動電流として供給する
ように構成されている。各電機子コイル８を駆動する配
線は、図８に示すものに限定されず、例えば図９に示す
如く各電機子コイル８をそれぞれ直列に接続しておき、
各磁気センサ１０の出力を増幅器２０にて増幅して、そ
の出力を対応する電機子コイル８、８の相互間の接続点
に直接入力するように構成してもよく、図８と図９は等
価な関係となる。
【０００７】次に、以上のように構成された本実施例の
動作について説明する。まず、このリニアモータ２の電
源がオンされているとすると、移動体６が位置する磁気
センサ１０は、移動体６の下面に取付けた磁石８からの
磁力線を感知し、磁力線を感知した各磁気センサ１０の
出力は、図８に示す如く相互に隣接するもの同士の差が
とられ、その差値を増幅して対応する電機子コイル８に
供給する。すると、電機子コイル８に電流が流れて、移
動体６に設けた磁石１８の磁界と相互作用し、フレミン
グの法則により推力が発生して、移動体６は上記案内手
段４に沿って走行移動する。走行方向を変えるには、電
機子コイル８ヘ供給する電源の極性を切り換えて行な
う。ここで、本発明においては、並設される電機子コイ
ル８、８相互を適宜距離だけ離間させて設置し、それら
コイル８、８の間に磁気センサ１０を設けるようにし、
しかも移動体６に設けた磁石１８の極数を４に設定し、
且つコイルピッチと磁極ピットとの比を１．４０に設定
するようにしたので、推力リプルが増加することを抑制
しつつ、磁極数を減少させることができた。図１０は、
上記条件のシュミレーション結果を示すものであり、磁
極数を４つに減少させたにもかかわらず、磁気センサ１
０を電機子コイル８、８間に設置し、且つコイルピット
と磁極ピッチの比Ｌｃを１．４０に設定することによ
り、推力リプルの増加を抑制して円滑な移動が可能とな
ることが判明する。また、ピッチ比Ｌｃの範囲は１．４
０を中心として±１０％、好ましくは±５％とすると良
好な結果を得る。
動作について説明する。まず、このリニアモータ２の電
源がオンされているとすると、移動体６が位置する磁気
センサ１０は、移動体６の下面に取付けた磁石８からの
磁力線を感知し、磁力線を感知した各磁気センサ１０の
出力は、図８に示す如く相互に隣接するもの同士の差が
とられ、その差値を増幅して対応する電機子コイル８に
供給する。すると、電機子コイル８に電流が流れて、移
動体６に設けた磁石１８の磁界と相互作用し、フレミン
グの法則により推力が発生して、移動体６は上記案内手
段４に沿って走行移動する。走行方向を変えるには、電
機子コイル８ヘ供給する電源の極性を切り換えて行な
う。ここで、本発明においては、並設される電機子コイ
ル８、８相互を適宜距離だけ離間させて設置し、それら
コイル８、８の間に磁気センサ１０を設けるようにし、
しかも移動体６に設けた磁石１８の極数を４に設定し、
且つコイルピッチと磁極ピットとの比を１．４０に設定
するようにしたので、推力リプルが増加することを抑制
しつつ、磁極数を減少させることができた。図１０は、
上記条件のシュミレーション結果を示すものであり、磁
極数を４つに減少させたにもかかわらず、磁気センサ１
０を電機子コイル８、８間に設置し、且つコイルピット
と磁極ピッチの比Ｌｃを１．４０に設定することによ
り、推力リプルの増加を抑制して円滑な移動が可能とな
ることが判明する。また、ピッチ比Ｌｃの範囲は１．４
０を中心として±１０％、好ましくは±５％とすると良
好な結果を得る。
【０００８】また、上記シュミレーションにおいては、
発生される磁場は、正弦波として取り扱っているが、実
際のリニアモータにおいては発生磁場の形状は台形に近
く、実機により近いこの台形磁場を用いてシュミレーシ
ョンを行なった結果を図１１に示す。図１２は、同様な
台形磁場を用いて、従来、磁極数も５と少なく、推力リ
プルも少なく良好と思われていた図２に示すリニアモー
タ、すなわち磁気センサを電機子コイル上に設けたリニ
アモータについてシュミレーションを行なった結果を示
す。図１１と図１２を比較すると、実機を想定した図１
１に示す本実施例においては、推力自体が増加する一
方、推力リプルはほとんど増加せずスムーズな推力が得
られ、良好な結果を与えるに対し、図１２においては、
推力自体は増加するが、それにともなって推力リプルも
増加し、好ましくない結果を与えることが判明する。
発生される磁場は、正弦波として取り扱っているが、実
際のリニアモータにおいては発生磁場の形状は台形に近
く、実機により近いこの台形磁場を用いてシュミレーシ
ョンを行なった結果を図１１に示す。図１２は、同様な
台形磁場を用いて、従来、磁極数も５と少なく、推力リ
プルも少なく良好と思われていた図２に示すリニアモー
タ、すなわち磁気センサを電機子コイル上に設けたリニ
アモータについてシュミレーションを行なった結果を示
す。図１１と図１２を比較すると、実機を想定した図１
１に示す本実施例においては、推力自体が増加する一
方、推力リプルはほとんど増加せずスムーズな推力が得
られ、良好な結果を与えるに対し、図１２においては、
推力自体は増加するが、それにともなって推力リプルも
増加し、好ましくない結果を与えることが判明する。
【０００９】以上、上記実施例にあっては、磁極数を４
に設定した場合について説明したが、これに限定され
ず、例えば磁極数を５、６および８に設定してもよい。
このように磁極数を５、６、８と変えた場合には、それ
に対応させてコイルピッチと磁極ピッチの比ＬCを、そ
れぞれ１．４８、１．６０、１．３７と順次変える。こ
のような条件（発生磁場を正弦波として設定）の基でシ
ュミレーションを行なった結果を図１３乃至図１５に示
す。図示するごとく、上記条件によると、推力リプルが
非常に少なく、円滑な移動を実現できることが判明す
る。また、図１３乃至図１５に示す場合においても、Ｌ
Cの許容範囲は、それぞれの設定値を中心に±１０％、
好ましくは±５％とする。尚、各推力リプル特性を示す
図において、下段の曲線は電流効率（推力定数）を示
す。
に設定した場合について説明したが、これに限定され
ず、例えば磁極数を５、６および８に設定してもよい。
このように磁極数を５、６、８と変えた場合には、それ
に対応させてコイルピッチと磁極ピッチの比ＬCを、そ
れぞれ１．４８、１．６０、１．３７と順次変える。こ
のような条件（発生磁場を正弦波として設定）の基でシ
ュミレーションを行なった結果を図１３乃至図１５に示
す。図示するごとく、上記条件によると、推力リプルが
非常に少なく、円滑な移動を実現できることが判明す
る。また、図１３乃至図１５に示す場合においても、Ｌ
Cの許容範囲は、それぞれの設定値を中心に±１０％、
好ましくは±５％とする。尚、各推力リプル特性を示す
図において、下段の曲線は電流効率（推力定数）を示
す。
【００１０】
【発明の効果】以上ようするに、本発明によれば、次の
ようなすぐれた作用効果を発揮することができる。磁気
センサを電機子コイルの相互間に位置させたことによ
り、推力リプルを増加させることなく磁極数を減少させ
ることができる。移動体の同一長さに対して磁極数を減
少させることができるので、同一移動ストロークに対し
て必要とされる電機子コイルの数量を減少させることが
でき、コスト削減に寄与できる。
ようなすぐれた作用効果を発揮することができる。磁気
センサを電機子コイルの相互間に位置させたことによ
り、推力リプルを増加させることなく磁極数を減少させ
ることができる。移動体の同一長さに対して磁極数を減
少させることができるので、同一移動ストロークに対し
て必要とされる電機子コイルの数量を減少させることが
でき、コスト削減に寄与できる。
【図１】本発明に係る可動磁石型リニアモータを示す斜
視図である。
視図である。
【図２】従来のリニアモータの推力リプル特性を示す図
である。
である。
【図３】従来のリニアモータの推力リプル特性を示す図
である。
である。
【図４】従来のリニアモータの推力リプル特性を示す図
である。
である。
【図５】従来のリニアモータの推力リプル特性を示す図
である。
である。
【図６】本発明のリニアモータを示す平面図である。
【図７】本発明のリニアモータを示す側面図である。
【図８】本発明のリニアモータを示す配線図である。
【図９】本発明のリニアモータを示す他の配線図であ
る。
る。
【図１０】本発明のリニアモータの推力リプル特性を示
す図である。
す図である。
【図１１】本発明のリニアモータにおいて台形磁場を用
いた場合の推力リプル特性を示す図である。
いた場合の推力リプル特性を示す図である。
【図１２】従来のリニアモータにおいて台形磁場を用い
た場合の推力リプル特性を示す図である。
た場合の推力リプル特性を示す図である。
【図１３】磁極数を５にした場合の推力リプル特性を示
す図である。
す図である。
【図１４】磁極数を６にした場合の推力リプル特性を示
す図である。
す図である。
【図１５】磁極数を８にした場合の推力リプル特性を示
す図である。
す図である。
２ リニアモータ ４ 案内手段 ６ 移動体 ８ 電機子コイル １０ 磁気センサ １２ 基台 １８ 磁石
Claims (5)
- 【請求項１】 基台を有して直線状に形成された案内手
段と、並設された複数の磁石を有し前記案内手段に沿っ
て走行移動自在に設けられた移動体と、前記案内手段の
前記基台に、その長手方向に沿って前記磁石に対向して
並設された複数の電機子コイルと、前記案内手段の前記
基台に設けられ、前記移動体の磁石からの磁界を検出す
る複数の磁気センサとを有し、該磁気センサの出力に基
づいて前記移動体を移動させるようになした可動磁石型
リニアモータにおいて、前記電機子コイルを相互に所定
距離だけ離間させて配置すると共に、前記磁気センサを
前記並設された電機子コイルの相互間の前記基台上に設
けたことを特徴とする可動磁石型リニアモータ。 - 【請求項２】 前記移動体の磁石の磁極数が４の場合に
は、前記電機子コイルのピッチと前記磁石の磁極ピッチ
の比は、１．４０±１０％の範囲内であることを特徴と
する請求項１記載のリニアモータ。 - 【請求項３】 前記移動体の磁石の磁極数が５の場合に
は、前記電機子コイルのピッチと前記磁石の磁極ピッチ
の比は、１．４８±１０％の範囲内であることを特徴と
する請求項１記載のリニアモータ。 - 【請求項４】 前記移動体の磁石の磁極数が６の場合に
は、前記電機子コイルのピッチと前記磁石の磁極ピッチ
の比は、１．６０±１０％の範囲内であることを特徴と
する請求項１記載のリニアモータ。 - 【請求項５】 前記移動体の磁石の磁極数が８の場合に
は、前記電機子コイルのピッチと前記磁石の磁極ピッチ
の比は、１．３７±１０％の範囲内であることを特徴と
する請求項１記載のリニアモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09474791A JP3211258B2 (ja) | 1991-04-01 | 1991-04-01 | 可動磁石型リニアモータ |
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| JP09474791A JP3211258B2 (ja) | 1991-04-01 | 1991-04-01 | 可動磁石型リニアモータ |
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| JPH04304155A JPH04304155A (ja) | 1992-10-27 |
| JP3211258B2 true JP3211258B2 (ja) | 2001-09-25 |
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Family Applications (1)
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Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1991
- 1991-04-01 JP JP09474791A patent/JP3211258B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JPH04304155A (ja) | 1992-10-27 |
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