JP3206175U - 漏洩検出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検査対象から漏洩したトレーサーガスの濃度を音速と温度とに基づいて測定することにより前記トレーサーガスの漏洩を検出する漏洩検出装置を提供する。【解決手段】検査対象１から漏洩したトレーサーガスの濃度を濃度計４で測定することにより前記トレーサーガスの漏洩を検出する漏洩検出装置における、前記濃度計４は、前記トレーサーガスが導入される測定流路と、測定流路内で超音波を送信する超音波送信器と、前記超音波を受信する超音波受信器と、測定流路内の温度を計測する温度計と、前記超音波の伝播時間を計測して、該伝播時間と、前記超音波の伝播する距離と、から音速を求め、該音速と前記温度とに基づいて前記トレーサーガスの濃度を求める演算装置と、を備える。濃度計４は、前記トレーサーガスの濃度を音速と温度とに基づいて測定するので、前記トレーサーガスの漏洩が検出される。【選択図】図１

Description

本考案は、検査対象からの漏洩を検出するために用いられる漏洩検出装置に関するものである。

検査対象からの漏洩を検出するために用いられる漏洩検出装置としては、従来、検査対象から漏洩したトレーサーガスの濃度を濃度計で測定することにより、前記検査対象からの前記トレーサーガスの漏洩を検出する形式の漏洩検出装置が知られている（たとえば、特許文献１、特許文献２参照）。

特開２０１２−４７６５１号公報 特開平７−４３２４０号公報

しかしながら、前記特許文献１、前記特許文献２に記載されたような形式の漏洩検出装置では、一般的に、濃度計には半導体センサーや質量分析管が用いられている。

このため、前記したような形式の漏洩検出装置では、濃度計に、検査対象から漏洩したトレーサーガスの濃度を音速と温度とに基づいて測定する形式の濃度計を用いることは考えられていなかった。

本考案は、上記した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、検査対象から漏洩したトレーサーガスの濃度を音速と温度とに基づいて測定することにより、前記検査対象からの前記トレーサーガスの漏洩を検出することができる漏洩検出装置を提供することを目的とする。

本考案の漏洩検出装置は、前記課題を解決するために、請求項１に対応して、検査対象から漏洩したトレーサーガスの濃度を濃度計で測定することにより前記検査対象からの前記トレーサーガスの漏洩を検出する漏洩検出装置における、前記濃度計は、前記漏洩したトレーサーガスが導入される測定流路と、該測定流路内で超音波を送信する超音波送信器と、該超音波送信器から送信された前記超音波を前記測定流路内で受信する超音波受信器と、前記測定流路内の温度を計測する温度計と、前記超音波が前記超音波送信器から前記超音波受信器に伝播する伝播時間を計測して、該伝播時間と、前記超音波が前記超音波送信器から前記超音波受信器まで伝播する距離と、に基づいて音速を求め、該音速と前記温度計で計測された温度とに基づいて前記漏洩したトレーサーガスの濃度を求める演算装置と、を備えるようにした構成とする。

又、請求項２に対応して、前記構成における漏洩検出装置に、前記漏洩したトレーサーガスが前記測定流路に導入される前に、該測定流路内の圧力を、該測定流路内が粘性流になる圧力に設定された、第１の設定圧力に制御するための圧力制御装置を備えるようにした構成とする。

更に、請求項３に対応して、前記構成における圧力制御装置は、前記測定流路内の圧力を計測する圧力計と、前記測定流路内を減圧するポンプと、該ポンプと前記測定流路との間に設けられた第１の開閉弁と、を備えるようにした構成とする。

更に又、請求項４に対応して、前記構成における圧力制御装置は、前記圧力計により計測された圧力が前記第１の設定圧力になったときに前記第１の開閉弁を閉止する開閉弁制御装置を備えるようにした構成とする。

又、請求項５に対応して、前記請求項３における圧力制御装置は、前記測定流路内に乾燥ガスを供給する乾燥ガス供給手段と、該乾燥ガス供給手段と前記測定流路との間に設けられた乾燥ガス供給用開閉弁と、を備えるようにした構成とする。

更に、請求項６に対応して、前記請求項５における圧力制御装置は、前記圧力計により計測された圧力が前記第１の設定圧力未満の圧力に設定された第２の設定圧力になったときに前記第１の開閉弁を閉止する機能と、該第１の開閉弁を閉止した後に前記乾燥ガス供給用開閉弁を開く機能と、該乾燥ガス供給用開閉弁を開いた後、前記圧力計により計測された圧力が前記第１の設定圧力になったときに前記乾燥ガス供給用開閉弁を閉止する機能と、を備える開閉弁制御装置を備えるようにした構成とする。

更に又、請求項７に対応して、前記構成における開閉弁制御装置は、前記漏洩したトレーサーガスの濃度が前記濃度計で測定可能な最低濃度になる、ため込み時間の間、前記第１の開閉弁を閉止する機能を備えるようにした構成とする。

又、請求項８に対応して、前記構成における演算装置は、前記トレーサーガスの種類ごとに、前記漏洩したトレーサーガスの濃度を求める機能を備えるようにした構成とする。

本考案の漏洩検出装置によれば、以下のような優れた効果を発揮する。
（１）本考案の漏洩検出装置は、検査対象から漏洩したトレーサーガスの濃度を濃度計で測定することにより前記検査対象からの前記トレーサーガスの漏洩を検出する漏洩検出装置における、前記濃度計は、前記漏洩したトレーサーガスが導入される測定流路と、該測定流路内で超音波を送信する超音波送信器と、該超音波送信器から送信された前記超音波を前記測定流路内で受信する超音波受信器と、前記測定流路内の温度を計測する温度計と、前記超音波が前記超音波送信器から前記超音波受信器に伝播する伝播時間を計測して、該伝播時間と、前記超音波が前記超音波送信器から前記超音波受信器まで伝播する距離と、に基づいて音速を求め、該音速と前記温度計で計測された温度とに基づいて前記漏洩したトレーサーガスの濃度を求める演算装置と、を備えるようにした構成としているので、前記濃度計は、前記検査対象から漏洩したトレーサーガスの濃度を音速と温度とに基づいて測定することができる。よって、本考案の漏洩検出装置によれば、その濃度計によって測定された前記トレーサーガスの濃度に基づいて前記検査対象からの前記トレーサーガスの漏洩を検出することができる。
（２）又、前記構成における漏洩検出装置に、前記漏洩したトレーサーガスが前記測定流路に導入される前に、該測定流路内の圧力を、該測定流路内が粘性流になる圧力に設定された、第１の設定圧力に制御するための圧力制御装置を備えるようにした構成とすることにより、前記漏洩したトレーサーガスが前記測定流路内に導入される前に、前記測定流路内を粘性流にさせることができる。したがって、前記超音波送信器から前記超音波受信器に超音波が伝播されないのを防止することができるので、前記濃度計は、前記検査対象から漏洩したトレーサーガスの濃度を音速と温度とに基づいて測定することができる。よって、本考案の漏洩検出装置によれば、その濃度計によって測定された前記トレーサーガスの濃度に基づいて前記検査対象からの前記トレーサーガスの漏洩を検出することができる。
（３）更に、前記構成における圧力制御装置は、前記測定流路内の圧力を計測する圧力計と、前記測定流路内を減圧するポンプと、該ポンプと前記測定流路との間に設けられた第１の開閉弁と、を備えるようにした構成とすることにより、漏洩試験の試験者は、前記測定流路内の湿度を、前記測定流路内を減圧しない場合に比べて減少させることができる。したがって、前記試験者は、湿度が前記音速に与える影響を減少させることができるので、湿度が前記濃度計による前記トレーサーガスの濃度測定に与える影響を減少させることができる。よって、本考案の漏洩検出装置によれば、漏洩試験の信頼性を向上させることができる。
（４）更に又、前記構成における圧力制御装置は、前記圧力計により計測された圧力が前記第１の設定圧力になったときに前記第１の開閉弁を閉止する開閉弁制御装置を備えるようにした構成とすることにより、前記第１の設定圧力になったときに前記第１の開閉弁を前記開閉弁制御装置に閉止させることができる。したがって、本考案の漏洩検出装置は、前記圧力計により計測された圧力が前記第１の設定圧力になったときに、ヒューマンエラーに基づいて、前記第１の開閉弁を閉止する操作が行われないことを防止することができる。よって、本考案の漏洩検出装置によれば、漏洩試験の信頼性を向上させることができる。
（５）又、前記（３）の構成における圧力制御装置は、前記測定流路内に乾燥ガスを供給する乾燥ガス供給手段と、該乾燥ガス供給手段と前記測定流路との間に設けられた乾燥ガス供給用開閉弁と、を備えるようにした構成とすることにより、漏洩試験の試験者は、前記漏洩したトレーサーガスが前記測定流路に導入される前に、該測定流路内のガスを乾燥ガスに置換することができるので、前記測定流路内のガスを乾燥ガスに置換しない場合に比べて、前記測定流路内の湿度を減少させることができる。したがって、前記試験者は、湿度が前記音速に与える影響を減少させることができるので、湿度が前記濃度計による前記トレーサーガスの濃度測定に与える影響を減少させることができる。よって、本考案の漏洩検出装置によれば、漏洩試験の信頼性を向上させることができる。
（６）更に、前記（５）の構成における圧力制御装置は、前記圧力計により計測された圧力が前記第１の設定圧力未満の圧力に設定された第２の設定圧力になったときに前記第１の開閉弁を閉止する機能と、該第１の開閉弁を閉止した後に前記乾燥ガス供給用開閉弁を開く機能と、該乾燥ガス供給用開閉弁を開いた後、前記圧力計により計測された圧力が前記第１の設定圧力になったときに前記乾燥ガス供給用開閉弁を閉止する機能と、を備える開閉弁制御装置を備えるようにした構成とすることにより、前記第１の開閉弁の操作と乾燥ガス供給用開閉弁の操作と、を前記開閉弁制御装置に行わせることができる。したがって、本考案の漏洩検出装置は、ヒューマンエラーに基づいて、前記第１の開閉弁の操作と乾燥ガス供給用開閉弁の操作とが行われないのを防止することができる。よって、本考案の漏洩検出装置によれば、漏洩試験の信頼性を向上させることができる。
（７）更に又、前記構成における開閉弁制御装置は、前記漏洩したトレーサーガスの濃度が前記濃度計で測定可能な最低濃度になる、ため込み時間の間、前記第１の開閉弁を閉止する機能を備えるようにした構成とすることにより、前記検査対象から漏洩したトレーサーガスの濃度が前記濃度計で測定可能な最低濃度になるまで、前記漏洩したトレーサーガスを前記測定流路内にため込むことができる。したがって、本考案の漏洩検出装置は、前記濃度計に、前記濃度が高められたトレーサーガスの濃度を測定させることができる。よって、本考案の漏洩検出装置によれば、前記検査対象から漏洩したトレーサーガスの濃度が、前記濃度計で測定できるトレーサーガスの最低測定濃度未満であっても、前記検査対象からの前記トレーサーガスの漏洩を検出することができる。
（８）又、前記構成における演算装置は、前記トレーサーガスの種類ごとに、前記漏洩したトレーサーガスの濃度を求める機能を備えるようにした構成とすることにより、前記濃度計は、前記トレーサーガスの種類ごとに前記漏洩したトレーサーガスの濃度を測定することができる。よって、本考案の漏洩検出装置によれば、前記検査対象からの前記トレーサーガスの漏洩を、前記トレーサーガスの種類ごとに検出することができる。

図１は、本考案の漏洩検出装置の第１実施形態の構成を示す概略図である。 図２は、図１の漏洩検出装置に備えた濃度計の構成を示す概略図である。 図３は、図１の漏洩検出装置に備えた圧力制御装置の構成を示す概略図である。 図４は、本考案の漏洩検出装置の第２実施形態の構成を示す概略図である。 図５は、図４の漏洩検出装置に備えた圧力制御装置の構成を示す概略図である。

以下、本考案を実施するための形態を図面を参照して説明する。

図１及至図３は本考案の漏洩検出装置の第１実施形態の構成を示す概略図である。第１実施形態の漏洩検出装置は、検査対象１内にトレーサーガスを供給するトレーサーガス供給手段２と、前記検査対象１を収納する容器３と、該容器３の下流側に設けられ、前記検査対象１から漏洩したトレーサーガスが導入される濃度計４と、該濃度計４に前記トレーサーガスが導入される前に前記濃度計４内の圧力を該濃度計４内のガスが粘性流になる圧力に設定された第１の設定圧力に制御する圧力制御装置５と、前記容器３内と外気とを接続する外気接続流路６と、を備えるようにした構成とされている。

より具体的には、前記トレーサーガス供給手段２には、図１に示されるように、トレーサーガス供給流路７が接続されている。該トレーサーガス供給流路７は、前記容器３に収納された前記検査対象１に接続可能に構成されている。これにより、前記トレーサーガス供給手段２内のトレーサーガスは、前記容器３に収納された前記検査対象１の内部に、前記容器３内の圧力を超える所定の圧力まで供給される。前記トレーサーガス供給手段２は、前記検査対象１内の圧力が前記所定の圧力に達したときに、出力信号を発信するように構成されている。

前記容器３は、たとえば、前記検査対象１を出し入れするための開閉部を備える。該開閉部は、前記容器３を密閉可能に構成されている。これにより、前記検査対象１から漏洩したトレーサーガスが、前記開閉部から漏洩することが防止される。また、前記容器３には、図１に示されるように、前記検査対象１から漏洩したトレーサーガスを前記濃度計４に導入するトレーサーガス導入流路８が接続されている。該トレーサーガス導入流路８には、フィルター９が設けられる。これにより、粉塵などの塵が、前記漏洩したトレーサーガスに伴って、濃度計４内に流入することが防止される。

前記濃度計４は、図２に示されるように、該濃度計４内に前記漏洩したトレーサーガスを導入するトレーサーガス導入口１０と、該トレーサーガス導入口１０から前記漏洩したトレーサーガスが導入される測定流路１１と、該測定流路１１内で超音波を送信する超音波送信器１２と、該超音波送信器１２から送信された前記超音波を前記測定流路１１内で受信する超音波受信器１３と、前記測定流路１１内の温度を計測する温度計１４と、前記超音波が前記超音波送信器１２から前記超音波受信器１３に伝播する伝播時間を計測して、該伝播時間と、前記超音波が前記超音波送信器１２から前記超音波受信器１３まで伝播する距離と、に基づいて音速を求め、該音速と前記温度計１４で計測された温度とに基づいて前記漏洩したトレーサーガスの濃度をトレーサーガスの種類ごとに求める演算装置１５と、該演算装置１５で求められた前記漏洩したトレーサーガスの濃度を表示する表記器１６と、前記測定流路１１から前記漏洩したトレーサーガスを導出するトレーサーガス導出口１７と、を備えた構成とされている。

前記トレーサーガス導入口１０は、図２に示されるように、前記測定流路１１の一端部となる前記超音波送信器１２側端部において該測定流路１１に対して直交して設けられている。前記トレーサーガス導入口１０には、図１に示されるように、前記トレーサーガス導入流路８が接続されている。これにより、前記検査対象１から漏洩したトレーサーガスは、前記容器３内、前記トレーサーガス導入流路８、及び、前記トレーサーガス導入口１０を経て、前記測定流路１１に導入される。

前記超音波送信器１２は、図２に示されるように、前記測定流路１１の一端部に該測定流路１１の他端部に向けて超音波を発信可能に設けられている。前記超音波送信器１２は、超音波発信信号を受信すると、超音波を発信するように構成されている。一方、前記超音波受信器１３は、前記測定流路１１の他端部に前記超音波送信器１２に対向して設けられる。前記超音波受信器１３は、前記超音波を受信すると、超音波受信信号を発信するように構成されている。これにより、超音波発信信号を受信した前記超音波送信器１２が超音波を送信すると、その超音波は前記測定流路１１内を伝播して前記超音波受信器１３に受信され、該超音波受信器１３は超音波受信信号を発信する。

前記温度計１４は、図２に示されるように、前記測定流路１１の中央部に設けられている。これにより、前記温度計１４は、前記検査対象１から漏洩したトレーサーガスが前記測定流路１１を流通している間に前記測定流路１１内の温度を計測する。

前記演算装置１５は、図２に示されるように、第１演算部１５Ａと、第２演算部１５Ｂと、前記検査対象１の内部に供給されるトレーサーガスの種類に応じて前記第１演算部１５Ａと前記第２演算部１５Ｂのいずれか一方を機能させる、図示してない演算部切替装置と、を備えた構成とされている。前記第１演算部１５Ａ及び前記第２演算部１５Ｂは、それぞれ、前記超音波送信器１２に超音波発信信号を送信する機能と、前記超音波受信器１３が発信した超音波受信信号を受信する機能と、前記超音波発信信号の送信と前記超音波受信信号の受信とに基づいて前記超音波送信器１２から前記超音波受信器１３に前記超音波が伝播する伝播時間ｔを計測する機能と、を備える。また、前記第１演算部１５Ａ及び前記第２演算部１５Ｂは、それぞれ、該第１演算部１５Ａ及び第２演算部１５Ｂに記憶された前記超音波が前記超音波送信器１２から前記超音波受信器１３まで伝播する距離Ｘ、たとえば、前記超音波送信器１２と前記超音波受信器１３との間の距離Ｘと、前記伝搬時間ｔと、を読み込んで、これらを、Ｖ＝Ｘ／ｔで表される、前記距離Ｘを前記伝搬時間ｔで除する式に代入することにより、前記測定流路１１を伝播する超音波の音速Ｖを求める機能を備える。さらに、前記第１演算部１５Ａ及び前記第２演算部１５Ｂは、それぞれ、該第１演算部１５Ａ及び第２演算部１５Ｂに記憶された比熱比γ及び気体定数Ｒと、前記温度計１４で計測された測定流路１１内の温度Ｔと、前記求めた音速Ｖと、を読み込んで、これらを、Ｍ＝（γ×Ｒ×Ｔ）／Ｖ^２で表される式に代入することにより、前記測定流路１１内の前記トレーサーガスと該トレーサーガス以外のガスとからなる混合ガスの平均分子量Ｍを求め、該求めた平均分子量Ｍと、前記第１演算部１５Ａ及び前記第２演算部１５Ｂに記憶された前記トレーサーガスの分子量Ｍ_Ａ及び前記トレーサーガス以外のガスの分子量Ｍ_Ｂと、を読み込んで、これらをａ_Ａ＝（Ｍ−Ｍ_Ｂ）／（Ｍ_Ａ−Ｍ_Ｂ）で表される式に代入することにより、前記測定流路１１内の前記トレーサーガスの濃度ａ_Ａを求める機能を備える。さらにまた、前記第１演算部１５Ａ及び前記第２演算部１５Ｂは、それぞれ、漏洩試験時に求めたトレーサーガスの濃度と、漏洩試験前に予め測定されたバックグラウンドに存在するトレーサーガスの濃度と、を読み込んで、これらの差から、前記検査対象１から実際に漏洩したトレーサーガスの濃度を求める機能を備える。また、前記第１演算部１５Ａ及び前記第２演算部１５Ｂは、それぞれ、この求めた濃度の出力信号を発信する機能を備える。なお、前記第１演算部１５Ａ及び前記第２演算部１５Ｂには、互いに異なるトレーサーガスに関する比熱比及び分子量が記憶されている。これにより、前記第１演算部１５Ａと前記第２演算部１５Ｂとでは、互いに異なるトレーサーガスの濃度を求めることができるので、前記濃度計４は、前記トレーサーガスの種類ごとに、前記検査対象１から漏洩したトレーサーガスの濃度を測定することができる。

前記表示器１６は、図２に示されるように、前記演算装置１５の前記第１演算部１５Ａ及び前記第２演算部１５Ｂから送信される、前記求めた濃度の出力信号を受信するように構成されている。これにより、前記表示器１６には、たとえば、前記第１演算部１５Ａ又は前記第２演算部１５Ｂで求められた、前記漏洩したトレーサーガスの濃度が表示されるので、前記検査対象１からの前記トレーサーガスの漏洩が検出される。

前記トレーサーガス導出口１７は、図２に示されるように、前記測定流路１１の他端部となる前記超音波受信器１３側端部において該測定流路１１に対して直交して設けられている。前記トレーサーガス導出口１７には、図１に示されるように、前記測定流路１１から前記漏洩したトレーサーガスを導出するためのトレーサーガス導出流路１８が接続されている。

又、前記圧力制御装置５は、図１及び図３に示されるように、前記検査対象１から漏洩したトレーサーガスが前記測定流路１１に導入される前に該測定流路１１内を減圧するポンプ１９と、該ポンプ１９と前記測定流路１１との間に設けられた第１の開閉弁２０と、前記測定流路１１内の圧力を計測する圧力計２１と、該圧力計２１により計測された圧力が、前記測定流路１１内のガスが粘性流になる圧力に設定された、第１の設定圧力になったときに、前記第１の開閉弁２０を閉止する制御を行う機能を備える開閉弁制御装置２２と、前記圧力計２１により計測された圧力が前記第１の設定圧力になったときに前記ポンプ１９を停止させる制御を行なうポンプ制御装置２３と、を備るようにした構成とされている。

前記圧力計２１は、図１に示されるように、前記トレーサーガス導入流路８におけるフィルター９よりも下流側位置に設けられる。これにより、前記圧力計２１は、前記トレーサーガス導入流路８と前記トレーサーガス導入口１０を介して前記測定流路１１内の圧力を計測する。前記圧力計２１は、計測した圧力の出力信号を発信するように構成されている。

前記開閉弁制御装置２２及び前記ポンプ制御装置２３は、図３に示されるように、それぞれ、前記圧力計２１が発信した出力信号を受信するように構成されている。前記開閉弁制御装置２２は、前記圧力計２１で計測された圧力が、前記ポンプ１９による減圧により、前記測定流路１１内のガスが粘性流になる圧力に設定された、第１の設定圧力になったときに、前記第１の開閉弁２０に対し、該第１の開閉弁２０を閉止する信号を送るように構成されている。また、前記ポンプ制御装置２３は、前記圧力計２１で計測された圧力が、前記ポンプ１９による減圧により、前記測定流路１１内のガスが粘性流になる圧力に設定された、第１の設定圧力になったときに、前記ポンプ１９に対し、その駆動を停止させる信号を送るように構成されている。前記開閉弁制御装置２２及び前記ポンプ制御装置２３が、前記測定流路１１内のガスが粘性流になる圧力を第１の設定圧力としているのは、超音波が伝播するのが、前記測定流路１１内のガスが粘性流になる場合だからであり、前記測定流路１１内のガスが中間流や分子流だと超音波が伝播し難いからである。前記第１の設定圧力は、たとえば、クヌーセン数＝前記測定流路１１内のガスの平均移動行程／前記測定流路１１の内径、で表される式に、前記測定流路１１内のガスが中間流から粘性流になる境目のクヌーセン数（たとえば、０．０１）などを代入して、前記測定流路１１内のガスが中間流から粘性流になる境目の圧力を求め、該境目の圧力を超えて外気圧未満の範囲内の圧力に設定される。また、前記第１の設定圧力は、たとえば、実験等により求められた圧力に設定される。前記第１の設定圧力は、好ましくは、たとえば、４０，０００Ｐａ〜７０，０００Ｐａの範囲内、より好ましくは、たとえば、５０，０００Ｐａに設定されるのがよい。

又、前記開閉弁制御装置２２は、前記トレーサーガス供給手段２が発信した信号を受信するように構成されている。前記開閉弁制御装置２２は、前記トレーサーガス供給手段２から発信された信号を受信したときから、前記漏洩したトレーサーガスの濃度が前記濃度計４で測定可能な最低濃度になる、ため込み時間の間、前記第１の開閉弁２０を閉止する制御を行う機能を備える。前記ため込み時間は、たとえば、前記開閉弁制御装置２２の制御により前記第１の開閉弁２０が閉止された後に前記圧力計２１で計測される圧力、すなわち、前記開閉弁制御装置２２の前記第１の設定圧力と、前記濃度計４で測定できる前記トレーサーガスの最低濃度と、前記ポンプ１９により減圧される流路の体積（第１実施形態の漏洩検出装置では、前記容器３内と該容器３に接続された外気導入流路２４内と前記トレーサーガス導入流路８内と前記トレーサーガス導入口１０内と前記測定流路１１内と前記トレーサーガス導出口１７内と前記トレーサーガス導出流路１８内の体積）と、前記検査対象１内のトレーサーガス濃度と、漏洩試験において前記検査対象１に要求されるトレーサーガスの漏れ量の閾値と、に基づいて求められる時間に設定される。また、前記ため込み時間は、たとえば、実験等により求められた時間に設定される。これにより、前記測定流路１１内のトレーサーガスの濃度は、前記濃度計４で測定できる前記トレーサーガスの最低濃度まで高められる。

前記ポンプ１９は、前記トレーサーガス導出流路１８上に設けられる。これにより、前記ポンプ１９は、前記容器３内と、前記外気導入流路２４内と、前記トレーサーガス導入流路８内と、前記トレーサーガス導入口１０内と、前記測定流路１１内と、前記トレーサーガス導出口１７内と、前記トレーサーガス導出流路１８内と、を減圧させることができる。また、前記ポンプ１９は、前記ポンプ制御装置２３から送信された信号を受信したときに停止するように構成されている。さらに、前記ポンプ１９は、その吐出口に排気流路２５が接続されている。

前記第１の開閉弁２０は、前記トレーサーガス導出流路１８における前記ポンプ１９よりも上流側位置に設けられる。また、前記第１の開閉弁２０は、前記開閉弁制御装置２２から送信された信号を受信したときに該第１の開閉弁２０を閉止するように構成されている。

前記外気接続流路６は、前記容器３の内部に接続する外気導入流路２４と該外気導入流路２４に接続された第２の開閉弁２６とを介して前記容器３に接続される。これにより、漏洩試験の試験者が前記第２の開閉弁２６を開かせると、外気が前記外気接続流路６と前記外気導入流路２４を経て前記容器３内に導入される。

なお、前記トレーサーガスは、前記濃度計４で測定可能な気体であれば、如何なる気体を用いてもよい。前記トレーサーガスは、たとえば、ヘリウム、フロンガス、水素、燃焼用ガスなどの気体から、前記濃度計４の感度と測定レベルなどに基づいて選定すればよい。

次に、漏洩試験の試験者が第１実施形態の漏洩検出装置を用いて漏洩試験を行う手順の一例について説明する。

まず、漏洩試験の試験者は、漏洩試験前の準備として以下の工程を行う。漏洩試験の試験者は、前記第１の開閉弁２０と前記第２の開閉弁２６とを「開」にさせる。この状態で、漏洩試験の試験者が前記ポンプ１９を駆動させると、前記外気導入流路２４内、前記容器３内、前記トレーサーガス導入流路８内、前記トレーサーガス導入口１０内、前記測定流路１１内、前記トレーサーガス導出口１７内、及び、前記トレーサーガス導出流路１８内にそれぞれ滞留しているトレーサーガスが前記排気流路２５から排気される。また、前記ポンプ１９の駆動により、試験場所の外気が、前記外気接続流路６と前記外気導入流路２４と前記容器３内と前記トレーサーガス導入流路８と前記トレーサーガス導入口１０を経て前記測定流路１１に導入される。その後、前記試験者は、前記ポンプ１９の駆動を停止させる。次に、前記試験者は、前記容器３内に前記検査対象１を収納し、該検査対象１に前記トレーサーガス供給流路７を接続する。また、前記試験者は、前記第１の開閉弁２０を「開」にさせると共に、前記第２の開閉弁２６を「閉」にさせる。この状態で、前記試験者が前記ポンプ１９を駆動させると、前記外気導入流路２４内と、前記容器３内と、前記トレーサーガス導入流路８内と、前記トレーサーガス導入口１０内と、前記測定流路１１内と、前記トレーサーガス導出口１７内と、前記トレーサーガス導出流路１８内と、が減圧される。この減圧により、前記圧力計２１に計測された圧力が、前記測定流路１１内のガスが中間流から粘性流になる境目の圧力を超えて外気圧未満の範囲内の圧力に設定された第１の設定圧力、たとえば、５０，０００Ｐａに達すると、前記圧力制御装置５の開閉弁制御装置２２が、前記第１の開閉弁２０を「閉」にさせる制御を行う。また、前記圧力制御装置５のポンプ制御装置２３が、前記ポンプ１９を停止させる制御を行う。その後、前記試験者は、検査対象１の内部に供給するトレーサーガスの種類に応じて、前記演算部切替装置を切り替えさせて、前記トレーサーガスの種類に対応した、前記第１演算部１５Ａ又は前記第２演算部１５Ｂのいずれか一方を機能させ、前記測定流路１１内にバックグラウンドとして存在するトレーサーガスの濃度を前記濃度計４で測定し、その濃度を前記濃度計４の零点に設定する。

次に、漏洩試験の試験者が、漏洩試験において検査対象１に要求されるトレーサーガスの漏れ量の閾値を前記トレーサーガスの濃度に換算した値（以下、単に「閾値」という。）が前記濃度計４で測定できるトレーサーガスの最低測定濃度以上に設定された、漏洩試験を実施する場合、前記試験者は、前記した漏洩試験前の準備を行った後、トレーサーガス供給手段２から前記容器３に収納された前記検査対象１の内部に前記トレーサーガスを、たとえば、外気の圧力を超える所定の圧力まで供給する。前記トレーサーガスが前記検査対象１の内部に前記所定の圧力まで供給されると、前記検査対象１から前記トレーサーガスの漏洩がある場合には、前記検査対象１内の圧力と、前記容器３内、前記外気導入流路２４内、前記トレーサーガス導入流路８内、前記トレーサーガス導入口１０内、前記測定流路１１内、前記トレーサーガス導出口１７内、及び、前記トレーサーガス導出流路１８内の圧力との間の差圧に基づいて、前記トレーサーガスが、前記検査対象１内から前記容器３内、前記トレーサーガス導入流路８、前記トレーサーガス導入口１０を経て前記測定流路１１内に導入される。該測定流路１１内では、該測定流路１１内のガスの音速と温度とが計測されているので、該測定流路１１に導入されたトレーサーガスの濃度は、その濃度が前記濃度計４で測定できるトレーサーガスの最低測定濃度以上の場合、前記音速と前記温度とに基づいて前記濃度計４により測定されて、その測定結果が前記濃度計４の表示器１６に表示される。これにより、前記検査対象１からの前記トレーサーガスの漏洩が検出される。その後、前記試験者は、前記第１の開閉弁２０と前記第２の開閉弁２６とを「開」にさせてから、前記ポンプ１９を駆動させ、前記測定流路１１内などに滞留するトレーサーガスを前記排気流路２５から排気させる。

一方、漏洩試験の試験者が、閾値が前記濃度計４で測定できるトレーサーガスの最低測定濃度未満に設定された、漏洩試験を実施する場合、その手順の一例としては、前記試験者は、前記した漏洩試験前の準備を行った後、トレーサーガス供給手段２から前記容器３に収納された前記検査対象１の内部に前記トレーサーガスを、たとえば、外気の圧力を超える所定の圧力まで供給する。前記トレーサーガスが前記検査対象１の内部に前記所定の圧力まで供給されると、前記検査対象１から前記トレーサーガスの漏洩がある場合には、前記検査対象１内の圧力と、前記容器３内、前記外気導入流路２４内、前記トレーサーガス導入流路８内、前記トレーサーガス導入口１０内、前記測定流路１１内、前記トレーサーガス導出口１７内、及び、前記トレーサーガス導出流路１８内の圧力との間の差圧に基づいて、前記トレーサーガスが、前記検査対象１内から前記容器３内、前記トレーサーガス導入流路８、前記トレーサーガス導入口１０を経て前記測定流路１１内に導入される。この際、前記開閉弁制御装置２２により、前記ため込み時間の間、前記第１の開閉弁２０が「閉」に制御されるので、前記漏洩したトレーサーガスは前記第１の開閉弁２０よりも上流側の流路３，８，１０，１１，１７，１８，２４内にためられる。これにより、前記測定流路１１内のトレーサーガスの濃度は、前記濃度計４で測定可能な濃度に高められる。前記測定流路１１では、該測定流路１１内のガスの音速と温度とが測定されるので、前記濃度が高められたトレーサーガスの濃度が、前記音速と前記温度とに基づいて前記濃度計４により測定され、その測定結果が前記濃度計４の表示器１６に表示される。これにより、前記検査対象１からの前記トレーサーガスの漏洩が検出される。その後、前記試験者は、前記第１の開閉弁２０と前記第２の開閉弁２６とを「開」にさせてから、前記ポンプ１９を駆動させ、前記測定流路１１内などに滞留するトレーサーガスを前記排気流路２５から排気させる。

このように、第１実施形態の漏洩検出装置は、前記検査対象１から漏洩したトレーサーガスの濃度を音速と温度とに基づいて前記濃度計４に測定させることができる。よって、第１実施形態の漏洩検出装置によれば、その濃度計４によって測定された前記トレーサーガスの濃度に基づいて前記検査対象１からの前記トレーサーガスの漏洩を検出することができる。

又、第１実施形態の漏洩検出装置は、前記漏洩したトレーサーガスが前記測定流路１１内に導入される前に前記測定流路１１内を減圧するポンプ１９と、該ポンプ１９と前記測定流路１１との間に設けられた第１の開閉弁２０と、前記測定流路１１内の圧力を計測する圧力計２１と、該圧力計２１により計測された圧力が、前記ポンプ１９による減圧により、前記測定流路１１内のガスが中間流から粘性流になる境目の圧力を超えて外気圧未満の範囲内の圧力に設定された、第１の設定圧力になったときに前記第１の開閉弁２０を閉止する制御を行う機能を備える開閉弁制御装置２２と、を備えた圧力制御装置５を備えるので、前記測定流路１１内のガスを粘性流にさせることができる。よって、第１実施形態の漏洩検出装置によれば、前記超音波送信器１２から前記超音波受信器１３に超音波が伝播されないのを防止することができる。また、第１実施形態の漏洩検出装置は、前記測定流路１１内の湿度を、前記測定流路１１内を外気圧未満に減圧しない場合に比べて減少させることができる。したがって、第１実施形態の漏洩検出装置では、湿度が前記音速に与える影響を減少させることができるので、湿度が前記濃度計４による前記トレーサーガスの濃度測定に与える影響を減少させることができる。よって、第１実施形態の漏洩検出装置によれば、漏洩試験の信頼性を向上させることができる。

更に、第１実施形態の漏洩検出装置は、前記開閉弁制御装置２２に、前記漏洩したトレーサーガスの濃度が前記濃度計４で測定可能な最低濃度になる、ため込み時間の間、前記第１の開閉弁２０を閉止する制御を行う機能を備えるようにしているので、前記検査対象１から漏洩したトレーサーガスの濃度が、前記濃度計４で測定可能な最低濃度になるまで、前記漏洩したトレーサーガスを前記測定流路１１内にため込むことができる。したがって、漏洩試験の試験者は、前記濃度計４に、前記濃度が高められたトレーサーガスの濃度を測定させることができる。よって、第１実施形態の漏洩検出装置によれば、前記検査対象１から漏洩したトレーサーガスの濃度が、前記濃度計４で測定できるトレーサーガスの最低測定濃度未満であっても、前記検査対象１からの前記トレーサーガスの漏洩を検出することができる。

更に又、第１実施形態の漏洩検出装置は、前記ポンプ１９の吐出口に排気流路２５を備えるようにしているので、前記ポンプ１９により、前記漏洩したトレーサーガスを前記排気流路２５から排気させることができる。したがって、第１実施形態の漏洩検出装置では、前記濃度計４の測定流路１１内に前記漏洩したトレーサーガスが残留することにより起こる、漏洩試験のミスを防止することができる。よって、第１実施形態の漏洩検出装置によれば、漏洩試験の信頼性を向上させることができる。

又、第１実施形態の漏洩検出装置は、前記容器３に、外気に接続可能な外気接続流路６を備えるようにしているので、前記ポンプ１９により、前記外気接続流路６から前記濃度計４の前記測定流路１１内に外気を導入させることができる。したがって、第１実施形態の漏洩検出装置では、前記濃度計４の零点を、外気中に含まれる前記トレーサーガスの濃度を基準に設定することができる。よって、第１実施形態の漏洩検出装置によれば、漏洩試験の実施環境に応じて、前記濃度計４の零点を設定することができるので、漏洩試験の信頼性を向上させることができる。

図４及び図５は本考案の漏洩検出装置の第２実施形態の構成を示す概略図である。なお、本実施形態の漏洩検出装置において、前記第１実施形態と同様の構成については、その説明を省略あるいは簡略化する。

図４及び図５に示される、第２実施形態の漏洩検出装置は、第１実施形態の漏洩検出装置に、前記ポンプ１９に減圧される各流路３，８，１０，１１，１７，１８，２４，２９に乾燥ガスを供給する乾燥ガス供給手段２７と、該乾燥ガス供給手段２７と前記ポンプ１９に減圧される流路３，８，１０，１１，１７，１８，２４，２９との間に設けられた乾燥ガス供給用開閉弁２８と、を備え、第１実施形態の漏洩検出装置おける開閉弁制御装置２２を、前記圧力計２１により計測された圧力が前記第１の設定圧力未満の圧力に設定された第２の設定圧力になったときに前記第１の開閉弁２０を閉止する制御を行う機能と該第１の開閉弁２０を閉止する制御を行った後に前記乾燥ガス供給用開閉弁２８を開く制御を行う機能と該乾燥ガス供給用開閉弁２８を開く制御を行った後に前記圧力計２１により計測された圧力が前記第１の設定圧力になったときに前記乾燥ガス供給用開閉弁２８を閉止する制御を行う機能とを備えた開閉弁制御装置３０とし、第１実施形態の漏洩検出装置おけるポンプ制御装置２３を、前記圧力計２１により計測された圧力が前記第１の設定圧力未満の圧力に設定された第２の設定圧力になったときに前記ポンプ１９を停止させる機能を備えたポンプ制御装置３１とした、圧力制御装置３２を備える構成とされている。

より具体的には、前記乾燥ガス供給手段２７は、図４に示されるように、前記容器３内に接続する乾燥ガス供給流路２９に接続可能に構成されている。これにより、前記乾燥ガスは、前記乾燥ガス供給流路２９を介して、前記容器３内、前記トレーサーガス導入流路８内、前記トレーサーガス導入口１０内、前記測定流路１１内、前記トレーサーガス導出口１７内、前記トレーサーガス導出流路１８内、前記外気導入流路２４内、及び、前記乾燥ガス供給流路２９内における前記乾燥ガス供給用開閉弁２８よりも下流側位置に供給される。

前記乾燥ガス供給用開閉弁２８は、前記乾燥空気供給流路２９上に設けられる。また、前記乾燥ガス供給用開閉弁２８は、該乾燥ガス供給用開閉弁２８を閉止する信号を受信したときに該乾燥ガス供給用開閉弁２８を閉止し、該乾燥ガス供給用開閉弁２８を開く信号を受信したときに該乾燥ガス供給用開閉弁２８を開くように構成されている。

前記開閉弁制御装置３０及び前記ポンプ制御装置３１は、図５に示されるように、それぞれ、前記圧力計２１が発信した出力信号を受信するように構成されている。前記開閉弁制御装置３０は、前記圧力計２１で計測された圧力が、前記ポンプ１９による減圧により前記第１の設定圧力未満の圧力に設定された第２の設定圧力、たとえば、前記ポンプ１９の到達圧力、になったときに、前記第１の開閉弁２０に対し、該第１の開閉弁２０を閉止する信号を送るように構成されている。また、前記ポンプ制御装置３１は、前記圧力計２１で計測された圧力が、前記ポンプ１９による減圧により前記第１の設定圧力未満の圧力に設定された第２の設定圧力、たとえば、前記ポンプ１９の到達圧力、になったときに、前記ポンプ１９に対し、その駆動を停止させる信号を送るように構成されている。さらに、前記開閉弁制御装置３０は、前記第１の開閉弁２０を閉止する信号を送った後に、前記乾燥ガス供給用開閉弁２８に対し、該乾燥ガス供給用開閉弁２８を開く信号を送るように構成されている。これにより、前記容器３内、前記トレーサーガス導入流路８内、前記トレーサーガス導入口１０内、前記測定流路１１内、前記トレーサーガス導出口１７内、前記トレーサーガス導出流路１８内、前記外気導入流路２４内、及び、前記乾燥ガス供給流路２９内における前記乾燥ガス供給用開閉弁２８よりも下流側位置のガスは、それぞれ、前記乾燥ガスに置換される。また、前記開閉弁制御装置３０は、乾燥ガス供給用開閉弁２８を開く信号を送信した後、前記圧力計２１により計測された圧力が前記第１の設定圧力になったときに、前記乾燥ガス供給用開閉弁２８に対し、該乾燥ガス供給用開閉弁２８を閉止する信号を送るように構成されている。

なお、前記乾燥ガスは、前記トレーサーガスと異なる乾燥した気体であれば、如何なる気体を用いてもよいが、たとえば、乾燥空気などが好ましい。また、第２実施形態の漏洩検出装置の前記ポンプ１９には、その到達圧力が前記第１の設定圧力未満のポンプが適用される。

次に、漏洩試験の試験者が第２実施形態の漏洩検出装置を用いて漏洩試験を行う手順の一例について説明する。

まず、漏洩試験の試験者は、漏洩試験前の準備として以下の工程を行う。漏洩試験の試験者は、前記第１の開閉弁２０と前記第２の開閉弁２６とを「開」にさせる。また、前記試験者は、前記乾燥ガス供給用開閉弁２８を「閉」にさせる。この状態で、漏洩試験の試験者が前記ポンプ１９を駆動させると、前記外気導入流路２４内、前記容器３内、前記トレーサーガス導入流路８内、前記トレーサーガス導入口１０内、前記測定流路１１内、前記トレーサーガス導出口１７内、前記トレーサーガス導出流路１８内、及び、前記乾燥ガス供給流路２９内における前記乾燥ガス供給用開閉弁２８の下流側位置に、それぞれ滞留しているトレーサーガスが前記排気流路２５から排気される。また、前記ポンプ１９の駆動により、試験場所の外気が、前記外気接続流路６と前記外気導入流路２４と前記容器３内と前記トレーサーガス導入流路８と前記トレーサーガス導入口１０を経て前記測定流路１１に導入される。その後、前記試験者は、前記ポンプ１９の駆動を停止させる。次に、前記試験者は、前記容器３内に前記検査対象１を収納し、該検査対象１に前記トレーサーガス供給流路７を接続する。また、前記試験者は、前記第１の開閉弁２０を「開」にさせると共に、前記第２の開閉弁２６と前記乾燥ガス供給用開閉弁２８とを「閉」にさせる。この状態で、前記試験者が前記ポンプ１９を駆動させると、前記外気導入流路２４内と、前記容器３内と、前記トレーサーガス導入流路８内と、前記トレーサーガス導入口１０内と、前記測定流路１１内と、前記トレーサーガス導出口１７内と、前記トレーサーガス導出流路１８内と、前記乾燥ガス供給流路２９内における前記乾燥ガス供給用開閉弁２８の下流側位置と、が減圧される。この減圧により、前記圧力計２１に計測された圧力が、前前記第１の設定圧力未満の圧力に設定された第２の設定圧力、たとえば、前記ポンプ１９の到達圧力に達すると、前記圧力制御装置３２の開閉弁制御装置３０が、前記第１の開閉弁２０を「閉」にさせる制御を行う。また、前記圧力制御装置３２のポンプ制御装置３１が前記ポンプ１９を停止させる制御を行う。これらの制御の後、前記圧力制御装置３２の開閉弁制御装置３０が、前記乾燥ガス供給用開閉弁２８を「開」にさせる制御を行うと、前記乾燥ガス供給手段２７から乾燥ガスが、前記乾燥ガス供給流路２９を介して、前記容器３内、前記トレーサーガス導入流路８内、前記トレーサーガス導入口１０内、前記測定流路１１内、前記トレーサーガス導出口１７内、前記トレーサーガス導出流路１８内、前記外気導入流路２４内、及び、前記乾燥ガス供給流路２９内における前記乾燥ガス供給用開閉弁２８よりも下流側位置に供給される。その後、前記圧力計２１により計測された圧力が、前記測定流路１１内のガスが中間流から粘性流になる境目の圧力を超えて外気圧未満の範囲内の圧力に設定された第１の設定圧力、たとえば、５０，０００Ｐａに達すると、前記圧力制御装置３２の開閉弁制御装置３０が、前記乾燥ガス供給用開閉弁２８を「閉」にさせる制御を行う。その後、前記試験者は、検査対象１の内部に供給するトレーサーガスの種類に応じて、前記演算部切替装置を切り替えさせて、前記トレーサーガスの種類に対応した、前記第１演算部１５Ａ又は前記第２演算部１５Ｂのいずれか一方を機能させ、前記測定流路１１内にバックグラウンドとして存在するトレーサーガスの濃度を前記濃度計４で測定し、その濃度を前記濃度計４の零点に設定する。

その後、前記試験者が、閾値が前記濃度計４で測定できるトレーサーガスの最低測定濃度以上に設定された、漏洩試験を実施する場合、及び、前記試験者が、閾値が前記濃度計４で測定できるトレーサーガスの最低測定濃度未満に設定された漏洩試験を実施する場合には、前記第１実施形態の漏洩検出装置を用いた漏洩試験と同様の手順を行う。

このように、第２実施形態の漏洩検出装置は、前記漏洩したトレーサーガスが前記測定流路１１に導入される前に、前記ポンプ１９に減圧される各流路３，８，１０，１１，１７，１８，２４，２９内のガスを乾燥ガスに置換することができるので、前記各流路３，８，１０，１１，１７，１８，２４，２９内のガスを乾燥ガスに置換しない場合に比べて、該各流路３，８，１０，１１，１７，１８，２４，２９内の湿度を減少させることができる。したがって、第２実施形態の漏洩検出装置では、湿度が前記音速に与える影響を減少させることができるので、湿度が前記濃度計４による前記トレーサーガスの濃度測定に与える影響を減少させることができる。よって、第２実施形態の漏洩検出装置によれば、漏洩試験の信頼性を向上させることができる。

更に、図４及び図５に示された、第２実施形態の漏洩検出装置は、第１実施形態の漏洩検出装置と同様の効果も奏する。

なお、本考案の漏洩検出装置は前記した各実施形態の構成に限定されるものではない。前記各実施形態における容器３は、検査対象１を収納する構成に限られるものではなく、たとえば、検査対象１の表面の一部を覆うことが可能な構成としてもよい。

前記各実施形態におけるトレーサーガス供給流路７は前記容器３に接続させ、前記トレーサーガス導入流路８は前記検査対象１に接続させる構成としてもよい。なお、この場合には、前記各実施形態における外気接続流路６は、たとえば、前記トレーサーガス導入流路８におけるフィルター９の上流側位置に、前記外気導入流路２４及び前記第２の開閉弁２６を介して設ければよい。また、前記第２実施形態における乾燥ガス供給手段２７は、たとえば、前記トレーサーガス導入流路８におけるフィルター９の上流側位置に、前記乾燥ガス供給用開閉弁２８を備えた乾燥ガス供給流路２９を介して設ければよい。

前記各実施形態における演算装置１５は、前記検査対象１から漏洩したトレーサーガスの濃度を音速と温度とに基づいて求められれば如何なる構成でもよく、たとえば、前記求めた音速を前記温度計１４で計測された温度に基づいて基準温度における音速に換算し、該換算した基準温度における音速とトレーサーガス濃度との関係を示すマップから、前記漏洩したトレーサーガスの濃度を求める構成としてもよい。

前記各実施形態における圧力制御装置５，３２は、前記漏洩したトレーサーガスが前記測定流路１１内に導入される前に、該測定流路１１内の圧力を前記第１の設定圧力に制御することが可能であれば如何なる構成でもよい。前記第１実施形態における前記圧力制御装置５は、たとえば、前記測定流路１１内の圧力を計測する圧力計２１と、前記測定流路１１内を減圧するポンプ１９と、該ポンプ１９と前記測定流路１１との間に設けられ、前記圧力計２１により計測された圧力が前記第１の設定圧力になったときに閉止される第１の開閉弁２０と、を備える構成としてもよい。また、前記第１実施形態における前記圧力制御装置５は、たとえば、前記測定流路１１内の圧力を計測する圧力計２１と、前記測定流路１１内を減圧するポンプ１９と、前記圧力計２１により計測された圧力が前記ポンプ１９による減圧により前記第１の設定圧力未満の圧力に設定された第２の設定圧力、たとえば、前記ポンプ１９の到達圧力、になったときに前記第１の開閉弁２０を閉止する制御を行う機能と該第１の開閉弁２０を閉止する制御を行った後に前記第２の開閉弁２６を開く制御を行う機能と該第２の開閉弁２６を開く制御を行った後に前記圧力計２１により計測された圧力が前記第１の設定圧力になったときに前記第２の開閉弁２６を閉止する制御を行う機能とを備えた開閉弁制御装置と、前記圧力計２１により測定された圧力が前記ポンプ１９による減圧により前記第１の設定圧力未満の圧力に設定された第２の設定圧力、たとえば、前記ポンプ１９の到達圧力、になったときに該ポンプ１９を停止させる制御を行なうポンプ制御装置と、を備えた構成としてもよい。

前記各実施形態における開閉弁制御装置２２，３０は、前記漏洩したトレーサーガスの濃度が前記濃度計４で測定可能な最低濃度になる、ため込み時間の間、前記第１の開閉弁２０を閉止する制御を行なえれば如何なる構成でもよい。前記開閉弁制御装置２２，３０は、たとえば、前記ため込み時間を、前記開閉弁制御装置２２の制御により前記第１の開閉弁２０が閉止された後に前記圧力計２１で計測される圧力又は前記開閉弁制御装置３０の制御により前記乾燥ガス供給用開閉弁２８が閉止された後に前記圧力計２１で計測される圧力、すなわち、前記開閉弁制御装置２２，３０の前記第１の設定圧力と、前記濃度計４で測定できる前記トレーサーガスの最低濃度と、前記ポンプ１９により減圧される各流路３，８，１０，１１，１７，１８，２４，２９の体積と、前記検査対象１内のトレーサーガス濃度と、漏洩試験において前記検査対象１に要求されるトレーサーガスの漏れ量の閾値と、に基づいて求める機能を備えた構成としてもよい。

前記各実施形態における外気接続流路６は、前記濃度計４の上流側に設けられていればよく、たとえば、前記トレーサーガス導入流路８におけるフィルター９の上流側位置に、前記外気導入流路２４と前記第２の開閉弁２６とを介して設けられてもよい。

前記各実施形態における圧力計２１は、前記測定流路１１内の圧力を計測できる位置に設けられていれば如何なる位置に設けられていてもよく、たとえば、前記測定流路１１上に設けられてもよい。

前記第２実施形態における乾燥ガス供給手段２７は、前記ポンプ１９により減圧される各流路３，８，１０，１１，１７，１８，２４上に接続可能に設けられていればよく、たとえば、前記トレーサーガス導入流路８におけるフィルター９の上流側位置に、前記乾燥ガス供給用開閉弁２８を備えた前記乾燥ガス供給流路２９を介して設けられてもよい。

以上、本考案の漏洩検出装置の好ましい実施形態について説明したが、本考案はこれら実施形態に限定されることはない。本考案の趣旨を逸脱しない範囲で、構成の付加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。本考案は前述した説明によって限定されることはなく、実用新案登録請求の範囲の記載によってのみ限定される。

１ 検査対象
４ 濃度計
５，３２ 圧力制御装置
１１ 測定流路
１２ 超音波送信器
１３ 超音波受信器
１４ 温度計
１５ 演算装置
１９ ポンプ
２０ 第１の開閉弁
２１ 圧力計
２２，３０ 開閉弁制御装置
２７ 乾燥ガス供給手段
２８ 乾燥ガス供給用開閉弁

Claims (8)

1. 検査対象から漏洩したトレーサーガスの濃度を濃度計で測定することにより、前記検査対象からの前記トレーサーガスの漏洩を検出する漏洩検出装置であって、
   前記濃度計は、
   前記漏洩したトレーサーガスが導入される測定流路と、
   該測定流路内で超音波を送信する超音波送信器と、
   該超音波送信器から送信された前記超音波を前記測定流路内で受信する超音波受信器と、
   前記測定流路内の温度を計測する温度計と、
   前記超音波が前記超音波送信器から前記超音波受信器に伝播する伝播時間を計測して、該伝播時間と、前記超音波が前記超音波送信器から前記超音波受信器まで伝播する距離と、に基づいて音速を求め、該音速と前記温度計で計測された温度とに基づいて前記漏洩したトレーサーガスの濃度を求める演算装置と、
   を備えるようにした、
   構成を有することを特徴とする漏洩検出装置。
2. 前記漏洩したトレーサーガスが前記測定流路に導入される前に、該測定流路内の圧力を、該測定流路内が粘性流になる圧力に設定された、第１の設定圧力に制御するための圧力制御装置を備えるようにした、
   構成を有することを特徴とする請求項１記載の漏洩検出装置。
3. 前記圧力制御装置は、
   前記測定流路内の圧力を計測する圧力計と、
   前記測定流路内を減圧するポンプと、
   該ポンプと前記測定流路との間に設けられた第１の開閉弁と、
   を備えるようにした、
   構成を有することを特徴とする請求項２記載の漏洩検出装置。
4. 前記圧力制御装置は、
   前記圧力計により計測された圧力が前記第１の設定圧力になったときに前記第１の開閉弁を閉止する開閉弁制御装置を備えるようにした、
   構成を有することを特徴とする請求項３記載の漏洩検出装置。
5. 前記圧力制御装置は、
   前記測定流路内に乾燥ガスを供給する乾燥ガス供給手段と、
   該乾燥ガス供給手段と前記測定流路との間に設けられた乾燥ガス供給用開閉弁と、
   を備えるようにした、
   構成を有することを特徴とする請求項３記載の漏洩検出装置。
6. 前記圧力制御装置は、
   前記圧力計により計測された圧力が前記第１の設定圧力未満の圧力に設定された第２の設定圧力になったときに前記第１の開閉弁を閉止する機能と、該第１の開閉弁を閉止した後に前記乾燥ガス供給用開閉弁を開く機能と、該乾燥ガス供給用開閉弁を開いた後、前記圧力計により計測された圧力が前記第１の設定圧力になったときに前記乾燥ガス供給用開閉弁を閉止する機能と、を備える開閉弁制御装置を備えるようにした、
   構成を有することを特徴とする請求項５記載の漏洩検出装置。
7. 前記開閉弁制御装置は、
   前記漏洩したトレーサーガスの濃度が前記濃度計で測定可能な最低濃度になる、ため込み時間の間、前記第１の開閉弁を閉止する機能を備えるようにした、
   構成を有することを特徴とする請求項４又は６記載の漏洩検出装置。
8. 前記演算装置は、前記トレーサーガスの種類ごとに、前記漏洩したトレーサーガスの濃度を求める機能を備えるようにした、
   構成を有することを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の漏洩検出装置。

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