JP3205204B2 - 真空アークデスケーリング用電極クリーニング方法および装置 - Google Patents
真空アークデスケーリング用電極クリーニング方法および装置Info
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- JP3205204B2 JP3205204B2 JP03567395A JP3567395A JP3205204B2 JP 3205204 B2 JP3205204 B2 JP 3205204B2 JP 03567395 A JP03567395 A JP 03567395A JP 3567395 A JP3567395 A JP 3567395A JP 3205204 B2 JP3205204 B2 JP 3205204B2
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- Japan
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- electrode
- polarity
- descaling
- descale
- vacuum arc
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- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空中で陽極と陰極と
の間に直流アーク放電を起こさせて金属表面の酸化皮膜
や汚れを除去する真空アークデスケーリング方法及びそ
の装置に関する。
の間に直流アーク放電を起こさせて金属表面の酸化皮膜
や汚れを除去する真空アークデスケーリング方法及びそ
の装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】真空アークデスケーリングでは、通常１
０Torr〜１０-4Torrの真空中でアーク放電が行われる。
アークはデスケールしようとする対象物を陰極として、
別途、真空雰囲気中に設置される電極を陽極として、両
者の間で発生する。本発明においては、通常陽極として
動作するように設置される電極をデスケール電極と呼
ぶ。このようにして形成されるアークの陰極点はエネル
ギー密度が高く、陰極点が通過する部分の表面酸化膜が
除去される。
０Torr〜１０-4Torrの真空中でアーク放電が行われる。
アークはデスケールしようとする対象物を陰極として、
別途、真空雰囲気中に設置される電極を陽極として、両
者の間で発生する。本発明においては、通常陽極として
動作するように設置される電極をデスケール電極と呼
ぶ。このようにして形成されるアークの陰極点はエネル
ギー密度が高く、陰極点が通過する部分の表面酸化膜が
除去される。
【０００３】酸化膜以外にも炭化物やその他の化合物や
油脂などの汚れも同時に除去される。本発明におけるデ
スケーリングとは、酸化皮膜を除去することを意味する
だけでなく、炭化物やその他の化合物、表面に付着する
汚れ除去をも含めた作用をいう。また、真空アークによ
り表面から除去される物質群を代表して、以下、スケー
ルという。
油脂などの汚れも同時に除去される。本発明におけるデ
スケーリングとは、酸化皮膜を除去することを意味する
だけでなく、炭化物やその他の化合物、表面に付着する
汚れ除去をも含めた作用をいう。また、真空アークによ
り表面から除去される物質群を代表して、以下、スケー
ルという。
【０００４】このようにして、真空アークデスケーリン
グにより除去されたスケールは、そのまま、あるいは分
解し、あるいは再結合して、一部デスケール電極に付着
する。デスケーリングを長時間行うと、デスケール電極
表面に付着物が多量に堆積し、アーク特性が変化し、デ
スケーリング特性は悪化する。
グにより除去されたスケールは、そのまま、あるいは分
解し、あるいは再結合して、一部デスケール電極に付着
する。デスケーリングを長時間行うと、デスケール電極
表面に付着物が多量に堆積し、アーク特性が変化し、デ
スケーリング特性は悪化する。
【０００５】従来、陽極への付着を減少させるため、陽
極の配置を工夫して、特開平４−１１００８４号公報に
示されるように、陰極材料と陽極面が対向しないように
するなどの処置がとられていた。このような電極配置の
工夫だけでは不十分な場合の対策として、例えば特開平
６−２５６９８１号公報に示されるような機械的な電極
クリーニング法が考案されている。
極の配置を工夫して、特開平４−１１００８４号公報に
示されるように、陰極材料と陽極面が対向しないように
するなどの処置がとられていた。このような電極配置の
工夫だけでは不十分な場合の対策として、例えば特開平
６−２５６９８１号公報に示されるような機械的な電極
クリーニング法が考案されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】材料処理プロセスで
は、高い生産性・信頼性が要求される。真空アークデス
ケーリングにおいては、電極表面に堆積した付着物を、
短時間にかつ完全に除去することが生産性と信頼性を向
上させる重要なポイントとなっている。機械的なクリー
ニング法では、複雑形状の電極に対しては完全な付着物
の除去が困難であり、かつ単純形状電極であってもクリ
ーニング作業に時間がかかるという問題点がある。ま
た、移動機構や回転機構を伴い設備が複雑・高価になる
ことも問題である。ブラッシ等の摩耗部分を含み耐久性
を持たせることも難しい。本発明は、上記問題点を解決
することを目的とし、電極の汚れを簡便に除去する真空
アークデスケーリング方法および装置を提供する。
は、高い生産性・信頼性が要求される。真空アークデス
ケーリングにおいては、電極表面に堆積した付着物を、
短時間にかつ完全に除去することが生産性と信頼性を向
上させる重要なポイントとなっている。機械的なクリー
ニング法では、複雑形状の電極に対しては完全な付着物
の除去が困難であり、かつ単純形状電極であってもクリ
ーニング作業に時間がかかるという問題点がある。ま
た、移動機構や回転機構を伴い設備が複雑・高価になる
ことも問題である。ブラッシ等の摩耗部分を含み耐久性
を持たせることも難しい。本発明は、上記問題点を解決
することを目的とし、電極の汚れを簡便に除去する真空
アークデスケーリング方法および装置を提供する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は以下の通
りである。 （１）真空アークデスケーリングにおいて、本来陽極と
して作動するデスケール電極の極性をある期間反転し、
陰極動作をさせることを特徴とするデスケール電極をク
リーニングする方法。
りである。 （１）真空アークデスケーリングにおいて、本来陽極と
して作動するデスケール電極の極性をある期間反転し、
陰極動作をさせることを特徴とするデスケール電極をク
リーニングする方法。
【０００８】（２）真空アークデスケーリング装置にお
いて、デスケール電極と被処理材の極性を反転させる電
気回路機構を具備することを特徴とする真空アークデス
ケーリング装置。 （３）真空アークデスケーリング装置において、デスケ
ール電極の極性を反転させる電気回路機構と補助電極と
を具備し、極性を反転させる当該電気回路は、デスケー
ル電極の極性を反転させるときは、補助電極とデスケー
ル電極との間にアークが発生するような機構になってい
ることを特徴とする真空アークデスケーリング装置。
いて、デスケール電極と被処理材の極性を反転させる電
気回路機構を具備することを特徴とする真空アークデス
ケーリング装置。 （３）真空アークデスケーリング装置において、デスケ
ール電極の極性を反転させる電気回路機構と補助電極と
を具備し、極性を反転させる当該電気回路は、デスケー
ル電極の極性を反転させるときは、補助電極とデスケー
ル電極との間にアークが発生するような機構になってい
ることを特徴とする真空アークデスケーリング装置。
【０００９】（４）炭素材料を補助電極とする上記３記
載の装置。 （５）真空アークデスケーリング装置において、複数の
デスケール電極群と、それぞれのデスケール電極に対
し、順番に、極性を反転させ一定期間反転極性を保持し
た後、元の極性に戻すことを行っていく電気回路機構と
を具備していることを特徴とする真空アークデスケーリ
ング装置。
載の装置。 （５）真空アークデスケーリング装置において、複数の
デスケール電極群と、それぞれのデスケール電極に対
し、順番に、極性を反転させ一定期間反転極性を保持し
た後、元の極性に戻すことを行っていく電気回路機構と
を具備していることを特徴とする真空アークデスケーリ
ング装置。
【００１０】
【作用】図１に原理的装置構成を示す。図１において、
１は真空容器、２はデスケール電極、３はスケールを除
去しようとする被処理対象物、４はアーク電源、５は電
極の極性を反転するための電気回路である。図１は発明
の特徴を簡便に説明するための概念図であり、通常は具
備している真空排気装置やアーク点火装置、電極その他
冷却箇所への冷却水供給装置、冷却機構などは省略して
いる。本発明方法・装置においても、このような本来具
備すべき装置や機構を、必要に応じ具備すべきことは言
うまでもない。図２、図３においても本発明の特徴を説
明するのに必要でない装置や機構については図示を省略
している。
１は真空容器、２はデスケール電極、３はスケールを除
去しようとする被処理対象物、４はアーク電源、５は電
極の極性を反転するための電気回路である。図１は発明
の特徴を簡便に説明するための概念図であり、通常は具
備している真空排気装置やアーク点火装置、電極その他
冷却箇所への冷却水供給装置、冷却機構などは省略して
いる。本発明方法・装置においても、このような本来具
備すべき装置や機構を、必要に応じ具備すべきことは言
うまでもない。図２、図３においても本発明の特徴を説
明するのに必要でない装置や機構については図示を省略
している。
【００１１】図１において、デスケール電極２が陽極と
して動作し続けると、陰極３から除去されたスケール成
分がデスケール電極２の表面に付着してアークが不安定
化する。アークが不安定化しだしたらあるいは不安定化
する前に、デスケール電極の極性を極性反転機構５によ
り正負を逆転させると、デスケール電極２の表面上に陰
極点が発生して、デスケール電極表面の付着物が除去さ
れる。
して動作し続けると、陰極３から除去されたスケール成
分がデスケール電極２の表面に付着してアークが不安定
化する。アークが不安定化しだしたらあるいは不安定化
する前に、デスケール電極の極性を極性反転機構５によ
り正負を逆転させると、デスケール電極２の表面上に陰
極点が発生して、デスケール電極表面の付着物が除去さ
れる。
【００１２】デスケール電極２の表面付着物が概ね除去
された後、再度極性反転機構で極性を反転させ、デスケ
ール電極を陽極として動作させると、スケールを除去し
ようとする対象物３のデスケーリングが正常に再開され
る。デスケール電極が陰極となり、被処理対象物３が陽
極となると、被処理対象物は陰極動作時より余計に加熱
されることが知られている。
された後、再度極性反転機構で極性を反転させ、デスケ
ール電極を陽極として動作させると、スケールを除去し
ようとする対象物３のデスケーリングが正常に再開され
る。デスケール電極が陰極となり、被処理対象物３が陽
極となると、被処理対象物は陰極動作時より余計に加熱
されることが知られている。
【００１３】過度の加熱による障害が懸念される場合
は、図２に示すような補助電極を設置する方法がある。
図中１から４は、図１に示す同じ符号の物と同類物であ
る。６は補助電極である。５は極性反転機構であるが、
通常動作の場合は、２で示す電極を陽極、３で示す物を
陰極とするような回路を構成し、デスケール電極２の付
着物を除去しようとする場合は、電源回路から被処理対
象物３を切り離し、デスケール電極と補助電極との間に
アークが形成されるようにし、しかもデスケール電極を
陰極、補助電極を陽極とするような極性になるように設
計された極性切り替え機構である。
は、図２に示すような補助電極を設置する方法がある。
図中１から４は、図１に示す同じ符号の物と同類物であ
る。６は補助電極である。５は極性反転機構であるが、
通常動作の場合は、２で示す電極を陽極、３で示す物を
陰極とするような回路を構成し、デスケール電極２の付
着物を除去しようとする場合は、電源回路から被処理対
象物３を切り離し、デスケール電極と補助電極との間に
アークが形成されるようにし、しかもデスケール電極を
陰極、補助電極を陽極とするような極性になるように設
計された極性切り替え機構である。
【００１４】デスケール電極の付着物が除去されたら、
再度極性反転機構を動作させ、元の接続・極性に戻す。
補助電極を設置することにより、スケールを除去しよう
とする被処理対象物を溶損その他過度の加熱障害から保
護することができる。補助電極はアークの陽極作用によ
り高温になるので、通常冷却機構を具備せねばならな
い。補助電極はグラファイトのような炭素材料を用いる
と、冷却機構が不要になる。図１や図２の方法では、デ
スケール電極のクリーニングを行う時は、被処理対象物
のデスケーリングは中断される。
再度極性反転機構を動作させ、元の接続・極性に戻す。
補助電極を設置することにより、スケールを除去しよう
とする被処理対象物を溶損その他過度の加熱障害から保
護することができる。補助電極はアークの陽極作用によ
り高温になるので、通常冷却機構を具備せねばならな
い。補助電極はグラファイトのような炭素材料を用いる
と、冷却機構が不要になる。図１や図２の方法では、デ
スケール電極のクリーニングを行う時は、被処理対象物
のデスケーリングは中断される。
【００１５】デスケーリングを中断させずに、デスケー
ル電極のクリーニングを行うことを可能にする方法を概
念的に示したものが図３である。真空容器１の中におか
れたデスケールすべき被処理物３と複数のデスケール電
極２、２′、２″が設置される。図３においてはデスケ
ール電極の数が３個の場合を示しているが、複数個であ
れば２個以上何個でも必要に応じ設置できる。
ル電極のクリーニングを行うことを可能にする方法を概
念的に示したものが図３である。真空容器１の中におか
れたデスケールすべき被処理物３と複数のデスケール電
極２、２′、２″が設置される。図３においてはデスケ
ール電極の数が３個の場合を示しているが、複数個であ
れば２個以上何個でも必要に応じ設置できる。
【００１６】それぞれのデスケール電極にはそれぞれ
４、４′、４″で示す電源が接続されるが、電源とデス
ケール電極との間に電極の極性を切り替えるための極性
反転機構５、５′、５″が設置されている。デスケール
電極は通常陽極として動作するが、電極表面が付着物で
汚れてきたときは、複数デスケール電極のいずれか一つ
の電極極性切り替え機構を動作させて、極性反転を行い
陰極点を当該デスケール電極表面上に発生させ、クリー
ニングを行う。
４、４′、４″で示す電源が接続されるが、電源とデス
ケール電極との間に電極の極性を切り替えるための極性
反転機構５、５′、５″が設置されている。デスケール
電極は通常陽極として動作するが、電極表面が付着物で
汚れてきたときは、複数デスケール電極のいずれか一つ
の電極極性切り替え機構を動作させて、極性反転を行い
陰極点を当該デスケール電極表面上に発生させ、クリー
ニングを行う。
【００１７】デスケール電極の付着物が除去されたら、
再び電極極性反転機構を作動させ、当該デスケール電極
の極性を陽極となるように戻す。このようにして、同じ
手順で順番に複数個あるデスケール電極をクリーニング
していく。いずれかのデスケール電極がクリーニングさ
れている期間中も他の残りのデスケール電極は陽極とし
て動作を続けているので、被処理対象物３のデスケーリ
ングは中断されることがない。
再び電極極性反転機構を作動させ、当該デスケール電極
の極性を陽極となるように戻す。このようにして、同じ
手順で順番に複数個あるデスケール電極をクリーニング
していく。いずれかのデスケール電極がクリーニングさ
れている期間中も他の残りのデスケール電極は陽極とし
て動作を続けているので、被処理対象物３のデスケーリ
ングは中断されることがない。
【００１８】図１、図２及び図３のいずれの場合にもデ
スケール電極のクリーニングを行う期間は単に極性を逆
転させるだけでなく、アーク電流を適当に調整してクリ
ーニング作用を安定かつ安全に行わせるようにすること
が望ましい。極性反転機構は、手動あるいは電磁スイッ
チなどの従来からのスイッチ技術を利用して構成すれば
よく、公知の技術応用である。極性反転機構と電流調整
機能やあるいは作動時間調整のタイマー機能を組み込ん
だ構成にすると、自動的な連続操業が行えるようにな
る。
スケール電極のクリーニングを行う期間は単に極性を逆
転させるだけでなく、アーク電流を適当に調整してクリ
ーニング作用を安定かつ安全に行わせるようにすること
が望ましい。極性反転機構は、手動あるいは電磁スイッ
チなどの従来からのスイッチ技術を利用して構成すれば
よく、公知の技術応用である。極性反転機構と電流調整
機能やあるいは作動時間調整のタイマー機能を組み込ん
だ構成にすると、自動的な連続操業が行えるようにな
る。
【００１９】
【実施例】図１に示すような方法・装置において、処理
対象材３として熱延鋼板を用い、これを陰極極性とし、
デスケール電極２として水冷銅製の電極を設け、これを
陽極極性として、圧力１０Paの真空雰囲気で２００Ａの
真空アークを両者間に発生させ、熱延鋼材のデスケーリ
ングを８分間行った。その後、デスケール電極につなが
る極性反転機構５を働かせ、アーク電流２００Ａで１分
間デスケール電極が陰極となるよう動作させた。
対象材３として熱延鋼板を用い、これを陰極極性とし、
デスケール電極２として水冷銅製の電極を設け、これを
陽極極性として、圧力１０Paの真空雰囲気で２００Ａの
真空アークを両者間に発生させ、熱延鋼材のデスケーリ
ングを８分間行った。その後、デスケール電極につなが
る極性反転機構５を働かせ、アーク電流２００Ａで１分
間デスケール電極が陰極となるよう動作させた。
【００２０】その後再び極性反転機構を動作させ、デス
ケール電極を陽極となるようにした。この一連の過程に
おけるアーク電圧の変化を示したものが図４である。電
圧は熱延鋼板電位を０としてデスケール電極の電圧を測
定している。
ケール電極を陽極となるようにした。この一連の過程に
おけるアーク電圧の変化を示したものが図４である。電
圧は熱延鋼板電位を０としてデスケール電極の電圧を測
定している。
【００２１】時刻０で熱延鋼板は全面が厚いスケールで
覆われているが、デスケーリングが進行するにつれデス
ケール電極電位が高くなっていく。これはデスケール電
極表面の汚れが進行し、真空アークが不安定化している
ことを示している。
覆われているが、デスケーリングが進行するにつれデス
ケール電極電位が高くなっていく。これはデスケール電
極表面の汚れが進行し、真空アークが不安定化している
ことを示している。
【００２２】極性を反転するとデスケール電極電位は負
となり陰極となる。極性反転動作後、もう一度極性反転
装置を働かせ再びデスケール電極を陽極としたときの真
空アーク電圧は、時刻０の電圧と同じ値まで低下してい
る。このことから、デスケール電極は極性反転で陰極動
作をさせたことにより付着物が除去され、クリーニング
されたことが確認された。
となり陰極となる。極性反転動作後、もう一度極性反転
装置を働かせ再びデスケール電極を陽極としたときの真
空アーク電圧は、時刻０の電圧と同じ値まで低下してい
る。このことから、デスケール電極は極性反転で陰極動
作をさせたことにより付着物が除去され、クリーニング
されたことが確認された。
【００２３】図３の原理に基づいて、水冷された中空円
筒形状の銅管をデスケール電極として５本平行に並べ、
それぞれ極性切り替えスイッチを経て直流定電流電源に
接続し、真空アークデスケーリング装置を構成した。表
面がスケールで覆われた熱延鋼板を、デスケール電極の
下を一方向に移動させデスケーリングを行った後、鋼板
表面の粗度変化を測定した結果を図５に示す。
筒形状の銅管をデスケール電極として５本平行に並べ、
それぞれ極性切り替えスイッチを経て直流定電流電源に
接続し、真空アークデスケーリング装置を構成した。表
面がスケールで覆われた熱延鋼板を、デスケール電極の
下を一方向に移動させデスケーリングを行った後、鋼板
表面の粗度変化を測定した結果を図５に示す。
【００２４】点線は極性反転を行わずに、全てのデスケ
ール電極を陽極、熱延鋼板を陰極とし、それぞれのデス
ケール電極のアーク電流を２００Ａと同じにしてデスケ
ーリングさせた場合の粗度変化であり、処理が進行する
につれ粗度が悪化していく様子が示されている。図５の
実線は、極性反転動作が行われたときの表面粗度変化で
ある。
ール電極を陽極、熱延鋼板を陰極とし、それぞれのデス
ケール電極のアーク電流を２００Ａと同じにしてデスケ
ーリングさせた場合の粗度変化であり、処理が進行する
につれ粗度が悪化していく様子が示されている。図５の
実線は、極性反転動作が行われたときの表面粗度変化で
ある。
【００２５】この実線例では、図６で示すように、５本
のデスケール電極が順番に１本ずつ極性反転動作をさせ
ている。デスケール電極が陽極動作をするときは２００
Ａ、極性反転時は１５０Ａの正負が異なる電流が流れる
よう動作設定をした。極性反転期間を加えることによ
り、図５に示したように、均一な表面性状が保持され
た。
のデスケール電極が順番に１本ずつ極性反転動作をさせ
ている。デスケール電極が陽極動作をするときは２００
Ａ、極性反転時は１５０Ａの正負が異なる電流が流れる
よう動作設定をした。極性反転期間を加えることによ
り、図５に示したように、均一な表面性状が保持され
た。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、デスケール電極の極性
を短時間反転することにより、デスケール電極のクリー
ニングができ、長時間操業デスケーリングを行っても表
面性状の均一な真空アークデスケーリングが可能とな
る。
を短時間反転することにより、デスケール電極のクリー
ニングができ、長時間操業デスケーリングを行っても表
面性状の均一な真空アークデスケーリングが可能とな
る。
【図１】本発明の基本的概念と極性反転に関わる基本的
設備構成図。
設備構成図。
【図２】補助電極を用いる実施装置構成図。
【図３】多電極でデスケーリングを中断させることなし
に連続デスケーリングを行う実施装置構成図。
に連続デスケーリングを行う実施装置構成図。
【図４】真空アークデスケーリング動作中のアーク電圧
と極性反転後のアーク電圧の図表。
と極性反転後のアーク電圧の図表。
【図５】極性反転の有無によるデスケーリングされた鋼
板表面粗度の違いの図表。
板表面粗度の違いの図表。
【図６】５本電極並列運転時におけるそれぞれの電極動
作電流の時間変化の図表。
作電流の時間変化の図表。
１ 真空容器 ２（２′及び２″） デスケール電極 ３ 被処理物（陰極） ４（４′及び４″） 真空アーク電源 ５（５′及び５″） 極性切り替え機構 ６ 補助電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−111887（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C23G 5/00 B21B 45/06
Claims (5)
- 【請求項１】 真空アークデスケーリングにおいて、本
来陽極として作動するデスケール電極の極性をある期間
反転し、陰極動作をさせることを特徴とするデスケール
電極をクリーニングする方法。 - 【請求項２】 真空アークデスケーリング装置におい
て、デスケール電極と被処理材の極性を反転させる電気
回路機構を具備することを特徴とする真空アークデスケ
ーリング装置。 - 【請求項３】 真空アークデスケーリング装置におい
て、デスケール電極の極性を反転させる電気回路機構と
補助電極とを具備し、極性を反転させる当該電気回路
は、デスケール電極の極性を反転させるときは、補助電
極とデスケール電極との間にアークが発生するような機
構になっていることを特徴とする真空アークデスケーリ
ング装置。 - 【請求項４】 炭素材料を補助電極とする請求項３記載
の真空アークデスケーリング装置。 - 【請求項５】 真空アークデスケーリング装置におい
て、複数のデスケール電極群と、それぞれのデスケール
電極に対し、順番に、極性を反転させ一定期間反転極性
を保持した後、元の極性に戻すことを行っていく電気回
路機構とを具備していることを特徴とする真空アークデ
スケーリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03567395A JP3205204B2 (ja) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | 真空アークデスケーリング用電極クリーニング方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03567395A JP3205204B2 (ja) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | 真空アークデスケーリング用電極クリーニング方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08232088A JPH08232088A (ja) | 1996-09-10 |
| JP3205204B2 true JP3205204B2 (ja) | 2001-09-04 |
Family
ID=12448405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03567395A Expired - Lifetime JP3205204B2 (ja) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | 真空アークデスケーリング用電極クリーニング方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3205204B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6729511B2 (en) | 2001-04-17 | 2004-05-04 | Dent, Iii Thomas E. | Lifting harness |
-
1995
- 1995-02-23 JP JP03567395A patent/JP3205204B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPH08232088A (ja) | 1996-09-10 |
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