JP3198036B2 - 元素マッピング装置におけるマッピング画像表示方法 - Google Patents
元素マッピング装置におけるマッピング画像表示方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、元素マッピング
装置におけるマッピング画像表示方法（以下、マッピン
グ画像表示方法という）に関する。
装置におけるマッピング画像表示方法（以下、マッピン
グ画像表示方法という）に関する。
【０００２】
【従来の技術】元素マッピング装置は、例えば、電子線
走査型の電子顕微鏡とエネルギー分散型のＸ線分析装置
とからなり、試料の微小領域に対して電子線を照射した
ときに生ずる固有Ｘ線をＸ線検出器によって検出し、こ
のＸ線検出器の出力をマルチチャンネルアナライザによ
って処理し、元素の種類別に画素位置に対応した固有Ｘ
線強度を求めて、これを元素ごとに設けられた元素マッ
ピングメモリに元素マッピングデータとして格納し、必
要に応じてＣＲＴなどの画像表示装置に元素の分布状況
を表示するものである。
走査型の電子顕微鏡とエネルギー分散型のＸ線分析装置
とからなり、試料の微小領域に対して電子線を照射した
ときに生ずる固有Ｘ線をＸ線検出器によって検出し、こ
のＸ線検出器の出力をマルチチャンネルアナライザによ
って処理し、元素の種類別に画素位置に対応した固有Ｘ
線強度を求めて、これを元素ごとに設けられた元素マッ
ピングメモリに元素マッピングデータとして格納し、必
要に応じてＣＲＴなどの画像表示装置に元素の分布状況
を表示するものである。
【０００３】前記元素マッピングメモリ内に格納されて
いる元素マッピングデータに基づいて元素マッピング画
像を表示するには、画像表示制御装置内の記憶装置内に
格納されている表示プログラムにしたがって元素マッピ
ングデータを適宜処理する必要がある。
いる元素マッピングデータに基づいて元素マッピング画
像を表示するには、画像表示制御装置内の記憶装置内に
格納されている表示プログラムにしたがって元素マッピ
ングデータを適宜処理する必要がある。
【０００４】ところで、上記元素マッピング装置におい
ては、元素マッピング画像の表示を行う際、各画像のサ
イズを数段階で可変にして表示できるようになっている
が、従来の画像ウインドウの整列は、例えば、図５に示
すように、各画像を表示するウインドウの親ウインドウ
となる外側に位置するウインドウ５１にぴったりはまる
ように、各画像のウインドウ５２の形状を種類が異なる
長方形に変えて整列させるところのいわゆるタイリング
で行われていた。
ては、元素マッピング画像の表示を行う際、各画像のサ
イズを数段階で可変にして表示できるようになっている
が、従来の画像ウインドウの整列は、例えば、図５に示
すように、各画像を表示するウインドウの親ウインドウ
となる外側に位置するウインドウ５１にぴったりはまる
ように、各画像のウインドウ５２の形状を種類が異なる
長方形に変えて整列させるところのいわゆるタイリング
で行われていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、各画像
のウインドウの形（形状および大きさ）が上記タイリン
グで整列されていると、次のような不都合がある。すな
わち、前記元素マッピング画像は、本来正方形で表示さ
れるように、マッピングデータが収集されており、これ
を長方形の画像ウインドウで表示すると、画像のイメー
ジが崩れてしまい、見栄えが悪くなるとともに、元素の
分布状態を正しく把握することが困難となる。
のウインドウの形（形状および大きさ）が上記タイリン
グで整列されていると、次のような不都合がある。すな
わち、前記元素マッピング画像は、本来正方形で表示さ
れるように、マッピングデータが収集されており、これ
を長方形の画像ウインドウで表示すると、画像のイメー
ジが崩れてしまい、見栄えが悪くなるとともに、元素の
分布状態を正しく把握することが困難となる。
【０００６】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、測定したときの画像のイメージ
を損なうことなく表示することのできるマッピング画像
表示方法を提供することである。
たもので、その目的は、測定したときの画像のイメージ
を損なうことなく表示することのできるマッピング画像
表示方法を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明は、試料に対して電子線、粒子線またはＸ
線を照射したときに生ずる元素に固有の情報に基づいて
元素の種類別に画素位置に対応した濃度を求めて、これ
を元素ごとに設けられた元素マッピングメモリに元素マ
ッピングデータとして格納し、画像表示装置に元素の分
布状況を表示する元素マッピング装置において、前記画
像表示装置の画面に複数の画像ウインドウを形成して画
像を表示する場合、入力装置によって入力された表示し
たい画像の大きさと表示枚数にしたがって、画像ウイン
ドウを画面の左から順番に横方向に配置し、画像ウイン
ドウが親ウインドウの表示範囲からはみ出るか否かを判
断し、はみ出る場合ははみ出る画像ウインドウを一段下
に配置することにより、測定状態時の画像と相似形状態
で表示するようにしたことを特徴としている。
め、この発明は、試料に対して電子線、粒子線またはＸ
線を照射したときに生ずる元素に固有の情報に基づいて
元素の種類別に画素位置に対応した濃度を求めて、これ
を元素ごとに設けられた元素マッピングメモリに元素マ
ッピングデータとして格納し、画像表示装置に元素の分
布状況を表示する元素マッピング装置において、前記画
像表示装置の画面に複数の画像ウインドウを形成して画
像を表示する場合、入力装置によって入力された表示し
たい画像の大きさと表示枚数にしたがって、画像ウイン
ドウを画面の左から順番に横方向に配置し、画像ウイン
ドウが親ウインドウの表示範囲からはみ出るか否かを判
断し、はみ出る場合ははみ出る画像ウインドウを一段下
に配置することにより、測定状態時の画像と相似形状態
で表示するようにしたことを特徴としている。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、この発明の詳細を、図を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
【０００９】図１は、この発明のマッピング画像表示方
法が適用される元素マッピング装置の構成の一例を概略
的に示すもので、この図１において、１は試料室（図示
してない）の内部上方に設けられる電子銃、２はこの電
子銃１から試料室の内部下方に配置された試料３に向け
て発せられる電子線４を二次元方向（互いに直交するｘ
方向とｙ方向）に走査する電子線走査コイルである。な
お、試料３は、図示してない試料ステージに載置され、
これによってｘ方向とｙ方向とにそれぞれ移動される。
法が適用される元素マッピング装置の構成の一例を概略
的に示すもので、この図１において、１は試料室（図示
してない）の内部上方に設けられる電子銃、２はこの電
子銃１から試料室の内部下方に配置された試料３に向け
て発せられる電子線４を二次元方向（互いに直交するｘ
方向とｙ方向）に走査する電子線走査コイルである。な
お、試料３は、図示してない試料ステージに載置され、
これによってｘ方向とｙ方向とにそれぞれ移動される。
【００１０】５は電子線４が試料３に照射されたとき試
料３から放出される特性Ｘ線６を検出するＸ線検出器、
７はＸ線検出器５からの信号に基づいて個々の元素ごと
の特性Ｘ線６の数を計数するマルチチャンネルアナライ
ザ（ＭＣＡ）である。８は元素マッピングメモリで、Ｍ
ＣＡ７によって得られた元素の種類別に画素位置に対応
した濃度を、元素ごとに設けられたメモリに元素マッピ
ングデータとして格納する。９は画像表示制御装置で、
例えば装置としてのマイクロコンピュータ、１０は例え
ばＣＲＴよりなる画像表示装置である。
料３から放出される特性Ｘ線６を検出するＸ線検出器、
７はＸ線検出器５からの信号に基づいて個々の元素ごと
の特性Ｘ線６の数を計数するマルチチャンネルアナライ
ザ（ＭＣＡ）である。８は元素マッピングメモリで、Ｍ
ＣＡ７によって得られた元素の種類別に画素位置に対応
した濃度を、元素ごとに設けられたメモリに元素マッピ
ングデータとして格納する。９は画像表示制御装置で、
例えば装置としてのマイクロコンピュータ、１０は例え
ばＣＲＴよりなる画像表示装置である。
【００１１】そして、前記画像表示制御装置９は、元素
マッピングメモリ８に格納されている元素マッピングデ
ータを表示イメージに変換する機能や、オペレータ入力
に基づいて画像表示装置１０の親ウインドウの表示位置
を決定したりする機能などを有する。
マッピングメモリ８に格納されている元素マッピングデ
ータを表示イメージに変換する機能や、オペレータ入力
に基づいて画像表示装置１０の親ウインドウの表示位置
を決定したりする機能などを有する。
【００１２】次に、上記構成の元素マッピング装置にお
けるマッピング画像の表示方法について、図２〜図４を
も参照しながら説明する。
けるマッピング画像の表示方法について、図２〜図４を
も参照しながら説明する。
【００１３】今、画像が表示されているウインドウ（画
像ウインドウ）ｗは、測定状態時の画像と相似形状態の
正方形とする。まず、画像整列モードを選択する。
像ウインドウ）ｗは、測定状態時の画像と相似形状態の
正方形とする。まず、画像整列モードを選択する。
【００１４】そして、オペレータが、親ウインドウＷに
表示すべき画像ウインドウｗの大きさおよびその数（枚
数）をキーボードまたはマウスなどの入力装置（図示し
てない）を介して入力する。
表示すべき画像ウインドウｗの大きさおよびその数（枚
数）をキーボードまたはマウスなどの入力装置（図示し
てない）を介して入力する。
【００１５】各画像ウインドウｗを、親ウインドウＷの
左から順番に、横方向に表示すべき位置が決定され、そ
れにしたがって、各画像ウインドウｗが配置される。そ
の場合、親ウインドウＷの表示範囲からはみ出るか否か
が判断され、はみ出ない場合は、画像が表示される。
左から順番に、横方向に表示すべき位置が決定され、そ
れにしたがって、各画像ウインドウｗが配置される。そ
の場合、親ウインドウＷの表示範囲からはみ出るか否か
が判断され、はみ出ない場合は、画像が表示される。
【００１６】そして、図３に示すように、４枚目の画像
ウインドウｗを親ウインドウＷ内に表示しようとした場
合、これが表示範囲からはみ出ると、この４枚目の画像
ウインドウｗは、その表示位置が一段下に設定される。
以下、同様にこれが繰り返される。
ウインドウｗを親ウインドウＷ内に表示しようとした場
合、これが表示範囲からはみ出ると、この４枚目の画像
ウインドウｗは、その表示位置が一段下に設定される。
以下、同様にこれが繰り返される。
【００１７】なお、画像ウインドウｗの大きさと表示枚
数とによっては、図４に示すように、全ての画像ウイン
ドウｗを同時に親ウインドウＷ内に表示することはでき
ないことがあるが、その場合は、画面スクロールするこ
とにより、必要な画像ウインドウｗを親ウインドウＷに
表示することができる。
数とによっては、図４に示すように、全ての画像ウイン
ドウｗを同時に親ウインドウＷ内に表示することはでき
ないことがあるが、その場合は、画面スクロールするこ
とにより、必要な画像ウインドウｗを親ウインドウＷに
表示することができる。
【００１８】上述の説明から理解されるように、この発
明においては、画像表示装置１０の親ウインドウＷに複
数の画像ウインドウｗを形成して画像を表示する場合、
表示したい画像の大きさと表示枚数にしたがって、画像
ウインドウｗを親ウインドウＷの左から順番に横方向に
配置し、画像ウインドウｗが表示範囲からはみ出るか否
かを判断し、はみ出る場合ははみ出る画像ウインドウｗ
を一段下に配置することにより、測定状態時の画像と相
似形状態で表示するようにしている。
明においては、画像表示装置１０の親ウインドウＷに複
数の画像ウインドウｗを形成して画像を表示する場合、
表示したい画像の大きさと表示枚数にしたがって、画像
ウインドウｗを親ウインドウＷの左から順番に横方向に
配置し、画像ウインドウｗが表示範囲からはみ出るか否
かを判断し、はみ出る場合ははみ出る画像ウインドウｗ
を一段下に配置することにより、測定状態時の画像と相
似形状態で表示するようにしている。
【００１９】したがって、従来のマッピング画像表示方
法と異なり、測定したときの画像のイメージを損なうこ
となく表示することができ、元素の分布状態をそのまま
の状態で表示することができ、見栄えが大いに向上す
る。
法と異なり、測定したときの画像のイメージを損なうこ
となく表示することができ、元素の分布状態をそのまま
の状態で表示することができ、見栄えが大いに向上す
る。
【００２０】上述の元素マッピング装置においては、Ｘ
線の励起源として電子線４を用いているが、これに代え
て、Ｘ線を用いるようにしてもよい。また、Ｘ線検出器
５とＭＣＡ７との組合せに代えて、Ｘ線分光器とＸ線検
出器とシングルチャンネルアナライザとを組み合わせる
ようにしてもよい。
線の励起源として電子線４を用いているが、これに代え
て、Ｘ線を用いるようにしてもよい。また、Ｘ線検出器
５とＭＣＡ７との組合せに代えて、Ｘ線分光器とＸ線検
出器とシングルチャンネルアナライザとを組み合わせる
ようにしてもよい。
【００２１】さらに、この発明のマッピング画像表示方
法は、励起粒子として、前記電子線４のほか、電子、Ｘ
線、光を用い、検出粒子（元素の固有の情報）として、
イオン、電子、Ｘ線、光を用いることができ、下記に挙
げる各種の粒子励起分析法に適用することができる。
法は、励起粒子として、前記電子線４のほか、電子、Ｘ
線、光を用い、検出粒子（元素の固有の情報）として、
イオン、電子、Ｘ線、光を用いることができ、下記に挙
げる各種の粒子励起分析法に適用することができる。
【００２２】すなわち、前記マッピング画像表示方法
は、ＴＥＭ（透過型電子顕微鏡法）、ＳＥＭ（走査型電
子顕微鏡法）、ＡＥＳ（オージェ電子分光）、ＬＥＥＤ
（低速電子回折）、ＥＰＭＡ（電子プローブマイクロア
ナリシス）、ＲＢＳ（ラザフォード後方散乱分光法）、
ＳＩＭＳ（二次イオン質量分析法）、ＩＳＳ（イオン散
乱分光法）、ＢＦＳ（ビームフォイル分光法）、ＰＩＸ
Ｅ（粒子線励起Ｘ線分光法）、ＳＣＡＮＩＩＲ（イオン
等励起発光分光法）、ＸＰＳ（Ｘ線光電子分光法）、Ｘ
ＦＳ（螢光Ｘ線分光法）、ＸＲＤ（Ｘ線回折法）、（Ｍ
ＡＬＤＩ（マトリックス添加レーザ脱離イオン化法）、
ＵＰＳ（紫外光電子分光法）、ＲＡＭＡＮＦＴ−ＩＲな
どといった各種の粒子励起分析法に広く適用することが
できる。
は、ＴＥＭ（透過型電子顕微鏡法）、ＳＥＭ（走査型電
子顕微鏡法）、ＡＥＳ（オージェ電子分光）、ＬＥＥＤ
（低速電子回折）、ＥＰＭＡ（電子プローブマイクロア
ナリシス）、ＲＢＳ（ラザフォード後方散乱分光法）、
ＳＩＭＳ（二次イオン質量分析法）、ＩＳＳ（イオン散
乱分光法）、ＢＦＳ（ビームフォイル分光法）、ＰＩＸ
Ｅ（粒子線励起Ｘ線分光法）、ＳＣＡＮＩＩＲ（イオン
等励起発光分光法）、ＸＰＳ（Ｘ線光電子分光法）、Ｘ
ＦＳ（螢光Ｘ線分光法）、ＸＲＤ（Ｘ線回折法）、（Ｍ
ＡＬＤＩ（マトリックス添加レーザ脱離イオン化法）、
ＵＰＳ（紫外光電子分光法）、ＲＡＭＡＮＦＴ−ＩＲな
どといった各種の粒子励起分析法に広く適用することが
できる。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、画像のイメージが崩されることがなくなり、見栄え
が大いに向上し、元素の分布状態を正しく把握する上で
大きな効果を奏する。
ば、画像のイメージが崩されることがなくなり、見栄え
が大いに向上し、元素の分布状態を正しく把握する上で
大きな効果を奏する。
【図１】この発明方法で用いる装置の一例を概略的に示
す図である。
す図である。
【図２】前記発明方法の一例を示すフローチャートであ
る。
る。
【図３】前記発明方法の動作を説明するための図であ
る。
る。
【図４】前記発明方法によって得られる表示画面の一例
を示す図である。
を示す図である。
【図５】従来技術を説明するための図である。
３…試料、４…電子線、６…固有Ｘ線、８…元素マッピ
ングメモリ、１０…画像表示装置、Ｗ…表示画面（親ウ
インドウ）、ｗ…画像ウインドウ。
ングメモリ、１０…画像表示装置、Ｗ…表示画面（親ウ
インドウ）、ｗ…画像ウインドウ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−243352（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−282372（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−276347（ＪＰ，Ａ) 特公 平３−64126（ＪＰ，Ｂ２) 酒井俊英他，「理化学分析計とＭＳ− Ｗｉｎｄｏｗｓ▲ＴＭ▼」，Ｒｅａｄｏ ｕｔ，株式会社堀場製作所，1995年９月 ８日発行，Ｎｏ．11，Ｐ65−Ｐ70 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 23/00 - 23/227 G06F 3/14 350 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (1)
- 【請求項１】 試料に対して電子線、粒子線またはＸ線
を照射したときに生ずる元素に固有の情報に基づいて元
素の種類別に画素位置に対応した濃度を求めて、これを
元素ごとに設けられた元素マッピングメモリに元素マッ
ピングデータとして格納し、画像表示装置に元素の分布
状況を表示する元素マッピング装置において、前記画像
表示装置の画面に複数の画像ウインドウを形成して画像
を表示する場合、入力装置によって入力された表示した
い画像の大きさと表示枚数にしたがって、画像ウインド
ウを画面の左から順番に横方向に配置し、画像ウインド
ウが親ウインドウの表示範囲からはみ出るか否かを判断
し、はみ出る場合ははみ出る画像ウインドウを一段下に
配置することにより、測定状態時の画像と相似形状態で
表示するようにしたことを特徴とする元素マッピング装
置におけるマッピング画像表示方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25546195A JP3198036B2 (ja) | 1995-09-06 | 1995-09-06 | 元素マッピング装置におけるマッピング画像表示方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25546195A JP3198036B2 (ja) | 1995-09-06 | 1995-09-06 | 元素マッピング装置におけるマッピング画像表示方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0972868A JPH0972868A (ja) | 1997-03-18 |
| JP3198036B2 true JP3198036B2 (ja) | 2001-08-13 |
Family
ID=17279093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25546195A Expired - Fee Related JP3198036B2 (ja) | 1995-09-06 | 1995-09-06 | 元素マッピング装置におけるマッピング画像表示方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3198036B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7132651B2 (en) * | 2004-04-23 | 2006-11-07 | Framatome Anp, Inc. | In-situ BWR and PWR CRUD flake analysis method and tool |
| JP5328264B2 (ja) | 2008-08-21 | 2013-10-30 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 元素マッピング装置及び元素マッピング画像表示方法 |
| JP7118015B2 (ja) * | 2019-01-16 | 2022-08-15 | 日鉄ステンレス株式会社 | ステンレス鋼材のスラグスポット発生量の予測評価方法 |
-
1995
- 1995-09-06 JP JP25546195A patent/JP3198036B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 酒井俊英他，「理化学分析計とＭＳ−Ｗｉｎｄｏｗｓ▲ＴＭ▼」，Ｒｅａｄｏｕｔ，株式会社堀場製作所，１９９５年９月８日発行，Ｎｏ．１１，Ｐ６５−Ｐ７０ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0972868A (ja) | 1997-03-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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