JP3195623U

JP3195623U - 薄板操作用高精度グリッパーおよびこれを含む検査装置

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Publication number: JP3195623U
Application number: JP2014005979U
Authority: JP
Inventors: ニア・アリエリ; ゴラン・ラレア; ダヴィド・ステファン
Original assignee: Orbotech Ltd
Current assignee: Orbotech Ltd
Priority date: 2013-11-12
Filing date: 2014-11-11
Publication date: 2015-01-29
Anticipated expiration: 2024-11-11
Also published as: KR20150001928U; TWM504801U; CN204450560U

Abstract

【課題】パネルの縁（エッジ）の近くをしっかりと把持してパネルを移動でき、検査工程との干渉を避けることができる薄板操作用高精度グリッパーを提供する。【解決手段】グリッパーは，剛性本体１０１，剛性本体に取り付けられ，真空が与えられたときに対象物を把持するように構成された幅狭の把持面２０１を備える真空パッド・アセンブリ１０２，真空パッド・アセンブリを剛性本体に対して移動するように構成されたアクチュエータ２０３，および真空パッド・アセンブリの近傍に配置され，真空パッド・アセンブリに真空を供給して対象物を把持面によって把持するように構成された真空生成器を備える。【選択図】図２

Description

本願に記載の実施態様は，概略的には，様々な対象物を把持し（グリップし）かつ移動するためのメカニカル・システムに関するもので，詳細には，ＬＣＤパネルガラスのような薄板材（thin sheets of materials）を把持するためのグリッパー・アセンブリおよびこれを含む検査装置に関する。

液晶表示（ＬＣＤ：Liquid crystal display）パネルは，電場依存光変調特性を示す液晶を含む。ＬＣＤパネルは，ファックス機，ラップトップ・コンピュータ画面から大画面，高精度テレビに至るまで，様々な機器に画像およびその他の情報を表示するために非常に頻繁に用いられている。アクティブ・マトリックスＬＣＤパネルは複数の機能層からなる複雑な積層構造であり，機能層は，偏光フィルムと，薄膜トランジスタ，蓄積容量，画素電極，黒マトリックスおよびカラー・フィルタ・アレイを含む配線接続カラー・フィルタ・ガラス基板ならびに透過共通電極を含むＴＦＴガラス基板と，ポリイミド製の配向フィルムと，適切なＬＣＤセル厚を維持するためのプラスチック／ガラス・スペーサを含む事実上の液晶材料を備えている。

歩留まりを最大にするために，ＬＣＤパネルはクリーンルーム環境において高度に制御された条件のもとで製造される。それでも多くのＬＣＤを，製造欠陥を理由に廃棄する必要がある。

上述のように，ＬＣＤパネルのような複雑な電子機器の生産歩留まりを向上するために，様々な検査段階が実行され，製造工程の様々な段階で生じうる様々な欠陥が特定される。このような検査段階は，製造工程中にまたは製造工程全体の完了後に実施することができる。上記検査工程の一例が，電気欠陥用ＬＣおよびＯＬＥＤディスプレイにおいて用いられるＴＦＴアレイのテストである。様々な検査機器が上記テストを実行するために用いられる。この目的のために用いることができる機器の具体例は，アメリカ合衆国カルフォルニア州サンノゼのオルボテック・リミテッドから市販されているアレイチェッカーＡＣ５０８０（Array Checker AC5080）を含む。これに代えて，当業者に知られておりかつ市販されている電子ビーム検査システムを用いることで，ＴＦＴアレイのテストを実行することもできる。

典型的なパネル検査装置では，テストされるＬＣＤガラスパネルが頑強な検査テーブル上にしっかりと配置され，検査設備，たとえば光学または電気光学検査ヘッドが上記ＬＣＤパネルガラスの上方に位置決めされる。検査中，テスト下のＬＣＤパネルを素早くかつ正確に上記検査テーブルのいたるところに移動させる必要がある。一例として，参照によって本明細書に引用される米国特許第７，５４３，８６７は，ＬＣＤパネルの位置決め操作に用いる真空操作グリッパーを記載する。記載されているパネルグリッパーは，ＬＣＤパネルと接触するように構成される真空パッド，および上記真空パッドに接続されたシャフトを含む。上記真空パッドおよび上記シャフト・アセンブリは，検査中にＬＣＤパネルを容易に回転する（角付けする）ように回転させることができる。

当業者に理解されるように，上記パネルの移動を実現するためにはパネルの縁（エッジ）の近くをしっかりと把持して検査工程との干渉を避けるのが望ましい。このため，新規でかつ改良されたグリッパー・デザインが必要とされている。

この考案の技法は，従来のグリッパーに関する，一または複数の上述したおよび他の問題を，実質的に未然に防ぐやり方およびシステムに向けられたものである。

この考案の一形態によると，対象物を把持するグリッパーが提供され，上記グリッパーは，剛性本体，上記剛性本体に取付けられ，真空が供給されたときに上記対象物を把持するように構成された把持面（掴み面，gripping surface）を備える真空（吸引）（vacuum）パッド・アセンブリ，上記真空パッド・アセンブリを上記剛性本体に対して移動する（動かす）ように構成されたアクチュエータ，および上記真空パッド・アセンブリの近傍に配置され，上記真空パッド・アセンブリに真空を供給して上記把持面が上記対象物を把持するように構成された真空生成器を備えている。

様々な実施態様において，上記把持面が上記真空生成器に結合した複数孔（multiple holes）を備えている。

様々な実施態様において，上記真空パッド・アセンブリが複数の分離真空領域（a multiple separate vacuum zones）を備えている。

様々な実施態様において，上記剛性本体が中空部（a hollow portion）を備え，上記剛性本体の中空部内に上記真空生成器が配置されている。

様々な実施態様において，上記真空生成器によって生成される真空の少なくとも一のパラメータをモニタ（監視）するよう構成された真空センサを備え，上記真空センサが上記本体の中空部内に配置されている。

様々な実施態様において，上記アクチュエータが剛性カップリングを用いて上記真空パッド・アセンブリに機械的に結合されている。

様々な実施態様において，上記真空パッド・アセンブリが真空パッド・アセンブリ・フレームおよび頂部（a top portion）を備え，上記把持面が上記頂部上に配置されている。

様々な実施態様において，上記頂部が上記真空パッド・アセンブリに対して回転し（pivots），かつ複数の固定具（ロッキング部材，locking members）を用いて固定され，これにより上記頂部の把持面が上記対象物の表面にアラインメントされる（合わされる）。

様々な実施態様において，上記真空生成器が，上記真空パッド・アセンブリに真空を搬送する（delivering）複数のパイプを用いて上記真空パッド・アセンブリに結合されている。

様々な実施態様において，上記複数のパイプが短くて硬いものである（short rigid）。

様々な実施態様において，上記真空パッド・アセンブリが，リニア・レールを用いて上記本体に取り付けられており，上記真空パッド・アセンブリが上記リニア・レール上をスライドするように構成されている。

様々な実施態様において，上記真空パッド・アセンブリが，上記アクチュエータによって生成される作動力（an actuating force）によって作動されて上記リニア・レール上を縦方向にスライドするように構成されている。

様々な実施態様において，上記真空パッド・アセンブリ・フレームが上記リニア・レールに取り付けられている。

様々な実施態様において，コントローラを含み，上記コントローラが，上記対象物を把持することを実行するために，上記真空パッド・アセンブリを上記本体に対して動かすように上記アクチュエータを制御する（causing the actuator to move the vacuum pad assembly with respect to the main body）。

様々な実施態様において，コントローラを含み，上記剛性本体が上記対象物を保持するテーブルに対して動くように構成されており，上記コントローラが，上記テーブルの高さ変動を補償するために上記本体に対して上記真空パッド・アセンブリを動かすように上記アクチュエータを制御するように構成されている。

様々な実施態様において，上記アクチュエータが上記剛性本体の中空部内に配置されている。

様々な実施態様において，上記真空生成器がベンチュリー真空ポンプ（Venturi vacuum pump）である。

この考案の他の側面によると，対象物を検査するための検査装置が提供され，上記検査装置は，上記対象物を保持するテーブル，上記テーブルの上方に位置決めされ，上記テーブル上の対象物を検査する検査ヘッド，上記対象物を把持し，上記テーブル上の対象物を動かすグリッパーを備え，上記グリッパーが，剛性本体，上記剛性本体に取り付けられ，真空が供給されたときに上記対象物を把持するように構成された把持面を備える真空パッド・アセンブリ，上記剛性本体に対して上記真空パッド・アセンブリを動かすように構成されたアクチュエータ，および上記真空パッド・アセンブリの近傍に配置され，上記真空パッド・アセンブリに真空を供給して上記把持面が上記対象物を把持するように構成された真空生成器を備えている。

様々な実施態様において，上記把持面が上記真空生成器に結合した複数孔を含む。

様々な実施態様において，上記真空パッド・アセンブリが複数の分離真空領域を備えている。

様々な実施態様において，上記剛性本体が中空部を備え，上記剛性本体の上記中空部内に上記真空生成器が配置されている。

様々な実施態様において，上記真空生成器によって生成される真空の少なくとも一のパラメータをモニタするように構成された真空センサを備え，上記真空センサが上記本体の中空部内に配置されている。

様々な実施態様において，上記真空パッド・アセンブリが真空パッド・アセンブリ・フレームおよび頂部を備え，上記把持面が上記頂部上に配置されている。

様々な実施態様において，上記頂部が上記真空パッド・アセンブリ・フレームに対して回転し，かつ複数の固定具を用いて固定され，これにより上記頂部の把持面が上記対象物の表面にアラインメントされる。

様々な実施態様において，上記真空生成器が，上記真空パッド・アセンブリに真空を搬送するための複数のパイプを用いて上記真空パッド・アセンブリに結合されている。

様々な実施態様において，上記複数のパイプが短くて硬いものである。

様々な実施態様において，上記真空パッド・アセンブリがリニア・レールを用いて上記本体に取り付けられており，上記真空パッド・アセンブリが上記リニア・レール上をスライドするように構成されている。

様々な実施態様において，上記真空パッド・アセンブリが，上記アクチュエータによって生成される作動力によって作動されて上記リニア・レール上を縦方向にスライドするように構成されている。

様々な実施態様において，コントローラを含み，上記コントローラが，上記対象物の把持を実行するために，上記真空パッド・アセンブリを上記本体に対して動かすように上記アクチュエータを制御する。

様々な実施態様において，上記真空生成器がベンチュリー真空ポンプである。

この考案に関する追加的態様は，一部が以下の明細書中に記載されかつ一部が明細書から自明であるかまたは考案を実施することで知ることができる。この考案の態様は，特に以下の詳細な説明および添付の請求の範囲において特定される要素，様々な要素の組合せおよび態様によって実現され，かつ達成することができる。

上述したおよび後述する記載は，いずれも例示および説明にすぎず，請求項に記載の考案およびその応用を何らかに制限するものでないことを理解されたい。

この明細書中に組み込まれかつその一部を構成する添付図面は，明細書とともにこの考案の実施形態を例示するものであり，この考案の技術の原理を説明しかつ例示することに供するものである。

グリッパー・アセンブリの代表的な実施形態の全体図を示す。真空パッドを取付けるアセンブリ上に取付けられた真空パッド・アセンブリの代表的な実施形態を示す。真空パッドを取付けるアセンブリ上に取付けられた真空パッド・アセンブリの代表的な実施例の断面を示す。グリッパー本体の中空部に配置された真空生成アセンブリの代表的な実施形態を示す。

以下の詳細な記載では，添付図面を参照しつつ，同一機能要素を同様の符号によって特定する。添付図面は，イラストによって，限定しないで，この考案の原理に矛盾しない特定の実施態様および具体例を示すものである。これらの具体例はこの考案を当業者が実施することができるように詳細に記載されており，さらに他の具体例を利用することできかつ構造的な変更および／または様々な要素の置換をこの考案の範囲および精神から逸脱しない範囲で行うことができるものであることを理解されたい。したがって以下の詳細な記載は限定的な意味で解釈されるべきではない。

本明細書に記載する一または複数の実施態様では，ＬＣＤパネルガラスなどの薄板材を取扱うための高精度グリッパー・アセンブリが提供される。一または複数の実施態様に記載されるグリッパー・アセンブリは，検査装置のフローティング・エア・テーブルと一緒にスライドする（slide alongside the floating air table）ように構成され，上記フローティング・テーブルのいたるところへの上記ＬＣＤパネルガラスの移動を容易にする。一または複数の実施態様において，上記グリッパー・アセンブリは，大きなＬＣＤガラスパネル（たとえば，２ｍ×２ｍのサイズのもの）を，上記フローティング・テーブル上で大きな加速度（１０ｍ／ｓ^２）かつ早いスピード（２ｍ／ｓ）で移動するように設計されている。上記テーブルは非常に正確かつ繰り返し可能な動きを実行するように構成されている。電気光学検査ヘッドのような対象物を検査する検査ヘッドを上記テーブルの上方に位置決めして，テーブル上の上記対象物の検査を実行することができる。

図１はグリッパー・アセンブリ100の代表的な実施形態の概略図を示す。図示する実施形態は，本体101と，複数の真空パッド装着アセンブリ103を用いて上記本体101に取付けられた２つの真空パッド・アセンブリ102とを含む。一または複数の実施態様において，上記本体101および真空パッド装着アセンブリ103は所定の剛性パラメータを有するように設計された中空の機械的構造体である。一または複数の実施態様において，上記本体101は搬送アセンブリおよびアクチュエータ（図示略）を用いて上記検査装置の上記フローティング・エア・テーブルに対して移動可能である。一または複数の実施態様において，上記グリッパー本体101は数メートルまでの長さとすることができ，複数の真空パッド・アセンブリ102を運搬して移動中の上記ＬＣＤガラスについて良好なサポートを提供することができる。

図２は，上記真空パッド取付けアセンブリ103上に載置された真空パッド・アセンブリ102の代表的な実施形態を示している。図２を参照して，上記真空パッド・アセンブリ102は，真空把持技術を用いてたとえばＬＣＤガラスパネルのような移動させるべき対象物に接触するように設計された対象物把持面（グリップ面）201を備える頂部207を含む。この目的を達成するために，上記把持面201は多数のマイクロサイズの孔（micro-size holes）を持つ素材から作られている。たとえば，上記把持面201は，たとえばレーザ・ドリルを用いて多数のマイクロ孔が穿孔された金属ストリップとすることができる。上記把持面201における上述したマイクロ孔ないし細穴（pores）は，以下に詳述する真空パッド・アセンブリ102の真空システムに結合されている。上記把持面201を備える上記真空パッド・アセンブリ頂部207は，固定具（locking members）205および複数の締付具（fasteners）208を用いて真空パッド・アセンブリ・フレーム206に取付けられている。

一または複数の実施態様において，上記真空パッド・アセンブリ102は，上記グリッパー本体101に対してＺ（垂直）方向に移動可能である。この目的のために，上記真空パッド・アセンブリ・フレーム206がＺリニア・レール202にスライド自在に取付けられ，さらにＺリニア・レール202が上記真空パッド取付けアセンブリ103に取付けられている。一または複数の実施態様において，上記真空パッド・アセンブリ・フレーム206は，上記グリッパー本体101の中空部204内に配置されたＺアクチュエータ203によって機械的に作動されてＺリニア・レール202上を垂直方向にスライドするように構成されている。当業者に理解されるように，把持動作のためおよびグリッパー軸の垂直位置に対する検査テーブルの高さのばらつきを補償するために，作動Ｚ自由度（the actuated Z-degree of freedom）を有効に使用することができる。

一または複数の実施態様では，把持面201を備える上記真空パッド・アセンブリ頂部207は垂直（Ｚ）軸周りの水平（Ｘ，Ｙ）面において上記真空パッド・アセンブリ・フレーム206に対して回転し，それに対するその位置が，ｆｘ，ｆｙ固定具205および締付具208を用いて水平Ｘ／Ｙ面において固定される。一実施態様において上記締付具208はねじである。当業者に理解されるように，上記把持面201の幅を，細いエッジ領域においてＬＣＤガラスに接触することができるようにして欠陥検出処理を邪魔せずにその動きを確保するように十分に小さくすることができる。

図３は上記真空パッド取付アセンブリ103に取付けられた真空パッド・アセンブリ102の代表的な実施形態の断面を示している。図３に示すように，真空パッド・アセンブリ頂部207は，水平（Ｘ，Ｙ）平面内において，ピボット・ベアリングを備えるピボット301の周りを真空パッド・アセンブリ・フレーム206に対して回転する。一または複数の実施態様において，上記ピボット103は球体ピボット（sphere pivot）である。この考案は上記球体ピボットの使用に限定されず，各自由度における動作を提供する任意のその他の機械的取付け技術を用いることもできることに留意されたい。

一または複数の実施態様において，上記回転は，上記水平（Ｘ，Ｙ）面および可能であれば垂直（Ｚ）面における上記把持面201の姿勢（向き）を調整するために用いられ，これにより上記グリッパーを用いて移動させるＬＣＤガラスのエッジを把持する把持面201が適切にアラインメントされる。詳細には，上記把持面201が実質的にＬＣＤガラスと平行になるように，上記パッド・アセンブリ頂部207および把持面201の姿勢が調整される。上記把持面201の最適な姿勢が一旦セットされると，一実施形態において薄い金属プレートである固定具205を用いて，その姿勢が維持される。

一または複数の実施態様において，上記アクチュエータ203はアクチュエータ・シャフト303に垂直（Ｚ）作動力を提供し，次にアクチュエータ・シャフト303が，上記作動力を剛性カップリング302を介して上記真空パッド・アセンブリ・フレーム206に伝え，これにより真空パッド・アセンブリ・フレーム206が垂直方向（上下）に動かされる。上記アクチュエータ203およびそのコントロール・システムは上記ＬＣＤガラスを把持するために用いられる。一または複数の実施態様において，上記アクチュエータ203はまた，検査装置のテーブル上に浮いているガラスとの間のテーブル高さ差を補償するために使用される。たとえば，Ｙ軸に沿うグリッパーの移動中に，上記把持面201のＺ軸を徐々に調整してテーブル高さ変動を補償することができる。一または複数の実施態様において，上記システムは，テーブル高さセンサを用いてテーブル全体のテーブル高さの測定値を取得しかつ格納することによって較正される。

一または複数の実施態様において，上記アクチュエータ203は，油圧アクチュエータ，ソレノイド・アクチュエータのような電気アクチュエータ，圧電アクチュエータ，リニア・モータのような電気機械アクチュエータ，または空気圧アクチュエータとすることができる。したがって，上記アクチュエータ203のタイプはこの実施例において本質的ではなく，なんらかの現在知られているまたは今後開発されるアクチュエータを，上記真空パッド・アセンブリ102の垂直（Ｚ軸）動作ができるようにするために用いることができる。

図４は，グリッパー本体101の中空部401内に配置された真空生成アセンブリ400の代表的な実施態様を示している。当業者に理解されるように，真空パッド・アセンブリ102に近接するグリッパー本体101内に真空生成アセンブリ400を配置することで，上記グリッパーに真空を搬送するために長いフレキシブル・パイプを用いる必要が無くなる。一または複数の実施態様において，上記グリッパー本体101内に真空生成アセンブリ400を配置する利点に起因して，真空搬送パイプ403が短くかつ剛性を持って作られる。これは，短時間で真空パッド・アセンブリ102に向けてより深い真空（deeper vacuum）を搬送する真空生成アセンブリ400の能力を高め，その結果，より強くかつより早く把持することができる。

一または複数の実施態様において，各真空パッド・アセンブリ102は，複数の真空領域に細分される。一または複数の実施態様では，上記真空パッド・アセンブリ102を４つの個別の真空領域にまで細分することができる。領域の正確な数は，検査工程に用いるＬＣＤガラスのような素材の種類に依存する。当業者に理解されるように，上述した個別領域は，一の真空領域における漏れが他の領域の真空の強さに悪影響を生じさせないことを保証する。

一または複数の実施態様において，グリッパーのための真空は，上記真空パッド・アセンブリ102の近くに配置されるベンチュリー真空ポンプ401を用いて作られる。一または複数の実施態様において，上記ベンチュリー真空ポンプ401は，図４に示すように，グリッパー本体101の中空部404内に配置される。

当業者に理解されるように，上記真空パッド・アセンブリ102に近接して配置されたベンチュリー真空ポンプ401を利用することで，真空パッド・アセンブリ102において素早くかつ簡単に真空をオン／オフ（turning on and off）することができる。しかしながら，この考案の概念は，開示するベンチュリー真空ポンプの使用に限定されず，任意の他の真空ポンプ，真空エジェクタ（吹出真空器，vacuum ejector）または真空を生成する任意の他のデバイスを，本明細書に開示するグリッパー・デザインに関連して用いることができる。代表的な真空生成装置には，ロータリー・ベーン・ポンプ（rotary vane pump），ダイヤフラム・ポンプ，液体リング，ピストン・ポンプ，スクロール・ポンプ，スクリュー・ポンプ，ロータリー・ポンプ（ワンケル・ポンプ），外部ベーン・ポンプ，ブースター・ポンプ，多段ルート・ポンプ，テプラー・ポンプ（Toepler pump）またはローブ・ポンプ（Lobe pump），および任意の他の現在知られているまたは将来開発される真空ポンプが含まれる。

一または複数の実施態様において，真空パッド・アセンブリ102における真空コンディションのフィードバックを提供するために，真空センサ402が上記パッドの近傍に設けられる。上記センサ402は真空パッド・アセンブリ102から与えられる真空のコンディションを登録し，このフィードバックを制御システム（図示略）に提供する。一または複数の実施態様において，上記グリッパーの制御システムは上記真空センサ402の読取値を連続的にモニタ（監視）する。

当業者に理解されるように，上記独創的なグリッパー・アセンブリの利点は，高速かつ強力な把持を提供する能力，複数の真空パッド・アセンブリに起因するガラスのための良好なサポートを提供すること，およびガラスのテーブルの高さの変動を補償する能力を含む。

最後に，本明細書に記載する処理および技術は，本質的に任意の特定の装置に関連するものではなく，任意の適切な構成要素の組合せによって実現することができることを理解されたい。さらに，様々なタイプの汎用目的の装置を，本明細書に記載する教示にしたがって利用することができる。本明細書に記載の方法ステップを実行する専用装置を構築することが有利であることは明らかであろう。この考案を特定の実施例に関連して説明したが，これは限定ではなく例示であることがすべての観点において意図されている。

さらに，この考案の他の実装（implementations）は，本明細書に開示した考案の明細および実施を考慮すれば当業者には明らかであろう。実施例に記載の様々な観点および／または構成要素を，単独で，または任意の組合せで，ＬＣＤガラスのような薄板材を把持するためのグリッパー・アセンブリにおいて用いることができる。明細書および実施例は，請求の範囲によって示される考案の真の範囲および精神をもって，例示としてのみ考慮されるべきであることを意図するものである。

Claims

対象物を把持するグリッパーであって，上記グリッパーが，
ａ．剛性本体，
ｂ．上記剛性本体に取り付けられ，真空が供給されたときに上記対象物を把持するように構成された把持面を備える真空パッド・アセンブリ，
ｃ．上記剛性本体に対して上記真空パッド・アセンブリを動かすように構成されたアクチュエータ，および
ｄ．上記真空パッド・アセンブリの近傍に配置され，上記真空パッド・アセンブリに真空を供給して上記把持面が上記対象物を把持するように構成された真空生成器を備えている，
グリッパー。
上記把持面が上記真空生成器に結合した複数孔を備えている，請求項１に記載のグリッパー。
上記真空パッド・アセンブリが複数の分離真空領域を備えている，請求項１に記載のグリッパー。
上記剛性本体が中空部を備え，上記剛性本体の上記中空部内に上記真空生成器が配置されている，請求項１に記載のグリッパー。
上記真空生成器によって生成される真空の少なくとも一のパラメータをモニタするように構成された真空センサをさらに備え，上記真空センサが上記本体の中空部内に配置されている，請求項１に記載のグリッパー。
上記アクチュエータが剛性カップリングを用いて上記真空パッド・アセンブリに機械的に結合されている，請求項１に記載のグリッパー。
上記真空パッド・アセンブリが真空パッド・アセンブリ・フレームおよび頂部を備え，上記把持面が上記頂部上に配置されている，請求項１に記載のグリッパー。
上記頂部が上記真空パッド・アセンブリ・フレームに対して回転し，かつ複数の固定具を用いて固定され，これにより上記頂部の把持面が上記対象物の表面にアラインメントされる，請求項７に記載のグリッパー。
上記真空生成器が，上記真空パッド・アセンブリに真空を搬送する複数のパイプを用いて上記真空パッド・アセンブリに結合されている，請求項１に記載のグリッパー。
上記複数のパイプが短い剛性パイプである，請求項９に記載のグリッパー。
上記真空パッド・アセンブリが，リニア・レールを用いて上記本体に取り付けられており，上記真空パッド・アセンブリが上記リニア・レール上をスライドするように構成されている，請求項１に記載のグリッパー。
上記真空パッド・アセンブリが，上記アクチュエータによって生成される作動力によって作動されて上記リニア・レール上を縦方向にスライドするように構成されている，請求項１１に記載のグリッパー。
上記真空パッド・アセンブリ・フレームが上記リニア・レールに取り付けられている，請求項１１に記載のグリッパー。
コントローラをさらに備え，上記コントローラが，上記対象物の把持を実行するために，上記真空パッド・アセンブリを上記本体に対して動かすように上記アクチュエータを制御する，請求項１に記載のグリッパー。
コントローラをさらに備え，上記剛性本体が上記対象物を保持するテーブルに対して動くように構成されており，上記コントローラが，上記テーブルの高さ変動を補償するために上記本体に対して上記真空パッド・アセンブリを動かすように上記アクチュエータを制御するように構成されている，請求項１に記載のグリッパー。
上記アクチュエータが上記剛性本体の中空部内に配置されている，請求項１に記載のグリッパー。
上記真空生成器がベンチュリー真空ポンプである，請求項１に記載のグリッパー。
対象物を検査する検査装置であって，上記検査装置が，
ａ．対象物を保持するテーブル，
ｂ．上記テーブルの上方に位置決めされ，上記テーブル上の対象物を検査する検査ヘッド，
ｃ．上記対象物を把持し，上記テーブル上の対象物を動かすグリッパーを備え，
上記グリッパーが，
ｉ．剛性本体，
ii．上記剛性本体に取り付けられ，真空が供給されたときに上記対象物を把持するように構成された把持面を備える真空パッド・アセンブリ，
iii．上記剛性本体に対して上記真空パッド・アセンブリを動かすように構成されたアクチュエータ，および
iv．上記真空パッド・アセンブリの近傍に配置され，上記真空パッド・アセンブリに真空を供給して上記把持面が上記対象物を把持するように構成された真空生成器を備えている，
検査装置。
上記把持面が上記真空生成器に結合した複数孔を備えている，請求項１８に記載の検査装置。
上記真空パッド・アセンブリが複数の分離真空領域を備えている，請求項１８に記載の検査装置。
上記剛性本体が中空部を備え，上記剛性本体の上記中空部内に上記真空生成器が配置されている，請求項１８に記載の検査装置。
上記真空生成器によって生成される真空の少なくとも一のパラメータをモニタするように構成された真空センサをさらに備え，上記真空センサが上記本体の中空部内に配置されている，請求項１８に記載の検査装置。
上記アクチュエータが剛性カップリングを用いて上記真空パッド・アセンブリに機械的に結合されている，請求項１８に記載の検査装置。
上記真空パッド・アセンブリが真空パッド・アセンブリ・フレームおよび頂部を備え，上記把持面が上記頂部上に配置されている，請求項１８に記載の検査装置。
上記頂部が上記真空パッド・アセンブリ・フレームに対して回転し，かつ複数の固定具を用いて固定され，これにより上記頂部の把持面が上記対象物の表面にアラインメントされる，請求項２４に記載の検査装置。
上記真空生成器が，上記真空パッド・アセンブリに真空を搬送する複数のパイプを用いて上記真空パッド・アセンブリに結合されている，請求項１８に記載の検査装置。
上記複数のパイプが短い剛性パイプである，請求項２６に記載の検査装置。
上記真空パッド・アセンブリがリニア・レールを用いて上記本体に取り付けられており，上記真空パッド・アセンブリが上記リニア・レール上をスライドするように構成されている，請求項１８に記載の検査装置。
上記真空パッド・アセンブリが，上記アクチュエータによって生成される作動力によって作動されて上記リニア・レール上を縦方向にスライドするように構成されている，請求項２８に記載の検査装置。
上記真空パッド・アセンブリ・フレームが上記リニア・レールに取り付けられている，請求項１８に記載の検査装置。
コントローラをさらに備え，上記コントローラが，上記対象物の把持を実行するために，上記真空パッド・アセンブリを上記本体に対して動かすように上記アクチュエータを制御する，請求項１８に記載の検査装置。
コントローラをさらに備え，上記剛性本体が上記対象物を保持するテーブルに対して動くように構成されており，上記コントローラが，上記テーブルの高さ変動を補償するために上記本体に対して上記真空パッド・アセンブリを動かすように上記アクチュエータを制御するように構成されている，請求項１８に記載の検査装置。
上記アクチュエータが上記剛性本体の中空部内に配置されている，請求項１８に記載の検査装置。
上記真空生成器がベンチュリー真空ポンプである，請求項１８に記載の検査装置。